JPH10506757A - ウェーファ移送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 ウェーファ移送装置（１０）は炉（３０）又は類似のコラムウェーファステーション（３２−３４）に対して複数の半導体ウェーファ（９）を同時に移送できる。装置（１０）は主要な部分（５１）から延びる片持ち梁式の延長部（６１）を有する。好ましくは、延長部（６１）は枢動できるように装着される。延長部はこれに装着した末端側係合ヘッド（６５）を有する。末端側係合ヘッド（６５）は横方向の位置と直立した係合位置と間を移動する。係合ヘッド（６５）は一群のウェーファの末端縁を支持する複数個のウェーファ支持手段（３５）を有する。ウェーファの基端縁は基端側ウェーファ接触ヘッド（７１、７２）により保持される。

Description

【発明の詳細な説明】 ウェーファ移送装置技術分野 本発明は、処理装置間で、特に、ウェーファ処理炉に対して、半導体ウェーフ ァ、基体、平坦なパネルディスプレイ、データディスクその他の類似パネルを移 送するための装置及び方法に関する。背景技術 半導体処理産業においては、種々のガス、圧力及び処理温度を用いてウェーフ ァを熱処理器で処理する多くの例がある。熱処理器は典型的にはウェーファ処理 炉、更に簡単には炉として参照される。大半の炉は処理室を取り囲む石英処理容 器を使用する。処理室は、普通、かなりの数のウェーファを同時に処理するのに 十分な大きさを有する。５０−２００個のウェーファ処理能力を有するウェーフ ァ処理炉アレイが使用される。炉アレイはしばしば垂直コラム構造となっており 、ウェーファは垂直長手軸線に垂直な離間平行並置関係にて維持される。 従来は、ウェーファ取り扱いロボット又は類似の機械的なアームを用いて、炉 に対してウェーファを装填したり取り出したりしていた。このようなロボットや 取り扱いアームは、アームの末端に装着したウェーファ、基体及びパネル係合工 具を有する。ウェーファ係合工具はエンドエフェクタ(end effectors)と呼ばれ る装置である。これらのエンドエフェクタ又は他の係合工具は、ウェーファが炉 アレイに対して出入り移動するときに、ウェーファに係合してこれを支持する。 多くのエンドエフェクタはウェーファを保持するために真空を利用している。 ウェーファ処理炉は典型的には、離間平行関係にてウェーファを支持するため に処理容器内で垂直に延びる支持レールを有する。支持レールは典型的には、所 望の位置でウェーファを支持するためにウェーファの縁部を受け入れるウェーフ ァ支持溝又はその他のウェーファ支持手段を有する。ウェーファ支持手段はウェ ーファの周縁に隣接する狭いバンドに沿ってのみウェーファに係合する。 各ウェーファを順番に装填したり取り出したりするので、炉に対するウェーフ ァの装填及び取り出しには多大な時間を要する。炉に対するウェーファの装填、 取り出し又はその他の移動の処理を、以下、ウェーファ移送と呼ぶ。炉アレイ内 の隣接するウェーファ間の間隔が狭いので、正確な機械的処置が必要となる。ウ ェーファは、十分な注意を払って、隣接するウェーファの面に対して厳密に平行 に挿入される。各ウェーファは適所に運ばれ、次いで、小距離だけ軸方向に下降 されて炉支持レールの支持手段上に置かれる。逆に、ウェーファを取り出す場合 は、ウェーファ移送アームは取り出し中のウェーファの下方へ係合工具を極めて 正確に挿入しなければならない。誤配置は変動の原因となり、多数のウェーファ を損傷又は破壊させることとなる。各ウェーファは極めて貴重なものであり、誤 操作が大きな損失をもたらす。 信頼をもってウェーファを装填したり取り出したりするのに必要な注意及び正 確さが処理速度を制限し、大きなウェーファ炉アレイ内で各ウェーファを個々に 装填したり取り出したりするのに要する時間を大幅に増やしてしまう。処理炉が 一層経済的な作動及び一層少ないコストを消費者に提供するために十分に利用で きるようにしなければならない生産設備の極めて高価なものであるので、移送時 間の重要性は更に増幅される。 従って、処理設備に対して半導体ウェーファ又は他の類似のパネルを信頼をも って取り扱うことができ、半導体ウェーファ等を処理設備に対して移送できる改 善した移送装置及び方法を提供する必要性がある。図面の簡単な説明 本発明の好ましい実施例につき、以下に簡単に説明する添付図面を参照しなが ら説明する。 第１図は本発明に係る新規なウェーファ移送装置を使用してウェーファの装填 が行われているウェーファ炉アレイの概略立面図、 第２図は別の位置における第１図のウェーファ移送装置を示す立面図、 第３図は引き戻し位置における第１図のウェーファ移送装置を示す立面図、 第４図は第１図のウェーファ移送装置のヘッド部分の上面図、 第５図は第４図の５−５線における断面図、 第６図は第１図のウェーファ移送装置の一部を構成する好ましいアクチュエー タの２つの部品を示す分解部品斜視図、 第７図は組立てた状態における第６図に示す２つの部品の斜視図である。発明を実施するための最良の形態及び発明の開示 第１図は本発明に係る好ましいウェーファ移送装置１０を示す。ウェーファ移 送装置１０は移送ヘッド組立体１１と、ロボット移送アーム１２と、ベース１３ とを有する。図示のように、移送アーム１２はベース１３に枢着された第１の移 送アーム部材２１を有する。第２の移送アーム部材２２は第１の移送アーム部材 ２１に枢着される。第３の移送アーム部材２３は第２の移送アーム部材２２に枢 着される。移送ヘッド１１は枢動連結部２４により第３の移送アーム部材２３の 末端部において枢着される。移送アーム１２は種々の別の形状を有することがで きる。 ウェーファ移送装置１０はウェーファ炉又は他のウェーファステーションに対 してウェーファを装填したり取り出したりするために使用される。第１図に示す ように、装置１０は概略的に示す炉ウェーファステーションアレイ３０に対して ウェーファを装填したり取り出したりするために使用される。３つの長手方向の ウェーファ支持レール３２、３３、３４はベース板３１から垂直上方に延びる。 レール３２−３４はコラム状の離間したウェーファステーションアレイとして複 数個のウェーファを支持するウェーファステーションを構成する。末端側の支持 レール３２はウェーファステーションの移送側とはほぼ反対側に位置する。側支 持レール３３、３４は移送の方向の両側に沿ってウェーファステーション内外へ 延びる。 ウェーファステーション支持レール３２−３４はコラム状のアレイとしてウェ ーファ９を個々に支持するウェーファ支持手段を有する。図示のように、ウェー ファ支持手段は、好ましくは、ウェーファ支持レールの内側に向いた表面に沿っ て形成された溝３５の形をしている。代わりに、他の支持形状を使用することも 可能である。 ウェーファ移送ヘッド組立体１１は主部分即ち副組立体５１を有する。主要な 副組立体５１は第３移送アーム部材の制御された枢動連結部２４において第３移 送アーム部材に連結されたハウジング５２を有する。これにより、移送アーム組 立体がステーション３０に対して伸長したり引き戻されたりするときに、ウェー ファ移送ヘッドを所望の方位に維持できる。第４図は、好ましい運動方向がウェ ーファ移送ヘッド組立体の軸線６６に対して整合していない状態を示す。運動方 向は支持レール３３、３４間を結ぶ線に対して垂直となっている。 また、好ましくは、主要な副組立体５１はウェーファ接触ヘッド７１、７２の 形をしたウェーファ支持体を含む。接触ヘッド７１、７２は副組立体のハウジン グ５２に剛直に装着された装着バー７３に装着されている。基端側の接触ヘッド ７１、７２は受け入れ溝７４及び対応する支持延長部７５の如きウェーファ支持 手段を具備し、支持延長部はその上面に沿ってウェーファ支持表面７６を有する 。係合ヘッド６５及び接触ヘッド７１、７２上のウェーファ支持手段の高さ位置 は、ウェーファが好ましくは水平状態(level orientation)で収容されるように 、同等位置に選定されている。 補助的な副組立体は、ウェーファ移送ヘッドにより保持されているウェーファ の末端側に達するように主要な副組立体から片持ち梁式に延びた延長シャフト即 ちロッド部材６１を有する。 補助的な副組立体の延長シャフトの末端は末端側ウェーファ係合ヘッド６５を 装着している。好ましくは、末端側ウェーファ係合ヘッド６５はシャフト６１と 一体的に形成されるか又はシャフトに対して非回転状態で連結される。好ましく は、係合ヘッド６５は延長シャフトの長手軸線６６から横断方向に延びる細長い 突起として形成される。一層好ましくは、係合ヘッドは長手軸線６６に対して垂 直に延びる。係合ヘッド６５はウェーファ支持溝６７の如き適当数のウェーファ 支持手段を具備する。溝６７は係合ヘッドの内向きの表面に沿って形成される。 溝間の係合ヘッドの部分は上方に向いたウェーファ支持表面６９を有するウェー ファ支持延長部６８を構成する。好ましくは、係合ヘッドの側表面６３は内方に 収斂して、先の尖った又は丸い又は切頭円錐形の頂点を形成する。この構成によ り、ヘッドが直立位置と横に延びた位置との間で揺動するときに、係合ヘッドと ウェーファとの間の可能性のある干渉を最小限に抑える。 アクチュエータ５３はハウジング５２円に装着されている。好ましい形のアク チュエータを第５−７図に詳細に示す。アクチュエータ５３は延長シャフト６１ を支持し、所望の運動方法でシャフトを移動させる。図示のように、この運動は 枢動運動、及び、軸方向の伸長及び収縮を提供する少量（例えば、約０．３５イ ンチ即ち８ｍｍ）の軸方向運動を含む。アクチュエータの出力は延長シャフト６ １の一部を収容するアクチュエータ延長シャフト収容部５４を介して行われる。 延長シャフトは補助的な副組立体６０を支持し、その一部を構成する。代わりに 、他の構成を使用することもできる。 アクチュエータ５３は一対の支持軸受８１を有し、これらの軸受は好ましくは ブッシュ型式のものであるが、他の適当な軸受でもよい。軸受８１の内側にシー ル８２を設ける。シール８２はシールハウジングと、内側及び外側のＯ−リング 又は他の適当なシールとを含む。シール８２は延長シャフト６１の外表面とアク チュエータハウジング５５の内表面との間をシールする。 アクチュエータハウジング５５内には、一対の可動アクチュエータ部分９１、 ９２が装着されている。第１部分９１はネジ９３（第６図）を用いて延長シャフ ト６１に連結され、このネジは第１部分９１に螺入され、好ましくはシャフトの 表面に設けた平坦部（図示せず）に沿ってシャフトに当接する。アクチュエータ ハウジングは後方ポート９４及び前方ポート９５を有する。適当な圧力が制御さ れた状態でハウジングのポートに供給され、アクチュエータ組立体を移動させる 。好ましい形態においては、真空圧を制御された状態でポートに供給する。真空 が前方ポート９５に供給された場合は、シャフト６１が外方へ伸長し、シャフト ヘッド６５を横方向位置へ枢動させる。真空が後方ポート９４に供給された場合 は、シャフトヘッド６５が直立位置へ枢動し、シャフトがアクチュエータの方へ 軸方向内方に引き戻される。 第１及び第２のアクチュエータ部分９１、９２は上述の型式の運動を提供する ように特に構成されている。第１部分９１は第２部分９２の内径を形成するシャ フト収容ボア１１１内に受け入れられるシャフト部分１０１を有する。第２部分 ９２は軸方向前後にのみ運動するように拘束される。この拘束は、アクチュエー タハウジング５５内に装着され第２部分の枢動防止溝１１３内に摺動自在に収容 されたピン（図示せず）により達成される。従って、第２部分は供給された真空 圧に応答して軸方向に摺動する。 第２部分９２はまた、この部分の後方延長部分のまわりで螺旋経路として延び る枢動作動溝１１４を有する。ピン１０５は第１部分９１の第２区分１０２から 溝１１４内へ延びる。ピン１０５は溝１１４内で摺動できる。ピン１０５と溝１ １４との間に力を作用させ、第２部分９２に関して第１部分９１を（又は第１部 分に関して第２部分を）枢動させる。第２部分９２はまた、内側及び外側シール １３１、１３２を有する。 第１部分９１は第３区分１０３を具備する。第３区分１０３は、第３区分のボ スを構成する隆起部分がハウジング５５の内径内に摺動関係にて嵌合するのに十 分な大きさを有する。第３区分のボスはＬ字状の経路画定溝１０７を有する。溝 １０７は軸方向の脚部分１０８と、枢動脚部分１０９とを有する。溝１０７はハ ウジング５５に固定されたピン１２０を収容する。内側シール１１０は第１部分 と延長シャフト６１との間をシールする。 横方向に向いた位置でのヘッド６５の作動をまず説明する。作動において、真 空が前方ポート９５を通して供給される。これにより、軸方向の力が第２部分９ ２の端部に発生する。この力は溝１１４の側壁をピン１０５に押し付ける。ピン （図示せず）及び長手方向の溝１１３は、ピン１０５と溝１１４との間の傾斜関 係にも拘わらず、第２部分９２の軸方向運動を維持させる。従って、加えられた 力は第１部分９１を枢動させる。この枢動運動はピン１２０が溝１０７の枢動脚 部分１０９内に収容されているときに生じる。ピン１２０が溝の脚部分の合流点 に達すると、枢動運動が停止し、延長シャフトヘッド６５が直立位置となる。次 いで、真空圧は、溝１０８がピン１２０に関して摺動するときに、第１部分９１ を軸方向に移動させる。部分９２の後面がシール８２に達したときに、軸方向運 動が停止する。 真空を後方ポート９４を通して供給した場合は、逆の作動が生じる。まず、軸 方向の伸長が生じ、次いで、延長シャフトヘッド６５を横方向の位置へ戻す枢動 運動が生じる。 第１−３図は特に本発明に係る好ましいウェーファ移送装置により実施される 新規な方法を示す。第１図は可動係合ヘッド６５及び対応する接触ヘッド７１、 ７２により支持された一群のウェーファ９を示す。好ましくは、装填移送処理は １個又は一群のウェーファをコラム状の離間したウェーファ移送アレイとしてウ ェーファ移送ヘッド組立体１１上に配置する工程を含む。この方法は更に、ウェ ーファ移送装置上の１個又は一群のウェーファを炉ウェーファステーション３０ の如きウェーファステーション内へ横方向に移動させる工程を含む。ウェーファ はウェーファステーションの一部を構成するウェーファ支持手段に隣接して個々 のウェーファを位置決めするように適当に移動せしめられる。図示のように、ウ ェーファは、直立のウェーファ支持レール３２−３４に形成した受け入れ溝３５ 内でウェーファの周辺に沿って薄い終縁バンドの位置決めを行うような方法で移 動され、位置決めされる。 ウェーファステーション内でウェーファを適正に位置決めした後、好ましくは 、この方法は更に、ウェーファステーションの支持体のウェーファ支持手段上へ １個又は一群のウェーファを下降させる工程を含む。ウェーファがステーション の支持体上へ移送されると、ウェーファ移送装置は末端側のウェーファ係合ヘッ ド６５の移動を生じさせるように制御される。この移動は好ましくは、シャフト ６１を軸方向に伸長させ、次いで、第２図に示すように、ヘッドを直立位置から 横方向に向いた位置へ枢動又は再方位決めすることにより行われる。 好ましくは、ウェーファを取り出す方法はウェーファステーションからウェー ファ係合ヘッドを横方向に取り出す工程を含む。図示のように、これは、ウェー ファステーションから外方に離れるようにウェーファ移送アームの移動を適当に 制御することにより達成される。これは部分的に引き戻された位置として第３図 に示す。 本発明は更に、ウェーファステーションからウェーファ移送装置へ１個又は一 群のウェーファを移送する新規な方法を含む。装填移送処理は上述の装填移送処 理とは実質上逆である。詳細には、好ましくは、ウェーファの取り出しはヘッド ６５の如き末端側のウェーファ係合ヘッドを横方向の引き戻し位置へ移動させる ことにより達成される。この位置を第３図に示す。延長シャフトが所望の高さに 位置決めされたとき、この方法は更に、ウェーファ移送装置をウェーファステー ションへ横方向に移動させる工程を含む。典型的には、延長シャフトは、同時に 取り出すべき一群のウェーファのすぐ下方に挿入される。 好ましくは、新規な方法は更に、第３図の横方向の引き戻し位置から第２図に 示すような直立の係合位置へ末端側のウェーファ係合ヘッドを移動させる工程を 含む。この移動は、シャフト６１の角度位置を再方位決めし、次いで、シャフト を軸方向に引き戻すことにより行われる。好ましくは、この方法は、その後、ウ ェーファ移送装置を上昇させる工程を含む。この上昇の結果、１個又は一群のウ ェーファはウェーファ移送支持ヘッド６５、７１、７２のウェーファ支持手段上 へ持ち上げられる。この方法はまた、ウェーファをウェーファステーションから 横方向に取り出す工程を含む。 本発明による装置は、装置が遭遇する条件に応じて、種々の材料で作ることが できる。ウェーファ移送ヘッドを含む装置の実質上大半の部品にとって好ましい 材料はステンレス鋼である。ただし、補助的な副組立体の延長シャフト及びヘッ ドは、好ましくは石英で作る。別の材料を使用できることは言うまでもない。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＤＥ， ＤＫ，ＥＳ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，ＬＵ，Ｍ Ｃ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ，ＣＦ，ＣＧ ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＭＬ，ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ， ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＫＥ，ＭＷ，ＳＤ，ＳＺ，ＵＧ)， ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ，ＡＴ，ＡＵ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，Ｂ Ｙ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，ＣＺ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＥ，ＤＫ ，ＤＫ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＥ，ＨＵ， ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＫ，Ｌ Ｒ，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ ，ＭＸ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ， ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ，ＳＫ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＴ，Ｕ Ａ，ＵＧ，ＵＳ，ＵＺ，ＶＮ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．ウェーファステーションアレイを保持するウェーファステーションに対し てウェーファその他のパネルを移送するためのウェーファ移送装置であって、主 要な副組立体と； 上記主要な副組立体に連結され、少なくとも１つのウェーファを支持するため の少なくとも１つのウェーファ支持手段を有し、ウェーファの基端縁に沿ってウ ェーファに接触するように構成された少なくとも１つの基端側ウェーファ接触ヘ ッドと； 上記主要な副組立体に装着され、当該主要な副組立体に関して運動できる可動 部分を有する補助的な副組立体と； 上記補助的な副組立体の可動部分に装着され、上記少なくとも１つの基端側ウ ェーファ接触ヘッドに対して同等の位置でウェーファを支持するための少なくと も１つのウェーファ支持手段を有し、ウェーファの末端縁に沿ってウェーファに 接触できるように構成された少なくとも１つの末端側ウェーファ係合ヘッドと； 上記主要な副組立体に関して上記補助的な副組立体の可動部分を移動させるよ うに接続され、直立の係合位置と横に向いた引き戻し位置との間で上記少なくと も１つの末端側ウェーファ係合ヘッドを移動させるようになったアクチュエータ と； から成ることを特徴とするウェーファ移送装置。 ２．請求の範囲第１項に記載のウェーファ移送装置であって、上記補助的な副 組立体が上記主要な副組立体から片持ち梁式に延びていることを特徴とするウェ ーファ移送装置。 ３．請求の範囲第１項に記載のウェーファ移送装置であって、上記補助的な副 組立体の可動部分が上記主要な副組立体から片持ち梁式の構成となって延びるロ ッド部材を有することを特徴とするウェーファ移送装置。 ４．請求の範囲第１項に記載のウェーファ移送装置であって、上記補助的な副 組立体の可動部分が、上記主要な副組立体に関して枢動運動するように装着され 、主要な副組立体から片持ち梁式の構成となって延びる部材を有することを特徴 と するウェーファ移送装置。 ５．請求の範囲第１項に記載のウェーファ移送装置であって、単一の上記末端 側ウェーファ係合ヘッドを設けたことを特徴とするウェーファ移送装置。 ６．請求の範囲第１項に記載のウェーファ移送装置であって、上記主要な副組 立体に少なくとも２つの基端側ウェーファ接触ヘッドを設けたことを特徴とする ウェーファ移送装置。 ７．請求の範囲第１項に記載のウェーファ移送装置であって、 単一の上記末端側ウェーファ係合ヘッドを設け； 上記主要な副組立体に少なくとも２つの基端側ウェーファ接触ヘッドを設けた ； ことを特徴とするウェーファ移送装置。 ８．請求の範囲第１項に記載のウェーファ移送装置であって、上記少なくとも １つの末端側ウェーファ係合ヘッドが内側に収斂する側縁を有することを特徴と するウェーファ移送装置。 ９．請求の範囲第１項に記載のウェーファ移送装置であって、上記アクチュエ ータが枢動でき、かつ、軸方向に運動できることを特徴とするウェーファ移送装 置。 １０．ウェーファステーションアレイを保持するウェーファステーションに対 して複数のウェーファその他のパネルを同時に移送するためのウェーファ移送装 置であって、 主要な副組立体と； 上記主要な副組立体に連結され、複数個のウェーファを支持するためのウェー ファ支持手段を有し、ウェーファの基端縁に沿ってウェーファに接触するように 構成された少なくとも１つの基端側ウェーファ接触ヘッドと； 上記主要な副組立体に装着され、当該主要な副組立体に関して運動できる可動 部分を有する補助的な副組立体と； 上記補助的な副組立体の可動部分に装着され、上記少なくとも１つの基端側ウ ェーファ接触ヘッドに対して同等の位置で複数個のウェーファを支持するための ウェーファ支持手段を有し、ウェーファの末端縁に沿ってウェーファに接触でき るように構成された少なくとも１つの末端側ウェーファ係合ヘッドと； 上記主要な副組立体に関して上記補助的な副組立体の可動部分を移動させるよ うに接続され、直立の係合位置と横に向いた引き戻し位置との間で上記少なくと も１つの末端側ウェーファ係合ヘッドを移動させるようになったアクチュエータ と； から成ることを特徴とするウェーファ移送装置。 １１．請求の範囲第１０項に記載のウェーファ移送装置であって、上記補助的 な副組立体が上記主要な副組立体から片持ち梁式に延びていることを特徴とする ウェーファ移送装置。 １２．請求の範囲第１０項に記載のウェーファ移送装置であって、上記補助的 な副組立体の可動部分が上記主要な副組立体から片持ち梁式の構成となって延び るロッド部材を有することを特徴とするウェーファ移送装置。 １３．請求の範囲第１０項に記載のウェーファ移送装置であって、上記補助的 な副組立体の可動部分が、上記主要な副組立体に関して枢動運動するように装着 され、主要な副組立体から片持ち梁式の構成となって延びる部材を有することを 特徴とするウェーファ移送装置。 １４．請求の範囲第１０に記載のウェーファ移送装置であって、単一の上記末 端側ウェーファ係合ヘッドを設けたことを特徴とするウェーファ移送装置。 １５．請求の範囲第１０に記載のウェーファ移送装置であって、上記主要な副 組立体に少なくとも２つの基端側ウェーファ接触ヘッドを設けたことを特徴とす るウェーファ移送装置。 １６．請求の範囲第１０に記載のウェーファ移送装置であって、 単一の上記末端側ウェーファ係合ヘッドを設け； 上記主要な副組立体に少なくとも２つの基端側ウェーファ接触ヘッドを設けた ； ことを特徴とするウェーファ移送装置。 １７．請求の範囲第１０項に記載のウェーファ移送装置であって、上記少なく とも１つの末端側ウェーファ係合ヘッドが内側に収斂する側縁を有することを特 徴とするウェーファ移送装置。 １８．請求の範囲第１０に記載のウェーファ移送装置であって、上記アクチュ エータが枢動でき、かつ、軸方向に運動できることを特徴とするウェーファ移送 装置。 １９．コラム状の離間したウェーファステーションアレイを保持するウェーフ ァステーションに対して複数のウェーファその他のパネルを同時に移送するため のウェーファ移送装置であって、 ベースと； 上記ベースに装着された可動移送アームと； 上記可動移送アームに装着され、当該可動移送アームと一緒に運動する主要な 副組立体と； 上記主要な副組立体に連結され、複数個のウェーファを支持するためのウェー ファ支持手段を有し、ウェーファの基端縁に沿ってウェーファに接触するように 構成された少なくとも１つの基端側ウェーファ接触ヘッドと； 上記主要な副組立体に装着され、当該主要な副組立体に関して運動できる可動 部分を有する補助的な副組立体と； 上記補助的な副組立体の可動部分に装着され、上記少なくとも１つの基端側ウ ェーファ接触ヘッドに対して同等の位置で複数個のウェーファを支持するための ウェーファ支持手段を有し、ウェーファの末端縁に沿ってウェーファに接触でき るように構成された少なくとも１つの末端側ウェーファ係合ヘッドと； 上記主要な副組立体に関して上記補助的な副組立体の可動部分を移動させるよ うに接続され、直立の係合位置と横に向いた引き戻し位置との間で上記少なくと も１つの末端側ウェーファ係合ヘッドを移動させるようになったアクチュエータ と； から成ることを特徴とするウェーファ移送装置。 ２０．請求の範囲第１９項に記載のウェーファ移送装置であって、上記補助的 な副組立体が上記主要な副組立体から片持ち梁式に延びていることを特徴とする ウェーファ移送装置。 ２１．請求の範囲第１９項に記載のウェーファ移送装置であって、上記補助的 な副組立体の可動部分が上記主要な副組立体から片持ち梁式の構成となって延び るロッド部材を有することを特徴とするウェーファ移送装置。 ２２．請求の範囲第１９項に記載のウェーファ移送装置であって、上記補助的 な副組立体の可動部分が、上記主要な副組立体に関して枢動運動するように装着 され、主要な副組立体から片持ち梁式の構成となって延びる部材を有することを 特徴とするウェーファ移送装置。 ２３．請求の範囲第１９に記載のウェーファ移送装置であって、単一の上記末 端側ウェーファ係合ヘッドを設けたことを特徴とするウェーファ移送装置。 ２４．請求の範囲第１９に記載のウェーファ移送装置であって、上記主要な副 組立体に少なくとも２つの基端側ウェーファ接触ヘッドを設けたことを特徴とす るウェーファ移送装置。 ２５．請求の範囲第１９に記載のウェーファ移送装置であって、 単一の上記末端側ウェーファ係合ヘッドを設け； 上記主要な副組立体に少なくとも２つの基端側ウェーファ接触ヘッドを設けた ； ことを特徴とするウェーファ移送装置。 ２６．請求の範囲第１９項に記載のウェーファ移送装置であって、上記少なく とも１つの末端側ウェーファ係合ヘッドが内側に収斂する側縁を有することを特 徴とするウェーファ移送装置。 ２７．請求の範囲第１９に記載のウェーファ移送装置であって、上記アクチュ エータが枢動でき、かつ、軸方向に運動できることを特徴とするウェーファ移送 装置。 ２８．コラム状の離間したウェーファステーションアレイを保持するウェーフ ァステーションに対して複数のウェーファその他のパネルを同時に移送するため のウェーファ移送装置であって、 ベースと； 上記ベースに装着された可動移送アームと； 上記可動移送アームに装着され、当該可動移送アームと一緒に運動する主要な 副組立体と； 上記主要な副組立体に連結され、複数個のウェーファを支持するためのウェー ファ支持手段を有し、ウェーファの基端縁に沿ってウェーファに接触するように 構成された少なくとも１つの基端側ウェーファ接触ヘッドと； 上記主要な副組立体に装着され、当該主要な副組立体に関して枢動できる可動 部分を有する補助的な副組立体と； 上記補助的な副組立体の可動部分に装着され、上記少なくとも１つの基端側ウ ェーファ接触ヘッドに対して同等の位置で複数個のウェーファを支持するための ウェーファ支持手段を有し、ウェーファの末端縁に沿ってウェーファに接触でき るように構成された少なくとも１つの末端側ウェーファ係合ヘッドと； 上記主要な副組立体に関して上記補助的な副組立体の可動部分を枢動させるよ うに接続され、直立の係合位置と横に向いた引き戻し位置との間で上記少なくと も１つの末端側ウェーファ係合ヘッドを枢動させるようになったアクチュエータ と； から成ることを特徴とするウェーファ移送装置。 ２９．請求の範囲第２８項に記載のウェーファ移送装置であって、上記補助的 な副組立体が上記主要な副組立体から片持ち梁式に延びていることを特徴とする ウェーファ移送装置。 ３０．請求の範囲第２８項に記載のウェーファ移送装置であって、上記補助的 な副組立体の可動部分が上記主要な副組立体から片持ち梁式の構成となって延び るロッド部材を有することを特徴とするウェーファ移送装置。 ３１．請求の範囲第２８に記載のウェーファ移送装置であって、単一の上記末 端側ウェーファ係合ヘッドを設けたことを特徴とするウェーファ移送装置。 ３２．請求の範囲第２８に記載のウェーファ移送装置であって、上記主要な副 組立体に少なくとも２つの基端側ウェーファ接触ヘッドを設けたことを特徴とす るウェーファ移送装置。 ３３．請求の範囲第２８に記載のウェーファ移送装置であって、 単一の上記末端側ウェーファ係合ヘッドを設け； 上記主要な副組立体に少なくとも２つの基端側ウェーファ接触ヘッドを設けた ； ことを特徴とするウェーファ移送装置。 ３４．請求の範囲第２８項に記載のウェーファ移送装置であって、上記少なく とも１つの末端側ウェーファ係合ヘッドが内側に収斂する側縁を有することを特 徴とするウェーファ移送装置。 ３５．請求の範囲第２８に記載のウェーファ移送装置であって、上記アクチュ エータが枢動でき、かつ、軸方向に運動できることを特徴とするウェーファ移送 装置。 ３６．ウェーファ移送装置から少なくとも１つのウェーファ支持体を有するウ ェーファステーションへ少なくとも１つのウェーファその他のパネルを移送する ための方法であって、 上記ウェーファ移送装置上に少なくとも１つのウェーファを配置する工程と； 上記ウェーファ移送装置上の少なくとも１つのウェーファを上記ウェーファス テーションへ横方向に移動させる工程と； 上記ウェーファステーションの一部を構成するウェーファ支持手段に隣接させ て少なくとも１つのウェーファを位置決めする工程と； 上記ウェーファステーションのウェーファ支持手段上に少なくとも１つのウェ ーファを下降させる工程と； 直立の係合位置から横方向の引き戻し位置へ末端側ウェーファ係合ヘッドを移 動させる工程と； 上記ウェーファステーションから上記ウェーファ係合ヘッドを横方向に取り出 す工程と； から成ることを特徴とする方法。 ３７．請求の範囲第３６項に記載の方法であって、上記の移動工程が枢動運動 を含むことを特徴とする方法。 ３８．請求の範囲第３６項に記載の方法であって、上記の移動工程が枢動運動 及び軸方向運動を含むことを特徴とする方法。 ３９．請求の範囲第３６項に記載の方法であって、上記の移動工程が軸方向運 動を含むことを特徴とする方法。 ４０．ウェーファ移送装置から、コラム状の離間したウェーファステーション アレイを画定する複数個のウェーファ支持体を有するウェーファステーションへ 、 一群のウェーファその他のパネルを同時に移送するための方法であって、 コラム状の離間したウェーファステーションアレイとして上記ウェーファ移送 装置上に一群のウェーファを配置する工程と； 上記ウェーファ移送装置上の一群のウェーファを上記ウェーファステーション へ横方向に移動させる工程と； 上記ウェーファステーションの一部を構成するウェーファ支持手段に隣接させ て個々のウェーファを位置決めする工程と； 上記ウェーファステーションのウェーファ支持手段上に一群のウェーファを同 時に下降させる工程と； 直立の係合位置から横方向の引き戻し位置へ末端側ウェーファ係合ヘッドを移 動させる工程と； 上記ウェーファステーションから上記ウェーファ係合ヘッドを横方向に取り出 す工程と； から成ることを特徴とする方法。 ４１．請求の範囲第４０項に記載の方法であって、上記の移動工程が枢動運動 を含むことを特徴とする方法。 ４２．請求の範囲第４０項に記載の方法であって、上記の移動工程が枢動運動 及び軸方向運動を含むことを特徴とする方法。 ４３．請求の範囲第４０項に記載の方法であって、上記の移動工程が軸方向運 動を含むことを特徴とする方法。 ４４．ウェーファ移送装置から、ウェーファを支持する複数個のウェーファ支 持体を有するウェーファステーションへ少なくとも１つのウェーファその他のパ ネルを移送するための方法であって、 上記ウェーファ移送装置の一部を構成する末端側ウェーファ係合ヘッドを横方 向の引き戻し位置へ移動させる工程と； 上記ウェーファ移送装置を上記ウェーファステーションへ横方向に移動させる 工程と； 上記横方向の引き戻し位置から直立の係合位置へ上記末端側ウェーファ係合ヘ ッドを移動させる工程と； 上記ウェーファ移送装置を上昇させる工程と； 上記ウェーファ移送装置のウェーファ支持手段上へ少なくとも１つのウェーフ ァを持ち上げる工程と； 上記ウェーファステーションから少なくとも１つのウェーファを横方向に取り 出す工程と； から成ることを特徴とする方法。 ４５．請求の範囲第４４項に記載の方法であって、上記の移動工程が枢動運動 を含むことを特徴とする方法。 ４６．請求の範囲第４４項に記載の方法であって、上記の移動工程が枢動運動 及び軸方向運動を含むことを特徴とする方法。 ４７．請求の範囲第４４項に記載の方法であって、上記の移動工程が軸方向運 動を含むことを特徴とする方法。 ４８．コラム状の離間したウェーファステーションアレイを画定する複数個の ウェーファ支持体を有するウェーファステーションからウェーファ移送装置へ一 群のウェーファその他のパネルを同時に移送するための方法であって、 上記ウェーファ移送装置の一部を構成する末端側ウェーファ係合ヘッドを横方 向の引き戻し位置へ移動させる工程と； 上記ウェーファ移送装置を上記ウェーファステーションへ横方向に移動させる 工程と； 上記横方向の引き戻し位置から直立の係合位置へ上記末端側ウェーファ係合ヘ ッドを移動させる工程と； 上記ウェーファ移送装置を上昇させる工程と； 同時に、上記ウェーファ支持手段上の一群のウェーファを上記ウェーファ移送 装置上に持ち上げる工程と； 上記ウェーファステーションから一群のウェーファを横方向に取り出す工程と ； から成ることを特徴とする方法。 ４９．請求の範囲第４８項に記載の方法であって、上記の移動工程が枢動運動 を含むことを特徴とする方法。 ５０．請求の範囲第４８項に記載の方法であって、上記の移動工程が枢動運動 及び軸方向運動を含むことを特徴とする方法。 ５１．請求の範囲第４８項に記載の方法であって、上記の移動工程が軸方向運 動を含むことを特徴とする方法。