JPH1057909A - 真空洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 簡易な装置構成でありながら、確実かつ迅速
な洗浄動作を実現する真空洗浄装置を提供する。 【解決手段】 被洗浄物の浸漬洗浄および真空乾燥に用
いる洗浄槽１と、加熱機構９を備え洗浄液を加温状態で
貯留している加温槽２と、加温槽２からの洗浄液を加熱
機構１０によって更に加熱して減圧下で沸騰冷却させる
蒸留再生槽４と、減圧槽３を介して蒸留再生槽４と加温
槽２を減圧する真空ポンプ５と、洗浄槽１と加温槽２に
接続され、加温状態の洗浄液を洗浄槽１に供給する一
方、洗浄槽１の洗浄液を加温槽２に回収する循環ポンプ
７とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、汚れの付着した金
属部品などの被洗浄物を、可燃性の洗浄液などを用いて
真空中で洗浄した後、迅速に真空乾燥させる真空洗浄装
置に関する。

【０００２】

【発明が解決しようとする課題】フロンやトリエタンの
全廃後にも拘わらず、理想的な代替洗浄剤の開発が進ま
ない中、汎用性や価格上の利点から、水溶性洗剤や炭化
水素溶剤への切替えが積極的に推進されている。その中
でも、溶剤系洗浄液の簡便さから炭化水素溶剤が注目さ
れており、かかる洗浄液を用いた真空洗浄装置が各種提
案されている。しかしながら、いずれの真空洗浄装置
も、洗浄性能が十分ではないか、或いは装置構成が複雑
であるという問題点があった。本発明は、この問題点に
着目してなされたものであって、簡易な装置構成であり
ながら、確実かつ迅速な洗浄動作を実現する真空洗浄装
置を提供することを目的とする。

【０００３】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、請求項１に係る真空洗浄装置は、減圧機構（５）に
接続されており、被洗浄物の浸漬洗浄および真空乾燥に
用いる洗浄槽（１）と、第１の加熱機構（９）を備え
て、加温状態の洗浄液を貯留している加温槽（２）と、
前記加温槽からの洗浄液を受け、これを第２の加熱機構
（１０）によって更に加熱して沸騰させた後、冷却機構
（４ａ）によって液化凝縮する蒸留再生槽（４）と、前
記減圧機構（５）に接続されて減圧されていると共に、
前記加温槽に接続されていることにより、前記蒸留再生
槽を減圧状態に維持する減圧槽（３）と、前記洗浄槽お
よび前記加温槽に接続され、前記加温槽に貯留されてい
る加温状態の洗浄液を前記洗浄槽に供給する一方、前記
洗浄槽の洗浄液を前記加温槽に回収する循環機構（７）
とを備えている。

【０００４】また、請求項２に係る真空洗浄装置は、第
１の加熱機構（９）を備えて、加温状態の洗浄液を貯留
している加温槽（２）と、第２の加熱機構（１４）を備
えると共に、第１の減圧機構（５Ａ）に接続されている
洗浄槽（１）と、第２の減圧機構（５Ｂ）に接続されて
減圧されていると共に、前記洗浄槽および前記加温槽に
接続されていて、前記洗浄槽からの洗浄蒸気を蒸留再生
して前記加温槽に供給する減圧槽（３）と、前記洗浄槽
の洗浄液を前記加温槽に回収する洗浄液回収機構（７）
とを備えており、非洗浄時と蒸気洗浄時には、前記加温
槽の洗浄液が前記洗浄槽に供給されて沸騰された後、こ
の洗浄蒸気が前記減圧槽においてが液化回収される一
方、真空乾燥時には、前記洗浄液回収機構によって洗浄
液が回収された後、適宜なタイミングで前記第１の減圧
機構（５Ａ）が機能して、洗浄槽の真空度を上げること
によって被洗浄物を迅速に乾燥させるようにしている。

【０００５】

【発明の実施の態様】以下、実施例に基づいて、この発
明を更に詳細に説明する。 〔第１実施例〕図１〜図３は、第１実施例に係る真空洗
浄装置ＥＱ１の構成を略記したものであり、それぞれ、
非洗浄時（図１）、浸漬洗浄時（図２）、真空乾燥時
（図３）を示している。この真空洗浄装置ＥＱ１は、被
洗浄物の浸漬洗浄および真空乾燥に用いる洗浄槽１と、
洗浄液を加温状態で貯留する加温槽２と、真空ポンプ５
によって連続的に減圧される減圧槽３と、洗浄液を減圧
状態下で沸騰させて液化回収する蒸留再生槽４と、冷却
機構６ａを備えるコールドトラップ６と、洗浄槽１と加
温槽２の間で洗浄液を循環させる循環ポンプ７と、装置
各部の連通管を開閉するバルブＶ_A 〜Ｖ_H と、装置全体
の動作を制御する制御部（図示せず）とで構成されてい
る。なお、真空ポンプ５は、減圧槽３を介して、洗浄槽
１、加温槽２、蒸留再生槽４を適宜に減圧するようにな
っている。図示の通り、洗浄槽１は、開閉蓋１ａによっ
て密閉可能に構成されており、その内部には超音波装置
１ｂを備えている。また、洗浄槽１の真空度は、圧力計
８によって計測できるようになっている。

【０００６】加温槽２と蒸留再生槽４は、真空ポンプ５
によって所定の減圧状態にあるが、加温槽２の洗浄液
は、加熱機構９によって沸騰しない程度に加温されてい
る一方、蒸留再生槽４の洗浄液は、加熱機構１０によっ
て沸騰状態に加熱されている。そして、蒸留再生槽４に
は、冷却機構４ａが設けられており、液化された洗浄液
は、連通管１５Ａを介して加温槽２に回収されるように
なっている。なお、各槽２，４の洗浄液の温度は、温度
計１１，１２の計測値によって管理されている。また、
加温槽２と蒸留再生槽４は、連通管１５Ｂによって接続
されており、自然流入またはその他の手段によって、減
少した洗浄液が自動的に投入されるようになっている。
減圧槽３には、冷却機構３ａが設けられており、洗浄槽
１や加温槽２から僅かに流入する洗浄蒸気は、機器外に
流出しないよう無駄なく液化回収されている。前述した
ように、加温槽２と蒸留再生槽４は、減圧槽３を介して
真空ポンプ５によって減圧されるが、圧力計１３の計測
値に応じて制御バルブＶ_H が自動的に開閉されることに
より、蒸留再生槽４と加温槽２が所定の減圧状態に維持
されるようになっている。

【０００７】続いて、上記の構成を備える真空洗浄装置
ＥＱ１について、その動作内容を説明する。 （１）非洗浄時の動作（蒸留再生） 先ず、洗浄槽１には被洗浄物が投入されておらず、洗浄
槽１の開閉蓋１ａが開放状態である場合について説明す
る（図１参照）。この真空洗浄装置ＥＱ１では、開閉弁
Ｖ_H は、圧力計１３の計測値に応じて断続的に開閉され
るようになっており、非洗浄時にも、次の蒸留再生動作
が行われる。なお、このとき、開閉バルブＶ_E ，Ｖ_F ，
Ｖ_B ，Ｖ_C ，Ｖ_A ，Ｖ_G は全て閉鎖状態である。加温槽
２と蒸留再生槽４とは、減圧槽３を介して、真空ポンプ
５によって所定の真空度にまで減圧されているので、高
沸点の洗浄液を用いた場合でも、比較的低い温度におい
て、蒸留再生槽４の洗浄液が沸騰することになる。そし
て、沸騰した洗浄液は、蒸留再生槽４の冷却機構４ａに
おいて液化されて蒸留再生される。蒸留再生槽４と加温
槽２とは連通管１５Ａによって連通されているので、蒸
留再生された洗浄液は、蒸留再生槽４から加温槽２に回
収される。また、加温槽２から蒸留再生槽４には、連通
管１５Ｂを介して、自動的に洗浄液が補給されるので、
結局、蒸留再生槽４→加温槽２→蒸留再生槽４の蒸留再
生ラインが構築されることになる。この蒸留再生動作に
おいて、蒸留再生槽４には、所定の温度まで加温された
洗浄液が供給されるので、蒸留再生槽４では、洗浄液を
効率よく沸騰させることができる。なお、真空ポンプ５
によって吸引された洗浄蒸気は、減圧槽３の冷却機構３
ａにおいて液化されて加温槽２に回収され、更に、真空
ポンプ５の排気側に設けたコールドトラップ６の冷却機
構６ａにおいても、再度、凝縮されて洗浄蒸気の機器外
への流出を抑えている。

【０００８】（２）浸漬洗浄時の動作（浸漬洗浄＋蒸留
再生） 被洗浄物を浸漬洗浄する場合には、洗浄槽１の中に被
洗浄物を投入して開閉蓋１ａを密閉した後、先ず、開閉
バルブＶ_E を開放する。なお、このときも、開閉バルブ
Ｖ_H は、圧力計１３に応じて断続的に開閉されている
が、開閉バルブＶ_F ，Ｖ_B ，Ｖ_C ，Ｖ_A ，Ｖ_G は全て閉
鎖状態である。開閉バルブＶ_E を開放すると、洗浄槽１
の空気は、減圧槽３を介して、真空ポンプ５によって吸
引される。そこで、圧力計８の計測値に基づいて制御し
て、洗浄槽１の真空度が加温槽２と同程度になるまで減
圧する。このようにして、洗浄槽１と加温槽２の真空度
を同一にした後、開閉弁Ｖ_A ，Ｖ_G を開放すると、加温
槽２から洗浄槽１に洗浄液が自然流入されることにな
る。なお、上記の説明では、開閉バルブＶ_E を開放して
洗浄槽１を減圧したが、これに変えて、開閉バルブ
Ｖ_B ，Ｖ_C ，Ｖ_G のいずれかを開放して、洗浄槽１を減
圧するのでも良い。 開閉バルブＶ_A ，Ｖ_G を開放して被洗浄物ＷＲを浸す
まで洗浄液を満たしたら、次に、開閉バルブＶ_B を開い
て循環ポンプ７の運転を開始して洗浄液を循環させる
（図２参照）。この洗浄装置ＥＱ１では、洗浄槽１に供
給される洗浄液は、加温槽２において所定温度まで加温
されているので洗浄効果が高く、また、被洗浄物ＷＲ
は、浸漬洗浄されると共に加温されることになる。つま
り、洗浄槽１や加温槽２の真空度が低いことから、可燃
性の洗浄液であっても、引火点以上に加温することがで
き、洗浄液の温度が高いことによって、洗浄力の向上と
被洗浄物ＷＲの加温とが実現される。なお、浸漬洗浄時
には、超音波装置１ｂによる超音波洗浄や噴流洗浄など
を併用すると洗浄効果を更に高めることができる。

【０００９】所定時間の浸漬洗浄処理が完了すると、
最初に、開閉バルブＶ_A を閉じて洗浄液の供給を止め
る。そして、洗浄槽１の洗浄液が空になると、開閉バル
ブＶ_B，Ｖ_G を閉じて循環ポンプ７の運転を停止する。
なお、これら〜の動作中、蒸留再生槽４→加温槽２
→蒸留再生槽４の蒸留再生ラインは連続して機能してい
る。このように、この真空洗浄装置ＥＱ１では、蒸留再
生を行いながら、加温洗浄が可能となるため、設備の簡
素化を図ることができる。また、同一の減圧状態にある
２つの槽について、洗浄液の加熱温度を異ならせること
により、蒸気発生と洗浄液の加熱とを実現しているの
で、減圧機構の使い分けなどの煩雑さが解消される。

【００１０】（３）真空乾燥時の動作（真空乾燥＋蒸留
再生） 浸漬洗浄の動作が完了すると、開閉バルブＶ_C を開放
する。このとき、開閉バルブＶ_G ，Ｖ_A ，Ｖ_B ，Ｖ_F ，
Ｖ_E は、既に閉鎖されている。なお、開閉バルブＶ
_H は、圧力計１３の計測値に応じて断続的に開閉される
ので、加温槽２と蒸留再生槽４の減圧状態は維持され
る。開閉バルブＶ_C が開放されたことにより、洗浄槽１
は、更に減圧されることになり、加温状態の被洗浄物に
付着している洗浄液は、真空乾燥されることになる（図
３参照）。そして、減圧槽３に導入された洗浄蒸気は、
冷却機構３ａによって凝縮化される。この洗浄装置ＥＱ
１では、浸漬洗浄時に被洗浄物が適度に加熱されている
ので最も良い加熱方法であり、真空乾燥時に、改めて温
風加熱や蒸気加熱によって被洗浄物を加熱する必要がな
くなり、円滑かつ迅速に真空乾燥の処理に移行すること
が可能となる。 上記の処理によって、ある程度の真空乾燥が完了した
ら、その後、開閉バルブＶ_E を開放して、洗浄槽１をさ
らに減圧して、被洗浄物を迅速かつ確実に乾燥させる。
なお、このとき、開閉弁Ｖ_C などを閉鎖しても良い。 真空乾燥の処理が終われば、開閉弁Ｖ_E ，Ｖ_C を閉じ
た後、開閉弁Ｖ_F を開放して洗浄槽１の減圧状態を解除
する。これによって被洗浄物ＷＲの取り出しが可能とな
る。

【００１１】〔第２実施例〕図４〜図６は、第２実施例
に係る真空洗浄装置ＥＱ２の構成を略記したものであ
り、それぞれ、蒸留再生時（図４）、蒸気洗浄時（図
５）、真空乾燥時（図６）を示している。この真空洗浄
装置ＥＱ２は、被洗浄物の蒸気洗浄および真空乾燥に用
いる洗浄槽１と、洗浄液を加温状態で貯留する加温槽２
と、沸騰した洗浄液を液化回収する減圧槽３と、前記の
各槽を所定の真空度にまで減圧する真空ポンプ５Ａ，５
Ｂと、冷却機構６ａを備えるコールドトラップ６と、洗
浄槽１の洗浄液を加温槽２に回収する回収ポンプ７Ａ
と、装置各部の連通管を開閉するバルブＶ_A 〜Ｖ_H と、
装置全体の動作を制御する制御部（図示せず）とで構成
されている。この洗浄装置ＥＱ２では、洗浄槽１に加熱
機構１４が設けられており、この洗浄槽１が、蒸気発生
槽を兼ねる点に大きな特徴がある。その他の点は、第１
実施例の場合とほぼ同様であり、同一の部分には同一の
番号が付番されている。

【００１２】以下、図４〜図６に示す真空洗浄装置ＥＱ
２について、その動作内容を説明する。 （１）非洗浄時の蒸留再生の動作 洗浄槽１に非洗浄物が投入されていない場合（図４参
照）には、開閉弁Ｖ_E ，Ｖ_F ，Ｖ_B ，Ｖ_H は閉鎖状態で
あり、開閉弁Ｖ_D ，Ｖ_C ，Ｖ_G は開放状態である。その
ため、洗浄槽１は真空ポンプ５Ｂの作用によって減圧さ
れる。なお、圧力計１３の計測値に応じて制御弁Ｖ_D が
開閉して、所定の真空度が維持される。この減圧状態に
おいて開閉弁Ｖ_A を開放すると、加温状態の洗浄液が洗
浄槽１に流入される。洗浄槽１には、洗浄液を沸騰させ
るに十分な加熱機構１４が設けられているので、流入し
た洗浄液は、減圧状態下、直ちに沸騰することになる。
そして、洗浄蒸気は、真空ポンプ５Ｂによって減圧槽３
に吸引され、減圧槽３の冷却機構３ａによって液化され
る。つまり、洗浄槽１に非洗浄物が投入されていない状
態では、加温槽２→洗浄槽１（蒸気発生槽）→減圧槽３
の蒸留再生ラインが構築されることになる。

【００１３】（２）蒸気洗浄時の動作 被洗浄物を蒸気洗浄する場合には、開閉弁Ｖ_A を閉じ
た状態で開閉弁Ｖ_B を開放し、回収ポンプ７Ａを運転さ
せて洗浄槽１の洗浄液を空にする。その後、真空ポンプ
５Ｂの運転を停止して、開閉弁Ｖ_C ，Ｖ_B ，Ｖ_G を閉じ
た後、開閉弁Ｖ_F を開放して洗浄槽１の減圧状態を解除
する。なお、適宜なタイミングで開閉弁Ｖ_H を開放し
て、蒸留再生された洗浄液を加温槽２に回収する。 次に、洗浄槽１に被洗浄物ＷＲを投入した後、開閉弁
Ｖ_E を開放して真空ポンプ５Ａの運転を開始する。その
後、洗浄槽１が所定の減圧状態に達したら、真空ポンプ
５Ａの運転を停止して開閉弁Ｖ_E を閉じる。 続いて、開閉弁Ｖ_C を開放して真空ポンプ５Ｂの運転
を開始すると共に、開閉弁Ｖ_A を一定時間だけ開放し
て、加温槽２の洗浄液を洗浄槽１に所定量だけ流入させ
る。洗浄槽１の加熱機構１４は、流入された洗浄液を沸
騰されるに十分な能力を有しているので、洗浄槽１で
は、被洗浄物ＷＲに対して蒸気洗浄が行われることにな
る（図５参照）。加熱機構１４により沸騰された洗浄蒸
気は、被洗浄物ＷＲにおいて液化される一方、減圧槽３
に導入された洗浄蒸気は、冷却機構３ａにおいて液化さ
れて蒸留再生される。 蒸気洗浄の処理が完了したら、開閉弁Ｖ_B を開放する
と共に、回収ポンプ７Ａを運転して、洗浄槽１に残って
いる洗浄液を加温槽２に回収する。なお、この動作に合
わせて、洗浄槽１の洗浄蒸気は、真空ポンプ５Ｂによっ
て、減圧槽３に吸収される。

【００１４】（３）真空乾燥時の動作 その後、開閉弁Ｖ_E を開放して真空ポンプ５Ａの運転
を開始して、真空ポンプ５Ａ，５Ｂによって洗浄槽１の
真空度を高める。すると、洗浄槽１の真空度が上がるこ
とに応じて洗浄液の沸点が低下して、被洗浄物ＷＲの表
面にある洗浄液が急激に乾燥してゆく。 そして、真空乾燥の処理が完了すれば、真空ポンプ５
Ａ，５Ｂの運転を停止して開閉弁Ｖ_E ，Ｖ_C を閉じた
後、開閉弁Ｖ_F を開放する。これにより洗浄槽１の減圧
状態が解除されるので、洗浄処理を終えた被洗浄物ＷＲ
を洗浄槽１から取り出すことができる。これ以降は、新
たな被洗浄物を洗浄槽１に投入して蒸気洗浄処理を行う
か、或いは、被洗浄物を投入することなく、加温槽２→
洗浄槽１（蒸気発生槽）→減圧槽３の蒸留再生ラインで
蒸留再生処理を行うことができる。

【００１５】〔第３実施例〕図７は、第３実施例に係る
真空洗浄装置ＥＱ３の構成を略記したものである。この
真空洗浄装置ＥＱ３は、被洗浄物の浸漬洗浄および真空
乾燥に用いる洗浄槽１と、洗浄液を加温状態で貯留する
加温槽２と、沸騰した洗浄液を液化回収する減圧槽３
と、洗浄液を減圧状態下で沸騰させる蒸気発生槽４と、
前記の各槽を所定の真空度にまで減圧する真空ポンプ５
と、冷却機構６ａを備えるコールドトラップ６と、洗浄
槽１と加温槽２の間で洗浄液を循環させる循環ポンプ７
と、装置各部の連通管を開閉するバルブＶ_A 〜Ｖ_I と、
装置全体の動作を制御する制御部（図示せず）とで構成
されている。第１実施例の場合と同様、加温槽２の洗浄
液は、加熱機構９によって沸騰しない程度に加温されて
いる一方、蒸気発生槽４の洗浄液は、加熱機構１０によ
って沸騰状態に加熱されている。減圧槽３には、冷却機
構３ａが設けられており、蒸気発生槽４から送られてく
る洗浄蒸気が液化回収されるようになっている。減圧槽
３と蒸気発生槽４とは、真空ポンプ５によって減圧され
るが、この実施例では、圧力計１３の計測値に応じて制
御バルブＶ_D が自動的に開閉されることにより、減圧槽
３や蒸気発生槽４が所定の減圧状態に維持されるように
なっている。

【００１６】続いて、上記の構成を備える真空洗浄装置
ＥＱ３について、その動作内容を説明する。 （１）非洗浄時の動作（蒸留再生）先ず、洗浄槽１には
被洗浄物が投入されておらず、洗浄槽１の開閉蓋１ａが
開放状態である場合について説明する。この真空洗浄装
置ＥＱ３では、開閉弁Ｖ_I は、被洗浄物を真空乾燥する
場合を除いて、常に開放状態になっているので、非洗浄
時にも、次の蒸留再生動作が行われることになる。な
お、このとき、開閉バルブＶ_E ，Ｖ_F ，Ｖ_B ，Ｖ_C ，Ｖ
_A，Ｖ_G は全て閉鎖状態である。減圧槽３と蒸気発生槽
４とは、真空ポンプ５によって所定の真空度にまで減圧
されているので、高沸点の洗浄液を用いた場合でも、比
較的低い温度において、蒸気発生槽４の洗浄液が沸騰す
ることになる。そして、沸騰した洗浄液は、減圧槽３に
導入された後、冷却機構３ａにおいて液化されて蒸留再
生される。このとき、開閉バルブＶ_H は、開放されてい
るので、蒸留再生された洗浄液は、減圧槽３から加温槽
２に回収される。また、加温槽２から蒸気発生槽４に
は、自動的に洗浄液が補給されるので、結局、蒸気発生
槽４→減圧槽３→加温槽２→蒸気発生槽４の蒸留再生ラ
インが構築されることになる。なお、真空ポンプ５に吸
引された洗浄蒸気は、コールドトラップ６の冷却機構６
ａにおいて液化されて加温槽２に回収される。

【００１７】（２）浸漬洗浄時の動作（浸漬洗浄＋蒸留
再生） 被洗浄物を浸漬洗浄する場合には、洗浄槽１の中に被
洗浄物を投入して開閉蓋１ａを密閉した後、先ず、開閉
バルブＶ_E を開放する。なお、このとき、開閉バルブＶ
_I ，Ｖ_H は開放状態であり、開閉バルブＶ_F ，Ｖ_B ，Ｖ
_C ，Ｖ_A ，Ｖ_Gは全て閉鎖状態である。開閉バルブＶ_E
を開放すると、洗浄槽１の空気は、真空ポンプ５によっ
て吸引されるので、圧力計８の計測値に基づいて、洗浄
槽１の真空度が加温槽２と同程度になるまで減圧する。
このようにして、洗浄槽１と加温槽２の真空度を同一に
すると、その後、開閉弁Ｖ_A ，Ｖ_G を開放すると、加温
槽２から洗浄槽１に洗浄液が自然流入されることにな
る。なお、上記の説明では、開閉バルブＶ_E を開放して
洗浄槽１を減圧したが、これに変えて、開閉バルブ
Ｖ_B ，Ｖ_C ，Ｖ_G のいずれかを開放して、洗浄槽１を減
圧するのでも良い。 開閉バルブＶ_A ，Ｖ_G を開放して被洗浄物ＷＲを浸す
まで洗浄液を満たしたら、次に、開閉バルブＶ_B を開い
て循環ポンプ７の運転を開始して洗浄液を循環させる。 所定時間の浸漬洗浄処理が完了すると、最初に、開閉
バルブＶ_A を閉じて洗浄液の供給を止める。そして、洗
浄槽１の洗浄液が空になると、開閉バルブＶ_B，Ｖ_G を
閉じて循環ポンプ７の運転を停止する。なお、これら
〜の動作中、蒸気発生槽４→減圧槽３→加温槽２→蒸
気発生槽４の蒸留再生ラインは連続して機能している。

【００１８】（３）真空乾燥時の動作 浸漬洗浄の動作が完了すると、開閉バルブＶ_I ，Ｖ_H
を閉じると共に、開閉バルブＶ_C を開放する。なお、開
閉バルブＶ_G ，Ｖ_A ，Ｖ_B ，Ｖ_F ，Ｖ_E は、既に閉鎖さ
れている。開閉バルブＶ_C が開放されたことにより、洗
浄槽１は、更に減圧されることになり、加温状態の被洗
浄物に付着している洗浄液は、真空乾燥されることにな
る。そして、減圧槽３に導入された洗浄蒸気は、冷却機
構３ａによって凝縮化される。 上記の処理によって、ある程度の真空乾燥が完了した
ら、その後、開閉バルブＶ_E を開放して、洗浄槽１をさ
らに減圧して、被洗浄物を迅速かつ確実に乾燥させる。
なお、このとき、開閉弁Ｖ_C などを閉鎖しても良い。 真空乾燥の処理が終われば、開閉弁Ｖ_E ，Ｖ_C を閉じ
た後、開閉弁Ｖ_F を開放して洗浄槽１の減圧状態を解除
する。これにより被洗浄物の取り出しが可能となり、ま
た、開閉弁Ｖ_E ，Ｖ_C を閉じた後、開閉弁Ｖ_I とＶ_H を
開放すれば、前述した蒸留再生動作が再開される。

【００１９】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１に係る真
空洗浄装置では、洗浄槽と加温槽と蒸留再生槽とが減圧
状態にあるので、可燃性溶剤であっても引火点以上に加
温することができる。そして、適度に加温された洗浄液
が供給されるので、洗浄液の洗浄力を向上させることが
できる。また、加温された洗浄液によって洗浄される過
程で被洗浄物が自動的に加温されるので、直ちに、以降
の真空乾燥に迅速に移行することができる。つまり、浸
漬洗浄の後に、改めて温風乾燥や蒸気加温する必要がな
く、最も効率の良い加熱方法である。また、請求項１に
係る真空洗浄装置は、洗浄槽と加温槽と蒸気発生槽とを
備えるので、洗浄動作を行いながら、同時に蒸留再生す
ることができて設備の簡素化を図ることができる。な
お、減圧機構は１つで足りるので、この点でも優れてい
る。請求項２に係る真空洗浄装置は、洗浄槽と加温槽と
減圧槽の３槽だけで構成されており簡素な設備でありな
がら、蒸留再生と蒸気洗浄と真空乾燥とを実現すること
が可能となる。また、加温槽と洗浄槽の内部に加熱機構
を備えているので、加温槽から供給された洗浄液を迅速
に沸騰させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施例に係る真空洗浄装置について、蒸留
再生の動作を説明する図面である。

【図２】第１実施例に係る真空洗浄装置について、浸浸
洗浄の動作を説明する図面である。

【図３】第１実施例に係る真空洗浄装置について、真空
乾燥の動作を説明する図面である。

【図４】第２実施例に係る真空洗浄装置について、蒸留
再生の動作を説明する図面である。

【図５】第２実施例に係る真空洗浄装置について、蒸気
洗浄の動作を説明する図面である。

【図６】第２実施例に係る真空洗浄装置について、真空
乾燥の動作を説明する図面である。

【図７】第３実施例に係る真空洗浄装置の構成を略記し
た図面である。

【符号の説明】

ＥＱ１ 真空洗浄装置 ＥＱ２ 真空洗浄装置 ＥＱ３ 真空洗浄装置 １ 洗浄槽 ２ 加温槽 ３ 減圧槽 ４ 蒸留再生槽（蒸気発生槽） ５ 減圧機構（真空ポンプ） ５Ａ 第１の減圧機構（真空ポンプ） ５Ｂ 第２の減圧機構（真空ポンプ） ７ 循環機構（循環ポンプ） ７Ａ 洗浄液回収機構（回収ポンプ） ９ 第１の加熱機構 １０ 第２の加熱機構 １４ 第２の加熱機構

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 減圧機構（５）に接続されており、被洗
   浄物の浸漬洗浄および真空乾燥に用いる洗浄槽（１）
   と、 第１の加熱機構（９）を備えて、加温状態の洗浄液を貯
   留している加温槽（２）と、 前記加温槽からの洗浄液を受け、これを第２の加熱機構
   （１０）によって更に加熱して沸騰させた後、冷却機構
   （４ａ）によって液化凝縮する蒸留再生槽（４）と、 前記減圧機構（５）に接続されて減圧されていると共
   に、前記加温槽に接続されていることにより、前記蒸留
   再生槽を減圧状態に維持する減圧槽（３）と、 前記洗浄槽および前記加温槽に接続され、前記加温槽に
   貯留されている加温状態の洗浄液を前記洗浄槽に供給す
   る一方、前記洗浄槽の洗浄液を前記加温槽に回収する循
   環機構（７）と、 を備えることを特徴とする真空洗浄装置。
2. 【請求項２】 第１の加熱機構（９）を備えて、加温状
   態の洗浄液を貯留している加温槽（２）と、 第２の加熱機構（１４）を備えると共に、第１の減圧機
   構（５Ａ）に接続されている洗浄槽（１）と、 第２の減圧機構（５Ｂ）に接続されて減圧されていると
   共に、前記洗浄槽および前記加温槽に接続されていて、
   前記洗浄槽からの洗浄蒸気を蒸留再生して前記加温槽に
   供給する減圧槽（３）と、 前記洗浄槽の洗浄液を前記加温槽に回収する洗浄液回収
   機構（７）とを備えており、 非洗浄時と蒸気洗浄時には、前記加温槽の洗浄液が前記
   洗浄槽に供給されて沸騰された後、この洗浄蒸気が前記
   減圧槽においてが液化回収される一方、 真空乾燥時には、前記洗浄液回収機構によって洗浄液が
   回収された後、適宜なタイミングで前記第１の減圧機構
   （５Ａ）が機能して、洗浄槽の真空度を上げることによ
   って被洗浄物を迅速に乾燥させるようにしたことを特徴
   とする真空洗浄装置。