JPH10330914A - 結晶配向性硬質膜を含む積層被膜部材 - Google Patents
結晶配向性硬質膜を含む積層被膜部材Info
- Publication number
- JPH10330914A JPH10330914A JP15583597A JP15583597A JPH10330914A JP H10330914 A JPH10330914 A JP H10330914A JP 15583597 A JP15583597 A JP 15583597A JP 15583597 A JP15583597 A JP 15583597A JP H10330914 A JPH10330914 A JP H10330914A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coating layer
- crystal
- coating
- laminated
- crystal plane
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】低温領域から高温領域に至るまでの広い領域に
おいて、高靭性、高硬度性、耐摩耗性、耐酸化性、耐熱
衝撃性、耐欠損性、耐溶着性のある硬質膜および耐剥離
性を有し、結晶配向性の異なる２層以上の硬質膜を積層
被覆。 【解決手段】第１被膜層と第２被膜層の両層はチタンと
アルミニウムとの窒化物、炭窒化物、窒酸化物、炭酸化
物、炭窒酸化物の中の１種の単層または２種以上の多層
からなり、該第１被膜層はＸ線回折により求めた結晶面
のピーク強度が（２００）結晶面に最大高さを有し、該
第２被膜層はＸ線回折により求めた結晶面のピーク強度
が（１１１）結晶面に最大高さを有する、基材の上に、
結晶の配向性が異なる第１被膜層と第２被膜層とが積層
被覆されておる、結晶配向性硬質膜を含む積層被覆部
材。
おいて、高靭性、高硬度性、耐摩耗性、耐酸化性、耐熱
衝撃性、耐欠損性、耐溶着性のある硬質膜および耐剥離
性を有し、結晶配向性の異なる２層以上の硬質膜を積層
被覆。 【解決手段】第１被膜層と第２被膜層の両層はチタンと
アルミニウムとの窒化物、炭窒化物、窒酸化物、炭酸化
物、炭窒酸化物の中の１種の単層または２種以上の多層
からなり、該第１被膜層はＸ線回折により求めた結晶面
のピーク強度が（２００）結晶面に最大高さを有し、該
第２被膜層はＸ線回折により求めた結晶面のピーク強度
が（１１１）結晶面に最大高さを有する、基材の上に、
結晶の配向性が異なる第１被膜層と第２被膜層とが積層
被覆されておる、結晶配向性硬質膜を含む積層被覆部
材。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、金属、合金または
セラミックス焼結体の基材上に（２００）結晶面を成長
させたチタンとアルミニウムとの窒化物，炭窒化物，窒
酸化物，炭酸化物，炭窒酸化物でなる（Ｔｉ，Ａｌ）化
合物の硬質膜を１層以上と、（１１１）結晶面を成長さ
せたチタンとアルミニウムとの窒化物，炭窒化物，窒酸
化物，炭酸化物，炭窒酸化物でなる（Ｔｉ，Ａｌ）化合
物の硬質膜を１層以上とを積層被覆した結晶配向性硬質
膜を含む積層被覆部材に関し、具体的には、金属、合金
またはセラミックス焼結体の基材上に結晶構造の異なる
２種類の（Ｔｉ，Ａｌ）化合物の被膜を積層被覆し、さ
らなる耐剥離性，高硬度性，および高靭性を達成させ
て、例えば旋削工具，フライス工具，ドリル，エンドミ
ルに代表される切削用工具、スリッタ−などの切断刃，
裁断刃とダイス，パンチなどの型工具とノズルなどの耐
腐食耐摩耗部材に代表される耐摩耗用工具、トンネル掘
削用ビット，建築用工具に代表される土木建設用工具と
して最適な結晶配向性硬質膜を含む積層被覆部材に関す
る。
セラミックス焼結体の基材上に（２００）結晶面を成長
させたチタンとアルミニウムとの窒化物，炭窒化物，窒
酸化物，炭酸化物，炭窒酸化物でなる（Ｔｉ，Ａｌ）化
合物の硬質膜を１層以上と、（１１１）結晶面を成長さ
せたチタンとアルミニウムとの窒化物，炭窒化物，窒酸
化物，炭酸化物，炭窒酸化物でなる（Ｔｉ，Ａｌ）化合
物の硬質膜を１層以上とを積層被覆した結晶配向性硬質
膜を含む積層被覆部材に関し、具体的には、金属、合金
またはセラミックス焼結体の基材上に結晶構造の異なる
２種類の（Ｔｉ，Ａｌ）化合物の被膜を積層被覆し、さ
らなる耐剥離性，高硬度性，および高靭性を達成させ
て、例えば旋削工具，フライス工具，ドリル，エンドミ
ルに代表される切削用工具、スリッタ−などの切断刃，
裁断刃とダイス，パンチなどの型工具とノズルなどの耐
腐食耐摩耗部材に代表される耐摩耗用工具、トンネル掘
削用ビット，建築用工具に代表される土木建設用工具と
して最適な結晶配向性硬質膜を含む積層被覆部材に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】金属、合金およびセラミックスの基材上
に厚さが２０μｍ以下のセラミックスの被膜を被覆し、
基材と被膜とのそれぞれの特性を有効に引き出して、長
寿命を達成しようとした被覆部材が多数提案されてい
る。この被覆部材における被膜方法は、大別すると化学
蒸着法（ＣＶＤ法）と物理蒸着法（ＰＶＤ法）がある。
これらのうち、特にＰＶＤ法により被覆された被膜は、
基材の強度を劣化させることなく耐摩耗性を高める利点
がある。そのために、一般に強度，耐欠損性を重要視す
るドリル、エンドミル、フライス用スロ−アウェイチッ
プに代表される被覆切削工具の被膜は、ＰＶＤ法により
被覆されているのが現状である。
に厚さが２０μｍ以下のセラミックスの被膜を被覆し、
基材と被膜とのそれぞれの特性を有効に引き出して、長
寿命を達成しようとした被覆部材が多数提案されてい
る。この被覆部材における被膜方法は、大別すると化学
蒸着法（ＣＶＤ法）と物理蒸着法（ＰＶＤ法）がある。
これらのうち、特にＰＶＤ法により被覆された被膜は、
基材の強度を劣化させることなく耐摩耗性を高める利点
がある。そのために、一般に強度，耐欠損性を重要視す
るドリル、エンドミル、フライス用スロ−アウェイチッ
プに代表される被覆切削工具の被膜は、ＰＶＤ法により
被覆されているのが現状である。
【０００３】従来から耐摩耗性を向上させるために窒化
チタンに代表されるＴｉ化合物の被膜を被覆することは
よく知られている。しかしながら、窒化チタンを代表と
する金属窒化物は高温で酸化されやすく、耐摩耗性が著
しく劣化するという問題がある。この窒化チタン被膜の
酸化の問題を改善しょうとして１９８０年代中頃から提
案されたものに、（Ｔｉ，Ａｌ）化合物の被膜に代表さ
れる被覆部材に関するものがあり、その代表的なものと
して特開昭６２−５６５６５号公報，特開平６−２１０
５０２号公報，特開平６−２１０５１１号公報および特
開平７−１９７２３５号公報がある。
チタンに代表されるＴｉ化合物の被膜を被覆することは
よく知られている。しかしながら、窒化チタンを代表と
する金属窒化物は高温で酸化されやすく、耐摩耗性が著
しく劣化するという問題がある。この窒化チタン被膜の
酸化の問題を改善しょうとして１９８０年代中頃から提
案されたものに、（Ｔｉ，Ａｌ）化合物の被膜に代表さ
れる被覆部材に関するものがあり、その代表的なものと
して特開昭６２−５６５６５号公報，特開平６−２１０
５０２号公報，特開平６−２１０５１１号公報および特
開平７−１９７２３５号公報がある。
【０００４】一方、基材の表面に被覆する被膜を結晶配
向させて、被膜の付着性を高めることが提案されてお
り、その代表的なものとして特開昭５６−１５６７６７
号公報，特開平２−１５９３６３号公報，特開平５−２
８７３２２号公報，特開平５−２８７３２３号公報およ
び特開平５−２９５５１７号公報がある。
向させて、被膜の付着性を高めることが提案されてお
り、その代表的なものとして特開昭５６−１５６７６７
号公報，特開平２−１５９３６３号公報，特開平５−２
８７３２２号公報，特開平５−２８７３２３号公報およ
び特開平５−２９５５１７号公報がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】（Ｔｉ，Ａｌ）化合物
の被膜に関する先行技術としての特開昭６２−５６５６
５号公報，特開平６−２１０５０２号公報，特開平６−
２１０５１１号公報および特開平７−１９７２３５号公
報には、基材の表面に（Ｔｉ，Ａｌ）の炭化物，窒化物
および炭窒化物のうちの１種の単層または２種以上の複
層でなる硬質被膜層を形成した耐摩耗性に優れた表面被
覆硬質部材について開示されている。
の被膜に関する先行技術としての特開昭６２−５６５６
５号公報，特開平６−２１０５０２号公報，特開平６−
２１０５１１号公報および特開平７−１９７２３５号公
報には、基材の表面に（Ｔｉ，Ａｌ）の炭化物，窒化物
および炭窒化物のうちの１種の単層または２種以上の複
層でなる硬質被膜層を形成した耐摩耗性に優れた表面被
覆硬質部材について開示されている。
【０００６】これらの公報に開示の表面被覆硬質部材に
代表される従来の（Ｔｉ，Ａｌ）化合物の被膜は、開発
当初の通りにＴｉ化合物の被膜に比べて耐酸化性および
耐摩耗性の向上した被膜ではあるが、（１１１）結晶面
が成長した（Ｔｉ，Ａｌ）化合物の被膜であって、被膜
と基材との密着性が劣ること、被膜自体の機械的性質が
劣化しやすいことから、工具、特に苛酷な条件で用いら
れる切削工具へ適用した場合に切削性能が低下するとい
う問題がある。つまり、同公報に記載の表面被覆硬質部
材は、被膜中にＡｌを含有させることにより、Ｔｉ化合
物の被膜に比較して被膜表面における化学的性質の向上
を達成した反面、基材と被膜との界面における結晶構造
的な配慮がされていないことから、被膜の耐剥離性およ
び強度が劣り、表面被覆硬質部材の破壊靭性値および耐
欠損性が低下すること、特に高速切削用工具として用い
ると、高温による被膜の酸化，急激な摩耗の進行，熱衝
撃性による劣化および被削材との溶着により短寿命にな
るという問題がある。
代表される従来の（Ｔｉ，Ａｌ）化合物の被膜は、開発
当初の通りにＴｉ化合物の被膜に比べて耐酸化性および
耐摩耗性の向上した被膜ではあるが、（１１１）結晶面
が成長した（Ｔｉ，Ａｌ）化合物の被膜であって、被膜
と基材との密着性が劣ること、被膜自体の機械的性質が
劣化しやすいことから、工具、特に苛酷な条件で用いら
れる切削工具へ適用した場合に切削性能が低下するとい
う問題がある。つまり、同公報に記載の表面被覆硬質部
材は、被膜中にＡｌを含有させることにより、Ｔｉ化合
物の被膜に比較して被膜表面における化学的性質の向上
を達成した反面、基材と被膜との界面における結晶構造
的な配慮がされていないことから、被膜の耐剥離性およ
び強度が劣り、表面被覆硬質部材の破壊靭性値および耐
欠損性が低下すること、特に高速切削用工具として用い
ると、高温による被膜の酸化，急激な摩耗の進行，熱衝
撃性による劣化および被削材との溶着により短寿命にな
るという問題がある。
【０００７】一方、結晶配向された被膜に関する先行技
術としての特開昭５６−１５６７６７号公報，特開平２
−１５９３６３号公報，特開平５−２８７３２２号公
報，特開平５−２８７３２３号公報および特開平５−２
９５５１７号公報には、窒化チタン，炭化チタン，炭窒
化チタンでなるＴｉ化合物の被膜を結晶配向して基材の
表面に被覆した被覆硬質部材について開示されている。
術としての特開昭５６−１５６７６７号公報，特開平２
−１５９３６３号公報，特開平５−２８７３２２号公
報，特開平５−２８７３２３号公報および特開平５−２
９５５１７号公報には、窒化チタン，炭化チタン，炭窒
化チタンでなるＴｉ化合物の被膜を結晶配向して基材の
表面に被覆した被覆硬質部材について開示されている。
【０００８】これらの結晶配向に関する公報に開示され
ている被覆硬質部材は、被膜の結晶面を配向することに
より、被膜と基材との密着性が向上してはいるものの、
被膜中にＡｌが含有されていないＴｉ化合物の被膜であ
ることから、特に高温における被膜自体の機械的性質が
低く、被膜の強度，硬度，耐摩耗性，耐熱性および耐酸
化性に未だ満足できないという問題がある。
ている被覆硬質部材は、被膜の結晶面を配向することに
より、被膜と基材との密着性が向上してはいるものの、
被膜中にＡｌが含有されていないＴｉ化合物の被膜であ
ることから、特に高温における被膜自体の機械的性質が
低く、被膜の強度，硬度，耐摩耗性，耐熱性および耐酸
化性に未だ満足できないという問題がある。
【０００９】本発明は、上述のような問題点を解決した
もので、具体的には、低温領域から高温領域に至るまで
の広い領域において、高靭性，高硬度性，耐摩耗性，耐
酸化性，耐熱衝撃性，耐欠損性，耐溶着性のある硬質膜
および耐剥離性を有し、結晶配向性の異なる２層以上の
硬質膜を積層被覆することにより、さらに長寿命化を達
成させた結晶配向性硬質膜を含む積層被覆部材の提供を
目的とするものである。
もので、具体的には、低温領域から高温領域に至るまで
の広い領域において、高靭性，高硬度性，耐摩耗性，耐
酸化性，耐熱衝撃性，耐欠損性，耐溶着性のある硬質膜
および耐剥離性を有し、結晶配向性の異なる２層以上の
硬質膜を積層被覆することにより、さらに長寿命化を達
成させた結晶配向性硬質膜を含む積層被覆部材の提供を
目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、超硬合金
の基材上に（Ｔｉ，Ａｌ）化合物の被膜を被覆した被覆
部材が、低温領域で使用すると割合に優れた効果を発揮
するのに対し、高温領域で使用するとその効果が低減さ
れるという問題を検討していたところ、基材上に被覆さ
れる従来の（Ｔｉ，Ａｌ）化合物の被膜は（１１１）結
晶面を成長させた被膜であること、この（１１１）結晶
面を成長させた（Ｔｉ，Ａｌ）化合物の単一層の被膜に
対比し、詳細な理由は明確ではないが、（２００）結晶
面を成長させた（Ｔｉ，Ａｌ）化合物の被膜と、（１１
１）結晶面を成長させた（Ｔｉ，Ａｌ）化合物の被膜と
を積層すると高硬度の傾向となること、そしてＸ線回折
により求めた結晶面のピーク強度が（２００）結晶面に
最大高さを有する少なくとも１層の被膜と、Ｘ線回折に
より求めた結晶面のピーク強度が（１１１）結晶面に最
大高さを有する少なくとも１層の被膜とを含む積層被膜
にすると、耐剥離性，耐酸化性，耐熱衝撃性にすぐれる
こと、また低温から高温の領域に至るまで耐摩耗性の低
減が生じないこと、これらが複合されて長寿命になると
いう知見を得て、本発明を完成するに至ったものであ
る。
の基材上に（Ｔｉ，Ａｌ）化合物の被膜を被覆した被覆
部材が、低温領域で使用すると割合に優れた効果を発揮
するのに対し、高温領域で使用するとその効果が低減さ
れるという問題を検討していたところ、基材上に被覆さ
れる従来の（Ｔｉ，Ａｌ）化合物の被膜は（１１１）結
晶面を成長させた被膜であること、この（１１１）結晶
面を成長させた（Ｔｉ，Ａｌ）化合物の単一層の被膜に
対比し、詳細な理由は明確ではないが、（２００）結晶
面を成長させた（Ｔｉ，Ａｌ）化合物の被膜と、（１１
１）結晶面を成長させた（Ｔｉ，Ａｌ）化合物の被膜と
を積層すると高硬度の傾向となること、そしてＸ線回折
により求めた結晶面のピーク強度が（２００）結晶面に
最大高さを有する少なくとも１層の被膜と、Ｘ線回折に
より求めた結晶面のピーク強度が（１１１）結晶面に最
大高さを有する少なくとも１層の被膜とを含む積層被膜
にすると、耐剥離性，耐酸化性，耐熱衝撃性にすぐれる
こと、また低温から高温の領域に至るまで耐摩耗性の低
減が生じないこと、これらが複合されて長寿命になると
いう知見を得て、本発明を完成するに至ったものであ
る。
【００１１】本発明の積層被覆部材は、基材の上に、結
晶の配向性が異なる第１被膜層と第２被膜層とが積層被
覆されており、該第１被膜層と該第２被膜層の両層はチ
タンとアルミニウムとの窒化物，炭窒化物，窒酸化物，
炭酸化物，炭窒酸化物の中の１種の単層または２種以上
の多層からなり、該第１被膜層はＸ線回折により求めた
結晶面のピーク強度が（２００）結晶面に最大高さを有
し、該第２被膜層はＸ線回折により求めた結晶面のピー
ク強度が（１１１）結晶面に最大高さを有することを特
徴とするものである。
晶の配向性が異なる第１被膜層と第２被膜層とが積層被
覆されており、該第１被膜層と該第２被膜層の両層はチ
タンとアルミニウムとの窒化物，炭窒化物，窒酸化物，
炭酸化物，炭窒酸化物の中の１種の単層または２種以上
の多層からなり、該第１被膜層はＸ線回折により求めた
結晶面のピーク強度が（２００）結晶面に最大高さを有
し、該第２被膜層はＸ線回折により求めた結晶面のピー
ク強度が（１１１）結晶面に最大高さを有することを特
徴とするものである。
【００１２】
【発明の実施の態様】本発明の積層被覆部材における基
材は、材質的には、特に制限されることがなく、被膜層
を形成するときに加熱する温度に耐えることができる材
質、例えば金属部材，焼結合金またはセラミックス焼結
体ならば問題がなく、具体的には、例えばステンレス
鋼，耐熱合金，高速度鋼，ダイス鋼，Ｔｉ合金，Ａｌ合
金に代表される金属部材、超硬合金，サ−メット，粉末
ハイスに代表される焼結合金、Ａｌ2Ｏ3系焼結体，Ｓｉ
3Ｎ4系焼結体，サイアロン系焼結体，ＺｒＯ2系焼結体
に代表されるセラミックス焼結体を挙げることができ
る。これらのうち、切削用工具または耐摩耗用工具とし
て用いるときには、超硬合金，窒素含有ＴｉＣ系サ−メ
ットもしくはセラミックス焼結体の基材が好ましい。
材は、材質的には、特に制限されることがなく、被膜層
を形成するときに加熱する温度に耐えることができる材
質、例えば金属部材，焼結合金またはセラミックス焼結
体ならば問題がなく、具体的には、例えばステンレス
鋼，耐熱合金，高速度鋼，ダイス鋼，Ｔｉ合金，Ａｌ合
金に代表される金属部材、超硬合金，サ−メット，粉末
ハイスに代表される焼結合金、Ａｌ2Ｏ3系焼結体，Ｓｉ
3Ｎ4系焼結体，サイアロン系焼結体，ＺｒＯ2系焼結体
に代表されるセラミックス焼結体を挙げることができ
る。これらのうち、切削用工具または耐摩耗用工具とし
て用いるときには、超硬合金，窒素含有ＴｉＣ系サ−メ
ットもしくはセラミックス焼結体の基材が好ましい。
【００１３】この基材上に被覆される第１被膜層および
第２被膜層の組成成分は、具体的には、例えば（Ｔｉ，
Ａｌ）Ｎ、（Ｔｉ，Ａｌ）ＣＮ、（Ｔｉ，Ａｌ）ＮＯ、
（Ｔｉ，Ａｌ）ＣＯ、（Ｔｉ，Ａｌ）ＣＮＯを挙げるこ
とができる。この第１被膜層および第２被膜層は、それ
ぞれが結晶構造の異なる少なくとも１層からなり、第１
被膜層および第２被膜層の中に含有する金属元素である
Ｔｉ元素対Ａｌ元素の原子比率が４８〜７５：５２〜２
５にあると、高硬度になること、耐剥離性，耐酸化性，
耐熱衝撃性にすぐれること、長寿命になることから好ま
しいことである。この第１被膜層および第２被膜層は、
化学量論組成または非化学量論組成からなる場合でもよ
い。
第２被膜層の組成成分は、具体的には、例えば（Ｔｉ，
Ａｌ）Ｎ、（Ｔｉ，Ａｌ）ＣＮ、（Ｔｉ，Ａｌ）ＮＯ、
（Ｔｉ，Ａｌ）ＣＯ、（Ｔｉ，Ａｌ）ＣＮＯを挙げるこ
とができる。この第１被膜層および第２被膜層は、それ
ぞれが結晶構造の異なる少なくとも１層からなり、第１
被膜層および第２被膜層の中に含有する金属元素である
Ｔｉ元素対Ａｌ元素の原子比率が４８〜７５：５２〜２
５にあると、高硬度になること、耐剥離性，耐酸化性，
耐熱衝撃性にすぐれること、長寿命になることから好ま
しいことである。この第１被膜層および第２被膜層は、
化学量論組成または非化学量論組成からなる場合でもよ
い。
【００１４】この第１被膜層および第２被膜層のうち、
第１被膜層は、第１被膜層の表面からＸ線回折した場合
に、（２００）結晶面が最大の強度ピークとなる（２０
０）面に結晶配向された被膜である。別の表現をする
と、この第１被膜層は、Ｘ線回折における（２００）結
晶面と（１１１）結晶面によるそれぞれの強度ピークの
高さをｈ（２００），ｈ（１１１）としたときに、ｈ
（２００）＞ｈ（１１１）の関係にあればよく、後述す
る効果を高めるために、（１１１）結晶面に対する（２
００）結晶面の強度比が２〜１００の関係にあることが
好ましいことである。すなわち、第１被膜層の表面から
Ｘ線回折した場合における（２００）結晶面と（１１
１）結晶面により求めた、それぞれの強度ピークの高さ
がｈ（２００）／ｈ（１１１）＝２〜１００の関係にあ
ることが好ましいことである。
第１被膜層は、第１被膜層の表面からＸ線回折した場合
に、（２００）結晶面が最大の強度ピークとなる（２０
０）面に結晶配向された被膜である。別の表現をする
と、この第１被膜層は、Ｘ線回折における（２００）結
晶面と（１１１）結晶面によるそれぞれの強度ピークの
高さをｈ（２００），ｈ（１１１）としたときに、ｈ
（２００）＞ｈ（１１１）の関係にあればよく、後述す
る効果を高めるために、（１１１）結晶面に対する（２
００）結晶面の強度比が２〜１００の関係にあることが
好ましいことである。すなわち、第１被膜層の表面から
Ｘ線回折した場合における（２００）結晶面と（１１
１）結晶面により求めた、それぞれの強度ピークの高さ
がｈ（２００）／ｈ（１１１）＝２〜１００の関係にあ
ることが好ましいことである。
【００１５】また、第２被膜層は、第２被膜層の表面か
らＸ線回折した場合に、（１１１）結晶面が最大の強度
ピークとなる（１１１）面に結晶配向された被膜であ
る。別の表現をすると、この第２被膜層は、Ｘ線回折に
おける（１１１）結晶面と（２００）結晶面によるそれ
ぞれの強度ピークの高さをｈ（１１１），ｈ（２００）
としたときに、ｈ（１１１）＞ｈ（２００）の関係にあ
ればよく、後述する効果を高めるために、（２００）結
晶面に対する（１１１）結晶面の強度比が１．５以上の
関係にあることが好ましいことである。すなわち、第２
被膜層の表面からＸ線回折した場合における（１１１）
結晶面と（２００）結晶面により求めた、それぞれの強
度ピークの高さがｈ（１１１）／ｈ（２００）≧１．５
の関係にあることが好ましいことである。
らＸ線回折した場合に、（１１１）結晶面が最大の強度
ピークとなる（１１１）面に結晶配向された被膜であ
る。別の表現をすると、この第２被膜層は、Ｘ線回折に
おける（１１１）結晶面と（２００）結晶面によるそれ
ぞれの強度ピークの高さをｈ（１１１），ｈ（２００）
としたときに、ｈ（１１１）＞ｈ（２００）の関係にあ
ればよく、後述する効果を高めるために、（２００）結
晶面に対する（１１１）結晶面の強度比が１．５以上の
関係にあることが好ましいことである。すなわち、第２
被膜層の表面からＸ線回折した場合における（１１１）
結晶面と（２００）結晶面により求めた、それぞれの強
度ピークの高さがｈ（１１１）／ｈ（２００）≧１．５
の関係にあることが好ましいことである。
【００１６】これらの第１被膜層と第２被膜層との合計
した結晶配向した硬質膜は、用途または形状により被膜
厚さを選定する必要があり、工具としての用途では、１
０μｍ以下でなる膜厚さであることが好ましく、第１被
膜層の層厚さが第２被膜層の層厚さよりも厚く被覆され
ていることが好ましいことである。また、両被膜層のう
ち、第２被膜層厚さが０．０１〜２．０μｍであること
が好ましいことである。特に過酷な用途であるドリル，
エンドミル，リーマに代表される回転切削工具の場合に
は、結晶配向した硬質膜の膜厚さが０．６〜５μｍであ
ることが好ましいことである。
した結晶配向した硬質膜は、用途または形状により被膜
厚さを選定する必要があり、工具としての用途では、１
０μｍ以下でなる膜厚さであることが好ましく、第１被
膜層の層厚さが第２被膜層の層厚さよりも厚く被覆され
ていることが好ましいことである。また、両被膜層のう
ち、第２被膜層厚さが０．０１〜２．０μｍであること
が好ましいことである。特に過酷な用途であるドリル，
エンドミル，リーマに代表される回転切削工具の場合に
は、結晶配向した硬質膜の膜厚さが０．６〜５μｍであ
ることが好ましいことである。
【００１７】この第１被膜層と第２被膜層との位置関係
は、基材側に第１被膜層、第１被膜層に隣接して第２被
膜層が積層された第１の層構成、基材側に第２被膜層、
第２被膜層に隣接して第１被膜層が積層された第２の層
構成、第１被膜層が第２被膜層によりサンドイッチ状に
挟持された第３の層構成、第２被膜層が第１被膜層によ
りサンドイッチ状に挟持された第４の層構成、または、
これらの第１〜第４の層構成における第１被膜層と第２
被膜層の他に別の被膜層が積層された第５の層構成を代
表例として挙げることができる。これらのうち、第１の
層構成および第４の層構成でなる場合には、被膜表面か
らの硬さが高く、耐摩耗性にすぐれており、長寿命とな
ることから好ましいことである。
は、基材側に第１被膜層、第１被膜層に隣接して第２被
膜層が積層された第１の層構成、基材側に第２被膜層、
第２被膜層に隣接して第１被膜層が積層された第２の層
構成、第１被膜層が第２被膜層によりサンドイッチ状に
挟持された第３の層構成、第２被膜層が第１被膜層によ
りサンドイッチ状に挟持された第４の層構成、または、
これらの第１〜第４の層構成における第１被膜層と第２
被膜層の他に別の被膜層が積層された第５の層構成を代
表例として挙げることができる。これらのうち、第１の
層構成および第４の層構成でなる場合には、被膜表面か
らの硬さが高く、耐摩耗性にすぐれており、長寿命とな
ることから好ましいことである。
【００１８】これらの被膜層の位置関係における第５の
層構成について、さらに詳細に説明すると、第１被膜層
および第２被膜層は、熱膨張係数に代表される問題から
基材の材質によっては密着性に対する効果がほとんどな
くなる場合がある。この場合には、基材と第１被膜層ま
たは第２被膜層との間に下地層を介在させることも好ま
しいことである。また、第１被膜層と第２被膜層との界
面における結晶学的ミスフィトエネルギーを最小とする
等のために、この両層間に中間層を介在させることも好
ましいことである。さらに、基材から最も離れた第１被
膜層または第２被膜層の表面に最上層を形成することも
好ましいことである。
層構成について、さらに詳細に説明すると、第１被膜層
および第２被膜層は、熱膨張係数に代表される問題から
基材の材質によっては密着性に対する効果がほとんどな
くなる場合がある。この場合には、基材と第１被膜層ま
たは第２被膜層との間に下地層を介在させることも好ま
しいことである。また、第１被膜層と第２被膜層との界
面における結晶学的ミスフィトエネルギーを最小とする
等のために、この両層間に中間層を介在させることも好
ましいことである。さらに、基材から最も離れた第１被
膜層または第２被膜層の表面に最上層を形成することも
好ましいことである。
【００１９】この第５の層構成における下地層は、基材
との親和性の高い物質、具体的には、例えばＴｉ，Ｔｉ
Ａｌ，Ｔｉ3Ａｌ，ＴｉＡｌ3，Ｗ，に代表される金属ま
たは合金，ＷＣ，Ｍｏ2Ｃ，Ｃｒ2Ｎ，ＴａＮ，ＶＢ2，
ＮｂＢ2，ＴａＢ2，Ｗ2Ｂ5，ＭｏＢ2，ＣｒＢ2，Ｔｉ
Ｃ，ＺｒＣ，ＨｆＣ，ＴａＣ，ＮｂＣ，ＶＣ，ＷＣ，Ｍ
ｏ2Ｃ，Ｃｒ3Ｃ2，ＴｉＮ，ＺｒＮ，ＨｆＮ，ＴａＮ，
ＣｒＮ，Ｔｉ（ＣＮ），（Ｔｉ，Ｗ）Ｃ，（Ｔｉ，Ｔ
ａ）Ｃ，（Ｔｉ，Ｔａ）ＣＮ，（Ｔｉ，Ｔａ）Ｎの中の
１種の単層または２種以上の多層でなる場合を挙げるこ
とができる。これらのうち、下地層は、Ｔｉを含有した
化合物が好ましいことである。この下地層の膜厚さは、
下地層の表面に被覆される第１被膜層または第２被膜層
が密着性を高めることができる膜厚さであればよく、具
体的には、例えば０．０１〜２μｍ厚さ、特に０．１〜
１μｍ厚さでなることが好ましい。
との親和性の高い物質、具体的には、例えばＴｉ，Ｔｉ
Ａｌ，Ｔｉ3Ａｌ，ＴｉＡｌ3，Ｗ，に代表される金属ま
たは合金，ＷＣ，Ｍｏ2Ｃ，Ｃｒ2Ｎ，ＴａＮ，ＶＢ2，
ＮｂＢ2，ＴａＢ2，Ｗ2Ｂ5，ＭｏＢ2，ＣｒＢ2，Ｔｉ
Ｃ，ＺｒＣ，ＨｆＣ，ＴａＣ，ＮｂＣ，ＶＣ，ＷＣ，Ｍ
ｏ2Ｃ，Ｃｒ3Ｃ2，ＴｉＮ，ＺｒＮ，ＨｆＮ，ＴａＮ，
ＣｒＮ，Ｔｉ（ＣＮ），（Ｔｉ，Ｗ）Ｃ，（Ｔｉ，Ｔ
ａ）Ｃ，（Ｔｉ，Ｔａ）ＣＮ，（Ｔｉ，Ｔａ）Ｎの中の
１種の単層または２種以上の多層でなる場合を挙げるこ
とができる。これらのうち、下地層は、Ｔｉを含有した
化合物が好ましいことである。この下地層の膜厚さは、
下地層の表面に被覆される第１被膜層または第２被膜層
が密着性を高めることができる膜厚さであればよく、具
体的には、例えば０．０１〜２μｍ厚さ、特に０．１〜
１μｍ厚さでなることが好ましい。
【００２０】また、中間層は、具体的には、例えばＴｉ
Ｃ，ＺｒＣ，ＨｆＣ，ＴａＣ，ＮｂＣ，ＶＣ，ＷＣ，Ｍ
ｏ2Ｃ，Ｃｒ3Ｃ2，ＴｉＮ，ＺｒＮ，ＨｆＮ，ＴａＮ，
ＣｒＮ，Ｔｉ（ＣＮ），（Ｔｉ，Ｗ）Ｃ，（Ｔｉ，Ｔ
ａ）Ｃ，（Ｔｉ，Ｔａ）ＣＮ，（Ｔｉ，Ｔａ）Ｎの中の
１種の単層または２種以上の多層でなる場合を挙げるこ
とができる。これらのうち、中間層は、Ｔｉを含有した
化合物とし、かつ結晶面を配向させることが好ましいこ
とである。この中間層の膜厚さは、中間層の表面に被覆
される第１被膜層または第２被膜層の結晶学的ミスフィ
トエネルギーを最小とし、かつ密着性を高めることがで
きる膜厚さであればよく、具体的には、例えば０．０１
〜５μｍ厚さ、特に０．１〜２μｍ厚さでなることが好
ましい。
Ｃ，ＺｒＣ，ＨｆＣ，ＴａＣ，ＮｂＣ，ＶＣ，ＷＣ，Ｍ
ｏ2Ｃ，Ｃｒ3Ｃ2，ＴｉＮ，ＺｒＮ，ＨｆＮ，ＴａＮ，
ＣｒＮ，Ｔｉ（ＣＮ），（Ｔｉ，Ｗ）Ｃ，（Ｔｉ，Ｔ
ａ）Ｃ，（Ｔｉ，Ｔａ）ＣＮ，（Ｔｉ，Ｔａ）Ｎの中の
１種の単層または２種以上の多層でなる場合を挙げるこ
とができる。これらのうち、中間層は、Ｔｉを含有した
化合物とし、かつ結晶面を配向させることが好ましいこ
とである。この中間層の膜厚さは、中間層の表面に被覆
される第１被膜層または第２被膜層の結晶学的ミスフィ
トエネルギーを最小とし、かつ密着性を高めることがで
きる膜厚さであればよく、具体的には、例えば０．０１
〜５μｍ厚さ、特に０．１〜２μｍ厚さでなることが好
ましい。
【００２１】さらに、最上層は、より耐熱性，耐酸化性
を高める目的、表面の着色，使用前後の判別等のために
形成し、具体的には、例えばＡｌ2Ｏ3，（Ａｌ，Ｓｉ）
ＯＮ，（Ｔｉ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎ，（Ｔｉ，Ａｌ，Ｓｉ）
ＯＮ，ＴｉＣ，ＺｒＣ，ＨｆＣ，ＴａＣ，ＮｂＣ，Ｖ
Ｃ，ＷＣ，Ｍｏ2Ｃ，Ｃｒ3Ｃ2，ＴｉＮ，ＺｒＮ，Ｈｆ
Ｎ，ＴａＮ，ＣｒＮ，Ｔｉ（ＣＮ），（Ｔｉ，Ｗ）Ｃ，
（Ｔｉ，Ｔａ）Ｃ，（Ｔｉ，Ｔａ）ＣＮ，（Ｔｉ，Ｔ
ａ）Ｎの中の１種の単層または２種以上の多層でなる場
合を挙げることができる。この最上層の膜厚さは、目的
により異なるが、具体的には、例えば０．１〜５μｍ厚
さでなることが好ましい。
を高める目的、表面の着色，使用前後の判別等のために
形成し、具体的には、例えばＡｌ2Ｏ3，（Ａｌ，Ｓｉ）
ＯＮ，（Ｔｉ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎ，（Ｔｉ，Ａｌ，Ｓｉ）
ＯＮ，ＴｉＣ，ＺｒＣ，ＨｆＣ，ＴａＣ，ＮｂＣ，Ｖ
Ｃ，ＷＣ，Ｍｏ2Ｃ，Ｃｒ3Ｃ2，ＴｉＮ，ＺｒＮ，Ｈｆ
Ｎ，ＴａＮ，ＣｒＮ，Ｔｉ（ＣＮ），（Ｔｉ，Ｗ）Ｃ，
（Ｔｉ，Ｔａ）Ｃ，（Ｔｉ，Ｔａ）ＣＮ，（Ｔｉ，Ｔ
ａ）Ｎの中の１種の単層または２種以上の多層でなる場
合を挙げることができる。この最上層の膜厚さは、目的
により異なるが、具体的には、例えば０．１〜５μｍ厚
さでなることが好ましい。
【００２２】本発明の積層被覆部材を作製する場合に、
まず基材は、従来から市販されているステンレス鋼，耐
熱合金，高速度鋼，ダイス鋼，Ｔｉ合金，Ａｌ合金に代
表される金属部材、超硬合金，サ−メット，粉末ハイス
の焼結合金、Ａｌ２Ｏ３系焼結体，Ｓｉ３Ｎ４系焼結
体，サイアロン系焼結体，ＺｒＯ２系焼結体のセラミッ
クス焼結体を基材とし、好ましくはＪＩＳ規格Ｂ４０５
３の超硬合金の使用選択基準の中で分類されているＰ２
０〜Ｐ４０，Ｍ２０〜４０およびＫ１０〜Ｋ２０相当の
超硬合金材質、特に好ましくはＰ３０，Ｍ２０，Ｍ３
０，Ｋ１０相当の超硬合金材質でなる基材を用いればよ
い。この基材の表面を、必要に応じて研磨し、超音波，
有機溶剤などによる洗浄処理を行った後、従来から行わ
れている物理蒸着法（ＰＶＤ法），化学蒸着法（ＣＶＤ
法）またはプラズマＣＶＤ法により基材上に被膜を被覆
して作製することができる。
まず基材は、従来から市販されているステンレス鋼，耐
熱合金，高速度鋼，ダイス鋼，Ｔｉ合金，Ａｌ合金に代
表される金属部材、超硬合金，サ−メット，粉末ハイス
の焼結合金、Ａｌ２Ｏ３系焼結体，Ｓｉ３Ｎ４系焼結
体，サイアロン系焼結体，ＺｒＯ２系焼結体のセラミッ
クス焼結体を基材とし、好ましくはＪＩＳ規格Ｂ４０５
３の超硬合金の使用選択基準の中で分類されているＰ２
０〜Ｐ４０，Ｍ２０〜４０およびＫ１０〜Ｋ２０相当の
超硬合金材質、特に好ましくはＰ３０，Ｍ２０，Ｍ３
０，Ｋ１０相当の超硬合金材質でなる基材を用いればよ
い。この基材の表面を、必要に応じて研磨し、超音波，
有機溶剤などによる洗浄処理を行った後、従来から行わ
れている物理蒸着法（ＰＶＤ法），化学蒸着法（ＣＶＤ
法）またはプラズマＣＶＤ法により基材上に被膜を被覆
して作製することができる。
【００２３】基材上に被膜を被覆する場合は、必要に応
じて被覆する下地層，中間層または最上層を含めて、そ
れぞれの膜質に応じてＰＶＤ法，ＣＶＤ法，またはプラ
ズマＣＶＤ法を使い分けることもできる。これらのう
ち、製造工程上から全ての被膜を、イオンプレ−ティン
グ法またはスパッタリング法に代表されるＰＶＤ法で行
うことが好ましく、この中でもイオンプレ−ティング
法、特にア−クイオンプレ−ティング法で被覆処理する
ことが好ましい。
じて被覆する下地層，中間層または最上層を含めて、そ
れぞれの膜質に応じてＰＶＤ法，ＣＶＤ法，またはプラ
ズマＣＶＤ法を使い分けることもできる。これらのう
ち、製造工程上から全ての被膜を、イオンプレ−ティン
グ法またはスパッタリング法に代表されるＰＶＤ法で行
うことが好ましく、この中でもイオンプレ−ティング
法、特にア−クイオンプレ−ティング法で被覆処理する
ことが好ましい。
【００２４】本発明の積層被覆部材における第１被膜層
および第２被膜層のうち、特に第１被膜層をイオンプレ
−ティング法で作製する場合について、さらに詳述する
と、蒸発源としては金属チタン、金属アルミニウムの２
種類を独立して用いてもよく、Ｔｉ−Ａｌ合金，ＴｉＡ
ｌ金属間化合物を使用してもよい。金属のイオン化の方
法もア−ク放電の他、グロ−放電または高周波加熱など
のいずれでもよい。イオンプレ−ティング法で使用する
ガスは、窒化物を生成するためのガス、すなわち窒素ガ
スの他、窒素を含んだアンモニアなどの窒素源ガスを用
いてもよい。この反応ガスを炉内に導入し、蒸発源とし
ての金属，合金，金属間化合物をイオン化し、基材に負
のバイアスを印加すると膜の結晶配向が容易となること
から好ましい。特に、（２００）結晶面の含有率を高め
て結晶配向した（Ｔｉ，Ａｌ）化合物の被膜を形成する
ためには、被膜形成前の基材表面を洗浄するためのボン
バード条件と被膜形成時における窒素ガスおよび／また
は窒素源ガスの分圧，基材へのバイアス電圧の調整が重
要である。
および第２被膜層のうち、特に第１被膜層をイオンプレ
−ティング法で作製する場合について、さらに詳述する
と、蒸発源としては金属チタン、金属アルミニウムの２
種類を独立して用いてもよく、Ｔｉ−Ａｌ合金，ＴｉＡ
ｌ金属間化合物を使用してもよい。金属のイオン化の方
法もア−ク放電の他、グロ−放電または高周波加熱など
のいずれでもよい。イオンプレ−ティング法で使用する
ガスは、窒化物を生成するためのガス、すなわち窒素ガ
スの他、窒素を含んだアンモニアなどの窒素源ガスを用
いてもよい。この反応ガスを炉内に導入し、蒸発源とし
ての金属，合金，金属間化合物をイオン化し、基材に負
のバイアスを印加すると膜の結晶配向が容易となること
から好ましい。特に、（２００）結晶面の含有率を高め
て結晶配向した（Ｔｉ，Ａｌ）化合物の被膜を形成する
ためには、被膜形成前の基材表面を洗浄するためのボン
バード条件と被膜形成時における窒素ガスおよび／また
は窒素源ガスの分圧，基材へのバイアス電圧の調整が重
要である。
【００２５】
【作用】本発明の積層被覆部材は、第１被膜層である
（２００）結晶面に配向された（Ｔｉ，Ａｌ）化合物の
被膜が被膜硬さを高め、第１被膜層と第２被膜層との積
層が膜全体の破壊靭性値および耐摩耗性を向上させる作
用をし、かつ基材と被膜との界面近傍に残留する応力を
緩和する作用をし、特に超硬合金でなる基材の場合に
は、被膜中への残留圧縮応力を高めて、基材との密着性
を顕著に高める作用をしているものである。
（２００）結晶面に配向された（Ｔｉ，Ａｌ）化合物の
被膜が被膜硬さを高め、第１被膜層と第２被膜層との積
層が膜全体の破壊靭性値および耐摩耗性を向上させる作
用をし、かつ基材と被膜との界面近傍に残留する応力を
緩和する作用をし、特に超硬合金でなる基材の場合に
は、被膜中への残留圧縮応力を高めて、基材との密着性
を顕著に高める作用をしているものである。
【００２６】
【実施試験１】市販されている形状ＳＮＧＡ１２０４０
８の超硬合金（ＪＩＳ規格Ｂ４０５３のＫ１０相当材
質）を基材とし、この基材表面を有機溶剤で洗浄した
後、アーク放電プラズマＰＶＤ装置のチャンバー内に設
置し、（逃げ面とすくい面へ同時に被覆できる治具を用
いて設置）、チャンバー内の初期条件を、温度：６００
℃，圧力：１×１０-4Ｔｏｒｒの真空とし、６０分間保
持した。次いで、圧力：１×１０-3Ｔｏｒｒの真空と
し，アーク電流：７０Ａ，基材バイアス：−６００Ｖと
し、１０分間保持によりボンバード処理を施した。その
後の成膜条件は、ＴｉＡｌ金属間化合物含有のＴｉ−Ａ
ｌ蒸発源を用いて、圧力：２０×１０-3Ｔｏｒｒ，アー
ク電流：１００Ａ，その他の基材バイアス，窒素流量，
保持時間を表１に示した（Ａ）条件により被覆処理し、
基材表面に順次第１被膜層，第２被膜層，第１被膜層か
らなる３層積層の本発明品１を作製した。同様に（Ｂ）
条件により被覆処理し、基材表面に順次第１被膜層，第
２被膜層，第１被膜層からなる３層積層の本発明品２を
作製した。このうち、（Ａ）条件の基材バイアス電圧
は、段階的に変化、具体的には、例えば−４０Ｖから一
起に−１００Ｖに変化させる方法により行い、（Ｂ）条
件の基材バイアス電圧は、徐々に連続的に変化、具体的
には、例えば−４０Ｖから連続的に−１００Ｖとする方
法により行った。
８の超硬合金（ＪＩＳ規格Ｂ４０５３のＫ１０相当材
質）を基材とし、この基材表面を有機溶剤で洗浄した
後、アーク放電プラズマＰＶＤ装置のチャンバー内に設
置し、（逃げ面とすくい面へ同時に被覆できる治具を用
いて設置）、チャンバー内の初期条件を、温度：６００
℃，圧力：１×１０-4Ｔｏｒｒの真空とし、６０分間保
持した。次いで、圧力：１×１０-3Ｔｏｒｒの真空と
し，アーク電流：７０Ａ，基材バイアス：−６００Ｖと
し、１０分間保持によりボンバード処理を施した。その
後の成膜条件は、ＴｉＡｌ金属間化合物含有のＴｉ−Ａ
ｌ蒸発源を用いて、圧力：２０×１０-3Ｔｏｒｒ，アー
ク電流：１００Ａ，その他の基材バイアス，窒素流量，
保持時間を表１に示した（Ａ）条件により被覆処理し、
基材表面に順次第１被膜層，第２被膜層，第１被膜層か
らなる３層積層の本発明品１を作製した。同様に（Ｂ）
条件により被覆処理し、基材表面に順次第１被膜層，第
２被膜層，第１被膜層からなる３層積層の本発明品２を
作製した。このうち、（Ａ）条件の基材バイアス電圧
は、段階的に変化、具体的には、例えば−４０Ｖから一
起に−１００Ｖに変化させる方法により行い、（Ｂ）条
件の基材バイアス電圧は、徐々に連続的に変化、具体的
には、例えば−４０Ｖから連続的に−１００Ｖとする方
法により行った。
【００２７】比較として、ボンバード処理条件における
圧力：１×１０-5Ｔｏｒｒの真空，基材バイアス：−８
００Ｖ，保持時間：４分間、成膜条件を表１の（Ｃ）条
件とした以外は、上述の本発明品１，２と同様に被覆処
理をして、基材表面に第２被膜層を被覆し、比較品１を
得た。
圧力：１×１０-5Ｔｏｒｒの真空，基材バイアス：−８
００Ｖ，保持時間：４分間、成膜条件を表１の（Ｃ）条
件とした以外は、上述の本発明品１，２と同様に被覆処
理をして、基材表面に第２被膜層を被覆し、比較品１を
得た。
【００２８】こうして得た本発明品１，２と比較品１の
被膜を、Ｘ線回折して、被膜の組成と結晶面の強度比を
調査し、被膜が全て（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎの組成からなって
いること、本発明品１，２の第１被膜層の結晶面強度比
（２００）／（１１１）がそれぞれ４．１（本発明品
１），５．７（本発明品２）であることおよび比較品１
の第２被膜層の結晶面強度比（１１１）／（２００）が
２．５〜６．７内にあることを確認した。また、Ｘ線回
折装置およびグロー放電発光分析装置を用いて、本発明
品１，２および比較品１の被膜中に存在するＴｉ元素と
Ａｌ元素の原子比率を求めた結果、本発明品１がＴｉ：
Ａｌ＝５６：４４，本発明品２がＴｉ：Ａｌ＝５５：４
５，比較品がＴｉ：Ａｌ＝６０：４０からなることを確
認した。
被膜を、Ｘ線回折して、被膜の組成と結晶面の強度比を
調査し、被膜が全て（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎの組成からなって
いること、本発明品１，２の第１被膜層の結晶面強度比
（２００）／（１１１）がそれぞれ４．１（本発明品
１），５．７（本発明品２）であることおよび比較品１
の第２被膜層の結晶面強度比（１１１）／（２００）が
２．５〜６．７内にあることを確認した。また、Ｘ線回
折装置およびグロー放電発光分析装置を用いて、本発明
品１，２および比較品１の被膜中に存在するＴｉ元素と
Ａｌ元素の原子比率を求めた結果、本発明品１がＴｉ：
Ａｌ＝５６：４４，本発明品２がＴｉ：Ａｌ＝５５：４
５，比較品がＴｉ：Ａｌ＝６０：４０からなることを確
認した。
【００２９】次いで、走査型電子顕微鏡，ビッカース硬
度測定機，引っ掻き摩耗試験機に相当する被膜剥離試験
機を用いて、本発明品１，２および比較品１の被膜厚
さ，被膜硬さの測定、ならびに被膜の耐剥離性として、
被膜が剥離されるまでの臨界剥離荷重を求めるスクラッ
チ強度を測定し、被膜厚さ，被膜硬さ，被膜のスクラッ
チ強度について、それぞれの平均値を表２に示した。
度測定機，引っ掻き摩耗試験機に相当する被膜剥離試験
機を用いて、本発明品１，２および比較品１の被膜厚
さ，被膜硬さの測定、ならびに被膜の耐剥離性として、
被膜が剥離されるまでの臨界剥離荷重を求めるスクラッ
チ強度を測定し、被膜厚さ，被膜硬さ，被膜のスクラッ
チ強度について、それぞれの平均値を表２に示した。
【００３０】次に、本発明品１，２および比較品１を用
いて被削材：Ｓ４８Ｃ（ＨＢ２０５〜２２３）、切削速
度１５０ｍ／ｍｉｎ、送り：０．３ｍｍ／ｒｅｖ、切込
み：１．５ｍｍ、チップ形状：ＳＮＧＡ１２０４０８，
乾式切削試験による切削条件により旋削試験を行い、被
膜の剥離，チッピングまたは平均逃げ面摩耗幅が０．１
ｍｍに達したときを寿命とし、寿命までの切削時間を求
めて表２に併記した。
いて被削材：Ｓ４８Ｃ（ＨＢ２０５〜２２３）、切削速
度１５０ｍ／ｍｉｎ、送り：０．３ｍｍ／ｒｅｖ、切込
み：１．５ｍｍ、チップ形状：ＳＮＧＡ１２０４０８，
乾式切削試験による切削条件により旋削試験を行い、被
膜の剥離，チッピングまたは平均逃げ面摩耗幅が０．１
ｍｍに達したときを寿命とし、寿命までの切削時間を求
めて表２に併記した。
【００３１】
【表１】
【００３２】
【表２】
【００３３】
【実施試験２】実施試験１の本発明品１，２の条件のう
ち、成膜条件として、表３，表４および表５の成膜条件
により順次、基材表面に被膜を被覆し、第１被膜層（第
１層目），第２被膜層（第２層目）および第１被膜層
（第３層目）からなる３層を被覆した以外は、ほぼ本発
明品１，２と同様に処理し、本発明品３〜１８を得た。
また、成膜条件として、表３，表４および表５の成膜条
件のうち、表４の成膜条件のみ行って、基材表面に第２
被膜層のみ被覆して比較品２および３を得た。
ち、成膜条件として、表３，表４および表５の成膜条件
により順次、基材表面に被膜を被覆し、第１被膜層（第
１層目），第２被膜層（第２層目）および第１被膜層
（第３層目）からなる３層を被覆した以外は、ほぼ本発
明品１，２と同様に処理し、本発明品３〜１８を得た。
また、成膜条件として、表３，表４および表５の成膜条
件のうち、表４の成膜条件のみ行って、基材表面に第２
被膜層のみ被覆して比較品２および３を得た。
【００３４】実施試験１と同様に、Ｘ線回折装置および
グロー放電発光分析装置を用いて、これらの本発明品３
〜１８および比較品２，３の被膜の組成と結晶面の強度
比を調査し、被膜が全て（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎの組成からな
っていること、第１被膜層が（２００）結晶面に最大の
Ｘ線ピーク強度でなる被膜であること、第２被膜層が
（１１１）結晶面に最大のＸ線ピーク強度でなる被膜で
あることを確認した。また、本発明品３〜１８および比
較品２，３の被膜中に存在するＴｉ元素とＡｌ元素の原
子比率を求めた結果、ほぼＴｉ：Ａｌ＝６０〜６２：４
０〜３８の範囲からなる（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎの被膜である
ことを確認した。次いで、実施試験１と同様にして、こ
れらの本発明品３〜１８および比較品２，３の被膜厚
さ，被膜硬度，被膜のスクラッチ強度および寿命までの
切削時間を求めて、それぞれの平均値を表６に示した。
グロー放電発光分析装置を用いて、これらの本発明品３
〜１８および比較品２，３の被膜の組成と結晶面の強度
比を調査し、被膜が全て（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎの組成からな
っていること、第１被膜層が（２００）結晶面に最大の
Ｘ線ピーク強度でなる被膜であること、第２被膜層が
（１１１）結晶面に最大のＸ線ピーク強度でなる被膜で
あることを確認した。また、本発明品３〜１８および比
較品２，３の被膜中に存在するＴｉ元素とＡｌ元素の原
子比率を求めた結果、ほぼＴｉ：Ａｌ＝６０〜６２：４
０〜３８の範囲からなる（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎの被膜である
ことを確認した。次いで、実施試験１と同様にして、こ
れらの本発明品３〜１８および比較品２，３の被膜厚
さ，被膜硬度，被膜のスクラッチ強度および寿命までの
切削時間を求めて、それぞれの平均値を表６に示した。
【００３５】
【表３】
【００３６】
【表４】
【００３７】
【表５】
【００３８】
【表６】
【００３９】
【実施試験３】第２被膜層の成膜時に窒素ガスを導入し
たところを、アンモニアガスとメタンガスとの混合ガス
を使用した以外は、実施試験１の本発明品１の条件とほ
ぼ同様にして、本発明品１９を得た。また、第２被膜層
の成膜時に窒素ガスを導入したところを、アンモニアガ
スと一酸化炭素との混合ガスを使用した以外は、実施試
験１の本発明品１の条件とほぼ同様にして、本発明品２
０を得た。さらに、第２被膜層の成膜時に窒素ガスを導
入したところを、アンモニアガスとメタンガスと一酸化
炭素との混合ガスを使用した以外は、実施試験１の本発
明品１の条件とほぼ同様にして、本発明品２１を得た。
たところを、アンモニアガスとメタンガスとの混合ガス
を使用した以外は、実施試験１の本発明品１の条件とほ
ぼ同様にして、本発明品１９を得た。また、第２被膜層
の成膜時に窒素ガスを導入したところを、アンモニアガ
スと一酸化炭素との混合ガスを使用した以外は、実施試
験１の本発明品１の条件とほぼ同様にして、本発明品２
０を得た。さらに、第２被膜層の成膜時に窒素ガスを導
入したところを、アンモニアガスとメタンガスと一酸化
炭素との混合ガスを使用した以外は、実施試験１の本発
明品１の条件とほぼ同様にして、本発明品２１を得た。
【００４０】こうして得た本発明品１９〜２１の被膜
を、実施試験１と同様にして調べたところ、本発明品１
９の被膜は、第１被膜層が（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎの組成、第
２被膜層が（Ｔｉ，Ａｌ）ＮＣの組成であること、本発
明品２０の被膜は、第１被膜層が（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎの組
成、第２被膜層が（Ｔｉ，Ａｌ）ＮＯの組成であるこ
と、本発明品３４の被膜は、第１被膜層が（Ｔｉ，Ａ
ｌ）Ｎの組成、第２被膜層が（Ｔｉ，Ａｌ）ＮＣＯの組
成であることを確認した。この本発明品１９〜２１につ
いて、実施試験１と同様に被膜のスクラッチ強度および
寿命までの切削時間をそれぞれ調べた結果、ほぼ本発明
品１と同様の傾向を示した。
を、実施試験１と同様にして調べたところ、本発明品１
９の被膜は、第１被膜層が（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎの組成、第
２被膜層が（Ｔｉ，Ａｌ）ＮＣの組成であること、本発
明品２０の被膜は、第１被膜層が（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎの組
成、第２被膜層が（Ｔｉ，Ａｌ）ＮＯの組成であるこ
と、本発明品３４の被膜は、第１被膜層が（Ｔｉ，Ａ
ｌ）Ｎの組成、第２被膜層が（Ｔｉ，Ａｌ）ＮＣＯの組
成であることを確認した。この本発明品１９〜２１につ
いて、実施試験１と同様に被膜のスクラッチ強度および
寿命までの切削時間をそれぞれ調べた結果、ほぼ本発明
品１と同様の傾向を示した。
【００４１】
【実施試験４】成膜時の基材バイアス電圧，そのバイア
ス電圧における保持時間および窒素流量を表７の（Ｄ）
条件とした以外は、実施試験１の本発明品１と同様の条
件として本発明品２２を得た。また、同じく表７の
（Ｅ）条件とした以外は、実施試験１の本発明品１と同
様の条件として本発明品２３を得た。
ス電圧における保持時間および窒素流量を表７の（Ｄ）
条件とした以外は、実施試験１の本発明品１と同様の条
件として本発明品２２を得た。また、同じく表７の
（Ｅ）条件とした以外は、実施試験１の本発明品１と同
様の条件として本発明品２３を得た。
【００４２】実施試験１の本発明品１と同様にして、本
発明品２２および２３の被膜層の構成を調べたところ、
本発明品２２は、基材表面に第１被膜層，第２被膜層が
順次被覆されており、本発明品２３は、基材表面に第２
被覆層，第１被覆層が順次被覆された構成であった。こ
れらの被膜厚さをすくい面と逃げ面に分けて調べて、そ
れぞれの平均被膜層厚さを表８に示した。
発明品２２および２３の被膜層の構成を調べたところ、
本発明品２２は、基材表面に第１被膜層，第２被膜層が
順次被覆されており、本発明品２３は、基材表面に第２
被覆層，第１被覆層が順次被覆された構成であった。こ
れらの被膜厚さをすくい面と逃げ面に分けて調べて、そ
れぞれの平均被膜層厚さを表８に示した。
【００４３】次に、実施試験１の本発明品１と同様にし
て、本発明品２２および２３の被膜の硬さ，スクラッチ
強度，結晶配向性およびＴｉ元素とＡｌ元素の比率を求
めた結果、本発明品２２は、硬さ（ＨＶ）：２９５０，
スクラッチ強度（Ｎ）：８０，Ｔｉ／Ａｌ（ａｔ％）：
５６／４４，第１被膜層の結晶（２００）／（１１
１）：４．１，第２被膜層の結晶（１１１）／（２０
０）：１．８であり、本発明品２３は、硬さ（ＨＶ）：
２９７０，スクラッチ強度（Ｎ）：８０，Ｔｉ／Ａｌ
（ａｔ％）：５５／４５，第１被膜層の結晶（２００）
／（１１１）：５．７，第２被膜層の結晶（１１１）／
（２００）：２．０であった。
て、本発明品２２および２３の被膜の硬さ，スクラッチ
強度，結晶配向性およびＴｉ元素とＡｌ元素の比率を求
めた結果、本発明品２２は、硬さ（ＨＶ）：２９５０，
スクラッチ強度（Ｎ）：８０，Ｔｉ／Ａｌ（ａｔ％）：
５６／４４，第１被膜層の結晶（２００）／（１１
１）：４．１，第２被膜層の結晶（１１１）／（２０
０）：１．８であり、本発明品２３は、硬さ（ＨＶ）：
２９７０，スクラッチ強度（Ｎ）：８０，Ｔｉ／Ａｌ
（ａｔ％）：５５／４５，第１被膜層の結晶（２００）
／（１１１）：５．７，第２被膜層の結晶（１１１）／
（２００）：２．０であった。
【００４４】
【表７】
【００４５】
【表８】
【００４６】
【発明の効果】本発明の積層被覆部材は、従来の（１１
１）結晶面に配向した（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎの被膜を被覆し
た比較品に対比して、被膜の耐剥離性が優れており、か
つ被膜自体が高硬度，高靭性，耐摩耗性，耐酸化性，耐
熱衝撃性，耐欠損性，耐溶着性を有していることから、
この分野での中速切削領域から高速切削領域に相当する
領域において、長寿命になるという効果がある。したが
って、本発明の積層被覆部材は、従来の被覆部材の領域
である低速切削領域から高速切削領域に至るまで広い領
域で長寿命を達成できるという優れた効果があること、
従来の比較品に対比して、特にフライス用切削工具，エ
ンドミルおよびドリルとしての回転切削工具として長寿
命が期待されること、また高靭性および高硬度な積層被
膜を被覆した被覆部材であることから、軽切削領域から
重切削領域においても優れた効果を発揮できるものであ
る。
１）結晶面に配向した（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎの被膜を被覆し
た比較品に対比して、被膜の耐剥離性が優れており、か
つ被膜自体が高硬度，高靭性，耐摩耗性，耐酸化性，耐
熱衝撃性，耐欠損性，耐溶着性を有していることから、
この分野での中速切削領域から高速切削領域に相当する
領域において、長寿命になるという効果がある。したが
って、本発明の積層被覆部材は、従来の被覆部材の領域
である低速切削領域から高速切削領域に至るまで広い領
域で長寿命を達成できるという優れた効果があること、
従来の比較品に対比して、特にフライス用切削工具，エ
ンドミルおよびドリルとしての回転切削工具として長寿
命が期待されること、また高靭性および高硬度な積層被
膜を被覆した被覆部材であることから、軽切削領域から
重切削領域においても優れた効果を発揮できるものであ
る。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ // Ｂ２３Ｂ 27/14 Ｂ２３Ｂ 27/14 Ａ
Claims (12)
- 【請求項１】 基材の上に、結晶の配向性が異なる第１
被膜層と第２被膜層とを積層被覆されており、該第１被
膜層と該第２被膜層の両層はチタンとアルミニウムとの
窒化物，炭窒化物，窒酸化物，炭酸化物，炭窒酸化物の
中の１種の単層または２種以上の多層からなり、該第１
被膜層はＸ線回折により求めた結晶面のピーク強度が
（２００）結晶面に最大高さを有し、該第２被膜層はＸ
線回折により求めた結晶面のピーク強度が（１１１）結
晶面に最大高さを有することを特徴とする結晶配向性硬
質膜を含む積層被覆部材。 - 【請求項２】 上記基材は、超硬合金またはサーメット
の焼結合金からなることを特徴とする請求項１記載の結
晶配向性硬質膜を含む積層被覆部材。 - 【請求項３】 上記第１被膜層は、Ｘ線回折により求め
た（１１１）結晶面に対する（２００）結晶面の強度比
が２〜１００であることを特徴とする請求項１または２
記載の結晶配向性硬質膜を含む積層被覆部材。 - 【請求項４】 上記第１被膜層は、該第１被膜層中に含
有する金属元素であるＴｉ元素対Ａｌ元素の原子比率
が、４８〜７５：５２〜２５であることを特徴とする請
求項１，２または３記載の結晶配向性硬質膜を含む積層
被覆部材。 - 【請求項５】 上記第２被膜層は、Ｘ線回折により求め
た（２００）結晶面に対する（１１１）結晶面の強度比
が１．５以上であることを特徴とする請求項１，２，３
または４記載の結晶配向性硬質膜を含む積層被覆部材。 - 【請求項６】 上記第２被膜層は、膜厚さが０．０１μ
ｍ〜２．０μｍであることを特徴とする請求項１，２，
３，４または５記載の結晶配向性硬質膜を含む積層被覆
部材。 - 【請求項７】 上記第２被膜層は、該第２被膜層中に含
有する金属元素であるＴｉ元素対Ａｌ元素の原子比率
が、４８〜７５：５２〜２５であることを特徴とする請
求項１，２，３，４，５または６記載の結晶配向性硬質
膜を含む積層被覆部材。 - 【請求項８】 上記第１被膜層と上記第２被膜層の合計
層厚さは、０．６μｍ〜５μｍであって、かつ該第１被
膜層の層厚さが該第２被膜層の層厚さよりも厚いことを
特徴とする請求項１，２，３，４，５，６または７記載
の結晶配向性硬質膜を含む積層被覆部材。 - 【請求項９】 上記第１被膜層と上記第２被膜層とが隣
接した２層以上に積層されていることを特徴とする請求
項１，２，３，４，５，６，７または８記載の結晶配向
性硬質膜を含む積層被覆部材。 - 【請求項１０】 上記第１被膜層は、上記基材側に被覆
されており、上記第２被膜層は、該第１被膜層に隣接し
て被覆されていることを特徴とする請求項１，２，３，
４，５，６，７，８または９記載の結晶配向性硬質膜を
含む積層被覆部材。 - 【請求項１１】 上記第２被膜層は、上記第１被膜層に
よりサンドイッチ状に挟持された状態に被覆されている
ことを特徴とする請求項１，２，３，４，５，６，７，
８，９または１０記載の結晶配向性硬質膜を含む積層被
覆部材。 - 【請求項１２】 上記積層被覆部材は、回転切削工具と
して用いられることを特徴とする請求項１，２，３，
４，５，６，７，８，９，１０または１１記載の結晶配
向性硬質膜を含む積層被覆部材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15583597A JP3420024B2 (ja) | 1997-05-28 | 1997-05-28 | 結晶配向性硬質膜を含む積層被膜部材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15583597A JP3420024B2 (ja) | 1997-05-28 | 1997-05-28 | 結晶配向性硬質膜を含む積層被膜部材 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10330914A true JPH10330914A (ja) | 1998-12-15 |
| JP3420024B2 JP3420024B2 (ja) | 2003-06-23 |
Family
ID=15614548
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15583597A Expired - Lifetime JP3420024B2 (ja) | 1997-05-28 | 1997-05-28 | 結晶配向性硬質膜を含む積層被膜部材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3420024B2 (ja) |
Cited By (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005123312A1 (ja) * | 2004-06-18 | 2005-12-29 | Mitsubishi Materials Corporation | 表面被覆切削工具、及びその製造方法 |
| US7150925B2 (en) | 2001-10-30 | 2006-12-19 | Mitsubishi Materials Kobe Tools Corporation | Surface coated cemented carbide cutting tool having hard coating layer exhibiting excellent wear resistance in high speed machining |
| JP2007075941A (ja) * | 2005-09-13 | 2007-03-29 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 切削インサート及び切削工具 |
| WO2007111301A1 (ja) | 2006-03-28 | 2007-10-04 | Kyocera Corporation | 表面被覆工具 |
| WO2009096476A1 (ja) | 2008-01-29 | 2009-08-06 | Kyocera Corporation | 切削工具 |
| US7799438B2 (en) | 2004-06-18 | 2010-09-21 | Mitsubishi Materials Corporation | Surface-coated cutting tool and method for producing same |
| JP2011011287A (ja) * | 2009-07-01 | 2011-01-20 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp | 表面被覆切削工具 |
| JP2011011286A (ja) * | 2009-07-01 | 2011-01-20 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp | 表面被覆切削工具 |
| US8580406B2 (en) | 2007-08-02 | 2013-11-12 | Kobe Steel, Ltd. | Hard coating film, material coated with hard coating film and die for cold plastic working and method for forming hard coating film |
| WO2014156699A1 (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-02 | 日立ツール株式会社 | 被覆切削工具 |
| WO2017077801A1 (ja) * | 2015-11-06 | 2017-05-11 | 株式会社Ihi | 耐食性コーティングを有するエンジン用圧縮機翼およびそのコーティング方法 |
| KR20170118872A (ko) | 2015-03-27 | 2017-10-25 | 가부시키가이샤 탕가로이 | 피복절삭공구 |
| JP2018034371A (ja) * | 2016-08-30 | 2018-03-08 | 京セラ株式会社 | サーマルヘッドおよびサーマルプリンタ |
| JP2018509528A (ja) * | 2015-02-24 | 2018-04-05 | エリコン・サーフェス・ソリューションズ・アクチェンゲゼルシャフト，プフェフィコーンＯｅｒｌｉｋｏｎ Ｓｕｒｆａｃｅ Ｓｏｌｕｔｉｏｎｓ Ａｇ， Ｐｆａｅｆｆｉｋｏｎ | 高強度鋼の冷間金属加工のための高性能コーティング |
| US10300533B2 (en) | 2014-08-01 | 2019-05-28 | Tungaloy Corporation | Coated cutting tool |
| JP2019197692A (ja) * | 2018-05-11 | 2019-11-14 | 日本碍子株式会社 | 燃料電池セル |
| WO2020213260A1 (ja) | 2019-04-17 | 2020-10-22 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 切削工具 |
| US11007580B2 (en) | 2019-04-17 | 2021-05-18 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp. | Cutting tool |
| US11179782B2 (en) | 2019-04-17 | 2021-11-23 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp. | Cutting tool |
| US11203068B2 (en) | 2019-04-17 | 2021-12-21 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp. | Cutting tool |
| US11293095B2 (en) | 2020-06-02 | 2022-04-05 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp. | Cutting tool |
| US11292065B2 (en) | 2020-06-02 | 2022-04-05 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp. | Cutting tool |
| US11390942B2 (en) | 2020-06-02 | 2022-07-19 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp. | Cutting tool |
-
1997
- 1997-05-28 JP JP15583597A patent/JP3420024B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (29)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7150925B2 (en) | 2001-10-30 | 2006-12-19 | Mitsubishi Materials Kobe Tools Corporation | Surface coated cemented carbide cutting tool having hard coating layer exhibiting excellent wear resistance in high speed machining |
| WO2005123312A1 (ja) * | 2004-06-18 | 2005-12-29 | Mitsubishi Materials Corporation | 表面被覆切削工具、及びその製造方法 |
| US7799438B2 (en) | 2004-06-18 | 2010-09-21 | Mitsubishi Materials Corporation | Surface-coated cutting tool and method for producing same |
| JP2007075941A (ja) * | 2005-09-13 | 2007-03-29 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 切削インサート及び切削工具 |
| WO2007111301A1 (ja) | 2006-03-28 | 2007-10-04 | Kyocera Corporation | 表面被覆工具 |
| US8580406B2 (en) | 2007-08-02 | 2013-11-12 | Kobe Steel, Ltd. | Hard coating film, material coated with hard coating film and die for cold plastic working and method for forming hard coating film |
| US8828562B2 (en) | 2007-08-02 | 2014-09-09 | Kobe Steel, Ltd. | Hard coating film, material coated with hard coating film and die for cold plastic working and method for forming hard coating film |
| US8415033B2 (en) | 2008-01-29 | 2013-04-09 | Kyocera Corporation | Cutting tool |
| WO2009096476A1 (ja) | 2008-01-29 | 2009-08-06 | Kyocera Corporation | 切削工具 |
| JP2011011286A (ja) * | 2009-07-01 | 2011-01-20 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp | 表面被覆切削工具 |
| JP2011011287A (ja) * | 2009-07-01 | 2011-01-20 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp | 表面被覆切削工具 |
| WO2014156699A1 (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-02 | 日立ツール株式会社 | 被覆切削工具 |
| JP5700171B2 (ja) * | 2013-03-29 | 2015-04-15 | 日立ツール株式会社 | 被覆切削工具 |
| US10300533B2 (en) | 2014-08-01 | 2019-05-28 | Tungaloy Corporation | Coated cutting tool |
| JP2018509528A (ja) * | 2015-02-24 | 2018-04-05 | エリコン・サーフェス・ソリューションズ・アクチェンゲゼルシャフト，プフェフィコーンＯｅｒｌｉｋｏｎ Ｓｕｒｆａｃｅ Ｓｏｌｕｔｉｏｎｓ Ａｇ， Ｐｆａｅｆｆｉｋｏｎ | 高強度鋼の冷間金属加工のための高性能コーティング |
| US11583935B2 (en) | 2015-03-27 | 2023-02-21 | Tungaloy Corporation | Coated cutting tool |
| KR20170118872A (ko) | 2015-03-27 | 2017-10-25 | 가부시키가이샤 탕가로이 | 피복절삭공구 |
| JP2017088937A (ja) * | 2015-11-06 | 2017-05-25 | 株式会社Ihi | 耐食性コーティングを有するエンジン用圧縮機翼およびそのコーティング方法 |
| WO2017077801A1 (ja) * | 2015-11-06 | 2017-05-11 | 株式会社Ihi | 耐食性コーティングを有するエンジン用圧縮機翼およびそのコーティング方法 |
| JP2018034371A (ja) * | 2016-08-30 | 2018-03-08 | 京セラ株式会社 | サーマルヘッドおよびサーマルプリンタ |
| JP2019197692A (ja) * | 2018-05-11 | 2019-11-14 | 日本碍子株式会社 | 燃料電池セル |
| WO2020213260A1 (ja) | 2019-04-17 | 2020-10-22 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 切削工具 |
| US11007580B2 (en) | 2019-04-17 | 2021-05-18 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp. | Cutting tool |
| US11179782B2 (en) | 2019-04-17 | 2021-11-23 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp. | Cutting tool |
| US11203068B2 (en) | 2019-04-17 | 2021-12-21 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp. | Cutting tool |
| US11919092B2 (en) | 2019-04-17 | 2024-03-05 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp. | Cutting tool |
| US11293095B2 (en) | 2020-06-02 | 2022-04-05 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp. | Cutting tool |
| US11292065B2 (en) | 2020-06-02 | 2022-04-05 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp. | Cutting tool |
| US11390942B2 (en) | 2020-06-02 | 2022-07-19 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp. | Cutting tool |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3420024B2 (ja) | 2003-06-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3420024B2 (ja) | 結晶配向性硬質膜を含む積層被膜部材 | |
| JP3452726B2 (ja) | 多層被覆硬質工具 | |
| JP3031907B2 (ja) | 多層膜被覆部材 | |
| EP1952920A1 (en) | Cutting tip of cutting edge replacement type | |
| KR100674773B1 (ko) | 경질 필름, 다층 경질 필름 및 그 제조 방법 | |
| JP2009034781A (ja) | 表面被覆切削工具 | |
| EP1864731B2 (en) | Edge replacement cutter tip | |
| JP3249277B2 (ja) | 耐摩耗性被覆部材 | |
| JPH08104583A (ja) | 工具用複合高硬度材料 | |
| JPH06220571A (ja) | 切削工具用の超硬合金及び被覆超硬合金 | |
| JP3333081B2 (ja) | 結晶配向性高強度被覆部材 | |
| EP4041931A1 (en) | A coated cutting tool | |
| JPH10317123A (ja) | 結晶配向性硬質被覆部材 | |
| JP3358696B2 (ja) | 高強度被覆体 | |
| JP5070621B2 (ja) | 表面被覆切削工具 | |
| JP3130734B2 (ja) | 耐熱性被覆部材 | |
| JP3333080B2 (ja) | 整合性界面を有した高強度被覆部材 | |
| JP3179645B2 (ja) | 耐摩耗性被覆部材 | |
| JPH0827562A (ja) | 耐酸化性被覆部材 | |
| JPH0820871A (ja) | 耐摩耗性被覆部材 | |
| JP4129653B2 (ja) | 超硬質膜被覆工具部材 | |
| JP2000309864A (ja) | 多層膜被覆部材 | |
| JP3347244B2 (ja) | 高靭性被覆材料 | |
| JP3337884B2 (ja) | 多層膜被覆部材 | |
| JP3347247B2 (ja) | 高靭性被膜被覆体 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20030402 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
| R370 | Written measure of declining of transfer procedure |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R370 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080418 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090418 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100418 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100418 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110418 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110418 Year of fee payment: 8 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110418 Year of fee payment: 8 |
|
| R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110418 Year of fee payment: 8 |
|
| R370 | Written measure of declining of transfer procedure |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R370 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110418 Year of fee payment: 8 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110418 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110418 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120418 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130418 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130418 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140418 Year of fee payment: 11 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |