JPH028853B2 - - Google Patents
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- JPH028853B2 JPH028853B2 JP56206381A JP20638181A JPH028853B2 JP H028853 B2 JPH028853 B2 JP H028853B2 JP 56206381 A JP56206381 A JP 56206381A JP 20638181 A JP20638181 A JP 20638181A JP H028853 B2 JPH028853 B2 JP H028853B2
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- position regulating
- regulating member
- orthogonal side
- side surfaces
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/62—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides
- B23Q1/621—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は位置出しテーブル装置に係り、特に基
台上を水平方向に移動可能なテーブルを備えた金
属顕微鏡や輪郭測定器、工作機械用作業テーブル
等に利用される好適な位置出しテーブル装置に関
する。
台上を水平方向に移動可能なテーブルを備えた金
属顕微鏡や輪郭測定器、工作機械用作業テーブル
等に利用される好適な位置出しテーブル装置に関
する。
ICペレツトと呼ばれる集積回路の形成された
ウエハーの表面上の傷を検査するのに、一般に反
射照明装置を備えた金属顕微鏡が用いられる。こ
の顕微鏡は、載物台が手動でX軸方向(横方向)
及びY軸方向(縦方向)に十字動するようになつ
ており、検査者は、この載物台上に定置したIC
ペレツトを接眼部から覗き込みながら手送りで載
物台をX軸及びY軸方向に移動させ、視野内に部
分的に拡大された像内の傷の有無を検査してい
た。
ウエハーの表面上の傷を検査するのに、一般に反
射照明装置を備えた金属顕微鏡が用いられる。こ
の顕微鏡は、載物台が手動でX軸方向(横方向)
及びY軸方向(縦方向)に十字動するようになつ
ており、検査者は、この載物台上に定置したIC
ペレツトを接眼部から覗き込みながら手送りで載
物台をX軸及びY軸方向に移動させ、視野内に部
分的に拡大された像内の傷の有無を検査してい
た。
この様な金属顕微鏡や投影検査機、工具顕微鏡
等において、前記載物台の摺動抵抗を少なくする
ことは、テーブル上に載置された試料を所定の位
置に移動し、定置させるための操作を軽く行うた
めに重要である。しかし、一般に前記テーブルは
断面形状山形のレールと平坦レールとによつて保
持されており、テーブルが比較的重量のある場合
には、平坦レール部分における面接触による抵抗
が増大し、移動操作が重たくならざるを得ない。
等において、前記載物台の摺動抵抗を少なくする
ことは、テーブル上に載置された試料を所定の位
置に移動し、定置させるための操作を軽く行うた
めに重要である。しかし、一般に前記テーブルは
断面形状山形のレールと平坦レールとによつて保
持されており、テーブルが比較的重量のある場合
には、平坦レール部分における面接触による抵抗
が増大し、移動操作が重たくならざるを得ない。
従来の載物台を第1図に基づいて説明する。
工具顕微鏡等の基台1の上面には、山形レール
2と平坦レール3とが設けられており、この基台
1の上面に載置される滑台4の底面には、前記山
形レール2に嵌合し得るV溝5と、平坦レール3
に対応する当り面6とが設けられており、滑台4
はそれぞれを相対応して基台1上に設置されてい
る。
2と平坦レール3とが設けられており、この基台
1の上面に載置される滑台4の底面には、前記山
形レール2に嵌合し得るV溝5と、平坦レール3
に対応する当り面6とが設けられており、滑台4
はそれぞれを相対応して基台1上に設置されてい
る。
更に、この滑台4の上面には、前記山形レール
2と直角をなす向きの山形レール7と平坦レール
8とが設けられており、この滑台4の上面に載置
されるテーブル9の底面には、前記山形レール7
に嵌合し得るV溝10と平坦レール8に対応する
当り面11とが設けられており、前記テーブル9
は前記それぞれを相対応して滑台4上に設置され
ている。従つて、前記滑台4とテーブル9とは互
いに十字をなすようにして移動でき、いわゆる十
字滑台をなしている。
2と直角をなす向きの山形レール7と平坦レール
8とが設けられており、この滑台4の上面に載置
されるテーブル9の底面には、前記山形レール7
に嵌合し得るV溝10と平坦レール8に対応する
当り面11とが設けられており、前記テーブル9
は前記それぞれを相対応して滑台4上に設置され
ている。従つて、前記滑台4とテーブル9とは互
いに十字をなすようにして移動でき、いわゆる十
字滑台をなしている。
この様な従来の載物台においては、互いに対応
する山形レール2とV溝5及び山形レール7とV
溝10とを隙間なく加工するのは極めて困難であ
る。
する山形レール2とV溝5及び山形レール7とV
溝10とを隙間なく加工するのは極めて困難であ
る。
一般には、テーブル9の移動操作を軽くするた
めには摺動抵抗を小さくしなければならないが、
摺動抵抗が小さくできた時はレール2,7と溝
5,10との嵌合があまく、テーブル位置の精度
をμmオーダーで確保するのが困難である。逆に、
精度が得られたとすると摺動抵抗が極めて大とな
る欠点があつた。このことは、テーブル9の移動
を自動化させようとした場合の弊害となる。更
に、テーブル9、滑台4、基台1の各平行度や直
角度を精度良く加工することは非常に困難であ
る。また、この様な従来の載物台ではテーブル9
と基台1との間に介装される滑台4の厚さが厚
く、更に摺動寸法分だけ余分にレール長が必要と
なるため、装置全体が過大となり、これらのこと
からコスト高となつていた。
めには摺動抵抗を小さくしなければならないが、
摺動抵抗が小さくできた時はレール2,7と溝
5,10との嵌合があまく、テーブル位置の精度
をμmオーダーで確保するのが困難である。逆に、
精度が得られたとすると摺動抵抗が極めて大とな
る欠点があつた。このことは、テーブル9の移動
を自動化させようとした場合の弊害となる。更
に、テーブル9、滑台4、基台1の各平行度や直
角度を精度良く加工することは非常に困難であ
る。また、この様な従来の載物台ではテーブル9
と基台1との間に介装される滑台4の厚さが厚
く、更に摺動寸法分だけ余分にレール長が必要と
なるため、装置全体が過大となり、これらのこと
からコスト高となつていた。
前述のごとく従来の山形レールの面接触による
滑台を十字に組み合わせてなる載物台は、摺動抵
抗を小さくしようとすればテーブルの位置精度確
保が困難であり、また構造上から装置全体が大き
くならざるを得ず、高価なものとなる欠点を有し
ている。従つて、この載物台に移動量読取装置を
組み合わせた位置出しテーブル装置も、同様な欠
点を有している。
滑台を十字に組み合わせてなる載物台は、摺動抵
抗を小さくしようとすればテーブルの位置精度確
保が困難であり、また構造上から装置全体が大き
くならざるを得ず、高価なものとなる欠点を有し
ている。従つて、この載物台に移動量読取装置を
組み合わせた位置出しテーブル装置も、同様な欠
点を有している。
本発明の目的は、製作が容易で小型軽量化が可
能な位置出しテーブル装置を提供するにある。
能な位置出しテーブル装置を提供するにある。
本発明は、基台とテーブルとの係合部に設けら
れる山形レールを削除し、テーブルが基台上面を
水平全方向に自由に移動できるようにするととも
に、テーブルの載置面以外の側面等を利用して加
工容易な形状にて位置規制をし、かつ、直交2軸
線方向の移動量をマイクロメーターヘツドで検出
することにより、前記目的を達成しようとするも
のである。
れる山形レールを削除し、テーブルが基台上面を
水平全方向に自由に移動できるようにするととも
に、テーブルの載置面以外の側面等を利用して加
工容易な形状にて位置規制をし、かつ、直交2軸
線方向の移動量をマイクロメーターヘツドで検出
することにより、前記目的を達成しようとするも
のである。
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明
する。
する。
硬質鋼材または石材等で形成され、上面を平滑
な水平面に加工された基台21の上面には、複数
個の鋼球22がリング状のリテーナ23にて保持
されてなる中間部材としてのベアリングユニツト
24が移動自在に載置されている。このベアリン
グユニツト24の上面には、硬質鋼材または石材
等からなり、下面を平滑な水平面とされたテーブ
ル25が載置されており、このテーブル25は、
前記基台21の上面をベアリングユニツト24を
介してどの方向へも軽い力で移動可能に構成され
ている。
な水平面に加工された基台21の上面には、複数
個の鋼球22がリング状のリテーナ23にて保持
されてなる中間部材としてのベアリングユニツト
24が移動自在に載置されている。このベアリン
グユニツト24の上面には、硬質鋼材または石材
等からなり、下面を平滑な水平面とされたテーブ
ル25が載置されており、このテーブル25は、
前記基台21の上面をベアリングユニツト24を
介してどの方向へも軽い力で移動可能に構成され
ている。
テーブル25の側端面には、少なくとも2辺が
互いに直交するX,Y2軸線方向に延長された直
交側面26が設けられている。この直交側面26
の各面には、2つの回転ローラ27が両端に取り
付けられてなる位置規制部材28が、それぞれの
直交側面26に対応して直交配置され、かつ、各
直交側面26に当接されて当該直交側面26をそ
の延長方向に案内するようになつている。
互いに直交するX,Y2軸線方向に延長された直
交側面26が設けられている。この直交側面26
の各面には、2つの回転ローラ27が両端に取り
付けられてなる位置規制部材28が、それぞれの
直交側面26に対応して直交配置され、かつ、各
直交側面26に当接されて当該直交側面26をそ
の延長方向に案内するようになつている。
前記各位置規制部材28には、それぞれ2本の
ガイドポスト29が水平方向に固定されており、
このガイドポスト29は、前記基台21に設けら
れる案内ブロツク30に摺動可能に支承されてい
る。案内ブロツク30の中央部近傍には、前記直
交配置された位置規制部材28に対応して各1
個、計2個のマイクロメーターの調整機構いわゆ
るマイクロメーターヘツド31が取付けられてお
り、このマイクロメーターヘツド31の先端は、
位置規制部材28の背面に当接されている。位置
規制部材28のマイクロメーターヘツド31の先
端が当接される部分は、硬球等を埋め込んで構成
された球状の当接部32が形成されている。
ガイドポスト29が水平方向に固定されており、
このガイドポスト29は、前記基台21に設けら
れる案内ブロツク30に摺動可能に支承されてい
る。案内ブロツク30の中央部近傍には、前記直
交配置された位置規制部材28に対応して各1
個、計2個のマイクロメーターの調整機構いわゆ
るマイクロメーターヘツド31が取付けられてお
り、このマイクロメーターヘツド31の先端は、
位置規制部材28の背面に当接されている。位置
規制部材28のマイクロメーターヘツド31の先
端が当接される部分は、硬球等を埋め込んで構成
された球状の当接部32が形成されている。
マイクロメーターヘツド31のハンドル33を
回動させることにより、位置規制部材28は、案
内ブロツク30とガイドポスト29とで構成され
る案内部34に沿つてテーブル25の当接する側
面に対し、直角方向に進退動できる。
回動させることにより、位置規制部材28は、案
内ブロツク30とガイドポスト29とで構成され
る案内部34に沿つてテーブル25の当接する側
面に対し、直角方向に進退動できる。
また、テーブル25の中央部近傍の底面には、
付勢手段としての1本の引張ばね35の一端が係
止されており、この引張ばね35の他端は、第4
図に示されるごとく、基台21の側端面に設けら
れるばね力調整手段としてのアジヤストスクリユ
36に係止されている。このアジヤストスクリユ
36にはナツト36Aが螺合されており、このナ
ツト36Aを回動させることにより、引張ばね3
5の力を調整できる。更に、基台21には、前記
引張ばね35を通すための孔37が上面に対し傾
斜して設けられている。
付勢手段としての1本の引張ばね35の一端が係
止されており、この引張ばね35の他端は、第4
図に示されるごとく、基台21の側端面に設けら
れるばね力調整手段としてのアジヤストスクリユ
36に係止されている。このアジヤストスクリユ
36にはナツト36Aが螺合されており、このナ
ツト36Aを回動させることにより、引張ばね3
5の力を調整できる。更に、基台21には、前記
引張ばね35を通すための孔37が上面に対し傾
斜して設けられている。
前記調節手段としてのアジヤストスクリユ36
は、基台21に直交して設けられている2つの位
置規制部材28の丁度中間の位置の基台21の側
端面に係止され、引張ばね35の力によりテーブ
ル25は、2つの直交する位置規制部材28に均
等な力にて押し付けられている。更に、引張ばね
35はテーブル25を斜下方へ引つ張つているた
め、テーブル25はベアリングユニツト24へも
付勢されている。
は、基台21に直交して設けられている2つの位
置規制部材28の丁度中間の位置の基台21の側
端面に係止され、引張ばね35の力によりテーブ
ル25は、2つの直交する位置規制部材28に均
等な力にて押し付けられている。更に、引張ばね
35はテーブル25を斜下方へ引つ張つているた
め、テーブル25はベアリングユニツト24へも
付勢されている。
次に作用を説明する。
テーブル25の上面に被測定物を載置した後、
これを任意の方向へ移動する際は、マイクロメー
ターヘツド31のハンドル33を回動させる。こ
れにより、テーブル25は、直交して設けられる
他方の位置規制部材28に沿つて進退する。マイ
クロメーターヘツド31は互いに直交して2個所
設けてあるので、それぞれを選択して用いること
により、テーブル25を平面上の任意の位置に移
動できる。
これを任意の方向へ移動する際は、マイクロメー
ターヘツド31のハンドル33を回動させる。こ
れにより、テーブル25は、直交して設けられる
他方の位置規制部材28に沿つて進退する。マイ
クロメーターヘツド31は互いに直交して2個所
設けてあるので、それぞれを選択して用いること
により、テーブル25を平面上の任意の位置に移
動できる。
なお、マイクロメーターヘツド31は、それぞ
れテーブル25を案内ブロツク30から遠ざける
方向へ位置規制部材28を移動させる様に押し付
け力が作用し、一方、マイクロメーターヘツド3
1が引かれると、引張ばね35の力によりテーブ
ル25も位置規制部材28と共に後退する。
れテーブル25を案内ブロツク30から遠ざける
方向へ位置規制部材28を移動させる様に押し付
け力が作用し、一方、マイクロメーターヘツド3
1が引かれると、引張ばね35の力によりテーブ
ル25も位置規制部材28と共に後退する。
このようにしてマイクロメーターヘツド31を
操作することにより、テーブル25を任意の位置
に移動できる。
操作することにより、テーブル25を任意の位置
に移動できる。
本実施例によれば、従来例のごとく、基台とテ
ーブルとにV溝とV山とを対応させて加工すると
いう極めて精度出しに注意を必要とする困難な加
工をしなくとも、基台21の上面とテーブル25
との下面との平面加工のみでよく、加工時間の短
縮と精度向上の両方が可能である。この際、平面
加工は、基台21の上面あるいはテーブル25の
下面の全面を必ずしも必要とせず、部分的でもよ
い。
ーブルとにV溝とV山とを対応させて加工すると
いう極めて精度出しに注意を必要とする困難な加
工をしなくとも、基台21の上面とテーブル25
との下面との平面加工のみでよく、加工時間の短
縮と精度向上の両方が可能である。この際、平面
加工は、基台21の上面あるいはテーブル25の
下面の全面を必ずしも必要とせず、部分的でもよ
い。
また、従来のV溝とV山との組み合わせでは、
テーブル、中間部材(滑台)、基台のそれぞれの
平行度や直角度を精度良く加工するのが大変であ
つたが、本実施例においては、テーブル25の2
つの側端面を互いに直交するように加工するのみ
で良い。
テーブル、中間部材(滑台)、基台のそれぞれの
平行度や直角度を精度良く加工するのが大変であ
つたが、本実施例においては、テーブル25の2
つの側端面を互いに直交するように加工するのみ
で良い。
更に、最も効果的なことは、従来のV溝、V山
構造では前述のごとく、非常に精度確保が困難で
あり、例え精度良く加工できたとしても、摺動抵
抗は逆に大きくなつてしまい、テーブルの滑らか
な移動を阻害していたものが、本実施例では鋼球
22を介してテーブル25を移動させる構造のた
め、理論上は全くクリアランスが無くても、しか
もすべり抵抗より何倍も小さなころがり抵抗で、
スムーズで精度の高いテーブル25の移動が可能
となることである。
構造では前述のごとく、非常に精度確保が困難で
あり、例え精度良く加工できたとしても、摺動抵
抗は逆に大きくなつてしまい、テーブルの滑らか
な移動を阻害していたものが、本実施例では鋼球
22を介してテーブル25を移動させる構造のた
め、理論上は全くクリアランスが無くても、しか
もすべり抵抗より何倍も小さなころがり抵抗で、
スムーズで精度の高いテーブル25の移動が可能
となることである。
その結果、装置は従来のものに比べ小型軽量化
でき、更にはテーブル25の移動をモータ等を使
つて自動化させようとした際にも、モータの負荷
が小さくてすみ、構造が簡単で、軽量かつ高精度
な装置を安価に作れる。
でき、更にはテーブル25の移動をモータ等を使
つて自動化させようとした際にも、モータの負荷
が小さくてすみ、構造が簡単で、軽量かつ高精度
な装置を安価に作れる。
また、テーブル25が水平方向へ移動する際
は、基台21との間に介装されているベアリング
ユニツト24が転がり抵抗であるため、非常に軽
い力で移動できる。
は、基台21との間に介装されているベアリング
ユニツト24が転がり抵抗であるため、非常に軽
い力で移動できる。
本実施例のごとく、ベアリングユニツト24の
鋼球22がリテーナ23に保持され、このリテー
ナ23も鋼球22の転動に応じて自由に動ける構
造では、ベアリングユニツト24は、テーブル2
5の水平方向移動量の半分だけ移動させればよい
から、従来の1/4のスペースで従来と同量の移
動をでき、換言すれば、従来と同一スペースなら
より大きな範囲の移動を可能にできる。また、基
台21の大きさを大きくしないまま、ベアリング
ユニツト24を大きくしても移動範囲を十分にと
れるから、ベアリングユニツト24を比較的大き
く形成することにより、テーブル25の動きを安
定させることができる。更に、この様な構造にす
ることにより、ローラを基台21に埋設する方法
に比べ、テーブル25を移動させる時の摺動、こ
ろがり抵抗は半分となり、ますます25を軽い力
で移動させることができる。
鋼球22がリテーナ23に保持され、このリテー
ナ23も鋼球22の転動に応じて自由に動ける構
造では、ベアリングユニツト24は、テーブル2
5の水平方向移動量の半分だけ移動させればよい
から、従来の1/4のスペースで従来と同量の移
動をでき、換言すれば、従来と同一スペースなら
より大きな範囲の移動を可能にできる。また、基
台21の大きさを大きくしないまま、ベアリング
ユニツト24を大きくしても移動範囲を十分にと
れるから、ベアリングユニツト24を比較的大き
く形成することにより、テーブル25の動きを安
定させることができる。更に、この様な構造にす
ることにより、ローラを基台21に埋設する方法
に比べ、テーブル25を移動させる時の摺動、こ
ろがり抵抗は半分となり、ますます25を軽い力
で移動させることができる。
その他、本実施例のごとくテーブル25が水平
面上を自在に動ける構造では、必要に応じてテー
ブル25をマニユアルで無方向に移動することも
容易である。
面上を自在に動ける構造では、必要に応じてテー
ブル25をマニユアルで無方向に移動することも
容易である。
また、従来のV溝、V山構造に比べると、テー
ブル25と基台21とを分解したり、再組立する
作業が容易であり、メンテナンス性が良い。
ブル25と基台21とを分解したり、再組立する
作業が容易であり、メンテナンス性が良い。
なお、本実施例においては、テーブル25の移
動量は、マイクロメーターヘツド31に設けられ
る目盛で読み取る方式であるが、これも第5図に
示されるごとく、電気式エンコーダをマイクロメ
ーターヘツド31に組み込むことで、X軸方向、
Y軸方向のそれぞれの移動量を表示器38にてデ
ジタル表示させることもできる。この場合、作業
者が移動量を見やすいことは勿論のこと、デジタ
ル表示であれば、読み取る人による数値のばらつ
きも無くなる。更に、自動化等を行う場合には、
表示されるデジタル移動量をそのまま位置検出信
号として利用することも考えられる。電気式エン
コーダとしては、光電型、磁気型、静電容量型、
接点型等、移動量を電気信号として取り出せるも
のであればよく、また、それに必要な電気回路制
御装置49は、基台21またはテーブル25内に
溝(図示せず)等を設けて収納される。
動量は、マイクロメーターヘツド31に設けられ
る目盛で読み取る方式であるが、これも第5図に
示されるごとく、電気式エンコーダをマイクロメ
ーターヘツド31に組み込むことで、X軸方向、
Y軸方向のそれぞれの移動量を表示器38にてデ
ジタル表示させることもできる。この場合、作業
者が移動量を見やすいことは勿論のこと、デジタ
ル表示であれば、読み取る人による数値のばらつ
きも無くなる。更に、自動化等を行う場合には、
表示されるデジタル移動量をそのまま位置検出信
号として利用することも考えられる。電気式エン
コーダとしては、光電型、磁気型、静電容量型、
接点型等、移動量を電気信号として取り出せるも
のであればよく、また、それに必要な電気回路制
御装置49は、基台21またはテーブル25内に
溝(図示せず)等を設けて収納される。
また、本実施例における位置規制部材28は、
テーブル25の被測定物載置面の外側に配設して
あるが、これは説明上わかりやすくするためのも
ので、実施に当たつては第6図に示されるごと
く、テーブル25の側面に凹部39を設け、この
中に前記位置規制部材28を埋設することによ
り、テーブルの移動可能量を増やしたり、位置出
しテーブル装置全体を小さくすることもできる。
テーブル25の被測定物載置面の外側に配設して
あるが、これは説明上わかりやすくするためのも
ので、実施に当たつては第6図に示されるごと
く、テーブル25の側面に凹部39を設け、この
中に前記位置規制部材28を埋設することによ
り、テーブルの移動可能量を増やしたり、位置出
しテーブル装置全体を小さくすることもできる。
本実施例の位置出しテーブル装置は、単に作業
台や顕微鏡用に利用するのみならず、三次元測定
器等に使えば、固定台の場合、プローブ側を移動
させていたものが、テーブル側を動かすことによ
りプローブを固定させておくこともできる。被測
定物が比較的小さい場合など、非常に利用価値の
高いものとなろう。
台や顕微鏡用に利用するのみならず、三次元測定
器等に使えば、固定台の場合、プローブ側を移動
させていたものが、テーブル側を動かすことによ
りプローブを固定させておくこともできる。被測
定物が比較的小さい場合など、非常に利用価値の
高いものとなろう。
更に、第2図〜第4図において、テーブル25
の付勢手段として引張ばね35が用いられている
が、付勢手段としては第7図に示されるごとく圧
縮ばね40を、引張ばね35が取付けられる位置
の反対側位置に設けても、同様の効果が得られ
る。
の付勢手段として引張ばね35が用いられている
が、付勢手段としては第7図に示されるごとく圧
縮ばね40を、引張ばね35が取付けられる位置
の反対側位置に設けても、同様の効果が得られ
る。
更に、テーブル25に透光部分を設け、この透
光部分と干渉しない位置に引張ばね35等の付勢
手段を設ければ、本発明を透光式の投影機の位置
出しテーブルとして利用できる。
光部分と干渉しない位置に引張ばね35等の付勢
手段を設ければ、本発明を透光式の投影機の位置
出しテーブルとして利用できる。
本発明は、位置出しテーブル装置において前述
のごとき構成したので、製作が容易で小型軽量化
が可能な位置出し機能を備えた位置出しテーブル
装置を提供することができるという効果を有す
る。
のごとき構成したので、製作が容易で小型軽量化
が可能な位置出し機能を備えた位置出しテーブル
装置を提供することができるという効果を有す
る。
第1図は従来の位置出しテーブルに用いられる
載物台を示す斜視図、第2図は本発明の一実施例
である位置出しテーブルを示す平面図、第3図は
第2図の−線に沿う断面図、第4図は第2図
の−線に沿う断面図、第5図は第2図の実施
例に電気式位置検出装置を組み込んだ場合の表示
部取付位置を示す平面図、第6図は第3図の位置
規制部材取付部の他の実施例を示す部分断面図、
第7図は第2図〜第4図の付勢手段の他の実施例
を示す平面略図である。 21…基台、24…ベアリングユニツト、25
…テーブル、26…直交側面、28…位置規制部
材、31…マイクロメータヘツド、35…付勢手
段としての引張ばね、38…表示器、40…付勢
手段としての圧縮ばね、49…位置検出装置用電
気回路制御装置。
載物台を示す斜視図、第2図は本発明の一実施例
である位置出しテーブルを示す平面図、第3図は
第2図の−線に沿う断面図、第4図は第2図
の−線に沿う断面図、第5図は第2図の実施
例に電気式位置検出装置を組み込んだ場合の表示
部取付位置を示す平面図、第6図は第3図の位置
規制部材取付部の他の実施例を示す部分断面図、
第7図は第2図〜第4図の付勢手段の他の実施例
を示す平面略図である。 21…基台、24…ベアリングユニツト、25
…テーブル、26…直交側面、28…位置規制部
材、31…マイクロメータヘツド、35…付勢手
段としての引張ばね、38…表示器、40…付勢
手段としての圧縮ばね、49…位置検出装置用電
気回路制御装置。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 上面を平滑な水平面に形成された基台と、 この基台上を水平面内で移動可能に設けられる
とともに、下面を平滑な水平面に形成され、か
つ、直交するX,Y2軸線方向のそれぞれに延長
された直交側面を有するテーブルと、 前記基台の上面とテーブルの下面との間に介装
されてテーブルの円滑な移動を可能にするととも
に、リング状のリテーナを有するベアリングユニ
ツトと、 前記テーブルの直交側面のそれぞれに当接可能
に配置されるとともに、直交側面の各々をその延
長方向に案内し、かつ、自身は前記基台側に支持
されて当該各直交側面の延長方向と直交する方向
にそれぞれ移動可能にされた2個の直交配置され
た位置規制部材と、 前記基台とテーブルとの間に渡設され、テーブ
ルの直交側面の各々をそれぞれに対向された位置
規制部材に当接するよう付勢する1本のばねと、 前記直交配置された2個の位置規制部材の各々
にそれぞれ対向配置されて基台側に支持されると
ともに、各位置規制部材を介して前記テーブルの
直交側面の各々に関与し、当該位置規制部材を前
記ばねの付勢力に抗して変位させて前記テーブル
を変位させ、かつ、その変位量を読取り可能な2
個のマイクロメータヘツドと、 を具備したことを特徴とする位置出しテーブル装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20638181A JPS58109238A (ja) | 1981-12-21 | 1981-12-21 | 位置出しテ−ブル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20638181A JPS58109238A (ja) | 1981-12-21 | 1981-12-21 | 位置出しテ−ブル装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58109238A JPS58109238A (ja) | 1983-06-29 |
JPH028853B2 true JPH028853B2 (ja) | 1990-02-27 |
Family
ID=16522392
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20638181A Granted JPS58109238A (ja) | 1981-12-21 | 1981-12-21 | 位置出しテ−ブル装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58109238A (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6056836A (ja) * | 1983-09-08 | 1985-04-02 | Toshiba Corp | テ−ブル装置 |
JPS60100131U (ja) * | 1983-12-16 | 1985-07-08 | 三洋電機株式会社 | 回転テ−ブル装置 |
NL8500930A (nl) * | 1985-03-29 | 1986-10-16 | Philips Nv | Verplaatsingsinrichting met voorgespannen contactloze lagers. |
CN105563434B (zh) * | 2016-03-15 | 2018-05-18 | 丹阳正联知识产权运营管理有限公司 | 一种工作台的x、y、z轴向进给机构 |
CN114641827B (zh) * | 2019-11-12 | 2023-03-07 | 松下知识产权经营株式会社 | 定位装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5438984B2 (ja) * | 1974-12-25 | 1979-11-24 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5928783Y2 (ja) * | 1975-12-24 | 1984-08-18 | 株式会社井上ジャパックス研究所 | 寄せ加工用テ−ブルもしくは主軸 |
JPS5817710Y2 (ja) * | 1977-08-24 | 1983-04-11 | 日立精工株式会社 | Xyテ−ブルの直角移動機構 |
-
1981
- 1981-12-21 JP JP20638181A patent/JPS58109238A/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5438984B2 (ja) * | 1974-12-25 | 1979-11-24 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS58109238A (ja) | 1983-06-29 |
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