JP3405732B2 - フレームへの光学ペリクル膜の接着方法 - Google Patents
フレームへの光学ペリクル膜の接着方法Info
- Publication number
- JP3405732B2 JP3405732B2 JP51109496A JP51109496A JP3405732B2 JP 3405732 B2 JP3405732 B2 JP 3405732B2 JP 51109496 A JP51109496 A JP 51109496A JP 51109496 A JP51109496 A JP 51109496A JP 3405732 B2 JP3405732 B2 JP 3405732B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- component
- frame
- pellicle
- emulsion adhesive
- surfactant
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
- C08J5/00—Manufacture of articles or shaped materials containing macromolecular substances
- C08J5/12—Bonding of a preformed macromolecular material to the same or other solid material such as metal, glass, leather, e.g. using adhesives
- C08J5/124—Bonding of a preformed macromolecular material to the same or other solid material such as metal, glass, leather, e.g. using adhesives using adhesives based on a macromolecular component
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/62—Pellicles, e.g. pellicle assemblies, e.g. having membrane on support frame; Preparation thereof
- G03F1/64—Pellicles, e.g. pellicle assemblies, e.g. having membrane on support frame; Preparation thereof characterised by the frames, e.g. structure or material, including bonding means therefor
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
- C08J2327/00—Characterised by the use of homopolymers or copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by a halogen; Derivatives of such polymers
- C08J2327/02—Characterised by the use of homopolymers or copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by a halogen; Derivatives of such polymers not modified by chemical after-treatment
- C08J2327/12—Characterised by the use of homopolymers or copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by a halogen; Derivatives of such polymers not modified by chemical after-treatment containing fluorine atoms
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Polymers & Plastics (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Closing Of Containers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
乳剤液システム;100％固体乳濁接着剤システムを混合
するペリクルシステム 発明の背景 本発明は、光学システムで使用する接着剤に関する。
特にフレームに光学ペリクル（pellicle）を装着するた
めの100％固体乳濁接着剤に関する。
するペリクルシステム 発明の背景 本発明は、光学システムで使用する接着剤に関する。
特にフレームに光学ペリクル（pellicle）を装着するた
めの100％固体乳濁接着剤に関する。
近年において、各種の光学要素、例えばペリクル、レ
ンズ等が、半導体集積回路で使用する半導体ウエハーの
加工に重要な役割を果している。当業者に良く理解され
ているように、光学ペリクルは、ウエハー加工に要求さ
れる各種写真平版工程で使用されるフォトマスクに対す
る汚れ防止保護を提供する。
ンズ等が、半導体集積回路で使用する半導体ウエハーの
加工に重要な役割を果している。当業者に良く理解され
ているように、光学ペリクルは、ウエハー加工に要求さ
れる各種写真平版工程で使用されるフォトマスクに対す
る汚れ防止保護を提供する。
代表的な光学ペリクルは、環状フレーム上に支持さ
れ、その全体が写真平版中にフォトレジスト被覆ウエハ
ー上に置かれた非常に薄い光学フィルムの形をとる。最
も有効であるためには、ペリクルは、フォトマスクの汚
れを防止することに加えて、写真平版中使用される光の
波長での非常に高度の光学透過率を示すべきである。
れ、その全体が写真平版中にフォトレジスト被覆ウエハ
ー上に置かれた非常に薄い光学フィルムの形をとる。最
も有効であるためには、ペリクルは、フォトマスクの汚
れを防止することに加えて、写真平版中使用される光の
波長での非常に高度の光学透過率を示すべきである。
過去においては、代表的にはニトロセルロース又はセ
ルロースアセテートから形成された単一層ペリクルが広
く使用され成功していたが、かかるペリクルを用いて得
ることのできるものよりも、高度の透過率の使用を所望
する多くの例がある。このため、反射防止被覆を含む複
数層の製造が利用されている。一つのかかる被覆システ
ムは、反射防止被覆を含む複合光学要素の発明の名称の
米国特許No.4759990に記載されている。この特許は、基
層、有機中間層、及び中間層の面上に適用された外側フ
ルオロカーボン被覆を含む複数層光学ペリクルを記載し
ている。
ルロースアセテートから形成された単一層ペリクルが広
く使用され成功していたが、かかるペリクルを用いて得
ることのできるものよりも、高度の透過率の使用を所望
する多くの例がある。このため、反射防止被覆を含む複
数層の製造が利用されている。一つのかかる被覆システ
ムは、反射防止被覆を含む複合光学要素の発明の名称の
米国特許No.4759990に記載されている。この特許は、基
層、有機中間層、及び中間層の面上に適用された外側フ
ルオロカーボン被覆を含む複数層光学ペリクルを記載し
ている。
ペリクル膜（pellicle membranes）上での反射防止
（AR−）被覆の使用は、ペリクルフレームへの膜の無効
な接着に関する一定の問題を生ぜしめる。従来のペリク
ル接着剤及びそれを用いた装着法は、被覆ペリクル膜と
フレームの間の必要な結合を提供するには役に立たなか
った。
（AR−）被覆の使用は、ペリクルフレームへの膜の無効
な接着に関する一定の問題を生ぜしめる。従来のペリク
ル接着剤及びそれを用いた装着法は、被覆ペリクル膜と
フレームの間の必要な結合を提供するには役に立たなか
った。
電気通信分野において、同様の問題が、フルオロポリ
マー被覆光学繊維を一緒に接着することに関して遭遇し
た。ペリクル適用のための一つの従来の提案、例えば光
学膜のための装着製造の発明の名称でのヨーロッパ特許
No.0235428は、ペリクルフレームに接着されるペリクル
膜の部分からAR−被覆を除去することを含んでいる。か
くしてニトロセルロース、セルロースアセテート又は他
の基層は、この時ペリクル膜に直接適用される。
マー被覆光学繊維を一緒に接着することに関して遭遇し
た。ペリクル適用のための一つの従来の提案、例えば光
学膜のための装着製造の発明の名称でのヨーロッパ特許
No.0235428は、ペリクルフレームに接着されるペリクル
膜の部分からAR−被覆を除去することを含んでいる。か
くしてニトロセルロース、セルロースアセテート又は他
の基層は、この時ペリクル膜に直接適用される。
AR−被覆の部分除去は、加工工程で追加の工程を必要
とし、又一つの層が部分的に除去されている膜面を提供
する欠点も有する。かかる面は、除去工程中に発生する
追加の望ましからぬ微粒子源となりうる。かかる微粒子
は、顕微鏡的な大きさであるが、重大な問題を有する。
何故なら、ペリクルは微粒子をフォトマスク上に落下す
ることから防ぐ機能を果すからである。かかる微粒子を
フォトマスクから除去しないと、集積回路がエッチング
されるウエハー中に再現される。これは、短い波長、い
わゆる遠UV光を使用する場合特に真である。かかる光
は、一定のウエハー面積中にエッチングできる集積回路
部品の数を増大させるため、248〜193ナノメーター（n
m）の波長で使用される。
とし、又一つの層が部分的に除去されている膜面を提供
する欠点も有する。かかる面は、除去工程中に発生する
追加の望ましからぬ微粒子源となりうる。かかる微粒子
は、顕微鏡的な大きさであるが、重大な問題を有する。
何故なら、ペリクルは微粒子をフォトマスク上に落下す
ることから防ぐ機能を果すからである。かかる微粒子を
フォトマスクから除去しないと、集積回路がエッチング
されるウエハー中に再現される。これは、短い波長、い
わゆる遠UV光を使用する場合特に真である。かかる光
は、一定のウエハー面積中にエッチングできる集積回路
部品の数を増大させるため、248〜193ナノメーター（n
m）の波長で使用される。
ペリクルフレームへのAR−被覆の接着の問題を処理す
る計画もある。一つのかかる計画は、ペリクル構造及び
その製造法の発明の名称の、フジタ等のヨーロッパ特許
No.488788A1に記載されている。その特許には、熱硬化
性アクリル樹脂、テトラヒドロフルフリルアクリレート
又はフェノキシエチルアクリレート、及び芳香族溶剤の
如き溶剤を用いた溶剤基接着剤システムの使用を論じて
いる。フジタ等は、AR−被覆層の前もっての除去を必要
とせず、そして顕微鏡的微粒子を発生する危険なしに、
フレームとAR−被覆ペリクル膜を結合するために接着剤
システムを使用することを述べている。
る計画もある。一つのかかる計画は、ペリクル構造及び
その製造法の発明の名称の、フジタ等のヨーロッパ特許
No.488788A1に記載されている。その特許には、熱硬化
性アクリル樹脂、テトラヒドロフルフリルアクリレート
又はフェノキシエチルアクリレート、及び芳香族溶剤の
如き溶剤を用いた溶剤基接着剤システムの使用を論じて
いる。フジタ等は、AR−被覆層の前もっての除去を必要
とせず、そして顕微鏡的微粒子を発生する危険なしに、
フレームとAR−被覆ペリクル膜を結合するために接着剤
システムを使用することを述べている。
フジタ等の提案を用いたときの問題は、膜がペリクル
フレームになお適切に結合されず、従ってペリクルシス
テムが所望されるよりも短い寿命を有することにある。
即ち膜とフレームの間の結合が、時間超過すると破壊
し、又は時々フォトマスクへペリクルを装着する前に利
用される空気吹付け清浄化操作を受けるとき破壊する。
フレームになお適切に結合されず、従ってペリクルシス
テムが所望されるよりも短い寿命を有することにある。
即ち膜とフレームの間の結合が、時間超過すると破壊
し、又は時々フォトマスクへペリクルを装着する前に利
用される空気吹付け清浄化操作を受けるとき破壊する。
フジタ等の提案の別の問題は、製造及び安全の観点か
ら望ましくない溶媒基システムであることにある。
ら望ましくない溶媒基システムであることにある。
従って本発明の目的は、先行技術提案の欠点及び制限
を克服するペリクル膜接着剤システムを提供することに
ある。特に本発明は、その目的として、次のこと、
（１）フレームにAR−被覆光学要素を確実に結合するた
めのシステムを開発すること；（２）微粒子を発生する
可能性を最少にする被覆ペリクル膜のためのペリクル装
着システムを提供すること；（３）AR−被覆の一部を除
去する中間工程を必要とせず、フレームにAR−被覆光学
ペリクルを接着するためのシステムを開発すること；及
び（４）ペリクルシステム全体の安定性／耐久性に有害
な影響を与えることなくフレームにAR−被覆光学膜を結
合するための接着剤を提供することにある。
を克服するペリクル膜接着剤システムを提供することに
ある。特に本発明は、その目的として、次のこと、
（１）フレームにAR−被覆光学要素を確実に結合するた
めのシステムを開発すること；（２）微粒子を発生する
可能性を最少にする被覆ペリクル膜のためのペリクル装
着システムを提供すること；（３）AR−被覆の一部を除
去する中間工程を必要とせず、フレームにAR−被覆光学
ペリクルを接着するためのシステムを開発すること；及
び（４）ペリクルシステム全体の安定性／耐久性に有害
な影響を与えることなくフレームにAR−被覆光学膜を結
合するための接着剤を提供することにある。
発明の概要
要約すると、本発明の一つの観点では、例えば多数の
フルオロポリマー被覆光学繊維を接着すること、又は光
学ペリクルをそのフレームに装着することを含む任意の
種類の多数のフルオロポリマー被覆物品を共に接着する
のに有効である100％固体乳濁接着剤を含む。乳濁接着
剤はフリーラジカル硬化機構により硬化できる接着剤で
ある第一成分、アクリレート官能基を含有するフルオロ
カーボン化合物である第二成分、界面活性剤及び開示剤
を乳化することによって製造される。ただし、各成分の
配合割合は開始剤が有効量、界面活性剤が0.1〜５容量
％、アクリレート官能基を含有するフルオロカーボン化
合物である第二成分が２〜40容量％、及びフリーラジカ
ル硬化機構により硬化できる接着剤である第一成分が残
余である。
フルオロポリマー被覆光学繊維を接着すること、又は光
学ペリクルをそのフレームに装着することを含む任意の
種類の多数のフルオロポリマー被覆物品を共に接着する
のに有効である100％固体乳濁接着剤を含む。乳濁接着
剤はフリーラジカル硬化機構により硬化できる接着剤で
ある第一成分、アクリレート官能基を含有するフルオロ
カーボン化合物である第二成分、界面活性剤及び開示剤
を乳化することによって製造される。ただし、各成分の
配合割合は開始剤が有効量、界面活性剤が0.1〜５容量
％、アクリレート官能基を含有するフルオロカーボン化
合物である第二成分が２〜40容量％、及びフリーラジカ
ル硬化機構により硬化できる接着剤である第一成分が残
余である。
好ましくは、第一成分は、メルカプト−エステルポリ
マー樹脂及びアクリレートモノマーである。第一成分の
例には、商標Norland Optical Adhesive 65で市販され
ている樹脂、及び商標Master Bond Polymer System UV1
5−７で市販されている樹脂を含む。
マー樹脂及びアクリレートモノマーである。第一成分の
例には、商標Norland Optical Adhesive 65で市販され
ている樹脂、及び商標Master Bond Polymer System UV1
5−７で市販されている樹脂を含む。
好ましくは第二成分は弗素化アクリレートモノマーで
ある。第二成分としてペンタデカフルオロオクチルアク
リレート又はオクタフルオロペンチルアクリレートを使
用することができる。
ある。第二成分としてペンタデカフルオロオクチルアク
リレート又はオクタフルオロペンチルアクリレートを使
用することができる。
本発明の別の観点は、複数の上方平面を有するペリク
ルフレームに光学ペリクル膜を接着する方法を含む。こ
の方法は、 （１）フリーラジカル硬化機構により硬化できる接着剤
を含む第一成分、フルオロカーボン化合物を含む第二成
分、界面活性剤、及び開始剤を選択する工程； （２）第一成分、第二成分、界面活性剤及び開始剤を一
定の混合比で混合することにより乳濁接着剤を形成する
工程； （３）ペリクル膜の下側の外縁に隣接するペリクルフレ
ームの上方平面の少なくとも一つに乳濁接着剤の被覆を
適用する工程； （４）フレームの面をペリクル膜の下側に押圧する工
程；そして フレーム装着膜を硬化して、乳濁接着剤を硬化する工
程を含む。
ルフレームに光学ペリクル膜を接着する方法を含む。こ
の方法は、 （１）フリーラジカル硬化機構により硬化できる接着剤
を含む第一成分、フルオロカーボン化合物を含む第二成
分、界面活性剤、及び開始剤を選択する工程； （２）第一成分、第二成分、界面活性剤及び開始剤を一
定の混合比で混合することにより乳濁接着剤を形成する
工程； （３）ペリクル膜の下側の外縁に隣接するペリクルフレ
ームの上方平面の少なくとも一つに乳濁接着剤の被覆を
適用する工程； （４）フレームの面をペリクル膜の下側に押圧する工
程；そして フレーム装着膜を硬化して、乳濁接着剤を硬化する工
程を含む。
好ましくは、本発明の方法は、硬化工程を行う前に、
一定時間フレーム装着膜を置く工程も含む。又硬化工程
は、光硬化又は加熱硬化の如き適切な硬化機構によって
達成することができる。
一定時間フレーム装着膜を置く工程も含む。又硬化工程
は、光硬化又は加熱硬化の如き適切な硬化機構によって
達成することができる。
本発明の更に別の観点では、写真平版に使用するため
のペリクルシステムを含み、このシステムは、外側部域
を含む底面を有するペリクル膜、及び上面を有するペリ
クルフレームを含む。膜はフレーム上に位置させること
ができ、かくして外方部域はフレームの上面と接触でき
る。乳濁接着剤は膜の外側部域とフレームの上面の間に
置く。そして乳濁接着剤を最後には硬化して、フレーム
の上面に膜の外側部域を接合できる。
のペリクルシステムを含み、このシステムは、外側部域
を含む底面を有するペリクル膜、及び上面を有するペリ
クルフレームを含む。膜はフレーム上に位置させること
ができ、かくして外方部域はフレームの上面と接触でき
る。乳濁接着剤は膜の外側部域とフレームの上面の間に
置く。そして乳濁接着剤を最後には硬化して、フレーム
の上面に膜の外側部域を接合できる。
本発明のこの概要は、光学ペリクルシステムと接着剤
の使用を示したが、本発明は、フレームに装着するかし
ないかの他のAR−被覆光学要素にも同等に適用できる。
の使用を示したが、本発明は、フレームに装着するかし
ないかの他のAR−被覆光学要素にも同等に適用できる。
本発明の他の目的及び特長は、この説明を続けると更
に明らかになるであろう。
に明らかになるであろう。
図面の簡単な説明
図１は、除去された反射防止被覆の一部の位置を示す
ため拡大した先行技術システムの側立面断面略図であ
る。
ため拡大した先行技術システムの側立面断面略図であ
る。
図２は、本発明の乳濁接着剤を用いたときペリクルフ
レーム上に置かれた被覆光学膜を示す側立面図である。
レーム上に置かれた被覆光学膜を示す側立面図である。
図３は図２と同様で、本発明の乳濁接着剤を用いてペ
リクルフレームに接着させることによってペリクルフレ
ームに装着した膜を有するペリクルシステムを示す。
リクルフレームに接着させることによってペリクルフレ
ームに装着した膜を有するペリクルシステムを示す。
好ましい実施態様の詳細な説明
前述した如く、本発明の好ましい態様は、AR−被覆ペ
リクル膜をそのフレームに装着するために主として使用
できる100％固体乳濁接着剤を含む。しかしながら、本
発明の乳濁接着剤は、例えば多数のフルオロポリマー被
覆光学繊維を含む任意の種類の複数のフルオロポリマー
被覆物品を接着するために有効である。図１はペリクル
フレーム16と被覆されたペリクル膜10の間の界面14で予
め除去されているAR−被覆の区分を有する少なくとも一
つの反射防止（AR−）被覆12で被覆されたペリクル膜10
を有する先行技術のシステムを示す。この従来システム
はAR−被覆層の区分を除去する追加工程を必要とするば
かりでなく、例えば18で略示したAR−被覆の外側周囲面
積から発生した微粒子又は屑の可能性も提供する。
リクル膜をそのフレームに装着するために主として使用
できる100％固体乳濁接着剤を含む。しかしながら、本
発明の乳濁接着剤は、例えば多数のフルオロポリマー被
覆光学繊維を含む任意の種類の複数のフルオロポリマー
被覆物品を接着するために有効である。図１はペリクル
フレーム16と被覆されたペリクル膜10の間の界面14で予
め除去されているAR−被覆の区分を有する少なくとも一
つの反射防止（AR−）被覆12で被覆されたペリクル膜10
を有する先行技術のシステムを示す。この従来システム
はAR−被覆層の区分を除去する追加工程を必要とするば
かりでなく、例えば18で略示したAR−被覆の外側周囲面
積から発生した微粒子又は屑の可能性も提供する。
更に図１を参照すると、観察者は、AR−被覆の除去後
残っているペリクル膜の区分が、ペリクルフレームに結
合している区分であることを認めるであろう。その区分
は、被覆膜全体よりも薄く、AR−被覆除去工程中損傷を
受けるか弱化されることがある。膜10がペリクルフレー
ム16に適切に結合しないことがある可能性がある。又AR
−被覆の一部を除去する余分の工程を行う必要があり、
これによってこの方法により作られるペリクルシステム
の製造原価の増大を必ず生ぜしめる。
残っているペリクル膜の区分が、ペリクルフレームに結
合している区分であることを認めるであろう。その区分
は、被覆膜全体よりも薄く、AR−被覆除去工程中損傷を
受けるか弱化されることがある。膜10がペリクルフレー
ム16に適切に結合しないことがある可能性がある。又AR
−被覆の一部を除去する余分の工程を行う必要があり、
これによってこの方法により作られるペリクルシステム
の製造原価の増大を必ず生ぜしめる。
図２は、膜の底面112aに適用したAR−被覆層112を有
する光学膜110を略示する。被覆膜は、ペリクルフレー
ム116に、フレームの上面116aで装着されるべきであ
る。膜110は、フレーム116上に置くことができ、従って
外側部域112a1はフレームの上面116aと接触できる。
する光学膜110を略示する。被覆膜は、ペリクルフレー
ム116に、フレームの上面116aで装着されるべきであ
る。膜110は、フレーム116上に置くことができ、従って
外側部域112a1はフレームの上面116aと接触できる。
図３は図２と同様であり、本発明の乳濁接着剤がフレ
ームの上面116aに適用されており、新しい接着剤層118
が外側部域112a1でAR−被覆層を置換している。その新
しい層は、本発明の乳濁接着剤がAR−被覆層と反応し、
被覆膜とフレームの間の安定な結合を与える化学化合物
118を形成することから形成される。本発明の乳濁接着
剤を上面116aに適用したとき、それは膜の外側部域とフ
レームの上面の間にあり、前述した如く、最後に硬化し
てフレームの上面に膜の外側部域を接着することができ
る。
ームの上面116aに適用されており、新しい接着剤層118
が外側部域112a1でAR−被覆層を置換している。その新
しい層は、本発明の乳濁接着剤がAR−被覆層と反応し、
被覆膜とフレームの間の安定な結合を与える化学化合物
118を形成することから形成される。本発明の乳濁接着
剤を上面116aに適用したとき、それは膜の外側部域とフ
レームの上面の間にあり、前述した如く、最後に硬化し
てフレームの上面に膜の外側部域を接着することができ
る。
本発明の乳濁接着剤を用いることによって、余分な従
来のAR−被覆除去工程は省略される。
来のAR−被覆除去工程は省略される。
本発明の乳濁接着剤は、フレームに光学ペリクルを装
着するに当って使用するための100％固体乳濁接着剤で
ある。それは（１）フリーラジカル硬化機構により硬化
できる接着剤である第一成分、（２）アクリレート官能
基を含有するフルオロカーボン化合物である第二成分、
（３）界面活性剤及び（４）開始剤を含む。各成分は、
説明する装置を用いて乳化して乳濁接着剤にされ、これ
は有効量の開始剤、0.1〜５容量％の界面活性剤、２〜4
0容量％の第二成分、及び残余第一成分を含む。
着するに当って使用するための100％固体乳濁接着剤で
ある。それは（１）フリーラジカル硬化機構により硬化
できる接着剤である第一成分、（２）アクリレート官能
基を含有するフルオロカーボン化合物である第二成分、
（３）界面活性剤及び（４）開始剤を含む。各成分は、
説明する装置を用いて乳化して乳濁接着剤にされ、これ
は有効量の開始剤、0.1〜５容量％の界面活性剤、２〜4
0容量％の第二成分、及び残余第一成分を含む。
第一成分は好ましくはメルカプト−エステルポリマー
樹脂及びアクリレートモノマーである。第一成分の例に
は、商標Norland Optical Adhesive 65で市販されてい
る樹脂、及び商標Master Bond Polymer System UV15−
７で市販されている樹脂を含む。
樹脂及びアクリレートモノマーである。第一成分の例に
は、商標Norland Optical Adhesive 65で市販されてい
る樹脂、及び商標Master Bond Polymer System UV15−
７で市販されている樹脂を含む。
第二成分は好ましくは、弗素化アクリレートモノマー
である。好ましい化学構造式は次の通りである： 式中R1,R2,R3又はR4中に少なくとも１個の弗素原子が
存在し、R3は10個以下の炭素原子を含有し、R4は５個よ
り大なる炭素原子を含有する。
である。好ましい化学構造式は次の通りである： 式中R1,R2,R3又はR4中に少なくとも１個の弗素原子が
存在し、R3は10個以下の炭素原子を含有し、R4は５個よ
り大なる炭素原子を含有する。
第二成分の例にはペンタデカフルオロオクチルアクリ
レート又はオクタフルオロペンチルアクリレートを含
む。
レート又はオクタフルオロペンチルアクリレートを含
む。
界面活性剤は、好ましくは弗素系のものであり、商標
FLUORAD FC−431又はFLUORAD FC−430で市場で入手で
きるものの如きフルオロ脂肪族ポリマーエステルの形を
とる。
FLUORAD FC−431又はFLUORAD FC−430で市場で入手で
きるものの如きフルオロ脂肪族ポリマーエステルの形を
とる。
本発明の乳濁接着剤は又パーオキサイドの如き適切な
開始剤も含む。
開始剤も含む。
乳濁接着剤の各成分は、通常機械的混合機、ホモジナ
イザー又はブレンダーを用いて乳化される。好ましいホ
モジナイザーは、Biospec Products,Inc.より市販さ
れ、商標Tissue Tearer,Model no.985−370で市販され
ている。
イザー又はブレンダーを用いて乳化される。好ましいホ
モジナイザーは、Biospec Products,Inc.より市販さ
れ、商標Tissue Tearer,Model no.985−370で市販され
ている。
乳濁接着剤は、約１〜10分間、室温で前記混合物の約
20〜50mlを混合して作られる。形成される乳濁接着剤は
比較的安定であり、約２日の保存寿命を有する。２日よ
り大なる保存時間のためには、乳濁接着剤を上述した如
く再混合して乳濁接着剤を更新すべきである。乳濁接着
剤を使用してペリクルをそのフレームに装着するため
に、接着剤は、ペリクルフレームの上面116aに通常適用
する。或いは乳濁接着剤はペリクル膜の下側に適用でき
る、又は膜とフレームの両方に適用できる。乳濁接着剤
をフレームに適用するとき、自動加圧シリンジディスペ
ンサーを用いてスプレーする。外直径120×98mm、幅2mm
の四角形ペリクルを利用するとき、約７〜8mgの乳濁接
着剤を使用する。これはペリクルフレームの上面に沿っ
て乳濁接着剤の比較的均一な適用を生ぜしめる。
20〜50mlを混合して作られる。形成される乳濁接着剤は
比較的安定であり、約２日の保存寿命を有する。２日よ
り大なる保存時間のためには、乳濁接着剤を上述した如
く再混合して乳濁接着剤を更新すべきである。乳濁接着
剤を使用してペリクルをそのフレームに装着するため
に、接着剤は、ペリクルフレームの上面116aに通常適用
する。或いは乳濁接着剤はペリクル膜の下側に適用でき
る、又は膜とフレームの両方に適用できる。乳濁接着剤
をフレームに適用するとき、自動加圧シリンジディスペ
ンサーを用いてスプレーする。外直径120×98mm、幅2mm
の四角形ペリクルを利用するとき、約７〜8mgの乳濁接
着剤を使用する。これはペリクルフレームの上面に沿っ
て乳濁接着剤の比較的均一な適用を生ぜしめる。
下記方法は、フレーム上にペリクル膜を装着し、乳濁
接着剤を硬化するために使用する。第一に、膜をペリク
ルフレーム上に置き、数分間それに重りを加え、ペリク
ルフレームに膜を装着する。UV光を適用する前に少なく
とも約１分間置いておく。明らかにこの遅延は、本発明
の乳濁接着剤をAR−被覆と完全に反応させ、それを、図
３の118で示す如く新しい化合物で置換する。数分間の
固定時間後、そして膜になお重りが加えられている間
に、約１〜５分間UV光に暴露することによって乳濁接着
剤を硬化する。使用する代表的なUV光源は、300ワット
中圧水銀ランプであり、これは膜から約８インチの間隔
で置く。硬化後、膜はフレームの周囲でトリミングし、
それを使用に供するため包装する。
接着剤を硬化するために使用する。第一に、膜をペリク
ルフレーム上に置き、数分間それに重りを加え、ペリク
ルフレームに膜を装着する。UV光を適用する前に少なく
とも約１分間置いておく。明らかにこの遅延は、本発明
の乳濁接着剤をAR−被覆と完全に反応させ、それを、図
３の118で示す如く新しい化合物で置換する。数分間の
固定時間後、そして膜になお重りが加えられている間
に、約１〜５分間UV光に暴露することによって乳濁接着
剤を硬化する。使用する代表的なUV光源は、300ワット
中圧水銀ランプであり、これは膜から約８インチの間隔
で置く。硬化後、膜はフレームの周囲でトリミングし、
それを使用に供するため包装する。
本発明の方法から見て、この方法は前述した乳濁接着
剤を用いることを含む。選択工程は、フリーラジカル硬
化機構により硬化しうる接着剤を含む第一成分、フルオ
ロカーボン化合物を含む第二成分、界面活性剤、及び開
始剤を選択することを含む。形成工程は、前述した如き
一定の混合比で、第一成分、第二成分、界面活性剤及び
開始剤を混合して乳濁接着剤を形成することを含む。適
用工程は、AR−被覆層の外側部域112aに隣接するペリク
ルフレーム116の上方平面116aの少なくとも一つに乳濁
接着剤の被覆を適用することを含む。加圧工程は、フレ
ームの面をペリクル膜の下側に押圧することを含み、硬
化工程は、乳濁接着剤を硬化するため、フレーム装着膜
を硬化することを含む。
剤を用いることを含む。選択工程は、フリーラジカル硬
化機構により硬化しうる接着剤を含む第一成分、フルオ
ロカーボン化合物を含む第二成分、界面活性剤、及び開
始剤を選択することを含む。形成工程は、前述した如き
一定の混合比で、第一成分、第二成分、界面活性剤及び
開始剤を混合して乳濁接着剤を形成することを含む。適
用工程は、AR−被覆層の外側部域112aに隣接するペリク
ルフレーム116の上方平面116aの少なくとも一つに乳濁
接着剤の被覆を適用することを含む。加圧工程は、フレ
ームの面をペリクル膜の下側に押圧することを含み、硬
化工程は、乳濁接着剤を硬化するため、フレーム装着膜
を硬化することを含む。
好ましくは選択工程は、メルカプト−エステルポリマ
ー樹脂及びアクリレートモノマーを含む第一成分を選択
すること、及び下記化学構造式を有する化合物を含む第
二成分を選択することを含む： 式中R1,R2,R3又はR4中に少なくとも１個の弗素原子が
あり、R3は10個以下の炭素原子を含有し、R4は５個より
大なる炭素原子を含有する。
ー樹脂及びアクリレートモノマーを含む第一成分を選択
すること、及び下記化学構造式を有する化合物を含む第
二成分を選択することを含む： 式中R1,R2,R3又はR4中に少なくとも１個の弗素原子が
あり、R3は10個以下の炭素原子を含有し、R4は５個より
大なる炭素原子を含有する。
又この方法は好ましくは、硬化工程を行う前に、フレ
ーム装着膜110を少なくとも１分、好ましくは１〜３分
の一定時間固定しておく工程を含む。
ーム装着膜110を少なくとも１分、好ましくは１〜３分
の一定時間固定しておく工程を含む。
本発明のペリクルシステムにおいて、底面116aに適用
したAR−被覆層112を有するペリクル膜110、上面116aを
有するペリクルフレーム116を含む写真平版に使用する
ためのペリクルシステムがある。AR−被覆層112の外側
部域112aは、フレーム上に置くことができ、かくして外
側部域はフレームの上面と接触することができる。ペリ
クルが非被覆であるときには、底面116aの外側部域はフ
レーム上に置くことができ、かくすると外側部域はフレ
ームの上面と接触できる。乳濁接着剤は、膜の外側部域
とフレームの上面の間に置く、そして乳濁接着剤は最後
に硬化してフレームの上面に膜の外側部域を接着でき
る。
したAR−被覆層112を有するペリクル膜110、上面116aを
有するペリクルフレーム116を含む写真平版に使用する
ためのペリクルシステムがある。AR−被覆層112の外側
部域112aは、フレーム上に置くことができ、かくして外
側部域はフレームの上面と接触することができる。ペリ
クルが非被覆であるときには、底面116aの外側部域はフ
レーム上に置くことができ、かくすると外側部域はフレ
ームの上面と接触できる。乳濁接着剤は、膜の外側部域
とフレームの上面の間に置く、そして乳濁接着剤は最後
に硬化してフレームの上面に膜の外側部域を接着でき
る。
本発明は、フレームにAR−被覆光学要素を確実に結合
するための乳濁接着剤を提供することにより、そして微
粒子を生ぜしめる可能性を最少にする被覆ペリクル膜の
ためのペリクル装着システムを提供することによってそ
の目的を達成する。又本発明は、AR−被覆の一部の除去
をする中間工程の必要なく、フレームにAR−被覆光学ペ
リクルを接着するための乳濁接着剤も提供し、ペリクル
システム全体の安定性／耐久性に有害な影響を与えるこ
となく、フレームにAR−被覆光学膜を結合するための乳
濁接着剤も提供する。
するための乳濁接着剤を提供することにより、そして微
粒子を生ぜしめる可能性を最少にする被覆ペリクル膜の
ためのペリクル装着システムを提供することによってそ
の目的を達成する。又本発明は、AR−被覆の一部の除去
をする中間工程の必要なく、フレームにAR−被覆光学ペ
リクルを接着するための乳濁接着剤も提供し、ペリクル
システム全体の安定性／耐久性に有害な影響を与えるこ
となく、フレームにAR−被覆光学膜を結合するための乳
濁接着剤も提供する。
本発明の乳濁接着剤は、フルオロポリマー被覆光学繊
維を接着するための電気通信分野においても使用でき
た。従って本発明の好ましい実施態様をここに説明した
が、本発明の範囲内での改変が可能であることが認めら
れる。
維を接着するための電気通信分野においても使用でき
た。従って本発明の好ましい実施態様をここに説明した
が、本発明の範囲内での改変が可能であることが認めら
れる。
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 昭61−127774（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−32712（ＪＰ，Ａ)
特開 昭57−16067（ＪＰ，Ａ)
特開 昭61−281113（ＪＰ，Ａ)
特表 平６−506253（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
C09J 4/02
C09J 181/00
G03F 1/14
Claims (10)
- 【請求項１】以下の成分を乳化して製造されることを特
徴とする複数のフルオロポリマー被覆物品を接着するた
めの100％固体乳濁接着剤： フリーラジカル硬化機構により硬化できる接着剤である
第一成分； アクリレート官能基を含有するフルオロカーボン化合物
である第二成分； 界面活性剤；及び 開始剤 （ただし、各成分の配合割合は開始剤が有効量、界面活
性剤が0.1〜５容量％、アクリレート官能基を含有する
フルオロカーボン化合物である第二成分が２〜40容量％
及びフリーラジカル硬化機構により硬化できる接着剤で
ある第一成分が残余である）。 - 【請求項２】第二成分が、弗素化アクリレートモノマー
である請求項１記載の乳濁接着剤。 - 【請求項３】第二成分が、ペンタデカフルオロオクチル
アクリレート又はオクタフルオロペンチルアクリレート
からなる群から選択した化合物である請求項２記載の乳
濁接着剤。 - 【請求項４】界面活性剤が、弗素系のものである請求項
1,2又は３記載の乳濁接着剤。 - 【請求項５】界面活性剤が、フルオロ脂肪族ポリマーエ
ステルである請求項４記載の乳濁接着剤。 - 【請求項６】以下の成分を乳化して製造されることを特
徴とする光学ペリクルをそのフレームに装着するのに使
用するための100％固体乳濁接着剤： フリーラジカル硬化機構により硬化できる接着剤である
第一成分； アクリレート官能基を含有するフルオロカーボン化合物
である第二成分； 界面活性剤；及び 開始剤 （ただし、各成分の配合割合は開始剤が有効量、界面活
性剤が0.1〜５容量％、アクリレート官能基を含有する
フルオロカーボン化合物である第二成分が２〜40容量
％、及びフリーラジカル硬化機構により硬化できる接着
剤である第一成分が残余である）。 - 【請求項７】第二成分が、弗素化アクリレートモノマー
である請求項６記載の乳濁接着剤。 - 【請求項８】第二成分が、ペンタデカフルオロオクチル
アクリレート又はオクタフルオロペンチルアクリレート
からなる群から選択した化合物である請求項７記載の乳
濁接着剤。 - 【請求項９】界面活性剤が、弗素系のものである請求項
6,7又は８記載の乳濁接着剤。 - 【請求項１０】界面活性剤が、フルオロ脂肪族ポリマー
エステルである請求項９記載の乳濁接着剤。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US31053594A | 1994-09-22 | 1994-09-22 | |
| US08/310,535 | 1994-09-22 | ||
| PCT/US1995/012079 WO1996009183A1 (en) | 1994-09-22 | 1995-09-22 | Optical pellicle membrane to frame adhesion method |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10509989A JPH10509989A (ja) | 1998-09-29 |
| JP3405732B2 true JP3405732B2 (ja) | 2003-05-12 |
Family
ID=23202949
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP51109496A Expired - Lifetime JP3405732B2 (ja) | 1994-09-22 | 1995-09-22 | フレームへの光学ペリクル膜の接着方法 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0778804B1 (ja) |
| JP (1) | JP3405732B2 (ja) |
| AT (1) | ATE222863T1 (ja) |
| AU (1) | AU3595295A (ja) |
| DE (1) | DE69527969D1 (ja) |
| WO (1) | WO1996009183A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004002702A (ja) * | 2002-02-28 | 2004-01-08 | Merck Patent Gmbh | プレポリマー材料、ポリマー材料、インプリンティングプロセスおよびその使用 |
| KR20110003576A (ko) | 2008-05-06 | 2011-01-12 | 휴렛-팩커드 디벨롭먼트 컴퍼니, 엘.피. | 얇은 펠리클 빔 스플리터의 제조 |
| KR101990345B1 (ko) * | 2009-10-02 | 2019-06-18 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 펠리클의 제조 방법 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4985473A (en) * | 1980-05-20 | 1991-01-15 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Compositions for providing abherent coatings |
| US5168001A (en) * | 1991-05-20 | 1992-12-01 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Perfluoropolymer coated pellicle |
-
1995
- 1995-09-22 AT AT95933195T patent/ATE222863T1/de not_active IP Right Cessation
- 1995-09-22 AU AU35952/95A patent/AU3595295A/en not_active Abandoned
- 1995-09-22 WO PCT/US1995/012079 patent/WO1996009183A1/en active IP Right Grant
- 1995-09-22 DE DE69527969T patent/DE69527969D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1995-09-22 JP JP51109496A patent/JP3405732B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1995-09-22 EP EP95933195A patent/EP0778804B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO1996009183A1 (en) | 1996-03-28 |
| EP0778804A1 (en) | 1997-06-18 |
| EP0778804A4 (en) | 1998-01-07 |
| DE69527969D1 (de) | 2002-10-02 |
| JPH10509989A (ja) | 1998-09-29 |
| ATE222863T1 (de) | 2002-09-15 |
| EP0778804B1 (en) | 2002-08-28 |
| AU3595295A (en) | 1996-04-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5061024A (en) | Amorphous fluoropolymer pellicle films | |
| JP3037745B2 (ja) | ペリクル構造体 | |
| US5693382A (en) | Frame-supported pellicle for dustproof protection of photomask in photolithography | |
| JP3267403B2 (ja) | フルオロポリマー膜の製造方法 | |
| US5168001A (en) | Perfluoropolymer coated pellicle | |
| US5378514A (en) | Frame-supported pellicle for photolithography | |
| JPH0922111A (ja) | ペリクル | |
| EP0315450A2 (en) | Pellicle | |
| CA2243501A1 (en) | Pellicle | |
| EP0858003A2 (en) | Optical pellicle mounting system | |
| US5008156A (en) | Photochemically stable mid and deep ultraviolet pellicles | |
| JP3405732B2 (ja) | フレームへの光学ペリクル膜の接着方法 | |
| WO2013018730A1 (ja) | リソグラフィ用ペリクル、ペリクル付きフォトマスクおよび露光処理方法 | |
| EP0858002B1 (en) | Optical pellicle adhesion system | |
| JP3394625B2 (ja) | 半導体ウエハに付着した異物の除去用粘着テ―プ | |
| EP0416517B1 (en) | Non-glare pellicle | |
| US5976765A (en) | Solid-capped liquid photopolymer printing elements | |
| WO1996009183A9 (en) | Optical pellicle membrane to frame adhesion method | |
| US5314728A (en) | Capture layer and method for delayed entrapment of contaminant particles | |
| US4796973A (en) | Pellicle structure for transmission of mid ultraviolet light | |
| JP3186844B2 (ja) | ペリクルおよびその製造方法 | |
| EP0104954B1 (en) | Multilayer dry-film photoresist | |
| JP3027470B2 (ja) | ペリクルの製造方法 | |
| JPH05158224A (ja) | ペリクル構造体及びその製造方法 | |
| JPH05333546A (ja) | 粘着性フォトレジスト組成物 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080307 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090307 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100307 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100307 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110307 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130307 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140307 Year of fee payment: 11 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |