JPH11213301A - 記録媒体および記録装置 - Google Patents

記録媒体および記録装置

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JPH11213301A
JPH11213301A JP10015368A JP1536898A JPH11213301A JP H11213301 A JPH11213301 A JP H11213301A JP 10015368 A JP10015368 A JP 10015368A JP 1536898 A JP1536898 A JP 1536898A JP H11213301 A JPH11213301 A JP H11213301A
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JP
Japan
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guide groove
recording
recording medium
digital information
probe
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JP10015368A
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English (en)
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Sumio Hosaka
純男 保坂
Hajime Koyanagi
肇 小柳
Atsushi Kikukawa
敦 菊川
Akitomo Itou
顕知 伊藤
Kimitoshi Eto
公俊 江藤
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来から使用されている回転機構系を利用し
てもトラック長あるいはトラックピッチを0.5μm以下に
し、超高密度記録が可能となる信頼性の高い記録媒体お
よび記録装置を提供すること。 【解決手段】 記録ヘッドの走行する位置を制御するた
めに案内溝１を形成し、さらに、記録密度を高めるため
に、案内溝内に記録ビット２を形成する。記録ビット２
は上から視るとおたまじゃくし型構造をしている。この
記録ビット２幅Wsは案内溝１幅Wgより大きくしている。
このような構造により、案内溝１内を記録ヘッドである
AFM探針は案内溝１内を飛び出すことなく走行し、この
溝の中にできている記録ビット２で探針６は中まで入り
込み、記録ビット６を検出する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、記録基板および記
録装置に係わり、特に、トラック幅またはトラックピッ
チが０．５μm以下の寸法を有するディスク型記録基板
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、情報化社会の進展は目覚ましく、
より多くの情報を記憶できる技術の開発が要求されてい
る。現在、ディスク型ファイルメモリの研究分野では記
録ビット径や記録トラック長の微細化が進められてい
る。現在では、磁気記録で約２μmであるが、２０００
年には１μmと微細化が進み、さらには、２００５年に
は、０．５μm以下のトラック長の実現が必要となると
推測される。現状、磁気記録ではサンプルサーボ法、光
記録ではV溝を使用したサンプルサーボ法が使用されて
いる。前者は、案内溝なし、後者は案内溝はあるが記録
ビットが溝と溝の間にある。０．５μm以下のトラック
長あるいはトラックピッチで超高密度記録再生する場
合、回転機構の非同期軸ぶれが大きくこのサンプルサー
ボ法を用いることができない。また、光記録の様な記録
ビットが溝と溝の間にある場合、無駄のスペースとな
る。
【０００３】また、フィジカル レビュ− レタ−ズ（Ph
ysical Review Letters）第５６巻（１９８６年）第９
３０〜９３３頁に開示されている原子間力顕微鏡（Atom
ic Force Microscope; AFM）の技術を利用した高密度読
み出し専用メモリ(ROM)が提案されている（アプライド
フィジックス レター(Appl. Phys. Lett. ) 69巻
（１９９６年）第４２６２〜４２６４頁）。トラックピ
ッチ0.1μmを有する記録基板である。ここでは、案内溝
はなく、記録ビットのみが凹構造として基板に形成され
ている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術におい
て、案内溝なしの場合、また、案内溝はあるが記録ビッ
トが溝と溝の間にある場合、各々、次のような課題を持
っている。
【０００５】０．５μm以下のトラック長あるいはトラ
ックピッチで超高密度記録再生する場合、回転機構の非
同期軸ぶれがトラック制御方式に影響を与える。ボール
軸受けタイプの回転機構では、非同期軸ぶれが約２００
nmと言われ、液体軸受けでは約５０−２０nmと言われて
いる。これらのことから、サンプルサーボ方式では、非
同期軸ぶれの約１０倍の長さまでが実用的なトラック長
であると言われている。即ち、０．５μm以下のトラッ
ク長では、従来技術で述べたサンプルサーボ法を用い
ず、常にサーボする方法が必要となる。
【０００６】また、光記録のように記録ビットが溝と溝
の間にある場合、溝部分が無駄のスペースとなる。この
ような無駄スペースをなくすことも非常に重要である。
【０００７】本発明の目的は、上記従来技術が有する技
術的課題を解決し、０．５μm以下のトラッキングがで
きる記録基板を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の構成は、記録ヘッドの走行する位置を制御す
るため、案内溝を採用し、さらに、記録密度を高めるた
め案内溝内に記録ビットを形成した記録基板構造とし
た。すなわち、本発明は、探針の走行位置を制御する案
内溝と、案内溝の中に形成された記録ビットとを表面に
有する基板からなることを特徴とし、案内溝の開口部で
の幅が、０．５μｍ以下、または案内溝のピッチが、
０．５μｍ以下であることを特徴とする。また、記録ビ
ットが、案内溝の中心方向に対して凹型構造、または凸
型構造をしていてもよく、記録ビットの中心が、案内溝
の中心と一致していてもよい。さらにまた、記録ビット
の中心と案内溝の中心とがずれていてもよく、記録ビッ
トの深さと前記案内溝の深さとが異なっていてもよく、
記録ビットの径と案内溝の幅とが異なっていてもよい。
また、本発明は以上の特徴を有する記録基板と記録媒体
を駆動させる駆動機構を有し、前記駆動機構がボール軸
受けを用いた駆動機構または液体軸受けを用いた駆動機
構である記録装置に特徴を有する。
【０００９】図１のように記録基板３を形成すると、図
２の記録装置で0.5μm以下のトラック長で記録あるいは
再生することができる。図２はAFMを記録ヘッドとして
用いた場合の高密度記録装置を示したものである。ここ
では、記録ヘッドである探針６にかかるラテラル力（水
平力）の検出およびトラックサーボ制御系によって、探
針６が案内溝１上を溝の中央にくるように制御される
（トラッキング）。また、記録基板３に記録ビット２と
してそのサイズWsが案内溝１のサイズWgより大きく形成
されているので、探針６が記録ビット２の上で記録ビッ
ト２であることを判別する。これは探針６に垂直に働く
原子間力を用いることにより実行される。図２（ｂ）に
AFM探針６が案内溝１あるいは信号ビット２上を走行す
る際、案内溝１上では探針６は余り入らないが、信号ビ
ット上では底まで入り探針の入り込み量の違いDZが記録
信号として検出される。このように、本発明の記録基板
３を用いると、従来から用いられているボール軸受けや
液体軸受けを用いた駆動系を用いた場合、非同期軸ぶれ
があっても、この影響を受けずに所望の位置の記録情報
を読み出しあるいは記録、消去が可能となる。また、超
高密度記録の信頼性も向上される。
【００１０】さらに、案内溝１上に記録ビット２を形成
した構造を採用することにより記録密度を高めることが
でき、1Tbit(1012bit)/in2の超高密度記録も可能とな
る。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を具体的に
説明する。
【００１２】（実施例１）図１は記録ヘッドの走行する
位置を制御するために案内溝１を形成し、さらに、記録
密度を高めるために、案内溝内に記録ビット２を形成し
た記録基板３構造を示す。図１（ａ）)は斜めから視た
図であり、中のａ−ａ’断面およびｂ−ｂ’断面は下図
の図１（ｂ）のように形成されている。断面はU字型を
している。記録ビット２は上から視るとおたまじゃくし
型構造をしている。この記録ビット２幅Wsは案内溝１幅
Wgより大きくしている。このような構造により、案内溝
１内を記録ヘッドであるAFM探針６’は案内溝１内を飛
び出すことなく走行し、トラックの半径方向の位置決め
を10nm以下の精度で可能とする。さらに、この溝の中に
できている記録ビット２は探針６がその位置にくると図
２（ｂ）のように中まで入り込み、記録ビット６を検出
することができる。
【００１３】図２（ａ）は、AFM技術を用いた記録装置
の一例を示す概略図である。装置は、AFMヘッド、回転
機構系及び制御系から構成されている。AFMヘッドは探
針６及び片持ち針（カンチレバ）７からなるAFM探針
６’、探針６に加わる力を検出する光てこ検出系、記録
用圧電素子１１、探針６を制御する機構系（XYZスキャ
ナ１４）から構成されている。光てこ検出系は基本的に
図のようにレーザ源４と光ビーム１２位置検出器５から
構成されている。ここでは、粗動機構、探針接近後退機
構や、探針シーク機構は省略しているが当然備わってい
るものである。
【００１４】回転機構系は図２（ｃ）のようにモータ、
ボール軸受け、ディスクテーブルから構成されている。
ベース３９上の回転軸３８にモータの固定子３７および
ボール軸受けの内側支持部３３が固定されている。ま
た、回転部はテーブル３１に鉄製円筒３５が内部に固定
され、これにボール軸受け用外側支持部３２および回転
子（磁石）３６が設置され、ボール軸受け用内外支持部
の間にボール３４が設置され、テーブル３１が回転でき
る構造となる。図は、ボール軸受け使用の場合である
が、ボールの部分に液体を封じ込めるタイプにすれば、
液体軸受けとなる。これらを使用した場合、非同期軸ぶ
れは２０〜２００ｎｍとなる。この場合でも、本発明の
記録基板を使えば、信頼性の高い記録再生が可能とな
る。
【００１５】このテーブルの上にディスク３を設置して
記録、読み出し、消去を行う。制御系２０は光ビーム１
２により検出器５から得られる信号１５から探針６位置
情報を得て、位置の制御、記録信号の検出、書き込み信
号の発生などを行う。１６は探針６の位置情報の取り込
み、トラッキング、探針６の位置の３次元制御を行う検
出／制御系である。図１のような表面構造を持った記録
基板３はテーブルの上に設置され、読み出し、書き込
み、消去等が行われる。
【００１６】ＲＯＭ（読み出し専用メモリ）では、全案
内溝１内に凹凸の記録ビット２を設け、探針６の上下動
を検出して読み出す。またＲＡＭ（消去可能なメモリ）
では、アドレス情報やシステム情報は探針６の上下動を
検出して読み出すが、凹凸の記録ビット２がかかれてい
ないデータ部に探針６内に設けた小型磁気ヘッドによっ
て記録、消去、読み出しを行う。ＷＲＯＭ（一回書き込
み専用メモリ）では、データ部に探針押し込み方式（ナ
ノインデンテイション）により凹記録ビットを形成する
ことができる。また、探針部に近接場を用いた光プロー
ブを形成すると、ＲＯＭ、ＲＡＭ、およびＷＲＯＭが実
現できる。さらに、探検６をスライダーに搭載してこれ
らを実現することもできる。
【００１７】図３は案内溝１がV溝の場合のトラック制
御を説明する図である。カンチレバ７の裏面から反射さ
れたレーザ光１２は位置検出器５に入射する。この検出
器５は２次元の位置センサーや４分割光検出器でよい。
ここでは後者の検出器を示している。案内（Ｖ）溝が探
針６に捻れるように作用されると、ラテラル力（水平
力）として検出される。光検出器５の４つの光検出器か
ら出てきた出力信号を図のように捻れ方向を検出するよ
うに演算することによりこの力は検出され、図のような
ラテラル信号が得られる。即ち、案内溝の中央から離れ
る事により正あるいは負方向に出力信号が変化する。こ
の特性は案内溝内ではほぼ直線的に変化する。この特性
を利用して、ラテラル力の変化から案内溝の中心部から
のずれを検出し、XYZスキャナ１４を制御して探針６を
案内溝の中心に常に制御する。一方、探針６が記録ビッ
ト２の上にくると、図２（b）のように、探針６が深く
記録基板３の中に入り込み、案内溝１上の入り込みと異
なる動きをする。この時の探針６の入り込み量の増分は
DZとなる。この量は図３（a）の回路網で演算されコン
タクト信号として検出される。１０kH以下の動きは基板
３の歪みに起因するものでありサーボ回路１６でXYZス
キャナ１４を使用して探針６のZ方向の制御が行われ
る。一定の力で探針６が基板３にコンタクトしているよ
うに制御される。速い変化１MHz以上の変化は信号と判
断して情報として制御系内に取り込み、読み出しが行わ
れる。このようにすることにより、0.5μm以下のトラッ
クピッチあるいはトラック長を有する超高密度記録は、
従来から用いられているボール軸受けあるいは液体軸受
けを有す回転機構系を使用しても読み取り誤差無く、行
うことができる。
【００１８】（実施例２）本発明の範疇に入る別の具体
例を図４に示す。図４（a）は断面がU字からV字に近い
形をしたものである。実際の加工では従来からあるレプ
リカ法やエッチング法、リソグラフィ法を使うため、こ
のような形となる。また、図４（ｂ）は記録ビット２の
深さと案内溝１深さとが異なる場合を示しており、この
ようにすると信号強度が増すこととなるのでS/N比の向
上が図れる。この例の逆のケースも考えられる。この場
合は、記録ビットが凸型となる構造を有す。これは溝形
成を行う際に、記録ビット部にレジスト材を置きエッチ
ングすればこのような形状が得られる。この場合、凹ビ
ット形状に比べ、確実に高さ方向の情報を得ることがで
きる。凹ビット形状では、ビット径が探針先端径より小
さいと、ビットの底まで短針が入らないことがある。凸
の場合はこの現象がなく、Ｓ／Ｎ比が向上する。
【００１９】図４（ｃ）は案内溝１の中心軸から偏芯し
て記録ビット２を形成したものである。このようにして
も本発明を逸脱するものではない。
【００２０】また、基板の材質は特に指定はしないが、
ポリカーボネイト等の有機材料が主に使用される。さら
に図示しないが、この基板の表面が多層構造や溝のそこ
の材料と溝側壁の材料が変わっても本発明の範囲であ
る。
【００２１】さらに、本発明の構造は従来から使用され
ているディスク基板のセクタのヘッダ（アドレス）部と
サーボ領域のみに適用することができる。残りのデータ
部分には案内溝２のみ形成した記録基板を超高密度記録
に使用することができる。この時、セクタ内のサーボ領
域ではクロック用の記録ビット１のみ必要となる。これ
は１回書き込み用、消去可能な記録用に用いることがで
きる。例えば、ポリカーボネイト基板に加圧変調記録で
一回書き込みをデータ領域の溝１部分に行う場合、図２
の圧電素子１１を駆動して基板３にパルス的な力を加
え、溝１部分に記録ビット２を書き込む。さらに、この
基板に、従来から使用されている磁気記録材料、光磁気
材料、相変化材料、色素記録材料をコートしたものも本
発明の中にはいる。また、これらの材料は当然保護膜で
保護されている。
【００２２】さらに、案内溝が一部断線した構造でも本
発明の範囲である。また、案内溝は同心円状でも、螺旋
状でもどちらでも良い。さらにまた、探針もＡＭＦ探針
以外に、この形状にした磁気ヘッドや近接場光ヘッドを
付加したものも本発明の範囲である。
【００２３】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、ト
ラック長やトラックピッチが0.5μm以下になっても、従
来から用いられている非同期軸ぶれのあるボール軸受け
や液体軸受けを用いた回転機構系を用いて信頼性の高い
超高密度記録を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例１の構成を示す図であり、
（ａ）は記録基板の構造を示す斜視図、および（ｂ）は
ａ−ａ’断面図およびｂ−ｂ’断面図。
【図２】本発明を超高密記録に適応したシステムの一例
を示す図であり、（ａ）はＡＭＦ技術を用いた記録装置
を示す図、（ｂ）は記録基板と探針の位置関係を示す
図、および（ｃ）はボール軸受けを用いた回転機構系を
示す図。
【図３】トラック制御及び記録ビット２読み出しを説明
する図。
【図４】本発明の変形例を示す図であり、（ａ）はＵ字
からＶ字に近い形の断面を示す図、（ｂ）は記録ビット
の深さと案内溝の深さが異なる場合を示す図、および
（ｃ）案内溝の中心軸から偏芯して記録ビットを形成し
た場合を示す図。
【符号の説明】
１…案内溝、２…記録ビット、３…記録基板（ディス
ク）、４…レーザダイオード（レーザ源）、５…光検出
器（位置検出器、ポジションセンサ）、６…探針、６’
…AFM探針、７…片持ち針（カンチレバ）、１１…書き
込み用圧電素子、１２…光ビーム、１４…XYZスキャ
ナ、１５…光検出器から出力信号、１６…検出／制御系
（サーボ回路）、１７…Ｚ方向探針６位置制御信号、１
８…ＸＹ方向探針６位置制御信号、１９…書き込み信
号、２０…記録装置制御系、２１…回転機構制御信号、
２２…モータ、２３ー２８…演算増幅器、３１…テーブ
ル、３２…ボール軸受け用外側支持部、３３…ボール軸
受け用内側支持部、３４…ボール（剛体球）、３５…鉄
製円筒、３６…回転子、３７…固定子、３８…固定軸
（モータ回転軸）、３９…ベース。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 伊藤 顕知 埼玉県比企郡鳩山町赤沼2520番地 株式会 社日立製作所基礎研究所内 (72)発明者 江藤 公俊 埼玉県比企郡鳩山町赤沼2520番地 株式会 社日立製作所基礎研究所内

Claims (45)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】０．５μｍより小さいトラックピッチを持
    った記録基板において、案内溝の中にデジタル情報部を
    持つことを特徴とする記録基板。
  2. 【請求項２】デジタル情報部が凹型構造をしていること
    を特徴とする請求項１記載の記録基板。
  3. 【請求項３】デジタル情報部が凸型構造をしていること
    を特徴とする請求項１記載の記録基板。
  4. 【請求項４】デジタル情報部の中心が案内溝の中心と一
    致していることを特徴とする請求項１記載の記録基板。
  5. 【請求項５】デジタル情報部の中心が案内溝の中心と一
    致していないことを特徴とする請求項１記載の記録基
    板。
  6. 【請求項６】デジタル情報部の深さが案内溝の深さと一
    致していないことを特徴とする請求項１記載の記録基
    板。
  7. 【請求項７】プローブ顕微鏡技術を利用した記録装置に
    適応することを特徴とする請求項１記載の記録基板。
  8. 【請求項８】デジタル情報部の径が案内溝幅と異なるこ
    とを特徴とする請求項１記載の記録基板。
  9. 【請求項９】デジタル情報部が案内溝の一部にあること
    を特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の記録基
    板。
  10. 【請求項１０】基板にポリカーポネイトを使用したこと
    を特徴とする請求項１〜９のいずれかに記載の記録基
    板。
  11. 【請求項１１】磁気材料、光磁気材料、相変化材料ある
    いは色素記録材料をコートしたことを特徴とする請求項
    １〜１０のいずれかに記載の記録基板。
  12. 【請求項１２】表面に保護層が形成されたことを特徴と
    する請求項１１記載の記録基板。
  13. 【請求項１３】案内溝が螺旋状に形成されていることを
    特徴とする請求項１〜１２のいずれかに記載の記録基
    板。
  14. 【請求項１４】案内溝が同心円状に形成されていること
    を特徴とする請求項１〜１２のいずれかに記載の記録基
    板。
  15. 【請求項１５】請求項１〜１４のいずれかに記載の記録
    基板とボール軸受けを用いた駆動機構を有することを特
    徴とする記録装置。
  16. 【請求項１６】請求項１〜１４のいずれかに記載の記録
    基板と液体軸受けを用いた駆動機構を有することを特徴
    とする記録装置。
  17. 【請求項１７】探針が走行し探針の走行位置を制御する
    案内溝と、前記案内溝の中に形成されたデジタル情報部
    とを表面に有する基板からなることを特徴とする記録媒
    体。
  18. 【請求項１８】前記案内溝の開口部での幅が、０．５μ
    ｍ以下であることを特徴とする請求項１７記載の記録媒
    体。
  19. 【請求項１９】前記案内溝のピッチが、０．５μｍ以下
    であることを特徴とする請求項１７記載の記録媒体。
  20. 【請求項２０】前記デジタル情報部が、前記案内溝の中
    心方向に対して凹型構造をしていることを特徴とする請
    求項１７記載の記録媒体。
  21. 【請求項２１】前記デジタル情報部が、前記案内溝の中
    心方向に対して凸型構造をしていることを特徴とする請
    求項１７記載の記録媒体。
  22. 【請求項２２】前記デジタル情報部の中心が、前記案内
    溝の中心と一致していることを特徴とする請求項１７記
    載の記録媒体。
  23. 【請求項２３】前記デジタル情報部の中心と前記案内溝
    の中心とがずれているいることを特徴とする請求項１７
    記載の記録媒体。
  24. 【請求項２４】前記デジタル情報部の深さと前記案内溝
    の深さとが異なることを特徴とする請求項１７記載の記
    録媒体。
  25. 【請求項２５】前記デジタル情報部の径と前記案内溝の
    幅とが異なることを特徴とする請求項１７記載の記録媒
    体。
  26. 【請求項２６】前記デジタル情報部が、前記案内溝の一
    部にあることを特徴とする請求項１７記載の記録媒体。
  27. 【請求項２７】前記基板が、ポリカーポネイトからなる
    ことを特徴とする請求項１７記載の記録媒体。
  28. 【請求項２８】前記基板が、磁気材料、光磁気材料、相
    変化材料または色素記録材料でコートされていることを
    特徴とする請求項１７記載の記録媒体。
  29. 【請求項２９】前記基板の表面に保護層が形成されてい
    ることを特徴とする請求項１７記載の記録媒体。
  30. 【請求項３０】前記案内溝が、螺旋状に形成されている
    ことを特徴とする請求項１７記載の記録媒体。
  31. 【請求項３１】前記案内溝が、同心円状に形成されてい
    ることを特徴とする請求項１７記載の記録媒体。
  32. 【請求項３２】前記案内溝が、不連続となる構造を有す
    ることを特徴とする請求項１７記載の記録媒体。
  33. 【請求項３３】カンチレバーに保持された探針が走行す
    る案内溝と、前記案内溝の中に形成されたデジタル情報
    部とを表面に有する基板からなる記録媒体であり、前記
    探針が保持された面の反対の前記カンチレバーの面から
    反射されたレーザ光を測定して、前記案内溝の中心部か
    らの前記探針のずれを検出し前記探針の走行位置を制御
    し、前記探針が前記デジタル情報部で前記表面に垂直方
    向に移動する移動量を検出して前記デジタル情報部を読
    み出すことを特徴とする記録媒体。
  34. 【請求項３４】探針の位置を制御する案内溝と、前記案
    内溝の中に形成されたデジタル情報部とを表面に有する
    基板からなる記録媒体であり、前記探針が前記デジタル
    情報部で前記表面に垂直方向に移動することを特徴とす
    る記録媒体。
  35. 【請求項３５】前記案内溝の開口部での幅が、０．５μ
    ｍ以下であることを特徴とする請求項３４記載の記録媒
    体。
  36. 【請求項３６】前記案内溝のピッチが、０．５μｍ以下
    であることを特徴とする請求項３４記載の記録媒体。
  37. 【請求項３７】前記デジタル情報部が、前記案内溝の中
    心方向に対して凹型構造をしていることを特徴とする請
    求項３４記載の記録媒体。
  38. 【請求項３８】前記デジタル情報部が、前記案内溝の中
    心方向に対して凸型構造をしていることを特徴とする請
    求項３４記載の記録媒体。
  39. 【請求項３９】探針の走行する位置を制御する断面がＵ
    字構造またはＶ字構造の案内溝と、前記案内溝の中に形
    成されたデジタル情報部とを表面に有する基板からなる
    記録媒体であり、前記案内溝と前記デジタル情報部の幅
    が異なり、探針にかかるラテラル力を検出して前記案内
    溝の中央に前記探針が来るように制御し、前記探針が前
    記デジタル情報部で前記表面に垂直方向に移動する移動
    量を検出することを特徴とする記録媒体。
  40. 【請求項４０】前記案内溝の開口部での幅が、０．５μ
    ｍ以下であることを特徴とする請求項３９記載の記録媒
    体。
  41. 【請求項４１】前記案内溝のピッチが、０．５μｍ以下
    であることを特徴とする請求項３９記載の記録媒体。
  42. 【請求項４２】前記デジタル情報部が、前記案内溝の中
    心方向に対して凹型構造をしていることを特徴とする請
    求項３９記載の記録媒体。
  43. 【請求項４３】前記デジタル情報部が、前記案内溝の中
    心方向に対して凸型構造をしていることを特徴とする請
    求項３９記載の記録媒体。
  44. 【請求項４４】請求項１７〜４３のいずれかに記載記録
    媒体と、前記記録媒体を駆動させる駆動機構を有し、前
    記駆動機構がボール軸受けを用いた駆動機構であること
    を特徴とする記録装置。
  45. 【請求項４５】請求項１７〜４３のいずれかに記載記録
    媒体と、前記記録媒体を駆動させる駆動機構を有し、前
    記駆動機構が液体軸受けを用いた駆動機構であることを
    特徴とする記録装置。
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