JPH10340552A - 磁気ヘッド装置及びその製造方法 - Google Patents
磁気ヘッド装置及びその製造方法Info
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- JPH10340552A JPH10340552A JP9149064A JP14906497A JPH10340552A JP H10340552 A JPH10340552 A JP H10340552A JP 9149064 A JP9149064 A JP 9149064A JP 14906497 A JP14906497 A JP 14906497A JP H10340552 A JPH10340552 A JP H10340552A
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- pivot
- vertex
- tongue
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/4806—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives
- G11B5/4826—Mounting, aligning or attachment of the transducer head relative to the arm assembly, e.g. slider holding members, gimbals, adhesive
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B2220/00—Record carriers by type
- G11B2220/20—Disc-shaped record carriers
- G11B2220/25—Disc-shaped record carriers characterised in that the disc is based on a specific recording technology
- G11B2220/2508—Magnetic discs
- G11B2220/2516—Hard disks
Landscapes
- Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ロードビームに球面状のピボットが形成され
ている磁気ヘッド装置では、ヘッド本体の位置合せは、
前記ピボットの内側の頂点を基準にして行われていた。
しかし、前記ピボットの内側の頂点と外側の頂点との位
置ずれが大きいと、ヘッド本体を揺動自在に動かすため
の支点となるべきピボットの外側の頂点がヘッド本体の
所定の位置からずれてに当接され、ヘッド本体の浮上姿
勢は不安定となる。 【解決手段】 ロードビーム５には切欠き（溝）１３に
より形成されたピボット１２が斜め下方向に突出してお
り、このピボット１２の頂点Ｂが、前記溝１３を通して
見える状態となっている。従って前記溝１３を通してピ
ボット１２の頂点Ｂとヘッド本体１とを直接位置合せで
きるため、ヘッド本体１の位置ずれは小さくなり、ヘッ
ド本体１の浮上姿勢は安定する。
ている磁気ヘッド装置では、ヘッド本体の位置合せは、
前記ピボットの内側の頂点を基準にして行われていた。
しかし、前記ピボットの内側の頂点と外側の頂点との位
置ずれが大きいと、ヘッド本体を揺動自在に動かすため
の支点となるべきピボットの外側の頂点がヘッド本体の
所定の位置からずれてに当接され、ヘッド本体の浮上姿
勢は不安定となる。 【解決手段】 ロードビーム５には切欠き（溝）１３に
より形成されたピボット１２が斜め下方向に突出してお
り、このピボット１２の頂点Ｂが、前記溝１３を通して
見える状態となっている。従って前記溝１３を通してピ
ボット１２の頂点Ｂとヘッド本体１とを直接位置合せで
きるため、ヘッド本体１の位置ずれは小さくなり、ヘッ
ド本体１の浮上姿勢は安定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ハードディスク装
置などに装備される浮上式の磁気ヘッド装置に係り、特
にヘッド本体を支持するための支持部材に形成される当
接部（ピボット）を簡単に形成できると共に、この当接
部を高精度に形成して、ヘッド本体の浮上姿勢を安定さ
せることが可能な磁気ヘッド装置及びその製造方法に関
する。
置などに装備される浮上式の磁気ヘッド装置に係り、特
にヘッド本体を支持するための支持部材に形成される当
接部（ピボット）を簡単に形成できると共に、この当接
部を高精度に形成して、ヘッド本体の浮上姿勢を安定さ
せることが可能な磁気ヘッド装置及びその製造方法に関
する。
【０００２】
【従来の技術】図８はハードディスク装置に使用される
磁気ヘッド装置の従来例を示す部分平面図、図９はその
部分側面図である。この磁気ヘッド装置は、ヘッド本体
１とこれを支持する支持部材２とから構成されている。
ヘッド本体１は、ハードディスクなどのディスクＤに対
向するスライダ３を有し、このスライダ３のトレーリン
グ側（ロ）端面に薄膜素子４が設けられている。前記ス
ライダ３はセラミック材料などにより形成されている。
また前記薄膜素子４は、磁気抵抗効果を利用してハード
ディスクなどの記録媒体からの洩れ磁界を検出し磁気信
号を読み取るＭＲヘッド（読み出しヘッド）と、コイル
などがパターン形成されたインダクティブヘッド（書き
込みヘッド）とを有している。
磁気ヘッド装置の従来例を示す部分平面図、図９はその
部分側面図である。この磁気ヘッド装置は、ヘッド本体
１とこれを支持する支持部材２とから構成されている。
ヘッド本体１は、ハードディスクなどのディスクＤに対
向するスライダ３を有し、このスライダ３のトレーリン
グ側（ロ）端面に薄膜素子４が設けられている。前記ス
ライダ３はセラミック材料などにより形成されている。
また前記薄膜素子４は、磁気抵抗効果を利用してハード
ディスクなどの記録媒体からの洩れ磁界を検出し磁気信
号を読み取るＭＲヘッド（読み出しヘッド）と、コイル
などがパターン形成されたインダクティブヘッド（書き
込みヘッド）とを有している。
【０００３】支持部材２は、ロードビーム５とフレキシ
ャ６とから構成されている。ロードビーム５は板ばね材
料により形成され、中間位置から先部にかけて両側部に
折り曲げ部５ａ，５ａが形成され、この部分が剛性を有
する構造となっており、ロードビーム５の基端部にて所
定の弾性押圧力を発揮できるものとなっている。また前
記折り曲げ部５ａ，５ａに挟まれた平坦部５ｂの先端部
付近には、図示下方向に突き出した球面状のピボット７
が形成されており、このピボット７に後述するフレキシ
ャ６を介して前記ヘッド本体１が当接される。またロー
ドビーム５の前記平坦部５ｂには、フレキシャ６の位置
を合せるための位置決め孔８が形成されている。
ャ６とから構成されている。ロードビーム５は板ばね材
料により形成され、中間位置から先部にかけて両側部に
折り曲げ部５ａ，５ａが形成され、この部分が剛性を有
する構造となっており、ロードビーム５の基端部にて所
定の弾性押圧力を発揮できるものとなっている。また前
記折り曲げ部５ａ，５ａに挟まれた平坦部５ｂの先端部
付近には、図示下方向に突き出した球面状のピボット７
が形成されており、このピボット７に後述するフレキシ
ャ６を介して前記ヘッド本体１が当接される。またロー
ドビーム５の前記平坦部５ｂには、フレキシャ６の位置
を合せるための位置決め孔８が形成されている。
【０００４】フレキシャ６は薄い板ばねにより形成され
たものであり、フレキシャ６は、固定部６ａと舌片６ｂ
と連結部６ｃとで構成されている。図８に示すように、
前記固定部６ａには位置決め孔９が形成されており、こ
の位置決め孔９と、ロードビーム５に形成された位置決
め孔８とが位置合せされた後、前記固定部６ａがロード
ビーム５の下面にスポット溶接などの手段などにより固
定される。またフレキシャ６の先端部には切欠きが形成
され、この切欠きにより離された部分が舌片６ｂと連結
部６ｃであり、前記連結部６ｃに段差部６ｄ，６ｄが形
成されることにより、前記舌片６ｂが固定部６ａよりも
下側に位置している。前記舌片６ｂの上面はロードビー
ム５に形成されたピボット７に突き当てられ、前記舌片
６ｂの下面に接着固定されたヘッド本体１が前記舌片６
ｂの弾性により、前記ピボット７の頂点を支点として姿
勢を自由に変えることができるようになっている。
たものであり、フレキシャ６は、固定部６ａと舌片６ｂ
と連結部６ｃとで構成されている。図８に示すように、
前記固定部６ａには位置決め孔９が形成されており、こ
の位置決め孔９と、ロードビーム５に形成された位置決
め孔８とが位置合せされた後、前記固定部６ａがロード
ビーム５の下面にスポット溶接などの手段などにより固
定される。またフレキシャ６の先端部には切欠きが形成
され、この切欠きにより離された部分が舌片６ｂと連結
部６ｃであり、前記連結部６ｃに段差部６ｄ，６ｄが形
成されることにより、前記舌片６ｂが固定部６ａよりも
下側に位置している。前記舌片６ｂの上面はロードビー
ム５に形成されたピボット７に突き当てられ、前記舌片
６ｂの下面に接着固定されたヘッド本体１が前記舌片６
ｂの弾性により、前記ピボット７の頂点を支点として姿
勢を自由に変えることができるようになっている。
【０００５】磁気ヘッド装置のヘッド本体１は、ロード
ビーム５の基端部の弾性力によりディスクＤに付勢され
ている。この磁気ヘッド装置は、いわゆるＣＳＳ（コン
タクト・スタート・ストップ）方式のハードディスク装
置などに使用され、ディスクＤが停止しているときは、
前記弾性力によりヘッド本体１の下面がディスクＤの記
録面に接触する。ディスクＤが始動すると、ディスクの
移動方向に沿ってヘッド本体１とディスクＤ表面の間に
空気流が導かれ、ヘッド本体１の下面が空気流による浮
上力を受けて、ヘッド本体１がディスクＤ表面から短い
距離δ3（スペーシング）だけ浮上する。浮上姿勢で
は、図９に示すように、ヘッド本体１のリーディング側
（イ）がトレーリング側（ロ）よりもディスクＤ上に高
く持ち上がる傾斜した浮上姿勢となる。この浮上姿勢に
て、薄膜素子４のＭＲヘッドによりディスクからの磁気
信号が検出され、あるいはインダクティブヘッドにより
前記磁気信号が書き込まれる。
ビーム５の基端部の弾性力によりディスクＤに付勢され
ている。この磁気ヘッド装置は、いわゆるＣＳＳ（コン
タクト・スタート・ストップ）方式のハードディスク装
置などに使用され、ディスクＤが停止しているときは、
前記弾性力によりヘッド本体１の下面がディスクＤの記
録面に接触する。ディスクＤが始動すると、ディスクの
移動方向に沿ってヘッド本体１とディスクＤ表面の間に
空気流が導かれ、ヘッド本体１の下面が空気流による浮
上力を受けて、ヘッド本体１がディスクＤ表面から短い
距離δ3（スペーシング）だけ浮上する。浮上姿勢で
は、図９に示すように、ヘッド本体１のリーディング側
（イ）がトレーリング側（ロ）よりもディスクＤ上に高
く持ち上がる傾斜した浮上姿勢となる。この浮上姿勢に
て、薄膜素子４のＭＲヘッドによりディスクからの磁気
信号が検出され、あるいはインダクティブヘッドにより
前記磁気信号が書き込まれる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ロードビーム５に形成
されるピボット７は、図１０に示すようなポンチ１０と
ダイス１１から成るプレス機械などにより形成される。
ポンチ１０の底部は球面状に突き出した形となってお
り、前記ポンチ１０と対向する位置のダイス１１上面が
球面状にへこんだ形となっている。ロードビーム５は前
記ダイス１１上に置かれ、そしてポンチ１０が図示下方
向に移動し、前記ポンチ１０が前記ロードビーム５をダ
イス１１に形成されたへこみ球面状内へ押圧することに
より、前記ロードビーム５に球面状のピボット７が形成
される。
されるピボット７は、図１０に示すようなポンチ１０と
ダイス１１から成るプレス機械などにより形成される。
ポンチ１０の底部は球面状に突き出した形となってお
り、前記ポンチ１０と対向する位置のダイス１１上面が
球面状にへこんだ形となっている。ロードビーム５は前
記ダイス１１上に置かれ、そしてポンチ１０が図示下方
向に移動し、前記ポンチ１０が前記ロードビーム５をダ
イス１１に形成されたへこみ球面状内へ押圧することに
より、前記ロードビーム５に球面状のピボット７が形成
される。
【０００７】またピボット７の別の形成方法としては図
１１（ａ）のような例が上げられる。図１１（ａ）に示
すポンチ１０は図１０に示すポンチ１０と同じ形状で形
成されているが、図１１（ａ）に示すダイス１１には前
記ポンチ１０と対向する位置に円筒形状の穴部１１ａが
設けられており、ダイス１１の形状が図１０と図１１
（ａ）とでは異なったものとなっている。図１１（ａ）
の場合も、図１０の場合と同様にダイス１１上にロード
ビーム５が置かれ、前記ロードビーム５がポンチ１０に
より図示下方向に押圧されて、前記ロードビーム５にピ
ボット７が形成される。
１１（ａ）のような例が上げられる。図１１（ａ）に示
すポンチ１０は図１０に示すポンチ１０と同じ形状で形
成されているが、図１１（ａ）に示すダイス１１には前
記ポンチ１０と対向する位置に円筒形状の穴部１１ａが
設けられており、ダイス１１の形状が図１０と図１１
（ａ）とでは異なったものとなっている。図１１（ａ）
の場合も、図１０の場合と同様にダイス１１上にロード
ビーム５が置かれ、前記ロードビーム５がポンチ１０に
より図示下方向に押圧されて、前記ロードビーム５にピ
ボット７が形成される。
【０００８】しかし、図１０及び図１１（ａ）に示すよ
うなプレス機械では、ポンチ１０の底部の頂点Ａと、ダ
イス１１に形成されたへこみ球面部の頂点Ｂ（図１１
（ａ）では穴部１１ａの中心線Ｌ）とが同じ垂直線Ｍ上
になく、幅Ｔ1，Ｔ2だけ位置ずれを起こす場合がある。
このように位置ずれを起こしているプレス機械でロード
ビーム５にピボット７が形成されると、ピボット７の内
側に形成される球面形状の頂点Ｃと外側に形成される球
面形状の頂点Ｂとが、図１０に示すプレス機械では幅Ｔ
1、図１１（ａ）に示すプレス機械では幅Ｔ2だけ位置ず
れを起こしてしまい、図に示すようにピボット７の膜厚
は不均一に形成されてしまう。このため、できるだけず
れ幅Ｔ1，Ｔ2を小さくする必要があるが、一般のプレス
加工装置では、ポンチ１０側の頂点Ａとダイス１１側の
頂点Ｂ（図１１（ａ）では穴部１１ｂの中心線Ｌ）との
ずれ幅Ｔ1，Ｔ2として５０μｍ程度の公差が生じるのを
避けることができない。
うなプレス機械では、ポンチ１０の底部の頂点Ａと、ダ
イス１１に形成されたへこみ球面部の頂点Ｂ（図１１
（ａ）では穴部１１ａの中心線Ｌ）とが同じ垂直線Ｍ上
になく、幅Ｔ1，Ｔ2だけ位置ずれを起こす場合がある。
このように位置ずれを起こしているプレス機械でロード
ビーム５にピボット７が形成されると、ピボット７の内
側に形成される球面形状の頂点Ｃと外側に形成される球
面形状の頂点Ｂとが、図１０に示すプレス機械では幅Ｔ
1、図１１（ａ）に示すプレス機械では幅Ｔ2だけ位置ず
れを起こしてしまい、図に示すようにピボット７の膜厚
は不均一に形成されてしまう。このため、できるだけず
れ幅Ｔ1，Ｔ2を小さくする必要があるが、一般のプレス
加工装置では、ポンチ１０側の頂点Ａとダイス１１側の
頂点Ｂ（図１１（ａ）では穴部１１ｂの中心線Ｌ）との
ずれ幅Ｔ1，Ｔ2として５０μｍ程度の公差が生じるのを
避けることができない。
【０００９】また図１０に示すプレス機械では、ダイス
１１側の頂点Ｂの位置が、金型の加工精度の誤差により
実際に形成されるべき頂点よりも公差上で約５〜１０μ
ｍずれた位置に形成される可能性がある。従って、図１
０に示すプレス機械では、ピボット７の外側の頂点Ｂと
内側の頂点Ｃとの間の公差上のずれ幅Ｔ1が、最大で約
６０μｍとなってしまう。また図１１（ａ）に示すプレ
ス機械で形成されたピボット７の外側には、図１１
（ｂ）に示すように結晶粒が突出し、前記ピボット７の
頂点Ｂ付近が凹凸形状となってしまう。この結晶粒の突
出により、ピボット７の外側の頂点Ｂがさらに幅Ｔ3
（約１０〜３０μｍ）ずれてしまい、ピボット７の外側
の頂点Ｂと、ピボット７の内側の頂点Ｃとの間の公差上
のずれ幅Ｔ2が最大で８０μｍとなってしまう。
１１側の頂点Ｂの位置が、金型の加工精度の誤差により
実際に形成されるべき頂点よりも公差上で約５〜１０μ
ｍずれた位置に形成される可能性がある。従って、図１
０に示すプレス機械では、ピボット７の外側の頂点Ｂと
内側の頂点Ｃとの間の公差上のずれ幅Ｔ1が、最大で約
６０μｍとなってしまう。また図１１（ａ）に示すプレ
ス機械で形成されたピボット７の外側には、図１１
（ｂ）に示すように結晶粒が突出し、前記ピボット７の
頂点Ｂ付近が凹凸形状となってしまう。この結晶粒の突
出により、ピボット７の外側の頂点Ｂがさらに幅Ｔ3
（約１０〜３０μｍ）ずれてしまい、ピボット７の外側
の頂点Ｂと、ピボット７の内側の頂点Ｃとの間の公差上
のずれ幅Ｔ2が最大で８０μｍとなってしまう。
【００１０】ピボット７の外側の頂点Ｂと内側の頂点Ｃ
とがずれていると以下のような問題点が発生する。前記
ピボット７の外側の頂点Ｂは、ヘッド本体１の浮上時に
おいて、前記ヘッド本体１を揺動自在に変位させるため
の支点となるべき位置であり、従って磁気ヘッド装置の
組立て工程において、ヘッド本体１がフレキシャ６の舌
片６ｂの下面に接着固定される際、ピボット７の頂点Ｂ
がヘッド本体１の上面の所定の位置（ほぼ中心）に当接
するようにヘッド本体１を位置合せする必要がある。
とがずれていると以下のような問題点が発生する。前記
ピボット７の外側の頂点Ｂは、ヘッド本体１の浮上時に
おいて、前記ヘッド本体１を揺動自在に変位させるため
の支点となるべき位置であり、従って磁気ヘッド装置の
組立て工程において、ヘッド本体１がフレキシャ６の舌
片６ｂの下面に接着固定される際、ピボット７の頂点Ｂ
がヘッド本体１の上面の所定の位置（ほぼ中心）に当接
するようにヘッド本体１を位置合せする必要がある。
【００１１】しかし、ヘッド本体１を位置合せする作業
では、通常はロードビーム５の上面側（図８参照）から
ビデオカメラなどで、ピボット７の凹部の頂点Ｃを基準
として、ヘッド本体１の外縁部が位置決めされ、この位
置決めの後に前記ヘッド本体１が舌片６ｂの下面に接着
固定される。つまり、ピボット７の内側の頂点Ｃの垂直
線下にピボット７の外側の頂点Ｂがあると見なして、ロ
ードビーム５を真上から見ながら（図８参照）、治具を
用いてピボット７の内側の頂点Ｃとヘッド本体１とが位
置合せされる。このため、図１２に示すようにピボット
７の外側の頂点Ｂと、ピボット７の内側の頂点Ｃとが同
じ垂直線Ｍ上になく、位置ずれを起こしていると、ピボ
ット７の外側の頂点Ｂに当接すべきヘッド本体１の上面
の所定の位置Ｅがピボット７の外側の頂点Ｂからずれて
しまい、よってヘッド本体１の浮上姿勢、特にロール方
向における浮上姿勢が不安定な状態となってしまう。
では、通常はロードビーム５の上面側（図８参照）から
ビデオカメラなどで、ピボット７の凹部の頂点Ｃを基準
として、ヘッド本体１の外縁部が位置決めされ、この位
置決めの後に前記ヘッド本体１が舌片６ｂの下面に接着
固定される。つまり、ピボット７の内側の頂点Ｃの垂直
線下にピボット７の外側の頂点Ｂがあると見なして、ロ
ードビーム５を真上から見ながら（図８参照）、治具を
用いてピボット７の内側の頂点Ｃとヘッド本体１とが位
置合せされる。このため、図１２に示すようにピボット
７の外側の頂点Ｂと、ピボット７の内側の頂点Ｃとが同
じ垂直線Ｍ上になく、位置ずれを起こしていると、ピボ
ット７の外側の頂点Ｂに当接すべきヘッド本体１の上面
の所定の位置Ｅがピボット７の外側の頂点Ｂからずれて
しまい、よってヘッド本体１の浮上姿勢、特にロール方
向における浮上姿勢が不安定な状態となってしまう。
【００１２】ヘッド本体１の上面の所定の位置Ｅと、ピ
ボット７の外側の頂点Ｂとの位置ずれが大きくなる程、
図１２に示す前記ヘッド本体１のロール方向における浮
上量の変動値δ4が大きくなる。この浮上量の変動値δ4
は、図１０または図１１（ａ）に示すプレス機械でピボ
ット７が形成された場合、図１０では約２０ｎｍ、図１
１（ａ）では約２５ｎｍ程度となってしまう。特にヘッ
ド本体１が小型化され、スペーシングδ3（図９に示
す）を小さくしたくても、浮上量の変動値δ4が大きけ
れば、実質的なスペーシングδ3が大きくなって、高密
度記録化が図れないという問題が発生する。
ボット７の外側の頂点Ｂとの位置ずれが大きくなる程、
図１２に示す前記ヘッド本体１のロール方向における浮
上量の変動値δ4が大きくなる。この浮上量の変動値δ4
は、図１０または図１１（ａ）に示すプレス機械でピボ
ット７が形成された場合、図１０では約２０ｎｍ、図１
１（ａ）では約２５ｎｍ程度となってしまう。特にヘッ
ド本体１が小型化され、スペーシングδ3（図９に示
す）を小さくしたくても、浮上量の変動値δ4が大きけ
れば、実質的なスペーシングδ3が大きくなって、高密
度記録化が図れないという問題が発生する。
【００１３】また、ヘッド本体１のトレーリング側
（ロ）端面には、薄膜素子４から引き出された薄膜によ
る電極端子部（接続部）が形成されている。従来では、
この電極端子部に細いワイヤが電気的に接続され、この
ワイヤがロードビームの基端部まで延ばすことにより、
ヘッド本体１に対する配線が行なわれていた。しかし、
最近では前記ワイヤの代わりに、導電パターンが薄膜に
よりフレキシャ６の下面に形成され、この導電パターン
の接続部と、ヘッド本体１の電極端子部とが、ボンディ
ングにより電気的に接続される構造が提案されている。
（ロ）端面には、薄膜素子４から引き出された薄膜によ
る電極端子部（接続部）が形成されている。従来では、
この電極端子部に細いワイヤが電気的に接続され、この
ワイヤがロードビームの基端部まで延ばすことにより、
ヘッド本体１に対する配線が行なわれていた。しかし、
最近では前記ワイヤの代わりに、導電パターンが薄膜に
よりフレキシャ６の下面に形成され、この導電パターン
の接続部と、ヘッド本体１の電極端子部とが、ボンディ
ングにより電気的に接続される構造が提案されている。
【００１４】しかしこのような配線構造を採用した場
合、前述した問題の他に新たな問題点が発生してしま
う。すなわち、ロードビーム５側に形成されたピボット
７の凹部の内側の頂点Ｃを基準としてヘッド本体１が位
置合せされると、ヘッド本体１がフレキシャ６の舌片６
ｂの下面に接着固定された時点で、ヘッド本体１のトレ
ーリング側（ロ）端面に設けられている電極端子部と導
電パターンの接続部との位置の間の公差が大きくなり、
電極端子部とパターンの接続部との位置ずれが大きくな
って、両部分を確実に位置決めして接合することができ
なくなる。逆に、ヘッド本体１の電極端子部と導電パタ
ーンの接続部とを位置合わせ基準として、前記ヘッド本
体１がフレキシャ６の舌片６ｂの下面に接着固定される
と、ヘッド本体１と導電パターンとの電気的接触性につ
いては問題がないが、ロードビーム５側に設けられたピ
ボット７の頂点Ｂと、ヘッド本体１との位置ずれが大き
くなる。
合、前述した問題の他に新たな問題点が発生してしま
う。すなわち、ロードビーム５側に形成されたピボット
７の凹部の内側の頂点Ｃを基準としてヘッド本体１が位
置合せされると、ヘッド本体１がフレキシャ６の舌片６
ｂの下面に接着固定された時点で、ヘッド本体１のトレ
ーリング側（ロ）端面に設けられている電極端子部と導
電パターンの接続部との位置の間の公差が大きくなり、
電極端子部とパターンの接続部との位置ずれが大きくな
って、両部分を確実に位置決めして接合することができ
なくなる。逆に、ヘッド本体１の電極端子部と導電パタ
ーンの接続部とを位置合わせ基準として、前記ヘッド本
体１がフレキシャ６の舌片６ｂの下面に接着固定される
と、ヘッド本体１と導電パターンとの電気的接触性につ
いては問題がないが、ロードビーム５側に設けられたピ
ボット７の頂点Ｂと、ヘッド本体１との位置ずれが大き
くなる。
【００１５】また前記ピボット７はフレキシャ６の舌片
６ｂに形成されてもよい。この場合、ロードビーム５と
フレキシャ６との組立て公差が、浮上量の変動値に累積
されないので、フレキシャ６に導電パターンが形成さ
れ、この導電パターンの接続部を基準にして、ヘッド本
体１が位置決めされる場合は、舌片６ｂにピボット７が
形成されていることが好ましい。しかし、前記ピボット
７が図１０や図１１（ａ）に示すプレス加工で形成され
れば、前述のように、前記ピボット７の頂点Ｂと、ヘッ
ド本体１とのずれ量が大きくなるばかりか、フレキシャ
６の膜厚がロードビーム５に比べて非常に薄いために、
前記ピボット７に孔が空いたり、または舌片６ｂが歪む
などの問題が生じ、前記ヘッド本体１の浮上姿勢は安定
しない。
６ｂに形成されてもよい。この場合、ロードビーム５と
フレキシャ６との組立て公差が、浮上量の変動値に累積
されないので、フレキシャ６に導電パターンが形成さ
れ、この導電パターンの接続部を基準にして、ヘッド本
体１が位置決めされる場合は、舌片６ｂにピボット７が
形成されていることが好ましい。しかし、前記ピボット
７が図１０や図１１（ａ）に示すプレス加工で形成され
れば、前述のように、前記ピボット７の頂点Ｂと、ヘッ
ド本体１とのずれ量が大きくなるばかりか、フレキシャ
６の膜厚がロードビーム５に比べて非常に薄いために、
前記ピボット７に孔が空いたり、または舌片６ｂが歪む
などの問題が生じ、前記ヘッド本体１の浮上姿勢は安定
しない。
【００１６】本発明は上記従来の課題を解決するための
ものであり、ヘッド本体の変位支点となる当接部を高精
度に形成できるようにして、当接部の頂点とヘッド本体
との相対位置を高精度に設定できるようにした磁気ヘッ
ド装置及びその製造方法を提供することを目的としてい
る。
ものであり、ヘッド本体の変位支点となる当接部を高精
度に形成できるようにして、当接部の頂点とヘッド本体
との相対位置を高精度に設定できるようにした磁気ヘッ
ド装置及びその製造方法を提供することを目的としてい
る。
【００１７】また本発明は、フレキシャに形成された導
電パターンと、ヘッド本体の電極端子部とを接合する場
合に、この導電パターンと電極端子部との相対位置、お
よび当接部とヘッド本体との相対位置の双方に大きな位
置ずれが生じないようにした磁気ヘッド装置及びその製
造方法を提供することを目的としている。
電パターンと、ヘッド本体の電極端子部とを接合する場
合に、この導電パターンと電極端子部との相対位置、お
よび当接部とヘッド本体との相対位置の双方に大きな位
置ずれが生じないようにした磁気ヘッド装置及びその製
造方法を提供することを目的としている。
【００１８】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気ヘッド装置
は、ロードビームと、このロードビームに設けられた弾
性変位可能な舌片を有するフレキシャと、前記舌片に固
定されたヘッド本体とを有し、前記ロードビームには板
状の当接部が一体となって折り曲げ形成されており、前
記当接部の頂点が舌片に当接し、前記当接部の頂点が前
記ヘッド本体の変位支点となっていることを特徴とする
ものである。
は、ロードビームと、このロードビームに設けられた弾
性変位可能な舌片を有するフレキシャと、前記舌片に固
定されたヘッド本体とを有し、前記ロードビームには板
状の当接部が一体となって折り曲げ形成されており、前
記当接部の頂点が舌片に当接し、前記当接部の頂点が前
記ヘッド本体の変位支点となっていることを特徴とする
ものである。
【００１９】または、ロードビームと、このロードビー
ムに設けられた弾性変位可能な舌片を有するフレキシャ
と、前記舌片に固定されたヘッド本体とを有し、前記舌
片には板状の当接部が一体となって折り曲げ形成されて
おり、前記当接部の頂点がロードビームに当接し、前記
当接部の頂点が前記ヘッド本体の変位支点となっている
ことを特徴とするものである。
ムに設けられた弾性変位可能な舌片を有するフレキシャ
と、前記舌片に固定されたヘッド本体とを有し、前記舌
片には板状の当接部が一体となって折り曲げ形成されて
おり、前記当接部の頂点がロードビームに当接し、前記
当接部の頂点が前記ヘッド本体の変位支点となっている
ことを特徴とするものである。
【００２０】上記において、フレキシャに導電パターン
が設けられ、この導電パターンの接続部とヘッド本体に
設けられた電極端子部とが接合体を介して接合されるも
のとすることが可能である。
が設けられ、この導電パターンの接続部とヘッド本体に
設けられた電極端子部とが接合体を介して接合されるも
のとすることが可能である。
【００２１】次に、本発明の磁気ヘッド装置の製造方法
は、ロードビームと、このロードビームに設けられた弾
性変位可能な舌片を有するフレキシャと、前記舌片に固
定されたヘッド本体とを有する磁気ヘッドの製造方法に
おいて、前記ヘッド本体の変位支点となる当接部をロー
ドビームから舌片側へ折り曲げて、前記当接部の頂点を
前記舌片に当接させ、または前記当接部を舌片側からロ
ードビーム側へ折り曲げて、前記当接部の頂点をロード
ビームに当接させることを特徴とするものである。
は、ロードビームと、このロードビームに設けられた弾
性変位可能な舌片を有するフレキシャと、前記舌片に固
定されたヘッド本体とを有する磁気ヘッドの製造方法に
おいて、前記ヘッド本体の変位支点となる当接部をロー
ドビームから舌片側へ折り曲げて、前記当接部の頂点を
前記舌片に当接させ、または前記当接部を舌片側からロ
ードビーム側へ折り曲げて、前記当接部の頂点をロード
ビームに当接させることを特徴とするものである。
【００２２】例えば、前記ロードビームまたは舌片にエ
ッチングにより分離した当接部を形成し、この当接部を
前記ロードビームまたは舌片から折り曲げるものとな
る。
ッチングにより分離した当接部を形成し、この当接部を
前記ロードビームまたは舌片から折り曲げるものとな
る。
【００２３】本発明では、当接部の頂点とヘッド本体と
の位置ずれを最小限に抑えるために、前記当接部の頂点
を基準にして、前記ヘッド本体の位置決めが行われる場
合には、当接部がロードビーム側に形成されることが好
ましい。
の位置ずれを最小限に抑えるために、前記当接部の頂点
を基準にして、前記ヘッド本体の位置決めが行われる場
合には、当接部がロードビーム側に形成されることが好
ましい。
【００２４】前記当接部の形成方法及びヘッド本体の位
置決め方法を以下に説明する。例えば図４に示すよう
に、平板状のロードビーム５の先部付近に切欠き部１３
が形成され、この切欠き部１３により切り離された部分
がピボット１２となっている。そして点線が山折りに
折り曲げられることにより、ピボット１２が図示斜め下
方向に突出した状態となる。図２に示すように磁気ヘッ
ド装置を真上から見てみると、ピボット１２の頂点Ｂ
は、前記ピボット１２と同形状の溝（切欠き）１３を通
して見える状態となっている。
置決め方法を以下に説明する。例えば図４に示すよう
に、平板状のロードビーム５の先部付近に切欠き部１３
が形成され、この切欠き部１３により切り離された部分
がピボット１２となっている。そして点線が山折りに
折り曲げられることにより、ピボット１２が図示斜め下
方向に突出した状態となる。図２に示すように磁気ヘッ
ド装置を真上から見てみると、ピボット１２の頂点Ｂ
は、前記ピボット１２と同形状の溝（切欠き）１３を通
して見える状態となっている。
【００２５】つまり、従来では、ピボット７はプレス機
械などで球面状に形成されていたため、前記ピボット７
の頂点Ｂは真上から見えない状態となっており（図８に
示す状態）、従って、磁気ヘッド装置を真上から見なが
ら、ピボット７の頂点Ｂとヘッド本体１との位置合せを
行うことは不可能であったが、本発明では、前述したよ
うに、ピボット１２の頂点Ｂが真上から見える状態にあ
るため、前記頂点Ｂとヘッド本体１との位置合せを直接
的にしかも容易に行うことが可能となり、ピボットの頂
点とヘッド本体との位置ずれを小さくできる。
械などで球面状に形成されていたため、前記ピボット７
の頂点Ｂは真上から見えない状態となっており（図８に
示す状態）、従って、磁気ヘッド装置を真上から見なが
ら、ピボット７の頂点Ｂとヘッド本体１との位置合せを
行うことは不可能であったが、本発明では、前述したよ
うに、ピボット１２の頂点Ｂが真上から見える状態にあ
るため、前記頂点Ｂとヘッド本体１との位置合せを直接
的にしかも容易に行うことが可能となり、ピボットの頂
点とヘッド本体との位置ずれを小さくできる。
【００２６】ピボットの頂点とヘッド本体との位置ずれ
が小さくなることにより、ヘッド本体の浮上姿勢におい
て特にロール方向におけるヘッド本体の浮上量の変動値
は小さくなり、従ってスペーシング量を小さくでき、高
密度記録化を図ることが可能となる。
が小さくなることにより、ヘッド本体の浮上姿勢におい
て特にロール方向におけるヘッド本体の浮上量の変動値
は小さくなり、従ってスペーシング量を小さくでき、高
密度記録化を図ることが可能となる。
【００２７】また、本発明では図４に示す切欠き１３が
エッチングで形成されることが好ましく、これにより前
記切欠き１３により形成されるピボット１２の形状及び
形成位置の精度を向上させることができる。
エッチングで形成されることが好ましく、これにより前
記切欠き１３により形成されるピボット１２の形状及び
形成位置の精度を向上させることができる。
【００２８】次に、本発明では、薄膜による導電パター
ンがフレキシャの下面に形成され、ヘッド本体の位置合
わせが、前記電極パターンの接続部を基準にして行われ
る場合は、特に、フレキシャの舌片に当接部が形成され
ることが好ましいとするものである。
ンがフレキシャの下面に形成され、ヘッド本体の位置合
わせが、前記電極パターンの接続部を基準にして行われ
る場合は、特に、フレキシャの舌片に当接部が形成され
ることが好ましいとするものである。
【００２９】フレキシャの舌片に当接部が形成されてい
る場合、ロードビームとフレキシャとのずれが、浮上量
の変動値に累積されない。従って、導電パターンの接続
部と当接部の頂点との位置精度を向上させれば、ヘッド
本体と当接部の頂点との位置ずれを最小限に抑えること
ができ、ヘッド本体の浮上姿勢を安定化させることがで
きる。
る場合、ロードビームとフレキシャとのずれが、浮上量
の変動値に累積されない。従って、導電パターンの接続
部と当接部の頂点との位置精度を向上させれば、ヘッド
本体と当接部の頂点との位置ずれを最小限に抑えること
ができ、ヘッド本体の浮上姿勢を安定化させることがで
きる。
【００３０】本発明では、導電パターンの接続部と当接
部の頂点との位置精度を向上させるために、前記当接部
は、ロードビームに形成された当接部と同じ様に、切欠
きにて形成される。（図６参照）
部の頂点との位置精度を向上させるために、前記当接部
は、ロードビームに形成された当接部と同じ様に、切欠
きにて形成される。（図６参照）
【００３１】舌片に形成される当接部が切欠きにて形成
されると、従来のように前記当接部に孔が形成されたり
する不具合は生じなくなる。また、特に前記切欠きがエ
ッチングにて形成されると、当接部の形状及び形成位置
の精度を向上させることができて好ましい。ピボットの
頂点とヘッド本体との位置ずれが小さくなると、ヘッド
本体の浮上姿勢において特にロール方向におけるヘッド
本体の浮上量の変動値は小さくなり、従ってスペーシン
グ量を小さくでき、高密度記録化を図ることが可能とな
る。
されると、従来のように前記当接部に孔が形成されたり
する不具合は生じなくなる。また、特に前記切欠きがエ
ッチングにて形成されると、当接部の形状及び形成位置
の精度を向上させることができて好ましい。ピボットの
頂点とヘッド本体との位置ずれが小さくなると、ヘッド
本体の浮上姿勢において特にロール方向におけるヘッド
本体の浮上量の変動値は小さくなり、従ってスペーシン
グ量を小さくでき、高密度記録化を図ることが可能とな
る。
【００３２】
【発明の実施の形態】図１は本発明の第１の実施の形態
としてハードディスク装置などに装備される浮上式の磁
気ヘッド装置を示す部分分解斜視図、図２は組立て完成
後の磁気ヘッド装置の部分平面図、図３は組立て完成後
の磁気ヘッド装置の部分側面図、図４（ａ）は図１に示
すロードビームの部分展開図、図４（ｂ）は、図４
（ａ）に示すピボットを別の形状としたロードビームの
部分展開図である。この磁気ヘッド装置は、ヘッド本体
１とこれを支持する支持部材２とから構成されている。
としてハードディスク装置などに装備される浮上式の磁
気ヘッド装置を示す部分分解斜視図、図２は組立て完成
後の磁気ヘッド装置の部分平面図、図３は組立て完成後
の磁気ヘッド装置の部分側面図、図４（ａ）は図１に示
すロードビームの部分展開図、図４（ｂ）は、図４
（ａ）に示すピボットを別の形状としたロードビームの
部分展開図である。この磁気ヘッド装置は、ヘッド本体
１とこれを支持する支持部材２とから構成されている。
【００３３】ヘッド本体１は、スライダ３と、前記スラ
イダ３のトレーリング側（ロ）の端面に設けられた薄膜
素子４とから構成されている。前記スライダ３はセラミ
ック材料により形成されており、図１に示すようにディ
スクＤとの対向部側にはレール部３ａ，３ａ（浮上面；
ＡＢＳ面）が形成されている。また、前記薄膜素子４
は、磁性材料のパーマロイ（Ｎｉ―Ｆｅ系合金）や絶縁
材料のアルミナなどが積層されたものであり、ディスク
に記録された磁気記録信号を再生する磁気検出部、また
はディスクに磁気信号を記録する磁気記録部、あるいは
磁気検出部と磁気記録部の双方を含むものである。磁気
検出部は例えば磁気抵抗効果素子（ＭＲ素子）により構
成されたＭＲヘッドである。また磁気記録部は、コイル
とコアがパターン形成されたインダクティブヘッドによ
り構成される。
イダ３のトレーリング側（ロ）の端面に設けられた薄膜
素子４とから構成されている。前記スライダ３はセラミ
ック材料により形成されており、図１に示すようにディ
スクＤとの対向部側にはレール部３ａ，３ａ（浮上面；
ＡＢＳ面）が形成されている。また、前記薄膜素子４
は、磁性材料のパーマロイ（Ｎｉ―Ｆｅ系合金）や絶縁
材料のアルミナなどが積層されたものであり、ディスク
に記録された磁気記録信号を再生する磁気検出部、また
はディスクに磁気信号を記録する磁気記録部、あるいは
磁気検出部と磁気記録部の双方を含むものである。磁気
検出部は例えば磁気抵抗効果素子（ＭＲ素子）により構
成されたＭＲヘッドである。また磁気記録部は、コイル
とコアがパターン形成されたインダクティブヘッドによ
り構成される。
【００３４】前記支持部材２は、ロードビーム５とフレ
キシャ６とから構成されている。ロードビーム５は板ば
ね材料により形成されている。ロードビーム５には図１
の左上側から先部付近にかけて両側に折り曲げ部５ａ，
５ａが形成され、この部分が剛性を有する構造となって
いる。この折り曲げ部５ａ，５ａはロードビーム５のほ
ぼ中間位置まで設けられており、前記折り曲げ部５ａ，
５ａの後方の終端から基端部にかけて、前記折り曲げ部
５ａ，５ａを有しない板ばね機能部（図示しない）が形
成されている。また前記折り曲げ部５ａ，５ａに挟まれ
た平坦部５ｂは図に示すように、ロードビーム５の先部
に向かうに従って徐々に幅寸法が小さくなっている。
キシャ６とから構成されている。ロードビーム５は板ば
ね材料により形成されている。ロードビーム５には図１
の左上側から先部付近にかけて両側に折り曲げ部５ａ，
５ａが形成され、この部分が剛性を有する構造となって
いる。この折り曲げ部５ａ，５ａはロードビーム５のほ
ぼ中間位置まで設けられており、前記折り曲げ部５ａ，
５ａの後方の終端から基端部にかけて、前記折り曲げ部
５ａ，５ａを有しない板ばね機能部（図示しない）が形
成されている。また前記折り曲げ部５ａ，５ａに挟まれ
た平坦部５ｂは図に示すように、ロードビーム５の先部
に向かうに従って徐々に幅寸法が小さくなっている。
【００３５】ロードビーム５の平坦部５ｂの先部付近に
は溝１３が形成されており、この溝１３から前記溝１３
と相似形状で、しかもロードビーム５と一体となって平
板状のピボット（当接部）１２が斜め下方向に突き出し
ている。このピボット１２は図１に示すようにその頂点
Ｂが所定の曲率の円形状となっており、この頂点Ｂが後
述するフレキシャ６の舌片６ｂを介してヘッド本体１の
上面の所定の位置Ｅ（ほぼ中心部）に当接するようにな
っている。
は溝１３が形成されており、この溝１３から前記溝１３
と相似形状で、しかもロードビーム５と一体となって平
板状のピボット（当接部）１２が斜め下方向に突き出し
ている。このピボット１２は図１に示すようにその頂点
Ｂが所定の曲率の円形状となっており、この頂点Ｂが後
述するフレキシャ６の舌片６ｂを介してヘッド本体１の
上面の所定の位置Ｅ（ほぼ中心部）に当接するようにな
っている。
【００３６】本発明では前記ピボット１２の形状につい
て何ら限定を与えるものではないが、前記ピボット１２
の頂点の形状は、図１に示すような円形状かまたは図４
（ｂ）に示すようなＶ字形状として、ピボット１２と舌
片６ｂとの接触面積をできるだけ小さくしておくことが
好ましい。このように構成することにより、ヘッド本体
１は前記ピボット１２の頂点Ｂを支点として揺動自在に
支持されるようになる。すなわち、ピボット１２の頂点
Ｂをできるだけ点に近い形状にすることにより、ヘッド
本体１の揺動動作が自在となる。特に本発明では前述し
たように、前記ピボット１２が平板状で形成されている
ためこのピボット１２が舌片６ｂを介してヘッド本体１
に限りなく点に近い部分で当接できるものとなってい
る。
て何ら限定を与えるものではないが、前記ピボット１２
の頂点の形状は、図１に示すような円形状かまたは図４
（ｂ）に示すようなＶ字形状として、ピボット１２と舌
片６ｂとの接触面積をできるだけ小さくしておくことが
好ましい。このように構成することにより、ヘッド本体
１は前記ピボット１２の頂点Ｂを支点として揺動自在に
支持されるようになる。すなわち、ピボット１２の頂点
Ｂをできるだけ点に近い形状にすることにより、ヘッド
本体１の揺動動作が自在となる。特に本発明では前述し
たように、前記ピボット１２が平板状で形成されている
ためこのピボット１２が舌片６ｂを介してヘッド本体１
に限りなく点に近い部分で当接できるものとなってい
る。
【００３７】次に、図４（ａ）（ｂ）を参照して前記ピ
ボット１２の形成方法について説明する。図４（ａ）
（ｂ）は、ロードビーム５の先部付近のみを示す部分展
開図である。ロードビーム５の平坦部５ｂ先部付近に
は、切欠き１３が形成され、この切欠き１３により離さ
れた部分がピボット１２となっている。図に示す状態か
ら、図示点線，がプレス加工により谷折りてに折り
曲げられることにより、折り曲げ部５ａ，５ａが形成さ
れる。さらに、ピボット１２と平坦部５ｂとの境目とな
る点線が山折りにて折り曲げられることにより、図１
及び図３に示すように、前記ピボット１２がロードビー
ム５の平坦部５ｂの下方へ突出した状態となる。
ボット１２の形成方法について説明する。図４（ａ）
（ｂ）は、ロードビーム５の先部付近のみを示す部分展
開図である。ロードビーム５の平坦部５ｂ先部付近に
は、切欠き１３が形成され、この切欠き１３により離さ
れた部分がピボット１２となっている。図に示す状態か
ら、図示点線，がプレス加工により谷折りてに折り
曲げられることにより、折り曲げ部５ａ，５ａが形成さ
れる。さらに、ピボット１２と平坦部５ｂとの境目とな
る点線が山折りにて折り曲げられることにより、図１
及び図３に示すように、前記ピボット１２がロードビー
ム５の平坦部５ｂの下方へ突出した状態となる。
【００３８】なお、本発明では前記切欠き１３がエッチ
ングにより形成されることが好ましい。図４（ａ）
（ｂ）に示すロードビーム５の全体構造は、平板からエ
ッチング処理が施されることにより形成されるものであ
る。このため、ロードビーム５の全体構造形成と同じエ
ッチング工程内で、前記切欠き１３もエッチングにより
形成されるようにすれば、工程数を減少でき、生産コス
トを低減させることができる。また、前記切欠き１３が
エッチングにより形成されることにより、プレス形成な
どに比べ、前記切欠き１３により形成されるピボット１
２の形状及び形成位置の精度を向上させることができ、
ヘッド本体１の浮上姿勢をより安定させることができ
る。また、図１及び図２に示すようにロードビーム５の
平坦部５ｂには、前記ピボット１２の形成位置よりも後
方に所定内径寸法の位置決め孔８が形成されている。
ングにより形成されることが好ましい。図４（ａ）
（ｂ）に示すロードビーム５の全体構造は、平板からエ
ッチング処理が施されることにより形成されるものであ
る。このため、ロードビーム５の全体構造形成と同じエ
ッチング工程内で、前記切欠き１３もエッチングにより
形成されるようにすれば、工程数を減少でき、生産コス
トを低減させることができる。また、前記切欠き１３が
エッチングにより形成されることにより、プレス形成な
どに比べ、前記切欠き１３により形成されるピボット１
２の形状及び形成位置の精度を向上させることができ、
ヘッド本体１の浮上姿勢をより安定させることができ
る。また、図１及び図２に示すようにロードビーム５の
平坦部５ｂには、前記ピボット１２の形成位置よりも後
方に所定内径寸法の位置決め孔８が形成されている。
【００３９】フレキシャ６は薄い板ばねにより形成され
ているものである。このフレキシャ６の固定部６ａに
は、ロードビーム５側の前記位置決め孔８と同じ内径寸
法の位置決め孔９が形成されている。また、図１に示す
ようにフレキシャ６の先部付近では、切欠きが形成さ
れ、この切欠きにより離された部分が舌片６ｂと連結部
６ｃであり、前記連結部６ｃに段差部６ｄ，６ｄが形成
されることで、前記舌片６ｂが固定部６ａよりも下側に
位置する。
ているものである。このフレキシャ６の固定部６ａに
は、ロードビーム５側の前記位置決め孔８と同じ内径寸
法の位置決め孔９が形成されている。また、図１に示す
ようにフレキシャ６の先部付近では、切欠きが形成さ
れ、この切欠きにより離された部分が舌片６ｂと連結部
６ｃであり、前記連結部６ｃに段差部６ｄ，６ｄが形成
されることで、前記舌片６ｂが固定部６ａよりも下側に
位置する。
【００４０】以上のように本発明では、ロードビーム５
に切欠き１３が形成され、この切欠き１３により離され
た部分が折り曲げられてピボット１２が形成されてい
る。このためピボット１２の頂点Ｂは、図２に示すよう
に磁気ヘッド装置を真上から見た場合、溝１３を通して
見える位置に置かれることになる。つまり本発明では、
ヘッド本体１を揺動自在に動かすための支点となるピボ
ット１２の頂点Ｂと前記ヘッド本体１との位置合せを、
溝１３を通して直接に観察しながら行うことが可能であ
り、従ってピボット１２の頂点Ｂとヘッド本体１との位
置ずれを小さく抑えることが可能となる。
に切欠き１３が形成され、この切欠き１３により離され
た部分が折り曲げられてピボット１２が形成されてい
る。このためピボット１２の頂点Ｂは、図２に示すよう
に磁気ヘッド装置を真上から見た場合、溝１３を通して
見える位置に置かれることになる。つまり本発明では、
ヘッド本体１を揺動自在に動かすための支点となるピボ
ット１２の頂点Ｂと前記ヘッド本体１との位置合せを、
溝１３を通して直接に観察しながら行うことが可能であ
り、従ってピボット１２の頂点Ｂとヘッド本体１との位
置ずれを小さく抑えることが可能となる。
【００４１】図５は本発明の第２の実施の形態としてハ
ードディスク装置などに装備される浮上式の磁気ヘッド
装置を示す部分側面図、図６はフレキシャの斜視図、図
７は図５に示す磁気ヘッド装置を裏側から見た部分拡大
底面図である。図６に示すように、フレキシャ６の舌片
６ｂには溝１３が形成され、この溝１３の端部から、前
記溝１３と相似形状でしかも舌片６ｂと一体となって図
示斜め上方向にピボット（当接部）１２が突出してい
る。このピボット１２は図４（ａ）（ｂ）に示すピボッ
ト１２の形成方法と全く同じ方法で形成されている。つ
まり、フレキシャ６の舌片６ｂにエッチングなどにより
切欠きが形成され、この切欠きより離された部分がピボ
ット１２であり、このピボット１２が斜め上方向に折り
曲げられることにより、図６に示すようなフレキシャ６
が完成する。
ードディスク装置などに装備される浮上式の磁気ヘッド
装置を示す部分側面図、図６はフレキシャの斜視図、図
７は図５に示す磁気ヘッド装置を裏側から見た部分拡大
底面図である。図６に示すように、フレキシャ６の舌片
６ｂには溝１３が形成され、この溝１３の端部から、前
記溝１３と相似形状でしかも舌片６ｂと一体となって図
示斜め上方向にピボット（当接部）１２が突出してい
る。このピボット１２は図４（ａ）（ｂ）に示すピボッ
ト１２の形成方法と全く同じ方法で形成されている。つ
まり、フレキシャ６の舌片６ｂにエッチングなどにより
切欠きが形成され、この切欠きより離された部分がピボ
ット１２であり、このピボット１２が斜め上方向に折り
曲げられることにより、図６に示すようなフレキシャ６
が完成する。
【００４２】このフレキシャ６の裏側には、図７に示す
ように薄膜による導電パターン１４が形成されている。
この導電パターン１４は、例えばフレキシャ６上に、ポ
リイミド樹脂製の下地層が形成され、この下地層の上に
金（Ａｕ）、銅（Ｃｕ）製などの回路パターンが蒸着ま
たはスパッタ法、あるいはエッチング法などにより形成
され、さらに前記回路パターンの上に、ポリイミド樹脂
製の保護層が形成された三層構造となっている。
ように薄膜による導電パターン１４が形成されている。
この導電パターン１４は、例えばフレキシャ６上に、ポ
リイミド樹脂製の下地層が形成され、この下地層の上に
金（Ａｕ）、銅（Ｃｕ）製などの回路パターンが蒸着ま
たはスパッタ法、あるいはエッチング法などにより形成
され、さらに前記回路パターンの上に、ポリイミド樹脂
製の保護層が形成された三層構造となっている。
【００４３】図７に示すようにフレキシャ６の先端領域
では、導電パターン１４は、フレキシャ６の固定部６ａ
から舌片６ｂにかけて形成されている。また前記舌片６
ｂに形成されている導電パターン１４の幅は、フレキシ
ャ６の基端部方向に向けて徐々に大きくなっており、こ
の部分がヘッド本体１との接続部１４ａとなっている。
またヘッド本体１のトレーリング側端部には、薄膜素子
４から引き出された薄膜による電極端子部４ａが、導電
パターン１４の接続部１４ａと同じ間隔にて形成されて
いる。
では、導電パターン１４は、フレキシャ６の固定部６ａ
から舌片６ｂにかけて形成されている。また前記舌片６
ｂに形成されている導電パターン１４の幅は、フレキシ
ャ６の基端部方向に向けて徐々に大きくなっており、こ
の部分がヘッド本体１との接続部１４ａとなっている。
またヘッド本体１のトレーリング側端部には、薄膜素子
４から引き出された薄膜による電極端子部４ａが、導電
パターン１４の接続部１４ａと同じ間隔にて形成されて
いる。
【００４４】この磁気ヘッド装置では、ヘッド本体１の
位置合わせを、導電パターン１４の接続部１４ａを基準
にして行うことが可能である。すなわち、ピボット１２
と、前記接続部１４ａとが同じフレキシャ６に形成され
ているため、ヘッド本体１の変位支点となるピボット１
２の頂点と、前記接続部１４ａとの互いの相対位置を高
精度に決めることが可能である。特に、ピボット１２が
エッチング工程で形成される場合には、成膜工程で形成
される接続部１４ａと前記ピボット１２との相対位置
を、マスクなどの製造誤差のみで、互いに高精度に設定
できる。また、ロードビーム側にピボットが形成されて
いる場合のように、ロードビームとフレキシャとの組み
立て公差が、ピボット１２の頂点と接続部１４ａとの相
対位置の公差に累積されなくなる。
位置合わせを、導電パターン１４の接続部１４ａを基準
にして行うことが可能である。すなわち、ピボット１２
と、前記接続部１４ａとが同じフレキシャ６に形成され
ているため、ヘッド本体１の変位支点となるピボット１
２の頂点と、前記接続部１４ａとの互いの相対位置を高
精度に決めることが可能である。特に、ピボット１２が
エッチング工程で形成される場合には、成膜工程で形成
される接続部１４ａと前記ピボット１２との相対位置
を、マスクなどの製造誤差のみで、互いに高精度に設定
できる。また、ロードビーム側にピボットが形成されて
いる場合のように、ロードビームとフレキシャとの組み
立て公差が、ピボット１２の頂点と接続部１４ａとの相
対位置の公差に累積されなくなる。
【００４５】従ってヘッド本体１が接続部１４ａを基準
として、すなわち、接続部１４ａとヘッド本体１の電極
端子部４ａとが互いに位置ずれしないようにヘッド本体
１を位置決めして、ヘッド本体１と舌片６ｂとを固定し
た場合に、ヘッド本体１とピボット１２の頂点との位置
は互いに高精度に決められることになる。ヘッド本体１
がフレキシャ６の舌片６ｂの下に接着固定される際に
は、まずヘッド本体１のトレーリング側端面に設けられ
た電極端子部４ａと導電パターン１４の接続部１４ａと
が位置合わせされた後、前記ヘッド本体１が舌片６ｂに
接着固定され、さらにヘッド本体１の電極端子部４ａと
導電パターン１４の接続部１４ａとの接合部分に金（Ａ
ｕ）のボールボンディングなどのよる接合体１５が形成
される。
として、すなわち、接続部１４ａとヘッド本体１の電極
端子部４ａとが互いに位置ずれしないようにヘッド本体
１を位置決めして、ヘッド本体１と舌片６ｂとを固定し
た場合に、ヘッド本体１とピボット１２の頂点との位置
は互いに高精度に決められることになる。ヘッド本体１
がフレキシャ６の舌片６ｂの下に接着固定される際に
は、まずヘッド本体１のトレーリング側端面に設けられ
た電極端子部４ａと導電パターン１４の接続部１４ａと
が位置合わせされた後、前記ヘッド本体１が舌片６ｂに
接着固定され、さらにヘッド本体１の電極端子部４ａと
導電パターン１４の接続部１４ａとの接合部分に金（Ａ
ｕ）のボールボンディングなどのよる接合体１５が形成
される。
【００４６】このようにして完成した磁気ヘッド装置の
ヘッド本体１は、図５に示すように、舌片６ｂを介して
ピボット１２の頂点Ｂを支点として揺動自在に支持され
た状態となっている。この場合に、ヘッド本体１と、ピ
ボット１２の頂点との位置ずれは小さく、よってヘッド
本体１の浮上時のロール方向の姿勢を安定させることが
できる。
ヘッド本体１は、図５に示すように、舌片６ｂを介して
ピボット１２の頂点Ｂを支点として揺動自在に支持され
た状態となっている。この場合に、ヘッド本体１と、ピ
ボット１２の頂点との位置ずれは小さく、よってヘッド
本体１の浮上時のロール方向の姿勢を安定させることが
できる。
【００４７】このように、本発明では、ピボット１２が
平板状で形成されているため、このピボット１２の頂点
Ｂが、ロードビーム５の下面に限りなく点に近い部分で
当接できるものとなっており、従ってヘッド本体１は記
録媒体の表面の起伏に合せて、ピボット１２の頂点Ｂを
支点としてより揺動自在に動くことができるようにな
り、再生特性及び書込特性が向上するさらに本発明で
は、ピボット１２の形成が、従来のようにプレス加工に
よるものではないので、ピボット１２に孔が空いたり、
または舌片６ｂが歪んでしまうなどの不具合が生じな
い。
平板状で形成されているため、このピボット１２の頂点
Ｂが、ロードビーム５の下面に限りなく点に近い部分で
当接できるものとなっており、従ってヘッド本体１は記
録媒体の表面の起伏に合せて、ピボット１２の頂点Ｂを
支点としてより揺動自在に動くことができるようにな
り、再生特性及び書込特性が向上するさらに本発明で
は、ピボット１２の形成が、従来のようにプレス加工に
よるものではないので、ピボット１２に孔が空いたり、
または舌片６ｂが歪んでしまうなどの不具合が生じな
い。
【００４８】以上のように詳述した各実施形態の磁気ヘ
ッド装置は、ＣＳＳ方式のハードディスク装置（磁気記
録再生装置）に使用される。ディスクが停止していると
きには、ヘッド本体１がロードビーム５の基端部の板ば
ね機能部の弾性力によりディスクＤ上面に弾圧され、ヘ
ッド本体１のスライダ３のレール部３ａ，３ａがディス
クＤ表面に接触する。ディスクＤが回転し始めると、ヘ
ッド本体１とディスクＤとの間に導かれる空気流によ
り、図３及び図５に示すように、ヘッド本体１全体がデ
ィスクＤ表面から短い距離δ1，δ2だけ浮上し、リーデ
ィング側（イ）がトレーリング側（ロ）よりもディスク
上に高く持ち上がる浮上姿勢となるか、あるいはリーデ
ィング側（イ）のみがディスク表面から浮上し、トレー
リング側（ロ）端部がディスク表面に連続または不連続
に接触して摺動する浮上姿勢となる。
ッド装置は、ＣＳＳ方式のハードディスク装置（磁気記
録再生装置）に使用される。ディスクが停止していると
きには、ヘッド本体１がロードビーム５の基端部の板ば
ね機能部の弾性力によりディスクＤ上面に弾圧され、ヘ
ッド本体１のスライダ３のレール部３ａ，３ａがディス
クＤ表面に接触する。ディスクＤが回転し始めると、ヘ
ッド本体１とディスクＤとの間に導かれる空気流によ
り、図３及び図５に示すように、ヘッド本体１全体がデ
ィスクＤ表面から短い距離δ1，δ2だけ浮上し、リーデ
ィング側（イ）がトレーリング側（ロ）よりもディスク
上に高く持ち上がる浮上姿勢となるか、あるいはリーデ
ィング側（イ）のみがディスク表面から浮上し、トレー
リング側（ロ）端部がディスク表面に連続または不連続
に接触して摺動する浮上姿勢となる。
【００４９】なお、詳述した各実施形態における磁気ヘ
ッド装置では、ピボット１２の頂点Ｂとヘッド本体１と
の位置ずれをほぼ各部品の全体構造やピボットの形状お
よび形成位置精度であるエッチング精度のみの１０〜１
５μｍ程度に小さくできる。ピボット１２の頂点Ｂとヘ
ッド本体１との位置ずれが小さくなることにより、ヘッ
ド本体１の浮上姿勢において、特にロール方向における
ヘッド本体１の浮上量の変動値はロードビーム５にピボ
ット１２が形成されている場合は、５〜７ｎｍ、フレキ
シャ６の舌片６ｂにピボット１２が形成されている場合
は、３〜５ｎｍ程度まで小さくなり、従って図３及び図
５に示すスペーシングδ1，δ2を小さくでき、高密度記
録化を実現できる。
ッド装置では、ピボット１２の頂点Ｂとヘッド本体１と
の位置ずれをほぼ各部品の全体構造やピボットの形状お
よび形成位置精度であるエッチング精度のみの１０〜１
５μｍ程度に小さくできる。ピボット１２の頂点Ｂとヘ
ッド本体１との位置ずれが小さくなることにより、ヘッ
ド本体１の浮上姿勢において、特にロール方向における
ヘッド本体１の浮上量の変動値はロードビーム５にピボ
ット１２が形成されている場合は、５〜７ｎｍ、フレキ
シャ６の舌片６ｂにピボット１２が形成されている場合
は、３〜５ｎｍ程度まで小さくなり、従って図３及び図
５に示すスペーシングδ1，δ2を小さくでき、高密度記
録化を実現できる。
【００５０】
【発明の効果】以上詳述した本発明によれば、ロードビ
ームに切欠きが形成され、この切欠きにより離された部
分が折り曲げられることにより当接部（ピボット）が形
成される。
ームに切欠きが形成され、この切欠きにより離された部
分が折り曲げられることにより当接部（ピボット）が形
成される。
【００５１】従って、当接部は平板状で形成されること
と、ロードビームまたは舌片にはピボットと同形状の溝
が形成されることにより、この溝を通して前記ピボット
の頂点が見える状態となっている。
と、ロードビームまたは舌片にはピボットと同形状の溝
が形成されることにより、この溝を通して前記ピボット
の頂点が見える状態となっている。
【００５２】よって、ロードビームに形成される溝を通
して、直接、当接部の頂点とヘッド本体との位置合せを
行うことが可能となり、ヘッド本体の位置精度は向上
し、特にロール方向におけるヘッド本体の浮上量の変動
値は小さくなり、従ってスペーシングを小さくでき、高
密度記録化を実現できる。
して、直接、当接部の頂点とヘッド本体との位置合せを
行うことが可能となり、ヘッド本体の位置精度は向上
し、特にロール方向におけるヘッド本体の浮上量の変動
値は小さくなり、従ってスペーシングを小さくでき、高
密度記録化を実現できる。
【００５３】また、フレキシャの下面に導電パターンが
形成され、ヘッド本体の位置合わせが、前記導電パター
ンの接続部を基準にして行われる場合には、フレキシャ
の舌片に当接部が形成される方が、ロードビームとフレ
キシャとのずれ幅が、ヘッド本体と当接部とのずれ幅に
累積されない点からして好ましい。
形成され、ヘッド本体の位置合わせが、前記導電パター
ンの接続部を基準にして行われる場合には、フレキシャ
の舌片に当接部が形成される方が、ロードビームとフレ
キシャとのずれ幅が、ヘッド本体と当接部とのずれ幅に
累積されない点からして好ましい。
【００５４】本発明では、ロードビームに形成される当
接部と同様に、フレキシャの舌片に形成される当接部も
切欠きにより形成される。従って、前記当接部と導電パ
ターンの接続部との位置精度は向上し、特にロール方向
におけるヘッド本体の浮上量の変動値は小さくなり、従
ってスペーシングを小さくでき、高密度記録化を実現で
きる。
接部と同様に、フレキシャの舌片に形成される当接部も
切欠きにより形成される。従って、前記当接部と導電パ
ターンの接続部との位置精度は向上し、特にロール方向
におけるヘッド本体の浮上量の変動値は小さくなり、従
ってスペーシングを小さくでき、高密度記録化を実現で
きる。
【００５５】特に、本発明では、当接部をエッチングに
より形成できるため、当接部の形成が容易であり、且つ
プレス加工などに比べて、前記当接部の形状及び形成位
置の精度を向上させることが可能となり、ヘッド本体の
浮上姿勢をより安定させることができる。
より形成できるため、当接部の形成が容易であり、且つ
プレス加工などに比べて、前記当接部の形状及び形成位
置の精度を向上させることが可能となり、ヘッド本体の
浮上姿勢をより安定させることができる。
【図１】本発明の第１の実施の形態として、ハードディ
スク装置に設置される磁気ヘッド装置の部分分解斜視
図、
スク装置に設置される磁気ヘッド装置の部分分解斜視
図、
【図２】図１に示す磁気ヘッド装置の組立て完成後の磁
気ヘッド装置を示す部分平面図、
気ヘッド装置を示す部分平面図、
【図３】図２に示す磁気ヘッド装置の部分側面図、
【図４】（ａ）は図１に示すロードビームの部分展開
図、（ｂ）はピボット（当接部）を別の形状としたロー
ドビームの部分展開図、
図、（ｂ）はピボット（当接部）を別の形状としたロー
ドビームの部分展開図、
【図５】本発明の第２の実施形態として、ハードディス
ク装置に設置される磁気ヘッド装置の部分側面図、
ク装置に設置される磁気ヘッド装置の部分側面図、
【図６】図５に示すフレキシャの斜視図、
【図７】図５に示す磁気ヘッド装置のフレキシャの下面
の構造を示す部分拡大底面図、
の構造を示す部分拡大底面図、
【図８】従来の磁気ヘッド装置の部分平面図、
【図９】図８に示す従来の磁気ヘッド装置の部分側面
図、
図、
【図１０】フレキシャにピボットを形成するための第１
のプレス機械の形状を示す断面図、
のプレス機械の形状を示す断面図、
【図１１】（ａ）はフレキシャにピボットを形成するた
めの第２のプレス機械の形状を示す断面図、（ｂ）は第
２のプレス機械により形成されたピボット（当接部）の
下面の状態を示すイメージ図、
めの第２のプレス機械の形状を示す断面図、（ｂ）は第
２のプレス機械により形成されたピボット（当接部）の
下面の状態を示すイメージ図、
【図１２】従来の磁気ヘッド装置の部分正面図、
１ ヘッド本体 ２ 支持部材 ３ スライダ ４ 薄膜素子 ４ａ 電極端子部 ５ ロードビーム ６ フレキシャ ６ａ 固定部 ６ｂ 舌片 ６ｃ 連結部 ６ｄ 段差部 ８、９ 位置合せ孔 １２ ピボット（当接部） １３ 溝（切欠き） １４ 導電パターン １４ａ 接続部 １５ 接合体 Ｂ （ピボットの）頂点
Claims (5)
- 【請求項１】 ロードビームと、このロードビームに設
けられた弾性変位可能な舌片を有するフレキシャと、前
記舌片に固定されたヘッド本体とを有し、前記ロードビ
ームには板状の当接部が一体となって折り曲げ形成され
ており、前記当接部の頂点が舌片に当接し、前記当接部
の頂点が前記ヘッド本体の変位支点となっていることを
特徴とする磁気ヘッド装置。 - 【請求項２】 ロードビームと、このロードビームに設
けられた弾性変位可能な舌片を有するフレキシャと、前
記舌片に固定されたヘッド本体とを有し、前記舌片には
板状の当接部が一体となって折り曲げ形成されており、
前記当接部の頂点がロードビームに当接し、前記当接部
の頂点が前記ヘッド本体の変位支点となっていることを
特徴とする磁気ヘッド装置。 - 【請求項３】 フレキシャに導電パターンが設けられ、
この導電パターンの接続部とヘッド本体に設けられた電
極端子部とが接合体を介して接合される請求項２に記載
の磁気ヘッド装置。 - 【請求項４】 ロードビームと、このロードビームに設
けられた弾性変位可能な舌片を有するフレキシャと、前
記舌片に固定されたヘッド本体とを有する磁気ヘッドの
製造方法において、前記ヘッド本体の変位支点となる当
接部をロードビームから舌片側へ折り曲げて、前記当接
部の頂点を前記舌片に当接させ、または前記当接部を舌
片側からロードビーム側へ折り曲げて、前記当接部の頂
点をロードビームに当接させることを特徴とする磁気ヘ
ッド装置の製造方法。 - 【請求項５】 前記ロードビームまたは舌片にエッチン
グにより分離した当接部を形成し、この当接部を前記ロ
ードビームまたは舌片から折り曲げる請求項４記載の磁
気ヘッド装置の製造方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14906497A JP3495224B2 (ja) | 1997-06-06 | 1997-06-06 | 磁気ヘッド装置及びその製造方法 |
| KR1019980020416A KR100290936B1 (ko) | 1997-06-06 | 1998-06-02 | 자기헤드장치및그제조방법 |
| US09/090,677 US6144531A (en) | 1997-06-06 | 1998-06-03 | Magnetic head assembly having a suspension with a loading projection and manufacturing method thereof |
| CN98102066A CN1090791C (zh) | 1997-06-06 | 1998-06-05 | 磁头装置及其变位支点的制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14906497A JP3495224B2 (ja) | 1997-06-06 | 1997-06-06 | 磁気ヘッド装置及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10340552A true JPH10340552A (ja) | 1998-12-22 |
| JP3495224B2 JP3495224B2 (ja) | 2004-02-09 |
Family
ID=15466894
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14906497A Expired - Fee Related JP3495224B2 (ja) | 1997-06-06 | 1997-06-06 | 磁気ヘッド装置及びその製造方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6144531A (ja) |
| JP (1) | JP3495224B2 (ja) |
| KR (1) | KR100290936B1 (ja) |
| CN (1) | CN1090791C (ja) |
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| JP6251745B2 (ja) | 2012-09-14 | 2017-12-20 | ハッチンソン テクノロジー インコーポレイテッドＨｕｔｃｈｉｎｓｏｎ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | ２段始動構造部を有するジンバル形撓み部材及びサスペンション |
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- 1998-06-03 US US09/090,677 patent/US6144531A/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-06-05 CN CN98102066A patent/CN1090791C/zh not_active Expired - Fee Related
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