JPH10336894A - 受変電装置と受変電装置の給電方法 - Google Patents
受変電装置と受変電装置の給電方法Info
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- JPH10336894A JPH10336894A JP9142297A JP14229797A JPH10336894A JP H10336894 A JPH10336894 A JP H10336894A JP 9142297 A JP9142297 A JP 9142297A JP 14229797 A JP14229797 A JP 14229797A JP H10336894 A JPH10336894 A JP H10336894A
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Abstract
供給すること。 【解決手段】 負荷34には供給電源10からの電力を
高圧変電設備20、低圧変電設備24を介して供給し、
負荷設備38には供給電源12からの電力を高圧変電設
備22、低圧変電設備26を介して供給し、遮断器1
4、または遮断器16を開いて負荷設備34、38への
電力への供給を停止した状態でも、特定の負荷設備36
には、低圧変電設備24、26からの電力を電磁開閉器
30、32を介して供給し、負荷設備34または38の
運転が停止されたときでも、特定の負荷設備36には供
給電源10または12からの電力を常時供給する。
Description
電装置の給電方法に係り、特に、半導体製造装置などの
生産装置および用役設備などの負荷に電力を供給するに
好適な受変電装置と受変電装置の給電方法に関する。
て生産工場などの負荷に電力を供給する工場用受変電設
備は、一般に、電力供給の信頼性の確保と法的な義務の
ため、少なくとも年1回の定期検査(定修)を実施する
必要がある。従来、この種の受変電設備の電源系統は、
供給電源からの電力を遮断器を介して高圧変電設備、低
圧変電設備を介して負荷設備に供給する構成が採用され
ている。そして定期検査を行うに際しては、作業の安全
性のために、受変電設備を一時停電させ、その後受変電
設備を点検するようになっている。
設備の定期検査を行うに際しては、受変電設備を一時停
電させるようになっているので、負荷となる製造工場の
生産装置および用役設備も同時に全て停止することにな
る。このため、運転停止前の機械的、温度的状態を短時
間で再現することが困難な生産装置および用役設備が負
荷に含まれている場合でも、定期検査が終了し、受変電
設備に対する通電を再開したあと、ただちに通常の運転
に復帰することは難しく、一般に、その調整のために数
日間を要することがある。従ってその間は、実質的に生
産停止の状態にあるため、大規模工場ほどその損失は無
視できなくなる。例えば、半導体生産工場の場合、近年
大規模化と高稼働率化が要求されており、定期検査後も
速やかに通常の生産に復帰できることが強く望まれてい
る。そこで、従来、定期検査に伴う装置や設備の運転停
止を防止するために、受変電設備の停止も、一部の生産
装置に小型の自家発電装置から給電する方法が採用され
ているが、この方法は限定された範囲のみ有効であり、
通電再開と同時に通常の生産へ全面的に復帰することは
できない。
負荷には常時電力を供給することができる受変電装置と
受変電装置の給電方法を提供することにある。
に、本発明は、複数の電源からの電気信号をそれぞれ変
圧して複数の負荷に供給する複数の変電設備と、前記複
数の負荷のうち特定の負荷と一方の変電設備とを結ぶ第
1給電回路を構成しこの第1給電回路を開閉指令に応じ
て開閉する第1開閉器と、前記複数の負荷のうち特定の
負荷と他方の変電設備とを結ぶ第2給電回路を構成しこ
の第2給電回路を開閉指令に応じて開閉する第2開閉器
と、前記第1開閉器と第2開閉器のうち少なくとも一方
の開閉器が閉状態にあることを条件に他方の開閉器に開
閉指令を出力する開閉指令器とを備え、前記特定の負荷
には前記第1開閉器と第2開閉器のうち少なくとも一方
の開閉器から給電してなる受変電装置を構成したもので
ある。
電設備として、複数の電源のうち少なくとも一つの電源
からの電気信号を変圧して複数の負荷に供給する複数の
変電設備を備えたもの、あるいは、少なくとも一つの電
源からの電気信号を変圧して複数の負荷に供給する複数
の変電設備を備えたものにも本発明を適用することがで
きる。さらに、変電設備として、複数の電源のうち一方
の電源からの電気信号を変圧して複数の負荷に供給する
変電設備を備えるとともに、第2開閉器として、複数の
電源のうち他方の電源と特定の負荷とを結ぶ第2給電回
路を構成しこの第2給電回路を開閉指令に応じて開閉す
る機能を備えたものにも本発明を適用することができ
る。
れぞれ遮断器を介して複数の変電設備に供給し、複数の
負荷のうち特定の負荷を除く他の負荷に前記複数の変電
設備からの電力を供給し、前記特定の負荷には前記複数
の変電設備からの電力をそれぞれ開閉器を介して供給
し、前記特定の負荷を除く他の負荷への電力の供給を停
止するときでも前記開閉器のうち少なくとも一つの開閉
器を常に閉状態として、前記特定の負荷には少なくとも
閉状態にある開閉器からの電力を供給する受変電装置の
給電方法を採用したものである。
しては、複数の変電設備に電力を供給する方法として、
少なくとも一つの電源からの電力をそれぞれ遮断器を介
して複数の変電設備に供給したり、複数の電源のうち少
なくとも一つの電源からの電力をそれぞれ遮断器を介し
て複数の変電設備に供給したりすることができる。
電源のうち一方の電源からの電力を遮断器を介して変電
設備に供給し、複数の負荷のうち特定の負荷を除く他の
負荷には前記変電設備からの電力または前記複数の電源
のうち他方の電源からの電力を供給し、前記特定の負荷
には前記変電設備からの電力または前記複数の電源の他
方の電源からの電力をそれぞれ開閉器を介して供給し、
前記特定の負荷を除く他の負荷への電力の供給を停止す
るときでも前記開閉器のうち少なくとも一つの開閉器を
常に閉状態として、前記特定の負荷には少なくとも閉状
態にある開閉器からの電力を供給する受変電装置の給電
方法を採用したものである。
1開閉器と第2開閉器のうち少なくとも一方の開閉器か
ら常に電力が供給されているため、変電設備などの定期
検査を行うときに、特定の負荷を除く他の負荷への電力
の供給を停止したときでも、特定の負荷には常に電力を
供給することができ、定期検査時にも特定の負荷の運転
を継続することができる。特に、特定の負荷として、半
導体製造工場の生産装置および用役設備を用いた場合で
も、これらの装置や設備の運転を常に安定した状態で継
続することができる。
に基づいて説明する。
置の全体構成図である。図1において、複数の供給電源
10、12は、例えば商用電源で構成されており、供給
電源10は遮断器14を介して高圧変電設備20に接続
され、供給電源12は遮断器16を介して高圧変電設備
22に接続されている。なお、供給電源10と供給電源
12とを遮断器18を介して接続することもできる。高
圧変電設備20、22の二次側にはそれぞれ低圧変電設
備24、26が接続されている。低圧変電設備24の二
次側には負荷となる負荷設備34が接続されているとと
もに、電磁開閉器30を介して負荷設備36が接続され
ている。低圧変電設備26の二次側には負荷設備38が
接続されているとともに、電磁開閉器32を介して負荷
設備36が接続されている。各電磁開閉器30、32は
それぞれ操作制御器28に接続されている。
源10、12からの電気信号を各電源電圧よりも低い電
圧に変圧して低圧変電設備24、26に供給するように
なっている。低圧変電設備24、26は高圧変電設備2
0、22からの電気信号を高圧変電設備20、22の出
力電圧よりも低い電圧に変圧して負荷34、36、38
に供給するようになっている。電磁開閉器30は低圧変
電設備24と負荷36とを結ぶ第1給電回路を構成し、
第1給電回路を操作制御器28からの開閉指令に応じて
開閉する第1開閉器として構成されている。電磁開閉器
32は、低圧変電設備26と負荷36とを結ぶ第2給電
回路を構成し、この第2給電回路を操作制御器28から
の開閉指令に応じて開閉する第2開閉器として構成され
ている。操作制御器28は、電磁開閉器30、32のう
ち少なくとも一方の開閉器が閉状態にあることを条件に
他方の開閉器に開閉指令を出力する開閉指令器として構
成されている。
荷設備36は特定の負荷として、例えば、半導体製造工
場の生産に関連する生産装置や用役設備で構成されてい
る。そして負荷設備36が複数の設備の場合には、通常
運転時における供給電源10、12の電力供給能力を考
慮して各負荷設備への電力の供給がアンバランスになら
ないように、電磁開閉器30、32の開閉設定および供
給電源10、12の選択を考慮する。また電力供給の安
定化を図るために、例えば、供給電源10の事故により
供給電源10による電力の供給が停止になったときの対
策として、遮断器18を閉状態として、供給電源12か
らの電力を各高圧変電設備20、22に供給することが
できる。なお、電磁開閉器30、32の代わりに、電磁
接触器を用いることもできる。
源切替の手順を図1ないし図6にしたがって説明する。
示すように、遮断器14、16、電磁開閉器32を閉状
態として、供給電源10からの電力を遮断器14、高圧
変電設備20、低圧変電設備24を介して負荷設備34
に供給するとともに、供給電源12からの電力を遮断器
16、高圧変電設備22、低圧変電設備26を介して負
荷設備38に供給し、さらに電磁開閉器32を介して負
荷設備36に供給する。 次に、高圧変電設備20、低
圧変電設備24に対する点検を行うために、図2に示す
ように、負荷設備34の運転を停止後、遮断器14を開
状態とし、負荷設備34にのみ電力の供給を停止する。
負荷設備34への電力供給が停止された状態にあると
き、高圧変電設備20、低圧変電設備24に対する点検
を行う。
に、遮断器14を閉状態とし、負荷設備34に電力を供
給して負荷設備34の運転を再開する。このとき、供給
電源10、12とが遮断器18を介して接続できるとき
には、電源の同期調整は不要であるが、遮断器18のな
いときには、各電源の同期調整が必要となる。そして負
荷設備34の運転の再開とともに、操作制御器28から
電磁開閉器30に対して閉指令を与えて電磁開閉器30
を閉の状態とする。この場合負荷設備36には供給電源
10、12からの電力を供給可能となる。
6に対する点検を行うに際して、図4に示すように、操
作制御器28から電磁開閉器32に対して開指令を与え
て電磁開閉器32を開状態とする。さらに負荷設備38
の運転を停止後、遮断器16を開状態とする。これによ
り負荷設備38への電力への供給が停止される。このあ
と高圧変電設備22、低圧変電設備26に対する点検を
行う。このとき負荷設備36には供給電源10からの電
力が供給されている。
に、遮断器16を閉の状態にするとともに、電磁開閉器
32を閉の状態とする。これにより負荷設備38に電力
が供給され、負荷設備38の運転が再開される。この場
合負荷設備36には供給電源10、12からの電力を供
給することができる。
を開の状態として、負荷設備36に対して供給電源12
からの電力のみを供給する。これにより各負荷設備3
4、36、38は通常の通電状態となる。
22、低圧変電設備24、26を点検するときでも、負
荷設備34、38を停電させるだけで、特定の負荷とな
る負荷設備36には常時供給電源10または供給電源1
2からの電力が供給されているため、点検時に負荷設備
36が停電になるのを防止することができるとともに、
負荷設備36の運転を常に安定した状態で継続すること
ができる。
高圧変電設備20、22、低圧変電設備24、26を備
えたものについて述べたが、図7に示すように、一方の
電源系統には低圧変電設備24のみを備えたシステムに
本発明を適用することができる。この場合、遮断器18
は低圧変電設備24、26の一次側に接続することが望
ましい。
統には高圧変電設備20や低圧変電設備24がないもの
にも本発明を適用することができる。この場合、供給電
源10の出力電圧は低圧変電設備26の出力電圧と等し
いものを用いる必要がある。これは既設の電源系統、す
なわち高圧変電設備22、低圧変電設備26がある場合
の定期検査時の対策として、新規に電源系統を設置する
場合に適している。これら電源系統の設備の容量は、連
続無停電の通電対象となる負荷設備に対応して決められ
る。特に、図8は、比較的小規模の工場に適している。
時における電源切替の手順は基本的には図1のものに類
似するが、図8に示す実施形態の場合には、高圧変電設
備22、低圧変電設備26が点検の対象となるため、電
磁開閉器30、32をともに閉状態としたあと、電磁開
閉器32のみを開状態にするとともに遮断器16を開状
態にして高圧変電設備22、低圧変電設備26に対する
点検を行う。
て説明する。
電圧が6kVであって、供給電源12の出力電圧が33
kVの場合で、低圧変電設備24、26の一次側がそれ
ぞれ遮断器14、16を介して供給電源10に接続され
ているとともに、遮断器18を介して高圧変電設備22
の二次側に接続されている。
り、当初から定期検査時の対策を前提とする受変電設備
を計画する場合に最も適切な構成である。
源切替の手順を図9ないし図14に従って説明する。
すように、遮断器14、16、18を閉にするととも
に、電磁開閉器32を閉状態として、供給電源10と供
給電源12からの電力をそれぞれ負荷設備34、36、
38に供給する。
うに際しては、図10に示すように、負荷設備34の運
転を停止後、遮断器14を開状態とし、負荷設備34へ
の電力の供給が停止されたことに伴って低圧変電設備2
4に対する点検を行う。このとき負荷設備36には電磁
開閉器32を介して電力が供給されている。
に、遮断器14を閉状態にするとともに、電磁開閉器3
0を閉状態とする。これにより負荷設備34の運転が再
開され、負荷設備36には電磁開閉器30、32からの
電力を供給することが可能となる。
2に対する点検を行うに際して、図12に示すように、
負荷設備38の運転停止後、遮断器16、18を開状態
にするとともに高圧変電設備22の一次側に接続されて
いる遮断器(図示省略)を開状態とする。これにより低
圧変電設備26、高圧変電設備22への電力の供給が停
止される。電力供給停止に伴って、高圧変電設備22と
低圧変電設備26に対する点検が実行される。このとき
負荷設備36には供給電源10からの電力が電磁開閉器
30を介して供給されている。
に、高圧変電設備22の一次側に接続されている遮断器
を閉状態にするとともに遮断器16、18を閉状態と
し、高圧変電設備22、低圧変電設備26にそれぞれ電
力を供給し、負荷設備38の運転を再開する。さらに、
このとき電磁開閉器32を閉の状態とすることで、負荷
設備36には電磁開閉器30、32からの電力が供給可
能になる。
0を開状態とする。すなわち負荷設備36には電磁開閉
器32からの電力のみを供給する。これにより通常の通
電状態に戻る。
2、低圧変電設備24、26に対する点検を行う際に、
負荷設備34、38は一時停電状態となって運転が停止
されるが、特定の負荷である負荷設備36には定期点検
時によらず常に電力が供給されているため、負荷設備3
6の運転を常に安定した状態で継続することができる。
0、12として商用電源を用いたものについて述べた
が、供給電源10、12のうち一方を自家発電設備によ
る電源を用いることができる。
は、例えば図15に示すように、時間間隔Δtを有する
操作信号50、52で構成することができる。これらの
操作信号50、52は、各電磁開閉器30、32に出力
されるが、各電磁開閉器30、32には一方の開閉器が
閉状態にあることを条件にのみ他方の開閉器に出力され
るようになっている。この方式により、Δt≒0の場合
に生じる可能性のある瞬時停止の防止と電磁開閉器3
0、32の操作完了の確認ができる。
して、半導体製造工場の生産装置、例えば投影露光装
置、低圧CVD、酸化炉などの生産装置や用役設備の運
転が継続可能になるとともに、クリーンルームの維持運
転が可能になる。すなわち半導体製造工場の生産装置お
よび用役設備の運転が停止されることはないため、年間
を通して高稼働率の運転を実現することができる。
複数の負荷のうち特定の負荷には常時電力を供給するよ
うにしたため、特定の負荷に関する運転を常に継続する
ことができ、特定の負荷を常に安定した状態で運転する
ことができる。
構成図である。
の図である。
の図である。
の図である。
の図である。
の図である。
構成図である。
構成図である。
構成図である。
手順を説明するための図である。
手順を説明するための図である。
手順を説明するための図である。
手順を説明するための図である。
手順を説明するための図である。
Claims (10)
- 【請求項1】 複数の電源からの電気信号をそれぞれ変
圧して複数の負荷に供給する複数の変電設備と、前記複
数の負荷のうち特定の負荷と一方の変電設備とを結ぶ第
1給電回路を構成しこの第1給電回路を開閉指令に応じ
て開閉する第1開閉器と、前記複数の負荷のうち特定の
負荷と他方の変電設備とを結ぶ第2給電回路を構成しこ
の第2給電回路を開閉指令に応じて開閉する第2開閉器
と、前記第1開閉器と第2開閉器のうち少なくとも一方
の開閉器が閉状態にあることを条件に他方の開閉器に開
閉指令を出力する開閉指令器とを備え、前記特定の負荷
には前記第1開閉器と第2開閉器のうち少なくとも一方
の開閉器から給電してなる受変電装置。 - 【請求項2】 複数の電源のうち少なくとも一つの電源
からの電気信号を変圧して複数の負荷に供給する複数の
変電設備と、前記複数の負荷のうち特定の負荷と一方の
変電設備とを結ぶ第1給電回路を構成しこの第1給電回
路を開閉指令に応じて開閉する第1開閉器と、前記複数
の負荷のうち特定の負荷と他方の変電設備とを結ぶ第2
給電回路を構成しこの第2給電回路を開閉指令に応じて
開閉する第2開閉器と、前記第1開閉器と第2開閉器の
うち少なくとも一方の開閉器が閉状態にあることを条件
に他方の開閉器に開閉指令を出力する開閉指令器とを備
え、前記特定の負荷には前記第1開閉器と第2開閉器の
うち少なくとも一方の開閉器から給電してなる受変電装
置。 - 【請求項3】 複数の電源のうち一方の電源からの電気
信号を変圧して複数の負荷に供給する変電設備と、前記
複数の負荷のうち特定の負荷と変電設備とを結ぶ第1給
電回路を構成しこの第1給電回路を開閉指令に応じて開
閉する第1開閉器と、前記複数の電源のうち他方の電源
と前記複数の負荷のうち特定の負荷とを結ぶ第2給電回
路を構成しこの第2給電回路を開閉指令に応じて開閉す
る第2開閉器と、前記第1開閉器と第2開閉器のうち少
なくとも一方の開閉器が閉状態にあることを条件に他方
の開閉器に開閉指令を出力する開閉指令器とを備え、前
記特定の負荷には前記第1開閉器と第2開閉器のうち少
なくとも一方の開閉器から給電してなる受変電装置。 - 【請求項4】 少なくとも一つの電源からの電気信号を
変圧して複数の負荷に供給する複数の変電設備と、前記
複数の負荷のうち特定の負荷と一方の変電設備とを結ぶ
第1給電回路を構成しこの第1給電回路を開閉指令に応
じて開閉する第1開閉器と、前記複数の負荷のうち特定
の負荷と他方の変電設備とを結ぶ第2給電回路を構成し
この第2給電回路を開閉指令に応じて開閉する第2開閉
器と、前記第1開閉器と第2開閉器のうち少なくとも一
方の開閉器が閉状態にあることを条件に他方の開閉器に
開閉指令を出力する開閉指令器とを備え、前記特定の負
荷には前記第1開閉器と第2開閉器のうち少なくとも一
方の開閉器から給電してなる受変電装置。 - 【請求項5】 特定の負荷は半導体の製造に関連する生
産装置および用役設備を含む請求項1、2、3または4
記載の受変電装置。 - 【請求項6】 変電設備は、電源からの電気信号を電源
電圧より低い電圧に変圧する高圧変電設備と、高圧変電
設備からの電気信号を高圧変電設備の出力電圧より低い
電圧に変圧する低圧変電設備とから構成されている請求
項1、2、3、4または5記載の受変電装置。 - 【請求項7】 複数の電源からの電力をそれぞれ遮断器
を介して複数の変電設備に供給し、複数の負荷のうち特
定の負荷を除く他の負荷に前記複数の変電設備からの電
力を供給し、前記特定の負荷には前記複数の変電設備か
らの電力をそれぞれ開閉器を介して供給し、前記特定の
負荷を除く他の負荷への電力の供給を停止するときでも
前記開閉器のうち少なくとも一つの開閉器を常に閉状態
として、前記特定の負荷には少なくとも閉状態にある開
閉器からの電力を供給する受変電装置の給電方法。 - 【請求項8】 少なくとも一つの電源からの電力をそれ
ぞれ遮断器を介して複数の変電設備に供給し、複数の負
荷のうち特定の負荷を除く他の負荷に前記複数の変電設
備からの電力を供給し、前記特定の負荷には前記複数の
変電設備からの電力をそれぞれ開閉器を介して供給し、
前記特定の負荷を除く他の負荷への電力の供給を停止す
るときでも前記開閉器のうち少なくとも一つの開閉器を
常に閉状態として、前記特定の負荷には少なくとも閉状
態にある開閉器からの電力を供給する受変電装置の給電
方法。 - 【請求項9】 複数の電源のうち少なくとも一つの電源
からの電力をそれぞれ遮断器を介して複数の変電設備に
供給し、複数の負荷のうち特定の負荷を除く他の負荷に
前記複数の変電設備からの電力を供給し、前記特定の負
荷には前記複数の変電設備からの電力をそれぞれ開閉器
を介して供給し、前記特定の負荷を除く他の負荷への電
力の供給を停止するときでも前記開閉器のうち少なくと
も一つの開閉器を常に閉状態として、前記特定の負荷に
は少なくとも閉状態にある開閉器からの電力を供給する
受変電装置の給電方法。 - 【請求項10】 複数の電源のうち一方の電源からの電
力を遮断器を介して変電設備に供給し、複数の負荷のう
ち特定の負荷を除く他の負荷には前記変電設備からの電
力または前記複数の電源のうち他方の電源からの電力を
供給し、前記特定の負荷には前記変電設備からの電力ま
たは前記複数の電源の他方の電源からの電力をそれぞれ
開閉器を介して供給し、前記特定の負荷を除く他の負荷
への電力の供給を停止するときでも前記開閉器のうち少
なくとも一つの開閉器を常に閉状態として、前記特定の
負荷には少なくとも閉状態にある開閉器からの電力を供
給する受変電装置の給電方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9142297A JPH10336894A (ja) | 1997-05-30 | 1997-05-30 | 受変電装置と受変電装置の給電方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9142297A JPH10336894A (ja) | 1997-05-30 | 1997-05-30 | 受変電装置と受変電装置の給電方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10336894A true JPH10336894A (ja) | 1998-12-18 |
Family
ID=15312111
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9142297A Pending JPH10336894A (ja) | 1997-05-30 | 1997-05-30 | 受変電装置と受変電装置の給電方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10336894A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015208167A (ja) * | 2014-04-22 | 2015-11-19 | オムロン株式会社 | 切替装置及び電源システム |
-
1997
- 1997-05-30 JP JP9142297A patent/JPH10336894A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015208167A (ja) * | 2014-04-22 | 2015-11-19 | オムロン株式会社 | 切替装置及び電源システム |
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