JPH10323959A - Method and device for adhering film - Google Patents
Method and device for adhering filmInfo
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- JPH10323959A JPH10323959A JP9133747A JP13374797A JPH10323959A JP H10323959 A JPH10323959 A JP H10323959A JP 9133747 A JP9133747 A JP 9133747A JP 13374797 A JP13374797 A JP 13374797A JP H10323959 A JPH10323959 A JP H10323959A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、プリント配線板
用基板あるいは液晶表示装置、プラズマ表示装置のガラ
ス基板に例示される基板の表面にフィルムを張付けるた
めのフィルム張付方法及び装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for attaching a film to a surface of a substrate such as a glass substrate of a printed wiring board, a liquid crystal display, or a plasma display.
【０００２】[0002]
【従来の技術】コンピュータ等の電子機器に使用される
プリント配線板の製造過程において、プリント配線板用
基板の表面の導電層に、透光性支持フィルム（通常はポ
リエステルに代表される樹脂フィルム）上に感光性樹脂
層が形成され、且つ、これがカバーフィルムによって覆
われた積層体フィルムを、カバーフィルムを剥して張付
ける。そして、この後、配線パターンフィルムを重ね、
この配線パターンフィルム及び前記透光性支持フィルム
を通して、感光性樹脂層を所定時間露光する。次いで、
透光性支持フィルムを剥した後、露光された感光性樹脂
層を現像してエッチングマスクパターンを形成し、この
後、前記導電層の不必要部分をエッチングにより除去
し、これにより、所定の配線パターンを有するプリント
配線板が形成される。又、液晶表示装置、プラズマ表示
装置のガラス基板に表示セルを形成する工程で同様の積
層体フィルムが張付けられる。2. Description of the Related Art In the process of manufacturing a printed wiring board used for electronic equipment such as a computer, a light-transmitting support film (usually a resin film represented by polyester) is formed on a conductive layer on the surface of a printed wiring board substrate. A laminate film having a photosensitive resin layer formed thereon and covered with a cover film is adhered by peeling off the cover film. And after this, the wiring pattern film is overlaid,
The photosensitive resin layer is exposed for a predetermined time through the wiring pattern film and the translucent support film. Then
After peeling off the light-transmitting support film, the exposed photosensitive resin layer is developed to form an etching mask pattern, and thereafter, unnecessary portions of the conductive layer are removed by etching, whereby a predetermined wiring A printed wiring board having a pattern is formed. Further, in the step of forming a display cell on a glass substrate of a liquid crystal display device or a plasma display device, a similar laminate film is stuck.
【０００３】上記のような積層体フィルムを張付けるた
めのフィルム張付装置は、フィルム供給ロールに装填さ
れている連続フィルムを、搬送手段により搬送され、仮
付位置に停止された基板の先端に感光性樹脂層が該基板
側となるように導き、基板に対して近接及び離反移動可
能な仮付け部材によって該基板の先端に仮付けした後、
ラミネーションロールにより、フィルムを基板に圧着し
つつ、基板を搬送するようにされている。基板へのフィ
ルム圧着張付けは、張付け長さが基板長にほぼ対応した
長さとなるように行われており、その長さとなるように
供給フィルムはフィルム仮付け部材自体又はその近傍の
部材に設けられたフィルム切断手段で切断される。又、
カバーフィルムは、仮付け部材の前で剥される。[0003] A film sticking apparatus for sticking a laminated film as described above is a device in which a continuous film loaded on a film supply roll is transported by a transport means and is attached to the tip of a substrate stopped at a temporary attaching position. After the photosensitive resin layer is guided to the substrate side and temporarily attached to the front end of the substrate by a temporary attaching member that can move close to and away from the substrate,
The substrate is transported while the film is pressed against the substrate by the lamination roll. The film is pressure-bonded to the substrate so that the length of the film is approximately equal to the length of the substrate, and the supply film is provided on the film temporary bonding member itself or a member in the vicinity thereof so as to have the length. Cut by the film cutting means. or,
The cover film is peeled off before the tacking member.
【０００４】なお、感光性樹脂層を基板表面に塗布した
後にフィルムを張り付ける場合もあるが、この場合は、
張り付けられるフィルムは、前記透光性支持フィルムに
相当するフィルムのみであって、カバーフィルムが設け
られていない。従って、カバーフィルムを剥がす作業は
不要となる。In some cases, a film may be attached after the photosensitive resin layer is applied to the surface of the substrate.
The film to be stuck is only a film corresponding to the translucent support film, and is not provided with a cover film. Therefore, the operation of peeling off the cover film becomes unnecessary.
【０００５】前記フィルム仮付け部材は、例えば特公平
４−９６５６号公報に開示されるように、表面にフィル
ムを吸着するための複数の吸着孔（溝）が設けられたメ
インバキュームプレートと、このメインバキュームプレ
ートのフィルム供給方向先端側に設けられた円弧形状又
は三角形状のフィルム仮付け部材本体とから構成され、
全体として、フィルムの供給及び仮付け動作が行えるよ
うに、基板に対して近接および離反移動するようにされ
ている。The film temporary attaching member includes a main vacuum plate having a plurality of suction holes (grooves) for adsorbing a film on a surface thereof, as disclosed in Japanese Patent Publication No. Hei 4-9656, for example. An arc-shaped or triangular-shaped film tacking member main body provided on the leading end side of the main vacuum plate in the film supply direction,
As a whole, the film is moved toward and away from the substrate so that the film supply and the tacking operation can be performed.
【０００６】フィルム仮付け手段は、フィルムの供給及
び仮付け動作を行う際には、その表面にフィルムを吸着
した状態で基板に対して近接移動し、フィルムの供給及
び仮付け動作が完了するとフィルムの吸着を解除し基板
に対して離反移動する。このフィルムの吸着が解除され
ると、フィルムはフィルム仮付け手段の表面から離れた
状態となる。The film temporary attaching means moves close to the substrate in a state where the film is adsorbed on the surface when the film is supplied and the temporary attaching operation is performed, and when the film supplying and the temporary attaching operation are completed, the film is temporarily attached. Is released and moves away from the substrate. When the suction of the film is released, the film is separated from the surface of the film tacking means.
【０００７】仮付けした後、ラミネーションロールによ
りフィルムを基板に圧着しつつ、基板を搬送するのであ
るが、そのラミネーションロールによるフィルム圧着動
作中は、フィルムはフィルム仮付け手段の表面から離れ
た状態になっている。After the temporary attachment, the substrate is transported while the film is pressed against the substrate by the lamination roll. During the film compression operation by the lamination roll, the film is kept away from the surface of the film temporary attaching means. Has become.
【０００８】前記の搬送されてくる各基板にフィルムを
張付ける場合、基板毎にフィルムの供給及び仮付け動作
と圧着動作という両動作を繰返し行う。When a film is pasted on each of the conveyed substrates, both the operations of supplying and temporarily attaching the film and the pressing operation are repeated for each substrate.
【０００９】前記フィルム仮付け部材本体の先端にはフ
ィルムを基板方向に押圧するシールバーが突出して設け
られ、又、その背後にはシールバーを加熱するヒータが
設けられていて、これによりフィルム仮付け先端を加熱
して、基板の先端に仮付けできるようにされている。[0009] A seal bar for pressing the film in the direction of the substrate is protrudingly provided at the front end of the film temporary attaching member body, and a heater for heating the seal bar is provided behind the seal bar. The attachment tip is heated so that it can be temporarily attached to the tip of the substrate.
【００１０】ここで、前記フィルム仮付け部材本体先端
部における、前記シールバーよりもメインバキューム側
に隣接した位置にフィルム吸着孔（溝）が設けられてい
て、ここに吸着されたフィルムの先端が前記シールバー
の下側位置に保持されるようになっている。In this case, a film suction hole (groove) is provided at a position adjacent to the main vacuum side of the seal bar at a front end portion of the film temporary attaching member main body, and a front end of the film sucked here is formed. The seal bar is held at a lower position.
【００１１】前記のようにシールバーによってフィルム
仮付け先端を加熱して、基板の先端に仮付けしている
が、このフィルムに積層されている粘着性の感光性樹脂
層あるいは基板に塗布される粘着性感光樹脂が、仮付け
の際にフィルム仮付け先端から基板上にはみ出すことが
ある。As described above, the front end of the film is temporarily attached to the substrate by heating the front end of the film by the seal bar, but is applied to the adhesive photosensitive resin layer or the substrate laminated on the film. The tacky photosensitive resin may protrude from the front end of the film tacking onto the substrate during tacking.
【００１２】このはみ出した粘着性の感光性樹脂は、次
工程でのラミネーションロールによるフィルム圧着動作
中に該ラミネーションロール表面に付着して、これが、
フィルム表面を汚染するという問題点がある。The sticky photosensitive resin which has run out adheres to the surface of the lamination roll during the film pressing operation by the lamination roll in the next step,
There is a problem that the film surface is contaminated.
【００１３】これに対して、例えば特開昭６０−２２１
２９８号公報に開示されるように、間欠的に定速で搬送
される複数の基板の表面及び裏面に、ラミネーションロ
ールによってフィルムを連続的に張付け、張付後にカッ
ターにより基板間位置でフィルムを切断する方法があ
る。On the other hand, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 60-221
As disclosed in Japanese Patent Publication No. 298, a film is continuously attached to the front and back surfaces of a plurality of substrates conveyed intermittently at a constant speed by a lamination roll, and after the attachment, the film is cut at a position between the substrates by a cutter. There is a way to do that.
【００１４】このようにすると、表裏のフィルムにより
基板が被われているので、基板上に感光性樹脂がはみ出
しても、これがラミネーションロール表面に付着するこ
とがない。In this case, since the substrate is covered by the front and back films, even if the photosensitive resin protrudes onto the substrate, it does not adhere to the lamination roll surface.
【００１５】[0015]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、連続張
りでのフィルムの先端を仮付部材により基板に仮付けす
る場合、吸着されているフィルムの厚さが４０μｍ程度
以上であればフィルム先端が前記シールバーの外側位置
に保持されることができるが、最近のように、フィルム
の厚さが８〜３５μｍと、非常に薄くなると、その剛性
が不足するために、シールバーに隣接する吸着孔（溝）
の位置から垂れ下がってしまい、シールバーにより基板
に圧着させるべき、該フィルム先端が折れ曲ったり皺が
生じてしてしまい圧着不良を生じるという問題点があ
る。However, when the front end of the continuous film is temporarily attached to the substrate by a temporary attaching member, if the thickness of the adsorbed film is about 40 μm or more, the front end of the film is sealed. It can be held at the outer position of the bar, but recently, when the film thickness is very thin, 8 to 35 μm, its rigidity is insufficient, so the suction holes (grooves) adjacent to the seal bar )
From the position, and there is a problem that the tip of the film is bent or wrinkled, which should be pressed against the substrate by the seal bar, resulting in poor pressure bonding.
【００１６】又、シールバーに隣接する吸着溝は、フィ
ルム先端部を吸着するため、その吸引力を強くしなけれ
ばならず、他方、シールバーに隣接する領域はスペース
に余裕がないために、吸着溝が狭幅となるので、フィル
ムは、狭い範囲で強く吸引される。このためフィルムが
薄い場合、吸着溝内にフィルムが引き込まれた状態で吸
着されるので、そのまま基板に圧着すると吸着部分で皺
ができ、エアーが噛み込まれてしまうという問題点があ
る。Further, the suction groove adjacent to the seal bar has to increase the suction force in order to suck the leading end of the film. On the other hand, since the area adjacent to the seal bar has little room, Since the suction groove has a narrow width, the film is strongly sucked in a narrow range. For this reason, when the film is thin, the film is sucked in a state where the film is drawn into the suction groove. Therefore, if the film is pressed into the substrate as it is, wrinkles are formed at the sucked portion, and air is bitten.
【００１７】これに対して、シールバーよりも基板搬送
方向前側に、該シールバーに隣接して吸着溝を設けてフ
ィルムを吸着保持することが考えられるが、フィルムが
薄く、且つ、表側及び裏側において粘着物質によって基
板に接着されない場合は、該吸着溝内に引き込まれた状
態で仮付部材が基板から離間するとき、仮付部分からフ
ィルムが剥離してしまうという問題点がある。On the other hand, it is conceivable to provide a suction groove adjacent to the seal bar on the front side of the seal bar in the substrate transport direction to hold the film by suction, but the film is thin and the front and back sides are thin. In the case where the adhesive is not adhered to the substrate by the adhesive substance, there is a problem that the film is peeled off from the temporary attachment portion when the temporary attachment member is separated from the substrate in a state of being drawn into the suction groove.
【００１８】フィルムを基板長に応じて切断したものを
基板先端からはみ出した状態で仮付する場合（非公知）
も同様の問題点がある。When a film cut in accordance with the substrate length is temporarily attached while protruding from the front end of the substrate (unknown)
Have similar problems.
【００１９】この発明は、上記のような問題点に鑑みて
なされたものであって、粘着物質がはみ出すことなく、
且つ薄いフィルムの場合でも、皺やエア噛み込みを生じ
ることなく確実に基板に圧着することができるフィルム
張付方法及び装置を提供することを目的とする。The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and has no sticky substance protruding.
Further, it is an object of the present invention to provide a method and an apparatus for sticking a film, which can surely be pressure-bonded to a substrate without generating wrinkles or air entrapment even in the case of a thin film.
【００２０】[0020]
【課題を解決するための手段】本方法発明は、請求項１
のように、連続フィルムを、基板搬送面上における基板
表面側及び裏面側に各々配置されたフィルム供給ロール
から引き出し、カッターにより基板長さに応じて切断し
た表面側フィルム及び裏側フィルムを、搬送手段により
搬送され、仮付位置で停止される基板両面の先端に各々
導き、該基板に対して表面側及び裏面側から近接及び離
反移動可能な表面側及び裏面側それぞれの仮付け部材に
吸着した状態で、各仮付け部材先端の弾性材料からなる
シールバーにより該基板の先端に仮付けした後、一対の
ラミネーションロールにより、フィルムを基板の表面及
び裏面に圧着しつつ、基板を搬送するフィルム張付方法
において、前記一対のシールバーの対向する面を、両者
の間隔が、基板送り方向前方が狭く後方が広いテーパ面
とすると共に、仮付け時に、前記基板の先端を、前記テ
ーパ面の途中位置となるように該基板を停止させ、前記
フィルムを基板への張付状態での先端が、該基板の先端
よりはみ出し、且つ、このはみ出し部分の表面側及び裏
面側フィルムの端末部が、相互に圧接され得る程度の長
さに、前記カッターにより切断しておくようにして、上
記目的を達成するものである。According to the present invention, there is provided a method comprising:
As described above, the continuous film is pulled out from the film supply rolls respectively arranged on the substrate front side and the back side on the substrate conveyance surface, and the front side film and the back side film cut according to the substrate length by a cutter are conveyed. Transported to the front end of both surfaces of the substrate stopped at the temporary attachment position, and attracted to the temporary attachment members on the front surface side and the rear surface side which can move close to and away from the front side and the rear side with respect to the substrate. Then, after temporarily attaching to the front end of the substrate by a seal bar made of an elastic material at the end of each temporary attaching member, a film lamination is performed to convey the substrate while pressing the film to the front and back surfaces of the substrate by a pair of lamination rolls. In the method, the opposing surfaces of the pair of seal bars are formed such that the distance between them is a tapered surface that is narrow in the forward direction of the substrate and wide in the rear. At the time of printing, the substrate is stopped so that the front end of the substrate is located at an intermediate position of the tapered surface, and the front end in a state where the film is adhered to the substrate protrudes from the front end of the substrate, and The object is achieved by cutting the end portions of the film on the front surface side and the rear surface side of the portion by the cutter so that the terminal portions can be pressed against each other.
【００２１】第２の方法発明は、請求項２のように連続
フィルムを、基板搬送面上における基板表面側及び裏面
側に各々配置されたフィルム供給ロールから引き出し、
搬送手段により一定間隔で連続的に搬送されてくる基板
の表面及び裏面に沿って基板と同速で、同方向に送り込
み、ラミネーションロールによりフィルムを基板に圧着
しつつ、基板を搬送し、圧着後に基板間位置でフィルム
を幅方向に切断・分離するようにされたフィルム張付方
法において、前記フィルム供給ロールから巻き出された
連続フィルムの先端を、仮付位置で停止される基板両面
の先端に各々導き、該基板に対して表面側及び裏面側か
ら近接及び離反移動可能な表面側及び裏面側それぞれの
仮付け部材の先端に吸着し、該仮付け部材先端の弾性材
料からなるシールバーにより、前記連続的に搬送されて
くる基板のうちの先頭の基板の先端に仮付けしてから、
連続フィルムを基板と共に、前記ラミネーションロール
により挟み込んで圧着するようにし、前記一対のシール
バーの対向する面を、両者の間隔が、基板送り方向前方
が狭く後方が広いテーパ面とすると共に、仮付け時に、
前記基板の先端を、前記テーパ面の途中位置となるよう
に該基板を停止させ、前記フィルムを基板への張付状態
での先端が、該基板の先端よりはみ出し、且つ、このは
み出し部分の表面側及び裏面側フィルムの端末部が、相
互に圧接され得る程度の長さに、前記カッターにより切
断しておくようにして、上記目的を達成するものであ
る。According to a second method of the present invention, a continuous film is drawn out from film supply rolls respectively disposed on the substrate front side and the rear side on the substrate transfer surface.
It is fed in the same direction and at the same speed as the substrate along the front and back surfaces of the substrate that is continuously transported at constant intervals by the transport means, and while the film is pressed against the substrate by the lamination roll, the substrate is transported, and after the pressure bonding In the film sticking method which is configured to cut and separate the film in the width direction at the position between the substrates, the leading end of the continuous film unwound from the film supply roll is attached to the leading end of both surfaces of the substrate stopped at the temporary attaching position. Each is guided and adsorbed to the tip of a temporary attachment member on each of the front side and the back side that can move close to and away from the front side and the rear side with respect to the substrate, and a seal bar made of an elastic material at the tip of the temporary attachment member, After temporarily attaching to the tip of the leading board of the boards that are continuously conveyed,
The continuous film is sandwiched between the lamination rolls together with the substrate and pressed, and the opposing surfaces of the pair of seal bars are tapered such that the distance between the two is narrower in the forward direction of the substrate and wider in the rear. Sometimes
The tip of the substrate is stopped so that the tip of the substrate is located at an intermediate position of the tapered surface, and the tip in a state where the film is stuck to the substrate protrudes from the tip of the substrate, and the surface of the protruding portion. The object is achieved by cutting the end portions of the film on the side and the back side with the cutter so that the terminal portions can be pressed against each other.
【００２２】請求項３の発明は、請求項１又は２の発明
において、前記シールバーによるフィルム仮付けの際
に、該シールバーの、基板送り方向前側に隣接した位置
で、予め前記表側及び裏側のフィルム端末部を吸着し、
これらを相互に平行に保持しておくようにしたものであ
る。According to a third aspect of the present invention, in the first or second aspect of the invention, when the film is temporarily attached by the seal bar, the front side and the rear side are preliminarily positioned at positions adjacent to the front side of the seal bar in the substrate feeding direction. Absorb the film terminal of
These are held parallel to each other.
【００２３】請求項４の発明は、請求項１、２又は３の
発明において、前記シールバーによるフィルム仮付けの
際に、前記シールバーのテーパ面における前記基板の先
端よりも基板送り方向前側部分により、前記表側及び裏
側のフィルム端末部を挾持して、相互に押圧するように
したものである。According to a fourth aspect of the present invention, in the first, second or third aspect of the present invention, when the film is temporarily attached by the seal bar, a portion of the taper surface of the seal bar on the front side in the substrate feeding direction with respect to the tip of the substrate. Thus, the front and rear film ends are sandwiched and pressed against each other.
【００２４】又、本装置発明は、請求項５のように、基
板搬送面上における基板表面側及び裏面側にそれぞれ配
置されたフィルム供給ロールから表面側フィルム及び裏
面側フィルムを各々連続的に引き出し、且つ、カッター
により基板長さに応じて切断し、切断された先端を、搬
送手段により搬送され、仮付位置で停止されている基板
の先端に導き、該基板に対して近接及び離反移動可能な
表面側及び裏面側仮付け部材により該基板の先端に仮付
けした後、ラミネーションロールにより、フィルムを基
板に圧着しつつ、基板を搬送するようにされ、前記仮付
け部材は、フィルム経路に沿って表面にフィルム吸着手
段を備えたメインバキュームプレートと、このメインバ
キュームプレートのフィルム送り方向先端に連結され、
前記メインバキュームプレートの表面から連続して湾曲
し、表面にフィルム吸着手段を備え、且つ、先端部に、
フィルムを基板方向に押圧するシールバーを備えたフィ
ルム仮付け部材本体と、を含んでなるフィルム張付装置
において、前記シールバーは、弾性材料からなり、前記
仮付位置にある前記基板の先端の前後に延在し、且つ、
前記基板搬送面に対して基板送り方向前端側が最も接近
し、後端側ほど離間するテーパ状仮付面を備えたことに
より、上記目的を達成するものである。Further, according to the present invention, the front side film and the back side film are continuously drawn from the film supply rolls respectively disposed on the substrate front side and the back side on the substrate conveying surface. And, the cutter is cut in accordance with the substrate length according to the substrate length, and the cut end is conveyed by the conveying means and guided to the front end of the substrate stopped at the temporary attachment position, and can be moved toward and away from the substrate. After being temporarily attached to the front end of the substrate by the front and back side temporary attaching members, the substrate is transported while the film is pressed against the substrate by the lamination roll, and the temporary attaching member is moved along the film path. And a main vacuum plate having a film suction means on its surface, and connected to the leading end of the main vacuum plate in the film feeding direction,
Curved continuously from the surface of the main vacuum plate, provided with a film suction means on the surface, and at the tip,
A film tacking member main body having a seal bar for pressing the film in the substrate direction, wherein the seal bar is made of an elastic material and has a tip end of the substrate at the tacking position. Extend back and forth, and
The object is achieved by providing a tapered temporary attachment surface that is closest to the substrate transport surface on the front end side in the substrate feeding direction and is separated from the rear end side.
【００２５】第２の装置発明は、請求項６のように基板
搬送面上における基板表面側及び裏面側にそれぞれ配置
されたフィルム供給ロールから表面側フィルム及び裏面
側フィルムを各々連続的に引き出し、搬送手段により一
定間隔で連続的に搬送されてくる基板の表面及び裏面に
沿って基板と同速で、同方向に送り込み、ラミネーショ
ンロールによりフィルムを基板に圧着しつつ、基板を搬
送し、圧着後に、分離用カッターにより基板間位置でフ
ィルムを幅方向に切断するようにされたフィルム張付装
置において、基板に対して接近及び離反移動可能であっ
て、前記フィルム供給ロールから引き出され、先端が切
り揃えられた連続フィルムの先端部を吸着すると共に、
前記搬送手段により搬送され、仮付位置で停止されてい
る基板の先端に導き、該基板の先端の表面及び裏面に、
該連続フィルムの先端部を押付けて仮付けする表面及び
裏面側仮付け部材を設け、且つ、前記搬送手段を、搬送
する基板のうちの先頭の基板を、前記仮付部材による仮
付位置に停止するように構成すると共に、前記仮付け部
材は、フィルム経路に沿って表面にフィルム吸着手段を
備えたメインバキュームプレートと、このメインバキュ
ームプレートのフィルム送り方向先端に連結され、前記
メインバキュームプレートの表面から連続して湾曲し、
表面にフィルム吸着手段を備え、且つ、先端部に、フィ
ルムを基板方向に押圧するシールバーを備えたフィルム
仮付け部材本体と、を含んでなり、前記シールバーは、
弾性材料からなり、前記仮付位置にある前記基板の先端
の前後に延在し、且つ、前記基板搬送面に対して基板送
り方向前端側が最も接近し、後端側ほど離間するテーパ
状仮付面を備えたことにより上記目的を達成するもので
ある。According to a second aspect of the present invention, a front side film and a back side film are continuously drawn from film supply rolls respectively disposed on the substrate front side and the back side on the substrate transfer surface, respectively. It is fed in the same direction and at the same speed as the substrate along the front and back surfaces of the substrate that is continuously transported at constant intervals by the transport means, and while the film is pressed against the substrate by the lamination roll, the substrate is transported, and after the pressure bonding In a film sticking apparatus configured to cut a film in a width direction at a position between substrates by a separating cutter, the film can be moved toward and away from the substrate, pulled out from the film supply roll, and the tip is cut. While adsorbing the leading edge of the aligned continuous film,
It is transported by the transporting means and guided to the front end of the substrate stopped at the temporary attachment position, and on the front and back surfaces of the front end of the substrate,
A front side and a back side temporary attaching member are provided for pressing and attaching the leading end of the continuous film, and the transport means stops the leading substrate among the substrates to be transported at a temporary attaching position by the temporary attaching member. The temporary attachment member is connected to a main vacuum plate having a film suction means on a surface thereof along a film path, and is connected to a leading end of the main vacuum plate in a film feeding direction, and the surface of the main vacuum plate is Curved continuously from
A film temporary attaching member body provided with a film adsorbing means on the surface, and a seal bar for pressing the film in the direction of the substrate at the front end portion, comprising:
A tapered temporary attachment that is made of an elastic material and extends before and after the front end of the substrate at the temporary attachment position, and the front end side in the substrate feeding direction is closest to the substrate transfer surface, and is separated toward the rear end side. The above object is achieved by providing a surface.
【００２６】請求項７の発明は、請求項５又は６の発明
において、前記表面側及び裏面側のフィルム仮付け部材
本体の先端部における前記シールバー取付け端面の、該
シールバーを越えて、更に、基板送り方向に隣接した位
置に、フィルム仮付け時に、前記基板先端及びシールバ
ーを超えて延在する前記表面側フィルムと裏面側フィル
ムの端末部を吸着する吸着溝を設けたものである。According to a seventh aspect of the present invention, in the fifth or sixth aspect of the present invention, the seal bar mounting end surface at the front end portion of the film tacking member main body on the front surface side and the back surface is further moved beyond the seal bar. A suction groove is provided at a position adjacent to the substrate feeding direction to suction the terminal portions of the front side film and the back side film extending beyond the front end of the substrate and the seal bar at the time of film temporary attachment.
【００２７】請求項８の発明は、請求項５、６又は７の
発明において、前記基板の厚さ、及び、仮付時における
前記表面側と裏面側のフィルム端末部の間隔に応じて、
前記基板先端の仮付位置を調節する位置決め手段を設け
たものである。According to an eighth aspect of the present invention, in accordance with the fifth, sixth or seventh aspect of the present invention, the thickness of the substrate and the distance between the film end portions on the front side and the back side at the time of temporary attachment are determined according to the following.
Positioning means for adjusting the temporary attachment position of the front end of the substrate is provided.
【００２８】本発明によれば、フィルム先端部を、基板
の先端部から大きくはみ出した状態で基板に張付け、且
つ該はみ出し部分も基板表面側及び裏面側の端末部を重
ねているので、フィルムと基板との間の粘着性の感光性
樹脂等がはみ出すことがなく、又、仮付け部材により、
フィルムを基板先端の角部にならって仮付けしているの
で、該角部近傍で基板とフィルム間に気泡が入り込んだ
り、フィルムが基板から剥離したりすることがない。更
に、薄いフィルムの先端が垂れ下ることがない。According to the present invention, the front end portion of the film is attached to the substrate in a state where the front end portion largely protrudes from the front end portion of the substrate, and the protruding portion also overlaps the terminal portions on the front surface side and the back surface side of the substrate. Adhesive photosensitive resin etc. between the substrate does not protrude, and by the temporary attachment member,
Since the film is temporarily attached along the corner of the substrate tip, bubbles do not enter between the substrate and the film near the corner, and the film does not peel off from the substrate. Further, the tip of the thin film does not hang.
【００２９】更に、本発明によれば、シールバーを越え
た位置でフィルム先端部を負圧により吸着するので、該
フィルム先端部をシールバーによって、皺や折りれ曲り
が生じたりすることなく、基板に確実に仮付けすること
ができる。Further, according to the present invention, the leading end of the film is sucked by a negative pressure at a position beyond the seal bar, so that the leading end of the film is not wrinkled or bent by the seal bar. Temporary attachment to the substrate is ensured.
【００３０】[0030]
【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態の例を図
面を参照して説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００３１】まず本発明に係るフィルム張付装置１０の
概略構成を図１を参照して説明する。First, a schematic configuration of a film sticking apparatus 10 according to the present invention will be described with reference to FIG.
【００３２】このフィルム張付装置１０によって切断し
て張付けられるフィルム１２は、図２に示されるよう
に、透光性支持フィルム１２Ａ上に感光性樹脂層１２Ｂ
及びカバーフィルム１２Ｃが積層された３層構造であ
り、供給ロール１４に連続的に巻回されている。As shown in FIG. 2, a film 12 cut and stuck by the film stitching device 10 has a photosensitive resin layer 12B on a light-transmitting support film 12A.
And a three-layer structure in which the cover film 12 </ b> C is laminated, and is continuously wound around the supply roll 14.
【００３３】供給ロール１４から巻き出されたフィルム
１２は、フィルム分離部材１６によりカバーフィルム１
２Ｃが剥がされて、感光性樹脂層１２Ｂの接着面が露出
された状態となり、テンションロール１８を経て仮付け
部材２０の一部を構成するメインバキュームプレート２
２に供給されるようになっている。前記剥離されたカバ
ーフィルム１２Ｃは、巻取りロール２４により巻き取ら
れるように構成されている。The film 12 unwound from the supply roll 14 is covered by the film separating member 16 with the cover film 1.
2C is peeled off so that the adhesive surface of the photosensitive resin layer 12B is exposed, and the main vacuum plate 2 forming a part of the temporary attaching member 20 via the tension roll 18 is removed.
2 is supplied. The peeled cover film 12C is configured to be wound up by a winding roll 24.
【００３４】前記供給ロール１４、フィルム分離部材１
６、テンションロール１８、仮付け部材２０、巻取りロ
ール２４等は、基板搬送面Ｉ−Ｉの、図１において上側
及び下側に、上下対称に設けられていて（下側は図示省
略）、フィルム１２が基板２６の表面（上図）及び裏面
（下面）に張付けられるようにされている。なお、以下
は、特に指定がない限り、上側の装置についてのみ説明
し、下側の装置の説明に代えるものとする。The supply roll 14 and the film separating member 1
6, the tension roll 18, the tacking member 20, the take-up roll 24, and the like are provided vertically symmetrically on the upper and lower sides of the substrate transport surface II in FIG. 1 (the lower side is not shown), The film 12 is stuck on the front surface (upper figure) and the back surface (lower surface) of the substrate 26. In the following, unless otherwise specified, only the upper device will be described, and the description of the lower device will be replaced.
【００３５】前記メインバキュームプレート２２は、図
３、図４に示されるように、負圧が印加される多数の吸
着溝２２Ａ及び吸引孔２２Ｂが表面に設けられ、カバー
フィルム１２Ｃが剥されたフィルム１２（以下特に指定
しなければフィルム１２とする）を吸着できるようにさ
れ、且つ、図において上下方向のガイドレール２８に摺
動自在に支持され、エアシリンダ、サーボモータ等の駆
動装置３０によってガイドレール２８に沿って、フィル
ム張付位置に近接し、且つ、離反する方向、即ち基板搬
送面Ｉ−Ｉに対して近接、離反することができるように
されている。As shown in FIGS. 3 and 4, the main vacuum plate 22 is provided with a large number of suction grooves 22A and suction holes 22B to which a negative pressure is applied, and a film on which the cover film 12C is peeled off. 12 (hereinafter, referred to as the film 12 unless otherwise specified), and is slidably supported by guide rails 28 in the vertical direction in the figure, and is guided by a driving device 30 such as an air cylinder or a servomotor. Along the rail 28, it is possible to approach and separate from the film sticking position and away from the substrate transfer surface II.
【００３６】又、前記メインバキュームプレート２２の
基板搬送面Ｉ−Ｉ側先端には、前記メインバキュームプ
レート２２の表面から連続して湾曲し、且つ表面にフィ
ルム吸着溝２１Ｃが形成されたフィルム仮付け部材本体
２１が連結されている。このフィルム仮付け部材本体２
１のフィルム送り方向の先端部には、断面が変台形状の
シールバー３２が取付けられている。At the leading end of the main vacuum plate 22 on the side of the substrate transfer surface II, a film temporary attachment is formed which is continuously curved from the surface of the main vacuum plate 22 and has a film suction groove 21C formed on the surface. The member main body 21 is connected. This film temporary attaching member body 2
A seal bar 32 having a trapezoidal cross section is attached to the leading end in the film feed direction.
【００３７】前記シールバー３２は、フィルム仮付部材
本体２１に取付けられているブロック部材５０（後述）
にアリ溝係合して支持されている。ゴム（シリコンゴム
を含む）、発泡あるいは非発泡ポリウレタン樹脂等の弾
性変形可能な材料により構成されている。The seal bar 32 is a block member 50 (described later) attached to the film temporary attaching member main body 21.
Are supported by dovetail engagement. It is made of an elastically deformable material such as rubber (including silicone rubber) or foamed or non-foamed polyurethane resin.
【００３８】前記シールバー３２は、前述の如く、断面
が変台形状であって、基板搬送面Ｉ−Ｉに対向する側
に、該基板搬送面Ｉ−Ｉに対する距離が、基板搬送方向
前側で最も小さく、基板搬送方向後側で最も広くなるよ
うにしたテーパ状仮付面３１を備えている。As described above, the seal bar 32 has a trapezoidal cross section and has a distance from the substrate transfer surface II on the side facing the substrate transfer surface II at the front side in the substrate transfer direction. It is provided with a tapered temporary attachment surface 31 which is the smallest and is the largest on the rear side in the substrate transport direction.
【００３９】従って、図４に示されるように、上下一対
のシールバー３２が同期して基板搬送面Ｉ−Ｉに接近し
たとき、テーパ状仮付面３１の一部は、基板送り方向に
先端のある楔状の隙間を形成するようにされている。前
記シールバー３２におけるテーパ状仮付面３１よりも、
基板送り方向前方の全長の約１／３の範囲は、前記基板
搬送面Ｉ−Ｉと平行な押圧面３１Ａとされている。Therefore, as shown in FIG. 4, when the pair of upper and lower seal bars 32 approach the substrate transfer surface II synchronously, a part of the tapered temporary attachment surface 31 is moved forward in the substrate feed direction. To form a wedge-shaped gap. Than the tapered temporary attachment surface 31 of the seal bar 32,
A pressing surface 31A parallel to the substrate transfer surface II is formed in a range of about 1/3 of the entire length in the front of the substrate feeding direction.
【００４０】前記ブロック部材５０には、前記シールバ
ー３２の基板送り方向前端に隣接した位置にフィルム先
端部（端末部）を吸着し保持するための吸着溝３３を備
えている。The block member 50 is provided with a suction groove 33 at a position adjacent to the front end of the seal bar 32 in the substrate feeding direction for sucking and holding the leading end portion (terminal portion) of the film.
【００４１】前記仮付け部材２０は、前記基板搬送面Ｉ
−Ｉ上の基板２６の上面に、その先端が接触する位置か
ら、図１において実線で示される待機位置との間で移動
可能とされているが、この待機位置と前記基板搬送面Ｉ
−Ｉとの間には、フィルム１２の送り面に沿って、仮付
け部材２０側から先端巻付用フィルム保持部材３４及び
ロータリーカッター３６がこの順で配置されている。The temporary attaching member 20 is provided on the substrate transfer surface I.
1 is movable from a position where the top surface of the substrate 26 contacts the upper surface of the substrate 26 to a standby position indicated by a solid line in FIG.
-I, a film holding member 34 for leading end winding and a rotary cutter 36 are arranged in this order from the side of the tacking member 20 along the feeding surface of the film 12.
【００４２】前記ロータリーカッター３６は、前記供給
ロール１４から巻き出され、且つカバーフィルム１２Ｃ
が剥がされたフィルム１２の先端を切り揃えて、該先端
が基板２６の先端縁と平行になるようにすると共に、フ
ィルム１２を順次基板２６に対応した長さに切断してい
くようにされている。この長さは、フィルム１２の先端
及び後端が基板２６の先端２６Ａ及び後端２６Ｂより５
〜１５ｍｍはみ出すようにされている。The rotary cutter 36 is unwound from the supply roll 14 and covers the cover film 12C.
The front end of the film 12 from which the film has been peeled off is trimmed and aligned so that the front end is parallel to the front end edge of the substrate 26, and the film 12 is sequentially cut into a length corresponding to the substrate 26. I have. This length is such that the leading and trailing ends of the film 12 are 5 distances from the leading and trailing ends 26A and 26B of the substrate 26.
It is designed to protrude by １５15 mm.
【００４３】又、前記先端巻付用フィルム保持部材３４
は、ロータリーカッター３６によるフィルム切断時に、
図１において左方向に前進して、先端がフィルム通過面
に到達し、切断後は後退して仮付け部材２０と干渉しな
い待機位置となるようにされ、又、そのフィルム通過面
側の端面には、負圧が印加される吸着溝及び吸引孔（共
に図示省略）が設けられていて、該端面にフィルム１２
の先端を吸着することができるようにされ、ロータリー
カッター３６によるフィルム切断時にフィルム１２を吸
着保持すると共に切り揃えられたフィルム１２の先端部
を吸着し、これを図１において右方向に引張ることによ
って、仮付け部材２０の仮付け部材本体２１に巻付け、
且つその先端部におけるフィルム吸着溝２１Ｃ及び吸着
溝３３によって、シールバー３２を含む仮付け部材本体
２１にフィルム先端部を吸着させるものである。Further, the film holding member 34 for winding the front end is provided.
When cutting the film with the rotary cutter 36,
In FIG. 1, the front end advances to the left, the front end reaches the film passing surface, and after cutting, the cutting end retracts to a standby position where it does not interfere with the tacking member 20. Is provided with a suction groove and a suction hole (both not shown) to which a negative pressure is applied.
By sucking and holding the film 12 at the time of cutting the film by the rotary cutter 36 and sucking the cut end of the film 12 and pulling it to the right in FIG. , Wound around the tacking member body 21 of the tacking member 20,
In addition, the film suction groove 21C and the suction groove 33 at the front end allow the front end of the film to be sucked to the temporary attaching member main body 21 including the seal bar 32.
【００４４】前記メインバキュームプレート２２は、前
記フィルム１２の経路側であって、表面に前記吸着溝２
２Ａが形成された吸引板２３Ａと、該吸引板２３Ａの、
フィルム経路に対して反対側に、枠状の耐熱性ゴムパッ
キン２３Ｂを介して止めねじ２３Ｃにより結合されたバ
ックアップ部材２３Ｄとから構成されている。The main vacuum plate 22 is on the path side of the film 12 and has a surface on which the suction groove 2 is formed.
The suction plate 23A on which 2A is formed, and the suction plate 23A
On the opposite side to the film path, there is a backup member 23D connected by a set screw 23C via a frame-like heat-resistant rubber packing 23B.
【００４５】前記枠状の耐熱性ゴムパッキン２３Ｂは、
フィルム幅方向に複数のバキュームスペース２３Ｅを備
え、各バキュームスペース２３Ｅの中心近傍に形成さ
れ、前記バックアップ部材２３Ｄを厚さ方向に貫通する
バキュームポート２３Ｆを介して真空源（図示省略）に
連通されている。The frame-shaped heat-resistant rubber packing 23B is
A plurality of vacuum spaces 23E are provided in the film width direction, formed near the center of each vacuum space 23E, and communicated with a vacuum source (not shown) via a vacuum port 23F penetrating the backup member 23D in the thickness direction. I have.
【００４６】前記吸引板２３Ａにおける前記吸着溝２２
Ａは、フィルム送り方向と直交する方向に延在され、且
つフィルム送り方向に複数列形成され、その各々は、前
記バキュームスペース２３Ｆに連通する位置において、
該バキュームスペース２３Ｆ側に貫通する複数の前記吸
引孔２２Ｂに連通されている。The suction groove 22 in the suction plate 23A
A extends in a direction perpendicular to the film feed direction and is formed in a plurality of rows in the film feed direction, each of which is at a position communicating with the vacuum space 23F,
The suction holes 22B are communicated with the plurality of suction holes 22B penetrating toward the vacuum space 23F.
【００４７】前記フィルム仮付け部材本体２１は、図４
に示されるように、前記メインバキュームプレート２２
の表面から連続し、且つ該表面に対して傾斜する傾斜吸
着面２１Ｂを備え、この傾斜吸着面２１Ｂに、前記フィ
ルム吸着溝２１Ｃが、フィルム送り方向と直交する方向
に複数列形成されている。The film tacking member main body 21 is shown in FIG.
As shown in the figure, the main vacuum plate 22
And a plurality of rows of the film suction grooves 21C are formed in the inclined suction surface 21B in a direction perpendicular to the film feeding direction.
【００４８】これらフィルム吸着溝２１Ｃには、その長
手方向に適宜間隔で形成された複数のバキューム孔２１
Ｄが連通され、これらバキューム孔２１Ｄは、フィルム
仮付け部材本体２１内のバキューム路２１Ｅに連通され
ている。バキューム路２１Ｅは負圧管路２１Ｆを介して
真空源（図示省略）に連通されている。The film suction grooves 21C have a plurality of vacuum holes 21 formed at appropriate intervals in the longitudinal direction.
D, and these vacuum holes 21D are connected to a vacuum path 21E in the film tacking member main body 21. The vacuum path 21E is connected to a vacuum source (not shown) via a negative pressure pipe 21F.
【００４９】前記傾斜吸着面２１Ｂは、前記メインバキ
ュームプレート２２表面と平行であるフィルム仮付け部
材本体２１の背面に対して鋭角をなし、その先端部は、
前記シールバー３２を含むブロック部材５０の、図にお
いて下端部によって形成されている。The inclined suction surface 21 B forms an acute angle with the back surface of the film tacking member main body 21 which is parallel to the surface of the main vacuum plate 22.
The block member 50 including the seal bar 32 is formed by a lower end portion in the drawing.
【００５０】前記ブロック部材５０は、フィルム幅方向
に、フィルム仮付け部材本体２１の裏面に形成された前
記バキューム路２１Ｅを塞ぐようにして取付けられ、且
つ、ボルト５１によりフィルム仮付け部材本体２１に結
合されている。The block member 50 is attached in the film width direction so as to close the vacuum path 21E formed on the back surface of the film temporary attaching member main body 21, and is attached to the film temporary attaching member main body 21 by bolts 51. Are combined.
【００５１】前記ブロック部材５０の本体の下端部に
は、図５（Ａ）に拡大して示されるように、下向きに開
口したフィルム幅方向のアリ溝５４が形成され、該アリ
溝５４内に前記シールバー３２の上部に一体的に形成さ
れた係合突部３２Ａが弾力的に嵌入されている。At the lower end of the main body of the block member 50, as shown in an enlarged view in FIG. 5A, a dovetail groove 54 in the film width direction opened downward is formed. An engaging projection 32A integrally formed on the upper portion of the seal bar 32 is elastically fitted.
【００５２】図４及び図５（Ａ）に示されるように、前
記ブロック部材５０における、前記吸着溝３３には、バ
キューム路３３Ａ及びバキューム路５６を介して前記バ
キューム路２１Ｅからの負圧が導入されるようになって
いる。As shown in FIGS. 4 and 5A, a negative pressure from the vacuum path 21E is introduced into the suction groove 33 of the block member 50 via the vacuum path 33A and the vacuum path 56. It is supposed to be.
【００５３】ここで、前記吸着溝３３はブロック部材５
０の下側面に、フィルム幅方向に連続して形成され、
又、バキューム路３３Ａ、５６はフィルム幅方向に一定
間隔で形成されている。Here, the suction groove 33 is provided in the block member 5.
0, continuously formed in the film width direction on the lower surface,
The vacuum paths 33A and 56 are formed at regular intervals in the film width direction.
【００５４】前記ロータリーカッター３６は、フィルム
通過面と平行で、且つフィルム１２の幅方向に配置され
た略直線状の固定刃３６Ａと、回転中心軸線が固定刃３
６Ａと略平行に配置された部材（円柱又は円筒）の円筒
状外周に切刃を螺旋状に巻付た構造回転刃３６Ｂとから
構成され、固定刃３６Ａに対して、回転刃３６Ｂがフィ
ルム通過面上で接触しつつ回転することによって、該フ
ィルム通過面上のフィルム１２をその位置で幅方向に切
断するものである。The rotary cutter 36 has a substantially linear fixed blade 36A parallel to the film passage surface and arranged in the width direction of the film 12, and a rotation center axis line of the fixed blade 3A.
6A and a rotating blade 36B in which a cutting blade is spirally wound around a cylindrical outer periphery of a member (a cylinder or a cylinder) disposed substantially parallel to the rotating blade 36B. By rotating while making contact on the surface, the film 12 on the film passing surface is cut in the width direction at that position.
【００５５】ここで、前記固定刃３６Ａは、回転刃３６
Ｂに対してフィルム通過面と直交する方向に進退自在と
され、供給ロール１４から巻き出され、カバーフィルム
１２Ｃが剥離されたフィルム１２を切断するときのみ回
転刃３６Ｂと接触する位置にまで前進し、常態では、回
転刃３６Ｂから離間する退避位置となるようにされてい
る（駆動機構図示省略）。Here, the fixed blade 36A is
B is made to be able to advance and retreat in a direction perpendicular to the film passing surface, and is advanced to a position where it comes into contact with the rotary blade 36B only when cutting the film 12 unwound from the supply roll 14 and the peeled cover film 12C. In a normal state, the retracted position is separated from the rotary blade 36B (the drive mechanism is not shown).
【００５６】図１の符号４０は基板搬送機構における駆
動用ローラ、４２は同従動用ローラ、４４は基板押え部
材、４６は基板先端位置検出光センサ、４８はラミネー
ションロール、６０は基板位置決めストッパをそれぞれ
示す。In FIG. 1, reference numeral 40 denotes a driving roller in the substrate transport mechanism, 42 denotes a driven roller, 44 denotes a substrate pressing member, 46 denotes a substrate tip position detecting optical sensor, 48 denotes a lamination roll, and 60 denotes a substrate positioning stopper. Shown respectively.
【００５７】ここで、ラミネーションロール４８は、そ
の外径が軸方向両端から中央に向かうに従って徐々に大
きくなる。いわゆるクラウンロールとすると、幅広のフ
ィルムを基板２６に張付ける際に、フィルムの幅方向中
央領域に皺が発生したり、張り圧力が不足したりするこ
とがない。Here, the outer diameter of the lamination roll 48 gradually increases from both ends in the axial direction toward the center. When a so-called crown roll is used, when a wide film is stuck to the substrate 26, wrinkles are not generated in the central region in the width direction of the film, and the tension pressure is not insufficient.
【００５８】前記基板押え部材４４は、基板押えローラ
４４Ａと、これを上下動させる基板押えローラ用エアシ
リンダ４４Ｂとから構成されている。The substrate pressing member 44 is composed of a substrate pressing roller 44A and a substrate pressing roller air cylinder 44B for moving the substrate pressing roller 44A up and down.
【００５９】前記ラミネーションロール４８、駆動用ロ
ーラ４０、基板押え部材４４及び基板先端位置検出光セ
ンサ４６の相互関係は次の如くである。The relationship among the lamination roll 48, the driving roller 40, the substrate pressing member 44 and the substrate tip position detecting optical sensor 46 is as follows.
【００６０】基板搬送面Ｉ−Ｉの近傍に設けられた前記
基板先端位置検出光センサ４６により、図１において左
から右方向に搬送されてくる先頭の基板２６の先端が検
知され、所定時間後にフィルム仮付け位置まで同基板２
６が搬送され、基板２６の先端２６Ａが前記基板位置決
めストッパ６０に当接する位置までくると、駆動用ロー
ラ４０の回転が停止される。これと同時に前記基板押え
部材４４により基板２６を押えるように、基板押えロー
ラ用エアシリンダ４４Ｂにより、基板押えローラ４４Ａ
が駆動される。The leading end of the leading substrate 26 being transported from left to right in FIG. 1 is detected by the substrate leading edge position detecting optical sensor 46 provided near the substrate transport surface II, and after a predetermined time, Substrate 2 to film temporary setting position
6 is conveyed, and when the leading end 26A of the substrate 26 comes to a position where it comes into contact with the substrate positioning stopper 60, the rotation of the driving roller 40 is stopped. At the same time, the substrate pressing roller 44A is pressed by the substrate pressing roller air cylinder 44B so that the substrate 26 is pressed by the substrate pressing member 44.
Is driven.
【００６１】なお、基板位置決めストッパ６０は基板先
端２６Ａと接触しない待機位置及び接触する作動位置と
の間で中央制御ユニット７０（後述）により駆動され、
且つ、基板先端２６Ａとの接触位置は基板搬送方向調節
自在とされている。The substrate positioning stopper 60 is driven by a central control unit 70 (described later) between a standby position where the substrate tip 26A does not contact and an operating position where the substrate tip 26A makes contact.
In addition, the contact position with the substrate tip 26A can be adjusted in the substrate transfer direction.
【００６２】前記基板押えローラ４４Ａにより、基板２
６の動きが確実に停止され、仮付け部材２０の先端部で
あるフィルム仮付け部材本体２１が基板２６に当接して
も、該基板２６が動かず、フィルム１２に仮付けが確実
に行われる。The substrate 2 is moved by the substrate pressing roller 44A.
6 is reliably stopped, and even if the film tacking member main body 21, which is the distal end of the tacking member 20, comes into contact with the substrate 26, the substrate 26 does not move, and the tacking to the film 12 is reliably performed. .
【００６３】前記基板押えローラ４４Ａによる基板２６
の押えは、ラミネーションロール４８が基板２６に当接
するまで行われ、ラミネーションロール４８の当接タイ
ミングと同調して、基板押えローラ用エアシリンダ４４
Ｂが解除作動される。The substrate 26 by the substrate pressing roller 44A
Is carried out until the lamination roll 48 comes into contact with the substrate 26, and in synchronization with the timing at which the lamination roll 48 comes into contact, the air cylinder 44 for the substrate holding roller is pressed.
B is released.
【００６４】図の符号Ｓ１は幅寄せ開始位置センサ、Ｓ
２は基板後端検出センサ、Ｓ３は基板通過検出センサを
それぞれ示す。In the figure, reference symbol S1 denotes a width shift start position sensor,
2 denotes a substrate rear end detection sensor, and S3 denotes a substrate passage detection sensor.
【００６５】又、図１の符号７２は前記先端巻付け用フ
ィルム保持部材３４に対して、フィルム１２の経路を間
に反対側に配置され、且つ、仮付け部材本体２１におけ
る傾斜吸着面２１Ｂ方向に圧縮空気流を吹き付けるため
のエアーブロー管を示す。Reference numeral 72 in FIG. 1 denotes a direction in which the path of the film 12 is disposed on the opposite side of the leading end winding film holding member 34 from the inclined suction surface 21 B of the temporary attaching member main body 21. 1 shows an air blow pipe for blowing a compressed air flow.
【００６６】このエアーブロー管７２は、図６に示され
るように、前記傾斜吸着面２１Ｂ側の先端にフィルム幅
方向に連続的に長く形成されたノズル７２Ａを備えたエ
アーブローケース７２Ｂと、このエアーブローケース７
２Ｂ内にフィルム幅方向に配置されると共に、前記ノズ
ル７２Ａ方向に向けて空気を吹き出すための噴出孔７２
Ｃが多数長手方向に間欠的に形成されたエアーパイプ７
２Ｄとから構成され、エアーパイプ７２Ｄから吹き出さ
れる空気流をノズル７２Ａで整流して、前記フィルム仮
付け部材本体２１の傾斜吸着面２１Ｂ方向に吹き付ける
ものである。As shown in FIG. 6, the air blow tube 72 has an air blow case 72B provided with a nozzle 72A formed continuously long in the film width direction at the tip of the inclined suction surface 21B. Air blow case 7
2B, and a discharge hole 72 for blowing air toward the nozzle 72A.
Air pipe 7 in which many C are formed intermittently in the longitudinal direction
The air flow blown out from the air pipe 72D is rectified by the nozzle 72A and is blown toward the inclined suction surface 21B of the film tacking member main body 21.
【００６７】なお、エアーパイプ７２Ｃには、その長手
方向両端から圧縮空気が供給されるようになってる。更
に、この圧縮空気の供給時間即ちノズル７２Ａからの空
気流吹き出し時間は、前記先端巻付け用フィルム保持部
３４の図において右方向の移動開始直前、即ち吸着した
フィルム先端を仮付け部材２０方向に引張り始める直前
から、フィルム１２の前記先端部への巻き付け終了まで
の間とされている。It should be noted that compressed air is supplied to the air pipe 72C from both ends in the longitudinal direction. Further, the supply time of the compressed air, that is, the blowing time of the air stream from the nozzle 72A, is determined immediately before the start of the rightward winding of the film holding portion 34 in the drawing, that is, the sucked film leading end is moved toward the temporary attaching member 20. The period is from immediately before the start of the tension to the end of the winding of the film 12 around the leading end.
【００６８】図１の符号７４は、ロータリーカッター３
６の下流側に近接して配置されたフィルムガイドロー
ル、３６はエアーブロー管をそれぞれ示す。このエアー
ブロー管７６はラミネーションロール４８側に設けられ
たフィルム後端用の吸着バー７８方向に、圧縮空気を噴
出して、ロータリーカッター３６により切断されたフィ
ルム１２の後端を吸着バー７８方向になびかせるもので
ある。Reference numeral 74 in FIG.
Reference numeral 36 denotes a film guide roll disposed close to the downstream side of 6, and reference numeral 36 denotes an air blow tube. The air blow pipe 76 blows out compressed air in the direction of the suction bar 78 for the rear end of the film provided on the lamination roll 48 side, and moves the rear end of the film 12 cut by the rotary cutter 36 in the direction of the suction bar 78. It's a fluttering thing.
【００６９】図１の符号８２は、駆動用ローラ４０の間
で、基板搬送面Ｉ−Ｉの下方に接近して配置された下降
防止ガイド板を示す。これらのガイド板８２は、基板搬
送方向後端側が下向きに傾斜した水平の板状部材であっ
て、基板搬送面Ｉ−Ｉ上を搬送されてくる基板２６の先
端が垂下がって駆動用ローラ４０間に入り込むことを防
止するものである。Reference numeral 82 in FIG. 1 denotes a lowering prevention guide plate disposed between the driving rollers 40 and below the substrate transfer surface II. These guide plates 82 are horizontal plate-like members whose rear ends in the substrate transport direction are inclined downward, and the leading ends of the substrates 26 transported on the substrate transport surface II hang down and the driving rollers 40 This is to prevent intrusion.
【００７０】又、符号８４は、下側のラミネーションロ
ール４８とその直前の駆動用ローラ４０との間で、基板
搬送面Ｉ−Ｉの下側に接近して配置された一対のフリー
ローラを示す。このフリーローラ４８は、図７に拡大し
て示されるように、エアシリンダ８６により基板送り方
向に進退されるフレーム８８に回転自在に支持され、基
板先端位置検出光センサ４６が基板２６の先端を検出し
たとき、エアシリンダ８６により基板送り方向に移動さ
れ、基板２６の先端をラミネーションロール４８、４８
間に導くようにされている。又基板２６へのフィルム張
付けが終了したとき原位置に復帰される。この動作タイ
ミング等は特公平３−２７３３４号に開示されるものと
同様である。Reference numeral 84 denotes a pair of free rollers disposed between the lower lamination roller 48 and the driving roller 40 immediately before the lower lamination roller 48 and below the substrate transfer surface II. . The free roller 48 is rotatably supported by a frame 88 which is advanced and retracted in the substrate feeding direction by an air cylinder 86, as shown in an enlarged view in FIG. When it is detected, it is moved in the substrate feeding direction by the air cylinder 86 and the leading end of the substrate 26 is
It is designed to lead between. When the film has been stuck on the substrate 26, it returns to the original position. The operation timing and the like are the same as those disclosed in Japanese Patent Publication No. Hei 3-27334.
【００７１】又、図１の符号９０Ａ、９０Ｂは、ラミネ
ーションロール４８を支持する上下のフレーム４８Ａ、
４８Ｂに取付けられた基板巻上り防止ガイド板、及び、
基板下降防止ガイド板をそれぞれ示す。基板巻上がり防
止ガイド板９０Ａは、図１において左上りに傾斜して設
けられた平板状部材、基板下降防止ガイド板９０Ｂは図
１において左端が下向きに傾斜した水平板状部材であ
る。これらは、フィルムが張付けられた基板２６がラミ
ネーションロール４８の回転に追随して巻き上ったり、
下降したりすることを防止するものである。Reference numerals 90A and 90B in FIG. 1 denote upper and lower frames 48A for supporting the lamination roll 48, respectively.
Board winding prevention guide plate attached to 48B, and
The board | substrate descent prevention guide plate is each shown. The board roll-up prevention guide plate 90A is a flat plate member provided to be inclined upward to the left in FIG. 1, and the substrate descent prevention guide plate 90B is a horizontal plate member whose left end is inclined downward in FIG. These are such that the substrate 26 on which the film is adhered rolls up following the rotation of the lamination roll 48,
This is to prevent falling.
【００７２】次に前記フィルム張付装置の制御系の信号
経路を、図８を参照して説明する。Next, a signal path of a control system of the film sticking apparatus will be described with reference to FIG.
【００７３】この制御系においては、各センサ４６、Ｓ
１〜Ｓ３と共に、各シリンダ前・後端の検出センサ（図
示省略）はフィルム巻径の各センサに従って、中央制御
ユニット７０が各シリンダ用ソレノイド及び各モータの
制御信号を出力するようになっている。又、カウンタや
タイマの機能も有している。In this control system, each sensor 46, S
In addition to 1 to S3, the central control unit 70 outputs a control signal for each cylinder solenoid and each motor in accordance with each sensor of the film winding diameter for the detection sensors (not shown) at the front and rear ends of each cylinder. . It also has a counter and timer function.
【００７４】この中央制御ユニット７０は、所定の手順
に従って前記フィルム張付装置１０を制御するように構
成されている。この中央制御ユニット７０は、例えばプ
ログラマブルコントロールやリレーシーケンス回路によ
り構成することができる。The central control unit 70 is configured to control the film sticking device 10 according to a predetermined procedure. The central control unit 70 can be constituted by, for example, a programmable control or a relay sequence circuit.
【００７５】次に上記フィルム張付装置１０の作用につ
いて説明する。Next, the operation of the film sticking apparatus 10 will be described.
【００７６】まず、ラミネーションロール４８は図１の
実線に示される退避位置、先端巻付用フィルム保持部材
３４はその先端面がフィルム通過面から離間した位置、
ロータリーカッター３６の固定刃３６Ａは回転刃３６Ｂ
から離間した位置にそれぞれセットし、フィルム１２を
供給ローラ１４から引き出し、先端からカバーフィルム
１２Ｃを剥離して、巻き取りロール２４に巻き取らせつ
つ、フィルム１２を、仮付け部材２０及び先端巻付用フ
ィルム保持部材３４の図において左側のフィルム通過面
に沿って引き下げ、且つロータリーカッター３６の固定
刃３６Ａと回転刃３６Ｂの間を通す。First, the lamination roll 48 is in the retracted position shown by the solid line in FIG. 1, the leading end film holding member 34 is in the position where the leading end surface is separated from the film passing surface,
The fixed blade 36A of the rotary cutter 36 is a rotary blade 36B.
The film 12 is pulled out from the supply roller 14, the cover film 12 </ b> C is peeled from the leading end, and the film 12 is wound around the take-up roll 24, and the film 12 is wound around the temporary attaching member 20 and the leading end. Of the rotary film 36 is drawn down along the film passing surface on the left side in the figure, and passes between the fixed blade 36A and the rotary blade 36B of the rotary cutter 36.
【００７７】次に、仮付け部材２０に負圧を印加してフ
ィルム１２を吸着すると共に、先端巻付用フィルム保持
部材３４もフィルム通過面位置まで前進させて、負圧を
印加することによりフィルム１２を吸着する。Next, the film 12 is sucked by applying a negative pressure to the temporary attaching member 20, and the leading-end wrapping film holding member 34 is also advanced to the film passing surface position to apply the negative pressure. 12 is adsorbed.
【００７８】この状態で固定刃３６Ａを前進させ、回転
刃３６Ｂを回転させることにより、フィルム通過面上で
フィルム１２を切断して、その先端を切り揃える。ロー
タリーカッター３６よりも先端側の切断されたフィルム
１２は廃棄する。次に、固定刃３６Ａを回転刃３６Ｂか
ら離間させ、先端巻付用フィルム保持部材３４は、その
先端面にフィルム１２の先端部を吸着したまま図１にお
いて右方向に移動させる。In this state, by moving the fixed blade 36A forward and rotating the rotary blade 36B, the film 12 is cut on the film passing surface, and the ends thereof are trimmed. The cut film 12 on the tip side of the rotary cutter 36 is discarded. Next, the fixed blade 36A is separated from the rotary blade 36B, and the leading-end wrapping film holding member 34 is moved rightward in FIG. 1 while the leading end of the film 12 is attracted to the leading end surface.
【００７９】このとき、仮付け部材本体２１の先端部に
おけるフィルム吸着溝２１Ｃ及び吸着溝３３には予め負
圧を印加しておき、この状態で、先端巻付用フィルム保
持部材３４が図において右方向に移動すると、吸着され
ているフィルム１２の先端部が、仮付け部材本体２１に
おける先端部に沿って巻き付けられ、そのフィルム吸着
溝、吸引孔の負圧により吸着され、先端巻付用フィルム
保持部材３４から離間する。At this time, a negative pressure is applied in advance to the film suction groove 21C and the suction groove 33 at the front end of the temporary attaching member main body 21, and in this state, the front end winding film holding member 34 When the film 12 is moved in the direction, the front end of the film 12 being sucked is wound along the front end of the temporary attaching member body 21 and is sucked by the negative pressure of the film suction groove and the suction hole, thereby holding the film for winding the front end. It is separated from the member 34.
【００８０】フィルム１２の先端部が仮付け部材本体２
１における先端部に巻き付けられる際に、前記エアーブ
ロー管７２のノズル７２Ａから吹き出された圧縮空気流
がフィルム１２の先端を傾斜吸着面２１Ｂ方向に吹き付
けるので、先端巻付け用フィルム保持部材３４から離間
したフィルム先端部は、垂れ下ったり、折れ曲ったりす
ることなく、確実に傾斜吸着面２１Ｂ、テーパ状仮付面
３１及び押圧面３１Ａに沿って吸着されることになる。The leading end portion of the film 12 is
1, the compressed air flow blown from the nozzle 72A of the air blow tube 72 blows the leading end of the film 12 in the direction of the inclined suction surface 21B, so that the compressed air flow is separated from the leading end winding film holding member 34. The film tip thus bent is surely sucked along the inclined suction surface 21B, the tapered temporary attachment surface 31, and the pressing surface 31A without hanging down or bending.
【００８１】なお、ロータリーカッター３６による切断
位置はフィルム１２の先端が押圧面３１Ａの先端に到達
するように予め調整されているので、吸着状態でフィル
ム先端がシールバー３２の下側に垂れ下がることがな
い。Since the cutting position of the rotary cutter 36 is adjusted in advance so that the leading end of the film 12 reaches the leading end of the pressing surface 31A, the leading end of the film may hang down below the seal bar 32 in the suction state. Absent.
【００８２】上記のような、仮付部材本体２１の先端部
にフィルム１２の先端部を巻き付ける工程と同時又は前
後して、前記基板位置決めストッパ６０を予め調節した
位置で、基板先端２６Ａと接触する作動位置に駆動して
おく。Simultaneously with or before or after the step of winding the leading end of the film 12 around the leading end of the temporary attaching member body 21, the substrate positioning stopper 60 comes into contact with the leading end 26A of the substrate at a previously adjusted position. Drive to operating position.
【００８３】前記基板２６は、基板搬送機構により搬送
され、該基板位置決めストッパ６０に、その先端２６Ａ
が当接又は当接直前で駆動用ローラ４０の回転が停止さ
れることによって、図４、図５（Ａ）に示される仮付位
置に停止される。The substrate 26 is transported by a substrate transport mechanism, and its tip 26A is
Is stopped at the temporary attachment position shown in FIGS. 4 and 5A by stopping the rotation of the driving roller 40 immediately before or after the contact.
【００８４】次に、仮付け部材本体２１の先端部にシー
ルバー３２を被った状態でフィルム１２の先端部を吸着
したまま、駆動装置３０により、仮付け部材２０をガイ
ドレール２８に沿って、その先端部がフィルム１２の先
端部を介して仮付け位置に停止している先頭の基板２６
の先端位置上面に当接するまで降下される。又、これと
同期して下側の仮付け部材２０も上昇される。Next, the tacking member 20 is moved along the guide rail 28 by the driving device 30 while the leading end of the film 12 is being sucked while the tip of the tacking member body 21 is covered with the seal bar 32. The leading substrate 26 whose leading end is stopped at the temporary attachment position via the leading end of the film 12
Is lowered until it comes into contact with the top surface of the tip position. Further, in synchronization with this, the lower temporary attaching member 20 is also raised.
【００８５】これにより、図５（Ｂ）に示されるように
シールバー３２が、先頭の基板２６の先端表面及び裏面
にフィルム１２の先端部を仮付けし、しかる後、仮付け
部材２０は、仮付け部材本体２１を含み負圧が解除さ
れ、図４、図５（Ａ）の位置まで離間し、次の仮付けま
で待機される。As a result, as shown in FIG. 5 (B), the seal bar 32 temporarily attaches the leading end of the film 12 to the front and back surfaces of the leading substrate 26, and then the temporary attaching member 20 The negative pressure including the tacking member main body 21 is released, the gap is separated to the positions shown in FIGS. 4 and 5A, and the process stands by until the next tacking.
【００８６】前述の如く、フィルム１２の先端は、シー
ルバー３２の下側に垂れ下がることがないので、仮付け
が、皺や重なりが生じたりすることなく、正確になされ
る。As described above, since the leading end of the film 12 does not hang down below the seal bar 32, the tacking is performed accurately without wrinkling or overlapping.
【００８７】又、基板２６の前端２６Ａの角部は、シー
ルバー３２におけるテーパ状仮付面３１に喰い込むよう
にして該シールバー３２に上下から挟み込まれるので、
フィルム１２の先端部は基板２６の前端２６Ａにおける
上下の角部に沿って強く折り曲げられた状態で該角部に
圧接される。Also, the corner of the front end 26A of the substrate 26 is sandwiched from above and below by the seal bar 32 so as to bite into the tapered temporary attachment surface 31 of the seal bar 32.
The leading end of the film 12 is pressed against the corner in a state where it is strongly bent along the upper and lower corners of the front end 26A of the substrate 26.
【００８８】又、表面側及び裏面側フィルム１２の、基
板２６先端２６Ａからはみ出した端末部１３、１３は、
上下のシールバー３２における押圧面３１Ａによって、
基板搬送面Ｉ−Ｉと平行に、且つ相互に重なるようにし
て上下方向に圧接される。The terminal portions 13 of the front and rear films 12 protruding from the front end 26A of the substrate 26 are:
Due to the pressing surfaces 31A of the upper and lower seal bars 32,
The substrates are pressed vertically in parallel with the substrate transfer surface II and overlapping each other.
【００８９】以上より、表面側及び裏面側フィルム１２
は、基板２６先端２６Ａの両角部にならって該先端２６
Ａに圧接されるので、フィルム１２を基板２６に仮付し
た後、仮付部材２０が仮付位置から離間するとき、フィ
ルム吸着溝２１Ｃ等に、負圧により薄いフィルムが入り
込んでいる場合でも、離間していく仮付部材２０に引張
られてフィルム１２が基板２６から隔離することがな
い。又、フィルムが基板先端２６Ａの角部にならって基
板２６に圧着されているので、角部近傍で、フィルム１
２に皺が発生しない。As described above, the front and back film 12
Are arranged along both corners of the tip 26A of the substrate 26.
A, since the film 12 is pressed against the substrate 26, after the film 12 is temporarily attached to the substrate 26, when the temporary attaching member 20 separates from the temporary attaching position, even when a thin film enters the film suction groove 21C or the like due to negative pressure, The film 12 is not separated from the substrate 26 by being pulled by the temporary attachment member 20 which is separated. Further, since the film is pressed against the substrate 26 following the corners of the substrate tip 26A, the film 1
No wrinkles occur in No. 2.
【００９０】基板２６の停止、及びこの仮付け位置での
停止時における前記基板押えローラ４４Ａによる拘束は
前述の如くである。The restraint by the board pressing roller 44A when the board 26 is stopped and when the board 26 is stopped at the temporary attachment position is as described above.
【００９１】フィルム１２を仮付けした状態の先端部２
６Ａに対して、ラミネーションロール４８は図１の実線
位置から二点鎖線の位置にまで駆動され、フィルム１２
を基板２６に押し付けるが、端末部１３、１３は、ラミ
ネーションロール４８に接触しない。この状態で、前記
基板押えローラ用エアシリンダ４４Ｂが解除される。次
に、ラミネーションロール４８は基板２６の搬送装置の
駆動用ローラ４０と同期して、該基板２６を図１の左側
から右方向に駆動するよう回転され、回転しつつフィル
ム１２を基板２６の上面に圧着する。The tip 2 with the film 12 temporarily attached
6A, the lamination roll 48 is driven from the position indicated by the solid line in FIG.
Is pressed against the substrate 26, but the terminal portions 13, 13 do not contact the lamination roll 48. In this state, the substrate holding roller air cylinder 44B is released. Next, the lamination roll 48 is rotated so as to drive the substrate 26 from the left side to the right side in FIG. Crimp to
【００９２】基板２６の後端２６Ｂがラミネーションロ
ール４８の位置にくると、上下のラミネーションロール
４８は相互に接触する方向に移動して、基板２６後端側
の、表面側フィルム及び裏面側フィルムにおける端末部
１３、１３を重ねて挟み込み、両者を圧接させる。When the rear end 26B of the substrate 26 comes to the position of the lamination roll 48, the upper and lower lamination rolls 48 move in a direction in which they contact each other, and the rear end side of the substrate 26 in the front-side film and the rear-side film has The terminal portions 13, 13 are overlapped and sandwiched, and both are pressed against each other.
【００９３】従って、図９に示されるように、基板２６
の後端２６Ｂ側の端末部１３、１３も、上下において圧
接され、基板２６後端２６Ｂを閉じこめるようになる。Therefore, as shown in FIG.
The terminal portions 13 on the side of the rear end 26B are also pressed against each other in the vertical direction, so that the rear end 26B of the substrate 26 is closed.
【００９４】これ以後は、間欠的に搬送されてくる基板
２６に、カバーフィルム１２Ｃが剥離されたフィルム１
２が、ロータリーカッター３６により上記のような定寸
で切断され、順次仮付け部材２０により仮付けされてか
らラミネーションロール４８により圧着されていく。
又、フィルム１２の表面側及び裏面側端末１３も、基板
２６の先端２６Ａ及び後端２６Ｂ側で圧接される。[0094] Thereafter, the film 1 from which the cover film 12C has been peeled is placed on the substrate 26 intermittently conveyed.
2 is cut by the rotary cutter 36 into the fixed size as described above, and is sequentially tacked by the tacking member 20 and then pressed by the lamination roll 48.
The front and rear terminals 13 of the film 12 are also pressed against the front end 26A and the rear end 26B of the substrate 26.
【００９５】前記ロータリーカッター３６によってフィ
ルムが切断される際、該フィルム１２は仮付け部材２０
とラミネーションロール４８との間に張り渡された状態
となっているが、フィルム１２の幅が広い場合は、フィ
ルム１２は幅方向に均一に引張り力が付与されていない
ことが多く、この場合、引張り力が不足している部分に
ついては、ロータリーカッター３６による切断時にフィ
ルム１２を円滑に切断できないことがある。When the film is cut by the rotary cutter 36, the film 12 is
And the lamination roll 48 are stretched. However, when the width of the film 12 is large, the film 12 is often not uniformly applied with a tensile force in the width direction. In this case, For a portion where the tensile force is insufficient, the film 12 may not be cut smoothly when cut by the rotary cutter 36.
【００９６】このフィルム張付装置１０においては、仮
付け部材２２とラミネーションロール４８との間で前記
ロータリーカッター３６に近い位置で、先端巻付け用フ
ィルム保持部材３４の先端に、フィルム１２が吸着保持
されているので、フィルム１２の引張り力不足の部分に
も引張り力が均一に掛り、これによって、ロータリーカ
ッター３６による切断が円滑になされることになる。In the film sticking apparatus 10, the film 12 is sucked and held at the tip of the tip winding film holding member 34 at a position close to the rotary cutter 36 between the tacking member 22 and the lamination roll 48. As a result, the tensile force is evenly applied to the portion of the film 12 where the tensile force is insufficient, whereby the cutting by the rotary cutter 36 is performed smoothly.
【００９７】フィルムが非常に薄い場合、吸着溝３３の
位置では、フィルム先端部に皺が発生することがある
が、シールバー３２よりも先端側は利用しないので皺が
発生しても問題がない。When the film is very thin, wrinkles may be formed at the leading end of the film at the position of the suction groove 33, but since the leading end side of the seal bar 32 is not used, there is no problem even if wrinkles occur. .
【００９８】なお上記フィルム貼付装置１０に用いるフ
ィルム１２は、透光性支持フィルム１２Ａに感光性樹脂
層１２Ｂを積層し、これをカバーフィルム１２Ｃで被っ
てなるものであるが、本発明はこれに限定されるもので
なく、例えば、基板２６の表面に予め感光性樹脂を塗布
しておき、これをフィルムで被うようにして張付ける場
合、あるいは感光性樹脂以外の粘着剤を基板あるいはフ
ィルム側に塗布して、この状態で基板にフィルムを張付
ける場合、更には、感光性樹脂層、粘着剤等を用いるこ
となく、フィルムを基板に圧着する場合のいずれにも本
発明は適用されるものである。The film 12 used in the film sticking apparatus 10 is formed by laminating a photosensitive resin layer 12B on a translucent support film 12A and covering the same with a cover film 12C. The present invention is not limited to this. For example, in the case where a photosensitive resin is applied in advance to the surface of the substrate 26 and is applied so as to cover the surface with a film, or an adhesive other than the photosensitive resin is applied to the substrate or the film side. The present invention can be applied to any case where the film is applied to the substrate and the film is bonded to the substrate without using a photosensitive resin layer or an adhesive. It is.
【００９９】更に上記実施の形態の例では、フィルム１
２を、基板２６の先端２６Ａ及び後端２６Ｂからはみ出
すようにしてロータリーカッター３６により切断して基
板２６に張付けるものであるが、本発明はこれに限定さ
れるものでなく、例えば図１０（Ａ）に示されるよう
に、フィルム１２が基板２６の先端２６Ａからのみはみ
出すようにして、後端側は基板２６の後端２６Ｂと一致
するようにても良い。Further, in the example of the above embodiment, the film 1
2 is cut off by a rotary cutter 36 so as to protrude from a front end 26A and a rear end 26B of the substrate 26 and is attached to the substrate 26. However, the present invention is not limited to this. As shown in A), the film 12 may protrude only from the front end 26A of the substrate 26, and the rear end side may coincide with the rear end 26B of the substrate 26.
【０１００】更に、基板２６とフィルム１２の幅の関係
については、図１０（Ａ）、（Ｂ）に示されるように、
フィルム１２を基板２６よりも狭幅としても良く、図１
０（Ｃ）、（Ｄ）に示されるように、フィルム１２と基
板２６を同一幅としても良く、更に、図１０（Ｅ）、
（Ｆ）に示されるように、フィルム１２を基板２６Ａよ
りも幅広にして、基板２６の幅方向両端からもフィルム
１２がはみ出すようにしても良い。Further, regarding the relationship between the width of the substrate 26 and the width of the film 12, as shown in FIGS.
The film 12 may be narrower than the substrate 26, as shown in FIG.
0 (C) and (D), the film 12 and the substrate 26 may have the same width.
As shown in (F), the film 12 may be wider than the substrate 26A, and the film 12 may protrude from both ends in the width direction of the substrate 26.
【０１０１】更に又、上記各実施の形態の例では、フィ
ルム１２をロータリーカッター３６によって基板２６の
長さに応じて各基板毎に切断したものであるが、本発明
はこれに限定されるものでなく、基板を搬送手段により
一定間隔で連続的に搬送しつつ、該基板の表面及び裏面
に沿ってフィルムを供給し、そのまま、ラミネーション
ロール間に通して、フィルムを途中で切断することなく
基板に連続的に張り付けるいわゆる連続張りについて
も、その一連の基板のうち先頭基板に、仮付部材により
仮付けする場合について適用されるものである。Furthermore, in each of the above embodiments, the film 12 is cut by the rotary cutter 36 for each substrate according to the length of the substrate 26. However, the present invention is not limited to this. Instead, while continuously transporting the substrate at a constant interval by the transport means, supply the film along the front surface and the back surface of the substrate, as it is, pass between the lamination rolls, without cutting the film in the middle of the substrate Is also applied to a case in which a temporary attaching member is used to attach a temporary attaching member to a leading substrate in a series of substrates.
【０１０２】例えば、図１１の（Ａ）〜（Ｃ）に示され
るように、フィルム１２の先端を先頭基板２７の先端２
７Ａからはみ出して仮付けする場合についても本発明が
適用されるものである。For example, as shown in FIGS. 11A to 11C, the leading end of the film 12 is
The present invention is also applied to the case where the temporary attachment is performed outside the area 7A.
【０１０３】又、前記図１０の（Ｅ）、（Ｆ）及び図１
１（Ｃ）に示されるように、フィルム１２が基板２６よ
りも幅広の場合は、基板２６から幅方向両側にはみ出し
た部分のフィルムを圧着すると、感光性樹脂層、粘着剤
等の漏れを更に効果的に防止することができる。Further, FIGS. 10 (E) and 10 (F) and FIG.
As shown in FIG. 1 (C), when the film 12 is wider than the substrate 26, when the film protruding from both sides in the width direction from the substrate 26 is pressed, the leakage of the photosensitive resin layer, the adhesive and the like is further increased. It can be effectively prevented.
【０１０４】この場合は、図１２（Ａ）に示されるよう
に、ラミネーションロール４９において、フィルム１２
の、基板２６の幅方向両端からはみ出した部分を押圧す
るように拡径部４９Ａを設けて、フィルム１２を基板２
６に圧着する際に同時に表側フィルム及び裏側フィルム
における幅方向両端を圧着するようにしても良い。In this case, as shown in FIG. 12A, the film 12
A large diameter portion 49A is provided so as to press portions protruding from both ends in the width direction of the substrate 26, and the film 12 is
6 may be simultaneously pressed at both ends in the width direction of the front film and the back film.
【０１０５】更に、同図１２（Ｂ）に示されるように、
上記実施の形態の例におけるラミネーションロール４８
によってフィルム１２を基板２６に圧着した後の工程
で、基板幅方向左右一対の両端圧着ロール４９Ｂによ
り、フィルム１２の、基板１２の幅方向両端からはみ出
した部分を上下から挟み込んで圧着するようにしても良
い。Further, as shown in FIG.
Lamination roll 48 in the example of the above embodiment
In the step after the film 12 is pressed against the substrate 26, a portion of the film 12 protruding from both ends in the width direction of the substrate 12 is sandwiched from above and below by a pair of right and left both-end pressing rolls 49B. Is also good.
【０１０６】又、図１２（Ｃ）に示されるように、図１
２（Ｂ）における両端圧着ロール４９Ｂを、一本のシャ
フト４９Ｃに取付けるようにしてもよい。Also, as shown in FIG.
The pressure bonding roll 49B at both ends in 2 (B) may be attached to one shaft 49C.
【０１０７】ここで、前記両端圧着ロール４９Ｂはゴ
ム、樹脂等の弾性材料、シャフト４９Ｃは金属から形成
するとよい。Here, the both-end press roll 49B is preferably made of an elastic material such as rubber or resin, and the shaft 49C is preferably made of metal.
【０１０８】[0108]
【発明の効果】本発明は上記のように構成したので、基
板先端角部近傍に気泡が生じたりすることなくフィルム
圧着時に感光性樹脂等の粘着物質の漏れを防止すること
ができると共に、フィルム端末部によって基板端面を封
止し、ほこり等の付着あるいは他のフィルム付基板との
接着を防止して、取り扱いを容易にすることができる。Since the present invention is constructed as described above, it is possible to prevent the adhesive material such as a photosensitive resin from leaking at the time of film compression without generating bubbles near the corners of the substrate front end, and to prevent the film from being leaked. The terminal portion seals the end face of the substrate to prevent adhesion of dust or the like and adhesion to another substrate with a film, thereby facilitating handling.
【０１０９】更に、フィルムが薄くても、その先端部が
シールバー下側に垂れ下がったりすることなくフィルム
仮付け部材体体の先端部に吸着保持することができ、従
って、シールバーにより基板に確実且つ正確に、皺がよ
ったり、折り重なったり、エアーを噛み込んだりするこ
となく仮付け圧着することができるという優れた効果を
有する。Further, even if the film is thin, the leading end of the film can be sucked and held on the leading end of the film temporary attaching member without falling down to the lower side of the seal bar. In addition, there is an excellent effect that it is possible to perform temporary tack-bonding accurately without wrinkling, folding, or biting air.
【図１】本発明の実施の形態の例に係るフィルム張付装
置を示す略示側面図FIG. 1 is a schematic side view showing a film sticking apparatus according to an embodiment of the present invention.
【図２】上記フィルム張付装置により張付けられるフィ
ルムの、カバーフィルム剥離前の状態を拡大して示す断
面図FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view showing a state of a film pasted by a film pasting apparatus before a cover film is peeled off.
【図３】同フィルム張付装置における仮付け部材を拡大
して示す斜視図FIG. 3 is an enlarged perspective view showing a temporary attaching member in the film attaching apparatus.
【図４】同仮付け部材を更に拡大して示す断面図FIG. 4 is a sectional view showing the temporary attachment member in a further enlarged manner.
【図５】同フィルム張付装置における仮付け部材本体の
先端部近傍を更に拡大して示す断面図FIG. 5 is a cross-sectional view showing the vicinity of the tip end of the temporary attaching member body in the film attaching apparatus in a further enlarged manner.
【図６】上記装置のエアーブロー管を拡大して示す斜視
図FIG. 6 is an enlarged perspective view showing an air blow pipe of the above device.
【図７】上記装置における基板搬送系の一部を示す略示
側面図FIG. 7 is a schematic side view showing a part of a substrate transfer system in the apparatus.
【図８】上記装置の電気的な信号入出力の構成を示すブ
ロック図FIG. 8 is a block diagram showing a configuration of an electric signal input / output of the device.
【図９】本発明に方法により製造されたフィルム付基板
を示す拡大側面図FIG. 9 is an enlarged side view showing a substrate with a film manufactured by the method according to the present invention.
【図１０】本発明方法及び装置によって張付けられるフ
ィルムと基板との関係の各種態様を示す平面図FIG. 10 is a plan view showing various aspects of the relationship between a film and a substrate adhered by the method and apparatus of the present invention.
【図１１】連続張りにおけるフィルム先端と基板との関
係を示す平面図FIG. 11 is a plan view showing a relationship between a film tip and a substrate in continuous stretching.
【図１２】基板の幅方向両端からはみ出したフィルムを
圧着する過程を示す略示平面図FIG. 12 is a schematic plan view showing a process of crimping a film protruding from both ends in the width direction of the substrate.
１０…フィルム張付装置 １２…フィルム １２Ａ…透光性支持フィルム １２Ｂ…感光性樹脂層 １２Ｃ…カバーフィルム １３…端末部 １４…供給ロール １６…フィルム分離部材 １８…テンションロール ２０…仮付け部材 ２１…フィルム仮付け部材本体 ２１Ｂ…傾斜吸着面 ２１Ｃ…フィルム吸着溝 ２１Ｄ…バキューム孔 ２２…メインバキュームプレート ２６…基板 ２６Ａ…先端 ２６Ｂ…後端 ３１…テーパ状仮付面 ３１Ａ…押圧面 ３２…シールバー ３３…吸着溝 ３６…ロータリーカッター ４８…ラミネーションロール ５０…ブロック部材 ６０…基板位置決めストッパ Ｉ−Ｉ…基板搬送面 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Film sticking apparatus 12 ... Film 12A ... Translucent support film 12B ... Photosensitive resin layer 12C ... Cover film 13 ... Terminal part 14 ... Supply roll 16 ... Film separation member 18 ... Tension roll 20 ... Temporary attachment member 21 ... Film temporary attaching member main body 21B ... inclined suction surface 21C ... film suction groove 21D ... vacuum hole 22 ... main vacuum plate 26 ... substrate 26A ... front end 26B ... rear end 31 ... tapered temporary attachment surface 31A ... pressing surface 32 ... seal bar 33 ... Suction groove 36 ... Rotary cutter 48 ... Lamination roll 50 ... Block member 60 ... Substrate positioning stopper II ... Substrate transfer surface
【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成９年６月２日[Submission date] June 2, 1997
【手続補正１】[Procedure amendment 1]
【補正対象書類名】図面[Document name to be amended] Drawing
【補正対象項目名】図１２[Correction target item name] FIG.
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【図１２】 FIG.
Claims (8)
板表面側及び裏面側に各々配置されたフィルム供給ロー
ルから引き出し、カッターにより基板長さに応じて切断
した表面側フィルム及び裏側フィルムを、搬送手段によ
り搬送され、仮付位置で停止される基板両面の先端に各
々導き、該基板に対して表面側及び裏面側から近接及び
離反移動可能な表面側及び裏面側それぞれの仮付け部材
に吸着した状態で、各仮付け部材先端の弾性材料からな
るシールバーにより該基板の先端に仮付けした後、一対
のラミネーションロールにより、フィルムを基板の表面
及び裏面に圧着しつつ、基板を搬送するフィルム張付方
法において、 前記一対のシールバーの対向する面を、両者の間隔が、
基板送り方向前方が狭く後方が広いテーパ面とすると共
に、仮付け時に、前記基板の先端を、前記テーパ面の途
中位置となるように該基板を停止させ、前記フィルムを
基板への張付状態での先端が、該基板の先端よりはみ出
し、且つ、このはみ出し部分の表面側及び裏面側フィル
ムの端末部が、相互に圧接され得る程度の長さに、前記
カッターにより切断しておくことを特徴とするフィルム
張付方法。1. A continuous film is drawn out from film supply rolls disposed on the substrate front side and the substrate back side on a substrate transfer surface, and the front side film and the back side film cut by a cutter according to the substrate length are transferred. It is conveyed by means and guided to the front ends of both surfaces of the substrate stopped at the temporary attaching position, and is attracted to the temporary attaching members on the front surface side and the rear surface side which can move close to and away from the front side and the rear side with respect to the substrate. In this state, after temporarily attaching to the front end of the substrate by a seal bar made of an elastic material at the end of each temporary attaching member, a film tension for transporting the substrate while pressing the film against the front and back surfaces of the substrate by a pair of lamination rolls. In the attaching method, opposing surfaces of the pair of seal bars, an interval between both,
In the substrate feeding direction, the front is narrow and the rear is a tapered surface, and at the time of temporary attachment, the substrate is stopped so that the front end of the substrate is located at an intermediate position of the tapered surface, and the film is stuck to the substrate. Is cut off by the cutter to such a length that the front and back side films of the protruding portion can be pressed against each other. Film sticking method.
板表面側及び裏面側に各々配置されたフィルム供給ロー
ルから引き出し、搬送手段により一定間隔で連続的に搬
送されてくる基板の表面及び裏面に沿って基板と同速
で、同方向に送り込み、ラミネーションロールによりフ
ィルムを基板に圧着しつつ、基板を搬送し、圧着後に基
板間位置でフィルムを幅方向に切断・分離するようにさ
れたフィルム張付方法において、 前記フィルム供給ロールから巻き出された連続フィルム
の先端を、仮付位置で停止される基板両面の先端に各々
導き、該基板に対して表面側及び裏面側から近接及び離
反移動可能な表面側及び裏面側それぞれの仮付け部材の
先端に吸着し、該仮付け部材先端の弾性材料からなるシ
ールバーにより、前記連続的に搬送されてくる基板のう
ちの先頭の基板の先端に仮付けしてから、連続フィルム
を基板と共に、前記ラミネーションロールにより挟み込
んで圧着するようにし、前記一対のシールバーの対向す
る面を、両者の間隔が、基板送り方向前方が狭く後方が
広いテーパ面とすると共に、仮付け時に、前記基板の先
端を、前記テーパ面の途中位置となるように該基板を停
止させ、前記フィルムを基板への張付状態での先端が、
該基板の先端よりはみ出し、且つ、このはみ出し部分の
表面側及び裏面側フィルムの端末部が、相互に圧接され
得る程度の長さに、前記カッターにより切断しておくこ
とを特徴とするフィルム張付方法。2. A continuous film is drawn out from film supply rolls respectively disposed on the substrate front side and the rear side on the substrate conveying surface, and is fed onto the front and rear sides of the substrate continuously conveyed at regular intervals by the conveying means. Along the same speed as the substrate, the film is fed in the same direction, and while the film is pressed against the substrate by the lamination roll, the substrate is transported, and the film is cut and separated in the width direction at the position between the substrates after the pressing. In the attaching method, the leading end of the continuous film unwound from the film supply roll is guided to the leading ends of both surfaces of the substrate stopped at the temporary attaching position, and can be moved toward and away from the front surface and the back surface with respect to the substrate. The front side and the back side are adsorbed to the tips of the respective temporary attachment members, and are continuously conveyed by the seal bar made of an elastic material at the tip of the temporary attachment member. After being temporarily attached to the tip of the leading substrate of the coming substrates, the continuous film is sandwiched by the lamination rolls together with the substrate so as to be pressed, and the opposing surfaces of the pair of seal bars, the interval between the two, In the substrate feeding direction, the front is narrow and the rear is a tapered surface, and at the time of temporary attachment, the substrate is stopped so that the front end of the substrate is located at an intermediate position of the tapered surface, and the film is stuck to the substrate. The tip at
The film sticking is characterized in that the film is cut by the cutter so as to protrude from the front end of the substrate and that the terminal portions of the front side and the back side of the protruding portion can be pressed against each other. Method.
によるフィルム仮付けの際に、該シールバーの、基板送
り方向前側に隣接した位置で、予め前記表側及び裏側の
フィルム端末部を吸着し、これらを相互に平行に保持し
ておくことを特徴とするフィルム張付方法。3. The film terminal according to claim 1, wherein the film ends of the front side and the back side are previously suctioned at a position adjacent to the front side of the substrate in the substrate feeding direction when the film is temporarily attached by the seal bar. A film sticking method, wherein these are held parallel to each other.
バーによるフィルム仮付けの際に、前記シールバーのテ
ーパ面における前記基板の先端よりも基板送り方向前側
部分により、前記表側及び裏側のフィルム端末部を挾持
して、相互に押圧することを特徴とするフィルム張付方
法。4. A front side and a back side of a taper surface of the seal bar in a substrate feeding direction ahead of a front end of the substrate at the time of film temporary attachment by the seal bar according to claim 1, 2 or 3. A film sticking method, wherein a film end portion is held and pressed together.
側にそれぞれ配置されたフィルム供給ロールから表面側
フィルム及び裏面側フィルムを各々連続的に引き出し、
且つ、カッターにより基板長さに応じて切断し、切断さ
れた先端を、搬送手段により搬送され、仮付位置で停止
されている基板の先端に導き、該基板に対して近接及び
離反移動可能な表面側及び裏面側仮付け部材により該基
板の先端に仮付けした後、ラミネーションロールによ
り、フィルムを基板に圧着しつつ、基板を搬送するよう
にされ、前記仮付け部材は、フィルム経路に沿って表面
にフィルム吸着手段を備えたメインバキュームプレート
と、このメインバキュームプレートのフィルム送り方向
先端に連結され、前記メインバキュームプレートの表面
から連続して湾曲し、表面にフィルム吸着手段を備え、
且つ、先端部に、フィルムを基板方向に押圧するシール
バーを備えたフィルム仮付け部材本体と、を含んでなる
フィルム張付装置において、 前記シールバーは、弾性材料からなり、前記仮付位置に
ある前記基板の先端の前後に延在し、且つ、前記基板搬
送面に対して基板送り方向前端側が最も接近し、後端側
ほど離間するテーパ状仮付面を備えたことを特徴とする
フィルム張付装置。5. A front-side film and a back-side film are continuously drawn out from film supply rolls respectively disposed on the substrate front side and the back side on the substrate transfer surface,
In addition, it is cut by a cutter in accordance with the length of the substrate, and the cut end is conveyed by the conveying means and guided to the end of the substrate stopped at the temporary attachment position, and can be moved toward and away from the substrate. After being temporarily attached to the front end of the substrate by the front side and the back side temporary attaching members, the lamination roll is used to press the film onto the substrate while transporting the substrate, and the temporary attaching member is moved along the film path. A main vacuum plate having a film suction means on the surface thereof, connected to the leading end of the main vacuum plate in the film feeding direction, continuously curved from the surface of the main vacuum plate, and having a film suction means on the surface,
And, at the tip end, a film tacking device body including a seal bar for pressing the film in the direction of the substrate, and a film tacking member body, wherein the seal bar is made of an elastic material and is located at the tacking position. A film extending before and after the front end of the substrate, and having a tapered temporary surface that is closest to the front side of the substrate in the substrate feeding direction with respect to the substrate transfer surface and is separated from the rear end side. Sticking device.
側にそれぞれ配置されたフィルム供給ロールから表面側
フィルム及び裏面側フィルムを各々連続的に引き出し、
搬送手段により一定間隔で連続的に搬送されてくる基板
の表面及び裏面に沿って基板と同速で、同方向に送り込
み、ラミネーションロールによりフィルムを基板に圧着
しつつ、基板を搬送し、圧着後に、分離用カッターによ
り基板間位置でフィルムを幅方向に切断するようにされ
たフィルム張付装置において、 基板に対して接近及び離反移動可能であって、前記フィ
ルム供給ロールから引き出され、先端が切り揃えられた
連続フィルムの先端部を吸着すると共に、前記搬送手段
により搬送され、仮付位置で停止されている基板の先端
に導き、該基板の先端の表面及び裏面に、該連続フィル
ムの先端部を押付けて仮付けする表面及び裏面側仮付け
部材を設け、且つ、前記搬送手段を、搬送する基板のう
ちの先頭の基板を、前記仮付部材による仮付位置に停止
するように構成すると共に、前記仮付け部材は、フィル
ム経路に沿って表面にフィルム吸着手段を備えたメイン
バキュームプレートと、このメインバキュームプレート
のフィルム送り方向先端に連結され、前記メインバキュ
ームプレートの表面から連続して湾曲し、表面にフィル
ム吸着手段を備え、且つ、先端部に、フィルムを基板方
向に押圧するシールバーを備えたフィルム仮付け部材本
体と、を含んでなり、前記シールバーは、弾性材料から
なり、前記仮付位置にある前記基板の先端の前後に延在
し、且つ、前記基板搬送面に対して基板送り方向前端側
が最も接近し、後端側ほど離間するテーパ状仮付面を備
えたことを特徴とするフィルム張付装置。6. A front-side film and a back-side film are continuously drawn out from film supply rolls respectively disposed on the substrate front side and the back side on the substrate transfer surface.
It is fed in the same direction and at the same speed as the substrate along the front and back surfaces of the substrate that is continuously transported at constant intervals by the transport means, and while the film is pressed against the substrate by the lamination roll, the substrate is transported, and after the pressure bonding In a film sticking apparatus adapted to cut a film in the width direction at a position between substrates by a separating cutter, the film can be moved toward and away from the substrate, pulled out from the film supply roll, and the tip is cut. While adsorbing the leading end of the aligned continuous film, the leading end of the continuous film is guided to the leading end of the substrate which is transported by the transporting means and stopped at the temporary attaching position, Is provided with a front and back side temporary attaching member for pressing and temporarily attaching, and the transport means is used to temporarily move the first substrate among the substrates to be transported by the temporary attaching member. And the temporary attachment member is connected to a main vacuum plate having a film suction means on a surface thereof along a film path, and connected to a leading end of the main vacuum plate in a film feeding direction. Comprising a film temporary attaching member body continuously curved from the surface of the vacuum plate, provided with a film suction means on the surface, and provided with a seal bar for pressing the film in the direction of the substrate at the front end. The seal bar is made of an elastic material, extends before and after the front end of the substrate at the temporary attachment position, and is closest to the front side of the substrate in the substrate feeding direction with respect to the substrate transfer surface, and is further away from the rear end side. A film attaching device comprising a tapered temporary attaching surface.
裏面側のフィルム仮付け部材本体の先端部における前記
シールバー取付け端面の、該シールバーを越えて、更
に、基板送り方向に隣接した位置に、フィルム仮付け時
に、前記基板先端及びシールバーを超えて延在する前記
表面側フィルムと裏面側フィルムの端末部を吸着する吸
着溝を設けたことを特徴とするフィルム張付装置。7. The seal bar mounting end surface at the front end of the film tacking member main body on the front surface side and the back surface side, further adjacent to the seal bar in the substrate feeding direction according to claim 5 or 6. A film sticking device, wherein a suction groove is provided at a position for adsorbing the terminal portions of the front side film and the back side film which extend beyond the front end of the substrate and the seal bar when the film is temporarily attached.
厚さ、及び、仮付時における前記表面側と裏面側のフィ
ルム端末部の間隔に応じて、前記基板先端の仮付位置を
調節する位置決め手段を設けたことを特徴とするフィル
ム張付装置。8. The temporary attachment position of the front end of the substrate according to claim 5, 6 or 7, according to the thickness of the substrate and the distance between the film terminal portions on the front side and the back side at the time of temporary attachment. A film sticking device comprising a positioning means for adjusting.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13374797A JP3781509B2 (en) | 1997-05-23 | 1997-05-23 | Film pasting method and apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP13374797A JP3781509B2 (en) | 1997-05-23 | 1997-05-23 | Film pasting method and apparatus |
Publications (2)
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|---|---|
| JPH10323959A true JPH10323959A (en) | 1998-12-08 |
| JP3781509B2 JP3781509B2 (en) | 2006-05-31 |
Family
ID=15111994
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13374797A Expired - Fee Related JP3781509B2 (en) | 1997-05-23 | 1997-05-23 | Film pasting method and apparatus |
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|---|---|
| JP (1) | JP3781509B2 (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000301685A (en) * | 1999-02-18 | 2000-10-31 | Sanee Giken Kk | Laminator |
| JP2006021444A (en) * | 2004-07-08 | 2006-01-26 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | Manufacturing method of sheet product with protective film |
| CN110174798A (en) * | 2019-05-10 | 2019-08-27 | 惠州市福瑞尔光电有限公司 | A kind of device and method pasting reflective strip |
| CN114229076A (en) * | 2022-02-25 | 2022-03-25 | 浙江大华技术股份有限公司 | Film laminating device and film laminating method |
| CN116373319A (en) * | 2023-06-02 | 2023-07-04 | 龙华相位新材料(绵阳)股份有限公司 | Edge protection device and edge protection method for optical film |
-
1997
- 1997-05-23 JP JP13374797A patent/JP3781509B2/en not_active Expired - Fee Related
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| CN114229076B (en) * | 2022-02-25 | 2022-05-13 | 浙江大华技术股份有限公司 | Film laminating device and film laminating method |
| CN116373319A (en) * | 2023-06-02 | 2023-07-04 | 龙华相位新材料(绵阳)股份有限公司 | Edge protection device and edge protection method for optical film |
| CN116373319B (en) * | 2023-06-02 | 2023-08-22 | 龙华相位新材料(绵阳)股份有限公司 | Edge protection device and edge protection method for optical film |
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