JPH10321682A - ウエハー・プローバー・チャック用ガイド - Google Patents
ウエハー・プローバー・チャック用ガイドInfo
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- JPH10321682A JPH10321682A JP14118397A JP14118397A JPH10321682A JP H10321682 A JPH10321682 A JP H10321682A JP 14118397 A JP14118397 A JP 14118397A JP 14118397 A JP14118397 A JP 14118397A JP H10321682 A JPH10321682 A JP H10321682A
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Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 半導体ウエハーの大径化に対応した、剛性が
高く、ステージ精度が高い、比較的安価なウエハー・プ
ローバー・チャック用ガイドを提供する。 【解決手段】 Ｚ微動シリンダーの外側面及びθ微回転
ケースの内側面に、それぞれ、その軸に沿って軸対称に
第１及び第２の直角溝を形成し、これらを対向させて正
方形柱状の空間を形成し、この空間にクロス・ローラー
・ベアリングを配置し、かつ、Ｚ微動シリンダーの外側
面とθ微回転ケースの内側面との間にボールベアリング
列を配置してなる。
高く、ステージ精度が高い、比較的安価なウエハー・プ
ローバー・チャック用ガイドを提供する。 【解決手段】 Ｚ微動シリンダーの外側面及びθ微回転
ケースの内側面に、それぞれ、その軸に沿って軸対称に
第１及び第２の直角溝を形成し、これらを対向させて正
方形柱状の空間を形成し、この空間にクロス・ローラー
・ベアリングを配置し、かつ、Ｚ微動シリンダーの外側
面とθ微回転ケースの内側面との間にボールベアリング
列を配置してなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はウエハー・プローバー・
チャック用ガイドに関する。プローバーあるいはウエハ
ー・プロービング装置とは、半導体ウエハーの表面に探
針あるいはプローブを接触させて、半導体ウエハーの電
気電子的特性を測定する超精密測定装置である。
チャック用ガイドに関する。プローバーあるいはウエハ
ー・プロービング装置とは、半導体ウエハーの表面に探
針あるいはプローブを接触させて、半導体ウエハーの電
気電子的特性を測定する超精密測定装置である。
【０００２】
【従来の技術】図１３は、プローバーの概略図である。
プローバーの本体は、前板１０１、右側板１０２、背板
１０３、左側板１０４、上板１０５及び底板１０６によ
って囲まれた直方体形状である。底板１０６の四隅には
高さ調整可能なアジャスター・ネジ１１７、１１８、１
１９及び１２０が取り付けられている。上板１０５の中
央から内部へ鉛直方向に伸びる円柱状空間が形成されて
いる。
プローバーの本体は、前板１０１、右側板１０２、背板
１０３、左側板１０４、上板１０５及び底板１０６によ
って囲まれた直方体形状である。底板１０６の四隅には
高さ調整可能なアジャスター・ネジ１１７、１１８、１
１９及び１２０が取り付けられている。上板１０５の中
央から内部へ鉛直方向に伸びる円柱状空間が形成されて
いる。
【０００３】この円柱状空間の中に、不図示の回転軸受
を介して、θ微回転ケース２１がその軸が鉛直方向に伸
びるように挿入されている。θ微回転ケース２１は外側
面２１１、上面２１２、下面２１３及び内側面２１４に
よって囲まれた中空円筒形状である。したがって、θ微
回転ケース２１は、その軸を垂直方向に配置し、その軸
のまわりに水平面内で回転することができる。なお、θ
微回転ケース２１は、フランジを形成する等の一般的手
段によって、上下方向すなわち鉛直方向には移動しない
ように図ってある。
を介して、θ微回転ケース２１がその軸が鉛直方向に伸
びるように挿入されている。θ微回転ケース２１は外側
面２１１、上面２１２、下面２１３及び内側面２１４に
よって囲まれた中空円筒形状である。したがって、θ微
回転ケース２１は、その軸を垂直方向に配置し、その軸
のまわりに水平面内で回転することができる。なお、θ
微回転ケース２１は、フランジを形成する等の一般的手
段によって、上下方向すなわち鉛直方向には移動しない
ように図ってある。
【０００４】θ微回転ケース２１の中空部に、不図示の
直動軸受を介して、Ｚ微動シリンダー２０が、その軸を
鉛直方向に向けて、挿入されている。Ｚ微動シリンダー
２０は、外側面２０１、上面２０２、下面２０４及び内
側面２０６によって囲まれた中空円筒形状である。した
がって、Ｚ微動シリンダー２０は、その軸を鉛直方向に
保ったまま、鉛直方向へ上下直線運動することができ
る。
直動軸受を介して、Ｚ微動シリンダー２０が、その軸を
鉛直方向に向けて、挿入されている。Ｚ微動シリンダー
２０は、外側面２０１、上面２０２、下面２０４及び内
側面２０６によって囲まれた中空円筒形状である。した
がって、Ｚ微動シリンダー２０は、その軸を鉛直方向に
保ったまま、鉛直方向へ上下直線運動することができ
る。
【０００５】Ｚ微動シリンダー２０の上面２０２には、
ステージ５が取り付けられている。ステージ５は、円柱
状の連結部５０１の上端に円板状のステージ部５０２が
取り付けられている。ステージ部５０２の上面は、超精
密精度の平面度に研磨加工されている。ステージ部５０
２の上面には半導体ウエハー６が保持されている。
ステージ５が取り付けられている。ステージ５は、円柱
状の連結部５０１の上端に円板状のステージ部５０２が
取り付けられている。ステージ部５０２の上面は、超精
密精度の平面度に研磨加工されている。ステージ部５０
２の上面には半導体ウエハー６が保持されている。
【０００６】したがって、θ微回転ケース２１を微回転
して、半導体ウエハーのθ位置を合わせた後に、Ｚ微動
シリンダー２０を上昇させて、下図示の多数のプローバ
ーあるいは探針に半導体ウエハーを同時に接触させ、所
定の位置で、Ｚ微動シリンダー２０を停止する。
して、半導体ウエハーのθ位置を合わせた後に、Ｚ微動
シリンダー２０を上昇させて、下図示の多数のプローバ
ーあるいは探針に半導体ウエハーを同時に接触させ、所
定の位置で、Ｚ微動シリンダー２０を停止する。
【０００７】Ｚ微動シリンダー２０の上下動において、
ステージ部が傾きのない水平面内に保たれることが必要
である。また、プローバーと半導体ウエハーが接触し、
Ｚ微動シリンダー２０が停止した状態においても、ステ
ージ部が傾きのない水平面内に、例えば１〜５μｍの範
囲内に、保たれなければならない。
ステージ部が傾きのない水平面内に保たれることが必要
である。また、プローバーと半導体ウエハーが接触し、
Ｚ微動シリンダー２０が停止した状態においても、ステ
ージ部が傾きのない水平面内に、例えば１〜５μｍの範
囲内に、保たれなければならない。
【０００８】プローバーの本体の上には、左前板１１
１、右前板１１２、右側板１１３、背板１１４、左側板
１１５及び上板１１６からカバーが取り付けてあり、前
面から上面へ曲がるＬ字形板状のドア１３０が蝶番１０
９、１１０によって、本体に、回転自在に取り付けられ
ている。ドア１３０には把手１０８が取り付けられてい
る。ドア１３０は透明とするのが望ましく、操作者は、
ステージの位置等を外部から目視確認することができ
る。
１、右前板１１２、右側板１１３、背板１１４、左側板
１１５及び上板１１６からカバーが取り付けてあり、前
面から上面へ曲がるＬ字形板状のドア１３０が蝶番１０
９、１１０によって、本体に、回転自在に取り付けられ
ている。ドア１３０には把手１０８が取り付けられてい
る。ドア１３０は透明とするのが望ましく、操作者は、
ステージの位置等を外部から目視確認することができ
る。
【０００９】従来のウエハー・プローバー・チャック用
ガイドの直動軸受として、ボールベアリングが広く用い
られていた。特に、θ微回転ケースの内部に、あるい
は、Ｚ微動シリンダーの内部に、循環復路を穿ち、θ微
回転ケースの内側面に、あるいは、Ｚ微動シリンダーの
外側面に、走行溝を形成し、多数のボールベアリングが
互いに押し合い無限に循環するボールベアリングが直動
軸受として用いられていた。そして、Ｚ微動シリンダー
のガタを減少させるために、ボールベアリングにプレロ
ード（予負荷）を加えていた。
ガイドの直動軸受として、ボールベアリングが広く用い
られていた。特に、θ微回転ケースの内部に、あるい
は、Ｚ微動シリンダーの内部に、循環復路を穿ち、θ微
回転ケースの内側面に、あるいは、Ｚ微動シリンダーの
外側面に、走行溝を形成し、多数のボールベアリングが
互いに押し合い無限に循環するボールベアリングが直動
軸受として用いられていた。そして、Ｚ微動シリンダー
のガタを減少させるために、ボールベアリングにプレロ
ード（予負荷）を加えていた。
【００１０】また、従来は、８インチ径または１２イン
チ径の半導体ウエハーをステージ部に保持し、所定位置
に配置された多数のプローブの先端と同時に接触して、
同時に半導体ウエハーの各部分の電気電子特性を測定し
ていた。
チ径の半導体ウエハーをステージ部に保持し、所定位置
に配置された多数のプローブの先端と同時に接触して、
同時に半導体ウエハーの各部分の電気電子特性を測定し
ていた。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ウエハー・プローバー・チャック用ガイドにおいては、
直動軸受として、ボールベアリングのみを用いているた
め、ガタを減少することと円滑にＺ微動シリンダーを駆
動することとが同時に満足することができない相反する
関係にあり、ステージ精度を向上しにくいという問題が
ある。
ウエハー・プローバー・チャック用ガイドにおいては、
直動軸受として、ボールベアリングのみを用いているた
め、ガタを減少することと円滑にＺ微動シリンダーを駆
動することとが同時に満足することができない相反する
関係にあり、ステージ精度を向上しにくいという問題が
ある。
【００１２】また、ボールベアリングどおしが高圧力で
押し合い走行するために、ボールベアリングに傷が付き
やすく、生じた金属粉により、さらに傷が生じるため、
ウエハー・プローバー・チャック用ガイドの使用時間の
経過により、直動軸受のガタが増大し、ステージ精度が
劣化するという問題がある。
押し合い走行するために、ボールベアリングに傷が付き
やすく、生じた金属粉により、さらに傷が生じるため、
ウエハー・プローバー・チャック用ガイドの使用時間の
経過により、直動軸受のガタが増大し、ステージ精度が
劣化するという問題がある。
【００１３】さらに、ボールベアリングはθ微回転ケー
スと点接触し、また、Ｚ微動シリンダーとも点接触して
いるために、ウエハー・プローバー・チャック用ガイド
の直動部分の剛性が低く、向上させることが困難なため
に、今後の半導体ウエハーの大径化、プローブの広範囲
多数配置に対応できないという問題がある。
スと点接触し、また、Ｚ微動シリンダーとも点接触して
いるために、ウエハー・プローバー・チャック用ガイド
の直動部分の剛性が低く、向上させることが困難なため
に、今後の半導体ウエハーの大径化、プローブの広範囲
多数配置に対応できないという問題がある。
【００１４】さらにまた、Ｚ微動シリンダーが中心軸の
まわりに回転して、θ精度が悪くばらつくという問題が
ある。
まわりに回転して、θ精度が悪くばらつくという問題が
ある。
【００１５】したがって、本発明の目的は、今後の半導
体ウエハーの大径化に対応した剛性が高く、かつ、ステ
ージ精度及びθ精度が高いウエハー・プローバー・チャ
ック用ガイドを安価に提供することにある。
体ウエハーの大径化に対応した剛性が高く、かつ、ステ
ージ精度及びθ精度が高いウエハー・プローバー・チャ
ック用ガイドを安価に提供することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】上記問題点は、請求項１
に記載のウエハー・プローバー・チャック用ガイド、す
なわち、垂直方向に伸びる円柱状空間を有する本体と、
当該円柱状空間中に挿入されるθ微回転ケースであっ
て、当該本体に対して、回転軸受を介して水平面内で微
回転可能な中空円筒状のθ微回転ケースと、当該θ微回
転ケースの中空部に挿入されるＺ微動シリンダーであっ
て、当該θ微回転ケースに対して、直動軸受を介して、
鉛直方向に直動可能な円筒形状のＺ微動シリンダーと、
を備えたウエハー・プローバー・チャック用ガイドにお
いて、当該Ｚ微動シリンダーの外側面に、その軸に沿っ
て軸対称に、２つの平面が９０°の角度をなす第１の直
角溝４本を設け、当該θ微回転ケースの内側面に、その
軸に沿って軸対称に、２つの平面が９０°の角度をなす
第２の直角溝４本を設け、当該第１の直角溝と第２の直
角溝とを対向させて、正方形柱状の空間を形成し、正方
形柱状の摺動部材４個と、直線上に並べたボールベアリ
ング列４列とを、それぞれ、その長手方向が円筒の側線
方向に一致するようにし、かつ、交互に４５°の中心角
で配置し、結合部材によって、摺動部材とボールベアリ
ング列とを互いに連結して、円筒状としたリテーナーを
直動軸受として用い、当該Ｚ微動シリンダーと当該θ微
回転ケースとの間に介在させ、当該正方形柱状の空間に
摺動部材を配置することを特徴とするウエハー・プロー
バー・チャック用ガイドによって、解決される。
に記載のウエハー・プローバー・チャック用ガイド、す
なわち、垂直方向に伸びる円柱状空間を有する本体と、
当該円柱状空間中に挿入されるθ微回転ケースであっ
て、当該本体に対して、回転軸受を介して水平面内で微
回転可能な中空円筒状のθ微回転ケースと、当該θ微回
転ケースの中空部に挿入されるＺ微動シリンダーであっ
て、当該θ微回転ケースに対して、直動軸受を介して、
鉛直方向に直動可能な円筒形状のＺ微動シリンダーと、
を備えたウエハー・プローバー・チャック用ガイドにお
いて、当該Ｚ微動シリンダーの外側面に、その軸に沿っ
て軸対称に、２つの平面が９０°の角度をなす第１の直
角溝４本を設け、当該θ微回転ケースの内側面に、その
軸に沿って軸対称に、２つの平面が９０°の角度をなす
第２の直角溝４本を設け、当該第１の直角溝と第２の直
角溝とを対向させて、正方形柱状の空間を形成し、正方
形柱状の摺動部材４個と、直線上に並べたボールベアリ
ング列４列とを、それぞれ、その長手方向が円筒の側線
方向に一致するようにし、かつ、交互に４５°の中心角
で配置し、結合部材によって、摺動部材とボールベアリ
ング列とを互いに連結して、円筒状としたリテーナーを
直動軸受として用い、当該Ｚ微動シリンダーと当該θ微
回転ケースとの間に介在させ、当該正方形柱状の空間に
摺動部材を配置することを特徴とするウエハー・プロー
バー・チャック用ガイドによって、解決される。
【００１７】また、上記問題点は、請求項２に記載のウ
エハー・プローバー・チャック用ガイド、すなわち、垂
直方向に伸びる円柱状空間を有する本体と、当該円柱状
空間中に挿入されるθ微回転ケースであって、当該本体
に対して、回転軸受を介して水平面内で微回転可能な中
空円筒状のθ微回転ケースと、当該θ微回転ケースの中
空部に挿入されるＺ微動シリンダーであって、当該θ微
回転ケースに対して、直動軸受を介して、鉛直方向に直
動可能な円筒形状のＺ微動シリンダーと、を備えたウエ
ハー・プローバー・チャック用ガイドにおいて、当該Ｚ
微動シリンダーの外側面に、その軸に沿って軸対称に、
２つの平面が９０°の角度をなす第１の直角溝４本を設
け、かつ、当該第１の直角溝の中間に第１の半円形溝４
本を設け、当該θ微回転ケースの内側面に、その軸に沿
って軸対称に、２つの平面が９０°の角度をなす第２の
直角溝４本を設け、かつ、当該第２の直角溝の中間に第
２の半円形溝４本を設け、当該第１の直角溝と当該第２
の直角溝とを対向させて、正方形柱状の空間を形成し、
当該第１の半円形溝と当該第２の半円形溝とを対向させ
て、円柱状の空間を形成し、正方形柱状の摺動部材４個
と、直線上に並べたボールベアリング列４列とを、それ
ぞれ、その長手方向が円筒の側線方向に一致するように
し、かつ、交互に４５°の中心角で配置し、結合部材に
よって、摺動部材とボールベアリング列とを互いに連結
して、円筒状としたリテーナーを直動軸受として用い、
当該Ｚ微動シリンダーと当該θ微回転ケースとの間に介
在させ、当該正方形柱状の空間に摺動部材を配置し、当
該円柱状の空間にボールベアリング列を配置することを
特徴とするウエハー・プローバー・チャック用ガイドに
よっても、解決される。
エハー・プローバー・チャック用ガイド、すなわち、垂
直方向に伸びる円柱状空間を有する本体と、当該円柱状
空間中に挿入されるθ微回転ケースであって、当該本体
に対して、回転軸受を介して水平面内で微回転可能な中
空円筒状のθ微回転ケースと、当該θ微回転ケースの中
空部に挿入されるＺ微動シリンダーであって、当該θ微
回転ケースに対して、直動軸受を介して、鉛直方向に直
動可能な円筒形状のＺ微動シリンダーと、を備えたウエ
ハー・プローバー・チャック用ガイドにおいて、当該Ｚ
微動シリンダーの外側面に、その軸に沿って軸対称に、
２つの平面が９０°の角度をなす第１の直角溝４本を設
け、かつ、当該第１の直角溝の中間に第１の半円形溝４
本を設け、当該θ微回転ケースの内側面に、その軸に沿
って軸対称に、２つの平面が９０°の角度をなす第２の
直角溝４本を設け、かつ、当該第２の直角溝の中間に第
２の半円形溝４本を設け、当該第１の直角溝と当該第２
の直角溝とを対向させて、正方形柱状の空間を形成し、
当該第１の半円形溝と当該第２の半円形溝とを対向させ
て、円柱状の空間を形成し、正方形柱状の摺動部材４個
と、直線上に並べたボールベアリング列４列とを、それ
ぞれ、その長手方向が円筒の側線方向に一致するように
し、かつ、交互に４５°の中心角で配置し、結合部材に
よって、摺動部材とボールベアリング列とを互いに連結
して、円筒状としたリテーナーを直動軸受として用い、
当該Ｚ微動シリンダーと当該θ微回転ケースとの間に介
在させ、当該正方形柱状の空間に摺動部材を配置し、当
該円柱状の空間にボールベアリング列を配置することを
特徴とするウエハー・プローバー・チャック用ガイドに
よっても、解決される。
【００１８】さらに、上記問題点は、請求項４に記載の
ウエハー・プローバー・チャック用ガイド、すなわち、
垂直方向に伸びる円柱状空間を有する本体と、当該円柱
状空間中に挿入されるθ微回転ケースであって、当該本
体に対して、回転軸受を介して水平面内で微回転可能な
中空円筒状のθ微回転ケースと、当該θ微回転ケースの
中空部に挿入されるＺ微動シリンダーであって、当該θ
微回転ケースに対して、直動軸受を介して、鉛直方向に
直動可能な円筒形状のＺ微動シリンダーと、を備えたウ
エハー・プローバー・チャック用ガイドにおいて、当該
Ｚ微動シリンダーの外側面に、その軸に沿って軸対称
に、２つの平面が９０°の角度をなす第１の直角溝４本
を設け、かつ、当該第１の直角溝の中間に第１の平面部
４本を設け、当該θ微回転ケースの内側面に、その軸に
沿って軸対称に、２つの平面が９０°の角度をなす第２
の直角溝４本を設け、かつ、当該第２の直角溝の中間に
第２の平面部４本を設けて、当該第１の直角溝と当該第
２の直角溝とを対向させて、正方形柱状の空間を形成
し、当該第１の平面部と当該第２の平面部とを平行に対
向させ、正方形柱状の摺動部材４個と、長方形平板状の
フレームに対して、複数のニードル・ローラーを平行に
回転自在に配置して、フレームの長手方向へ直線摺動可
能としたニードル・ローラー・ベアリングのフレーム４
個とを、それぞれ、その長手方向が円筒の側線方向に一
致するようにし、かつ、交互に４５°の中心角で配置
し、結合部材によって、摺動部材とニードル・ローラー
・ベアリングのフレームの長辺とを互いに連結して、円
筒状としたリテーナーを直動軸受として用い、当該Ｚ微
動シリンダーと当該θ微回転ケースとの間に介在させ、
当該正方形柱状の空間に、摺動部材を配置し、当該対向
する平面部間にニードル・ローラー・ベアリングを配置
することを特徴とするウエハー・プローバー・チャック
用ガイドによっても、解決される。
ウエハー・プローバー・チャック用ガイド、すなわち、
垂直方向に伸びる円柱状空間を有する本体と、当該円柱
状空間中に挿入されるθ微回転ケースであって、当該本
体に対して、回転軸受を介して水平面内で微回転可能な
中空円筒状のθ微回転ケースと、当該θ微回転ケースの
中空部に挿入されるＺ微動シリンダーであって、当該θ
微回転ケースに対して、直動軸受を介して、鉛直方向に
直動可能な円筒形状のＺ微動シリンダーと、を備えたウ
エハー・プローバー・チャック用ガイドにおいて、当該
Ｚ微動シリンダーの外側面に、その軸に沿って軸対称
に、２つの平面が９０°の角度をなす第１の直角溝４本
を設け、かつ、当該第１の直角溝の中間に第１の平面部
４本を設け、当該θ微回転ケースの内側面に、その軸に
沿って軸対称に、２つの平面が９０°の角度をなす第２
の直角溝４本を設け、かつ、当該第２の直角溝の中間に
第２の平面部４本を設けて、当該第１の直角溝と当該第
２の直角溝とを対向させて、正方形柱状の空間を形成
し、当該第１の平面部と当該第２の平面部とを平行に対
向させ、正方形柱状の摺動部材４個と、長方形平板状の
フレームに対して、複数のニードル・ローラーを平行に
回転自在に配置して、フレームの長手方向へ直線摺動可
能としたニードル・ローラー・ベアリングのフレーム４
個とを、それぞれ、その長手方向が円筒の側線方向に一
致するようにし、かつ、交互に４５°の中心角で配置
し、結合部材によって、摺動部材とニードル・ローラー
・ベアリングのフレームの長辺とを互いに連結して、円
筒状としたリテーナーを直動軸受として用い、当該Ｚ微
動シリンダーと当該θ微回転ケースとの間に介在させ、
当該正方形柱状の空間に、摺動部材を配置し、当該対向
する平面部間にニードル・ローラー・ベアリングを配置
することを特徴とするウエハー・プローバー・チャック
用ガイドによっても、解決される。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態のウエハ
ー・プローバー・チャック用ガイドについて、添付図面
を参照して、詳細に説明する。
ー・プローバー・チャック用ガイドについて、添付図面
を参照して、詳細に説明する。
【００２０】実施形態１ 図１は、本発明の実施形態１のウエハー・プローバー・
チャック用ガイドにおけるθ微回転ケースの平面図であ
り、図２は同じく正面図である。
チャック用ガイドにおけるθ微回転ケースの平面図であ
り、図２は同じく正面図である。
【００２１】内側面に側線に沿って伸びる４本の隆起部
を中心軸のまわりに９０°の角度間隔で配置した中空円
筒形状の原材料を用意する。例えば、ステンレス鋼管を
熱間押し出し加工あるいは冷間押し出し加工した後に、
中心軸方向に所定寸法ずつ切断して、当該原材料を得る
ことができる。
を中心軸のまわりに９０°の角度間隔で配置した中空円
筒形状の原材料を用意する。例えば、ステンレス鋼管を
熱間押し出し加工あるいは冷間押し出し加工した後に、
中心軸方向に所定寸法ずつ切断して、当該原材料を得る
ことができる。
【００２２】当該原材料を切削加工、放電加工、研削加
工または研磨加工することによって、θ微回転ケース７
を得た。θ微回転ケース７の主要部分は円筒形であり、
下方に第１フランジ及び第２フランジが設けてあり、さ
らに下方には主要部分と同一径の円筒形の下方部分があ
り、下端は段差部が削り込まれている。すなわち、主要
部分は上面７０１及び外側面７０２を有し、第１フラン
ジは上面７０３及び外側面７０４を有し、第２フランジ
は上面７０５、外側面７０６及び下面７０７を有し、下
方部は外側面７０８及び下面７０９を有し、下端は外側
面７１０及び下面７１１を有する。
工または研磨加工することによって、θ微回転ケース７
を得た。θ微回転ケース７の主要部分は円筒形であり、
下方に第１フランジ及び第２フランジが設けてあり、さ
らに下方には主要部分と同一径の円筒形の下方部分があ
り、下端は段差部が削り込まれている。すなわち、主要
部分は上面７０１及び外側面７０２を有し、第１フラン
ジは上面７０３及び外側面７０４を有し、第２フランジ
は上面７０５、外側面７０６及び下面７０７を有し、下
方部は外側面７０８及び下面７０９を有し、下端は外側
面７１０及び下面７１１を有する。
【００２３】内側面７２０に形成した４本の隆起部に、
それぞれ、２つ平面７２３、７２４；７２７、７２８；
７３１、７３２；及び７３５、７３６が、それぞれ、９
０°の角度をなす第２の直角溝４本が精密加工されてい
る。第２の直角溝のなす９０°の角の二等分線ＡＯ、Ｃ
Ｏ、ＥＯ及びＧＯはいずれもθ微回転ケース７の対称軸
Ｏを通り、対称軸Ｏのまわりに９０°間隔に点対称的に
配置されている。
それぞれ、２つ平面７２３、７２４；７２７、７２８；
７３１、７３２；及び７３５、７３６が、それぞれ、９
０°の角度をなす第２の直角溝４本が精密加工されてい
る。第２の直角溝のなす９０°の角の二等分線ＡＯ、Ｃ
Ｏ、ＥＯ及びＧＯはいずれもθ微回転ケース７の対称軸
Ｏを通り、対称軸Ｏのまわりに９０°間隔に点対称的に
配置されている。
【００２４】また、θ微回転ケース７の上面７０１に
は、不図示の位置センサー等の部品を取り付けるための
ネジ穴７４０、７４１、７４２及び７４３が穿ってあ
る。
は、不図示の位置センサー等の部品を取り付けるための
ネジ穴７４０、７４１、７４２及び７４３が穿ってあ
る。
【００２５】図３は本発明の実施形態１のウエハー・プ
ローバー・チャック用ガイドにおけるＺ微動シリンダー
の平面図であり、図４はそのＡ−Ａ断面図であり、図５
はその裏面図である。本実施形態においては、Ｚ微動シ
リンダー８は、およそ有底中空円筒形であり、上底８０
１の中央には円形貫通孔８０２が形成されている。そし
て、上端以外の部分は、外側面８０３、下面８０４及び
内側面８０５を有する中空円筒形であり、下端開口８１
０は円形である。下方には、外側面８０３から内側面８
０５へ垂直に貫通する円形孔８０６、８０７、８０８、
８０９がＺ微動シリンダー８の中心軸Ｐのまわりに９０
°の角度間隔で配置されている。Ｚ微動シリンダー８の
外側面８０３には、２つの平面８２３、８２４；８２
７、８２８；８３１、８３２；８３５、８３６が、それ
ぞれ、９０°の角度をなす第１の直角溝４本が精密加工
されている。第１の直角溝のなす９０°の角の二等分線
はいずれもＺ微動シリンダー８の対称軸Ｐを通り、対称
軸Ｐのまわりに９０°間隔に点対称的に配置されてい
る。さらに、Ｚ微動シリンダー８の上底８０１には、不
図示のステージ取付用のネジ穴や位置センサー取付用の
ネジ穴が形成されている。また、Ｚ微動シリンダー８の
下面８０４には、不図示のステッピング・モーター等の
駆動装置と連結するための不図示のロッドを取り付ける
ためのネジ穴が形成されている。
ローバー・チャック用ガイドにおけるＺ微動シリンダー
の平面図であり、図４はそのＡ−Ａ断面図であり、図５
はその裏面図である。本実施形態においては、Ｚ微動シ
リンダー８は、およそ有底中空円筒形であり、上底８０
１の中央には円形貫通孔８０２が形成されている。そし
て、上端以外の部分は、外側面８０３、下面８０４及び
内側面８０５を有する中空円筒形であり、下端開口８１
０は円形である。下方には、外側面８０３から内側面８
０５へ垂直に貫通する円形孔８０６、８０７、８０８、
８０９がＺ微動シリンダー８の中心軸Ｐのまわりに９０
°の角度間隔で配置されている。Ｚ微動シリンダー８の
外側面８０３には、２つの平面８２３、８２４；８２
７、８２８；８３１、８３２；８３５、８３６が、それ
ぞれ、９０°の角度をなす第１の直角溝４本が精密加工
されている。第１の直角溝のなす９０°の角の二等分線
はいずれもＺ微動シリンダー８の対称軸Ｐを通り、対称
軸Ｐのまわりに９０°間隔に点対称的に配置されてい
る。さらに、Ｚ微動シリンダー８の上底８０１には、不
図示のステージ取付用のネジ穴や位置センサー取付用の
ネジ穴が形成されている。また、Ｚ微動シリンダー８の
下面８０４には、不図示のステッピング・モーター等の
駆動装置と連結するための不図示のロッドを取り付ける
ためのネジ穴が形成されている。
【００２６】図６は、本発明の実施形態１のウエハー・
プローバー・チャック用ガイドにおけるリテーナーの平
面概略図である。対称軸Ｏのまわりに９０°の角度間隔
で正方形柱状摺動部材３３１、３３２、３３３、３３４
が配置され、正方形柱状摺動部材の中間位置に対称軸Ｏ
のまわりに９０°の角度間隔でボールベアリング列２４
１、２４２、２４３、２４４が配置され、その間を連結
材９７１、９７２、９７３、９７４、９７５、９７６、
９７７、９７８によって連結されて円筒状となってい
る。ボールベアリング列２４１、２４２、２４３、２４
４は、無限循環ボールベアリングを略円筒状のリテーナ
ーの側線に沿って配列したものでもよいし、あるいは、
各ボールベアリングを略円筒状のリテーナーの側線に沿
って配列し回転自在にリテーナーに保持してもよい。あ
るいは、長方形平板状のフレームに所定形状の窓を加工
し、当該窓に球状のボールベアリングを回転自在に保持
したものを、ボールベアリング列２４１、２４２、２４
３、２４４として、用いてもよい。
プローバー・チャック用ガイドにおけるリテーナーの平
面概略図である。対称軸Ｏのまわりに９０°の角度間隔
で正方形柱状摺動部材３３１、３３２、３３３、３３４
が配置され、正方形柱状摺動部材の中間位置に対称軸Ｏ
のまわりに９０°の角度間隔でボールベアリング列２４
１、２４２、２４３、２４４が配置され、その間を連結
材９７１、９７２、９７３、９７４、９７５、９７６、
９７７、９７８によって連結されて円筒状となってい
る。ボールベアリング列２４１、２４２、２４３、２４
４は、無限循環ボールベアリングを略円筒状のリテーナ
ーの側線に沿って配列したものでもよいし、あるいは、
各ボールベアリングを略円筒状のリテーナーの側線に沿
って配列し回転自在にリテーナーに保持してもよい。あ
るいは、長方形平板状のフレームに所定形状の窓を加工
し、当該窓に球状のボールベアリングを回転自在に保持
したものを、ボールベアリング列２４１、２４２、２４
３、２４４として、用いてもよい。
【００２７】本実施形態１においては、正方形柱状摺動
部材とボールベアリング列を交互に並べたリテーナーを
介在させて、θ微回転ケース７の中空部に、Ｚ微動シリ
ンダー８を挿入してウエハー・プローバー・チャック用
ガイドを構成している。そして、Ｚ微動シリンダー８の
外側面に形成した４本の第１の直角溝とθ微回転ケース
７の内側面に形成した４本の第２の直角溝とは、それぞ
れ、対向させて、正方形柱状の空間を形成する。この正
方形柱状の空間中に正方形柱状摺動部材が位置する。各
正方形柱状摺動部材の四面は、第１の直角溝の一平面及
び第２の直角溝の平面に面接触して摺動する。また、Ｚ
微動シリンダー８の外側面とθ微回転ケース７の内側面
との間にボールベアリング列は位置する。各ボールベア
リングはＺ微動シリンダー８の外側面及びθ微回転ケー
ス７の内側面に点接触しつつ転動する。したがって、Ｚ
微動シリンダーとθ微回転ケースとの距離は常に精密に
一定に保たれて、かつ、θ方向の移動は押さえられつ
つ、平行直線運動を行うことができる。また、第１の直
角溝の角の二等分線及び第２の直角溝の角の二等分線
は、ウエハー・プローバー・チャック用ガイドを組立て
た後は、共通の中心軸を通るので、組立てることにより
位置合せや芯合せが自動的に行われ、かつ、運動中も芯
が合った状態に保たれる。
部材とボールベアリング列を交互に並べたリテーナーを
介在させて、θ微回転ケース７の中空部に、Ｚ微動シリ
ンダー８を挿入してウエハー・プローバー・チャック用
ガイドを構成している。そして、Ｚ微動シリンダー８の
外側面に形成した４本の第１の直角溝とθ微回転ケース
７の内側面に形成した４本の第２の直角溝とは、それぞ
れ、対向させて、正方形柱状の空間を形成する。この正
方形柱状の空間中に正方形柱状摺動部材が位置する。各
正方形柱状摺動部材の四面は、第１の直角溝の一平面及
び第２の直角溝の平面に面接触して摺動する。また、Ｚ
微動シリンダー８の外側面とθ微回転ケース７の内側面
との間にボールベアリング列は位置する。各ボールベア
リングはＺ微動シリンダー８の外側面及びθ微回転ケー
ス７の内側面に点接触しつつ転動する。したがって、Ｚ
微動シリンダーとθ微回転ケースとの距離は常に精密に
一定に保たれて、かつ、θ方向の移動は押さえられつ
つ、平行直線運動を行うことができる。また、第１の直
角溝の角の二等分線及び第２の直角溝の角の二等分線
は、ウエハー・プローバー・チャック用ガイドを組立て
た後は、共通の中心軸を通るので、組立てることにより
位置合せや芯合せが自動的に行われ、かつ、運動中も芯
が合った状態に保たれる。
【００２８】Ｚ微動シリンダーの材質としては、ステン
レス鋼や高速度鋼を用いることができるが、高速移動や
高精度移動を図るためには、超硬焼合金を用いるのが好
ましい。
レス鋼や高速度鋼を用いることができるが、高速移動や
高精度移動を図るためには、超硬焼合金を用いるのが好
ましい。
【００２９】ボールベアリング・フレームのフレームの
材質としては、ステンレス鋼板を用いることができる
が、２分割式の樹脂ケースを用いてもよい。
材質としては、ステンレス鋼板を用いることができる
が、２分割式の樹脂ケースを用いてもよい。
【００３０】実施形態２ 図７は、本発明の実施形態２のウエハー・プローバー・
チャック用ガイドにおけるθ微回転ケースの平面図であ
り、図８は同じく正面図である。
チャック用ガイドにおけるθ微回転ケースの平面図であ
り、図８は同じく正面図である。
【００３１】内側面に側線に沿って伸びる８本の隆起部
を中心軸のまわりに４５°の角度間隔で配置した中空円
筒形状の原材料を用意する。例えば、ステンレス鋼管を
熱間押し出し加工あるいは冷間押し出し加工した後に、
中心軸方向に所定寸法ずつ切断して、当該原材料を得る
ことができる。
を中心軸のまわりに４５°の角度間隔で配置した中空円
筒形状の原材料を用意する。例えば、ステンレス鋼管を
熱間押し出し加工あるいは冷間押し出し加工した後に、
中心軸方向に所定寸法ずつ切断して、当該原材料を得る
ことができる。
【００３２】当該原材料を切削加工、放電加工、研削加
工または研磨加工することによって、θ微回転ケース７
を得た。θ微回転ケース７の主要部分は円筒形であり、
下方に第１フランジ及び第２フランジが設けてあり、さ
らに下方には主要部分と同一径の円筒形の下方部分があ
り、下端は段差部が削り込まれている。すなわち、主要
部分は上面７０１及び外側面７０２を有し、第１フラン
ジは上面７０３及び外側面７０４を有し、第２フランジ
は上面７０５、外側面７０６及び下面７０７を有し、下
方部は外側面７０８及び下面７０９を有し、下端は外側
面７１０及び下面７１１を有する。
工または研磨加工することによって、θ微回転ケース７
を得た。θ微回転ケース７の主要部分は円筒形であり、
下方に第１フランジ及び第２フランジが設けてあり、さ
らに下方には主要部分と同一径の円筒形の下方部分があ
り、下端は段差部が削り込まれている。すなわち、主要
部分は上面７０１及び外側面７０２を有し、第１フラン
ジは上面７０３及び外側面７０４を有し、第２フランジ
は上面７０５、外側面７０６及び下面７０７を有し、下
方部は外側面７０８及び下面７０９を有し、下端は外側
面７１０及び下面７１１を有する。
【００３３】内側面７２０に形成した８本の隆起部のう
ち１つおきの４本の隆起部に、それぞれ、２つ平面７２
３、７２４；７２７、７２８；７３１、７３２；及び７
３５、７３６が、それぞれ、９０°の角度をなす第２の
直角溝４本が精密加工されている。第２の直角溝のなす
９０°の角の二等分線ＡＯ、ＣＯ、ＥＯ及びＧＯはいず
れもθ微回転ケース７の対称軸Ｏを通り、対称軸Ｏのま
わりに９０°間隔に点対称的に配置されている。また、
残りの隆起部の頂面に第２の平面７５１、７５２、７５
３、７５４が精密加工されている。第２の平面の垂直二
等分線は、いずれもθ微回転ケース７の対称軸Ｏを通
り、対称軸Ｏのまわりに９０°間隔に点対称的に配置さ
れている。
ち１つおきの４本の隆起部に、それぞれ、２つ平面７２
３、７２４；７２７、７２８；７３１、７３２；及び７
３５、７３６が、それぞれ、９０°の角度をなす第２の
直角溝４本が精密加工されている。第２の直角溝のなす
９０°の角の二等分線ＡＯ、ＣＯ、ＥＯ及びＧＯはいず
れもθ微回転ケース７の対称軸Ｏを通り、対称軸Ｏのま
わりに９０°間隔に点対称的に配置されている。また、
残りの隆起部の頂面に第２の平面７５１、７５２、７５
３、７５４が精密加工されている。第２の平面の垂直二
等分線は、いずれもθ微回転ケース７の対称軸Ｏを通
り、対称軸Ｏのまわりに９０°間隔に点対称的に配置さ
れている。
【００３４】また、θ微回転ケース７の上面７０１に
は、不図示の位置センサー等の部品を取り付けるための
ネジ穴７４０、７４１、７４２及び７４３が穿ってあ
る。
は、不図示の位置センサー等の部品を取り付けるための
ネジ穴７４０、７４１、７４２及び７４３が穿ってあ
る。
【００３５】図９は本発明の実施形態２のウエハー・プ
ローバー・チャック用ガイドにおけるＺ微動シリンダー
の平面図であり、図１０はそのＡ−Ａ断面図であり、図
１１はその裏面図である。本実施形態２においては、Ｚ
微動シリンダー８は、およそ有底中空円筒形であり、上
底８０１の中央には円形貫通孔８０２が形成されてい
る。そして、上端以外の部分は、外側面８０３、下面８
０４及び内側面８０５を有する中空円筒形であり、下端
開口８１０は円形である。下方には、外側面８０３から
内側面８０５へ垂直に貫通する円形孔８０６、８０７、
８０８、８０９がＺ微動シリンダー８の中心軸Ｐのまわ
りに９０°の角度間隔で配置されている。Ｚ微動シリン
ダー８の外側面８０３には、２つの平面８２３、８２
４；８２７、８２８；８３１、８３２；８３５、８３６
が、それぞれ、９０°の角度をなす第１の直角溝４本及
び頂面が平面をなす第１の平面８４１、８４２、８４
３、８４４が精密加工されている。第１の直角溝のなす
９０°の角の二等分線はいずれもＺ微動シリンダー８の
対称軸Ｐを通り、対称軸Ｐのまわりに９０°間隔に点対
称的に配置されている。また、第２の平面の垂直二等分
線は、いずれもθ微回転ケース７の対称軸Ｏを通り、対
称軸Ｏのまわりに９０°間隔に点対称的に配置されてい
る。さらに、Ｚ微動シリンダー８の上底８０１には、不
図示のステージ取付用のネジ穴や位置センサー取付用の
ネジ穴が形成されている。また、Ｚ微動シリンダー８の
下面８０４には、不図示のステッピング・モーター等の
駆動装置と連結するための不図示のロッドを取り付ける
ためのネジ穴が形成されている。
ローバー・チャック用ガイドにおけるＺ微動シリンダー
の平面図であり、図１０はそのＡ−Ａ断面図であり、図
１１はその裏面図である。本実施形態２においては、Ｚ
微動シリンダー８は、およそ有底中空円筒形であり、上
底８０１の中央には円形貫通孔８０２が形成されてい
る。そして、上端以外の部分は、外側面８０３、下面８
０４及び内側面８０５を有する中空円筒形であり、下端
開口８１０は円形である。下方には、外側面８０３から
内側面８０５へ垂直に貫通する円形孔８０６、８０７、
８０８、８０９がＺ微動シリンダー８の中心軸Ｐのまわ
りに９０°の角度間隔で配置されている。Ｚ微動シリン
ダー８の外側面８０３には、２つの平面８２３、８２
４；８２７、８２８；８３１、８３２；８３５、８３６
が、それぞれ、９０°の角度をなす第１の直角溝４本及
び頂面が平面をなす第１の平面８４１、８４２、８４
３、８４４が精密加工されている。第１の直角溝のなす
９０°の角の二等分線はいずれもＺ微動シリンダー８の
対称軸Ｐを通り、対称軸Ｐのまわりに９０°間隔に点対
称的に配置されている。また、第２の平面の垂直二等分
線は、いずれもθ微回転ケース７の対称軸Ｏを通り、対
称軸Ｏのまわりに９０°間隔に点対称的に配置されてい
る。さらに、Ｚ微動シリンダー８の上底８０１には、不
図示のステージ取付用のネジ穴や位置センサー取付用の
ネジ穴が形成されている。また、Ｚ微動シリンダー８の
下面８０４には、不図示のステッピング・モーター等の
駆動装置と連結するための不図示のロッドを取り付ける
ためのネジ穴が形成されている。
【００３６】図１２は、本発明の実施形態２のウエハー
・プローバー・チャック用ガイドにおけるリテーナーの
平面概略図である。対称軸Ｏのまわりに９０°の角度間
隔で正方形柱状摺動部材３３１、３３２、３３３、３３
４が配置され、正方形柱状摺動部材の中間位置に対称軸
Ｏのまわりに９０°の角度間隔でニードルベアリング列
４５１、４５２、４５３、４５４が配置され、その間を
連結材９７１、９７２、９７３、９７４、９７５、９７
６、９７７、９７８によって連結されて円筒状となって
いる。ニードルベアリング列４５１、４５２、４５３、
４５４は、各ニードルベアリングを略円筒状のリテーナ
ーの側線に沿って配列し回転自在にリテーナーに保持し
てもよし、あるいは、長方形平板状のフレームに所定形
状の窓を加工し、当該窓に針状あるいは小径円柱状のニ
ードルベアリングを回転自在に保持したものを、ニード
ルベアリング列４５１、４５２、４５３、４５４とし
て、用いてもよい。
・プローバー・チャック用ガイドにおけるリテーナーの
平面概略図である。対称軸Ｏのまわりに９０°の角度間
隔で正方形柱状摺動部材３３１、３３２、３３３、３３
４が配置され、正方形柱状摺動部材の中間位置に対称軸
Ｏのまわりに９０°の角度間隔でニードルベアリング列
４５１、４５２、４５３、４５４が配置され、その間を
連結材９７１、９７２、９７３、９７４、９７５、９７
６、９７７、９７８によって連結されて円筒状となって
いる。ニードルベアリング列４５１、４５２、４５３、
４５４は、各ニードルベアリングを略円筒状のリテーナ
ーの側線に沿って配列し回転自在にリテーナーに保持し
てもよし、あるいは、長方形平板状のフレームに所定形
状の窓を加工し、当該窓に針状あるいは小径円柱状のニ
ードルベアリングを回転自在に保持したものを、ニード
ルベアリング列４５１、４５２、４５３、４５４とし
て、用いてもよい。
【００３７】本実施形態２においては、正方形柱状摺動
部材とニードルベアリング列を交互に並べたリテーナー
を介在させて、θ微回転ケース７の中空部に、Ｚ微動シ
リンダー８を挿入してウエハー・プローバー・チャック
用ガイドを構成している。そして、Ｚ微動シリンダー８
の外側面に形成した４本の第１の直角溝とθ微回転ケー
ス７の内側面に形成した４本の第２の直角溝とは、それ
ぞれ、対面して、正方形柱状の空間を形成する。この正
方形柱状の空間中に正方形柱状摺動部材が位置する。各
正方形柱状摺動部材の四面は、第１の直角溝の平面及び
第２の直角溝の平面に面接触して摺動する。また、Ｚ微
動シリンダー８の外側面に形成した４本の第１の平面と
θ微回転ケース７の内側面に形成した４本の第２の平面
とは、それぞれ、平行に対面し、この間にニードルベア
リング列が位置する。各ニードルベアリングはＺ微動シ
リンダー８の第１の平面及びθ微回転ケース７の第２の
平面に線接触しつつ転動する。したがって、Ｚ微動シリ
ンダーとθ微回転ケースとの距離は常に精密に一定に保
たれ、かつ、θ方向の移動は押さえられつつ、平行直線
運動を行うことができる。また、第１の直角溝の角の二
等分線及び第２の直角溝の角の二等分線は、ウエハー・
プローバー・チャック用ガイドを組立てた後は、共通の
中心軸を通るので、組立てることにより位置合せや芯合
せが自動的に行われ、かつ、運動中も芯が合った状態に
保たれる。
部材とニードルベアリング列を交互に並べたリテーナー
を介在させて、θ微回転ケース７の中空部に、Ｚ微動シ
リンダー８を挿入してウエハー・プローバー・チャック
用ガイドを構成している。そして、Ｚ微動シリンダー８
の外側面に形成した４本の第１の直角溝とθ微回転ケー
ス７の内側面に形成した４本の第２の直角溝とは、それ
ぞれ、対面して、正方形柱状の空間を形成する。この正
方形柱状の空間中に正方形柱状摺動部材が位置する。各
正方形柱状摺動部材の四面は、第１の直角溝の平面及び
第２の直角溝の平面に面接触して摺動する。また、Ｚ微
動シリンダー８の外側面に形成した４本の第１の平面と
θ微回転ケース７の内側面に形成した４本の第２の平面
とは、それぞれ、平行に対面し、この間にニードルベア
リング列が位置する。各ニードルベアリングはＺ微動シ
リンダー８の第１の平面及びθ微回転ケース７の第２の
平面に線接触しつつ転動する。したがって、Ｚ微動シリ
ンダーとθ微回転ケースとの距離は常に精密に一定に保
たれ、かつ、θ方向の移動は押さえられつつ、平行直線
運動を行うことができる。また、第１の直角溝の角の二
等分線及び第２の直角溝の角の二等分線は、ウエハー・
プローバー・チャック用ガイドを組立てた後は、共通の
中心軸を通るので、組立てることにより位置合せや芯合
せが自動的に行われ、かつ、運動中も芯が合った状態に
保たれる。
【００３８】Ｚ微動シリンダーの材質としては、ステン
レス鋼や高速度鋼を用いることができるが、高速移動や
高精度移動を図るためには、超硬焼合金を用いるのが好
ましい。
レス鋼や高速度鋼を用いることができるが、高速移動や
高精度移動を図るためには、超硬焼合金を用いるのが好
ましい。
【００３９】ボールベアリング・フレームのフレームの
材質としては、ステンレス鋼板を用いることができる
が、２分割式の樹脂ケースを用いてもよい。
材質としては、ステンレス鋼板を用いることができる
が、２分割式の樹脂ケースを用いてもよい。
【００４０】実施形態１及び２における正方形柱状摺動
部材の材質としては、炭素繊維分散樹脂、ガラス繊維分
散樹脂、エポキシ樹脂、エンプラ樹脂、ナイロン、セラ
ミックス、金属粉焼結体などを用いることができる。
部材の材質としては、炭素繊維分散樹脂、ガラス繊維分
散樹脂、エポキシ樹脂、エンプラ樹脂、ナイロン、セラ
ミックス、金属粉焼結体などを用いることができる。
【００４１】
【００４２】第１の本発明のウエハー・プローバー・チ
ャック用ガイドによれば、ボールベアリング列及び正方
形柱状摺動部材を介してＺ微動シリンダーとθ微回転ケ
ースとを相互に並行運動させるものであるから、比較的
安価で、Ｚ方向精度を格段に向上でき、かつ、剛性が大
変に高くなり、衝撃力を受けてもガタが生じにくいとい
う効果が得られる。
ャック用ガイドによれば、ボールベアリング列及び正方
形柱状摺動部材を介してＺ微動シリンダーとθ微回転ケ
ースとを相互に並行運動させるものであるから、比較的
安価で、Ｚ方向精度を格段に向上でき、かつ、剛性が大
変に高くなり、衝撃力を受けてもガタが生じにくいとい
う効果が得られる。
【００４３】第２の本発明のウエハー・プローバー・チ
ャック用ガイドによれば、直角溝の中間位置に半円形溝
を設け、第１及び第２の半円形溝を対向させて円柱状の
空間を形成し、その空間にボールベアリングを配置する
ものであるから、ボールベアリングＺ微動シリンダーの
第１の半円形溝及びθ回転ケースの第２の半円形溝に各
ボールベアリングが線接触しており、ウエハー・プロー
バーの剛性が向上するという効果が得られる。
ャック用ガイドによれば、直角溝の中間位置に半円形溝
を設け、第１及び第２の半円形溝を対向させて円柱状の
空間を形成し、その空間にボールベアリングを配置する
ものであるから、ボールベアリングＺ微動シリンダーの
第１の半円形溝及びθ回転ケースの第２の半円形溝に各
ボールベアリングが線接触しており、ウエハー・プロー
バーの剛性が向上するという効果が得られる。
【００４４】第３の本発明のウエハー・プローバー・チ
ャック用ガイドによれば、ニードルベアリング列及び正
方形柱状摺動部材を介してＺ微動シリンダーとθ微回転
ケースとを相互に並行運動させるものであるから、比較
的安価で、Ｚ方向精度を格段に向上でき、かつ、剛性が
大変に高くなり、衝撃力を受けてもガタが生じにくいと
いう効果が得られる。
ャック用ガイドによれば、ニードルベアリング列及び正
方形柱状摺動部材を介してＺ微動シリンダーとθ微回転
ケースとを相互に並行運動させるものであるから、比較
的安価で、Ｚ方向精度を格段に向上でき、かつ、剛性が
大変に高くなり、衝撃力を受けてもガタが生じにくいと
いう効果が得られる。
【００４５】第１、第２及び第３の本発明のウエハー・
プローバー・チャック用ガイドによれば、Ｚ微動シリン
ダーに第１の直角溝を形成し、θ微回転ケースに第２の
直角溝を形成し、これらの直角溝を対向させて正方形柱
状空間を形成し、この空間に正方形柱状摺動部材を介在
させるものであるから、ウエハー・プローバーのθ方向
のガタはほとんど生じなくなり、θ方向精度が向上する
という効果が得られる。また、第１及び第２の本発明に
よれば、正方形柱状摺動部材が第１の直角溝の両平面及
び第２の直角溝の両平面に面接触するものであるから、
ウエハー・プローバーの剛性が向上し、大きな荷重がか
かっても変形しにくく、大径の半導体ウエハーにも使用
することができるという効果がある。
プローバー・チャック用ガイドによれば、Ｚ微動シリン
ダーに第１の直角溝を形成し、θ微回転ケースに第２の
直角溝を形成し、これらの直角溝を対向させて正方形柱
状空間を形成し、この空間に正方形柱状摺動部材を介在
させるものであるから、ウエハー・プローバーのθ方向
のガタはほとんど生じなくなり、θ方向精度が向上する
という効果が得られる。また、第１及び第２の本発明に
よれば、正方形柱状摺動部材が第１の直角溝の両平面及
び第２の直角溝の両平面に面接触するものであるから、
ウエハー・プローバーの剛性が向上し、大きな荷重がか
かっても変形しにくく、大径の半導体ウエハーにも使用
することができるという効果がある。
【００４６】第１、第２及び第３の本発明のウエハー・
プローバー・チャック用ガイドは、組立てる際の、θ微
回転ケースとＺ微動シリンダーの共通の対称軸を、θ微
回転ケース及びＺ微動シリンダーの各直角溝の角の二等
分線が通過するように配置されているものであるから、
組立て時に、位置合せ芯合せが自動的に行われ、組立作
業が容易であり、組立て精度が優れているとともに、ウ
エハー・プローバー・チャック用ガイドの運転中も常に
芯が合う方向へ自動的に向かうので、ウエハー・プロー
バー・チャック用ガイド使用時の精度も高いという効果
がある。
プローバー・チャック用ガイドは、組立てる際の、θ微
回転ケースとＺ微動シリンダーの共通の対称軸を、θ微
回転ケース及びＺ微動シリンダーの各直角溝の角の二等
分線が通過するように配置されているものであるから、
組立て時に、位置合せ芯合せが自動的に行われ、組立作
業が容易であり、組立て精度が優れているとともに、ウ
エハー・プローバー・チャック用ガイドの運転中も常に
芯が合う方向へ自動的に向かうので、ウエハー・プロー
バー・チャック用ガイド使用時の精度も高いという効果
がある。
【図１】本発明の実施形態１のウエハー・プローバー・
チャック用ガイドにおけるθ微回転ケースの平面図であ
る。
チャック用ガイドにおけるθ微回転ケースの平面図であ
る。
【図２】本発明の実施形態１のウエハー・プローバー・
チャック用ガイドにおけるθ微回転ケースの正面図であ
る。
チャック用ガイドにおけるθ微回転ケースの正面図であ
る。
【図３】本発明の実施形態１のウエハー・プローバー・
チャック用ガイドにおけるＺ微動シリンダーの平面図で
ある。
チャック用ガイドにおけるＺ微動シリンダーの平面図で
ある。
【図４】図３におけるＡ−Ａ断面図である。
【図５】本発明の実施形態１のウエハー・プローバー・
チャック用ガイドにおけるＺ微動シリンダーの裏面図で
ある。
チャック用ガイドにおけるＺ微動シリンダーの裏面図で
ある。
【図６】本発明の実施形態１のリテーナーの平面概略図
である。
である。
【図７】本発明の実施形態２のウエハー・プローバー・
チャック用ガイドにおけるθ微回転ケースの平面図であ
る。
チャック用ガイドにおけるθ微回転ケースの平面図であ
る。
【図８】本発明の実施形態２のウエハー・プローバー・
チャック用ガイドにおけるθ微回転ケースの正面図であ
る。
チャック用ガイドにおけるθ微回転ケースの正面図であ
る。
【図９】本発明の実施形態１のウエハー・プローバー・
チャック用ガイドにおけるＺ微動シリンダーの平面図で
ある。
チャック用ガイドにおけるＺ微動シリンダーの平面図で
ある。
【図１０】図９におけるＡ−Ａ断面図である。
【図１１】本発明の実施形態２のウエハー・プローバー
・チャック用ガイドにおけるＺ微動シリンダーの裏面図
である。
・チャック用ガイドにおけるＺ微動シリンダーの裏面図
である。
【図１２】本発明の実施形態２のリテーナーの平面概略
図である。
図である。
【図１３】プローバーの概略図である。
１０１ 前板 １０２ 右
側板 １０３ 背板 １０４ 左
側板 １０５ 上板 １０６ 底
板 １０８ 把手 １０９ 蝶
番 １１０ 蝶番 １１１ 左
前板 １１２ 右前板 １１３ 右
側板 １１４ 背板 １１５ 左
側板 １１６ 上板 １１７ ア
ジャスター・ネジ １１８ アジャスター・ネジ １１９ ア
ジャスター・ネジ １２０ アジャスター・ネジ １３０ ド
ア ２０ Ｚ微動シリンダー ２０１ 外
側面 ２０２ 上面 ２０４ 下
面 ２０６ 内側面 ２１ θ微
回転ケース ２１１ 外側面 ２１２ 上
面 ２１３ 下面 ２１４ 内
側面 ２４１ ボールベアリング列 ２４２ ボ
ールベアリング列 ２４３ ボールベアリング列 ２４４ ボ
ールベアリング列 ３０２ 円筒部 ３０３ フ
ランジ部 ３３１ 正方形柱状摺動部材 ３３２ 正
方形柱状摺動部材 ３３３ 正方形柱状摺動部材 ３３４ 正
方形柱状摺動部材 ４５１ ニードルベアリング列 ４５２ ニ
ードルベアリング列 ４５３ ニードルベアリング列 ４５４ ニ
ードルベアリング列 ５ ステージ ５０１ 連
結部 ５０２ ステージ部 ６ 半導体
ウエハー ７ θ微回転ケース ７０１ 上
面 ７０２ 外側面 ７０３ 上
面 ７０４ 外側面 ７０５ 上
面 ７０６ 外側面 ７０７ 下
面 ７０８ 外側面 ７０９ 下
面 ７１０ 外側面 ７１１ 下
面 ７２０ 内側面 ７２３ 平
面 ７２４ 平面 ７２７ 平
面 ７２８ 平面 ７３１ 平
面 ７３２ 平面 ７３５ 平
面 ７３６ 平面 ７４０ ネ
ジ穴 ７４１ ネジ穴 ７４２ ネ
ジ穴 ７４３ ネジ穴 ７５１ 第
２の平面 ７５２ 第２の平面 ７５３ 第
２の平面 ７５４ 第２の平面 ８ Ｚ微動
シリンダー ８０１ 上底 ８０２ 円
形貫通孔 ８０３ 外側面 ８０４ 下
面 ８０５ 内側面 ８０６ 円
形孔 ８０７ 円形孔 ８０８ 円
形孔 ８０９ 円形孔 ８１０ 下
端開孔 ８２３ 平面 ８２４ 平
面 ８２７ 平面 ８２８ 平
面 ８３１ 平面 ８３２ 平
面 ８３５ 平面 ８３６ 平
面 ８４１ 第１の平面 ８４２ 第
１の平面 ８４３ 第１の平面 ８４４ 第
２の平面 ９７１ 連結材 ９７２ 連
結材 ９７３ 連結材 ９７４ 連
結材 ９７５ 連結材 ９７６ 連
結材 ９７７ 連結材 ９７８ 連
結材
側板 １０３ 背板 １０４ 左
側板 １０５ 上板 １０６ 底
板 １０８ 把手 １０９ 蝶
番 １１０ 蝶番 １１１ 左
前板 １１２ 右前板 １１３ 右
側板 １１４ 背板 １１５ 左
側板 １１６ 上板 １１７ ア
ジャスター・ネジ １１８ アジャスター・ネジ １１９ ア
ジャスター・ネジ １２０ アジャスター・ネジ １３０ ド
ア ２０ Ｚ微動シリンダー ２０１ 外
側面 ２０２ 上面 ２０４ 下
面 ２０６ 内側面 ２１ θ微
回転ケース ２１１ 外側面 ２１２ 上
面 ２１３ 下面 ２１４ 内
側面 ２４１ ボールベアリング列 ２４２ ボ
ールベアリング列 ２４３ ボールベアリング列 ２４４ ボ
ールベアリング列 ３０２ 円筒部 ３０３ フ
ランジ部 ３３１ 正方形柱状摺動部材 ３３２ 正
方形柱状摺動部材 ３３３ 正方形柱状摺動部材 ３３４ 正
方形柱状摺動部材 ４５１ ニードルベアリング列 ４５２ ニ
ードルベアリング列 ４５３ ニードルベアリング列 ４５４ ニ
ードルベアリング列 ５ ステージ ５０１ 連
結部 ５０２ ステージ部 ６ 半導体
ウエハー ７ θ微回転ケース ７０１ 上
面 ７０２ 外側面 ７０３ 上
面 ７０４ 外側面 ７０５ 上
面 ７０６ 外側面 ７０７ 下
面 ７０８ 外側面 ７０９ 下
面 ７１０ 外側面 ７１１ 下
面 ７２０ 内側面 ７２３ 平
面 ７２４ 平面 ７２７ 平
面 ７２８ 平面 ７３１ 平
面 ７３２ 平面 ７３５ 平
面 ７３６ 平面 ７４０ ネ
ジ穴 ７４１ ネジ穴 ７４２ ネ
ジ穴 ７４３ ネジ穴 ７５１ 第
２の平面 ７５２ 第２の平面 ７５３ 第
２の平面 ７５４ 第２の平面 ８ Ｚ微動
シリンダー ８０１ 上底 ８０２ 円
形貫通孔 ８０３ 外側面 ８０４ 下
面 ８０５ 内側面 ８０６ 円
形孔 ８０７ 円形孔 ８０８ 円
形孔 ８０９ 円形孔 ８１０ 下
端開孔 ８２３ 平面 ８２４ 平
面 ８２７ 平面 ８２８ 平
面 ８３１ 平面 ８３２ 平
面 ８３５ 平面 ８３６ 平
面 ８４１ 第１の平面 ８４２ 第
１の平面 ８４３ 第１の平面 ８４４ 第
２の平面 ９７１ 連結材 ９７２ 連
結材 ９７３ 連結材 ９７４ 連
結材 ９７５ 連結材 ９７６ 連
結材 ９７７ 連結材 ９７８ 連
結材
Claims (5)
- 【請求項１】垂直方向に伸びる円柱状空間を有する本体
と、 当該円柱状空間中に挿入されるθ微回転ケースであっ
て、当該本体に対して、回転軸受を介して水平面内で微
回転可能な中空円筒状のθ微回転ケースと、 当該θ微回転ケースの中空部に挿入されるＺ微動シリン
ダーであって、当該θ微回転ケースに対して、直動軸受
を介して、鉛直方向に直動可能な円筒形状のＺ微動シリ
ンダーと、を備えたウエハー・プローバー・チャック用
ガイドにおいて、 当該Ｚ微動シリンダーの外側面に、その軸に沿って軸対
称に、２つの平面が９０°の角度をなす第１の直角溝４
本を設け、当該θ微回転ケースの内側面に、その軸に沿
って軸対称に、２つの平面が９０°の角度をなす第２の
直角溝４本を設け、当該第１の直角溝と第２の直角溝と
を対向させて、正方形柱状の空間を形成し、 正方形柱状の摺動部材４個と、直線上に並べたボールベ
アリング列４列とを、それぞれ、その長手方向が円筒の
側線方向に一致するようにし、かつ、交互に４５°の中
心角で配置し、結合部材によって、摺動部材とボールベ
アリング列とを互いに連結して、円筒状としたリテーナ
ーを直動軸受として用い、当該Ｚ微動シリンダーと当該
θ微回転ケースとの間に介在させ、当該正方形柱状の空
間に摺動部材を配置することを特徴とするウエハー・プ
ローバー・チャック用ガイド。 - 【請求項２】垂直方向に伸びる円柱状空間を有する本体
と、 当該円柱状空間中に挿入されるθ微回転ケースであっ
て、当該本体に対して、回転軸受を介して水平面内で微
回転可能な中空円筒状のθ微回転ケースと、 当該θ微回転ケースの中空部に挿入されるＺ微動シリン
ダーであって、当該θ微回転ケースに対して、直動軸受
を介して、鉛直方向に直動可能な円筒形状のＺ微動シリ
ンダーと、を備えたウエハー・プローバー・チャック用
ガイドにおいて、 当該Ｚ微動シリンダーの外側面に、その軸に沿って軸対
称に、２つの平面が９０°の角度をなす第１の直角溝４
本を設け、かつ、当該第１の直角溝の中間に第１の半円
形溝４本を設け、当該θ微回転ケースの内側面に、その
軸に沿って軸対称に、２つの平面が９０°の角度をなす
第２の直角溝４本を設け、かつ、当該第２の直角溝の中
間に第２の半円形溝４本を設け、当該第１の直角溝と当
該第２の直角溝とを対向させて、正方形柱状の空間を形
成し、当該第１の半円形溝と当該第２の半円形溝とを対
向させて、円柱状の空間を形成し、 正方形柱状の摺動部材４個と、直線上に並べたボールベ
アリング列４列とを、それぞれ、その長手方向が円筒の
側線方向に一致するようにし、かつ、交互に４５°の中
心角で配置し、結合部材によって、摺動部材とボールベ
アリング列とを互いに連結して、円筒状としたリテーナ
ーを直動軸受として用い、当該Ｚ微動シリンダーと当該
θ微回転ケースとの間に介在させ、当該正方形柱状の空
間に摺動部材を配置し、当該円柱状の空間にボールベア
リング列を配置することを特徴とするウエハー・プロー
バー・チャック用ガイド。 - 【請求項３】上記ボールベアリングの一部または全部が
硬質ゴム、セラミックス、超硬合金を素材として製造さ
れていることを特徴とする請求項１または２に記載のウ
エハー・プローバー・チャック用ガイド。 - 【請求項４】垂直方向に伸びる円柱状空間を有する本体
と、 当該円柱状空間中に挿入されるθ微回転ケースであっ
て、当該本体に対して、回転軸受を介して水平面内で微
回転可能な中空円筒状のθ微回転ケースと、 当該θ微回転ケースの中空部に挿入されるＺ微動シリン
ダーであって、当該θ微回転ケースに対して、直動軸受
を介して、鉛直方向に直動可能な円筒形状のＺ微動シリ
ンダーと、を備えたウエハー・プローバー・チャック用
ガイドにおいて、 当該Ｚ微動シリンダーの外側面に、その軸に沿って軸対
称に、２つの平面が９０°の角度をなす第１の直角溝４
本を設け、かつ、当該第１の直角溝の中間に第１の平面
部４本を設け、当該θ微回転ケースの内側面に、その軸
に沿って軸対称に、２つの平面が９０°の角度をなす第
２の直角溝４本を設け、かつ、当該第２の直角溝の中間
に第２の平面部４本を設けて、当該第１の直角溝と当該
第２の直角溝とを対向させて、正方形柱状の空間を形成
し、当該第１の平面部と当該第２の平面部とを平行に対
向させ、 正方形柱状の摺動部材４個と、長方形平板状のフレーム
に対して、複数のニードル・ローラーを平行に回転自在
に配置して、フレームの長手方向へ直線摺動可能とした
ニードル・ローラー・ベアリングのフレーム４個とを、
それぞれ、その長手方向が円筒の側線方向に一致するよ
うにし、かつ、交互に４５°の中心角で配置し、結合部
材によって、摺動部材とニードル・ローラー・ベアリン
グのフレームの長辺とを互いに連結して、円筒状とした
リテーナーを直動軸受として用い、当該Ｚ微動シリンダ
ーと当該θ微回転ケースとの間に介在させ、当該正方形
柱状の空間に、摺動部材を配置し、当該対向する平面部
間にニードル・ローラー・ベアリングを配置することを
特徴とするウエハー・プローバー・チャック用ガイド。 - 【請求項５】 上記摺動部材が炭素繊維分散エポキシ樹
脂、炭素繊維分散エンプラ樹脂、セラミックスまたはナ
イロンを素材として製造されていることを特徴とする請
求項１から４までのいずれか１つに記載のウエハー・プ
ローバー・チャック用ガイド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14118397A JPH10321682A (ja) | 1997-05-16 | 1997-05-16 | ウエハー・プローバー・チャック用ガイド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14118397A JPH10321682A (ja) | 1997-05-16 | 1997-05-16 | ウエハー・プローバー・チャック用ガイド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10321682A true JPH10321682A (ja) | 1998-12-04 |
Family
ID=15286092
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14118397A Pending JPH10321682A (ja) | 1997-05-16 | 1997-05-16 | ウエハー・プローバー・チャック用ガイド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10321682A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002147452A (ja) * | 2000-11-16 | 2002-05-22 | Enomoto Co Ltd | 直動機械要素 |
| CN107401553A (zh) * | 2016-05-18 | 2017-11-28 | 上银科技股份有限公司 | 具有间隔子的交叉滚柱轴承 |
-
1997
- 1997-05-16 JP JP14118397A patent/JPH10321682A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002147452A (ja) * | 2000-11-16 | 2002-05-22 | Enomoto Co Ltd | 直動機械要素 |
| CN107401553A (zh) * | 2016-05-18 | 2017-11-28 | 上银科技股份有限公司 | 具有间隔子的交叉滚柱轴承 |
| CN107401553B (zh) * | 2016-05-18 | 2019-04-30 | 上银科技股份有限公司 | 具有间隔子的交叉滚柱轴承 |
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