JP2007150124A - 熱処理方法、熱処理装置用管体、およびこれを用いた熱処理装置 - Google Patents
熱処理方法、熱処理装置用管体、およびこれを用いた熱処理装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】ガラス状炭素からなり、外表面に耐酸化層を有する管体をプロセスチューブ1とし、かつ電磁誘導加熱の発熱体として用いる熱処理方法。プロセスチューブ1となる管体は、対向する平行な二面を有し、断面が扁平な部分を被処理物加熱領域として含む異形管とする。また、ガラス状炭素からなり、外表面に耐酸化層1aを有する管体又は対向する平行な二面を有する異形管をプロセスチューブとし、且つ管体の外側に電磁誘導加熱コイル3が配置され、気密にしたプロセスチューブ1内を加熱して内部の被処理物を熱処理する熱処理装置とする。
【選択図】図1
Description
この高速熱処理装置は、ガラス状炭素からなり、外表面に耐酸化層1aを有する管体1(プロセスチューブ1)の内部に被処理物Sを収容するようになっている。ガラス状炭素(GLC:Glass-Like Carbon,glassy carbon )は、グラファイトと同様に、高い導電性や耐熱性、化学安定性を備えた炭素材料であるが、グラファイトとは異なり、高い気密性(ガス不透過性)を有すると共に、酸化やカーボンダストの散逸等による消耗のおそれのない、高い耐摩耗性と強度を備えたものである。プロセスチューブ1は、このガラス状炭素を横断面が長円形の筒状に形成し、その外表面は耐酸化層1aを有する管体である。耐酸化層1aとしては、耐酸化性を有し、かつ基体であるガラス状炭素と親和性がよいセラミックスが適しており、これが基体の外表面を被覆する層となる。例えば、炭化珪素、窒化珪素、炭化ホウ素、窒化ホウ素などの単一膜、或いはこれらの適当な組み合わせからなる複合膜などが好適である。耐酸化性は、表面に安定で緻密な酸化物を形成する元素を含むことにより達成される。また膜の厚みとしては10〜20μm程度が好適である。但し、膜の材質や厚みは上記に限定されるものではなく、適宜変更できる。
或いは、図4に示すように、プロセスチューブ1は、一方はフランジ4に着脱自在となるようにするとともに、他方はガス導入管8を接続して不活性ガス等を導入し、前記フランジ4に排出口(図示省略)を設けるようにしても良い。
1a 耐酸化層
2 石英チューブ
3 電磁誘導加熱コイル
8 ガス導入管
S 被処理物
Claims (4)
- 気密にしたプロセスチューブ内を加熱して内部の被処理物を熱処理する熱処理方法において、ガラス状炭素からなり、外表面に耐酸化層を有する管体をプロセスチューブとし、かつ電磁誘導加熱の発熱体として用いることを特徴とする熱処理方法。
- ガラス状炭素からなり、外表面に耐酸化層を有することを特徴とするプロセスチューブ兼発熱体用管体。
- 対向する平行な二面を有し、断面が扁平な部分をワーク加熱領域として含む 異形管であることを特徴とする、請求項2の管体。
- 気密にしたプロセスチューブ内を加熱して内部の被処理物を熱処理する熱処理装置において、請求項2,3のいずれかに記載の管体を用いると共に、この管体の外側に電磁誘導加熱コイルが配置されたことを特徴とする熱処理装置。
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