JPH10501077A

JPH10501077A - エッチングによるプラズマチャネルを有するプラズマアドレス液晶ディスプレイ

Info

Publication number: JPH10501077A
Application number: JP8528223A
Authority: JP
Inventors: アドリアヌスエルイェーブルフマンス; ヘレピュッテヘンリエルイェーエルファン; ペトルスエフヘーボンガエルツ
Original assignee: フィリップスエレクトロニクスネムローゼフェンノートシャップ; テクトロニクスインコーポレイテッド
Priority date: 1995-03-20
Filing date: 1996-03-07
Publication date: 1998-01-27
Also published as: WO1996029689A1; DE69630742D1; EP0760992A1; US5626772A; EP0760992B1

Abstract

(57)【要約】ＰＡＬＣタイプが好適なフラットディスプレイ装置では、プラズマチャネルを覆うマイクロシートがエッチングによる細長い離間した凹所を有し、これらの凹所は、チャネルを画成する各凹所の側壁間にあって、底部プレートに対向しているプレートの頂部がほぼ平坦である。各プラズマ放電を電気−光学画素から分離するガラスの頂部プレートの厚さは、ほぼ均一に薄くすると共に、頂部プレートを側壁によって補強し、その強度を大いに増大させて、表示パネルの組立中に頂部プレートが容易に壊れないようにする。

Description

【発明の詳細な説明】エッチングによるプラズマチャネルを有するプラズマアドレス液晶ディスプレイ本発明は通常“ＰＡＬＣ”ディスプレイ装置と称されるプラズマアドレス液晶表示パネルに関するものである。これらの装置は一般に、インジウム−錫酸化物が用いられるから通常“ＩＴＯ”列電極と称される平行で、透明な列電極が上に堆積され、その上にカラーフィルタ層が堆積される第１基板と；ディスプレイの行に相当し、全てのＩＴＯ列電極を横切り、各々がヘリウム、ネオン及び／又はアルゴンの如き低圧のイオン化可能ガスで充填される平行な封止プラズマチャネルを具え、前記ガスをイオン化してプラズマを生成するためにチャネルに沿って互いに離間したカソード及びアノード電極を包含しており、それぞれのチャネルが薄い透明の誘電体シートで密封される第２基板と；前記両基板間に位置させる液晶（ＬＣ）材料とから成るサンドイッチ構体を具えている。このサンドイッチ構体は、各画素における薄膜トランジスタスイッチが、行スイッチとして作用すると共にＬＣ画素の行を選択的にアドレス指定し得るプラズマチャネルと置換される能動マトリックス液晶ディスプレイのように作用する。作動に当たり、表示すべき映像を表わす一連のデータ信号は列位置にてサンプルされ、このサンプルしたデータ電圧がそれぞれＩＴＯ列に供給される。１つを除く全ての行プラズマチャネルは脱イオン化、即ち非導通状態にある。イオン化された１つの選択チャネルのプラズマは導通し、これは実際上ＬＣ層の画素行に隣接する側を基準電位にし、各ＬＣ画素をデータ信号が印加された列電位にまで充電する。イオン化したチャネルをターン・オフすると、ＬＣ画素の電荷が隔離され、フレーム期間の間データ電圧を蓄積する。次のデータがＩＴＯ列に現れると、次のプラズマチャネル行のみがイオン化されて、後続するＬＣ画素行にデータ電圧を蓄積し、以下同様な作用が行われる。周知のように、背面光又は入射光に対する各ＬＣ画素の減衰度は画素間に蓄積される電圧の関数となる。なお、さらに詳細な説明はBuza k 外による論文「“A 16-Inch Full Color Plasma Addressed Liquid Crystal D i splay"，Digest of Tech．Papers，1993 SID Int Symp.，Soc．for Info，Displ .pp.883〜886」に記載されている。上記１９９３年度版のＳＩＤダイジェストに記載されているＰＡＬＣディスプレイの断面図が図２に示されている。ここで時々“マイクロ−シート”とも称されている薄い誘電体シートの厚さは３０〜５０μｍの範囲内の厚さとするとしている。このためにこのシートは壊れ易く、パネルの製造過程にて特に注意しなければならない。マイクロシートの破損率は歩留りの主たる制限ファクタである。プラズマチャネル部分のカバーシートをもっと丈夫にするために、米国特許第５２１４５２１号には、電極を平坦な底部プレート上に堆積し、頂部プレートをエッチバックして（図２に示されるものとは反対に）半円筒のような形状のチャネルを形成して、これらチャネルの頂部に残存するガラスが充分薄くて隣接するＬＣ材料をアドレス指定し得るようにした構造のものが提案されている。しかし、頂部プレートの円形曲率のために、プラズマ放電チャネルとＬＣ材料との間のガラスの厚さ、従ってＬＣ材料全面における電圧降下が各画素毎に著しく変化する。実際の状況では、これによりディスプレイのグレイレベルの数が低減している。本発明の目的はフラットディスプレイ装置又はより一般的に云えば、アドレス指定構体用のチャネルプレートを改善することにある。さらに本発明の目的は、改良プラズマアドレスディスプレイ装置を提供することにある。本発明の他の目的は、かなり頑丈な構造をしているＰＡＬＣディスプレイ装置を提供することにある。本発明のさらに他の目的は、プラズマチャネルを覆う壊れ易いマイクロシートをもっと丈夫なプレートと置き換えたＰＡＬＣディスプレイ装置を提供することにある。本発明の第１見地によるフラットディスプレイ装置用のチャネルプレートは誘電体基板と、この基板上のチャネルが設けられる薄い誘電体のシート状部材とを具えており、薄い誘電体のシート状部材は各チャネルに対する薄い頂部壁を有するエッチングによる凹所を具え、各チャネルのほぼ平坦な内側面の両側には頂部壁にほぼ垂直の側壁がある。本発明の第１実施例によれば、底部プレートとも称する誘電体基板を平坦とし、これに好ましくはガラス製の頂部プレートをかぶせ、この頂部プレートには、各チャネルを画成すると共に前記底部プレートに対向する各凹所の側壁間における頂部プレートの頂部がほぼ平坦となるように構成される互いに離間する細長い凹所をエッチングして形成する。プラズマアドレスディスプレイ装置では、各プラズマ放電を電気−光学画素から分離するガラスの頂部プレートの厚さをほぼ均一に薄く作ると共に、側壁が頂部プレートを補強して、その強度を大いに増大させて、表示パネルの組立中にそれが容易に壊れないようにするのが好適である。本発明の第２実施例によれば、底部プレート及び頂部プレートは共に、チャネルを画成する互いに対向するプレート部分がほぼ平坦となるようにエッチングされ、且つ構成されるガラス製とするのが好適である。第１実施例と同様に、各プラズマ放電を電気−光学層から分離するガラスの厚さはほぼ均一に作り、プレートの強度を大いに増大させて、表示パネルの組立中にプレートが容易に壊れないようにすることができる。これらの例における電極は底部プレートの上か、頂部プレート又は底部プレートの側壁上に堆積することができる。本発明の他の見地によれば、ガラスプレート（１枚又は２枚）をプラズマエッチング処理によりエッチングする。このプラズマエッチングの利点は、垂直側壁を容易に得ることができることにある。本発明を特徴付ける様々な新規な特徴は特に請求の範囲に記載した通りであり、本発明をより一層理解し易くするために以下添付図面を参照して本発明を好適実施例につき説明するが、ここに同じか、又は同様な構成部分を示すものには同じような参照番号を付して示してある。図面中：図１は従来のフラットパネルディスプレイ装置の概略ブロックであり；図２は従来のＰＡＬＣディスプレイ装置の一部分の斜視図であり；図３はＰＡＬＣカラーディスプレイの本発明によるチャネルプレートの一形態の一部を示す断面図であり；図４は本発明によるＰＡＬＣディスプレイ装置のチャネルプレートの他の形態を示す図３と同様な断面図であり；図５は本発明によるＰＡＬＣディスプレイ装置のチャネルプレートのさらに他の形態を示す図３と同様な断面図である。図１は典型的なＰＡＬＣディスプレイ装置を示すフラットパネルディスプレイ装置１０と、これを作動させる電子回路とを示す。図１を参照するに、フラットパネルディスプレイ装置は表示面１４を有する表示パネル１２を具えており、表示面１４は垂直及び水平方向に所定距離だけ互いに離間させた名目上同一のデータ蓄積又は表示素子１６から成る長方形の平坦なアレイによって形成したパターンを包含している。前記アレイにおける各表示素子１６は垂直方向の列に配列した薄くて、幅狭の電極１８と、水平方向の行に配列した細長いチャネル２０とがオーパラップしている部分を表わす。（以後電極１８を列電極とも称する）。各チャネル行２０における表示素子１６は１つのデータラインを表わす。列電極１８及びチャネル２０の幅は、一般に長方形の形状をしている表示素子１６の寸法を決定する。列電極１８は電気的に非導電性で、光学的に透明な第１基板３４の主表面上に堆積され、チャネル行は通常第２の透明基板３６に形成される。直視か、又は投映タイプの反射式のディスプレイの如き所定の装置では、一方の基板のみを光学的に透明とする必要があることは当業者に明らかである。列電極１８はデータドライバ又は駆動回路２４のそれぞれの出力増幅器２３（図２）によって並列出力導体２２'に発現されるアナログ電圧タイプのデータ駆動信号を受信し、チャネル２０はデータストローブか、データストローブ手段又はストローブ回路２８のそれぞれの出力増幅器２１（図２）によって並列出力導体２６′に発現される電圧パルスタイプのデータストローブ信号を受信する。各チャネル２０は、これらの各チャネル２０及びデータストローブ２８に共通の大地電位の如き基準電位が供給される基準電極３０（図２）を具えている。表示面１４の全領域上にて映像を合成するために、ディスプレイ装置１０は、データドライバ２４及びデータストローブ２８の機能を調整して、表示パネル１２の表示素子１６の全ての列が前述したような行走査態様で行毎にアドレスされるようにする走査制御回路３２を用いる。表示パネルには種々のタイプの電気− 光学材料を用いることができる。例えば、入射光線の偏光状態を変えるような材料を用いる場合には、表示パネル１２を一対の光偏光フィルタ間に位置させ、これらのフィルタを表示パネル１２と共働させて、これらを通過する光の輝度を変えるようにする。しかし、電気−光学材料として散乱液晶セルを用いる場合には、偏光フィルタを用いる必要がない。層間の電圧に応答して透過光又は反射光を減衰する斯様な材料又は材料層をいずれもここでは電気−光学材料と称する。ＬＣ材料が目下最もありふれたものであるので、ＬＣ材料を用いる場合につき詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。カラーフィルタ（図示せず）を表示パネル１２内に位置させて、色強度が可制御のマルチ−カラー映像を出現させることができる。投映ディスプレイの場合には、各々が１つの原色を制御する３個の別々の単色パネル１２を用いることによりカラー化を達成することもできる。図２はＬＣ材料を用いるようなフラット表示パネルのＰＡＬＣバージョンを示す。ここでは僅か３個の列電極１８を示しているだけである。行電極２０はＬＣ材料層４２の下側にある（図２にて）複数の平行な細長封止チャネルによって構成される。各チャネル２０にはイオン化可能ガス４４を充填して、一般にガラス製の薄い誘電体シート４５で閉じるようにし、各チャネルの内部表面上には各チャネルの全長に延在する第１及び第２の離間した細長電極３０，３１を包含させている。第１電極３０は接地され、これは通常カソードと称される。第２電極３１はアノードと称され、これは、この第２電極にはカソード電極に対して正で、カソード３０から放射される電子によってガスをイオン化させるのに充分なストローブパルスを供給するからである。上述したように、各チャネル２０はストローブパルスでイオン化されてプラズマを形成するガス及びチャネル上方のＬＣ層４２における画素行に対する接地ラインの接続線を有している。ストローブパルスが終了し、脱イオン化が生じた後には、隣りのチャネルがストローブされて、ターン・オンする。列電極１８の各々は全画素行を横切るから、一度に１つのプラズマ行の接続線しかオンしないため、クロストークが回避される。ＰＡＬＣ装置は一般に１９９３年度版のＳＩＤのダイジェスト論文にて記載されているように、第１及び第２基板３４，３６を用意し、ガラスパネルから成る第１基板３４の上にＩＴＯ列電極１８を蒸着し、次いでＩＴＯ電極の上方にカラーフィルタ処理してＲＧＢのストライプ（図示せず）を形成してから、まわりを黒くする処理及び液晶アライメント処理して製造する。第２基板３６もガラスパネル製とし、これをマスクしてエッチングすることによりチャネル２０を形成してからプラズマ電極材料を堆積し、これをマスクしてエッチングすることによりカソード３０及びアノード電極３１を形成する。次いでチャネルのリッジ５０を横切って薄い誘電体ガラスのマイクロシート４５をかぶせてチャネル２０を封止してから排気し、ヘリウム及び／又はネオンの如き低圧イオン化可能ガス及び随意少量パーセントのアルゴンで埋め戻しして完全に封止する。次いでマイクロシート４５の露出面のＬＣアライメントを行う。次にこのようにして組立た２つの基板を、２つのＬＣアライメント面を離間して対向させ、このスペース内にＬＣ材料４２を導入し、列電極１８及びプラズマ電極３０，３１に電気的な接続をして、１つのパネルに組立てる。図３は本発明による液晶表示パネルの一形態用の本発明によるチャネルプレートの一形態の断面図である。厚くて平坦なガラス製の底部プレート６０はプラズマチャネル６１用の誘電体基板を形成する。この底部プレート６０の上に例えばガラス製の薄い誘電体シート状のチャネル形成部材としての頂部プレート６３をかぶせ、この頂部プレートにはエッチングして、各々両側に側壁６４が位置する隣接凹部６２及び底部プレート６０に対向するほぼ平坦な頂部壁６５を形成しておく。頂部プレート６３は、その側壁６４のリッジ６７に沿って底部プレートに対して任意の既知の方法、例えば溶融ガラスフリットによって封止して、封止プラズマチャネル６１を形成することができる。或いは又、頂部プレート６３の周辺を底部プレートの周辺に封止して、全体を密封し、全てのチャネルに共通のガスが用いられるように、個々のチャネルを密封しなくて済むようにすることもできる。頂部６５の外側面６９はＬＣ層（図示せず）と境する。カソード７０及びアノード電極７１は底部プレート６０の内側面上に通常の方法にて堆積する。図４は側壁６４の内側面上に電極７２，７３を形成するようにする変形例を示す。それ以外の構成は前の例と同じである。図５はさらに他の変形例を示し、この例では平坦な底部プレートの代わりに、支持基板を成すエッチングされる底部プレート７５をかなり肉厚とし得ること以外に、頂部プレート７６の凹所と同様な凹所７７がエッチングにより形成されるガラスプレート７５を用いる。チャネルの深さを同じとするために、頂部プレート７６の側壁７８及び底部プレート７５の側壁７９は共に図３の例の側壁６４とほぼ等しく作ることもできる。好ましくは、チャネル６１を形成する２半部７６，７５のエッチング側は互いに鏡対称とする。図５の例の場合には、電極（図示せず）は図３の例におけるとほぼ同じ平面内に延在する各チャネルの内側のほぼ平坦な底部表面８０の上か、図４の例におけるように、ほぼ垂直方向に互いに対向して延在する側壁７９の上に設けることができる。頂部プレート６３の頂部６５の厚さはできるだけ均一として、印加される列電圧が全画素のアパーチャにほぼ均等に及ぶようにするのが好適であり、しかも頂部６５間での電圧降下を最小とするように頂部６５の厚さを最小寸法とするのが望ましいことも明らかである。側壁６４，７８によって頂部プレートを補強して、丈夫にするため、頂部６５の厚さを最小とすることができ、それでもパネルの製造中にこのパネルは壊れ難くなる。前記参照した特許及び刊行物に記載されている方法はいずれも本発明のパネル用のチャネル及び電極を作るのに好適である。ガラス用の通常の湿潤エッチング技法を用いることができ、この場合エッチングマスクはプレートのほぼ平坦な底部の上に位置する広いアパーチャを有するものとし、しかも各エッチングマスクの縁部は、形成されるトラフ状のチャネル６１の深さにほぼ等しい各側壁から少し離れた所に位置させることができる。頂部プレート６３，７６の最初の厚さは、チャネルのエッチングが完了した後における頂部壁６５の厚さが５〜５０μｍの範囲内の厚さとなるようにするのが好適である。頂部壁６５の外側面６９を均一にエッチングダウンして所望な厚さとすることもできる。以下に記載する好適なエッチング技法は半導体技術での集積回路（ＩＣ）の製造から既知の技法に基づくものである。ガラスパネルを通常のガラス−エッチングマスク材料で覆い、これをリソグラフィ工程により通常の方法にてパターン化する。このエッチングマスクは凹所をエッチングするためのマスクとして用いられる。マスク寸法が大きく、しかも反応ガスを絶えずリフレッシュするために、極めて良好なエッチング制御が期待される。エッチング時間は、温度、バイアス電圧及び圧力のような処理パラメータを変えることにより変えることができる。ＩＣの製造技法から、ＳｉＯ₂とガラスの主成分とのエッチングの選択性が１０：１以上であることは既知である。従って、例えばＭｏ，Ｃｒ，又はＡｌ₂Ｏ₃ の比較的薄いエッチングマスクでガラスにトレンチをエッチングすることができる。エッチング条件に応じて、チャネルの隅部に近い個所のエッチング速度の方がチャネルの中央部に比べて高くなることが時々あることは既知ではあるが、このようなことはＰＡＬＣチャネルの製造にとっては何等有害にはならない。IＣエッチング法は一般に例えば急峻な側壁形成用には最適に活用されるが、大量生産する場合のＰＡＬＣ表示パネルにとってはより重要である処理速度の面では最適に活用されない。しかし、処理温度及び圧力を変えることによりエッチング速度は著しく増大させることができる。ＳｉＯ₂に対して比較される幾つかのエッチングマスク材料に対するエッチング速度及び選択性を下記に示す。一般にＣｒ−Ｃｕ−Ｃｒの多層から成る電極材料は通常のスパッタ堆積によってエッチング凹所に被着することができる。この電極材料は凹所の全底部並びに側壁を覆う。この電極材料の堆積後には、第２の参照関連文献（５６０４−０３８２）に詳述されているように、電極材料を等方性エッチバックして、側壁上に離間したカソード及びアノード電極７０，７１を残すようにすることができる。金属とガラス基板のエッチング選択性の差がガラスのエッチングを防ぐことになる。所望な電極材料をマスクしてから通常のエッチング技法を行って、マスクで覆われていない個所の電極材料を除去するようにすることもできる。本発明の他の見地による好適なエッチング技法はガラス基板をプラズマ又はドライエッチングする方法であり、これは反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）と称されることもある。この方法の利点は、ＬＣ層の反対側に位置させる均一な薄い壁部を形成しながら電極を受止めるのに好適な側壁をほぼ長方形とすることができることにある。さらに他の利点は、電極を選択的にプラズマエッチングすることができ、アルミニウムのマスクを必要とすることなく底部上の任意の電極材料部分を選択的に除去することができるということにある。本発明にはＳｉＯ₂をエッチングするのに好適な殆どのプラズマエッチング処理を用いることができる。好適なプラズマエッチング処理は次の通りである。ガラス表面をマスクした後（ＲＩＥを用いる場合には、エッチングマスクの開口を、ほぼ平坦なガラス底部の側壁間の全幅に匹敵するように選定することができる）、ガラス部分を通常のＲＩＥ反応器内に入れて、ＣＦ₄＋０₂又はＣＨＦ₃＋Ｏ₂ 及び同様なフッ素、塩素又は臭素成分の如きガスを通常５〜３０％のガス混合物を構成するＯ₂と一緒に用いて標準の条件下にてエッチングする。１／２〜１μ ／分のエッチング速度を達成することができる。米国特許第5,306,379号に記載されている装置並びにこの特許に記載されているエッチングガス及び他の条件を用いてプラズマチャネルプレート６０のトラフ状のチャネル６１をエッチングすることもできる。プラズマエッチングによりチャネルプレートを製造すると、ガラスチャネルの側壁がほぼ垂直となる。この場合、例えばＣｒ−Ｃｕ−Ｃｒの電極材料を底部及び側壁の上にスパッタ堆積し、これにマスクしてエッチングにより所望な電極形状を残して他の電極材料を除去することができる。或いは又、前記第２関連文献に記載されているように、不所望な材料を異方性エッチングにより選択的に除去することもできる。ガラスチャネルをプラズマエッチングすることの利点は、ほぼ垂直の側壁を得ることができ、しかも湿潤エッチングに見られるような汚染の影響が殆どないということにある。本発明はあらゆる種類のフラットディスプレイ、特にプラズマ−アドレスタイプのディスプレイ、とりわけコンピュータのモニタ、ワークステーション又はＴＶアプリケーション用の概してチャネルピッチが小さいＰＡＬＣディスプレイに適用することができる。このようなディスプレイは概して下記に記載するような範囲内のチャネル寸法を有している。一般に、所望するチャネルピッチをｐとし、ｂが隣接するチャネル６１間の側壁６４，７８によって形成されるリッジの幅を表わし、ｈがチャネルの高さを表わすものとする場合、垂直方向の側壁を有し、しかも図４におけるように側壁上に電極を有するチャネルに対するｈ及びｂの好適範囲は次の通りである。（ｉ）０．０３ｐ≦ｂ≦０．１ｐ（ii）０．２８ｐ≦ｈ≦０．３４ｐｂを上述した範囲内に選定する場合、リッジ幅は開口を大きくする場合には小さく保たれ、ｈを上述した範囲内にて選定する場合、安定な放電を犠牲にすることなくエッチングに必要な時間を短くすることができる。電極を図３に示すように底部の平坦な面に設ける場合には、電極の横方向の幅ｗ及び隣接する電極縁部間のチャネル内における横方向の間隔ｄは次のようにするのが好適である。（iii）０．１ｐ≦ｗ≦０．２５ｐ（iv）０．６ｐ≦ｄ≦０．７５ｐｗ及びｄを上述した範囲内にて選定すると、開口を大きくすることができる。図３の実施例に対する幾つかの好適例は次の通りである（全ての値の単位はμ ｍである）。（１）ｐ＝３１２に対して、ｂ＝２０，ｄ＝２１５，ｈ＝９０，ｗ＝７８（２）ｐ＝５００に対して、ｂ＝５０，ｄ＝３０４，ｈ＝１６０，ｗ＝５０チャネル幅の少なくとも６０％にわたる頂部壁６５の厚さは、高さｈの百分率として（チャネルの長さ又はパネルの大きさの）短い範囲にわたっては±１％の公差内で、長い範囲にわたっては±５％の公差内で均一となる。表面はガラス基板にチャネルをエッチングする湿潤又はドライエッチングにより光学的に平坦で、しかもなめらかにすることができる。なお、図面は実寸図示したものでなく、特にチャネル幅は電極を示すために誇張してある。さらに、基板におけるチャネルは一般にまっすぐとするが、本発明はこのような構造に限定されるものでなく、蛇行形状のような他のチャネル形状とすることもできる。本発明は上述した例のみに限定されるものでなく、幾多の変更を加え得ること明らかである。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者ブルフマンスアドリアヌスエルイェーオランダ国 5655 カーアーアインドーフェンフィフェルフーフ３ (72)発明者ファンヘレピュッテヘンリエルイェーエルオランダ国 5626 ベーヴェーアインドーフェンアハトセロープ 21 (72)発明者ボンガエルツペトルスエフヘーオランダ国 5581 セーエスワーレベルテリンディスラーン 15

Claims

【特許請求の範囲】１．誘電体部材に細長いチャネルを具えているアドレス指定構体用のチャネルプレートにおいて、ａ）前記誘電体部材がチャネル付きの薄い誘電体のシート状部材と一緒に誘電体基板を具え、ｂ）前記チャネルが前記基板によって密封され、ｃ）前記薄い誘電体のシート状部材が各チャネル用の薄い頂部壁を有するエッチングによる凹所を具え、前記頂部壁のほぼ平坦な内部表面に前記頂部壁に対してほぼ垂直の側壁が並ぶようにしたことを特徴とするチャネルプレート。２．誘電体部材に細長いチャネルを具えているアドレス指定構体用のチャネルプレートにおいて、ａ）前記誘電体部材がチャネル付きの誘電体基板を具え、ｂ）薄い誘電体のシート状部材が用意され、ｃ）前記チャネルが前記薄い誘電体のシート状部材で密封され、ｄ）前記薄い誘電体のシート状部材が各チャネル用の薄い頂部壁を有するエッチングによる凹所を具え、前記頂部壁のほぼ平坦な内部表面に前記頂部壁に対してほぼ垂直の側壁が並ぶようにしたことを特徴とするチャネルプレート。３．データ電極を具えている第１基板と、誘電体部材に細長いプラズマチャネルを具えているチャネルプレートとの間に電気−光学材料層を具え、前記プラズマチャネルの各々が離間した細長いカソード及びアノードプラズマ電極及びイオン化可能なガス充填物を具えているプラズマ−アドレスディスプレイ装置において、ａ）前記誘電体部材がチャネル付きの薄い誘電体のシート状部材と一緒に誘電体基板を具え、ｂ）前記チャネルが前記基板によって密封され、ｃ）前記薄い誘電体のシート状部材が各チャネル用の薄い頂部壁を有するエッチングによる凹所を具え、前記頂部壁のほぼ平坦な内部表面に前記頂部壁に対してほぼ垂直の側壁が並ぶようにしたことを特徴とするプラズマ−アドレスディスプレイ装置。４．データ電極を具えている第１基板と、誘電体部材に細長いプラズマチャネルを具えているチャネルプレートとの間に電気−光学材料層を具え、前記プラズマチャネルの各々が離間した細長いカソード及びアノードプラズマ電極及びイオン化可能なガス充填物を具えているプラズマ−アドレスディスプレイ装置において、ａ）前記誘電体部材がチャネル付きの誘電体基板を具え、ｂ）薄い誘電体のシート状部材が用意され、ｃ）前記チャネルが前記薄い誘電体のシート状部材で密封され、ｄ）前記薄い誘電体のシート状部材が各チャネル用の薄い頂部壁を有するエッチングによる凹所を具え、前記頂部壁のほぼ平坦な内部表面に前記頂部壁に対してほぼ垂直の側壁が並ぶようにしたことを特徴とするプラズマ−アドレスディスプレイ装置。５．電気−光学材料層と、該電気−光学材料層に結合され、且つ前記電気−光学材料層を部分的に活性化させるデータ電圧を受電するのに適用される複数のデータ電極と、前記データ電極に対してほぼ直角に延在し、前記電気−光学材料層の部分を選択的にスイッチ・オンさせる複数個の細長プラズマチャネルと、これらのプラズマチャネルと前記電気−光学材料層との間にあって、前記データ電極に対向する側にて前記プラズマチャネルを閉じる薄い誘電体のシート状部材とを具え、前記プラズマチャネルの各々が離間した細長いカソード及びアノード電極と、イオン化可能なガス充填物とを具えているプラズマ−アドレス電気−光学ディスプレイ装置において、前記薄い誘電体のシート状部材が、各チャネルの上方にほぼ垂直の側壁が両側に位置する薄い頂部壁を形成するエッチングによる凹所を具え、前記薄い頂部壁がほぼ平坦な内側面を有するようにしたことを特徴とするプラズマ−アドレス電気−光学ディスプレイ装置。６．前記誘電体シート状部材がガラス基板の上に支持されるようにしたことを特徴とする請求項５に記載の装置。７．前記ガラス基板が側壁を形成するエッチングによるトラフ状の凹所を有するガラスプレートを具え、前記基板の側壁が前記誘電体シート状部材の前記両側に位置する側壁と整列する用にしたことを特徴とする請求項６に記載の装置。８．前記離間電極を、前記両側に並べる側壁上に設けるようにしたことを特徴とする請求項７に記載の装置。９．前記頂部壁の厚さを５〜５０μｍとしたことを特徴とする請求項５に記載の装置。