JPH10320855A - データ記憶ディスク及びそれを備えるデータ記憶システム - Google Patents
データ記憶ディスク及びそれを備えるデータ記憶システムInfo
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- JPH10320855A JPH10320855A JP10074704A JP7470498A JPH10320855A JP H10320855 A JPH10320855 A JP H10320855A JP 10074704 A JP10074704 A JP 10074704A JP 7470498 A JP7470498 A JP 7470498A JP H10320855 A JPH10320855 A JP H10320855A
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- G11B9/12—Recording or reproducing using a method not covered by one of the main groups G11B3/00 - G11B7/00; Record carriers therefor using near-field interactions; Record carriers therefor
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y10/00—Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
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- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/002—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by perturbation of the physical or electrical structure
- G11B11/007—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by perturbation of the physical or electrical structure with reproducing by means directly associated with the tip of a microscopic electrical probe as defined in G11B9/14
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- G11B9/1463—Record carriers for recording or reproduction involving the use of microscopic probe means
- G11B9/1472—Record carriers for recording or reproduction involving the use of microscopic probe means characterised by the form
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- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y10S977/902—Specified use of nanostructure
- Y10S977/932—Specified use of nanostructure for electronic or optoelectronic application
- Y10S977/943—Information storage or retrieval using nanostructure
- Y10S977/947—Information storage or retrieval using nanostructure with scanning probe instrument
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- Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 極めて小さい距離においてスタイラスをトラ
ック上に維持できるトラッキング・サーボ・システムを
備えたＡＦＭ（原子力間顕微鏡）データ記憶システムを
提供する。 【解決手段】 タイミングないしトラッキング・ライン
７０、７１、７２を３本組にして形成し、各組５０、５
１、５２、５３をディスク１０の円周方向に離隔させ、
機械可読情報を形成する表面不規則部を散在させる。デ
ータ・トラック６０、６１、６２とトラッキング・ライ
ンの円周方向に離隔した組とを、ディスク上の半径方向
に離隔した帯域にグループ分けする。トラッキング・ラ
イン７０、７２は非放射状ラインである。各データ帯域
に関連付けられた識別マーク８０の別の組を使用して、
トラッキング・ラインが検出されると考えられるタイミ
ング・ゲートを開始させる。トラッキング・ラインの検
出間の時間と所定のターゲット時間の比較を使用して、
アクチュエータを制御する。
ック上に維持できるトラッキング・サーボ・システムを
備えたＡＦＭ（原子力間顕微鏡）データ記憶システムを
提供する。 【解決手段】 タイミングないしトラッキング・ライン
７０、７１、７２を３本組にして形成し、各組５０、５
１、５２、５３をディスク１０の円周方向に離隔させ、
機械可読情報を形成する表面不規則部を散在させる。デ
ータ・トラック６０、６１、６２とトラッキング・ライ
ンの円周方向に離隔した組とを、ディスク上の半径方向
に離隔した帯域にグループ分けする。トラッキング・ラ
イン７０、７２は非放射状ラインである。各データ帯域
に関連付けられた識別マーク８０の別の組を使用して、
トラッキング・ラインが検出されると考えられるタイミ
ング・ゲートを開始させる。トラッキング・ラインの検
出間の時間と所定のターゲット時間の比較を使用して、
アクチュエータを制御する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は合衆国国防総省防衛
高等研究庁によって与えられた契約ＤＡＢＴ６３−９５
−Ｃ−００１９に基づく連邦政府の支援を受けて行われ
たものである。連邦政府は本発明に関し一定の権利を有
する。
高等研究庁によって与えられた契約ＤＡＢＴ６３−９５
−Ｃ−００１９に基づく連邦政府の支援を受けて行われ
たものである。連邦政府は本発明に関し一定の権利を有
する。
【０００２】本発明は試料の表面を走査するプローブな
いしスタイラスを自由端に有するカンチレバーを用いた
原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）システムに関する。詳細にい
えば、本発明は走査されている試料が機械可読情報を表
す表面不規則部を有している、ディスクなどのデータ記
憶媒体であるデータ記憶装置用のＡＦＭシステムに関す
る。
いしスタイラスを自由端に有するカンチレバーを用いた
原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）システムに関する。詳細にい
えば、本発明は走査されている試料が機械可読情報を表
す表面不規則部を有している、ディスクなどのデータ記
憶媒体であるデータ記憶装置用のＡＦＭシステムに関す
る。
【０００３】
【従来の技術】原子間力顕微鏡は鋭いプローブないしス
タイラスと調査対象の表面との間の力を感知するという
原理に基づくものである。原子間力は可撓性のカンチレ
バー・アームの自由端に取り付けられたスタイラスの変
位を誘起する。
タイラスと調査対象の表面との間の力を感知するという
原理に基づくものである。原子間力は可撓性のカンチレ
バー・アームの自由端に取り付けられたスタイラスの変
位を誘起する。
【０００４】Ｂｉｎｎｉｎｇ他が「Ａｔｏｍｉｃ Ｆｏ
ｒｃｅ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ」、Ｐｈｙｓ．Ｒｅｖ．
Ｌｅｔｔ．，Ｖｏｌ．５６、Ｎｏ．９，１９８６年３月
３日、ｐｐ．９３０−９３３に記載しているように、先
端が鋭いスタイラスをスプリング状のカンチレバー・ビ
ームに取り付けて、調査対象表面の輪郭を走査する。ス
タイラスの尖端にある原子と表面の原子との間の引力ま
たは斥力が、カンチレバー・ビームにわずかな振れを生
じさせる。当初の実施形態においては、トンネル接合を
使用して、導電性のカンチレバー・ビームの自由端に取
り付けられているスタイラスの運動を検出していた。導
電性のトンネル・スタイラスをカンチレバー・ビームの
背面から離隔したトンネル内の配置すると、トンネル電
流の変動がビームの振れを示すものとなる。スタイラス
を検査中の表面との間に生じる力を、測定したビームの
振れ及びカンチレバー・ビームの特性から決定する。
ｒｃｅ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ」、Ｐｈｙｓ．Ｒｅｖ．
Ｌｅｔｔ．，Ｖｏｌ．５６、Ｎｏ．９，１９８６年３月
３日、ｐｐ．９３０−９３３に記載しているように、先
端が鋭いスタイラスをスプリング状のカンチレバー・ビ
ームに取り付けて、調査対象表面の輪郭を走査する。ス
タイラスの尖端にある原子と表面の原子との間の引力ま
たは斥力が、カンチレバー・ビームにわずかな振れを生
じさせる。当初の実施形態においては、トンネル接合を
使用して、導電性のカンチレバー・ビームの自由端に取
り付けられているスタイラスの運動を検出していた。導
電性のトンネル・スタイラスをカンチレバー・ビームの
背面から離隔したトンネル内の配置すると、トンネル電
流の変動がビームの振れを示すものとなる。スタイラス
を検査中の表面との間に生じる力を、測定したビームの
振れ及びカンチレバー・ビームの特性から決定する。
【０００５】トンネル検出に加えて、ＡＦＭカンチレバ
ーの振れを検出するいくつかの他の方法が利用可能であ
り、これには光学インタフェロメトリ、光学ビーム偏
向、容量性技法、さらに最近では、ピエゾ抵抗などがあ
る。ＡＦＭカンチレバーの振れを検出するピエゾ抵抗の
原理は、米国特許第５３４５８１５号に記載されてい
る。カンチレバーは単結晶シリコンで形成されており、
該シリコンにはカンチレバーの長さ方向にピエゾ抵抗領
域を与えるドーパントが注入されている。カンチレバー
の自由端が振れると、カンチレバーに応力が生じる。こ
の応力はカンチレバーの振れに比例してピエゾ抵抗領域
の電気抵抗を変化させる。抵抗測定装置をピエゾ抵抗領
域に結合して、その抵抗を測定させ、カンチレバーの振
れに対応する信号を生成させる。
ーの振れを検出するいくつかの他の方法が利用可能であ
り、これには光学インタフェロメトリ、光学ビーム偏
向、容量性技法、さらに最近では、ピエゾ抵抗などがあ
る。ＡＦＭカンチレバーの振れを検出するピエゾ抵抗の
原理は、米国特許第５３４５８１５号に記載されてい
る。カンチレバーは単結晶シリコンで形成されており、
該シリコンにはカンチレバーの長さ方向にピエゾ抵抗領
域を与えるドーパントが注入されている。カンチレバー
の自由端が振れると、カンチレバーに応力が生じる。こ
の応力はカンチレバーの振れに比例してピエゾ抵抗領域
の電気抵抗を変化させる。抵抗測定装置をピエゾ抵抗領
域に結合して、その抵抗を測定させ、カンチレバーの振
れに対応する信号を生成させる。
【０００６】ＡＦＭシステムは試料表面の撮像という本
来の用途以外の用途を有している。原子間力顕微鏡の原
理は、ＩＢＭの米国特許願第５５３７３７２号に記載さ
れているようなデータ記憶装置に拡張されている。この
用途において、カンチレバー・スタイラスはデータ記憶
媒体の表面と物理的に接触する。媒体は隆起や凹みとい
う形態の表面不規則部を有しており、これらの隆起や凹
みが機械可読情報ないしデータを表している。カンチレ
バーの振れを検出し、復号して、データを読み出す。媒
体の表面が熱変形可能であれば、カンチレバー・スタイ
ラスが媒体表面に接触しているときに、該スタイラスを
加熱して、媒体表面に隆起または凹みを形成することに
よって、データを媒体に書き込むこともできる。スタイ
ラスはカンチレバーのスタイラス領域に送られたレーザ
・ビームによって加熱される。スタイラスを加熱する他
の手法においては、Ｃｈｕｉ他が「Ｉｍｐｒｏｖｅｄ
Ｃａｎｔｉｌｅｖｅｒｓ ｆｏｒ ＡＦＭ Ｔｈｅｒｍ
ｏｍｅｃｈａｎｉｃａｌＤａｔａ Ｓｔｏｒａｇｅ」、
Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇｓ ｏｆ Ｓｏｌｉｄ−Ｓｔａｔ
ｅ Ｓｅｎｓｏｒ ａｎｄ Ａｃｔｕａｔｏｒ Ｗｏｒ
ｋｓｈｏｐ、Ｈｉｌｔｏｎ Ｈｅａｄ、ＳＣ、１９９６
年６月２−６日、ｐｐ．２１９−２２４に記載している
ように、単結晶シリコン・カンチレバーに選択的にホウ
素をドープして、カンチレバー・スタイラス近傍の電気
抵抗領域に導電路を与える。次いで、電流が導電路を通
過すると、スタイラスが抵抗性加熱される。
来の用途以外の用途を有している。原子間力顕微鏡の原
理は、ＩＢＭの米国特許願第５５３７３７２号に記載さ
れているようなデータ記憶装置に拡張されている。この
用途において、カンチレバー・スタイラスはデータ記憶
媒体の表面と物理的に接触する。媒体は隆起や凹みとい
う形態の表面不規則部を有しており、これらの隆起や凹
みが機械可読情報ないしデータを表している。カンチレ
バーの振れを検出し、復号して、データを読み出す。媒
体の表面が熱変形可能であれば、カンチレバー・スタイ
ラスが媒体表面に接触しているときに、該スタイラスを
加熱して、媒体表面に隆起または凹みを形成することに
よって、データを媒体に書き込むこともできる。スタイ
ラスはカンチレバーのスタイラス領域に送られたレーザ
・ビームによって加熱される。スタイラスを加熱する他
の手法においては、Ｃｈｕｉ他が「Ｉｍｐｒｏｖｅｄ
Ｃａｎｔｉｌｅｖｅｒｓ ｆｏｒ ＡＦＭ Ｔｈｅｒｍ
ｏｍｅｃｈａｎｉｃａｌＤａｔａ Ｓｔｏｒａｇｅ」、
Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇｓ ｏｆ Ｓｏｌｉｄ−Ｓｔａｔ
ｅ Ｓｅｎｓｏｒ ａｎｄ Ａｃｔｕａｔｏｒ Ｗｏｒ
ｋｓｈｏｐ、Ｈｉｌｔｏｎ Ｈｅａｄ、ＳＣ、１９９６
年６月２−６日、ｐｐ．２１９−２２４に記載している
ように、単結晶シリコン・カンチレバーに選択的にホウ
素をドープして、カンチレバー・スタイラス近傍の電気
抵抗領域に導電路を与える。次いで、電流が導電路を通
過すると、スタイラスが抵抗性加熱される。
【０００７】また、ＡＦＭデータ記憶システムを上記米
国特許願第５５３７３７２号に記載されている態様と同
様にして、ただしスタイラスを媒体表面に直接接触させ
ずに、動作させることも可能である。その代わり、スタ
イラスは媒体の表面に連動し、表面に物理的に接触する
ことなく、表面トポグラフィの不規則部に追従する。ス
タイラスは媒体の表面に十分近接して保持されていて、
スタイラスが媒体の表面に直接接触していなくとも、フ
ァンデルワールス力または静電力が作用する。ファンデ
ルワールス力はスタイラスがファンデルワールス力を低
下させたり、さらには完全に除去したりするピットない
し凹みへ接近するまで、スタイラスを媒体の表面へ向け
て偏向させる。スタイラス・センサはこのように表面ト
ポグラフィに追随し、検出する。このタイプのＡＦＭデ
ータ記憶システムは、Ｍａｒｔｉｎ他が「Ａｔｏｍｉｃ
Ｆｏｒｃｅ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ−ｆｏｒｃｅ Ｍ
ａｐｐｉｎｇ ａｎｄ Ｐｒｏｆｉｌｉｎｇ ｏｎ ａ
Ｓｕｂ １００−Å Ｓｃａｌｅ」、Ｊ．Ａｐｐｌ．
Ｐｈｙｓ．、Ｖｏｌ．６１、Ｎｏ．１０，１９８７年５
月１５日、ｐｐ．４７２３−４７２９に記載しているよ
うに、ＡＦＭの「引力モード」も基づいたものである。
国特許願第５５３７３７２号に記載されている態様と同
様にして、ただしスタイラスを媒体表面に直接接触させ
ずに、動作させることも可能である。その代わり、スタ
イラスは媒体の表面に連動し、表面に物理的に接触する
ことなく、表面トポグラフィの不規則部に追従する。ス
タイラスは媒体の表面に十分近接して保持されていて、
スタイラスが媒体の表面に直接接触していなくとも、フ
ァンデルワールス力または静電力が作用する。ファンデ
ルワールス力はスタイラスがファンデルワールス力を低
下させたり、さらには完全に除去したりするピットない
し凹みへ接近するまで、スタイラスを媒体の表面へ向け
て偏向させる。スタイラス・センサはこのように表面ト
ポグラフィに追随し、検出する。このタイプのＡＦＭデ
ータ記憶システムは、Ｍａｒｔｉｎ他が「Ａｔｏｍｉｃ
Ｆｏｒｃｅ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ−ｆｏｒｃｅ Ｍ
ａｐｐｉｎｇ ａｎｄ Ｐｒｏｆｉｌｉｎｇ ｏｎ ａ
Ｓｕｂ １００−Å Ｓｃａｌｅ」、Ｊ．Ａｐｐｌ．
Ｐｈｙｓ．、Ｖｏｌ．６１、Ｎｏ．１０，１９８７年５
月１５日、ｐｐ．４７２３−４７２９に記載しているよ
うに、ＡＦＭの「引力モード」も基づいたものである。
【０００８】ＡＦＭデータ記憶システムの問題の一つは
データの読取り中にスタイラスをデータ・トラック上に
維持しておくのが困難なことである。従来の磁気及び光
学式のデータ記憶システムとは異なり、復号され、スタ
イラスの位置決めをサーボ制御するために使用される磁
気的または光学的に記録されたサーボ情報はない。上述
の米国特許願第５５３７３７２号に記載されているもの
のようなＡＦＭデータ記憶システムにおいて、データ密
度は従来のＣＤ−ＲＯＭシステムのものの１００倍とな
る。個々のデータ・フィーチャまたはマークは５０ｎｍ
程度の小ささであり、個々のデータ・トラックの間隔は
１００ｎｍに過ぎない。ＡＦＭデータ記憶システムのト
ラッキング・サーボの一つのタイプは、Ｍａｍｉｎ他が
「Ｈｉｇｈ−ｄｅｎｓｉｔｙ Ｄａｔａ Ｓｔｏｒａｇ
ｅ Ｕｓｉｎｇ Ｐｒｏｘｉｍａｌ Ｐｒｏｂｅ Ｔｅ
ｃｈｎｉｑｕｅｓ」、ＩＢＭ Ｊ．Ｒｅｓ．Ｄｅｖｅｌ
ｏｐ．、Ｖｏｌ．３９、Ｎｏ．６，１９９５年１１月、
ｐｐ．６８７−６８８に記載しているように、磁気記録
におけるセクタ・サーボ・マークと類似した、データ・
トラックの中心線の両側に配置された連続した「ウォッ
ブル（wobble）」マークに基づいたものである。しかし
ながら、ウォッブル・マークは検出が困難であり、また
十分な精度で製造するのが困難なものであり、オフトラ
ック距離に応じて線形に変動するトラッキング・エラー
信号を達成するのが困難なものである。
データの読取り中にスタイラスをデータ・トラック上に
維持しておくのが困難なことである。従来の磁気及び光
学式のデータ記憶システムとは異なり、復号され、スタ
イラスの位置決めをサーボ制御するために使用される磁
気的または光学的に記録されたサーボ情報はない。上述
の米国特許願第５５３７３７２号に記載されているもの
のようなＡＦＭデータ記憶システムにおいて、データ密
度は従来のＣＤ−ＲＯＭシステムのものの１００倍とな
る。個々のデータ・フィーチャまたはマークは５０ｎｍ
程度の小ささであり、個々のデータ・トラックの間隔は
１００ｎｍに過ぎない。ＡＦＭデータ記憶システムのト
ラッキング・サーボの一つのタイプは、Ｍａｍｉｎ他が
「Ｈｉｇｈ−ｄｅｎｓｉｔｙ Ｄａｔａ Ｓｔｏｒａｇ
ｅ Ｕｓｉｎｇ Ｐｒｏｘｉｍａｌ Ｐｒｏｂｅ Ｔｅ
ｃｈｎｉｑｕｅｓ」、ＩＢＭ Ｊ．Ｒｅｓ．Ｄｅｖｅｌ
ｏｐ．、Ｖｏｌ．３９、Ｎｏ．６，１９９５年１１月、
ｐｐ．６８７−６８８に記載しているように、磁気記録
におけるセクタ・サーボ・マークと類似した、データ・
トラックの中心線の両側に配置された連続した「ウォッ
ブル（wobble）」マークに基づいたものである。しかし
ながら、ウォッブル・マークは検出が困難であり、また
十分な精度で製造するのが困難なものであり、オフトラ
ック距離に応じて線形に変動するトラッキング・エラー
信号を達成するのが困難なものである。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】これらの極めて小さい
距離においてスタイラスをトラック上に維持できるトラ
ッキング・サーボ・システムを備えたＡＦＭデータ記憶
システムが必要とされている。本発明の目的は、データ
記憶システムを提供することにある。
距離においてスタイラスをトラック上に維持できるトラ
ッキング・サーボ・システムを備えたＡＦＭデータ記憶
システムが必要とされている。本発明の目的は、データ
記憶システムを提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明はデータ記憶媒体
上に配置されたタイミングないしトラッキング・ライン
に基づくトラッキング・サーボ・システムを備えたＡＦ
Ｍデータ記憶システムである。読取専用ディスクを備え
ているディスク駆動装置での実施の形態において、タイ
ミングないしトラッキング・ラインは３本一組で形成さ
れており、これらの組はディスク周囲に円周方向に離隔
されており、機械可読データ・フィーチャを形成してい
る表面不規則部が散在している。データ・トラック及び
円周方向に離隔したトラッキング・ラインの組はディス
ク上で半径方向に離隔した帯域にグループ化されてい
る。トラッキング・ラインの各組は少なくとも２本のラ
インを含んでおり、そのうちの１本は非放射状の線であ
り、それ故、データ・トラックと直角以外の角度で交差
している。各データ帯域と関連付けられた別の組となっ
た識別（ＩＤ）マークを使用して、その期間中にトラッ
キング・ラインが検出されると考えられるタイミング・
ゲートを開始する。ラインのうち少なくとも２本の検出
の間の時間と目標時間との比較を使用して、トラッキン
グ・エラー信号（ＴＥＳ）を生成し、この信号を使用し
て、アクチュエータを制御し、スタイラスをトラック上
へ戻すか、所望のトラックへ移動させるかする。実施の
形態の一つにおいて、一組には３本のラインがあり、中
間のラインが非放射状ラインとなり、２本の外側のライ
ンが放射状ラインとなる。タイミング分析回路内のカウ
ンタが第１の放射状ラインの検出から中間の非放射状ラ
インまで、及び第２の放射状ラインまでの検出の時間を
カウントする。２つの時間の比率を使用してＴＥＳを生
成する。ＴＥＳはそれ故ディスクの速度とは無関係であ
るから、ディスクの回転速度のわずかな変動がトラッキ
ング・サーボ・システムに誤差を生じることがない。
上に配置されたタイミングないしトラッキング・ライン
に基づくトラッキング・サーボ・システムを備えたＡＦ
Ｍデータ記憶システムである。読取専用ディスクを備え
ているディスク駆動装置での実施の形態において、タイ
ミングないしトラッキング・ラインは３本一組で形成さ
れており、これらの組はディスク周囲に円周方向に離隔
されており、機械可読データ・フィーチャを形成してい
る表面不規則部が散在している。データ・トラック及び
円周方向に離隔したトラッキング・ラインの組はディス
ク上で半径方向に離隔した帯域にグループ化されてい
る。トラッキング・ラインの各組は少なくとも２本のラ
インを含んでおり、そのうちの１本は非放射状の線であ
り、それ故、データ・トラックと直角以外の角度で交差
している。各データ帯域と関連付けられた別の組となっ
た識別（ＩＤ）マークを使用して、その期間中にトラッ
キング・ラインが検出されると考えられるタイミング・
ゲートを開始する。ラインのうち少なくとも２本の検出
の間の時間と目標時間との比較を使用して、トラッキン
グ・エラー信号（ＴＥＳ）を生成し、この信号を使用し
て、アクチュエータを制御し、スタイラスをトラック上
へ戻すか、所望のトラックへ移動させるかする。実施の
形態の一つにおいて、一組には３本のラインがあり、中
間のラインが非放射状ラインとなり、２本の外側のライ
ンが放射状ラインとなる。タイミング分析回路内のカウ
ンタが第１の放射状ラインの検出から中間の非放射状ラ
インまで、及び第２の放射状ラインまでの検出の時間を
カウントする。２つの時間の比率を使用してＴＥＳを生
成する。ＴＥＳはそれ故ディスクの速度とは無関係であ
るから、ディスクの回転速度のわずかな変動がトラッキ
ング・サーボ・システムに誤差を生じることがない。
【００１１】
【発明の実施の形態】図１を参照すると、ＡＦＭデータ
記憶システムが回転データ記憶ディスクを備えたディス
ク駆動装置として略示されている。本発明をディスク駆
動装置という好ましい実施の形態によって説明するが、
このシステムはＸ−Ｙラスタで移動する記憶媒体として
の平坦な基板でも機能する。その実施の形態において
は、データ・トラックはＸまたはＹ方向のいずれかより
迅速に走査される方向へ平行に配向された本質的に平行
なラインとして構成される。記憶媒体はシステムから取
外し可能なものであっても、その内部に永続的に密封さ
れているものであってもよい。
記憶システムが回転データ記憶ディスクを備えたディス
ク駆動装置として略示されている。本発明をディスク駆
動装置という好ましい実施の形態によって説明するが、
このシステムはＸ−Ｙラスタで移動する記憶媒体として
の平坦な基板でも機能する。その実施の形態において
は、データ・トラックはＸまたはＹ方向のいずれかより
迅速に走査される方向へ平行に配向された本質的に平行
なラインとして構成される。記憶媒体はシステムから取
外し可能なものであっても、その内部に永続的に密封さ
れているものであってもよい。
【００１２】図１において、記憶媒体は円形のディスク
１０であることが好ましいが、これはさまざまな方法で
形成できるものである。ディスク１０はポリメチルメタ
クリレート（ＰＭＭＡ）、ポリカーボネートなどのポリ
マ材料、あるいは米国特許第４９４８７０３号に記載さ
れているようなアクリル系の光重合ポリマで形成するの
が好ましい。ディスク１０の上面には、表面不規則部１
２として示されている機械可読情報がエンボスされてい
る。「機械可読情報」という表現はプログラム式コンピ
ュータないしマイクロプロセッサなどのディジタル処理
リソースによって読取り可能な情報をいう。詳細にいえ
ば、データ・マークないしフィーチャという機械可読パ
ターンで配置された一連の表面不規則部を有する複数の
データ・トラックが設けられている。エンボスされた不
規則部はディスク１０のピットのないアイランド部によ
って分離された一連のピットないし凹みでよい。あるい
は、ピットの代りに、バンプ１２で示すように、一連の
隆起したこぶすなわちバンプを設けることもできる。デ
ータ・トラックはディスク上で半径方向に離隔してお
り、従来のディジタル磁気記録ディスク駆動装置におけ
るように別々の同心円トラックとして形成しても、ある
いはコンパクト・ディスク（ＣＤ）の光記録におけるよ
うに螺旋状のトラックとして形成してもかまわない。あ
るいは、記憶媒体は円形である必要もないし、また回転
式に運動する必要もない。
１０であることが好ましいが、これはさまざまな方法で
形成できるものである。ディスク１０はポリメチルメタ
クリレート（ＰＭＭＡ）、ポリカーボネートなどのポリ
マ材料、あるいは米国特許第４９４８７０３号に記載さ
れているようなアクリル系の光重合ポリマで形成するの
が好ましい。ディスク１０の上面には、表面不規則部１
２として示されている機械可読情報がエンボスされてい
る。「機械可読情報」という表現はプログラム式コンピ
ュータないしマイクロプロセッサなどのディジタル処理
リソースによって読取り可能な情報をいう。詳細にいえ
ば、データ・マークないしフィーチャという機械可読パ
ターンで配置された一連の表面不規則部を有する複数の
データ・トラックが設けられている。エンボスされた不
規則部はディスク１０のピットのないアイランド部によ
って分離された一連のピットないし凹みでよい。あるい
は、ピットの代りに、バンプ１２で示すように、一連の
隆起したこぶすなわちバンプを設けることもできる。デ
ータ・トラックはディスク上で半径方向に離隔してお
り、従来のディジタル磁気記録ディスク駆動装置におけ
るように別々の同心円トラックとして形成しても、ある
いはコンパクト・ディスク（ＣＤ）の光記録におけるよ
うに螺旋状のトラックとして形成してもかまわない。あ
るいは、記憶媒体は円形である必要もないし、また回転
式に運動する必要もない。
【００１３】ディスク１０はモータ１４のスピンドル上
方に位置決めされている。ディスク１０はモータ・スピ
ンドルに支持されて、モータ１４により一様な速度で回
転される。ディスクの中心がほぼスピンドル・モータの
回転中心に置かれるように、ディスク１０は位置決めさ
れる。支持体２０に取り付けられた、スタイラス１９を
備えている高解像度センサ１８がディスク上方に位置決
めされている。支持体２０はアクチュエータ２２に接続
されている。アクチュエータ２２は光ディスクやＣＤプ
レイヤで見られるような電磁駆動されるボイスコイル・
タイプのアクチュエータである。アクチュエータ２２は
スタイラス１９の荷重を制御するためにディスク表面に
直角な軸に沿って移動することも、ディスク１０に平行
な面内で移動することもできる。ディスクに平行な平面
内での運動は、少なくとも部分的には、ディスクの回転
中心から半径方向へのものであって、スタイラスを異な
るデータ・トラックに対して位置決めすることを可能と
するものである。
方に位置決めされている。ディスク１０はモータ・スピ
ンドルに支持されて、モータ１４により一様な速度で回
転される。ディスクの中心がほぼスピンドル・モータの
回転中心に置かれるように、ディスク１０は位置決めさ
れる。支持体２０に取り付けられた、スタイラス１９を
備えている高解像度センサ１８がディスク上方に位置決
めされている。支持体２０はアクチュエータ２２に接続
されている。アクチュエータ２２は光ディスクやＣＤプ
レイヤで見られるような電磁駆動されるボイスコイル・
タイプのアクチュエータである。アクチュエータ２２は
スタイラス１９の荷重を制御するためにディスク表面に
直角な軸に沿って移動することも、ディスク１０に平行
な面内で移動することもできる。ディスクに平行な平面
内での運動は、少なくとも部分的には、ディスクの回転
中心から半径方向へのものであって、スタイラスを異な
るデータ・トラックに対して位置決めすることを可能と
するものである。
【００１４】接触センサは支持体２０に取り付けられた
基部から一端へ延びている微細構造のカンチレバー・ア
ーム２３を含んでいる。カンチレバー・アーム２３には
ピエゾ抵抗領域２４が作成されており、この領域は導電
性であって、アームが屈曲するとこの領域の抵抗が変化
する。このような装置は米国特許第５３４５８１５号に
記載されているようなドープ・シリコンから製造するこ
とができる。鋭いスタイラス１９はカンチレバー・アー
ム２３の自由端部に配置されている。スタイラス１９は
記憶ディスク１０の表面と連動するように位置決めされ
ている。スタイラスは下方へ偏倚しているので、ディス
クの表面トポグラフィに追従する。ディスク１０が回転
すると、スタイラス１９が記憶ディスクの表面の不規則
部１２をたどっていくにつれて、カンチレバー・アーム
２３が上下する。
基部から一端へ延びている微細構造のカンチレバー・ア
ーム２３を含んでいる。カンチレバー・アーム２３には
ピエゾ抵抗領域２４が作成されており、この領域は導電
性であって、アームが屈曲するとこの領域の抵抗が変化
する。このような装置は米国特許第５３４５８１５号に
記載されているようなドープ・シリコンから製造するこ
とができる。鋭いスタイラス１９はカンチレバー・アー
ム２３の自由端部に配置されている。スタイラス１９は
記憶ディスク１０の表面と連動するように位置決めされ
ている。スタイラスは下方へ偏倚しているので、ディス
クの表面トポグラフィに追従する。ディスク１０が回転
すると、スタイラス１９が記憶ディスクの表面の不規則
部１２をたどっていくにつれて、カンチレバー・アーム
２３が上下する。
【００１５】抵抗測定回路２５が導線によってカンチレ
バー・アーム２３に接続されている。スタイラス１９が
記憶ディスク１０の不規則部をたどっていくと、カンチ
レバー・アーム２３上のピエゾ抵抗領域２４の抵抗が変
化する。この抵抗を抵抗測定回路２５によって連続的に
監視し、測定する。抵抗測定回路２５は図２に示すよう
に、駆動電圧（Ｖ）と、抵抗の小さい変化（ΔＲ）を測
定するのに適した抵抗ブリッジとを有している。ブリッ
ジ内の３つの固定抵抗Ｒは、屈曲していない場合のカン
チレバー・アーム２３の抵抗値にほぼ等しい抵抗値を有
している。屈曲した場合のカンチレバー・アームの抵抗
値の変化ΔＲによる測定出力電圧ΔＶは、ほぼ次のよう
になる。 （Ｖ／４）×（ΔＲ／Ｒ） レバー抵抗の典型的な微小変化ΔＲ／Ｒはオングストロ
ームの振れあたり１０-7ないし１０-5程度である。高さ
５０ｎｍの不規則部と２ボルトの駆動電圧の場合、これ
により約０．１−１０ｍＶの出力電圧デルタＶが生じ
る。抵抗測定回路２５からのこのアナログ電圧変化は増
幅されてから、デコーダ２７によってディジタル信号に
変換される。このような復号は使用されているデータ・
コード化方法に応じ、従来のピーク検出または閾値検出
のいずれかによって行うことができる。
バー・アーム２３に接続されている。スタイラス１９が
記憶ディスク１０の不規則部をたどっていくと、カンチ
レバー・アーム２３上のピエゾ抵抗領域２４の抵抗が変
化する。この抵抗を抵抗測定回路２５によって連続的に
監視し、測定する。抵抗測定回路２５は図２に示すよう
に、駆動電圧（Ｖ）と、抵抗の小さい変化（ΔＲ）を測
定するのに適した抵抗ブリッジとを有している。ブリッ
ジ内の３つの固定抵抗Ｒは、屈曲していない場合のカン
チレバー・アーム２３の抵抗値にほぼ等しい抵抗値を有
している。屈曲した場合のカンチレバー・アームの抵抗
値の変化ΔＲによる測定出力電圧ΔＶは、ほぼ次のよう
になる。 （Ｖ／４）×（ΔＲ／Ｒ） レバー抵抗の典型的な微小変化ΔＲ／Ｒはオングストロ
ームの振れあたり１０-7ないし１０-5程度である。高さ
５０ｎｍの不規則部と２ボルトの駆動電圧の場合、これ
により約０．１−１０ｍＶの出力電圧デルタＶが生じ
る。抵抗測定回路２５からのこのアナログ電圧変化は増
幅されてから、デコーダ２７によってディジタル信号に
変換される。このような復号は使用されているデータ・
コード化方法に応じ、従来のピーク検出または閾値検出
のいずれかによって行うことができる。
【００１６】図１のシステムは「一定力」モード、「一
定高さ」モード、あるいはこれらの組合せで動作させる
ことができる。一定力モードにおいては、ディスクに直
角なアクチュエータ２２の運動が荷重制御回路３０によ
って制御され、この回路はディスク表面のフィーチャに
関して抵抗測定回路２５によって、カンチレバー・アー
ム２３のピエゾ抵抗領域２４から得られる情報を使用し
ている。荷重制御回路３０からアクチュエータ２２へ送
られる信号を使用して、一定のカンチレバーの振れを、
それ故、スタイラス１９への一定の荷重力を維持するこ
とができる。一定高さモードにおいては、アクチュエー
タ２２はカンチレバー・アーム２３をディスク表面に直
角に移動させないので、表面不規則部がカンチレバーの
下を通過するときに、カンチレバーはさまざまな量で振
れる。組合せモードにおいては、荷重制御回路３０及び
アクチュエータ２２を使用して、長時間のほぼ一定な荷
重力を維持し、たとえば、長期のドリフトによる、ある
いはディスクの表面上の大きいフィーチャによる変動を
取り出す。ただし、スタイラス１９が小さい表面不規則
部に遭遇したときには、カンチレバー・アーム２３は自
由に振れることができるようにされたままである。デー
タ記憶用途においては、組合せモードが好ましい実施の
形態である。ただし、それぞれの場合において、抵抗測
定回路２５からの信号はデコーダ２７への入力として使
用され、デコーダはこれを当分野で周知の態様で、２進
形式、すなわち機械可読情報に変換する。
定高さ」モード、あるいはこれらの組合せで動作させる
ことができる。一定力モードにおいては、ディスクに直
角なアクチュエータ２２の運動が荷重制御回路３０によ
って制御され、この回路はディスク表面のフィーチャに
関して抵抗測定回路２５によって、カンチレバー・アー
ム２３のピエゾ抵抗領域２４から得られる情報を使用し
ている。荷重制御回路３０からアクチュエータ２２へ送
られる信号を使用して、一定のカンチレバーの振れを、
それ故、スタイラス１９への一定の荷重力を維持するこ
とができる。一定高さモードにおいては、アクチュエー
タ２２はカンチレバー・アーム２３をディスク表面に直
角に移動させないので、表面不規則部がカンチレバーの
下を通過するときに、カンチレバーはさまざまな量で振
れる。組合せモードにおいては、荷重制御回路３０及び
アクチュエータ２２を使用して、長時間のほぼ一定な荷
重力を維持し、たとえば、長期のドリフトによる、ある
いはディスクの表面上の大きいフィーチャによる変動を
取り出す。ただし、スタイラス１９が小さい表面不規則
部に遭遇したときには、カンチレバー・アーム２３は自
由に振れることができるようにされたままである。デー
タ記憶用途においては、組合せモードが好ましい実施の
形態である。ただし、それぞれの場合において、抵抗測
定回路２５からの信号はデコーダ２７への入力として使
用され、デコーダはこれを当分野で周知の態様で、２進
形式、すなわち機械可読情報に変換する。
【００１７】ドープ・ピエゾ抵抗領域２４と抵抗測定回
路２５を備えたシリコン・カンチレバー２３がカンチレ
バーの振れを検出する好ましい方法ではあるが、米国特
許第５５３７３７２号に記載されている反射レーザ光方
法などの他の周知の技法によって、カンチレバーの振れ
を検出することもできる。使用されるカンチレバー振れ
検出技法に関わりなく、出力はデコーダ２７により、デ
ィジタル・データに復号される。
路２５を備えたシリコン・カンチレバー２３がカンチレ
バーの振れを検出する好ましい方法ではあるが、米国特
許第５５３７３７２号に記載されている反射レーザ光方
法などの他の周知の技法によって、カンチレバーの振れ
を検出することもできる。使用されるカンチレバー振れ
検出技法に関わりなく、出力はデコーダ２７により、デ
ィジタル・データに復号される。
【００１８】ディスク１０の断面図であるここで図３を
参照すると、記憶ディスクはこれにエンボスされたいく
つかの形状の不規則部ないしマークを有しており、この
それぞれは異なる目的を果たすものである。まず、フィ
ーチャ４０のデータ・マークは、パルス幅変調コード化
手法を形成する幅の狭い可変長のピットとアイランドで
ある。あるいは、データ・フィーチャの深さを変動さ
せ、振幅変調手法を形成することもできる。データ・フ
ィーチャ４０のうち最小のものは幅が約５０ｎｍであ
り、円形形状で、記憶ディスク１０の中心を中心とする
トラック内に配置されている。データ・フィーチャ４０
は３本の半径方向に隣接した放射状のデータ・トラック
６０−６２の断面として示されている。データ・トラッ
ク６０、６２はデータ・トラックの半径方向帯域に配置
される。データ・トラックの第２の帯域９１は帯域９０
の半径方向内側に示されている。
参照すると、記憶ディスクはこれにエンボスされたいく
つかの形状の不規則部ないしマークを有しており、この
それぞれは異なる目的を果たすものである。まず、フィ
ーチャ４０のデータ・マークは、パルス幅変調コード化
手法を形成する幅の狭い可変長のピットとアイランドで
ある。あるいは、データ・フィーチャの深さを変動さ
せ、振幅変調手法を形成することもできる。データ・フ
ィーチャ４０のうち最小のものは幅が約５０ｎｍであ
り、円形形状で、記憶ディスク１０の中心を中心とする
トラック内に配置されている。データ・フィーチャ４０
は３本の半径方向に隣接した放射状のデータ・トラック
６０−６２の断面として示されている。データ・トラッ
ク６０、６２はデータ・トラックの半径方向帯域に配置
される。データ・トラックの第２の帯域９１は帯域９０
の半径方向内側に示されている。
【００１９】好ましい実施の形態において、ディスクは
読取専用ディスクである。データ・フィーチャ及びその
他のマークはマスタ・ディスクに書き込まれてから、記
憶ディスクにエンボスされる。Ｔｅｒｒｉｓ他が「Ｎａ
ｎｏｓｃａｌｅ Ｒｅｐｌｉｃａｔｉｏｎ ｆｏｒ Ｓ
ｃａｎｎｉｎｇ Ｐｒｏｂｅ Ｄａｔａ Ｓｔｏｒａｇ
ｅ」、Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．、Ｖｏｌ．６
９、Ｎｏ．２７，１９９６年１２月３０日、ｐｐ．４２
６２−４２６４に記載されているようにして、ＰＭＭＡ
レジストで被覆された酸化シリコン上への電子ビーム書
込みによって、マークは形成される。電子ビームを使用
したレジストの露光後に、書き込まれたデータ・パター
ンをレジストの適切な現像及びエッチングによって、酸
化シリコンへ転送する。あるいは、マスタをポリマ・マ
スタにマークを作成するＡＦＭチップを使用して作成す
ることもできるが、これも上記のＴｅｒｒｉｓ他の文献
に記載されている。
読取専用ディスクである。データ・フィーチャ及びその
他のマークはマスタ・ディスクに書き込まれてから、記
憶ディスクにエンボスされる。Ｔｅｒｒｉｓ他が「Ｎａ
ｎｏｓｃａｌｅ Ｒｅｐｌｉｃａｔｉｏｎ ｆｏｒ Ｓ
ｃａｎｎｉｎｇ Ｐｒｏｂｅ Ｄａｔａ Ｓｔｏｒａｇ
ｅ」、Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．、Ｖｏｌ．６
９、Ｎｏ．２７，１９９６年１２月３０日、ｐｐ．４２
６２−４２６４に記載されているようにして、ＰＭＭＡ
レジストで被覆された酸化シリコン上への電子ビーム書
込みによって、マークは形成される。電子ビームを使用
したレジストの露光後に、書き込まれたデータ・パター
ンをレジストの適切な現像及びエッチングによって、酸
化シリコンへ転送する。あるいは、マスタをポリマ・マ
スタにマークを作成するＡＦＭチップを使用して作成す
ることもできるが、これも上記のＴｅｒｒｉｓ他の文献
に記載されている。
【００２０】表面不規則部のパターンを次いで、米国特
許第４９４８７０３号に記載されているようにして、成
形（モールディング）によって記憶ディスクにエンボス
する。光重合ポリマ・フィルムの薄膜をマスタの表面に
形成する。このフィルムの形成前に、マスタにアモルフ
ァスＴｂＦｅＣｏなどの離型剤を塗布する。記憶ディス
クの器材を形成するガラス基板をポリマ薄膜に押し付け
る。フィルムを紫外線で露光して重合させ、硬化ポリマ
・フィルムを形成する。硬化したポリマをガラス支持体
に貼り付けたまま、マスタとディスク支持体を分離させ
る。あるいは、Ｃｈｏｕ他が「Ｉｍｐｒｉｎｔ Ｌｉｔ
ｈｏｇｒａｐｈｙ ｗｉｔｈ ２５−Ｎａｎｏｍｅｔｅ
ｒ Ｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎ」、Ｓｃｉｅｎｃｅ、Ｖｏ
ｌ．２７５，１９９６年４月５日、ｐｐ．８５−８７に
記載しているように、射出成形により、または加熱した
ＰＭＭＡフィルムにマスタを押し付けるかして、マーク
を形成することもできる。データ・マークは一連の１及
び０を表しており、それ故、記憶されているデータを表
す。あるいは、Ｍａｍｉｎが「Ｔｈｅｒｍａｌ Ｗｒｉ
ｔｉｎｇ Ｕｓｉｎｇ ａ Ｈｅａｔｅｄ Ａｔｏｍｉ
ｃ Ｆｏｒｃｅ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ Ｔｉｐ」、Ａ
ｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．、Ｖｏｌ．６９、Ｎｏ．
３，１９９６年７月１５日、ｐｐ．４３３−４３５に記
載しているようにして、このようなマークをスタイラス
によって直接記憶ディスクへ書き込み、追記型のデータ
記憶媒体を形成することもできる。
許第４９４８７０３号に記載されているようにして、成
形（モールディング）によって記憶ディスクにエンボス
する。光重合ポリマ・フィルムの薄膜をマスタの表面に
形成する。このフィルムの形成前に、マスタにアモルフ
ァスＴｂＦｅＣｏなどの離型剤を塗布する。記憶ディス
クの器材を形成するガラス基板をポリマ薄膜に押し付け
る。フィルムを紫外線で露光して重合させ、硬化ポリマ
・フィルムを形成する。硬化したポリマをガラス支持体
に貼り付けたまま、マスタとディスク支持体を分離させ
る。あるいは、Ｃｈｏｕ他が「Ｉｍｐｒｉｎｔ Ｌｉｔ
ｈｏｇｒａｐｈｙ ｗｉｔｈ ２５−Ｎａｎｏｍｅｔｅ
ｒ Ｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎ」、Ｓｃｉｅｎｃｅ、Ｖｏ
ｌ．２７５，１９９６年４月５日、ｐｐ．８５−８７に
記載しているように、射出成形により、または加熱した
ＰＭＭＡフィルムにマスタを押し付けるかして、マーク
を形成することもできる。データ・マークは一連の１及
び０を表しており、それ故、記憶されているデータを表
す。あるいは、Ｍａｍｉｎが「Ｔｈｅｒｍａｌ Ｗｒｉ
ｔｉｎｇ Ｕｓｉｎｇ ａ Ｈｅａｔｅｄ Ａｔｏｍｉ
ｃ Ｆｏｒｃｅ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ Ｔｉｐ」、Ａ
ｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．、Ｖｏｌ．６９、Ｎｏ．
３，１９９６年７月１５日、ｐｐ．４３３−４３５に記
載しているようにして、このようなマークをスタイラス
によって直接記憶ディスクへ書き込み、追記型のデータ
記憶媒体を形成することもできる。
【００２１】図３を再度参照すると、第２の形状の不規
則部、すなわちタイミング・ラインないしトラッキング
・ラインがトラッキング・ライン組５０、５１、５２、
５３として示されている。これらは高さ（ないし、深
さ）が５０ｎｍ、幅が１００ｎｍの細い線であり、上述
のようにして、マスタ上へ電子ビーム書き込みされ、記
憶ディスクにエンボスされている。そのうちの数本が図
３にトラック６０、６１、６２として略示されている所
与のデータ・トラック上にスタイラス１９を維持するた
め、次のトラッキング・ラインの間の時間を測定する。
ラインは３本１組にグループ分けされ、３本組を形成し
ている。組５０のライン７１などの各３本組の中央のラ
インはディスク１０の半径とほぼ整合している。他の２
本のライン（組５０の７０、７２）の各々は中央ライン
７１に対して２２．５度の角度をを形成し、ライン同士
が交差しないように位置決めされている。これらの２本
のライン７０、７２はそれ故、非平行非放射状ラインで
ある。３本組５０、５１はトラック方向に沿って互いに
一様に離隔されており、ディスク全周に書き込まれ、そ
れ故、３本組の帯域を形成している。３本組は離隔され
ており、一つの３本組のラインが隣接する３本組のライ
ンと交差しないような半径方向長さのものである。帯域
の半径方向長さ、円周方向の３本組の数、及び３本組内
のライン間の角度は、異なるディスク半径に応じて異な
っていてもよい。一つの帯域内に多くのデータ・トラッ
クがあることが好ましい。好ましい実施の形態において
は、５ｍｍの帯域直径及び３０ミクロンの帯域半径方向
長さにおいて、３００本のトラックが０．１ミクロンの
トラック・ピッチに配置されている。このような帯域に
は最大１０００組の３本組を入れることができるが、書
き込む数をもっと少なくして、データ・フィーチャに利
用可能な面積を増やすこともできる。３本組の帯域は一
つの帯域の末尾から次の帯域が始まり、記憶ディスクの
データ収納領域全体をカバーするように書き込まれる。
３本組の間には、たとえば、隣接する３本組５０、５１
の間に配置されたトラック６０−６２のデータ・フィー
チャ４０で示されるような、データ・フィーチャが置か
れている。
則部、すなわちタイミング・ラインないしトラッキング
・ラインがトラッキング・ライン組５０、５１、５２、
５３として示されている。これらは高さ（ないし、深
さ）が５０ｎｍ、幅が１００ｎｍの細い線であり、上述
のようにして、マスタ上へ電子ビーム書き込みされ、記
憶ディスクにエンボスされている。そのうちの数本が図
３にトラック６０、６１、６２として略示されている所
与のデータ・トラック上にスタイラス１９を維持するた
め、次のトラッキング・ラインの間の時間を測定する。
ラインは３本１組にグループ分けされ、３本組を形成し
ている。組５０のライン７１などの各３本組の中央のラ
インはディスク１０の半径とほぼ整合している。他の２
本のライン（組５０の７０、７２）の各々は中央ライン
７１に対して２２．５度の角度をを形成し、ライン同士
が交差しないように位置決めされている。これらの２本
のライン７０、７２はそれ故、非平行非放射状ラインで
ある。３本組５０、５１はトラック方向に沿って互いに
一様に離隔されており、ディスク全周に書き込まれ、そ
れ故、３本組の帯域を形成している。３本組は離隔され
ており、一つの３本組のラインが隣接する３本組のライ
ンと交差しないような半径方向長さのものである。帯域
の半径方向長さ、円周方向の３本組の数、及び３本組内
のライン間の角度は、異なるディスク半径に応じて異な
っていてもよい。一つの帯域内に多くのデータ・トラッ
クがあることが好ましい。好ましい実施の形態において
は、５ｍｍの帯域直径及び３０ミクロンの帯域半径方向
長さにおいて、３００本のトラックが０．１ミクロンの
トラック・ピッチに配置されている。このような帯域に
は最大１０００組の３本組を入れることができるが、書
き込む数をもっと少なくして、データ・フィーチャに利
用可能な面積を増やすこともできる。３本組の帯域は一
つの帯域の末尾から次の帯域が始まり、記憶ディスクの
データ収納領域全体をカバーするように書き込まれる。
３本組の間には、たとえば、隣接する３本組５０、５１
の間に配置されたトラック６０−６２のデータ・フィー
チャ４０で示されるような、データ・フィーチャが置か
れている。
【００２２】さらに、ラインの好ましい組は３本組であ
るが、ラインが２本しかない場合にも本発明は完全に適
用できるものである。ただし、これらが平行ではなく、
これらのうち少なくとも１本が非放射状であることを条
件とする。３本組のライン７０、７１、７２において、
中央のライン７１はロバスト性を与えるためのものであ
る。中央ラインは３本のラインがタイミング・ゲート内
で検出されたこと、及び第１のライン７０と第３のライ
ン７２が中央ライン７１から等間隔であることをチェッ
クするために設けられている。それ故、ラインの組はラ
イン７０及び７２だけであってもよい。
るが、ラインが２本しかない場合にも本発明は完全に適
用できるものである。ただし、これらが平行ではなく、
これらのうち少なくとも１本が非放射状であることを条
件とする。３本組のライン７０、７１、７２において、
中央のライン７１はロバスト性を与えるためのものであ
る。中央ラインは３本のラインがタイミング・ゲート内
で検出されたこと、及び第１のライン７０と第３のライ
ン７２が中央ライン７１から等間隔であることをチェッ
クするために設けられている。それ故、ラインの組はラ
イン７０及び７２だけであってもよい。
【００２３】各帯域内で、トラッキング・ラインの組及
びデータ・マークに沿って、帯域識別（ＩＤ）マーク８
０も電子ビームによって書き込まれ、ディスクにエンボ
スされている。これらのＩＤマークは復号された場合
に、３本組のうちどの帯域をスタイラス２３が読み取っ
ているのかを判定するために使用される。また、ＩＤマ
ークは３本組の位置を示すために、デコーダ２７によっ
て認識される。３本組の間の間隔が既知であるから、円
周方向のすべての３本組の位置を決定できる。この情報
を使用して、以下で説明するように、タイミング解析に
使用されるタイミング・ゲート信号を生成する。好まし
い実施の形態で説明した読取専用ディスクに加えて、本
明細書記載のトラッキング・サーボ・システムは追記型
ディスク駆動装置に使用することもできる。この実施の
形態において、タイミング・ラインは上記の記憶媒体に
エンボスされているが、データ・フィーチャはエンボス
されていない。トラック内のデータ・フィーチャはスタ
イラスによってディスクへ直接書き込まれるものであ
り、これについてはＭａｍｉｎ、「Ｔｈｅｒｍａｌ Ｗ
ｒｉｔｉｎｇ Ｕｓｉｎｇ ａ Ｈｅａｔｅｄ Ａｔｏ
ｍｉｃ Ｆｏｒｃｅ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ Ｔｉ
ｐ」、Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．、Ｖｏｌ．６
９、Ｎｏ．３ １９９６年７月１５日、ｐｐ．４３３−
４３５に記載されている。
びデータ・マークに沿って、帯域識別（ＩＤ）マーク８
０も電子ビームによって書き込まれ、ディスクにエンボ
スされている。これらのＩＤマークは復号された場合
に、３本組のうちどの帯域をスタイラス２３が読み取っ
ているのかを判定するために使用される。また、ＩＤマ
ークは３本組の位置を示すために、デコーダ２７によっ
て認識される。３本組の間の間隔が既知であるから、円
周方向のすべての３本組の位置を決定できる。この情報
を使用して、以下で説明するように、タイミング解析に
使用されるタイミング・ゲート信号を生成する。好まし
い実施の形態で説明した読取専用ディスクに加えて、本
明細書記載のトラッキング・サーボ・システムは追記型
ディスク駆動装置に使用することもできる。この実施の
形態において、タイミング・ラインは上記の記憶媒体に
エンボスされているが、データ・フィーチャはエンボス
されていない。トラック内のデータ・フィーチャはスタ
イラスによってディスクへ直接書き込まれるものであ
り、これについてはＭａｍｉｎ、「Ｔｈｅｒｍａｌ Ｗ
ｒｉｔｉｎｇ Ｕｓｉｎｇ ａ Ｈｅａｔｅｄ Ａｔｏ
ｍｉｃ Ｆｏｒｃｅ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ Ｔｉ
ｐ」、Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．、Ｖｏｌ．６
９、Ｎｏ．３ １９９６年７月１５日、ｐｐ．４３３−
４３５に記載されている。
【００２４】図４は帯域９０内の３本の異なるデータ・
トラック６０、６１及び６２におけるデコーダ２７の出
力の略図である。トラック６０はトラック６１の半径方
向外方に配置されており、トラック６１はトラック６２
の半径方向外方に配置されている。トラック６１が希望
するトラックである場合、１組の３本組（５０）内のト
ラック方向に沿ったライン（７０、７１、７２）の間隔
はトラック６０での方がトラック６１におけるものより
も広くなる。同様に、ライン間隔はトラック６２での方
がトラック６１または６０におけるものよりも狭くな
る。それ故、３本組内の２本の非平行、非放射状ライン
（たとえば、３本組５０内のライン７０、７２）の間の
時間間隔は、スタイラス１９がトラック上にあるかどう
かを判定し、かつスタイラス１９をトラック上に維持す
るために使用される。図４の下方部分はタイミング・ゲ
ート信号を示しており、この信号はトラッキング・ライ
ンが検出されると考えられるタイム・ウィンドウ中でハ
イとなる。
トラック６０、６１及び６２におけるデコーダ２７の出
力の略図である。トラック６０はトラック６１の半径方
向外方に配置されており、トラック６１はトラック６２
の半径方向外方に配置されている。トラック６１が希望
するトラックである場合、１組の３本組（５０）内のト
ラック方向に沿ったライン（７０、７１、７２）の間隔
はトラック６０での方がトラック６１におけるものより
も広くなる。同様に、ライン間隔はトラック６２での方
がトラック６１または６０におけるものよりも狭くな
る。それ故、３本組内の２本の非平行、非放射状ライン
（たとえば、３本組５０内のライン７０、７２）の間の
時間間隔は、スタイラス１９がトラック上にあるかどう
かを判定し、かつスタイラス１９をトラック上に維持す
るために使用される。図４の下方部分はタイミング・ゲ
ート信号を示しており、この信号はトラッキング・ライ
ンが検出されると考えられるタイム・ウィンドウ中でハ
イとなる。
【００２５】図５はスタイラスがトラック上にあるかど
うかを判定するために使用されるタイミング論理の略図
である。帯域ＩＤマーク８０を検出した後、デコーダ２
７は３本組の期待される継続期間中ハイであるタイミン
グ・ゲート信号を３本組の間の期待される時間間隔で生
成する。タイミング・ゲート信号及びデコーダ信号はタ
イミング分析回路２９（図１）へ入力される。タイミン
グ・ゲートがハイになった後に検出された第１のピーク
（ピーク１）は２つのカウンタＡ及びＢに増分を開始さ
せる。このピークは３本組５０内のライン７０によって
引き起こされ、タイミング・ゲート信号によって使用可
能とされ、ピークを受け取るたびにイネーブル信号レベ
ルをラッチ出力へ転送するラッチ１０２を使用して検出
される。ラッチ１０２の出力には図５でピーク１という
符号がつけられている。カウンタＡ及びＢは停止するま
でに経過したクロック・サイクル数を記録する。カウン
タは追加のクロック・サイクルごとに記憶している合計
値を１増加させるカウント・アップ形でも、追加のクロ
ック・サイクルごとに記憶している合計値を１減少させ
るクロック・ダウン形でもよい。クロックは標準的な電
子技法を使用しているタイミング分析回路、たとえば、
水晶発振器によって生成される。イネーブル信号として
ピーク１を有しているラッチ１０４を使用して検出され
る、３本組５０のライン７１に対応した第２のピーク
（ピーク２）において、カウンタＢは逆転されるととも
に、カウンタＡは積算を継続する。イネーブル信号とし
てピーク２を有しているラッチ１０６を使用して検出さ
れる、３本組５０のライン７２に対応した第３のピーク
（ピーク３）において、カウンタＡ及びＢは両方とも停
止し、値が格納される。カウンタはクロック・サイクル
の期待されている値を格納するために十分な数のビット
を有している必要がある。好ましい実施の形態におい
て、これは少なくとも１２ビットである。
うかを判定するために使用されるタイミング論理の略図
である。帯域ＩＤマーク８０を検出した後、デコーダ２
７は３本組の期待される継続期間中ハイであるタイミン
グ・ゲート信号を３本組の間の期待される時間間隔で生
成する。タイミング・ゲート信号及びデコーダ信号はタ
イミング分析回路２９（図１）へ入力される。タイミン
グ・ゲートがハイになった後に検出された第１のピーク
（ピーク１）は２つのカウンタＡ及びＢに増分を開始さ
せる。このピークは３本組５０内のライン７０によって
引き起こされ、タイミング・ゲート信号によって使用可
能とされ、ピークを受け取るたびにイネーブル信号レベ
ルをラッチ出力へ転送するラッチ１０２を使用して検出
される。ラッチ１０２の出力には図５でピーク１という
符号がつけられている。カウンタＡ及びＢは停止するま
でに経過したクロック・サイクル数を記録する。カウン
タは追加のクロック・サイクルごとに記憶している合計
値を１増加させるカウント・アップ形でも、追加のクロ
ック・サイクルごとに記憶している合計値を１減少させ
るクロック・ダウン形でもよい。クロックは標準的な電
子技法を使用しているタイミング分析回路、たとえば、
水晶発振器によって生成される。イネーブル信号として
ピーク１を有しているラッチ１０４を使用して検出され
る、３本組５０のライン７１に対応した第２のピーク
（ピーク２）において、カウンタＢは逆転されるととも
に、カウンタＡは積算を継続する。イネーブル信号とし
てピーク２を有しているラッチ１０６を使用して検出さ
れる、３本組５０のライン７２に対応した第３のピーク
（ピーク３）において、カウンタＡ及びＢは両方とも停
止し、値が格納される。カウンタはクロック・サイクル
の期待されている値を格納するために十分な数のビット
を有している必要がある。好ましい実施の形態におい
て、これは少なくとも１２ビットである。
【００２６】カウンタが停止した後、カウンタＢの内容
を調べる。理想的には、３本組内の３本のトラッキング
・ライン７０−７２が等間隔である場合、これは０であ
る。これが当てはまるかどうかを判定する簡単な方法
は、カウンタＢのビット・ラインを１２ビットのＯＲゲ
ート１１０につなぐことである。１２ビットすべてが０
である場合、ＯＲゲート１１０の出力は０となる。トラ
ック・ラインの配置ないしクロック変動量における小さ
い誤差がライン間の測定時間にわずかな差を生じるもの
であるから、カウンタＢが０と若干異なっていることを
許容するのが望ましい。これはＯＲゲート１１０内でカ
ウンタＢの１０または１１個の最上位ビットだけを比較
することによって達成される。ＯＲゲート１１０の出力
はカウンタＡが有効なトラック・タイミング情報を含ん
でいることを確認するために使用される。
を調べる。理想的には、３本組内の３本のトラッキング
・ライン７０−７２が等間隔である場合、これは０であ
る。これが当てはまるかどうかを判定する簡単な方法
は、カウンタＢのビット・ラインを１２ビットのＯＲゲ
ート１１０につなぐことである。１２ビットすべてが０
である場合、ＯＲゲート１１０の出力は０となる。トラ
ック・ラインの配置ないしクロック変動量における小さ
い誤差がライン間の測定時間にわずかな差を生じるもの
であるから、カウンタＢが０と若干異なっていることを
許容するのが望ましい。これはＯＲゲート１１０内でカ
ウンタＢの１０または１１個の最上位ビットだけを比較
することによって達成される。ＯＲゲート１１０の出力
はカウンタＡが有効なトラック・タイミング情報を含ん
でいることを確認するために使用される。
【００２７】トラッキング誤差信号（ＴＥＳ）を生成す
る前に、第２の妥当性チェックを行う。デコーダ２７か
らのタイミング・ゲートがハイである間に、３つの信号
だけを受け取らなければならない（図４）。イネーブル
信号としてピーク３を有しているラッチ１１２を使用し
て、第４のピーク（ピーク４）を探し出す。何も受け取
らなかった場合には、タイミング・ゲートがロー・レベ
ルに戻ったときに、ピーク４の信号レベルはローとな
る。それ故、タイミング・ゲートがローに戻ったとき
に、ＯＲゲート１１０のレベルとピーク４のレベルの両
方がローであれば、有効なタイミングの測定が行われ
る。これらの３つの条件を満たすことが、反転入力を有
するＡＮＤゲート１１４を使用して判定される。ＡＮＤ
ゲート１１４のハイ出力は有効なタイミング測定を表
す。
る前に、第２の妥当性チェックを行う。デコーダ２７か
らのタイミング・ゲートがハイである間に、３つの信号
だけを受け取らなければならない（図４）。イネーブル
信号としてピーク３を有しているラッチ１１２を使用し
て、第４のピーク（ピーク４）を探し出す。何も受け取
らなかった場合には、タイミング・ゲートがロー・レベ
ルに戻ったときに、ピーク４の信号レベルはローとな
る。それ故、タイミング・ゲートがローに戻ったとき
に、ＯＲゲート１１０のレベルとピーク４のレベルの両
方がローであれば、有効なタイミングの測定が行われ
る。これらの３つの条件を満たすことが、反転入力を有
するＡＮＤゲート１１４を使用して判定される。ＡＮＤ
ゲート１１４のハイ出力は有効なタイミング測定を表
す。
【００２８】このＡＮＤゲート１１４の出力はＴＥＳを
更新するイネーブル信号である。第１及び第３のピーク
（３本組５０のライン７０及び７２に対応する）の間の
経過時間であるカウンタＡをターゲット値と比較する。
このターゲット値はＥＰＲＯＭ１１６などのルックアッ
プ・テーブルから検索される。各データ・トラックの半
径方向位置はＥＰＲＯＭ１１６に格納されているターゲ
ット値を有している。ターゲット値とカウンタＡの間の
差がディジタルＴＥＳであり、ＤＡＣ１２０によってア
ナログＴＥＳに変換され、トラッキング制御回路３１
（図１）に入力される。標準的な制御電子機器を使用し
て、トラッキング制御回路３１はアクチュエータ２２を
駆動して、スタイラス１９を希望するトラックへ向けて
移動させる。ＡＮＤゲート１１４がローのままである場
合には、ＴＥＳは更新されない。タイミング・ゲートが
ローになった後、タイミング分析回路２９がリセットさ
れ、次の３本組を示す次のハイ・タイミング・ゲート信
号を待つ。あるいは、トラッキング制御回路３１をＤＡ
Ｃ１２０を必要としない完全なディジタル・コントロー
ラとして実現することもできる。
更新するイネーブル信号である。第１及び第３のピーク
（３本組５０のライン７０及び７２に対応する）の間の
経過時間であるカウンタＡをターゲット値と比較する。
このターゲット値はＥＰＲＯＭ１１６などのルックアッ
プ・テーブルから検索される。各データ・トラックの半
径方向位置はＥＰＲＯＭ１１６に格納されているターゲ
ット値を有している。ターゲット値とカウンタＡの間の
差がディジタルＴＥＳであり、ＤＡＣ１２０によってア
ナログＴＥＳに変換され、トラッキング制御回路３１
（図１）に入力される。標準的な制御電子機器を使用し
て、トラッキング制御回路３１はアクチュエータ２２を
駆動して、スタイラス１９を希望するトラックへ向けて
移動させる。ＡＮＤゲート１１４がローのままである場
合には、ＴＥＳは更新されない。タイミング・ゲートが
ローになった後、タイミング分析回路２９がリセットさ
れ、次の３本組を示す次のハイ・タイミング・ゲート信
号を待つ。あるいは、トラッキング制御回路３１をＤＡ
Ｃ１２０を必要としない完全なディジタル・コントロー
ラとして実現することもできる。
【００２９】トラッキングにおける十分な精度を達成す
るためには、クロック周波数ｆはカウンタＡがどこにト
ラックの中心線があるかを決定し、かつ２本の隣接する
トラックを区別できるようなものでなければならない。
好ましい実施の形態において、ビット（図３のマーク４
０）の半径方向の幅は５０ｎｍであり、それ故、スタイ
ラスの振れが全振幅となる距離であるトラックＴwの幅
も５０ｎｍである。スタイラスがトラックの中心線から
Ｔw／２超になると、スタイラスの振れが、したがって
検出されたΔＲが半径方向に減少する。好ましい実施の
形態において、半径方向距離Ｔｗを移動するスタイラス
に対するカウンタＡの読みの間の差は少なくとも５カウ
ントである。図６は２本の隣接するトラック６０、６１
における２つのビット・パターンの間の３本組のトラッ
キング・ライン７０、７１、７２を示す。トラックはト
ラック・ピッチＴpによって離隔している。ビット幅Ｔw
を横切るカウンタＡの値の差はスタイラスが移動した２
Δｘという距離の差によって生じる。形状から見て、こ
れは次式の半径方向距離の差に関連している。 Δｒ＝２Δｘ／ｔａｎ（２２．５）
るためには、クロック周波数ｆはカウンタＡがどこにト
ラックの中心線があるかを決定し、かつ２本の隣接する
トラックを区別できるようなものでなければならない。
好ましい実施の形態において、ビット（図３のマーク４
０）の半径方向の幅は５０ｎｍであり、それ故、スタイ
ラスの振れが全振幅となる距離であるトラックＴwの幅
も５０ｎｍである。スタイラスがトラックの中心線から
Ｔw／２超になると、スタイラスの振れが、したがって
検出されたΔＲが半径方向に減少する。好ましい実施の
形態において、半径方向距離Ｔｗを移動するスタイラス
に対するカウンタＡの読みの間の差は少なくとも５カウ
ントである。図６は２本の隣接するトラック６０、６１
における２つのビット・パターンの間の３本組のトラッ
キング・ライン７０、７１、７２を示す。トラックはト
ラック・ピッチＴpによって離隔している。ビット幅Ｔw
を横切るカウンタＡの値の差はスタイラスが移動した２
Δｘという距離の差によって生じる。形状から見て、こ
れは次式の半径方向距離の差に関連している。 Δｒ＝２Δｘ／ｔａｎ（２２．５）
【００３０】Ｔwが５０ｎｍである場合、経路差２Δｘ
は次式のようになる。 ５０／ｔａｎ（２２．５）＝１２０ｎｍ
は次式のようになる。 ５０／ｔａｎ（２２．５）＝１２０ｎｍ
【００３１】カウンタＡによって測定される時間差は、
この場合、１２０ｆ／ｖとなる。ただし、ｖはトラック
の直径におけるディスクの線速度、ｆはサイクルで表し
たクロック周波数である。たとえば、線速度が０．１ｍ
／ｓ、幅５０ｎｍのビットを横切るカウンタＡの差が５
カウントの場合、 ｆ＝５ｖ／１２０＝（５×０．１）／（１２０×１
０-9）＝４．２ＭＨｚ
この場合、１２０ｆ／ｖとなる。ただし、ｖはトラック
の直径におけるディスクの線速度、ｆはサイクルで表し
たクロック周波数である。たとえば、線速度が０．１ｍ
／ｓ、幅５０ｎｍのビットを横切るカウンタＡの差が５
カウントの場合、 ｆ＝５ｖ／１２０＝（５×０．１）／（１２０×１
０-9）＝４．２ＭＨｚ
【００３２】１本のトラックを次のトラックと区別する
ためには、トラック・ピッチＴpがＴwよりも大きくなけ
ればならない。さらに、クロック周波数ｆはカウンタＡ
がトラックを分離できるようにするのに十分な高さでな
ければならない。すなわち、トラック間のカウンタＡの
カウントにある程度の間隔がなければならない。上記の
ように４．２ＭＨｚのクロックを使用した場合、１００
ｎｍのＴpによってトラック間で５カウントのカウンタ
Ａのカウントが可能となる。クロック周波数を上げた場
合、トラック・ピッチを狭くすることができ、所与のト
ラックの中心線にとどまる能力が改善されることとな
る。
ためには、トラック・ピッチＴpがＴwよりも大きくなけ
ればならない。さらに、クロック周波数ｆはカウンタＡ
がトラックを分離できるようにするのに十分な高さでな
ければならない。すなわち、トラック間のカウンタＡの
カウントにある程度の間隔がなければならない。上記の
ように４．２ＭＨｚのクロックを使用した場合、１００
ｎｍのＴpによってトラック間で５カウントのカウンタ
Ａのカウントが可能となる。クロック周波数を上げた場
合、トラック・ピッチを狭くすることができ、所与のト
ラックの中心線にとどまる能力が改善されることとな
る。
【００３３】図７を参照すると、タイミング・ラインの
組の他のものが示されている。外側の２本のライン７
０’、７２’はほぼディスクの半径に沿って整合してい
る。中間のライン７１’は外側のラインのいずれとも交
差せず、外側のラインの全長に延びているように配置さ
れた非放射状ラインである。この実施の形態において、
カウンタＡ及びＢは第１のピークの検出後に積算を開始
し、カウンタＡは第２のピークの検出後に停止し、カウ
ンタＢは第３のピークの検出後に停止する。ＴＥＳはカ
ウンタＡとカウンタＢの比である。図７からわかるよう
に、スタイラスが帯域の外径から内径に向かって移動す
ると、この比は減少する。スタイラスが帯域の中央に正
確にある場合、この比は正確に１／２になる。ＴＥＳが
同じタイミング・ラインで測定した２つの時間の比であ
るから、ＴＥＳはディスク速度と無関係である。図６及
び図７に示したようなタイミング・ラインの異なる組の
各々には、少なくとも２本のラインがあり、少なくとも
そのうちの１本はデータ・トラックの方向と直角以外の
角度で交差する非放射状ラインである。
組の他のものが示されている。外側の２本のライン７
０’、７２’はほぼディスクの半径に沿って整合してい
る。中間のライン７１’は外側のラインのいずれとも交
差せず、外側のラインの全長に延びているように配置さ
れた非放射状ラインである。この実施の形態において、
カウンタＡ及びＢは第１のピークの検出後に積算を開始
し、カウンタＡは第２のピークの検出後に停止し、カウ
ンタＢは第３のピークの検出後に停止する。ＴＥＳはカ
ウンタＡとカウンタＢの比である。図７からわかるよう
に、スタイラスが帯域の外径から内径に向かって移動す
ると、この比は減少する。スタイラスが帯域の中央に正
確にある場合、この比は正確に１／２になる。ＴＥＳが
同じタイミング・ラインで測定した２つの時間の比であ
るから、ＴＥＳはディスク速度と無関係である。図６及
び図７に示したようなタイミング・ラインの異なる組の
各々には、少なくとも２本のラインがあり、少なくとも
そのうちの１本はデータ・トラックの方向と直角以外の
角度で交差する非放射状ラインである。
【００３４】まとめとして、本発明の構成に関して以下
の事項を開示する。
の事項を開示する。
【００３５】（１）複数の離隔したトラックに形成され
る機械可読情報を画定する表面トポグラフィが上面に形
成されているデータ記憶媒体であって、該表面トポグラ
フィがトラックを横切って延びるラインの複数の組を含
んでおり、ラインの各組が少なくとも２本のラインを含
んでおり、そのうちの少なくとも１本がトラックの方向
に対し直角以外の角度でトラックを横切って延びている
データ記憶媒体と、記憶媒体と連動し、記憶媒体がセン
サに関して移動したときに表面トポグラフィに追随する
ように前後に振れるセンサと、記憶媒体とセンサの間に
相対運動を与える手段と、センサをトラック上に維持
し、センサを１本のトラックから他のトラックへ移動さ
せるためセンサに接続されたアクチュエータと、表面ト
ポグラフィによって引き起こされたセンサの振れを、ラ
インの組を含めて検出し、センサの振れを表す出力信号
を生成する検出器と、振れ検出器からの出力信号から、
組内のラインの検出の間の時間を判定するタイミング回
路であって、判定した時間をターゲット時間と比較し、
判定した時間とターゲット時間の間の差を表すトラッキ
ング・エラー信号を生成する回路を含んでいるタイミン
グ回路と、アクチュエータと結合され、トラッキング・
エラー信号に応答して、センサを希望するトラック上に
位置決めするトラッキング制御回路と、振れ検出器から
の出力信号を受け、出力信号を媒体上の表面トポグラフ
ィによって形成された機械可読情報を表すディジタル・
データに変換するデータ復号回路とを備えているデータ
記憶システム。 （２）媒体がディスクであり、トラックがほぼ半径方向
に離隔したトラックであり、ラインの組がトラックの円
周方向に離隔されている、上記（１）に記載のデータ記
憶システム。 （３）トラックが離散したほぼ同心のトラックである、
上記（２）に記載のデータ記憶システム。 （４）トラックがほぼ螺旋状のトラックである、上記
（２）に記載のデータ記憶システム。 （５）相対運動を与える手段がディスクの取り付けられ
たスピンドル・モータであり、ディスクがスピンドル・
モータから脱着できる、上記（２）に記載のデータ記憶
システム。 （６）ラインの各組が３本の円周方向に隣接したライン
からなっており、３本のうち中央のラインがディスクの
半径上に配置されている、上記（２）に記載のデータ記
憶システム。 （７）ラインの各組が３本の円周方向に隣接したライン
からなっており、３本のうち中央のラインが非放射状ラ
インであり、他の２本が放射状ラインである、上記
（２）に記載のデータ記憶システム。 （８）トラックが放射状に離隔した帯域にグループ分け
されており、トラックの各帯域がそれ自体のラインの複
数の組を含んでいる、上記（２）に記載のデータ記憶シ
ステム。 （９）ディスク上の表面トポグラフィが帯域識別（Ｉ
Ｄ）マークを含んでおり、タイミング回路がＩＤマーク
を復号して、ラインの組が配置されている帯域を特定す
る回路を含んでいる、上記（８）に記載のデータ記憶シ
ステム。 （１０）タイミング回路が復号されたＩＤマークに応答
して、ラインの組が検出されると考えられるタイミング
・ウィンドウを見つけ出すタイミング・ゲートを含んで
いる、上記（９）に記載のデータ記憶システム。 （１１）タイミング回路がクロックと、組内のラインの
うち２本の検出の間のクロック・サイクル数をカウント
するカウンタとを含んでいる、上記（１）に記載のデー
タ記憶システム。 （１２）センサがデータ記憶媒体の表面に物理的に接触
する接触センサである、上記（１）に記載のデータ記憶
システム。 （１３）機械可読情報を表す表面不規則部の半径方向に
離隔したデータ・トラックの少なくとも一つの帯域と、
データ・トラックの円周方向に離隔したトラッキング・
ラインの複数の組であって、トラッキング・ラインの各
組が少なくとも２本のラインを含んでおり、そのうちの
少なくとも１本が非放射状ラインであるトラッキング・
ラインの複数の組とを有しているデータ記憶ディスク
と、ディスクを回転させるモータと、ディスクの回転中
にディスク上の表面不規則部とトラッキング・ラインに
連動し、これらの接触する接触スタイラスを自由端に有
している可撓性カンチレバーと、スタイラスをトラック
上に維持し、スタイラスを１本のトラックから他のトラ
ックへ移動させるためカンチレバーに接続されたアクチ
ュエータと、ディスク上の表面不規則部とトラッキング
・ラインとによって引き起こされたスタイラスの振れを
検出し、スタイラスの振れを表す出力信号を生成するカ
ンチレバー振れ検出器と、振れ検出器からの出力信号か
ら、組内のラインの検出の間の時間を判定するタイミン
グ回路であって、判定した時間をターゲット時間と比較
し、判定した時間とターゲット時間の間の差を表すトラ
ッキング・エラー信号を生成する回路を含んでいるタイ
ミング回路と、アクチュエータと結合され、トラッキン
グ・エラー信号に応答して、スタイラスを希望するトラ
ック上に位置決めするトラッキング制御回路と、振れ検
出器からの出力信号を受け、出力信号をディスク上の表
面不規則部によって形成された機械可読情報を表すディ
ジタル・データに変換するデータ復号回路とを備えてい
るデータ記憶システム。 （１４）トラックが離散したほぼ同心のデータ・トラッ
クである、上記（１３）に記載のデータ記憶システム。 （１５）トラックがほぼ螺旋状のデータ・トラックであ
る、上記（１３）に記載のデータ記憶システム。 （１６）ディスクがモータから脱着できる、上記（１
３）に記載のデータ記憶システム。 （１７）ラインの各組が３本の円周方向に隣接したライ
ンからなっており、３本のうち中央のラインがディスク
の半径上に配置されており、他の２本が互いに平行でな
い非放射状ラインである、上記（１３）に記載のデータ
記憶システム。 （１８）ラインの各組が３本の円周方向に隣接したライ
ンからなっており、３本のうち中央のラインが非放射状
ラインであり、他の２本が放射状ラインである、上記
（１３）に記載のデータ記憶システム。 （１９）ディスクがその表面上に帯域識別（ＩＤ）マー
クを含んでおり、タイミング回路がＩＤマークを復号し
て、ラインの組が配置されている帯域を特定する回路を
含んでいる、上記（１８）に記載のデータ記憶システ
ム。 （２０）タイミング回路が復号されたＩＤマークに応答
して、ラインの組が検出されると考えられるタイミング
・ウィンドウを見つけ出すタイミング・ゲートを含んで
いる、上記（１９）に記載のデータ記憶システム。 （２１）タイミング回路がクロックと、組内のラインの
うち２本の検出の間のクロック・サイクル数をカウント
するカウンタとを含んでいる、上記（１３）に記載のデ
ータ記憶システム。 （２２）カンチレバーがピエゾ抵抗領域を含んでいるシ
リコン・カンチレバーであり、カンチレバー振れ検出器
がスタイラスの振れに応じたピエゾ抵抗領域の抵抗の変
化を検出するためにカンチレバーのピエゾ抵抗領域に結
合された電気抵抗検出回路を含んでいる、上記（１３）
に記載のデータ記憶システム。 （２３）ポリマ材料で形成された表面を有しているディ
スク基板を備えており、ディスク表面には表面不規則部
としてデータ・トラックの円周方向に離隔した複数組の
トラッキング・ラインがエンボスされており、トラッキ
ング・ラインの各組が帯域内のすべてのトラックを横切
って延びている少なくとも２本のラインを含んでおり、
２本のラインのうち少なくとも１本が非放射状ラインで
ある、データ記憶ディスク。 （２４）ディスクが読取専用ディスクであり、ディスク
表面には機械可読情報を表す表面不規則部の半径方向に
離隔したデータ・トラックの少なくとも一つの帯域がエ
ンボスされており、データ・トラック表面不規則部がト
ラッキング・ラインの円周方向に離隔した組の間で離散
している、上記（２３）に記載のデータ記憶ディスク。 （２５）ポリマ材料で形成された表面を有しているディ
スク基板を備えており、ディスク表面には機械可読情報
を表す表面不規則部の円周方向に離隔したデータ・トラ
ックの少なくとも一つの帯域とデータ・トラックの円周
方向に離隔した複数組のトラッキング・ラインとがエン
ボスされており、トラッキング・ラインの各組が帯域内
のすべてのトラックを横切って延びている少なくとも２
本のラインを含んでおり、２本のラインのうち少なくと
も１本が非放射状ラインである、読取専用データ記憶デ
ィスク。
る機械可読情報を画定する表面トポグラフィが上面に形
成されているデータ記憶媒体であって、該表面トポグラ
フィがトラックを横切って延びるラインの複数の組を含
んでおり、ラインの各組が少なくとも２本のラインを含
んでおり、そのうちの少なくとも１本がトラックの方向
に対し直角以外の角度でトラックを横切って延びている
データ記憶媒体と、記憶媒体と連動し、記憶媒体がセン
サに関して移動したときに表面トポグラフィに追随する
ように前後に振れるセンサと、記憶媒体とセンサの間に
相対運動を与える手段と、センサをトラック上に維持
し、センサを１本のトラックから他のトラックへ移動さ
せるためセンサに接続されたアクチュエータと、表面ト
ポグラフィによって引き起こされたセンサの振れを、ラ
インの組を含めて検出し、センサの振れを表す出力信号
を生成する検出器と、振れ検出器からの出力信号から、
組内のラインの検出の間の時間を判定するタイミング回
路であって、判定した時間をターゲット時間と比較し、
判定した時間とターゲット時間の間の差を表すトラッキ
ング・エラー信号を生成する回路を含んでいるタイミン
グ回路と、アクチュエータと結合され、トラッキング・
エラー信号に応答して、センサを希望するトラック上に
位置決めするトラッキング制御回路と、振れ検出器から
の出力信号を受け、出力信号を媒体上の表面トポグラフ
ィによって形成された機械可読情報を表すディジタル・
データに変換するデータ復号回路とを備えているデータ
記憶システム。 （２）媒体がディスクであり、トラックがほぼ半径方向
に離隔したトラックであり、ラインの組がトラックの円
周方向に離隔されている、上記（１）に記載のデータ記
憶システム。 （３）トラックが離散したほぼ同心のトラックである、
上記（２）に記載のデータ記憶システム。 （４）トラックがほぼ螺旋状のトラックである、上記
（２）に記載のデータ記憶システム。 （５）相対運動を与える手段がディスクの取り付けられ
たスピンドル・モータであり、ディスクがスピンドル・
モータから脱着できる、上記（２）に記載のデータ記憶
システム。 （６）ラインの各組が３本の円周方向に隣接したライン
からなっており、３本のうち中央のラインがディスクの
半径上に配置されている、上記（２）に記載のデータ記
憶システム。 （７）ラインの各組が３本の円周方向に隣接したライン
からなっており、３本のうち中央のラインが非放射状ラ
インであり、他の２本が放射状ラインである、上記
（２）に記載のデータ記憶システム。 （８）トラックが放射状に離隔した帯域にグループ分け
されており、トラックの各帯域がそれ自体のラインの複
数の組を含んでいる、上記（２）に記載のデータ記憶シ
ステム。 （９）ディスク上の表面トポグラフィが帯域識別（Ｉ
Ｄ）マークを含んでおり、タイミング回路がＩＤマーク
を復号して、ラインの組が配置されている帯域を特定す
る回路を含んでいる、上記（８）に記載のデータ記憶シ
ステム。 （１０）タイミング回路が復号されたＩＤマークに応答
して、ラインの組が検出されると考えられるタイミング
・ウィンドウを見つけ出すタイミング・ゲートを含んで
いる、上記（９）に記載のデータ記憶システム。 （１１）タイミング回路がクロックと、組内のラインの
うち２本の検出の間のクロック・サイクル数をカウント
するカウンタとを含んでいる、上記（１）に記載のデー
タ記憶システム。 （１２）センサがデータ記憶媒体の表面に物理的に接触
する接触センサである、上記（１）に記載のデータ記憶
システム。 （１３）機械可読情報を表す表面不規則部の半径方向に
離隔したデータ・トラックの少なくとも一つの帯域と、
データ・トラックの円周方向に離隔したトラッキング・
ラインの複数の組であって、トラッキング・ラインの各
組が少なくとも２本のラインを含んでおり、そのうちの
少なくとも１本が非放射状ラインであるトラッキング・
ラインの複数の組とを有しているデータ記憶ディスク
と、ディスクを回転させるモータと、ディスクの回転中
にディスク上の表面不規則部とトラッキング・ラインに
連動し、これらの接触する接触スタイラスを自由端に有
している可撓性カンチレバーと、スタイラスをトラック
上に維持し、スタイラスを１本のトラックから他のトラ
ックへ移動させるためカンチレバーに接続されたアクチ
ュエータと、ディスク上の表面不規則部とトラッキング
・ラインとによって引き起こされたスタイラスの振れを
検出し、スタイラスの振れを表す出力信号を生成するカ
ンチレバー振れ検出器と、振れ検出器からの出力信号か
ら、組内のラインの検出の間の時間を判定するタイミン
グ回路であって、判定した時間をターゲット時間と比較
し、判定した時間とターゲット時間の間の差を表すトラ
ッキング・エラー信号を生成する回路を含んでいるタイ
ミング回路と、アクチュエータと結合され、トラッキン
グ・エラー信号に応答して、スタイラスを希望するトラ
ック上に位置決めするトラッキング制御回路と、振れ検
出器からの出力信号を受け、出力信号をディスク上の表
面不規則部によって形成された機械可読情報を表すディ
ジタル・データに変換するデータ復号回路とを備えてい
るデータ記憶システム。 （１４）トラックが離散したほぼ同心のデータ・トラッ
クである、上記（１３）に記載のデータ記憶システム。 （１５）トラックがほぼ螺旋状のデータ・トラックであ
る、上記（１３）に記載のデータ記憶システム。 （１６）ディスクがモータから脱着できる、上記（１
３）に記載のデータ記憶システム。 （１７）ラインの各組が３本の円周方向に隣接したライ
ンからなっており、３本のうち中央のラインがディスク
の半径上に配置されており、他の２本が互いに平行でな
い非放射状ラインである、上記（１３）に記載のデータ
記憶システム。 （１８）ラインの各組が３本の円周方向に隣接したライ
ンからなっており、３本のうち中央のラインが非放射状
ラインであり、他の２本が放射状ラインである、上記
（１３）に記載のデータ記憶システム。 （１９）ディスクがその表面上に帯域識別（ＩＤ）マー
クを含んでおり、タイミング回路がＩＤマークを復号し
て、ラインの組が配置されている帯域を特定する回路を
含んでいる、上記（１８）に記載のデータ記憶システ
ム。 （２０）タイミング回路が復号されたＩＤマークに応答
して、ラインの組が検出されると考えられるタイミング
・ウィンドウを見つけ出すタイミング・ゲートを含んで
いる、上記（１９）に記載のデータ記憶システム。 （２１）タイミング回路がクロックと、組内のラインの
うち２本の検出の間のクロック・サイクル数をカウント
するカウンタとを含んでいる、上記（１３）に記載のデ
ータ記憶システム。 （２２）カンチレバーがピエゾ抵抗領域を含んでいるシ
リコン・カンチレバーであり、カンチレバー振れ検出器
がスタイラスの振れに応じたピエゾ抵抗領域の抵抗の変
化を検出するためにカンチレバーのピエゾ抵抗領域に結
合された電気抵抗検出回路を含んでいる、上記（１３）
に記載のデータ記憶システム。 （２３）ポリマ材料で形成された表面を有しているディ
スク基板を備えており、ディスク表面には表面不規則部
としてデータ・トラックの円周方向に離隔した複数組の
トラッキング・ラインがエンボスされており、トラッキ
ング・ラインの各組が帯域内のすべてのトラックを横切
って延びている少なくとも２本のラインを含んでおり、
２本のラインのうち少なくとも１本が非放射状ラインで
ある、データ記憶ディスク。 （２４）ディスクが読取専用ディスクであり、ディスク
表面には機械可読情報を表す表面不規則部の半径方向に
離隔したデータ・トラックの少なくとも一つの帯域がエ
ンボスされており、データ・トラック表面不規則部がト
ラッキング・ラインの円周方向に離隔した組の間で離散
している、上記（２３）に記載のデータ記憶ディスク。 （２５）ポリマ材料で形成された表面を有しているディ
スク基板を備えており、ディスク表面には機械可読情報
を表す表面不規則部の円周方向に離隔したデータ・トラ
ックの少なくとも一つの帯域とデータ・トラックの円周
方向に離隔した複数組のトラッキング・ラインとがエン
ボスされており、トラッキング・ラインの各組が帯域内
のすべてのトラックを横切って延びている少なくとも２
本のラインを含んでおり、２本のラインのうち少なくと
も１本が非放射状ラインである、読取専用データ記憶デ
ィスク。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のＡＦＭデータ記憶システムのブロック
図である。
図である。
【図２】ＡＦＭデータ記憶システムにおけるカンチレバ
ーの振れを検出するのに使用される抵抗測定回路の略図
である。
ーの振れを検出するのに使用される抵抗測定回路の略図
である。
【図３】サーボ制御をトラッキングするためにデータ・
フィーチャ及びトラッキング・ラインに使用される表面
不規則部を説明する、ディスク表面の一部の図である。
フィーチャ及びトラッキング・ラインに使用される表面
不規則部を説明する、ディスク表面の一部の図である。
【図４】タイミング・ゲートに関するトラッキング・ラ
インのタイミングを説明する３つの異なるデータ・トラ
ックに対するデコーダ出力のグラフである。
インのタイミングを説明する３つの異なるデータ・トラ
ックに対するデコーダ出力のグラフである。
【図５】トラッキング・エラー信号（ＴＥＳ）を生成す
るためのタイミング分析回路のブロック図である。
るためのタイミング分析回路のブロック図である。
【図６】３本組のトラッキング・ラインと２つの隣接す
るデータ・トラックに関するこれらの間隔を説明するデ
ィスク表面の一部の拡大図である。
るデータ・トラックに関するこれらの間隔を説明するデ
ィスク表面の一部の拡大図である。
【図７】他の３本組のトラッキング・ラインと２つの隣
接するデータ・トラックに関するこれらの間隔を説明す
るディスク表面の一部の拡大図である。
接するデータ・トラックに関するこれらの間隔を説明す
るディスク表面の一部の拡大図である。
１０ ディスク １２ 表面不規則部 １４ モータ １８ 高解像度センサ １９ スタイラス ２０ 支持体 ２２ アクチュエータ ２３ カンチレバー・アーム ２４ ピエゾ抵抗領域 ２５ 抵抗測定回路 ２７ デコーダ ２９ タイミング分析回路 ３０ 荷重制御回路 ３１ トラッキング制御回路 ５０ トラッキング・ライン組 ５１ トラッキング・ライン組 ５２ トラッキング・ライン組 ５３ トラッキング・ライン組 ６０ トラック ６１ トラック ６２ トラック ７０ タイミングないしトラッキング・ライン（非放射
状ライン） ７２ タイミングないしトラッキング・ライン（非放射
状ライン） ７１ タイミングないしトラッキング・ライン（中央の
ライン） ８０ 帯域識別（ＩＤ）マーク ９０ 帯域 ９１ 第２の帯域
状ライン） ７２ タイミングないしトラッキング・ライン（非放射
状ライン） ７１ タイミングないしトラッキング・ライン（中央の
ライン） ８０ 帯域識別（ＩＤ）マーク ９０ 帯域 ９１ 第２の帯域
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ブルース・デビッド・テリス アメリカ合衆国94087 カリフォルニア州 サニーベール ネリス・コート 1241
Claims (25)
- 【請求項１】複数の離隔したトラックに形成される機械
可読情報を画定する表面トポグラフィが上面に形成され
ているデータ記憶媒体であって、該表面トポグラフィが
トラックを横切って延びるラインの複数の組を含んでお
り、ラインの各組が少なくとも２本のラインを含んでお
り、そのうちの少なくとも１本がトラックの方向に対し
直角以外の角度でトラックを横切って延びているデータ
記憶媒体と、 記憶媒体と連動し、記憶媒体がセンサに関して移動した
ときに表面トポグラフィに追随するように前後に振れる
センサと、 記憶媒体とセンサの間に相対運動を与える手段と、 センサをトラック上に維持し、センサを１本のトラック
から他のトラックへ移動させるためセンサに接続された
アクチュエータと、 表面トポグラフィによって引き起こされたセンサの振れ
を、ラインの組を含めて検出し、センサの振れを表す出
力信号を生成する検出器と、 振れ検出器からの出力信号から、組内のラインの検出の
間の時間を判定するタイミング回路であって、判定した
時間をターゲット時間と比較し、判定した時間とターゲ
ット時間の間の差を表すトラッキング・エラー信号を生
成する回路を含んでいるタイミング回路と、 アクチュエータと結合され、トラッキング・エラー信号
に応答して、センサを希望するトラック上に位置決めす
るトラッキング制御回路と、 振れ検出器からの出力信号を受け、出力信号を媒体上の
表面トポグラフィによって形成された機械可読情報を表
すディジタル・データに変換するデータ復号回路とを備
えているデータ記憶システム。 - 【請求項２】媒体がディスクであり、トラックがほぼ半
径方向に離隔したトラックであり、ラインの組がトラッ
クの円周方向に離隔されている、請求項１に記載のデー
タ記憶システム。 - 【請求項３】トラックが離散したほぼ同心のトラックで
ある、請求項２に記載のデータ記憶システム。 - 【請求項４】トラックがほぼ螺旋状のトラックである、
請求項２に記載のデータ記憶システム。 - 【請求項５】相対運動を与える手段がディスクの取り付
けられたスピンドル・モータであり、ディスクがスピン
ドル・モータから脱着できる、請求項２に記載のデータ
記憶システム。 - 【請求項６】ラインの各組が３本の円周方向に隣接した
ラインからなっており、３本のうち中央のラインがディ
スクの半径上に配置されている、請求項２に記載のデー
タ記憶システム。 - 【請求項７】ラインの各組が３本の円周方向に隣接した
ラインからなっており、３本のうち中央のラインが非放
射状ラインであり、他の２本が放射状ラインである、請
求項２に記載のデータ記憶システム。 - 【請求項８】トラックが放射状に離隔した帯域にグルー
プ分けされており、トラックの各帯域がそれ自体のライ
ンの複数の組を含んでいる、請求項２に記載のデータ記
憶システム。 - 【請求項９】ディスク上の表面トポグラフィが帯域識別
（ＩＤ）マークを含んでおり、タイミング回路がＩＤマ
ークを復号して、ラインの組が配置されている帯域を特
定する回路を含んでいる、請求項８に記載のデータ記憶
システム。 - 【請求項１０】タイミング回路が復号されたＩＤマーク
に応答して、ラインの組が検出されると考えられるタイ
ミング・ウィンドウを見つけ出すタイミング・ゲートを
含んでいる、請求項９に記載のデータ記憶システム。 - 【請求項１１】タイミング回路がクロックと、組内のラ
インのうち２本の検出の間のクロック・サイクル数をカ
ウントするカウンタとを含んでいる、請求項１に記載の
データ記憶システム。 - 【請求項１２】センサがデータ記憶媒体の表面に物理的
に接触する接触センサである、請求項１に記載のデータ
記憶システム。 - 【請求項１３】機械可読情報を表す表面不規則部の半径
方向に離隔したデータ・トラックの少なくとも一つの帯
域と、データ・トラックの円周方向に離隔したトラッキ
ング・ラインの複数の組であって、トラッキング・ライ
ンの各組が少なくとも２本のラインを含んでおり、その
うちの少なくとも１本が非放射状ラインであるトラッキ
ング・ラインの複数の組とを有しているデータ記憶ディ
スクと、 ディスクを回転させるモータと、 ディスクの回転中にディスク上の表面不規則部とトラッ
キング・ラインに連動し、これらの接触する接触スタイ
ラスを自由端に有している可撓性カンチレバーと、 スタイラスをトラック上に維持し、スタイラスを１本の
トラックから他のトラックへ移動させるためカンチレバ
ーに接続されたアクチュエータと、 ディスク上の表面不規則部とトラッキング・ラインとに
よって引き起こされたスタイラスの振れを検出し、スタ
イラスの振れを表す出力信号を生成するカンチレバー振
れ検出器と、 振れ検出器からの出力信号から、組内のラインの検出の
間の時間を判定するタイミング回路であって、判定した
時間をターゲット時間と比較し、判定した時間とターゲ
ット時間の間の差を表すトラッキング・エラー信号を生
成する回路を含んでいるタイミング回路と、 アクチュエータと結合され、トラッキング・エラー信号
に応答して、スタイラスを希望するトラック上に位置決
めするトラッキング制御回路と、 振れ検出器からの出力信号を受け、出力信号をディスク
上の表面不規則部によって形成された機械可読情報を表
すディジタル・データに変換するデータ復号回路とを備
えているデータ記憶システム。 - 【請求項１４】トラックが離散したほぼ同心のデータ・
トラックである、請求項１３に記載のデータ記憶システ
ム。 - 【請求項１５】トラックがほぼ螺旋状のデータ・トラッ
クである、請求項１３に記載のデータ記憶システム。 - 【請求項１６】ディスクがモータから脱着できる、請求
項１３に記載のデータ記憶システム。 - 【請求項１７】ラインの各組が３本の円周方向に隣接し
たラインからなっており、３本のうち中央のラインがデ
ィスクの半径上に配置されており、他の２本が互いに平
行でない非放射状ラインである、請求項１３に記載のデ
ータ記憶システム。 - 【請求項１８】ラインの各組が３本の円周方向に隣接し
たラインからなっており、３本のうち中央のラインが非
放射状ラインであり、他の２本が放射状ラインである、
請求項１３に記載のデータ記憶システム。 - 【請求項１９】ディスクがその表面上に帯域識別（Ｉ
Ｄ）マークを含んでおり、タイミング回路がＩＤマーク
を復号して、ラインの組が配置されている帯域を特定す
る回路を含んでいる、請求項１８に記載のデータ記憶シ
ステム。 - 【請求項２０】タイミング回路が復号されたＩＤマーク
に応答して、ラインの組が検出されると考えられるタイ
ミング・ウィンドウを見つけ出すタイミング・ゲートを
含んでいる、請求項１９に記載のデータ記憶システム。 - 【請求項２１】タイミング回路がクロックと、組内のラ
インのうち２本の検出の間のクロック・サイクル数をカ
ウントするカウンタとを含んでいる、請求項１３に記載
のデータ記憶システム。 - 【請求項２２】カンチレバーがピエゾ抵抗領域を含んで
いるシリコン・カンチレバーであり、カンチレバー振れ
検出器がスタイラスの振れに応じたピエゾ抵抗領域の抵
抗の変化を検出するためにカンチレバーのピエゾ抵抗領
域に結合された電気抵抗検出回路を含んでいる、請求項
１３に記載のデータ記憶システム。 - 【請求項２３】ポリマ材料で形成された表面を有してい
るディスク基板を備えており、ディスク表面には表面不
規則部としてデータ・トラックの円周方向に離隔した複
数組のトラッキング・ラインがエンボスされており、ト
ラッキング・ラインの各組が帯域内のすべてのトラック
を横切って延びている少なくとも２本のラインを含んで
おり、２本のラインのうち少なくとも１本が非放射状ラ
インである、データ記憶ディスク。 - 【請求項２４】ディスクが読取専用ディスクであり、デ
ィスク表面には機械可読情報を表す表面不規則部の半径
方向に離隔したデータ・トラックの少なくとも一つの帯
域がエンボスされており、データ・トラック表面不規則
部がトラッキング・ラインの円周方向に離隔した組の間
で離散している、請求項２３に記載のデータ記憶ディス
ク。 - 【請求項２５】ポリマ材料で形成された表面を有してい
るディスク基板を備えており、ディスク表面には機械可
読情報を表す表面不規則部の円周方向に離隔したデータ
・トラックの少なくとも一つの帯域とデータ・トラック
の円周方向に離隔した複数組のトラッキング・ラインと
がエンボスされており、トラッキング・ラインの各組が
帯域内のすべてのトラックを横切って延びている少なく
とも２本のラインを含んでおり、２本のラインのうち少
なくとも１本が非放射状ラインである、読取専用データ
記憶ディスク。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| US08/828473 | 1997-03-31 | ||
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|---|---|
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Family
ID=25251908
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10074704A Pending JPH10320855A (ja) | 1997-03-31 | 1998-03-23 | データ記憶ディスク及びそれを備えるデータ記憶システム |
Country Status (4)
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| US (1) | US5822285A (ja) |
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| US7582261B2 (en) | 2003-11-18 | 2009-09-01 | Sharp Kabuhsiki Kaisha | Electricity supplying device, electricity supplying apparatus, sample detection device, and sample detection apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0869489B1 (en) | 2001-11-14 |
| DE69802451D1 (de) | 2001-12-20 |
| DE69802451T2 (de) | 2002-06-13 |
| US5822285A (en) | 1998-10-13 |
| EP0869489A3 (en) | 1999-04-07 |
| EP0869489A2 (en) | 1998-10-07 |
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