JPH10509989A - フレームへの光学ペリクル膜の接着方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 光学ペリクル（１１０）をそのフレーム（１１６）に装着するに当って使用するための１００％固体接着剤乳濁液が、フリーラジカル硬化機により硬化できる樹脂を有する第一成分、フルオロカーボン化合物を含む第二成分、界面活性剤及び開始剤を含む。各成分は、有効量の開始剤、約０．１〜５容量％の界面活性剤、約２〜４０％の第二成分、及び残余第一成分を含む接着剤乳濁液に乳化することができる。第一成分はメルカプト−エステルポリマー樹脂及びアクリレートモノマー樹脂を含むことができる。第二成分は、弗素化アクリレートモノマーペンタデカフルオロオクチルアクリレート及びオクタフルオロペンチルアクリレートの如きアクリレート官能基を含有するフルオロカーボン化合物を含むことができる。複数の上方平面で、ペリクルフレーム（１１６）に光学ペリクル膜（１１０）を接着するための方法も記載する。

Description

【発明の詳細な説明】 フレームへの光学ペリクル膜の接着方法 乳剤液システム；１００％固体接着剤乳濁液システ ムを混合するペリクルシステム発明の背景 本発明は、光学システムで使用する接着剤に関する、特にフレームに光学ペリ クル（pellicle）を装着するための１００％固体接着剤乳濁液に関する。 近年において、各種の光学要素、例えばペリクル、レンズ等が、半導体集積回 路で使用する半導体ウエハーの加工に重要な役割を果している。当業者に良く理 解されているように、光学ペリクルは、ウエハー加工に要求される各種写真平版 工程で使用されるフォトマスクに対する汚れ防止保護を提供する。 代表的な光学ペリクルは、環状フレーム上に支持され、その全体が写真平版中 にフォトレジスト被覆ウエハー上に置かれた非常に薄い光学フィルムの形をとる 。最も有効であるためには、ペリクルは、フォトマスクの汚れを防止することに 加えて、写真平版中使用される光の波長での非常に高度の光学透過率を示すべき である。 過去においては、代表的にはニトロセルロース又はセルロースアセテートから 形成された単一層ペリクルが広く使用され成功していたが、かかるペリクルを用 いて得ることのできるものよりも、高度の透過率の使用を所望する多くの例があ る。、このため、反射防止被覆を含む複数層の製造が利用されている。一つのか かる被覆シスエムは、反射防 止被覆を含む複合光学要素の発明の名称の米国特許No．４７５９９９０に記載さ れている。この特許は、基層、有機中間層、及び中間層の面上に適用された外側 フルオロカーボン被覆を含む複数層光学ペリクルを記載している。 ペリクル膜（pellicle membranes）上での反射防止（ＡＲ−）被覆の使用は 、ペリクルフレームへの膜の無効な接着に関する一定の問題を生ぜしめる。従来 のペリクル接着剤及びそれを用いた装着法は、被覆ペリクル膜とフレームの間の 必要な結合を提供するには役に立たなかった。 電気通信分野において、同様の問題が、フルオロポリマー被覆光学繊維を一緒 に接着することに関して遭遇した。 ペリクル適用のための一つの従来の提案、例えば光学膜のための装着製造の発 明の名称でのヨーロッパ特許No．０２３５４２８は、ペリクルフレームに接着さ れるペリクル膜の部分からＡＲ−被覆を除去することを含んでいる。かくしてニ トロセルロース、セルロースアセテート又は他の基層は、この時ペリクル膜に直 接適用される。 ＡＲ−被覆の部分除去は、加工工程で追加の工程を必要とし、又一つの層が部 分的に除去されている膜面を提供する欠点も有する。かかる面は、除去工程中に 発生する追加の望ましからぬ微粒子源となりうる。かかる微粒子は、顕微鏡的な 大きさであるが、重大な問題を有する、何故なら、ペリクルは微粒子をフォトマ スク上に落下することから防ぐ機能を果すからである。かかる微粒子をフォトマ スクから除去しないと、集積回路がエッチングされるウエハー中に再現される。 これは、短い波長、いわゆる遠ＵＶ光を 使用する場合特に真である。かかる光は、一定のウエハー面積中にエッチングで きる集積回路部品の数を増大させるため、２４８〜１９３ナノメーター（ｎｍ） の波長で使用される。 ペリクルフレームへのＡＲ−被覆の接着の問題を処理する計画もある。一つの かかる計画は、ペリクル構造及びその製造法の発明の名称の、フジタ等のヨーロ ッパ特許Ｎｏ．４８８７８８Ａ１に記載されている。その特許には、熱硬化性ア クリル樹脂、テトラヒドロフルフリルアクリレート又はフェノキシエチルアクリ レート、及び芳香族溶剤の如き溶剤を用いた溶剤基接着剤システムの使用を論じ ている。フジタ等は、ＡＲ−被覆層の前もっての除去を必要とせず、そして顕微 鏡的微粒子を発生する危険なしに、フレームとＡＲ−被覆ペリクル膜を結合する ために接着剤システムを使用することを述べている。 フジタ等の提案を用いたときの問題は、膜がペリクルフレームになお適切に結 合されず、従ってペリクルシステムが所望されるよりも短い寿命を有することに ある。即ち膜とフレームの間の結合が、時間超過すると破壊し、又は時々フォト マスクへペリクルを装着する前に利用される空気吹付け清浄化操作を受けるとき 破壊する。 フジタ等の提案の別の問題は、製造及び安全の観点から望ましくない溶媒基シ ステムであることにある。 従って本発明の目的は、先行技術提案の欠点及び制限を克服するペリクル膜接 着剤システムを提供することにある。特に本発明は、その目的として、次のこと 、（１）フレ ームにＡＲ−被覆光学要素を確実に結合するためのシステムを開発すること；（ ２）微粒子を発生する可能性を最少にする被覆ペリクル膜のためのペリクル装着 システムを提供すること；（３）ＡＲ−被覆の一部を除去する中間工程を必要と せず、フレームにＡＲ−被覆光学ペリクルを接着するためのシステムを開発する こと；及び（４）ペリクルシステム全体の安定性／耐久性に有害な影響を与える ことなくフレームにＡＲ−被覆光学膜を結合するための接着剤を提供することに ある。発明の概要 要約すると、本発明の一つの観点では、例えば多数のフルオロポリマー被覆光 学繊維を接着すること、又は光学ペリクルをそのフレームに装着することを含む 任意の種類の多数のフルオロポリマー被覆物品を共に接着するのに有効である１ ００％固体接着剤乳濁液を含む。接着剤乳濁液は、フレーラジカル硬化機構によ り硬化できる樹脂を含む第一成分、及びフルオロカーボン化合物を含む第二成分 を含む。接着剤乳濁液は又界面活性剤及び開始剤も含む。形成される接着剤乳濁 液は有効量の開始剤、約０．１〜５容量％の界面活性剤、約２〜４０％の第二成 分、及び残余第一成分を含む。 好ましくは、第一成分は、メルカプトエステルポリマー樹脂及びアクリレート モノマー樹脂を含む。第一成分の例には、商標 Norland Optical Adhesive ６ ５で市販されている樹脂、及び商標Master Bond Polymer System ＵＶ１５− ７で市販されている樹脂を含む。 好ましくは第二成分は、アクリレート官能基を含有するフルオロカーボン化合 物を含む。弗素化アクリレートモノマーが更に好ましい。第二成分としてペンタ デカフルオロオクチルアクリレート又はオクタフルオロペンチルアクリレートを 使用することができる。 本発明の別の観点は、複数の上方平面を有するペリクルフレームに光学ペリク ル膜を接着する方法を含む。この方法は、（１）フリーラジカル硬化機構によっ て硬化できる樹脂を含む第一成分、フルオロカーボン化合物を含む第二成分、界 面活性剤、及び開始剤を選択する工程、（２）樹脂成分、モノマー成分、界面活 性剤及び開始剤を所望の混合比で混合することによって接着剤乳濁液を形成する 工程、（３）ペリクル膜の下側の外縁に隣接するペリクルフレームの上方平面の 少なくとも一つに接着剤乳濁液の被覆を適用する工程、（４）フレームの面をペ リクル膜の下側に押圧する工程、及び（５）フレーム装着膜を硬化して接着剤乳 濁液を硬化する工程を含む。 好ましくは、本発明の方法は、硬化工程を行う前に、一定時間フレーム装着膜 を置く工程も含む。、又硬化工程は、光硬化又は加熱硬化の如き適切な硬化機構 によって達成することができる。 本発明の更に別の観点では、写真平版に使用するためのペリクルシステムを含 み、このシステムは、外側部域を含む底面を有するペリクル膜、及び上面を有す るペクリルフレームを含む。膜はフレーム上に位置させることができ、かくして 外方部域はフレームの上面と接触できる。接着剤 乳濁液は膜の外側部域とフレームの上面の間に置く、そして接着剤乳濁液を最後 には硬化して、フレームの上面に膜の外側部域を接合できる。 本発明のこの概要は、光学ペリクルシステムと接着剤の使用を示したが、本発 明は、フレームに装着するかしないかの他のＡＲ−被覆光学要素にも同等に適用 できる。 本発明の他の目的及び特長は、この説明を続けると更に明らかになるであろう 。図面の簡単な説明 図１は、除去された反射防止被覆の一部の位置を示すため拡大した先行技術シ ステムの側立面断面略図である。 図２は、本発明の接着剤乳濁液を用いたときペリクルフレーム上に置かれた被 覆光学膜を示す側立面図である。 図３は図２と同様で、本発明の接着剤乳濁液を用いてペリクルフレームに接着 させることによってペリクルフレームに装着した膜を有するペリクルシステムを 示す。好ましい実施態様の詳細な説明 前述した如く、本発明の好ましい態様は、ＡＲ−被覆ペリクル膜をそのフレー ムに装着するために主として使用できる１００％固体接着剤乳濁液を含む。しか しながら、本発明の接着剤乳濁液は、例えば多数のフルオロポリマー被覆光学繊 維を含む任意の種類の複数のフルオロポリマー被覆物品を接着するために有効で ある。図１はペリクルフレーム１６と被覆されたペリクル膜１０の間の界面１４ で予め除去されているＡＲ−被覆の区分を有する少なくとも一つの反射防止（Ａ Ｒ−）被覆１２で被覆されたペリクル膜 １０を有する先行技術のシステムを示す。この従来システムはＡＲ−被覆層の区 分を除去する追加工程を必要とするばかりでなく、例えば１８で略示したＡＲ− 被覆の外側周囲面積から発生した微粒子又は屑の可能性も提供する。 更に図１を参照すると、観察者は、ＡＲ−被覆の除去後残っているペリクル膜 の区分が、ペリクルフレームに結合している区分であることを認めるであろう。 その区分は、被覆膜全体よりも薄く、ＡＲ−被覆除去工程中損傷を受けるか弱化 されることがある。膜１０がペリクルフレーム１６に適切に結合しないことがあ る可能性がある。又ＡＲ−被覆の一部を除去する余分の工程を行う必要があり、 これによってこの方法により作られるペリクルシステムの製造原価の増大を必ず 生ぜしめる。 図２は、膜の底面１１２ａに適用したＡＲ−被覆層１１２を有する光学膜１１ ０を略示する。被覆膜は、ペリクルフレーム１１６に、フレームの上面１１６ａ で装着されるべきである。膜１１０は、フレーム１１６上に置くことができ、従 って外側部域１１２ａ ₁はフレームの上面１１６ａと接触できる。 図３は図２と同様であり、本発明の接着剤乳濁液がフレームの上面１１６ａに 適用されており、新しい接着剤層１１８が外側部域１１２ａ ₁でＡＲ−被覆層を 置換している。その新しい層は、本発明の接着剤乳濁液がＡＲ−被覆層と反応し 、被覆膜とフレームの間の安定な結合を与える化学化合物１１８を形成すること から形成される。本発明の接着剤乳濁液を上面１１６ａに適用したとき、それは 膜の 外側部域とフレームの上面の間にあり、前述した如く、最後に硬化してフレーム の上面に膜の外側部域を接着することができる。 本発明の接着剤乳濁液を用いることによって、余分な従来のＡＲ−被覆除去工 程は省略される。 本発明の接着剤乳濁液は、フレームに光学ペリクルを装着するに当って使用す るための１００％固体接着剤乳濁液である。それは（１）フリーラジカル硬化機 構により硬化できる樹脂を含む第一成分、（２）フルオロカーボン化合物を含む 第二成分、（３）界面活性剤及び（４）開始剤を含む。各成分は、説明する装置 を用いて、乳化して接着剤乳濁液にすることができ、これは有効量の開始剤、約 ０．１〜５容量％の界面活性剤、約２〜４０％の第二成分、及び残余第一成分を 含む。 第一成分は好ましくはメルカプト−エステルポリマー樹脂及びアクリレートモ ノマー樹脂を含む。第一成分の例には、商標 Norland Optical Adhesive ６５ で市販されている樹脂、及び商標Master Bond Polymer System ＵＶ１５−７ で市販されている樹脂を含む。 第二成分は好ましくは、弗素化アクリレートモノマーの如きアクリレート官能 基を含有するフルオロカーボン化合物を含む。好ましい化学構造式は次の通りで ある： 式中Ｒ₁，Ｒ₂，Ｒ₃又はＲ₄中に少なくとも１個の弗 素原子が存在し、Ｒ₃は１０個以下の炭素原子を含有し、Ｒ₄は５個より大なる炭 素原子を含有する。 第二成分の例にはペンタデカフルオロオクチルアクリレート又はオクタフルオ ロペンチルアクリレートを含む。 界面活性剤は、好ましくは弗素化されており、商標ＦＬＵＯＲＡＤ ＦＣ−４ ３１又はＦＬＵＯＲＡＤ ＦＣ−４３０で市場で入手できるものの如きフルオロ 脂肪族ポリマーエステルの形をとる。 本発明の接着剤乳濁液は又パーオキサイドの如き適切な開始剤も含む。 接着剤乳濁液の各成分は、通常機械的混合機、ホモジナイザー又はブレンダー を用いて乳化される。好ましいホモジナイザーは、Biospec Products，Inc.よ り市販され、商標Tissue Tearer，Model no.９８５−３７０で市販されている 。 乳濁液は、約１〜１０分間、室温で前記混合物の約２０〜５０ｍｌを混合して 作られる。形成される接着剤乳濁液は比較的安定であり、約２日の保存寿命を有 する。２日より大なる保存時間のためには、接着剤乳濁液を上述した如く再混合 して乳濁液を更新すべきである。接着剤乳濁液を使用してペリクルをそのフレー ムに装着するために、接着剤は、ペリクルフレームの上面１１６ａに通常適用す る。或いは接着剤乳濁液はペリクル膜の下側に適用できる、又は膜とフレームの 両方に適用できる。乳濁液をフレームに適用するとき、自動加圧シリンジディス ペンサーを用いてスプレーする。外直径１２０×９８ｍｍ、幅２ｍｍの四角 形ペリクルを利用するとき、約７〜８ｍｇの接着剤乳濁液を使用する。これはペ リクルフレームの上面に沿って接着剤乳濁液の比較的均一な適用を生ぜしめる。 下記方法は、フレーム上にペリクル膜を装着し、接着剤乳濁液を硬化するため に使用する。第一に、膜をペリクルフレーム上に置き、数分間それに重りを加え 、ペリクルフレームに膜を装着する。ＵＶ光を適用する前に少なくとも約１分間 置いておく。明らかにこの遅延は、本発明の接着剤乳濁液をＡＲ−被覆と完全に 反応させ、それを、図３の１１８で示す如く新しい化合物で置換する。数分間の 固定時間後、そして膜になお重りが加えられている間に、約１〜５分間ＵＶ光に 暴露することによって接着剤乳濁液を硬化する。使用する代表的なＵＶ光源は、 ３００ワット中圧水銀ランプであり、これは膜から約８インチの間隔で置く。硬 化後、膜はフレームの周囲でトリミングし、それを使用に供するため包装する。 本発明の方法から見て、この方法は前述した接着剤乳濁液を用いることを含む 。選択工程は、フリーラジカル硬化機構により硬化しうる樹脂を含む第一成分、 フルオロカーボン化合物を含む第二成分、界面活性剤、及び開始剤を選択するこ とを含む。形成工程は、前述した如き一定の混合比で、樹脂成分、モノマー成分 、界面活性剤及び開始剤を混合して接着剤乳濁液を形成することを含む。適用工 程は、ＡＲ−被覆層の外側部域１１２ａに隣接するペリクルフレーム１１６の上 方平面１１６ａの少なくとも一つに接着剤乳濁液の被覆を適用することを含む。 加圧工程は、フレ ームの面をペリクル膜の下側に押圧することを含み、硬化工程は、接着剤乳濁液 を硬化するため、フレーム装着膜を硬化することを含む。 好ましくは選択工程は、メルカプト−エステルポリマー樹脂及びアクリレート モノマー樹脂を含む第一成分を選択すること、及び下記化学構造式を有する化合 物を含む第二成分を選択することを含む： 式中Ｒ₁，Ｒ₂，Ｒ₃又はＲ₄中に少なくとも１個の弗素原子があり、Ｒ₃は１０ 個以下の炭素原子を含有し、Ｒ₄は５個より大なる炭素原子を含有する。 又この方法は好ましくは、硬化工程を行う前に、フレーム装着膜１１０を少な くとも１分、好ましくは１〜３分の一定時間固定しておく工程を含む。 本発明のペリクルシステムにおいて、底面１１６ａに適用したＡＲ−被覆層１ １２を有するペリクル膜１１０、上面１１６ａを有するペリクルフレーム１１６ を含む写真平版に使用するためのペリクルシステムがある。ＡＲ−被覆層１１２ の外側部域１１２ａは、フレーム上に置くことができ、かくして外側部域はフレ ームの上面と接触することができる。ペリクルが非被覆であるときには、底面１ １６ａの外側部域はフレーム上に置くことができ、かくすると外側部域はフレー ムの上面と接触できる。接着剤乳濁液は 、膜の外側部域とフレームの上面の間に置く、そして接着剤乳濁液は最後に硬化 してフレームの上面に膜の外側部域を接着できる。 本発明は、フレームにＡＲ−被覆光学要素を確実に結合するための接着剤乳濁 液を提供することにより、そして微粒子を生ぜしめる可能性を最少にする被覆ペ リクル膜のためのペリクル装着システムを提供することによってその目的を達成 する。又本発明は、ＡＲ−被覆の一部の除去をする中間工程の必要なく、フレー ムにＡＲ−被覆光学ペリクルを接着するための接着剤乳濁液も提供し、ペリクル システム全体の安定性／耐久性に有害な影響を与えることなく、フレームにＡＲ −被覆光学膜を結合するための接着剤乳濁液も提供する。 本発明の接着剤乳濁液は、フルオロポリマー被覆光学繊維を接着するための電 気通信分野においても使用できた。 従って本発明の好ましい実施態様をここに説明したが、本発明の範囲内での改 変が可能であることが認められる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＤＥ， ＤＫ，ＥＳ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，ＬＵ，Ｍ Ｃ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ，ＣＦ，ＣＧ ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＭＬ，ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ， ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＫＥ，ＭＷ，ＳＤ，ＳＺ，ＵＧ)， ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ，Ｃ Ｈ，ＣＮ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＥ ，ＨＵ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＫ， ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＮ，ＭＷ，ＮＯ，Ｎ Ｚ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＩ，ＳＫ ，ＴＪ，ＴＴ，ＵＡ，ＵＺ，ＶＮ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １． フリーラジカル硬化機構により硬化できる樹脂を含む第一成分； フルオロカーボン化合物を含む第二成分； 界面活性剤； 開始剤を含み、 各成分は、開始剤の有効量、約０．１〜５容量％の界面活性剤、約２〜４０％ の第二成分、及び残余第一成分を含む接着剤乳濁液に乳化できることを特徴とす る複数のフルオロポリマー被覆物品を接着するための１００％固体接着剤乳濁液 。 ２． 第二成分が、アクリレート官能基を含有するフルオロカーボン化合物を 含む請求項１記載の接着剤乳濁液。 ３． 第二成分が、弗素化アクリレートモノマーを含む請求項２記載の接着剤 乳濁液。 ４． 第二成分が、下記化学構造式： （式中Ｒ₁，Ｒ₂，Ｒ₃又はＲ₄中に少なくとも１個の弗素原子があり、Ｒ₃は１０ 個以下の炭素原子を含有し、Ｒ₄は５個より大なる炭素原子を含有する）を有す る請求項３記載の接着剤乳濁液。 ５． 第二成分が、ペンタデカフルオロオクチルアクリレ ート又はオクタフルオロペンチルアクリレートからなる群から選択した化合物を 含む請求項３記載の接着剤乳濁液。 ６． 第一成分が、メルカプト−エステルポリマー樹脂及びアクリレートモノ マー樹脂を含有する請求項１，２，３，４又は５記載の接着剤乳濁液。 ７． 第一成分が、商標 Norland Optical Adhesive ６５で市販されている 樹脂を含む請求項１，２，３，４又は５記載の接着剤乳濁液。 ８． 第一成分が、商標Master Bond Polymer System ＵＶ１５−７で市 販されている樹脂を含む請求項１，２，３，４又は５記載の接着剤乳濁液。 ９． 界面活性剤が弗素化されている請求項１，２，３，４又は５記載の接着 剤乳濁液。 10． 界面活性剤が、フルオロ脂肪族ポリマーエステルを含む請求項９記載の 接着剤乳濁液。 11． 界面活性剤を、商標ＦＬＵＯＲＡＤ ＦＣ−４３１又はＦＬＵＯＲＡＤ ＦＣ−４３０で市販されているフルオロ脂肪族ポリマーエステルからなる群か ら選択する請求項１０記載の接着剤乳濁液。 12． フリーラジカル硬化機構により硬化できる樹脂を含む第一成分； フルオロカーボン化合物を含む第二成分； 界面活性剤； 開始剤を含み、 各成分は、開始剤の有効量、約０．１〜５容量％の界面活性剤、約２〜４０％ の第二成分、及び残余第一成分を含 む接着剤乳濁液に乳化できることを特徴とする光学ペリクルをそのフレームに装 着するのに使用するための１００％固体接着剤乳濁液。 13． 第二成分が、アクリレート官能基を含有するフルオロカーボン化合物を 含む請求項１２記載の接着剤乳濁液。 14． 第二成分が、弗素化アクリレートモノマーを含む請求項１３記載の接着 剤乳濁液。 15． 第二成分が、下記化学構造式： （式中Ｒ₁，Ｒ₂，Ｒ₃又はＲ₄中に少なくとも１個の弗素原子があり、Ｒ₃は１０ 個以下の炭素原子を含有し、Ｒ₄は５個より大なる炭素原子を含有する）を有す る請求項１４記載の接着剤乳濁液。 16． 第二成分が、ペンタデカフルオロオクチルアクリレート又はオクタフル オロペンチルアクリレートからなる群から選択した化合物を含む請求項１４記載 の接着剤乳濁液。 17． 第一成分が、メルカプト−エステルポリマー樹脂及びアクリレートモノ マー樹脂を含む請求項１２，１３，１４，１５又は１６記載の接着剤乳濁液。 18． 第一成分が、商標 Norland Optical Adhesive ６５で市販されている 樹脂を含む請求項１２，１３，１４， １５又は１６記載の接着剤乳濁液。 19． 第一成分が、商標Master Bond Polymer System ＵＶ１５−７で市 販されている樹脂を含む請求項１２，１３，１４，１５又は１６記載の接着剤乳 濁液。 20． 界面活性剤が弗素化されている請求項１２，１３，１４，１５又は１６ 記載の接着剤乳濁液。 21． 界面活性剤が、フルオロ脂肪族ポリマーエステルを含む請求項２０記載 の接着剤乳濁液。 22． 界面活性剤を、商標ＦＬＵＯＲＡＤ ＦＣ−４３１又はＦＬＵＯＲＡＤ ＦＣ−４３０で市販されているフルオロ脂肪族ポリマーエステルからなる群か ら選択する請求項２１記載の接着剤乳濁液。 23． 多数の上方平面を有するペリクルフレームに光学ペリクル膜を接着する 方法において、前記方法が： フリーラジカル硬化機構により硬化できる樹脂を含む第一成分、フルオロカー ボン化合物を含む第二成分、界面活性剤、及び開始剤を選択し； 樹脂成分、モノマー成分、界面活性剤及び開始剤を一定の混合比で混合するこ とにより接着剤乳濁液を形成し； ペリクル膜の下側の外縁に隣接するペリクルフレームの上方平面の少なくとも 一つに接着剤乳濁液の被覆を適用し； フレームの面をペリクル膜の下側に押圧し；そして フレーム装着膜を硬化して、接着剤乳濁液を硬化することからなる接着剤乳濁 液を導入することを特徴とする方法。 24． 選択工程が、メルカプト−エステルポリマー樹脂及びアクリレートモノ マー樹脂を含む第一成分を選択し、下記化学構造式： （式中Ｒ₁，Ｒ₂，Ｒ₃又はＲ₄中に少なくとも１個の弗素原子があり、Ｒ₃は１０ 個以下の炭素原子を含有し、Ｒ₄は５個より大なる炭素原子を含有する）を有す る化合物を含む第二成分を選択することを含む請求項２３記載の方法。 25． 更に、フレーム装着膜を、光硬化工程を行う前に一定時間置いておく工 程を含む請求項２３記載の方法。 26． 上面を有するペリクルフレーム； 外側部域を有する底面を有するペリクル膜（この膜は、外方部域がフレームの 上面と接触できるようにフレーム上に置くことができる）； 及びフレームの上面及び膜の外側部域の間に置く接着剤乳濁液（接着剤乳濁液 は、最後にはフレームの上面に膜の外側部域を取付けるため硬化できる） を含むことを特徴とする写真平版に使用するためのペリクルシステム。 27． 上面を有するペリクルフレーム； 反射防止被覆層で被覆された底面を有し、被覆された底面は外側部域も有する ペリクル膜（膜は、外側部域がフレ ームの上面と接触できるようフレーム上に置くことができる）； 及びフレームの上面及び膜の外側部域の間に置く接着剤乳濁液（接触剤乳濁液 は、最後にはフレームの上面に膜の外側部域を取り付けるため硬化できる） を含むことを特徴とする写真平版に使用するためのペリクルシステム。 28． 上面を有するペリクルフレーム； 反射防止層で被覆された底面を有し、被覆された底面は外側部域も有するペリ クル膜（膜は、外側部域がフレームの上面と接触できるようフレーム上に置くこ とができる）； 及び最後には、フレームの上面に膜の外側部域を取り付けるため、硬化した接 着剤乳濁液を介して共に接着されているフレームの上面及び膜の外側部域 を含むことを特徴とする写真平版に使用するためのペリクルシステム。