CN1090791C

CN1090791C - 磁头装置及其变位支点的制造方法

Info

Publication number: CN1090791C
Application number: CN98102066A
Authority: CN
Inventors: 泽井完次
Original assignee: Alps Electric Co Ltd
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 1997-06-06
Filing date: 1998-06-05
Publication date: 2002-09-11
Anticipated expiration: 2018-06-05
Also published as: JPH10340552A; KR100290936B1; JP3495224B2; US6144531A; KR19990006593A; CN1203422A

Abstract

本发明中，在承载杆(5)上用切口部(13)形成支点(12)该支点(12)朝下方向突出，通过上述切口部(13)可看到该支点(12)的顶点B。因此，通过切口部(13)可以使支点(12)的顶点B与磁头本体(1)直接定位，减小磁头本体(1)的偏位，磁头本体(1)的上浮姿势稳定。

Description

磁头装置及其变位支点的制造方法

本发明涉及装在硬盘装置等上的上浮式磁头装置，特别涉及一种能使形成在支承磁头本体的支承部件上的相接部(支点)简单地构成，并且，高精度地形成该相接部，使磁头本体的上浮姿势稳定的磁头装置及其变位支点的制造方法。

图8是现有技术中的硬盘装置所用的磁头装置的平面图。图9是其局部侧面图。

该磁头装置，由磁头本体1和支承它的支承部件2构成。

磁头本体1具有与硬盘等的盘D相向的滑块3，该滑块3的尾侧Y端面上设有薄膜元件。滑块3用陶瓷材料等形成。上述薄膜元件4具有MR头(读出头)和感应头(写入头)。MR头利用磁阻效应检测从硬盘等记录媒体泄漏的磁场，读出磁信号。感应头由线圈等形成。

支承部件2由承载杆5和挠性片6构成。

承载杆5由板簧材料形成。从中间位置到前部，在两侧部形成弯折部5a，5a，该部分成为具有刚性的构造。承载杆5的基端部可发挥预定的弹性推压力。挟在弯折部5a，5a之间的平坦部5b的前端附近，形成朝图示下方突出的球面状支点7。磁头本体1通过后述的挠性片6与该支点7相连。在承载杆5的平坦部5b上，形成对准挠性片6位置的定位孔8。

挠性片6由薄板簧形成，该挠性片6由固定部6a、舌片6b和连接部6c构成。如图8所示，在固定部6a形成定位孔9，该定位孔9和形成在承载杆5上的定位孔8对准位置后，固定部6a通过点焊等方式固定在承载杆5的下面。在挠性片6的前端部形成切口，由该切口分离的部分是舌片6b和连接部6c，在连接部6c上形成台阶部6d，舌片6b位于固定部6a下侧。舌片6b的上面与形成在承载杆5上的支点7相接，粘接固定在该舌片6b下面的磁头本体1，借助于舌片6b的弹性能以支点7的顶点为支点自由地改变姿势。

磁头装置的磁头本体1，被承载杆5基端部的弹性力往盘D方向推。该磁头装置用于所谓的CSS(接触·起动·停止)方式的硬盘装置等，在盘D停止着时，上述弹性力使磁头本体1的下面与盘D的记录面接触。当盘D起动时，空气流沿着盘的移动方向导入磁头本体1与盘D表面之间，磁头本体1的下面受到空气流的上浮力，磁头本体1从盘D表面上浮较短的距离δ3(间隙)。

在该上浮姿势，如图9所示，磁头本体1的读取侧X比尾侧Y从盘D抬起得高而成为倾斜的上浮姿势。在该上浮姿势，由薄膜元件4的MR头读取盘的磁信号，或者由感应头写入磁信号。

形成在承载杆5上的支点7，是用图10所示的由冲头10和冲模11构成的冲压机械形成的。冲头10的底部呈球面状突出的形状。与冲头10相向位置的冲模11的上面，形成球面状凹坑。承载杆5放在冲模11上，冲头10向图示下方移动，冲头10将承载杆5压入形成在冲模11上的球面状凹坑内，这样，在承载杆5上形成球面状的支点7。

支点7的其它形成方法，例如有图11A所示例。图11A所示的冲头10与图10所示冲头10是同样的形状。但是在图11A所示冲模11上，与冲头10相对的位置处设有圆筒形孔部11a，图10和图11A中的冲模11的形状不同。图11A也与图10同样地，将承载杆5放在冲模11上，用冲头10将承载杆5往图示下方推压，在承载杆5上形成支点7。

但是，图10和图11A所示的冲压机械，冲头10的底部顶点A和形成在冲模11上的球面状凹坑的顶点B有时(图11A中是孔部11a的中心线L)不在同一垂直线M上，而错开宽度T1，T2的位置。如果用这样偏位的冲压机械在承载杆5上形成支点7，则形成在支点7内侧的球面状顶点C与形成在外侧的球面状顶点B，会产生宽度T1的偏位(用图10所示冲压机械时)或宽度T2的偏位(用图11A所示冲压机械时)，这样，如图所示，使支点7的层厚不均匀。因此，必须尽量减小偏位宽度T1，T2，但一般的冲压加工装置中，冲头10侧的顶点A与冲模11侧的顶点B(图11A中是孔部11a的中心线L)的偏位宽度T1，T2，不可避免地要有50微米的公差。

另外，图10所示的冲压机械中，冲模11侧顶点B的位置，由于金属模具的加工误差，实际上比应形成的顶点可能会错开约5至10微米的公差。因此，图10所示的冲压机械，支点7外侧的顶点B与内侧顶点C之间的公差上的偏位宽度T1，最大能达到60微米。

另外，用图11A所示冲压机械形成的支点7的外侧，如图11B所示，有结晶粒突出，支点7顶点B的附近成为凹凸形状。由于该结晶粒的突出，支点7外侧的顶点B更加错开宽度T3(约10至30微米)。这样，支点7外侧的顶点B与支点内侧的顶点C之间错开的宽度最大达80微米。

支点7外侧的顶点B与内侧顶点C错开，会引起以下问题。

在磁头本体1上浮时，支点7外侧的顶点B应该是位于作为磁头摆动变位支点的位置，因此，在磁头装置的组装工序中，将磁头本体1粘接固定在挠性片6的舌片6b的下面时，磁头本体1应这样定位：支点7的顶点B与磁头本体1上面的预定位置(约中心)相接。

但是，在定位磁头本体1的作业中，通常是从承载杆5的上面侧(见图8)，用摄像机等，以支点7的凹部顶点C为基准，定位磁头本体1的外缘部，在该定位后，将磁头本体1粘接固定在舌片6b的下面。即，认为在支点7内侧的顶点C的垂直线下，有支点7的外侧顶点B，一边从正上方看着承载杆5(见图8)，一边用工具将支点7的内侧顶点C与磁头本体1定位。

因此，如图12所示，当支点7的外侧顶点B和支点7的内侧顶点C不在同一垂直线M上、有偏位时，本应与支点7的外侧顶点B相接的磁头本体1的上面预定位置E偏离了支点7的外侧顶点B，这样，磁头本体1的上浮姿势，尤其是转动方向的上浮姿势成为不稳定状态。

磁头本体1的上面预定位置E与支点7的外侧顶点B的偏位越大，如图12所示，磁头本体1在转动方向的上浮量变动值δ4越大。当支点7是用图10或图11A所示冲压机械形成时，该上浮量变动值δ4，约为20纳米(图10)和25纳米(图11A)。尤其是使磁头本体小型化、间隙δ3(图9所示)减小时，上浮量的变动值δ4越大，间隙δ3越大，不能实现高密度记录。

另外，在磁头本体1的尾侧Y端面上，形成由从薄膜元件4拉出的薄膜形成的电极端子部(连接部)。现有技术中，细金属线与该电极端子部电气连接，该金属线一直延伸到承载杆的基端部，对磁头本体1配线。但是，最近提出的一种配线构造是，不采用上述金属线，而是在挠性片6的下面，用薄膜形成导电线路，该导电线路的连接部和磁头本体1的电极端子部通过焊接实现电气连接。但是，采用该配线构造时，除了前述问题外，又产生其它新的问题。

即，以形成在承载杆5侧的支点7的凹部内侧顶点C为基准定位磁头本体1时，在磁头本体1被粘接固定在挠性片6的舌片6b下面时，设在磁头本体1的尾侧Y端面上的电极端子部与导电线路连接部的位置之间的公差增大，电极端子部与线路连接部的偏位增大，不能将两部分切实定位后接合。

反之，以磁头本体1的电极端子部和导电线路连接部为定位基准，将磁头本体1粘接固定到挠性片6的舌片6b下面时，虽然磁头本体1与导电线路的电气接触性没有问题，但是，设在承载杆5侧的支点7的顶点B与磁头本体1的偏位增大。

另外，上述支点7也可以形成在挠性片6的舌片6b上。这时，由于承载杆5和挠性片6的组装公差不累积在上浮量变动值上，所以，在挠性片6上形成导电线路，以该导电线路的连接部为基准定位磁头时，最好将支点7形成在舌片6b上。

但是，如果支点7用图10或图11A所示冲压机械形成时，如前所述，不仅支点7的顶点B与磁头本体1的偏位量大，而且由于挠性片6的层厚与承载杆5相比非常薄，所以，会产生支点7出现空孔，或者舌片6b扭曲等问题，使磁头本体1的上浮姿势不稳定。

本发明是鉴于上述问题而作出的，其目的在于提供一种磁头装置及其制造方法，根据本发明，能高精度地形成磁头本体的变位支点即相接部，并能高精度地设定相接部顶点与磁头本体的相对位置。

另外，本发明的目的是提供一种磁头装置及其制造方法，根据本发明，在将形成在挠性片上的导电线路和磁头本体的电极端子部连接时，使该导电线路与电极端子部的相对位置，以及相接部与磁头本体的相对位置均不产生大的偏位。

为实现上述目的，本发明提供一种磁头装置，它具有承载杆、挠性片和磁头本体，所述挠性片是由固定部、舌片及连接固定部和舌片的连接部一体形成的，所述固定部被固定在承载杆上，所述连接部中的舌片的一面对着所述承载杆，且连接部在舌片可弹性变位的状态下支持该舌片；所述磁头本体固定在舌片的另一面，所述承载杆上、对着所述舌片部分处设有部分切口，并设有对着舌片弯折而形成的相接部，该相接部的顶点与舌片的一个面相接，该相接部的顶点作为磁头本体的变位支点。

所述相接部顶点的形状是半圆形或V形。

本发明还提供一种磁头装置，它具有承载杆、挠性片和磁头本体，所述挠性片是由固定部、舌片及连接固定部和舌片的连接部一体形成的，所述固定部被固定在承载杆上，所述连接部中的舌片的一面对着所述承载杆，且连接部在舌片可弹性变位的状态下支持该舌片；所述磁头本体固定在舌片的另一面，在对着所述承载杆的挠性片的舌片部分上设有部分切口，且挠性片上设有对着承载杆弯折而形成的相接部，该相接部的顶点与所述承载杆中对着舌片的一个面相接，该相接部的顶点作为磁头本体的变位支点。

在所述挠性片上设有导电线路，该导电线路的连接部与设在磁头本体上的电极端子部通过接合体接合。

所述相接部顶点的形状是半圆形或V形。

本发明还提供一种磁头装置的变位支点的制造方法，该磁头装置具有承载杆、挠性片和磁头本体，所述挠性片是由固定部、舌片及连接固定部和舌片的连接部一体形成的，所述固定部被固定在承载杆上，所述连接部中的舌片的一面对着所述承载杆，且连接部在舌片可弹性变位的状态下支持该舌片；所述磁头本体固定在舌片的另一面，在对着所述舌片部分的承载杆上形成部分切口，再对着舌片弯折该切口部分形成相接部，使该相接部的顶点与舌片的一个面相接，作为磁头本体的变位支点。

所述切口是通过腐蚀形成的。

本发明还提供一种磁头装置的变位支点的制造方法，该磁头装置具有承载杆、挠性片和磁头本体，所述挠性片是由固定部、舌片及连接固定部和舌片的连接部一体形成的，所述固定部被固定在承载杆上，所述连接部中的舌片的一面对着所述承载杆，且连接部在舌片可弹性变位的状态下支持该舌片；所述磁头本体固定在舌片的另一面，在对着所述承载杆的挠性片的舌片部分上形成部分切口，再对着所述承载杆弯折该切口部分形成相接部，使该相接部的顶点与承载杆中对着舌片的一个面相接，该相接部的顶点作为磁头本体的变位支点。

所述切口是通过腐蚀形成的。

本发明中，为了将相接部的顶点与磁头本体的偏位抑制在最小限度，以上述相接部的顶点为基准进行磁头本体的定位时，相接部最好形成在承载杆侧。

下面说明相接部的形成方法和磁头本体的定位方法。

例如，如图4A、图4B所示，在平板状承载杆5的前部附近，形成切口部13，由该切口部13分离的部分作为支点12。然后，将虚线n弯折为峰形，支点12成为图示朝斜下方向突出的状态。如图2所示，从正上方看磁头装置时，可通过与支点12同样形状的切口部13看到支点12的顶点B。

即，现有技术中，支点7是用冲压机械等形成为球面状，所以，从正上方看不到支点7的顶点B(图8所示状态)，因此，不能够从正上方看着磁头装置地进行支点7的顶点B与磁头本体1的定位。而本发明中，如前所述，由于能从正上方看到支点12的顶点，所以，可容易地直接进行顶点B与磁头本体1的定位，可减小支点的顶点与磁头本体1的偏位。

支点顶点与磁头本体的偏位减小，则磁头本体上浮姿势时，转动方向的磁头本体上浮量的变动值就小，因此，可减小间隙量，实现高密度记录。

另外，在发明中，最好用腐蚀形成图4所示的切口部13。这样，可提高由切口部13形成的支点12的形状和形成位置的精度。

另外，本发明中，在挠性片的下面形成由薄膜形成的导电线路，磁头本体的定位以该导电线路的连接部为基准进行时，最好将相接部形成在挠性片的舌片上。

当相接部形成在挠性片的舌片上时，承载杆和挠性片的偏位不累积到上浮量的变动值上。

因此，只要提高导电线路连接部与相接部顶点的位置精度，就可以将磁头本体与相接部顶点的偏位抑制到最小限度，可使磁头本体的上浮姿势稳定。

本发明中，为了提高导电线路连接部与相接部顶点的位置精度，与形成在承载杆上的相接部同样地，相接部由切口形成。

用切口在舌片上形成相接部时，不会象以往那样在相接部上形成孔。

另外，用腐蚀形成上述切口时，可提高相接部的形状和形成位置的精度。

当支点的顶点与磁头本体的偏位减小时，在磁头本体上浮姿势时，尤其在转动方向的磁头本体的上浮量变动值减小，因此，可减小间隙量，实现高密度化记录。

图1表示本发明的第1实施例，是设置在硬盘装置上的磁头装置的局部分解立体图。

图2是图1所示磁头装置组装完毕后的磁头装置的局部平面图。

图3是图2所示磁头装置的局部侧面图。

图4A是图1所示承载杆的局部展开图，图4B是支点(相接部)为另一形状的承载杆的局部展开图。

图5表示本发明的第2实施例，是设置在硬盘装置上的磁头装置的局部侧面图。

图6是图5所示挠性片的立体图。

图7是表示图5所示磁头装置的挠性片下面构造的局部放大底面图。

图8是现有技术中的磁头装置的局部平面图。

图9是图8所示现有磁头装置的局部侧面图。

图10是表示用于在承载杆上形成支点的第1冲压机械形状的断面图。

图11A是表示用于在承载杆上形成支点的第2冲压机械形状的断面图，图11B是表示用第2冲压机械形成的支点(相接部)的下面状态的图。

图12是现有的磁头装置的局部正面图。

下面，说明本发明的实施例。

图1表示本发明的第1实施例，是表示装在硬盘等装置上的上浮式磁头装置的局部分解立体图。图2是组装完成后的磁头装置的局部平面图。图3是组装完成后的磁头装置的局部侧面图。图4A是图1所示承载杆的局部展开图，图4B是将图4A所示支点做成别的形状的承载杆的局部展开图。

该磁头装置，由磁头本体1和支承它的支承部件2构成。

磁头本体1由滑块3和设在滑块3尾侧Y端面的薄膜元件4构成。滑块3是用陶瓷材料做成的。如图1所示，在与盘D相向侧，形成导轨部3a，3a(上浮面，ABS面)。

上述薄膜元件4，由磁性材料的坡莫合金(Ni-Fe类合金)或绝缘材料的氧化铝等叠层而成，含有使记录在盘上的磁记录信号再生的磁再生部或将磁信号记录到盘上的磁记录部、或含有该磁再生部和磁记录部二者。磁再生部例如是由磁阻元件(MR元件)构成的MR头。磁记录部由感应头构成，该感应头形成为线圈和铁芯的形式。

上述支承部件2，由承载杆5和挠性片6构成。

承载杆5由板簧材料形成。在承载杆5上，从图1左上侧到前部附近，在两侧形成弯折部5a，5a，该部分成为具有刚性的构造。该弯折部5a，5a一直设置到承载杆5的约中间位置，从弯折部5a，5a的后方终端到基端部，形成没有弯折部5a，5a的板簧功能部(图未示)。被弯折部5a，5a挟住的平坦部5b如图所示，其宽度尺寸朝着承载杆5的前部渐渐减小。

在承载杆5的平坦部5b的前部附近，形成切口部13，该切口部13与前述切口部13为相似形状，而且，与承载杆5成一体的平板状支点(相接部)12朝斜下方突出。

该支点12如图1所示，其顶点B成为预定曲率的圆形，该顶点B通过后述的挠性片6的舌片6b，与磁头本体1上面的预定位置E(约中心部)相接。

本发明中，上述支点12的形状并无限定，但支点12的顶点形状最好做成图1所示那样的圆形或图4B所示那样的V字形，可尽量减少支点12与舌片6b的接触面积。做成这样的构造时，磁头本体1以支点12的顶点B为支点摆动自如地支承着。即，把支点12的顶点B做成尽量接近点的形状，磁头本体1可更加自由地摆动。

尤其是，在本发明中，如前所述，由于支点12形成为平板状，所以，该支点12通过舌片以非常接近点的部分与磁头本体相接。

下面，参照图4A、图4B说明支点12的形成方法。

在承载杆5的平坦部5b前部附近，形成切口部13。由该切口部13分离的部分成为支点12。从图示状态，用冲压加工将图示虚线l、m弯折成谷形，形成弯折部5a，5a。再将支点12与平坦部5b的交界线即虚线n弯折成峰形，则如图1和图3所示，支点12成为朝承载杆5的平坦部5b下方突出的状态。

本发明中，上述切口部13最好用腐蚀形成。图4A、图4B所示的承载杆，是对平板实施腐蚀而形成的。因此，在与形成承载杆同样的腐蚀工序内，也用腐蚀形成上述切口部13，则可以减少工序数，减低生产成本。

用腐蚀形成上述切口部13，与用冲压相比，可提高由切口部13形成的支点12的形状及形成位置的精度，可使磁头本体1的上浮姿势更加稳定。

另外，如图1和图2所示，在承载杆5的平坦部5b上，在支点12的形成位置后方，形成预定内径的定位孔8。

挠性片6是用薄板簧形成的。在该挠性片6的固定部6a，形成与承载杆5上的定位孔8相同内径的定位孔9。如图1所示，在挠性片6的前部附近，形成切口，由该切口分离的部分是舌片6b和连接部6c，在连接部6c上形成台阶部6d，6d，舌片6b位于固定部6a的下侧。

如上所述，本发明中，在承载杆5上形成切口部13，由该切口部13分离的部分被弯折而形成支点12。因此，如图2所示，从正上方看磁头装置时，通过切口部13能看到支点12的顶点B。

即，本发明中，使磁头本体1能摆动自如的支点即支点12的顶点B，与磁头本体1的定位，可通过切口部13直接观察地进行。因此，可减小支点12的顶点B与磁头本体1的偏位。

图5表示本发明的第2实施例，是装在硬盘装置等上的上浮式磁头装置的局部侧面图。图6是挠性片的立体图。图7是从里侧看图5所示磁头装置的局部放大底面图。

如图6所示，在挠性片的舌片6b上形成切口部13，从该切口部13的端部，朝着图示斜上方突出支点(相接部)12，该支点12的形状与切口部13相似且与舌片6b成一体。该支点12的形成方法与图4A、图4B所示支点12的形成方法相同。即，在挠性片6的舌片6b上，用腐蚀等形成切口部，由该切口部分离的部分是支点12，该支点12被朝斜上方弯折，完成了图6所示的挠性片6。

在该挠性片6的里侧，如图7所示，形成由薄膜形成的导电线路14。该导电线路14例如是三层构造，即，在挠性片6上，形成聚酰亚胺树脂制的底层，再用蒸镀法或喷溅法或腐蚀法等在该底层上形成金(Au)、铜(Cu)制等的线路，再在上述线路上，形成聚酰亚胺树脂保护层。

如图7所示，在挠性片6的前端区域，从挠性片6的固定部6a到舌片6b，形成导电线路14。形成在舌片6b上的导电线路14的宽度，朝着挠性片6的基端部方向渐渐增大。该部分成为与磁头本体1的连接部14a。

在磁头本体1的尾侧端部，与导电线路14的连接部14a同样间隔地形成电极端子部4a，该电极端子部4a是由从薄膜元件4拉出的薄膜形成的。

该磁头装置中，磁头本体1的定位，能以导电线路14的连接部14a为基准进行。即，由于支点12和上述连接部14a形成在同一挠性片6上，所以，作为磁头本体1变位支点的支点12的顶点和连接部14a的相对位置能够高精度地定位。尤其是，当支点由腐蚀工序形成时，由成膜工序形成的连接部14a和支点12的相对位置，只有掩膜等的制造误差，相互可高精度地定位。另外，不象支点形成在承载杆侧时那样，承载杆和挠性片的组装公差累积到支点12顶点与连接部14a的相对位置的公差上。

因此，磁头本体1以连接部14a为基准定位，即，使连接部14a和磁头本体的电极端子部4a相互不偏位地定位磁头本体1，固定磁头本体1和舌片6b时，可将磁头本体1和支点12的顶点位置相互高精度地定位。

把磁头本体1粘接固定到挠性片6的舌片6b的下面时，先将设在磁头本体尾侧端面的电极端子部4a和导电线路14的连接部14a定位后，再将磁头本体1粘接到舌片6b上，再在磁头本体1的电极端子部4a和导电线路14的连接部14a的接合部分，形成金(Au)的球形粘接的接合体15。

这样完成了的磁头装置的磁头本体1，如图5所示，通过舌片6b以支点12的顶点B为支点摆动自如地支承着。这时，磁头本体1和支点12的顶点的偏位小，磁头本体1上浮时的转动方向的姿势稳定。

因此，本发明中，由于支点12形成为平板状，该支点12的顶点B以非常接近点状的部分与承载杆5的下面相接，因此，磁头本体1能适应记录媒体表面的起伏地以支点12的顶点B自由摆动，可提高再生特性和定入特性。

另外，本发明中，支点12的形成方法，不是采用以往的冲压加工，所以，支点12不会形成空孔，舌片6b不会扭曲。

上述各实施例的磁头装置，用于CSS方式的硬盘装置(磁记录再生装置)。在盘停止着时，磁头本体1被承载杆5基端部的板簧功能部的弹性力弹压在盘D上面，磁头本体1的滑块3的导轨部3a，3a与盘D表面接触。当盘D开始旋转时，空气流导入磁头本体1与盘D之间，如图3和图5所示，磁头本体1被该空气流从盘D表面上浮较短的距离δ1、δ2，成为读取侧X比尾侧Y从盘上抬起更高的上浮姿势，或者成为仅读取侧X从盘表面上浮、尾侧Y端部与盘表面连续或不连续接触滑动的上浮姿势。

另外，上述各实施例的磁头装置中，支点12的顶点B和磁头本体1的偏位，仅由各部件的整体构造或支点形状和形成位置精度即腐蚀精度所致，可减小到10至15微米。

支点12的顶点B和磁头本体1的偏位减小，在磁头本体1的上浮姿势时，尤其是在转动方向的磁头本体1的上浮量变动值，当支点12形成在承载杆5上时，为5至7纳米，当支点12形成在挠性片6的舌片6b上时，是3至5纳米。因此，可减小图3和图5所示的间隙δ1、δ2，可实现高密度记录。

根据上述的本发明，在承载杆上形成切口部，由该切口部分离的部分被弯折而形成相接部(支点)。

因此，该相接部形成为平板状，在承载杆或舌片上形成与支点同样形状的切口部，通过该切口部可以看到支点的顶点。

这样，通过形成在承载杆上的切口部，可直接地进行相接部顶点与磁头本体1的定位，提高磁头本体的位置精度，尤其是，在转动方向的磁头本体的上浮量变动值减小，因此，可减小间隙量，实现高密度记录。

另外，在挠性片的下面形成导电线路，以该导电线路的连接部为基准进行磁头本体的定位时，最好在挠性片的舌片上形成相接部，这样承载杆和挠性片的偏位不累积到磁头本体与相接部的偏位上。

本发明中，与形成在承载杆上的相接部同样地，形成于挠性片的舌片上的相接部也是由切口部形成的。因此，可提高相接部与导电线路的连接部的位置精度，尤其是，在转动方向的磁头本体的上浮量变动值小，因此，可减小间隙量，实现高密度记录。

本发明中，由于用腐蚀形成相接部，所以，相接部的形成容易，与冲压加工等相比，可提高相接部的形状和形成位置的精度，使磁头本体1的上浮姿势更加稳定。

Claims

1.一种磁头装置，它具有承载杆、挠性片和磁头本体，所述挠性片是由固定部、舌片及连接固定部和舌片的连接部一体形成的，所述固定部被固定在承载杆上，所述连接部中的舌片的一面对着所述承载杆，且连接部在舌片可弹性变位的状态下支持该舌片；所述磁头本体固定在舌片的另一面，其特征在于：

所述承载杆上、对着所述舌片部分处设有部分切口，并设有对着舌片弯折而形成的相接部，该相接部的顶点与舌片的一个面相接，该相接部的顶点作为磁头本体的变位支点。

2.如权利要求1所述的磁头装置，其特征在于，所述相接部顶点的形状是半圆形或V形。

3.一种磁头装置，它具有承载杆、挠性片和磁头本体，所述挠性片是由固定部、舌片及连接固定部和舌片的连接部一体形成的，所述固定部被固定在承载杆上，所述连接部中的舌片的一面对着所述承载杆，且连接部在舌片可弹性变位的状态下支持该舌片；所述磁头本体固定在舌片的另一面，其特征在于：

在对着所述承载杆的挠性片的舌片部分上设有部分切口，且挠性片上设有对着承载杆弯折而形成的相接部，该相接部的顶点与所述承载杆中对着舌片的一个面相接，该相接部的顶点作为磁头本体的变位支点。

4.如权利要求3所述的磁头装置，其特征在于，在所述挠性片上设有导电线路，该导电线路的连接部与设在磁头本体上的电极端子部通过接合体接合。

5.如权利要求3或4所述的磁头装置，其特征在于，所述相接部顶点的形状是半圆形或V形。

6.一种磁头装置的变位支点的制造方法，该磁头装置具有承载杆、挠性片和磁头本体，所述挠性片是由固定部、舌片及连接固定部和舌片的连接部一体形成的，所述固定部被固定在承载杆上，所述连接部中的舌片的一面对着所述承载杆，且连接部在舌片可弹性变位的状态下支持该舌片；所述磁头本体固定在舌片的另一面，其特征在于：

在对着所述舌片部分的承载杆上形成部分切口，再对着舌片弯折该切口部分形成相接部，使该相接部的顶点与舌片的一个面相接，作为磁头本体的变位支点。

7.如权利要求6所述的制造方法，其特征在于，所述切口是通过腐蚀形成的。

8.一种磁头装置的变位支点的制造方法，该磁头装置具有承载杆、挠性片和磁头本体，所述挠性片是由固定部、舌片及连接固定部和舌片的连接部一体形成的，所述固定部被固定在承载杆上，所述连接部中的舌片的一面对着所述承载杆，且连接部在舌片可弹性变位的状态下支持该舌片；所述磁头本体固定在舌片的另一面，其特征在于：

在对着所述承载杆的挠性片的舌片部分上形成部分切口，再对着所述承载杆弯折该切口部分形成相接部，使该相接部的顶点与承载杆中对着舌片的一个面相接，该相接部的顶点作为磁头本体的变位支点。

9.如权利要求8所述的制造方法，其特征在于，所述切口是通过腐蚀形成的。