JPH1060087A - カルボキシル基含有光重合性不飽和化合物及びアルカリ現像型感光性樹脂組成物 - Google Patents
カルボキシル基含有光重合性不飽和化合物及びアルカリ現像型感光性樹脂組成物Info
- Publication number
- JPH1060087A JPH1060087A JP22379096A JP22379096A JPH1060087A JP H1060087 A JPH1060087 A JP H1060087A JP 22379096 A JP22379096 A JP 22379096A JP 22379096 A JP22379096 A JP 22379096A JP H1060087 A JPH1060087 A JP H1060087A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photopolymerizable unsaturated
- resin composition
- unsaturated compound
- photosensitive resin
- alkali
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
- Macromonomer-Based Addition Polymer (AREA)
- Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)
- Epoxy Resins (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 高い生産性と低コストで、十分な耐湿信頼性
を有するビルドアップ多層配線板の製造に使用可能なカ
ルボキシル基含有光重合性不飽和化合物及びアルカリ現
像型感光性樹脂組成物を提供する。 【解決手段】 下記一般式（１）で表される多官能エポ
キシアクリレート化合物の１水酸基当量に対し、０．２
〜２．５モルの多塩基酸無水物を反応させて得られるカ
ルボキシル基含有光重合性不飽和化合物。 【化１】 （式中、Ｘはベンゼン核又はナフタレン骨格を示し、Ｒ
1 は水素又は炭素数１〜６の炭化水素基を示し、Ｒ2 は
水素原子又はメチル基を示し、ｎは０〜１５の数を示
し、ｍは１〜２の整数を示す） また、必須成分として、上記のカルボキシル基含有光重
合性不飽和化合物１００重量部と、少なくとも１個のエ
ポキシ基を有する化合物５〜５０重量部と、光重合開始
剤０．１〜３０重量部とを含有してなるアルカリ現像型
感光性樹脂組成物。
を有するビルドアップ多層配線板の製造に使用可能なカ
ルボキシル基含有光重合性不飽和化合物及びアルカリ現
像型感光性樹脂組成物を提供する。 【解決手段】 下記一般式（１）で表される多官能エポ
キシアクリレート化合物の１水酸基当量に対し、０．２
〜２．５モルの多塩基酸無水物を反応させて得られるカ
ルボキシル基含有光重合性不飽和化合物。 【化１】 （式中、Ｘはベンゼン核又はナフタレン骨格を示し、Ｒ
1 は水素又は炭素数１〜６の炭化水素基を示し、Ｒ2 は
水素原子又はメチル基を示し、ｎは０〜１５の数を示
し、ｍは１〜２の整数を示す） また、必須成分として、上記のカルボキシル基含有光重
合性不飽和化合物１００重量部と、少なくとも１個のエ
ポキシ基を有する化合物５〜５０重量部と、光重合開始
剤０．１〜３０重量部とを含有してなるアルカリ現像型
感光性樹脂組成物。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、カルボキシル基含
有光重合性不飽和化合物及びそれ用いたアルカリ現像型
感光性樹脂組成物に関し、さらに詳しくは、ビルドアッ
プ多層基板の層間絶縁材料や、プリント配線板の永久絶
縁保護膜として好適に用いられる、アルカリ現像型感光
性樹脂組成物に関するものである。
有光重合性不飽和化合物及びそれ用いたアルカリ現像型
感光性樹脂組成物に関し、さらに詳しくは、ビルドアッ
プ多層基板の層間絶縁材料や、プリント配線板の永久絶
縁保護膜として好適に用いられる、アルカリ現像型感光
性樹脂組成物に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、電子機器やコンピューターなどに
は、従来に比べて一層の小型化・高機能化が要求されて
おり、それにあわせて使用される部品にもより高密度の
ものが求められている。例えば、プリント配線板におい
ても単位容積当たりの配線密度を向上させるために、回
路の微細化及び多層化が進められているが、さらに、ビ
ルドアップ多層基板という超高密度基板が提案され、実
用化が進められている。このビルドアップ多層基板は、
従来多層基板の層間導通に用いられてきたスルーホール
に代わり、内層バイアホールを介して層間導通をとるこ
とに特徴があり、この内層バイアホールを絶縁層内に設
けるための方法として、レーザーによる方法と感光性樹
脂を用いる方法の２つが主に検討されている。
は、従来に比べて一層の小型化・高機能化が要求されて
おり、それにあわせて使用される部品にもより高密度の
ものが求められている。例えば、プリント配線板におい
ても単位容積当たりの配線密度を向上させるために、回
路の微細化及び多層化が進められているが、さらに、ビ
ルドアップ多層基板という超高密度基板が提案され、実
用化が進められている。このビルドアップ多層基板は、
従来多層基板の層間導通に用いられてきたスルーホール
に代わり、内層バイアホールを介して層間導通をとるこ
とに特徴があり、この内層バイアホールを絶縁層内に設
けるための方法として、レーザーによる方法と感光性樹
脂を用いる方法の２つが主に検討されている。
【０００３】レーザーを用いたバイアホール形成方法の
例として、特開昭５８−６４０９７号公報、特開昭６１
−９５７９２号公報等が開示されているが、この方法
は、バイアホール穴明け速度が遅いため生産性が低く、
専用の設備も新たに必要となるためコスト高になる欠点
がある。一方、感光性樹脂を用いる方法は、例えば特開
平６−２３７０８４号公報、特公平８−３６３３号公報
等が開示されている。これらの方法は、バイアホールの
一括穴明けが可能であり、かつ従来のプリント配線板製
造設備をそのまま流用できるため、レーザーによる方法
に比べて高い生産性と低コスト化が期待できるというメ
リットがある。そのようなプロセスに用いる感光性樹脂
として、有機溶剤又は水系現像液で現像するタイプのも
のが検討されているが、前者は作業環境が悪化するなど
の問題、後者は樹脂自体の耐湿信頼性が不十分であるな
どの問題を抱えており、実用上十分であるとは言いがた
い。
例として、特開昭５８−６４０９７号公報、特開昭６１
−９５７９２号公報等が開示されているが、この方法
は、バイアホール穴明け速度が遅いため生産性が低く、
専用の設備も新たに必要となるためコスト高になる欠点
がある。一方、感光性樹脂を用いる方法は、例えば特開
平６−２３７０８４号公報、特公平８−３６３３号公報
等が開示されている。これらの方法は、バイアホールの
一括穴明けが可能であり、かつ従来のプリント配線板製
造設備をそのまま流用できるため、レーザーによる方法
に比べて高い生産性と低コスト化が期待できるというメ
リットがある。そのようなプロセスに用いる感光性樹脂
として、有機溶剤又は水系現像液で現像するタイプのも
のが検討されているが、前者は作業環境が悪化するなど
の問題、後者は樹脂自体の耐湿信頼性が不十分であるな
どの問題を抱えており、実用上十分であるとは言いがた
い。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】したがって、本発明の
目的は、良好な作業環境の下で、高い生産性・低コスト
で、十分な耐湿信頼性を有するビルドアップ多層配線板
の製造に使用可能なカルボキシル基含有光重合性不飽和
化合物及びアルカリ現像型感光性樹脂組成物を提供する
ことにある。
目的は、良好な作業環境の下で、高い生産性・低コスト
で、十分な耐湿信頼性を有するビルドアップ多層配線板
の製造に使用可能なカルボキシル基含有光重合性不飽和
化合物及びアルカリ現像型感光性樹脂組成物を提供する
ことにある。
【０００５】
【課題を解決する手段】本発明者らは、このような課題
を解決するために、種々のエポキシアクリレートをベー
スとしたカルボキシル基含有光重合性不飽和化合物を合
成し、これを種々のエポキシ化合物と共に用いて検討し
た結果、特殊骨格を有するエポキシアクリレートをベー
スとしたカルボキシル基含有光重合性不飽和化合物を、
エポキシ基を有する化合物と共に用いることにより、本
発明の目的を達成できることを見い出し、本発明を完成
した。
を解決するために、種々のエポキシアクリレートをベー
スとしたカルボキシル基含有光重合性不飽和化合物を合
成し、これを種々のエポキシ化合物と共に用いて検討し
た結果、特殊骨格を有するエポキシアクリレートをベー
スとしたカルボキシル基含有光重合性不飽和化合物を、
エポキシ基を有する化合物と共に用いることにより、本
発明の目的を達成できることを見い出し、本発明を完成
した。
【０００６】すなわち、本発明は、下記一般式（１）で
表される多官能エポキシアクリレート化合物の１水酸基
当量に対し、０．２〜２．５モルの多塩基酸無水物を反
応させて得られるカルボキシル基含有光重合性不飽和化
合物である。
表される多官能エポキシアクリレート化合物の１水酸基
当量に対し、０．２〜２．５モルの多塩基酸無水物を反
応させて得られるカルボキシル基含有光重合性不飽和化
合物である。
【０００７】
【化２】
【０００８】（式中、Ｘはベンゼン核又はナフタレン骨
格を示し、Ｒ1 は水素又は炭素数１〜６の炭化水素基を
示し、Ｒ2 は水素原子又はメチル基を示し、ｎは０〜１
５の数を示し、ｍは１〜２の整数を示す）
格を示し、Ｒ1 は水素又は炭素数１〜６の炭化水素基を
示し、Ｒ2 は水素原子又はメチル基を示し、ｎは０〜１
５の数を示し、ｍは１〜２の整数を示す）
【０００９】また、本発明は、必須成分として、上記の
カルボキシル基含有光重合性不飽和化合物１００重量部
と、少なくとも１つのエポキシ基を有する化合物５〜５
０重量部と、光重合開始剤０．１〜３０重量部とを含有
してなるアルカリ現像型感光性樹脂組成物である。
カルボキシル基含有光重合性不飽和化合物１００重量部
と、少なくとも１つのエポキシ基を有する化合物５〜５
０重量部と、光重合開始剤０．１〜３０重量部とを含有
してなるアルカリ現像型感光性樹脂組成物である。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の内容を詳細に説明
する。本発明のカルボキシル基含有光重合性不飽和化合
物は、その原料の一つである多官能エポキシアクリレー
ト化合物が、上記一般式（１）において、Ｘの５０％以
上、好ましくは９０％以上がナフタレン骨格であるもの
がよい。ナフタレン骨格の割合が５０％に満たないと耐
湿信頼性が劣る。また、一般式（１）においてｎが１５
を超えるとアルカリ水溶液に対する溶解性が悪くなる。
する。本発明のカルボキシル基含有光重合性不飽和化合
物は、その原料の一つである多官能エポキシアクリレー
ト化合物が、上記一般式（１）において、Ｘの５０％以
上、好ましくは９０％以上がナフタレン骨格であるもの
がよい。ナフタレン骨格の割合が５０％に満たないと耐
湿信頼性が劣る。また、一般式（１）においてｎが１５
を超えるとアルカリ水溶液に対する溶解性が悪くなる。
【００１１】本発明のカルボキシル基含有光重合性不飽
和化合物は、一般式（１）で表される多官能エポキシア
クリレート化合物と酸無水物化合物とを反応させて得ら
れるが、そのような酸無水物化合物としては、例えば無
水マレイン酸、無水コハク酸、無水イタコン酸、無水フ
タル酸、無水テトラヒドロフタル酸、無水ヘキサヒドロ
フタル酸、無水メチルエンドメチレンテトラヒドロ無水
フタル酸、無水クロレンド酸、メチルテトラヒドロ無水
フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、
ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、エチレング
リコールビストリメリテート二無水物、ビフェニルテト
ラカルボン酸二無水物、ビフェニルエーテルテトラカル
ボン酸二無水物等の多塩基酸無水物が挙げられる。
和化合物は、一般式（１）で表される多官能エポキシア
クリレート化合物と酸無水物化合物とを反応させて得ら
れるが、そのような酸無水物化合物としては、例えば無
水マレイン酸、無水コハク酸、無水イタコン酸、無水フ
タル酸、無水テトラヒドロフタル酸、無水ヘキサヒドロ
フタル酸、無水メチルエンドメチレンテトラヒドロ無水
フタル酸、無水クロレンド酸、メチルテトラヒドロ無水
フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、
ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、エチレング
リコールビストリメリテート二無水物、ビフェニルテト
ラカルボン酸二無水物、ビフェニルエーテルテトラカル
ボン酸二無水物等の多塩基酸無水物が挙げられる。
【００１２】反応させる酸無水物化合物の割合は、上記
一般式（１）で表されるカルボキシル基含有光重合性不
飽和化合物の１水酸基当量に対し、酸無水物基が０．２
〜２．５モルであるが、０．２モルより少ないとアルカ
リ水溶液に対する溶解性が悪くなり、２．５モルを超え
ると安定性が悪くなるなどの問題が生じる。
一般式（１）で表されるカルボキシル基含有光重合性不
飽和化合物の１水酸基当量に対し、酸無水物基が０．２
〜２．５モルであるが、０．２モルより少ないとアルカ
リ水溶液に対する溶解性が悪くなり、２．５モルを超え
ると安定性が悪くなるなどの問題が生じる。
【００１３】本発明のカルボキシル基含有光重合性不飽
和化合物は、次のようにして製造することができる。ま
ず、一般式（２）で表される多価ヒドロキシ化合物を、
水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等のアルカリ金属水
酸化物の存在下、エピクロルヒドリンと反応させること
により、下記一般式（３）で表される多官能エポキシ樹
脂を得る。
和化合物は、次のようにして製造することができる。ま
ず、一般式（２）で表される多価ヒドロキシ化合物を、
水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等のアルカリ金属水
酸化物の存在下、エピクロルヒドリンと反応させること
により、下記一般式（３）で表される多官能エポキシ樹
脂を得る。
【００１４】
【化３】
【００１５】（式中、Ｘはベンゼン核又はナフタレン骨
格を示し、Ｒ1 は水素又は炭素数１〜６の炭化水素基を
示し、ｎは０〜１５の数を示し、ｍは１〜２の整数を示
す）
格を示し、Ｒ1 は水素又は炭素数１〜６の炭化水素基を
示し、ｎは０〜１５の数を示し、ｍは１〜２の整数を示
す）
【００１６】
【化４】
【００１７】（式中、Ｘはベンゼン核又はナフタレン骨
格を示し、Ｒ1 は水素又は炭素数１〜６の炭化水素基を
示し、ｎは０〜１５の数を示し、ｍは１〜２の整数を示
す）
格を示し、Ｒ1 は水素又は炭素数１〜６の炭化水素基を
示し、ｎは０〜１５の数を示し、ｍは１〜２の整数を示
す）
【００１８】次に、この多官能エポキシ樹脂と、アクリ
ル酸又はメタアクリル酸とを反応させることにより、一
般式（１）で表される多官能エポキシアクリレート化合
物を得る。
ル酸又はメタアクリル酸とを反応させることにより、一
般式（１）で表される多官能エポキシアクリレート化合
物を得る。
【００１９】続いて、この多官能エポキシアクリレート
化合物と酸無水物化合物とを、エチルセロソルブアセテ
ート、ブチルセロソルブアセテート等の溶媒中で加熱
し、反応させることにより、本発明のカルボキシル基含
有光重合性不飽和化合物が製造される。反応温度として
は、多官能エポキシアクリレート化合物と酸無水物化合
物が定量的に反応することが望ましく、１００〜１３０
℃、好ましくは１１０〜１２０℃である。
化合物と酸無水物化合物とを、エチルセロソルブアセテ
ート、ブチルセロソルブアセテート等の溶媒中で加熱
し、反応させることにより、本発明のカルボキシル基含
有光重合性不飽和化合物が製造される。反応温度として
は、多官能エポキシアクリレート化合物と酸無水物化合
物が定量的に反応することが望ましく、１００〜１３０
℃、好ましくは１１０〜１２０℃である。
【００２０】本発明のカルボキシル基含有光重合性不飽
和化合物は、光重合性に富み、堅固で安定な皮膜を形成
することができるので、これを用いてアルカリ現像型感
光性樹脂組成物を製造するのに適している。
和化合物は、光重合性に富み、堅固で安定な皮膜を形成
することができるので、これを用いてアルカリ現像型感
光性樹脂組成物を製造するのに適している。
【００２１】以下、本発明のカルボキシル基含有光重合
性不飽和化合物（以下、Ａ成分ということがある）を配
合したアルカリ現像型感光性樹脂組成物について説明す
る。
性不飽和化合物（以下、Ａ成分ということがある）を配
合したアルカリ現像型感光性樹脂組成物について説明す
る。
【００２２】本発明のアルカリ現像型感光性樹脂組成物
（以下、感光性樹脂組成物ということがある）に配合す
るＡ成分は、前記一般式（１）において、ｎが１５以下
のものである。ｎが１５を超えるとアルカリ水溶液によ
る現像を行うことが困難となる。また、Ａ成分の酸価と
しては、３０〜１８０ｍｇＫＯＨ／ｇである。酸価が１
８０ｍｇＫＯＨ／ｇを超えると硬化膜の耐アルカリ性、
電気特性等の特性が悪化し、３０ｍｇＫＯＨ／ｇより小
さいとアルカリ水溶液に対する溶解性が悪化する。
（以下、感光性樹脂組成物ということがある）に配合す
るＡ成分は、前記一般式（１）において、ｎが１５以下
のものである。ｎが１５を超えるとアルカリ水溶液によ
る現像を行うことが困難となる。また、Ａ成分の酸価と
しては、３０〜１８０ｍｇＫＯＨ／ｇである。酸価が１
８０ｍｇＫＯＨ／ｇを超えると硬化膜の耐アルカリ性、
電気特性等の特性が悪化し、３０ｍｇＫＯＨ／ｇより小
さいとアルカリ水溶液に対する溶解性が悪化する。
【００２３】本発明の感光性樹脂組成物の必須成分であ
る、少なくとも１個のエポキシ基を有する化合物（以
下、Ｂ成分ということがある）としては、フェノールノ
ボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポ
キシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ビスフェ
ノールＳ型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、
脂環式エポキシ樹脂等のエポキシ樹脂又はそれらの臭素
化物のほかに、フェニルグリシジルエーテル、ｐ−ブチ
ルフェノールグリシジルエーテル、トリグリシジルイソ
シアヌレート、ジグリシジルイソシアヌレート、アリル
グリシジルエーテル、グリシジルメタクリレート等のエ
ポキシ基を少なくとも１個有する化合物などが挙げられ
る。
る、少なくとも１個のエポキシ基を有する化合物（以
下、Ｂ成分ということがある）としては、フェノールノ
ボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポ
キシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ビスフェ
ノールＳ型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、
脂環式エポキシ樹脂等のエポキシ樹脂又はそれらの臭素
化物のほかに、フェニルグリシジルエーテル、ｐ−ブチ
ルフェノールグリシジルエーテル、トリグリシジルイソ
シアヌレート、ジグリシジルイソシアヌレート、アリル
グリシジルエーテル、グリシジルメタクリレート等のエ
ポキシ基を少なくとも１個有する化合物などが挙げられ
る。
【００２４】また、本発明の感光性樹脂組成物の必須成
分である、光重合開始剤（以下、Ｃ成分ということがあ
る）は、一般的にエチレン結合を有する光重合性不飽和
化合物の光重合開始剤として用いられるものであるが、
このような光重合開始剤としては、例えばアセトフェノ
ン、２，２−ジエトキシアセトフェノン、ｐ−ジメチル
アセトフェノン、ｐ−ジメチルアミノプロピオフェノ
ン、ジクロロアセトフェノン、トリクロロアセトフェノ
ン、ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルアセトフェノン等のアセトフ
ェノン類、ベンゾフェノン、２−クロロベンゾフェノ
ン、ｐ，ｐ’−ビスジメチルアミノベンゾフェノン等の
ベンゾフェノン類、ベンジル、ベンゾイン、ベンゾイン
メチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベ
ンゾインイソブチルエーテル等のベンゾインエーテル
類、ベンジルジメチルケタール、チオキサンソン、２−
クロロチオキサンソン、２，４−ジエチルチオキサンソ
ン、２−メチルチオキサンソン、２−イソプロピルチオ
キサンソン等のイオウ化合物、２−エチルアントラキノ
ン、オクタメチルアントラキノン、１，２−ベンズアン
トラキノン、２，３−ジフェニルアントラキノン等のア
ントラキノン類、ベンゾイルパーオキサイド、クメンパ
ーオキシド等の有機過酸化物、２−メルカプトベンゾイ
ミダゾール、２−メルカプトベンゾオキサゾール、２−
メルカプトベンゾチアゾール等のチオール化合物、アゾ
ビスイソブチルニトリルなどが挙げられる。これらの化
合物は１種でもよいし、２種以上を併用してもよい。
分である、光重合開始剤（以下、Ｃ成分ということがあ
る）は、一般的にエチレン結合を有する光重合性不飽和
化合物の光重合開始剤として用いられるものであるが、
このような光重合開始剤としては、例えばアセトフェノ
ン、２，２−ジエトキシアセトフェノン、ｐ−ジメチル
アセトフェノン、ｐ−ジメチルアミノプロピオフェノ
ン、ジクロロアセトフェノン、トリクロロアセトフェノ
ン、ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルアセトフェノン等のアセトフ
ェノン類、ベンゾフェノン、２−クロロベンゾフェノ
ン、ｐ，ｐ’−ビスジメチルアミノベンゾフェノン等の
ベンゾフェノン類、ベンジル、ベンゾイン、ベンゾイン
メチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベ
ンゾインイソブチルエーテル等のベンゾインエーテル
類、ベンジルジメチルケタール、チオキサンソン、２−
クロロチオキサンソン、２，４−ジエチルチオキサンソ
ン、２−メチルチオキサンソン、２−イソプロピルチオ
キサンソン等のイオウ化合物、２−エチルアントラキノ
ン、オクタメチルアントラキノン、１，２−ベンズアン
トラキノン、２，３−ジフェニルアントラキノン等のア
ントラキノン類、ベンゾイルパーオキサイド、クメンパ
ーオキシド等の有機過酸化物、２−メルカプトベンゾイ
ミダゾール、２−メルカプトベンゾオキサゾール、２−
メルカプトベンゾチアゾール等のチオール化合物、アゾ
ビスイソブチルニトリルなどが挙げられる。これらの化
合物は１種でもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００２５】また、それ自体では光重合開始剤として作
用しないが、上記の化合物と組み合わせて用いることに
より、光重合開始剤の能力を増大させ得るような化合物
を添加することもできる。そのような化合物としては、
例えばベンゾフェノンと組み合わせて使用すると効果の
あるトリエタノールアミン等の第３級アミンなどを挙げ
ることができる。
用しないが、上記の化合物と組み合わせて用いることに
より、光重合開始剤の能力を増大させ得るような化合物
を添加することもできる。そのような化合物としては、
例えばベンゾフェノンと組み合わせて使用すると効果の
あるトリエタノールアミン等の第３級アミンなどを挙げ
ることができる。
【００２６】本発明の感光性樹脂組成物は、Ａ成分、Ｂ
成分及びＣ成分からなり、その各成分の配合割合は、Ａ
成分１００重量部に対し、Ｂ成分が５〜５０重量部、Ｃ
成分が０．１〜３０重量部である。好ましくは、Ａ成分
１００重量部に対し、Ｂ成分が１０〜３０重量部、Ｃ成
分が１〜２０重量部である。樹脂組成物中のＢ成分が５
重量部より少ないと樹脂組成物の硬化後の特性、特に耐
アルカリ性が不十分となり、５０重量部を超えるとアル
カリ水溶液に対する溶解性が低下するため現像性が悪化
する。また、Ｃ成分が０．１重量部より少ないと光重合
の速度が遅くなって、感度が低下する。一方、３０重量
部を超えると光が樹脂層底部まで達しにくくなるため光
重合が不十分となり、現像マージンの減少や基板との密
着力不足等の弊害を引き起こす。
成分及びＣ成分からなり、その各成分の配合割合は、Ａ
成分１００重量部に対し、Ｂ成分が５〜５０重量部、Ｃ
成分が０．１〜３０重量部である。好ましくは、Ａ成分
１００重量部に対し、Ｂ成分が１０〜３０重量部、Ｃ成
分が１〜２０重量部である。樹脂組成物中のＢ成分が５
重量部より少ないと樹脂組成物の硬化後の特性、特に耐
アルカリ性が不十分となり、５０重量部を超えるとアル
カリ水溶液に対する溶解性が低下するため現像性が悪化
する。また、Ｃ成分が０．１重量部より少ないと光重合
の速度が遅くなって、感度が低下する。一方、３０重量
部を超えると光が樹脂層底部まで達しにくくなるため光
重合が不十分となり、現像マージンの減少や基板との密
着力不足等の弊害を引き起こす。
【００２７】また、本発明の感光性樹脂組成物に難燃性
を付与するために、少なくとも１個のエポキシ基を有す
る化合物の一部又は全部を、臭素置換体としてもよい。
この場合、樹脂組成物中の臭素含有量は、３〜３０％程
度であり、それが３％より少ないと十分な難燃性が発現
せず、３０％より多いとめっき被膜のふくれなどの問題
が起きやすくなる。
を付与するために、少なくとも１個のエポキシ基を有す
る化合物の一部又は全部を、臭素置換体としてもよい。
この場合、樹脂組成物中の臭素含有量は、３〜３０％程
度であり、それが３％より少ないと十分な難燃性が発現
せず、３０％より多いとめっき被膜のふくれなどの問題
が起きやすくなる。
【００２８】本発明の感光性樹脂組成物には、他の光重
合性不飽和化合物を使用目的の物性に合わせて配合する
ことができ、その場合の配合量は、Ａ成分１００重量部
に対し、５０重量部以下である。これが５０重量部を超
えるとプレキュアー後のタック性に問題が出てくる。こ
のような光重合性不飽和化合物としては、例えば２−ヒ
ドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ
プロピル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル
（メタ）アクリレート等の水酸基を有するモノマー、エ
チレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレン
グリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリ
コールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコ
ールジ（メタ）アクリレート、テトラメチレングリコー
ルジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパント
リ（メタ）アクリレート、トリメチロールエタントリ
（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールジ（メ
タ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）
アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）ア
クリレート、ジペンタエリスリトールテトラ（メタ）ア
クリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）ア
クリレート、グリセロール（メタ）アクリレート等の
（メタ）アクリル酸エステル類などが挙げられる。これ
らの化合物は、１種でもよいし、２種以上を併用しても
よい。
合性不飽和化合物を使用目的の物性に合わせて配合する
ことができ、その場合の配合量は、Ａ成分１００重量部
に対し、５０重量部以下である。これが５０重量部を超
えるとプレキュアー後のタック性に問題が出てくる。こ
のような光重合性不飽和化合物としては、例えば２−ヒ
ドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ
プロピル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル
（メタ）アクリレート等の水酸基を有するモノマー、エ
チレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレン
グリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリ
コールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコ
ールジ（メタ）アクリレート、テトラメチレングリコー
ルジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパント
リ（メタ）アクリレート、トリメチロールエタントリ
（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールジ（メ
タ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）
アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）ア
クリレート、ジペンタエリスリトールテトラ（メタ）ア
クリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）ア
クリレート、グリセロール（メタ）アクリレート等の
（メタ）アクリル酸エステル類などが挙げられる。これ
らの化合物は、１種でもよいし、２種以上を併用しても
よい。
【００２９】また、本発明の感光性樹脂組成物には、必
要に応じてエポキシ基硬化促進剤、熱重合禁止剤、可塑
剤、レベリング剤、消泡剤、体質顔料等の各種添加剤を
配合することができる。エポキシ基硬化促進剤として
は、例えばアミン化合物類、イミダゾール化合物、カル
ボン酸類、フェノール類、第４級アンモニウム塩類、メ
チロール基含有化合物類などが挙げられ、それらを少量
併用して塗膜を加熱することにより、得られる絶縁被膜
の耐熱性、耐溶剤性、耐酸性、耐メッキ性、密着性、電
気特性及び硬度等の諸特性を向上させることができる。
要に応じてエポキシ基硬化促進剤、熱重合禁止剤、可塑
剤、レベリング剤、消泡剤、体質顔料等の各種添加剤を
配合することができる。エポキシ基硬化促進剤として
は、例えばアミン化合物類、イミダゾール化合物、カル
ボン酸類、フェノール類、第４級アンモニウム塩類、メ
チロール基含有化合物類などが挙げられ、それらを少量
併用して塗膜を加熱することにより、得られる絶縁被膜
の耐熱性、耐溶剤性、耐酸性、耐メッキ性、密着性、電
気特性及び硬度等の諸特性を向上させることができる。
【００３０】熱重合禁止剤としては、例えばハイドロキ
ノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、ピロガロー
ル、ｔｅｒｔ−ブチルカテコール、フェノチアジンなど
が、可塑剤としては、例えばジブチルフタレート、ジオ
クチルフタレート、トリクレジルなどが、消泡剤、レベ
リング剤としては、例えばシリコン系、フッ素系、アク
リル系の化合物などが、体質顔料としては、シリカ、ア
ルミナ、タルク、炭酸カルシウム、クレー、アエロジル
などがそれぞれ挙げられる。
ノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、ピロガロー
ル、ｔｅｒｔ−ブチルカテコール、フェノチアジンなど
が、可塑剤としては、例えばジブチルフタレート、ジオ
クチルフタレート、トリクレジルなどが、消泡剤、レベ
リング剤としては、例えばシリコン系、フッ素系、アク
リル系の化合物などが、体質顔料としては、シリカ、ア
ルミナ、タルク、炭酸カルシウム、クレー、アエロジル
などがそれぞれ挙げられる。
【００３１】次に、本発明の感光性樹脂組成物の使用方
法について説明する。まず、本発明の感光性樹脂組成物
に、適当な光重合開始剤、増感剤、硬化促進剤、体質顔
料等の添加剤を加え、３本ロールミルなどで混錬して感
光性樹脂組生物を調製する。この感光性樹脂組成物をス
クリーン印刷等任意の方法で基板上に塗工後、溶媒を蒸
発させて塗膜をタックフリーにするためプレキュアーを
行なう。プレキュアー後、所望のマスクパターンをコン
タクト（接触）又はオフコンタクト（非接触）の状態に
して組成物の塗膜が形成された基板上に置き、紫外線を
選択的に照射する。紫外線により露光された領域の組成
物塗膜の成分は、光重合し架橋構造をとって不溶化す
る。非露光領域をアルカリ水溶液を用いて除去すること
により、現像された所望のパターンを得る。アルカリ水
溶液としては、０．１〜１０重量％の水酸化カリウム、
水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウ
ム、モノエタノールアミン等のアルカノールアミンの水
溶液などが用いられる。このようにして得られたパター
ンを、１００〜２００℃の加熱処理や紫外線照射を行っ
て塗膜強度を向上せしめた後、無電解めっきなどで信号
配線の形成、バイアホール内面めっきなどを行うことに
より、耐湿信頼性、耐熱性に優れたプリント配線板を得
ることができる。
法について説明する。まず、本発明の感光性樹脂組成物
に、適当な光重合開始剤、増感剤、硬化促進剤、体質顔
料等の添加剤を加え、３本ロールミルなどで混錬して感
光性樹脂組生物を調製する。この感光性樹脂組成物をス
クリーン印刷等任意の方法で基板上に塗工後、溶媒を蒸
発させて塗膜をタックフリーにするためプレキュアーを
行なう。プレキュアー後、所望のマスクパターンをコン
タクト（接触）又はオフコンタクト（非接触）の状態に
して組成物の塗膜が形成された基板上に置き、紫外線を
選択的に照射する。紫外線により露光された領域の組成
物塗膜の成分は、光重合し架橋構造をとって不溶化す
る。非露光領域をアルカリ水溶液を用いて除去すること
により、現像された所望のパターンを得る。アルカリ水
溶液としては、０．１〜１０重量％の水酸化カリウム、
水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウ
ム、モノエタノールアミン等のアルカノールアミンの水
溶液などが用いられる。このようにして得られたパター
ンを、１００〜２００℃の加熱処理や紫外線照射を行っ
て塗膜強度を向上せしめた後、無電解めっきなどで信号
配線の形成、バイアホール内面めっきなどを行うことに
より、耐湿信頼性、耐熱性に優れたプリント配線板を得
ることができる。
【００３２】
【実施例】以下、参考例、実施例及び比較例等に基づい
て、本発明を具体的に説明する。 参考例１〔多価ヒドロキシ化合物の製造〕 ３００ｍｌの４つ口フラスコに、２−ナフトール１４４
ｇ（１．０モル）、ｐ−キシリレングリコール５５．２
ｇ（０．４モル）及びシュウ酸１４ｇを仕込み、窒素気
流下、撹拌しながら１５０℃で３時間反応させた。この
間、生成する水は系外に除いた。その後、水蒸気蒸留に
より未反応の２−ナフトールを除き、褐色状樹脂１３５
ｇを得た。得られた樹脂のＯＨ当量は２２１であり、Ｊ
ＩＳ Ｋ２５４８に基づいて測定した軟化点は１１５℃
であった。
て、本発明を具体的に説明する。 参考例１〔多価ヒドロキシ化合物の製造〕 ３００ｍｌの４つ口フラスコに、２−ナフトール１４４
ｇ（１．０モル）、ｐ−キシリレングリコール５５．２
ｇ（０．４モル）及びシュウ酸１４ｇを仕込み、窒素気
流下、撹拌しながら１５０℃で３時間反応させた。この
間、生成する水は系外に除いた。その後、水蒸気蒸留に
より未反応の２−ナフトールを除き、褐色状樹脂１３５
ｇを得た。得られた樹脂のＯＨ当量は２２１であり、Ｊ
ＩＳ Ｋ２５４８に基づいて測定した軟化点は１１５℃
であった。
【００３３】参考例２〔多官能エポキシ樹脂の製造〕 得られた樹脂１００ｇをエピクロルヒドリン４００ｇに
溶解し、さらにトリエチルアンモニウムクロライド０．
３ｇを加え、減圧下（約１５０ｍｍＨｇ）７０℃で４８
％水酸化ナトリウム水溶液４２ｇを３時間かけて滴下し
た。この間、生成する水はエピクロルヒドリンとの共沸
により系外に除き、留出したエピクロルヒドリンは系内
に戻した。滴下終了後、さらに３０分間反応を継続し
た。その後、濾過により生成した塩を除き、さらに水洗
したのちエピクロルヒドリンを留去し、エポキシ樹脂１
１２ｇを得た。得られたエポキシ樹脂のエポキシ当量は
２８５であり、軟化点は９１℃であった。
溶解し、さらにトリエチルアンモニウムクロライド０．
３ｇを加え、減圧下（約１５０ｍｍＨｇ）７０℃で４８
％水酸化ナトリウム水溶液４２ｇを３時間かけて滴下し
た。この間、生成する水はエピクロルヒドリンとの共沸
により系外に除き、留出したエピクロルヒドリンは系内
に戻した。滴下終了後、さらに３０分間反応を継続し
た。その後、濾過により生成した塩を除き、さらに水洗
したのちエピクロルヒドリンを留去し、エポキシ樹脂１
１２ｇを得た。得られたエポキシ樹脂のエポキシ当量は
２８５であり、軟化点は９１℃であった。
【００３４】参考例３〔多官能エポキシアクリレート化
合物の製造〕 参考例２で得られた多官能エポキシ樹脂１００ｇをブチ
ルセロソルブアセテート４０ｍｌに溶解し、さらにアク
リル酸２５．８ｇ、ベンジルトリエチルアンモニウムク
ロライド０．２ｇ、ハイドロキノン５０ｍｇを加え、１
２０℃で空気を吹き込みながら６時間反応させエポキシ
アクリレート樹脂溶液を得た。０．１Ｎ−ＫＯＨ／Ｍｅ
ＯＨ溶液で滴定を行ったところ、酸価は３．４ｍｇＫＯ
Ｈ／ｇであった。
合物の製造〕 参考例２で得られた多官能エポキシ樹脂１００ｇをブチ
ルセロソルブアセテート４０ｍｌに溶解し、さらにアク
リル酸２５．８ｇ、ベンジルトリエチルアンモニウムク
ロライド０．２ｇ、ハイドロキノン５０ｍｇを加え、１
２０℃で空気を吹き込みながら６時間反応させエポキシ
アクリレート樹脂溶液を得た。０．１Ｎ−ＫＯＨ／Ｍｅ
ＯＨ溶液で滴定を行ったところ、酸価は３．４ｍｇＫＯ
Ｈ／ｇであった。
【００３５】合成例１ 参考例３で得られた多官能エポキシアクリレート樹脂溶
液に、１，２，３，６−テトラヒドロ無水フタル酸３３
ｇ、ブチルセロソルブアセテート７０ｍｌを加え、１１
０〜１２０℃で５時間反応させて、褐色状樹脂を得た。
０．１Ｎ−ＫＯＨ／ＭｅＯＨ溶液で滴定を行ったとこ
ろ、酸価は１００ｍｇＫＯＨ／ｇであった。得られた樹
脂の赤外吸収スペクトルを図１に掲げる。
液に、１，２，３，６−テトラヒドロ無水フタル酸３３
ｇ、ブチルセロソルブアセテート７０ｍｌを加え、１１
０〜１２０℃で５時間反応させて、褐色状樹脂を得た。
０．１Ｎ−ＫＯＨ／ＭｅＯＨ溶液で滴定を行ったとこ
ろ、酸価は１００ｍｇＫＯＨ／ｇであった。得られた樹
脂の赤外吸収スペクトルを図１に掲げる。
【００３６】合成例２ エポキシ当量４５０のビスフェノールＡ型エポキシ樹脂
１１２ｇを、ブチルセロソルブアセテートに溶解し、ア
クリル酸１９ｇ、ベンジルトリエチルアンモニウムクロ
ライド０．１７ｇ、ハイドロキノン４０ｍｇを加え、空
気を吹き込みながら９０〜１００℃で１０時間反応させ
た。得られた樹脂溶液にベンゾフェノンテトラカルボン
酸二無水物３０ｇ、１，２，３，６−テトラヒドロ無水
フタル酸１３ｇを加えて１１０〜１２０℃で５時間反応
させ、酸価８０ｍｇＫＯＨ／ｇの樹脂溶液を得た。
１１２ｇを、ブチルセロソルブアセテートに溶解し、ア
クリル酸１９ｇ、ベンジルトリエチルアンモニウムクロ
ライド０．１７ｇ、ハイドロキノン４０ｍｇを加え、空
気を吹き込みながら９０〜１００℃で１０時間反応させ
た。得られた樹脂溶液にベンゾフェノンテトラカルボン
酸二無水物３０ｇ、１，２，３，６−テトラヒドロ無水
フタル酸１３ｇを加えて１１０〜１２０℃で５時間反応
させ、酸価８０ｍｇＫＯＨ／ｇの樹脂溶液を得た。
【００３７】実施例 合成例１で得られた樹脂の固形分１００重量部に対し、
エポキシ当量１８０のフェノールノボラック型エポキシ
樹脂２７重量部、光重合性不飽和化合物としてジペンタ
エリスリトールヘキサアクリレート７重量部、光重合開
始剤として２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエ
タン−１−オン４重量部、エポキシ硬化剤として２−エ
チル−４−メチルイミダゾール４重量部を混合し、ブチ
ルセロソルブアセテートで粘度調整して感光性樹脂組成
物を得た。次に、この組成物を銅張り積層板上に塗布
し、６０℃で１時間プレキュアーして、室温で粘着性の
ない、厚み４０μｍの感光層を形成した。次に超高圧水
銀灯を用い、直径３０〜２００μｍのバイアホールパタ
ーンが描かれたネガマスクを密着して選択的に５００ｍ
Ｊ／ｃｍ2 の紫外線照射を行い、３０℃の１％炭酸ナト
リウム水溶液を２分間スプレーして現像を行った後、１
５０℃で３０分のアフターキュアにより硬化した塗膜を
得た。
エポキシ当量１８０のフェノールノボラック型エポキシ
樹脂２７重量部、光重合性不飽和化合物としてジペンタ
エリスリトールヘキサアクリレート７重量部、光重合開
始剤として２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエ
タン−１−オン４重量部、エポキシ硬化剤として２−エ
チル−４−メチルイミダゾール４重量部を混合し、ブチ
ルセロソルブアセテートで粘度調整して感光性樹脂組成
物を得た。次に、この組成物を銅張り積層板上に塗布
し、６０℃で１時間プレキュアーして、室温で粘着性の
ない、厚み４０μｍの感光層を形成した。次に超高圧水
銀灯を用い、直径３０〜２００μｍのバイアホールパタ
ーンが描かれたネガマスクを密着して選択的に５００ｍ
Ｊ／ｃｍ2 の紫外線照射を行い、３０℃の１％炭酸ナト
リウム水溶液を２分間スプレーして現像を行った後、１
５０℃で３０分のアフターキュアにより硬化した塗膜を
得た。
【００３８】ＳＥＭ観察の結果、良好に現像できたバイ
アホール最小径は５０μｍであった。また、４０℃９０
％ＲＨで９６時間吸湿後も２６０℃３０秒の半田耐熱性
を示した。さらに、耐薬品性試験（４０℃のＮ−メチル
−２−ピロリドン中１０分間浸漬）、耐酸性試験（５％
塩酸水溶液中２４時間浸漬）、及び耐アルカリ性試験
（５％水酸化ナトリウム水溶液中24時間浸漬）を行った
結果、いずれの場合も塗膜に異常は見られなかった。
アホール最小径は５０μｍであった。また、４０℃９０
％ＲＨで９６時間吸湿後も２６０℃３０秒の半田耐熱性
を示した。さらに、耐薬品性試験（４０℃のＮ−メチル
−２−ピロリドン中１０分間浸漬）、耐酸性試験（５％
塩酸水溶液中２４時間浸漬）、及び耐アルカリ性試験
（５％水酸化ナトリウム水溶液中24時間浸漬）を行った
結果、いずれの場合も塗膜に異常は見られなかった。
【００３９】比較例 合成例２で得られた樹脂を用いた以外は、実施例と同様
の操作を行った。ＳＥＭ観察の結果、良好に現像できた
バイアホール最小径は５０μｍであった。また、４０℃
９０％ＲＨで９６時間吸湿後の２６０℃における半田耐
熱性は１０秒であり、３０秒ではクラックを生じた。さ
らに、耐薬品性試験（４０℃のＮ−メチル−２−ピロリ
ドン中１０分間浸漬）、耐酸性試験（５％塩酸水溶液中
２４時間浸漬）、及び耐アルカリ性試験（５％水酸化ナ
トリウム水溶液中24時間浸漬）を行った結果、いずれの
場合も塗膜に異常は見られなかった。
の操作を行った。ＳＥＭ観察の結果、良好に現像できた
バイアホール最小径は５０μｍであった。また、４０℃
９０％ＲＨで９６時間吸湿後の２６０℃における半田耐
熱性は１０秒であり、３０秒ではクラックを生じた。さ
らに、耐薬品性試験（４０℃のＮ−メチル−２−ピロリ
ドン中１０分間浸漬）、耐酸性試験（５％塩酸水溶液中
２４時間浸漬）、及び耐アルカリ性試験（５％水酸化ナ
トリウム水溶液中24時間浸漬）を行った結果、いずれの
場合も塗膜に異常は見られなかった。
【００４０】
【発明の効果】本発明のカルボキシル基含有光重合性不
飽和化合物は、光重合性に富み、堅固で安定な皮膜を形
成することができるので、これを用いてアルカリ現像型
感光性樹脂組成物を製造するのに適している。
飽和化合物は、光重合性に富み、堅固で安定な皮膜を形
成することができるので、これを用いてアルカリ現像型
感光性樹脂組成物を製造するのに適している。
【００４１】また、本発明の感光性樹脂組成物は、人体
への悪影響が少ないアルカリ水溶液で現像可能で、耐湿
信頼性、耐熱性、解像度、耐薬品性、耐酸性及び耐アル
カリ性に優れた感光性樹脂組成物である。したがって、
本発明の感光性樹脂組成物を用いれば、良好な作業環境
の下、高い生産性及び低コストで、耐湿信頼性に優れた
ビルドアップ多層配線板が製造できるほか、ソルダーレ
ジスト等の永久保護膜の用途にも有望な材料である。
への悪影響が少ないアルカリ水溶液で現像可能で、耐湿
信頼性、耐熱性、解像度、耐薬品性、耐酸性及び耐アル
カリ性に優れた感光性樹脂組成物である。したがって、
本発明の感光性樹脂組成物を用いれば、良好な作業環境
の下、高い生産性及び低コストで、耐湿信頼性に優れた
ビルドアップ多層配線板が製造できるほか、ソルダーレ
ジスト等の永久保護膜の用途にも有望な材料である。
【図１】 図１は、合成例１で得られたカルボキシル基
含有光重合性不飽和化合物の赤外吸収スペクトルであ
る。
含有光重合性不飽和化合物の赤外吸収スペクトルであ
る。
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０５Ｋ 3/28 Ｈ０５Ｋ 3/28 Ｃ
Claims (4)
- 【請求項１】 下記一般式（１）で表される多官能エポ
キシアクリレート化合物の１水酸基当量に対し、０．２
〜２．５モルの多塩基酸無水物を反応させて得られるカ
ルボキシル基含有光重合性不飽和化合物。 【化１】 （式中、Ｘはベンゼン核又はナフタレン骨格を示し、Ｒ
1 は水素又は炭素数１〜６の炭化水素基を示し、Ｒ2 は
水素原子又はメチル基を示し、ｎは０〜１５の数を示
し、ｍは１〜２の整数を示す） - 【請求項２】 必須成分として、請求項１記載のカルボ
キシル基含有光重合性不飽和化合物１００重量部と、少
なくとも１個のエポキシ基を有する化合物５〜５０重量
部と、光重合開始剤０．１〜３０重量部とを含有してな
るアルカリ現像型感光性樹脂組成物。 - 【請求項３】 少なくとも１個のエポキシ基を有する化
合物の一部又は全部が、臭素置換体である請求項２記載
のアルカリ現像型感光性樹脂組成物。 - 【請求項４】 請求項１記載のカルボキシル基含有光重
合性不飽和化合物１００重量部に対し、さらにエチレン
結合を有する光重合性不飽和化合物を１〜５０重量部配
合してなる請求項２又は３記載のアルカリ現像型感光性
樹脂組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22379096A JPH1060087A (ja) | 1996-08-26 | 1996-08-26 | カルボキシル基含有光重合性不飽和化合物及びアルカリ現像型感光性樹脂組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22379096A JPH1060087A (ja) | 1996-08-26 | 1996-08-26 | カルボキシル基含有光重合性不飽和化合物及びアルカリ現像型感光性樹脂組成物 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1060087A true JPH1060087A (ja) | 1998-03-03 |
Family
ID=16803760
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22379096A Withdrawn JPH1060087A (ja) | 1996-08-26 | 1996-08-26 | カルボキシル基含有光重合性不飽和化合物及びアルカリ現像型感光性樹脂組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1060087A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100720018B1 (ko) | 2002-12-20 | 2007-05-18 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 포지티브형 레지스트 조성물 및 패턴 형성 방법 |
| WO2019188895A1 (ja) * | 2018-03-27 | 2019-10-03 | 日鉄ケミカル＆マテリアル株式会社 | 不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂、それを必須成分とする感光性樹脂組成物およびその硬化物 |
| JP2019174559A (ja) * | 2018-03-27 | 2019-10-10 | 日鉄ケミカル＆マテリアル株式会社 | 不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂を必須成分とする感光性樹脂組成物およびその硬化物 |
| CN113721422A (zh) * | 2021-09-01 | 2021-11-30 | 大同共聚(西安)科技有限公司 | 一种布线板上绝缘保护层的制备方法 |
-
1996
- 1996-08-26 JP JP22379096A patent/JPH1060087A/ja not_active Withdrawn
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100720018B1 (ko) | 2002-12-20 | 2007-05-18 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 포지티브형 레지스트 조성물 및 패턴 형성 방법 |
| WO2019188895A1 (ja) * | 2018-03-27 | 2019-10-03 | 日鉄ケミカル＆マテリアル株式会社 | 不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂、それを必須成分とする感光性樹脂組成物およびその硬化物 |
| JP2019174559A (ja) * | 2018-03-27 | 2019-10-10 | 日鉄ケミカル＆マテリアル株式会社 | 不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂を必須成分とする感光性樹脂組成物およびその硬化物 |
| CN111886274A (zh) * | 2018-03-27 | 2020-11-03 | 日铁化学材料株式会社 | 含有不饱和基的碱可溶性树脂、以其作为必须成分的感光性树脂组合物及其硬化物 |
| JPWO2019188895A1 (ja) * | 2018-03-27 | 2021-04-08 | 日鉄ケミカル＆マテリアル株式会社 | 不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂、それを必須成分とする感光性樹脂組成物およびその硬化物 |
| CN111886274B (zh) * | 2018-03-27 | 2024-01-09 | 日铁化学材料株式会社 | 含有不饱和基的碱可溶性树脂、以其作为必须成分的感光性树脂组合物及其硬化物 |
| CN113721422A (zh) * | 2021-09-01 | 2021-11-30 | 大同共聚(西安)科技有限公司 | 一种布线板上绝缘保护层的制备方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3121213B2 (ja) | 感光性樹脂組成物 | |
| JP2001302871A (ja) | 光硬化性・熱硬化性樹脂組成物とこれを用いて形成したソルダーレジスト皮膜や樹脂絶縁層を有するプリント配線板 | |
| JP2003113205A (ja) | 絶縁用樹脂組成物及びこれを用いた積層体 | |
| JP4558178B2 (ja) | 光又は熱硬化性樹脂組成物及びプリント配線基板 | |
| JP2001042525A (ja) | アルカリ現像型感光性樹脂組成物 | |
| JP4523703B2 (ja) | 感光性難燃樹脂組成物 | |
| JP2002064276A (ja) | 光又は熱硬化性樹脂組成物及び多層プリント配線基板 | |
| JP2003280192A (ja) | 光硬化性・熱硬化性樹脂組成物 | |
| JPH1060087A (ja) | カルボキシル基含有光重合性不飽和化合物及びアルカリ現像型感光性樹脂組成物 | |
| JPH11242331A (ja) | 光硬化性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント | |
| JP4219641B2 (ja) | アルカリ現像型感光性樹脂組成物 | |
| JP2001290268A (ja) | 感光性樹脂組成物、及びこれを用いた感光性フイルム | |
| JP2006210811A (ja) | プリント配線板の製造方法 | |
| JP2004198673A (ja) | 感光性樹脂組成物 | |
| JP3154383B2 (ja) | 感光性樹脂及びそれを含有するアルカリ現像可能な感光性樹脂組成物 | |
| JP3214297B2 (ja) | 感光性樹脂組成物 | |
| JP3132331B2 (ja) | 感光性樹脂と感光性樹脂組成物 | |
| JP4202171B2 (ja) | 低誘電性光硬化性樹脂組成物 | |
| JP2533557B2 (ja) | 感光性樹脂組成物 | |
| JP4168095B2 (ja) | 感光性樹脂組成物 | |
| JP4720000B2 (ja) | 感光性樹脂組成物、この組成物を用いた感光性フィルム | |
| JP2002234932A (ja) | アルカリ水溶液可溶性エポキシカルボキシレート化合物及びそれを用いた感光性樹脂組成物並びにその硬化物 | |
| JP2001040052A (ja) | 耐熱性感光性樹脂組成物 | |
| JPH0987360A (ja) | 感光性樹脂の製造方法および液状感光性樹脂組成物 | |
| JP2003280191A (ja) | 光硬化性・熱硬化性樹脂組成物 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20031104 |