JPH10326129A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
毎にパワーマネージメントプロセッサという特別のハー
ドウエアを付加的に設けなければならなかった。 【解決手段】 命令フェッチ部で取り込んだ命令をデコ
ードしてその結果に応じて、機能ブロックのうち使用さ
れない機能ブロックのリークカットスイッチをオフし
て、この機能ブロックへの電力の供給を遮断する。
Description
り、特にリーク電流をカットする構成を有する半導体装
置に関するものである。
LSIの電源電圧が低下してきており、今後はこの傾向
が一層強くなることが予想される。低電源電圧下でも性
能を維持するためには、トランジスタのドレイン電流を
十分に確保するとともに、閾値電圧によるロスを少なく
する必要がある。すなわち電源電圧の低下に併せてMO
Sトランジスタの閾値電圧も小さくする必要があるが、
閾値電圧を下げると閾値電圧以下の電圧で流れるサブス
レッショールド電流が増加するため、待機時のリーク電
流が大きくなってしまう。
7のようなリークカットスイッチを設けた回路構成が提
案されている。図において、71はこの半導体装置の電
源端子であり、電源電圧VDDが印加される。72は電源
側のリークカットスイッチ、75はアース側のリークカ
ットスイッチ、73はリークカットスイッチ72,75
に制御電圧を印加する制御端子、74はCMOS回路で
ある。
74に電力を供給する必要がないときには、制御端子7
3にリークカットスイッチ72,75をオフさせる制御
信号を印加し、リークカットスイッチ72,75をオフ
させて、電源端子71に供給されている電源電圧VDDを
CMOS回路74に供給しないようにする。これによ
り、CMOS回路74のリーク電流の発生を阻止するこ
とができる。
場合にはリークカットスイッチ72,75をいつどのよ
うなタイミングで動作させるのかという問題が発生す
る。図8は、このタイミングを制御するための装置を備
えた従来の半導体装置を示すブロック図であり、論文S.
Shigematsu, S.Mutoh and Y.Matsuya, "Power Manageme
nt Technique for 1-VLSIs using Embedded Processo
r",∵IEEE 1996 Custom Integrated Circuits Conf., p
p.111-114, 1996.(エス・シゲマツ、エス・ムトオ及び
ワイ・マツヤ「埋め込み型プロセッサを用いた1−VL
SIの電力管理技術」IEEE1996年カスタム集積
回路会議111−114頁1996年)のFig.3 (図
3)に開示されているものである。
共通メモリ、82はリークカットスイッチの動作タイミ
ングを制御する信号を生成するパワーマネージメントプ
ロセッサ、83は低電圧で動作する低電圧アプリケーシ
ョン回路であり、低いしきい値電圧は低いがオフ時のリ
ーク電流が大きいCMOSで構成されている。図9は低
電圧アプリケーション回路83の内部構成の一部を示す
回路図(上記論文のFig.1 (図1)に相当する)であ
り、図において、Qはリークカットスイッチを構成する
トランジスタ、GはトランジスタQのゲート端子、90
は低電圧ロジック回路、91は仮想電源線である。Qは
リークカットスイッチとして動作させるのでしきい値電
圧は高いがリーク電流の少ないトランジスタを用いる。
g.2 (図2)に相当する図10に示すように、低電圧ロ
ジック回路90を動作させる時には、パワーマネージメ
ントプロセッサ82からゲート端子GにLレベルの制御
信号を供給してトランジスタQをオンにし、電源電圧V
DDを仮想電源線91に印加し、低電圧ロジック回路90
に動作電流を供給する(図10(1))。また、低電圧
ロジック回路90をスリープさせる時には、パワーマネ
ージメントプロセッサ82からゲート端子GにHレベル
の制御信号を供給してトランジスタQをオフにし、低電
圧ロジック回路90の動作電流と共にリーク電流をカッ
トする(図10(2))。パワーマネージメントプロセ
ッサ82は、外部からの処理要求などに基づいて、トラ
ンジスタQのオンオフ制御信号を生成する。
圧アプリケーション回路83のメモリ中のデータが消滅
してしまうので、トランジスタQをオフする前に、低電
圧アプリケーション回路83中のメモリに保持されてい
るデータを共通メモリ81にデータを待避させておく。
このように、パワーマネージメントプロセッサ82は共
通メモリ81のロード/ストア制御も行っている。
上のように構成されているので、ICチップ毎にパワー
マネージメントプロセッサという特別のハードウエアを
付加的に設けなければならず、面積オーバーヘッドが大
きいという課題があった。
めになされたもので、パワーマネージメントプロセッサ
という特別のハードウエアを用いることなく、リーク電
流を効率よくカットできる半導体装置を得ることを目的
とする。
するLSIにおいてもその速度に追随してリーク電流を
カットすることのできる半導体装置を得ることを目的と
する。
よって命令がストールしたような場合にもリーク電流を
カットすることのできる半導体装置を得ることを目的と
する。
る半導体装置は、プロセッサコア部が、命令及びデータ
の双方またはその一方を取り込む命令フェッチ部と、命
令フェッチ部で取り込んだ命令をデコードするデコーダ
と、処理機能毎に分割された複数の機能ブロックと、各
機能ブロック毎に設けられ機能ブロックへの電力の供給
を遮断するリークカットスイッチと、命令及びデータの
双方またはその一方を解析し、機能ブロックのうち使用
されない機能ブロックのリークカットスイッチをオフす
る制御信号を生成するパワーマネージメントユニットと
を備えたものである。
デコーダを、少なくとも、命令を分類して命令を処理す
る機能ブロックを割り付けるプリデコーダと、個々の機
能ブロックに割り付けられた命令をデコードするローカ
ルデコーダとに分割し、各ローカルデコーダ毎にローカ
ルデコーダへの電力の供給を遮断するリークカットオフ
スイッチを設け、パワーマネージメントユニットはロー
カルデコーダのうち使用されないローカルデコーダのリ
ークカットスイッチをオフする制御信号を生成するもの
である。
命令を一時的に保持する命令キュー部をプロセッサコア
部に更に設け、パワーマネージメントユニットは、命令
の実行に先立って命令を解析し、機能ブロックのうち使
用されない機能ブロックのリークカットスイッチをオフ
する制御信号を予め生成しておくものである。
パワーマネージメントユニットは、命令が取り込めない
ときにプロセッサコア部の命令フェッチ部以外の全ての
回路ユニットのリークカットスイッチをオフする制御信
号を生成するものである。
プロセッサコア部の入出力装置を少なくとも上位ビット
用及び下位ビット用の2個のブロックに分割し、分割さ
れた上位ビット用の入出力装置及び下位ビット用の入出
力装置のそれぞれにリークカットスイッチを設け、パワ
ーマネージメントユニットは、上位ビット用及び下位ビ
ット用のそれぞれの入出力装置のリークカットスイッチ
を、上位ビット用及び下位ビット用の入出力装置の不使
用時にオフする制御信号を生成するものである。
プロセッサコア部のバスドライバ回路を少なくとも上位
ビット用のバスのバスドライバ回路及び下位ビット用の
バスのバスドライバ回路に分割し、分割された上位ビッ
ト用及び下位ビット用のバスのバスドライバ回路のそれ
ぞれにリークカットオフスイッチを設けて、パワーマネ
ージメントユニットは、上位ビット用及び下位ビット用
のバスの各バスドライバ回路のリークカットスイッチ
を、上位ビット用及び下位ビット用のバスの不使用時に
オフする制御信号を生成するものである。
説明する。 実施の形態1.図1はこの発明の実施の形態1による半
導体装置のプロセッサコア部の構成を示すブロック図で
ある。この実施の形態1の半導体装置は、マイクロプロ
セッサやプロセッサコアを搭載したロジックLSIのよ
うな命令制御で動作するLSIである。このようなLS
Iでは、演算処理機能,メモリアクセス機能,分岐機能
等の各処理機能の遂行/非遂行を命令によって決定する
ので、命令をデコードするときに各機能の遂行/非遂行
の判定を行うことができる。
M等のメモリから命令を取り込む命令フェッチ部、2は
命令フェッチ部1で取り込んだ命令をデコードするデコ
ーダ、3は命令フェッチ部1の取り込んだ命令に基づい
てどの機能ブロックを動作させることが必要であるかを
判定してリークカットスイッチの制御信号を出力するパ
ワーマネージメントユニット(以下「PMU」と略記す
る)、8は整数演算部(機能ブロック)、4は電源電圧
VDDを整数演算部8に供給する電源端子、6は整数演算
部8用のリークカットスイッチ、9は浮動小数点演算部
(機能ブロック)、5は電源電圧VDDを浮動小数点演算
部9に供給する電源端子、7は浮動小数点演算部9用の
リークカットスイッチである。
ては、演算処理機能,メモリアクセス機能,分岐機能等
の処理機能を各機能毎にブロック化し(図示したのは、
整数演算部8と浮動小数点演算部9のみ)、機能ブロッ
ク毎に電源電圧VDDの供給をオン・オフするリークカッ
トスイッチを設けている。
ェッチ部1でメモリから命令を取り込み、デコーダ2で
その命令がどのような処理を行うのかをデコードする。
そのときに、入力データの参照アドレスや結果データの
格納先、あるいは処理すべき機能(加算、論理演算、デ
ータ移動など)が解析される。
ード時にどのブロックが動作する必要があってどのブロ
ックが動作しなくてよいのか解析し、各機能ブロックの
リークカットスイッチ6,7をオンオフさせる制御信号
を生成し、各リークカットスイッチ6,7に供給する。
例えば、発行された命令が整数加算や論理演算命令であ
った場合には、浮動小数点演算部9のリークカットスイ
ッチ7をオフにして、浮動小数点演算部9のリーク電流
をカットする。逆に浮動小数点命令が発行されれば、整
数演算部8のリークカットスイッチ6をオフにして、整
数演算部8のリーク電流をカットする。
ば、各機能ブロック毎に極め細かくリーク電流をカット
することが可能になり、各機能ブロックともリーク電流
がカットされている時間が長くなり、半導体装置の消費
電力が小さくなるという効果が得られる。
態2による半導体装置のプロセッサコア部の構成を示す
ブロック図であり、図において、図1の実施の形態1の
構成要素と同一の構成要素には同一符号を付し、その説
明を省略する。
て圧倒的に少ない。したがって、命令の解析に際し、機
能ブロックをオン・オフする回数は、命令の処理ステッ
プ数と比べて圧倒的に少ない。これは電源制御のデコー
ドが、命令デコードに比べて簡単であることを意味す
る。この実施の形態2はこのような事実を利用して、デ
コード部の回路を2階層にし、デコーダ回路の一部も必
要がない場合にはリークカットスイッチをオフにするよ
うにしたものである。すなわち、この実施の形態2にお
いては、デコーダを、命令をおおざっぱに分類し、命令
を機能ブロック毎に割り付けるプリデコーダ部と個々の
機能ブロックに応じてその機能ブロックに固有のデコー
ドを行うローカルデコーダ部とに分割している。
取り込んだ命令に基づいてどの機能ブロックを動作させ
ることが必要であるかを判定してリークカットスイッチ
の制御信号を出力するPMUで、この実施の形態2にお
いては使用されないローカルデコーダのリークカットス
イッチをオフする制御信号も出力する。21は整数系の
命令か浮動小数点系の命令かだけを判断して、命令を該
当する機能ブロックに送信するプリデコーダ、22は整
数演算部8に対する命令をデコードする整数デコーダ
(ローカルデコーダ)、23は浮動小数点演算部9に対
する命令をデコードする浮動小数点デコーダ(ローカル
デコーダ)である。なお、10,11は整数デコーダ2
2及び浮動小数点デコーダ23にそれぞれ電源電圧VDD
を供給する電源端子、12,13はそれぞれ整数デコー
ダ22及び浮動小数点デコーダ23に設けられたリーク
カットスイッチである。
21は命令フェッチ部1が取り出した命令をデコード
し、整数系の命令か浮動小数点系の命令かだけを判断し
て、デコードした命令を該当する機能ブロックに送信す
る。命令が整数命令の場合には、整数デコーダ22がそ
れを受けて実行すべき処理をデコードして、整数演算部
8を動作させる。その間、浮動小数点系は浮動小数点デ
コーダ23と浮動小数点演算部9の両者のリークカット
スイッチ13,7をともにオフにして、浮動小数点デコ
ーダ23と浮動小数点演算部9とのリーク電流をカット
する。逆に命令が浮動小数点系の場合には、浮動小数点
デコーダ23がそれを受けて実行すべき処理をデコード
して、浮動小数点演算部9を動作させる。その間、整数
系は整数デコーダ22と整数演算部8の両者のリークカ
ットスイッチ12,6をオフにして、整数デコーダ22
と整数演算部8とのリーク電流をカットする。
ば、プリデコーダ21は命令が発行されれば必ず動作し
なければならないが、整数デコーダ22,浮動小数点デ
コーダ23等のローカルデコーダはそれぞれに対応する
機能ブロックの動作の必要性に応じてオン・オフ出来る
ので、実施の形態lの場合よりも更に効率よくリーク電
流をカットできる効果が得られる。
態3による半導体装置のプロセッサコア部の構成を示す
ブロック図であり、図において、図2の実施の形態2の
構成要素と同一の構成要素には同一符号を付し、その説
明を省略する。
取り込んだ命令を一時的に保持しておく命令キュー部、
15は命令キュー部14に保持されている命令、3bは
命令キュー部14に保持されている命令15を解析し、
動作させることが必要な機能ブロックを判定し、各リー
クカットスイッチ12,13,6,7にオン・オフの制
御信号を送信するPMU、21aは整数系の命令か浮動
小数点系の命令かだけを判断して、命令を該当する機能
ブロックに送信するプリデコーダである。
態3では、命令キュー部14において、PMU3bが、
命令フェッチ部1で取り込み、命令キュー部14に保持
されている命令15をプロセッサコア部が動作を開始す
るのに先立って先行的に解析し、リークカットスイッチ
10,11,4,5のオン・オフ制御信号を作成してお
く。そして、実際にプロセッサコア部が動作を開始した
後、予め作成したオン・オフ制御信号を適切なタイミン
グで各リークカットスイッチ10,11,4,5に供給
する。
ば、実際の命令実行に先行してリークカットスイッチの
オン・オフ制御信号を作成しておくので、高速のクロッ
クで動作するプロセッサにも適用が可能になる効果が得
られる。
態4による半導体装置のプロセッサコア部の構成を示す
ブロック図であり、図において、図2,図3の実施の形
態2,実施の形態3の構成要素と同一の構成要素には同
一符号を付し、その説明を省略する。
RAM等のメモリから命令を取り込む命令フェッチ部、
3cは命令フェッチ部1aの取り込んだ命令に基づいて
どの機能ブロックを動作させることが必要であるかを判
定してリークカットスイッチの制御信号を出力し、また
命令フェッチ部1aで命令を取り込めない場合、すなわ
ち命令が発行されていない場合には、プロセッサコア部
の命令フェッチ部を除く全ての回路ユニットのリークカ
ットスイッチをオフにする制御信号を生成するPMU、
21bは整数系の命令か浮動小数点系の命令かだけを判
断して、命令を該当する機能ブロックに送信するプリデ
コーダである。なお、プリデコーダ21bには内部にリ
ークカットスイッチが設けられている。
は、命令フェッチ部1aの取り込んだ命令に基づいてど
の機能ブロックを動作させることが必要であるかを判定
してリークカットスイッチの制御信号を生成すると共
に、キャッシュミス等の理由で命令フェッチ部1aが次
の命令を取り込めずに命令がストールした場合には、プ
リデコーダ21bを含めたプロセッサコア部の命令フェ
ッチ部1a以外の全ての回路ユニットのリークカットス
イッチをオフする制御信号を生成して出力する。
ば、キャッシュミス等の理由により命令フェッチ部が次
の命令を取り込めなかった場合には、プロセッサコア部
の命令フェッチ部以外の全ての回路ユニットのリークカ
ットスイッチをオフするので、更に十分にリーク電流を
減少させることができる効果が得られる。
態5による半導体装置のプロセッサコア部の構成を示す
ブロック図であり、図において、図1の実施の形態1の
構成要素と同一の構成要素には同一符号を付し、その説
明を省略する。
取り込んだ命令に基づいてどの機能ブロックを動作させ
ることが必要であるかを判定してリークカットスイッチ
の制御信号を出力するPMUで、この実施の形態5にお
いては入出力回路についても必要に応じてリークカット
スイッチの制御信号を供給する。20は上位16ビット
の入出力回路、16は電源電圧VDDを入出力回路20に
供給する電源端子、18は入出力回路20用のリークカ
ットスイッチ、24は下位16ビットの入出力回路、1
7は電源電圧VDDを入出力回路24に供給する電源端
子、19は入出力回路24用のリークカットスイッチで
ある。
態5においては、PMU3dはデータのフォーマットを
判定して、不必要な部分の入出力回路のリークカットス
イッチをオフして当該入出力回路に電力を供給しないよ
うにする。例えば、バイト処理系とハーフワード処理系
の命令においては、上位16ビットの入出力回路20に
ついてはリークカットスイッチ18をオフにして、電力
の供給を遮断する。下位16ビットの入出力回路が用い
られない場合には、同様に、下位16ビットの入出力回
路24のリークカットスイッチ19をオフにする。
ば、使用されない入出力回路のリークカットスイッチを
オフするので、更に十分にリーク電流を減少させること
ができる効果が得られる。
態6による半導体装置のプロセッサコア部の構成を示す
ブロック図であり、図において、図5の実施の形態5の
構成要素と同一の構成要素には同一符号を付し、その説
明を省略する。
取り込んだ命令に基づいてどの機能ブロックを動作させ
ることが必要であるかを判定してリークカットスイッチ
の制御信号を出力するPMUで、この実施の形態6にお
いてはバスドライバ回路についても必要に応じてリーク
カットスイッチの制御信号を供給する。25はデータを
入出力装置20,24に入力するためのバス、26は入
出力装置20から出力される上位16ビットのデータの
ためのバス、27は入出力装置24から出力される下位
16ビットのデータのためのバス、35はデータを記憶
するレジスタ、32〜34はバスドライバ回路で、32
は下位ビット用のバス27のバスドライバ回路、33は
上位ビット用のバス26のバスドライバ回路、34はバ
ス25のバスドライバ回路である。28は電源電圧VDD
をバスドライバ回路32に供給する電源端子、30はバ
スドライバ回路32用のリークカットスイッチ、29は
電源電圧VDDをバスドライバ回路33に供給する電源端
子、31はバスドライバ回路33用のリークカットスイ
ッチである。
態6においては、PMU3eはデータのフォーマットを
判定して、不必要な部分のバスドライバ回路のリークカ
ットスイッチをもオフして当該バスドライバ回路に電力
を供給しないようにする。例えば、バイト処理系とハー
フワード処理系の命令においては、上位16ビットのバ
スドライバ回路33についてはリークカットスイッチ3
1をオフにして、電力の供給を遮断する。下位16ビッ
トのバスドライバ回路が用いられない場合には、同様
に、下位16ビットのバスドライバ回路32のリークカ
ットスイッチ30をオフにする。
ば、使用されないバスドライバ回路のリークカットスイ
ッチをもオフするので、更に十分にリーク電流を減少さ
せることができる効果が得られる。
リークカットスイッチを各機能ブロックの電源端子側に
設けたが、リークカットスイッチはこの位置に限定され
るものでなく、各機能ブロックのアース端子側のみ、ま
たは電源端子側とアース端子側の双方に設けてもよい。
さらに、各実施の形態を組み合わせて実施してもよいこ
とは言うまでもない。
れば、機能ブロックのうち使用されない機能ブロックの
リークカットスイッチをオフする制御信号を当該リーク
カットスイッチに供給するように構成したので、パワー
マネージメントプロセッサを用いることなく、効率よく
リーク電流をカットできる効果がある。
コーダのうち使用されないローカルデコーダのリークカ
ットスイッチをオフするように構成したので、更に効率
よくリーク電流をカットできる効果がある。
に先立って命令を解析し、機能ブロックのうち使用され
ない機能ブロックのリークカットスイッチをオフする制
御信号を予め生成しておくように構成したので、高速の
クロックで動作するLSIにおいてもその速度に追随し
てリーク電流をカットすることができる効果がある。
込めないときにプロセッサコア部の命令フェッチ部以外
の全ての回路ユニットのリークカットスイッチをオフす
るように構成したので、キャッシュミス等によって命令
がストールしたような場合にもリーク電流をカットする
ことができる効果がある。
用及び下位ビット用のそれぞれの入出力装置のリークカ
ットスイッチを、上位ビット用及び下位ビット用の入出
力装置の不使用時にオフするように構成したので、更に
効率よくリーク電流をカットできる効果がある。
用及び下位ビット用のバスの各バスドライバ回路のリー
クカットスイッチを、上位ビット用及び下位ビット用の
バスの不使用時にオフするように構成したので、更に効
率よくリーク電流をカットできる効果がある。
プロセッサコア部の構成を示すブロック図である。
プロセッサコア部の構成を示すブロック図である。
プロセッサコア部の構成を示すブロック図である。
プロセッサコア部の構成を示すブロック図である。
プロセッサコア部の構成を示すブロック図である。
プロセッサコア部の構成を示すブロック図である。
ある。
来の半導体装置の構成を示すブロック図である。
成の一部を示す回路図である。
作時のリークカットスイッチの状態を示す図である。
3b,3c,3d,3e パワーマネージメントユニッ
ト、6,7,12,13,18,19,30,31 リ
ークカットスイッチ、8 整数演算部(機能ブロッ
ク)、9 浮動小数点演算部(機能ブロック)、21,
21a,21b プリデコーダ、20,24入出力装
置、22 整数デコーダ(ローカルデコーダ)、23
浮動小数点デコーダ(ローカルデコーダ)、25〜27
バス、32〜34 バスドライバ回路。
Claims (6)
- 【請求項1】 プロセッサコア部が、 命令及びデータの双方またはその一方を取り込む命令フ
ェッチ部と、 該命令フェッチ部で取り込んだ命令をデコードするデコ
ーダと、 処理機能毎に分割された複数の機能ブロックと、 前記各機能ブロック毎に設けられ該機能ブロックへの電
力の供給を遮断するリークカットスイッチと、 前記命令及びデータの双方またはその一方を解析し、前
記機能ブロックのうち使用されない機能ブロックの前記
リークカットスイッチをオフする制御信号を生成するパ
ワーマネージメントユニットとを備えたことを特徴とす
る半導体装置。 - 【請求項2】 デコーダを、少なくとも、命令を分類し
て該命令を処理する機能ブロックを割り付けるプリデコ
ーダと、個々の機能ブロックに割り付けられた命令をデ
コードするローカルデコーダとに分割し、各ローカルデ
コーダ毎に該ローカルデコーダへの電力の供給を遮断す
るリークカットオフスイッチを設け、パワーマネージメ
ントユニットは前記ローカルデコーダのうち使用されな
いローカルデコーダの前記リークカットスイッチをオフ
する制御信号を生成することを特徴とする請求項1記載
の半導体装置。 - 【請求項3】 命令を一時的に保持する命令キュー部を
プロセッサコア部に更に設け、パワーマネージメントユ
ニットは、前記命令の実行に先立って該命令を解析し、
機能ブロックのうち使用されない機能ブロックのリーク
カットスイッチをオフする制御信号を予め生成しておく
ことを特徴とする請求項1または請求項2記載の半導体
装置。 - 【請求項4】 パワーマネージメントユニットは、命令
が取り込めないときにプロセッサコア部の命令フェッチ
部以外の全ての回路ユニットのリークカットスイッチを
オフする制御信号を生成することを特徴とする請求項1
から請求項3のうちのいずれか1項記載の半導体装置。 - 【請求項5】 プロセッサコア部の入出力装置を少なく
とも上位ビット用及び下位ビット用の2個のブロックに
分割し、分割された上位ビット用の入出力装置及び下位
ビット用の入出力装置のそれぞれにリークカットスイッ
チを設け、パワーマネージメントユニットは、前記上位
ビット用及び下位ビット用のそれぞれの入出力装置のリ
ークカットスイッチを、前記上位ビット用及び下位ビッ
ト用の入出力装置の不使用時にオフする制御信号を生成
することを特徴とする請求項1から請求項4のうちのい
ずれか1項記載の半導体装置。 - 【請求項6】 プロセッサコア部のバスドライバ回路を
少なくとも上位ビット用のバスのバスドライバ回路及び
下位ビット用のバスのバスドライバ回路に分割し、分割
された上位ビット用及び下位ビット用のバスのバスドラ
イバ回路のそれぞれにリークカットオフスイッチを設け
て、パワーマネージメントユニットは、前記上位ビット
用及び下位ビット用の各バスのバスドライバ回路のリー
クカットスイッチを、前記上位ビット用及び下位ビット
用のバスの不使用時にオフする制御信号を生成すること
を特徴とする請求項1から請求項5のうちのいずれか1
項記載の半導体装置。
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