JPH10513146A - Cvdによるエピタキシャル成長中にサセプターを保護する方法と装置 - Google Patents
Cvdによるエピタキシャル成長中にサセプターを保護する方法と装置Info
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Abstract
Description
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1.SiC、第III族元素の窒化物又はそれらの合金が化学蒸着によりサセプ ター(1)の表面に配置された基板(6)の上でエピタキシャル成長せしめられ るときに該サセプター(1)を保護する方法にして、該基板とその基板に供給さ れる該エピタキシャル成長用のガス混合物とが該サセプターを加熱することによ り加熱される方法において、SiC、SiCと成長される材料との合金又はその 成長される材料からできているプレート(5)が該サセプターに置かれ、そして 該基板はそのプレートの上に配置されていることを特徴とする、上記の方法。 2.SiCがエピタキシャル成長され、そして前記プレートがSiCプレート (5)であることを特徴とする、請求の範囲第1項に記載の方法。 3.前記プレート(5)がそのプレートの平面内で、前記ガス混合物の供給の 少なくとも上流の方向に、該プレート上に設けられた基板(6)より実質的に遠 くに延在するように選ばれることを特徴とする、請求の範囲第1項又は第2項に 記載の方法。 4.前記プレート(5)がそのプレートの平面内のあらゆる方向に、該プレー ト上に置かれた基板(6)より実質的に遠くに延在するように選ばれることを特 徴とする、請求の範囲第3項に記載の方法。 5.前記サセプター(1)に高結晶質のプレート(5)が適用されていること を特徴とする、請求の範囲第1〜4項のいずれかに記載の方法。 6.前記サセプター(1)を被覆しているSiC層(2)よりも実質的に厚い プレート(5)が該サセプターに適用されている、請求の範囲第1〜5項のいず れかに記載の方法。 7.前記ガス混合物が通って供給されるように意図されたチャンネルを備えた サセプター(1)にして、該チャンネルを取り囲む該サセプターの壁(4)が加 熱されるように配置されているそのサセプターのチャンネル(3)の底に、前記 プレート(5)が配置されていることを特徴とする、請求の範囲第1〜6項のい ずれかに記載の方法。 8.保護用SiC層(2)により覆われているグラファイトのサセプター(1 ) 上で実施されることを特徴とする、請求の範囲第1〜7項のいずれかに記載の方 法。 9.前記プレート(5)が前記の成長される材料からできているか、又は該材 料を実質的な成分として含んでいることを特徴とする、請求の範囲第1項に記載 の方法。 10.サセプター(1)にして、その表面に基板(6)を受容できるようにな っている該サセプター、及び該サセプターを加熱し、それによって該基板とその 基板に供給されるエピタキシャル成長用のガス混合物とを加熱する手段(8)を 含んで成る、該基板(6)の上でSiC、第III族元素の窒化物又はそれらの合 金を化学蒸着によりエピタキシャル成長させるための装置において、SiC、S iCと成長される材料との合金又はその成長される材料からできているプレート (5)にして、該サセプターに適用され、かつそのプレートの上面に該基板を受 容できるようになっているプレートを更に含んでいることをことを特徴とする、 上記の装置。 11.SiCがエピタキシャル成長され、そして前記プレートがSiCプレー ト(5)であることを特徴とする、請求の範囲第10項に記載の装置。 12.前記プレート(5)がそのプレートの平面内で、前記ガス混合物の供給 の少なくとも上流の方向に、該プレートが受容するようになっている基板(6) より遠くに延在するように配置されていることを特徴とする、請求の範囲第10 項又は第11項に記載の装置。 13.前記プレート(5)がそのプレートの平面内のあらゆる方向に、該プレ ートが受容するようになっている基板(6)より実質的に遠くに延在するように 配置されていることを特徴とする、請求の範囲第12項に記載の装置。 14.前記プレート(5)が高結晶質のものからできている、請求の範囲第1 0〜13項のいずれかに記載の装置。 15.前記プレート(5)が前記サセプター(1)を被覆しているSiC層( 2)よりも実質的に厚い、請求の範囲第10〜14項のいずれかに記載の装置。 16.前記サセプター(1)が、前記ガス混合物が通って供給されるように意 図されたチャンネル(3)を備え、ここで前記加熱手段(8)が該チャンネルを 取り囲んでいる該サセプターの壁(4)を加熱するようになっており、そして前 記プレート(5)が該チャンネルの底に設けられていることを特徴とする、請求 の範囲第10〜15項のいずれかに記載の装置。 17.前記サセプター(1)が保護用SiC層(2)により被覆されたグラフ ァイトからできていることを特徴とする、請求の範囲第10〜16項のいずれか に記載の装置。 18.前記プレート(5)が前記の成長される材料からできているか、又は該 材料を実質的な成分として含んでいることを特徴とする、請求の範囲第10項に 記載の装置。
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