JP3794789B2 - ヘッドスライダ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は情報記録再生装置のヘッドスライダに関し、特に、ヘッドスライダの背面(媒体対向面の反対)側に端子を有するヘッドスライダとヘッド支持ばねとの電気的および機械的結合方法を改良したヘッドスライダ及びヘッド支持ばね組立体に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
ヘッドスライダに搭載された記録再生ヘッドおよび微小移動アクチュエータへの信号線や電源線のヘッド支持ばねへの引き出しをヘッドスライダ背面で行う場合の引き出し方法として、例えば特願平7−41574号に開示され、この技術では、スライダの背面に露出した導体層とヘッド支持ばねのヘッドスライダ側の面に露出した導体との間を接着またはボンディングする方法が開示されている。また、ある公知例(特開平6−338018)にはハードディスク用薄膜配線付きサスペンション部品の磁気ヘッド端子として、サスペンションの導体部分に微小突起を設ける方法が開示されている。また、他の公知例(例えば、特開平7−192421号公報)ではスライダの一面に凸部を設け、この凸部形状に対応する切欠部をサスペンションの側に設けて両者を位置決めする方法が示されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は前述の従来技術によるヘッドスライダ又はヘッドスライダとヘッド支持ばねの組立体と比べて端子部分の接触を確実に行い、両者間の熱膨張率差等によるスライダの変形を防止し、またヘッド支持ばね組立体全体のコストの低減を図ることを課題とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】
本発明によると、記録媒体に対して浮上又は接触しながら情報の記録及び再生の少なくとも一方を行う磁気ヘッド素子を有するヘッドスライダの記録媒体対向面の背面に、高さの異なる部分として複数の突起を設け、これらの複数の突起のみがヘッド支持ばね組立体と結合され、これらの複数の突起の幾つかは、ヘッド支持ばね組立体の側に設けた端子と電気的に接続されていることを特徴とするヘッドスライダとヘッド支持ばねとの組立体が提供される。
【0005】
このような構成により、ヘッドスライダとヘッド支持ばねとの結合に関し、電気的結合についてはスライダの端子部を他の部分よりも高くし、また、機械的結合に関してはスライダの背面の限定された個所のみを周囲より高くすることで行うことが可能である。これにより、限定された個所近傍に高い面圧をかけることが可能となるので、ヘッドスライダとヘッド支持ばねとの機械的結合がより確実に行え、且つコスト低減が可能となる。また、環境温度の変化に対しても、ヘッド支持ばねとスライダの材料の線膨張差によって、スライダと支持ばねにかかる応力を、両者間が結合されていない部分で緩衝することができ、線膨張差によるスライダの変形を防止できる。
【0006】
ヘッドスライダの前記背面の中央部に突起を具備し、該突起がヘッド支持ばねに接着剤にて固定されていることを特徴とする。このように、本発明によれば、ヘッドスライダとヘッド支持ばねとを接着等で結合可能となる。
ヘッドスライダの前記背面の中央部に複数の突起を具備し、該複数の突起がヘッド支持ばねに接着剤にて固定されていると共に、該複数の突起を介してヘッドスライダ側とヘッド支持ばね側との電気的接続が行われることを特徴とする。
【0007】
また、本発明によると、記録媒体に概ね平行に対向する媒体対向面を有する媒体対向層と、該媒体対向層の上に設けられたスライダ本体と、少なくとも一部が前記記録媒体に対向するよう設けられた記録及び再生の少なくとも一方を行うヘッドと、該ヘッドに接続された配線パターンと、該配線パターンの他端に接続され、且つ前記媒体対向層からスライダ本体の背面に至る柱状導体端子とを具備するヘッドスライダにおいて、少なくとも前記柱状導体端子の先端部の高さが前記スライダ本体よりも高い部分として複数の突起を設け、これらの複数の突起のみがヘッド支持ばね組立体と結合され、これらの複数の突起の幾つかは、ヘッド支持ばね組立体の側に設けた端子と電気的に接続されていることを特徴とするヘッドスライダが提供される。
【0008】
更にまた、本発明によると、記録媒体に概ね平行に対向する媒体対向面を有する媒体対向層と、該媒体対向層の上に設けられたスライダ本体と、前記媒体対向層の一部と該スライダ本体の一部を少なくとも媒体対向面内で微小移動させる微小移動アクチュエータと、該微小移動アクチュエータで駆動され、且つ少なくとも一部が記録媒体に対向するよう設けられた記録及び再生の少なくとも一方を行うヘッドと、前記微小移動アクチュエータまたは該記録再生ヘッドに接続された配線パターンと、該配線パターンの他端に接続され、且つ媒体対向層からスライダ本体の背面に至る柱状導体端子とを具備するヘッドスライダにおいて、少なくとも前記柱状導体端子の先端部の高さが前記スライダ本体よりも高いことを特徴とするヘッドスライダが提供される。
【0009】
【発明の実施の形態】
図1(a)〜(c)に本発明を適用可能な磁気ヘッドスライダを示す。このようなスライダの基本構成は、特願平7−41574号に記載されている。図1(a)は支持ばね30に装着する前のスライダ20を背面(浮上面とは反対側の面)から見た斜視図であり、図1(b)は支持ばね30に装着したスライダ20を浮上面の側から見た斜視図であり、図1(c)は図1(a)の線A−A′における断面を示す図である。
【0010】
スライダ20は、SiO2 ,Al2 O3 等から成る浮上面部21の背面にNi等の導体から成るスライダ本体部22を形成したものである。スライダ本体部22は、その中央部に端子引き出しパッド部23と外周部24とから成り、パッド部23はディスクの進行方向Bと平行な方向及びそれに直交する方向に複数配列され、各パッド部23間及びパッド部23と外周部24との間は所定間隔の空隙25を有する。端子ないし端子引き出しパッド部23は2組、4個あり、1組はリードヘッド素子(MR素子)用、1組はライトヘッド素子(インダクティブヘッド素子)用である。尚、リード/ライトヘッド素子を兼用した場合は、端子は1組、2個で良い。これらの空隙25内には、浮上面部21の背面を覆うようにポリイミド等の樹脂26が配置されている。なお、スライダ本体部22の外周部24が端子引き出しパッド部の1つを兼ねてもよい。
【0011】
スライダ20はその背面の側が、図1(a)に示すように、支持ばね30に装着される。スライダ20の浮上面部21の側には、図1(b)に示すように、ディスクの進行方向Bに略平行な2本の両側レール27、流入端中央部に中心レール28、薄膜ヘッド29が形成されている。また、両側レール27および中心レール28の流入端にはテーパ部27a,28aが形成されている。
【0012】
上記特願平7−41574号に記載されている、スライダ20と支持ばね30の接続部は図2(比較例)に示すように構成されていた。スライダ20上の端子引き出しパッド部23と本体外周部24の背面にボンディング用金属31を形成しておき、端子導体部32を形成した支持ばね30と熱圧着、超音波圧着等のボンディング(C)あるいは導電性接着剤によるボンディングを行う。この際、端子引き出しパッド部23と支持ばね30の接続部は電気的接続と機械的接続を兼ね、スライダ本体部の外周部24は機械的接続の役目を果たす。スライダ本体部の外周部24も端子引き出しパッドのひとつを兼ねている場合には、全ての接続部が電気的接続と機械的接続を兼ねることとなる。
【0013】
次に、図3に本発明の最も好適なヘッドスライダの実施形態を平面図(a)および断面図(b)で示す。前述の特願平7−41574号に記載のヘッドスライダと同様、図示しない基板上に後工程で溶解・除去される犠牲層(例えば厚さ1ないし2μmのアルミ層)を介して媒体対向層10(例えば厚さ5μm程度のSiO2 層)、スライダ本体層12(例えば厚さ100μmのNiメッキ層)およびスライダ本体の一部に設けられた微小移動静電アクチュエータ14(例えば厚さ5μm程度のNiメッキ)、静電アクチュエータ可動部11bの媒体対向面側に設けられた記録再生ヘッド16等が形成される。媒体対向層10は、図示していない情報記録媒体に対向し、媒体に接触もしくは狭い空気膜を介してスライダを浮上させるための媒体対向面11を備える。静電アクチュエータ14はスライダ本体に対して変位しない固定部14aと、スライダ本体に対して変位可能に支持された可動部14bを有し、固定部14aと可動部14bとの間での通電により、少なくとも媒体面に平行に記録媒体のトラック幅方向(図3(a)の平面図中の矢印方向)に概ねμmオーダーの微小範囲で変位する。また、必要に応じて記録再生ヘッド16と記録媒体(図示せず)との距離を調節する方向(図3(b)のAA断面図中の矢印方向)にも概ねμmオーダーの微小範囲で変位する。なお、このような静電アクチュエータ14は特願平7−236910号に示されている。
【0014】
スライダ中央部にはスライダ本体層12と同一材料(Ni)の4つの柱状導体端子18が設けられ、これらの柱状導体端子18は、媒体対向層10の内部に設けられた導体パターン(図示せず)を介して静電アクチュエータ14の可動部14b、固定部14a、及び記録再生ヘッド16にそれぞれ接続されている。柱状導体端子18の基部には、これらの柱状導体端子18の形成前の工程である、静電アクチュエータ14の形成と同一工程でNiメッキで初期段差40(例えばφ20μm、段差5μm)が形成される。その後にスライダ本体層12とともにNiメッキで柱状導体端子18を形成し、それらの柱状導体端子18の先端には初期段差40とほぼ相似形状の突起42が形成される。これらの突起42はスライダの柱状導体端子18とヘッド支持ばね30の端子32(図4)の電気的接触を確実にするためのものである。また、本実施形態においては、柱状導体端子18の先端以外の部分にも同様の初期段差41を設け、スライダ背面に突起43を形成し、スライダとヘッド支持ばね30の機械的固定を限定された箇所で確実に行うためのものである。例えば、図3に示す実施形態では、流出端側の中央で静電アクチュエータ14に隣接する位置に初期段差41を設け、それの背面側(図3(b)の上部)に突起43を形成している。また、流入端に近い側に2個所の突起44を形成している。
【0015】
図4に本発明のヘッド支持ばね組立体の実施形態を示す。スライダ20の背面側に設けられたヘッド支持ばね30は、例えば20μm厚のステンレス板からなり、スライダ20側の表面には絶縁層46(例えば2μmのポリイミド)を介して導体端子32(例えば2μmのAu)が設けられている。スライダ20とヘッド支持ばね30とは前記突起42,43,44の位置において接着剤48にて相互に固定される。接着剤48には導体粉入りのものを用いると電気的接触はさらに良くなる。また、柱状導体端子18以外の部分においても同様の接着を行うことにより機械的強度が増強される。機械的結合は突起42,43,44近傍のみで限定的に行われるので環境温度の変化に対してもスライダ20とヘッド支持ばね30の材料の線膨張差によるスライダ20の変形を最小限に留めることができる。この構成の場合、スライダ20が突起42,43,44を有するので、ヘッド支持ばね30には突起を持たせる必要がない。前述のように、スライダ20の突起42,43は静電アクチュエータ14の形成と同一工程で初期段差40,41を形成することができるので、突起形成のための専用工程を必要とせず、コスト低減を図ることができる。また、薄い金属板からなる支持ばね30に突起を設ける場合に比べて、Si基板やセラミック基板上に作るスライダ20に突起を設ける方が突起の位置精度を高め易いという利点もある。
【0016】
図5に本発明のヘッドスライダの第二の実施形態を平面図(a)及び断面図(b)で示す。本スライダの基本構造も前述の特願平7−41574号に記載のものと同じである。図3(a),(b)に示したスライダと異なる点は記録再生ヘッドを微小移動させるための微小移動アクチュエータを備えていないことである。このような構造のスライダにおいても同様の突起で電気的および機械的接触をとることができる。ただし、前記の実施形態では、静電アクチュエータを形成する工程で適度な段差を有する構成物を形成し、それを利用して突起を形成していたが、本実施形態では、別途初期段差を設けた後、それを利用して突起を形成するか、あるいはスライダ本体形成後にあらためて突起を形成することになるが、突起形成工程を他の工程と兼ねて行うことができなくなることを除いて図3(a),(b)に示す実施形態における利点を全て享受できる。なお、図5(a),(b)に示す実施形態では、図3(a),(b)及び図4と同じ番号で同一の部材を示しているので、これらの部材に関する詳細な説明を省略する。
【0017】
図6に本発明のヘッドスライダの更に他の実施形態を平面図及び断面図で示す。この実施形態では、従来型のスライダ(即ち、特願平7−41574号に記載した製法によらずに作製されたスライダ)において、スライダ20とヘッド支持ばね30の結合に本発明の方法を適用したものである。スライダ20の中央に1個所突起50を設け、この突起50をヘッド支持ばね30に接着する。突起50の形成は機械加工または金属粉の印刷等の方法で行う。スライダ20側の端子(図示せず)とヘッド支持ばね30の端子(図示せず)との間の電気的接続は、スライダ20の縁部においてAuボンディング52等で行う。
【0018】
【発明の効果】
以上に述べた本発明の構成により、ヘッドスライダとヘッド支持ばねとの電気的接触はより確実となり、両者間の熱膨張率差等によるスライダの変形は最小となり、さらにコストの低減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を適用可能な磁気ヘッドスライダを示すもので、(a)は組み付け前のスライダの背面とヘッド支持ばねとを斜視図で示し、(b)は組み付け後のスライダの浮上面を斜視図で示し、(c)はA−A′断面を示す。
【図2】ヘッドスライダとヘッド支持ばねの組立体(比較例)を示す断面図である。
【図3】本発明の第一実施形態に係るヘッドスライダの平面図(a)及び断面図(b)である。
【図4】本発明の第一実施形態に係るヘッドスライダとヘッド支持ばねとの組立体の断面図である。
【図5】本発明の第二実施形態に係るヘッドスライダの平面図(a)及び断面図(b)である。
【図6】本発明の第三実施形態に係るヘッドスライダの平面図(a)及び断面図(b)である。
【符号の説明】
10…媒体対向層
11…媒体対向面
12…スライダ本体
14…微小静電アクチュエータ
16…記録再生ヘッド
18…端子
20…ヘッドスライダ
30…ヘッド支持ばね
40,41…初期段差
42,43,44…突起
48…接着剤
46…絶縁層
50…突起
Claims (2)
- 記録媒体に概ね平行に対向する媒体対向面を有する媒体対向層と、該媒体対向層の上に設けられたスライダ本体と、少なくとも一部が前記記録媒体に対向するよう設けられた記録及び再生の少なくとも一方を行うヘッドと、該ヘッドに接続された配線パターンと、該配線パターンの他端に接続され、且つ前記媒体対向層からスライダ本体の背面に至る柱状導体端子とを具備するヘッドスライダにおいて、少なくとも前記柱状導体端子の先端部の高さが前記スライダ本体よりも高い部分として複数の突起を設け、これらの複数の突起のみがヘッド支持ばね組立体と結合され、これらの複数の突起の幾つかは、ヘッド支持ばね組立体の側に設けた端子と電気的に接続されていることを特徴とするヘッドスライダ。
- 記録媒体に概ね平行に対向する媒体対向面を有する媒体対向層と、該媒体対向層の上に設けられたスライダ本体と、前記媒体対向層の一部と該スライダ本体の一部を少なくとも媒体対向面内で微小移動させる微小移動アクチュエータと、該微小移動アクチュエータで駆動され、且つ少なくとも一部が記録媒体に対向するよう設けられた記録及び再生の少なくとも一方を行うヘッドと、前記微小移動アクチュエータまたは該記録再生ヘッドに接続された配線パターンと、該配線パターンの他端に接続され、且つ媒体対向層からスライダ本体の背面に至る柱状導体端子とを具備するヘッドスライダにおいて、少なくとも前記柱状導体端子の先端部の高さが前記スライダ本体よりも高いことを特徴とするヘッドスライダ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19002097A JP3794789B2 (ja) | 1997-07-15 | 1997-07-15 | ヘッドスライダ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19002097A JP3794789B2 (ja) | 1997-07-15 | 1997-07-15 | ヘッドスライダ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1139815A JPH1139815A (ja) | 1999-02-12 |
JP3794789B2 true JP3794789B2 (ja) | 2006-07-12 |
Family
ID=16251044
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19002097A Expired - Fee Related JP3794789B2 (ja) | 1997-07-15 | 1997-07-15 | ヘッドスライダ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3794789B2 (ja) |
-
1997
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Publication number | Publication date |
---|---|
JPH1139815A (ja) | 1999-02-12 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040928 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041019 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041203 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050412 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050610 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20050720 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060314 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
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FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090421 Year of fee payment: 3 |
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FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100421 Year of fee payment: 4 |
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FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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