JPH10315504A - インクジェット式記録装置のインク供給流路の弁装置、この弁装置を使用したインクカートリッジ、インク供給針、及び前記弁装置の製造方法 - Google Patents

インクジェット式記録装置のインク供給流路の弁装置、この弁装置を使用したインクカートリッジ、インク供給針、及び前記弁装置の製造方法

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JPH10315504A
JPH10315504A JP36461197A JP36461197A JPH10315504A JP H10315504 A JPH10315504 A JP H10315504A JP 36461197 A JP36461197 A JP 36461197A JP 36461197 A JP36461197 A JP 36461197A JP H10315504 A JPH10315504 A JP H10315504A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 メニスカスを維持できる負圧を記録ヘッドに
与えつつ、記録ヘッドにインクを供給する弁装置の気泡
を確実に排除すること。 【解決手段】 一端がインク室2に連通し、また他端が
インクジェット式記録ヘッドに連通するインク供給流路
の途中に、中心部に通孔21を備え、インク室2とイン
クジェット式記録ヘッドとの圧力差に応動する弾性薄膜
20と弾性支持部19とからなる膜弁6と、インク室側
に位置して通孔に弾接する弁座8と、弁座8の下流側に
配置され、弾性支持部19の延長方向を長辺としてその
端部側がインク室側を上方とし、かつ断面積が狭くなる
流路を形成する流路形成板10とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明が属する技術の分野】本発明は、インクジェット
式記録ヘッドとインクタンクとを接続するインク供給流
路に配置される負圧発生機能を備えた弁装置に関する。
【0002】
【従来の技術】インクジェットプリンタは、共通のイン
ク室とノズル開口とに連通する圧力発生室に圧力を印加
してノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェッ
ト式記録ヘッドと、記録ヘッドにインクを供給するイン
クカートリッジとをキャリッジに搭載し、キャリッジを
往復動させながら印刷データに一致させてインク滴を記
録用紙に吐出させるように構成されている。
【0003】このような記録ヘッドは、通常そのノズル
開口がインクカートリッジのインク液面よりも低くなる
ように配置されているため、ノズル開口には水頭圧が作
用し、ノズル開口からインクの漏れ出しが生じるという
問題がある。この問題を解消するため、通常インクカー
トリッジ内に多孔質体を収容し、多孔質体による毛細管
力によりインクカートリッジのインクの圧力が記録ヘッ
ドよりも若干低くなるように構成されている。
【0004】しかしながら、インクの消費が進んで多孔
質体に吸収されているインクの量が少なくなると、多孔
質体の毛細管力に起因して記録ヘッドへのインクの供給
に滞りが生じて、カートリッジ内のインクを完全に消費
できないという問題や、多孔質体の実質体積分だけ、カ
ートリッジに収容できるインクが少なくなってインクカ
ートリッジが大型化する等の問題がある。
【0005】このような問題を解決するため、例えば特
開昭62-231759号公報に見られるようにインクタンクの
下部に通孔を備えた壁によりインク溜めと空洞とに分離
し、この通孔にアンブレラチェックバルブを設けて、記
録ヘッドのインク圧が低下した時点で、バルブを開弁さ
せてインク溜めのインクを空洞に排出させて記録ヘッド
に供給するように構成したインクジェット記録ヘッド用
のインクカートリッジが提案されている。
【0006】これによれば、多孔質体が不要となるた
め、インクの収容量を増加させることが可能となるが、
一般的にアンブレラチェックバルブは、記録ヘッドへの
インクの供給を精密に調整するにはそのオフセット量が
大き過ぎ、インク供給量や記録ヘッドとの差圧に大きな
変動を来して印字品質の低下を招くという大きな問題が
ある。このような問題を解消するために、特開平8-1748
60号公報に見られるように、通孔を備えた弾性薄膜から
なる膜弁座によりインク流入側とインク流出側とに分離
し、インク流入側とインク流出側との間で若干でインク
ジェット式記録ヘッドのインク圧を負圧に維持させなが
ら、記録ヘッドでのインク消費に合わせてインクを供給
することができるインクカートリッジが提案されてい
る。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】これによれば、広い面
積の膜弁座により記録ヘッドでのインクの消費に対応さ
せて記録ヘッドに負圧状態を維持させつつインクを供給
することができるものの、インク滴吐出能力を回復させ
るために記録ヘッドに負圧を作用させて記録ヘッドから
インクを強制的に排出させた際には、膜弁座の面積が大
きいためここの流速が低く、気泡の排除が困難であると
いう不都合を抱えている。
【0008】本発明はこのような問題に鑑みてなされた
ものであって、その目的とするところは、記録ヘッドと
の間の微小な差圧に確実に応動して記録ヘッドに印字に
適した負圧を維持させつつ、膜弁座近傍の気泡を確実に
外部に排除することができるインクジェット式記録装置
のインク供給路における弁装置を提供することである。
本発明の第2の目的は、上記弁装置を内蔵したインクカ
ートリッジ、及びインク供給針を提供することである。
本発明の他の目的は、上記弁装置の製造方法を提案する
ことである。
【0009】
【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るために本発明においては、上流側と下流側との圧力差
に応動する弾性薄膜、これの表面に形成され、通孔を有
する弁体部、及び該弁体部と一体に形成されて常時上流
側に付勢する弾性支持部とからなる膜弁と、前記インク
流路の上流側に位置して前記通孔に弾接する弁座と、該
弁座の下流側に配置され、前記弾性支持部の延長方向を
長辺としてその端部側が上方となり、かつ断面積が狭く
なる流路を形成する流路形成板とを備えるようにした。
【0010】
【作用】膜弁が広い面積で差圧を受けて記録ヘッドでの
インクの消費に対応して流路を開いて記録ヘッドにイン
クを供給する。また流路形成板により膜弁の下部領域が
端部側を上方としかつ狭くなるように形成されているた
め、ここに気泡が集中し、かつ記録ヘッドに負圧を作用
させてインクを強制的に排出した際にもここのインク流
速が無用に低下せず、したがって気泡がインク流に乗っ
て外部に排出される。
【0011】
【発明の実施の形態】そこで、以下に本発明の詳細を図
示した実施例に基づいて説明する。図1は、本発明の弁
装置が組み込まれたインクカートリッジの一実施例を示
すものであって、インクカートリッジ本体を構成する容
器1は、上部にインク室2を有し、また底面4に記録ヘ
ッドのインク供給針Nが挿入されるインク供給口5を形
成して構成されている。
【0012】インク室2とインク供給口5との間には、
これらを分離する膜弁6を収容できるように略矩形状の
凹部が形成されている。膜弁6は、その下面の周囲を容
器1の段差部1aに支持されて、インク室側を弁座形成
部材7により固定して容器1に組みこまれている。
【0013】弁座形成部材7は、中心に下流側に突出す
る凸部7aが形成され、その先端にゴムなどの弾性部材
からなる弁座8が固定されて、また周辺にインク室2に
連通する通孔9が少なくとも1つ、好ましくは凸部7a
を対称点とするように複数個穿設されている。
【0014】膜弁6の下方領域には弁座8を最下部と
し、また両側をインク室側とするインク流規制板10が
配置されている。インク流規制板10が占める最高位置
にはインク供給口5に連通する通孔11、11が穿設さ
れている。
【0015】膜弁座6は、図3(a)、(b)に示した
ように柔軟な高分子フィルム12と、金属板13との積
層体を長方形に切り出し、インク容器1と弁座形成部材
7とによる支持領域となる4辺14、15、16、17
と、弁体部18となる中心部と、弁体部18を両側から
支持し、かつ長辺側に延びる細長い弾性支持部19、1
9を残すように金属板13をエッチングして窓から高分
子フィルム12の露出部20、20を形成するととも
に、弁体部18にインクを流通させる通孔21を穿設し
て構成されている。
【0016】弾性支持部19、19は、記録ヘッドのメ
ニスカスを維持できる程度の負圧よりも若干大きな差圧
が作用したとき弾性変形できる弾性を有するように、そ
の幅が選択されている。
【0017】膜弁座6は、容器1の段差部1aにセット
された状態で、インク室側から弁座形成部材7により固
定して容器1に液密状態で固定され、必要に応じて上部
にインクに含まれている気泡や、塵埃を除去するフィル
タ22が配置される。
【0018】この実施例において、インクカートリッジ
のインク供給口5を、記録ヘッドのインク供給針Nに挿
通して、記録装置にセットする。インク供給針Nの挿通
により大気がインクカートリッジや記録ヘッドに浸入し
て以後の印刷に不都合を来す虞が有る。
【0019】このような不都合を回避するため、記録ヘ
ッドにキャップ部材を介して負圧を作用させてインクカ
ートリッジのインクを記録ヘッドに吸い込むと、インク
供給口5の圧力が低下して膜弁6に差圧が作用して、図
2(a)、(b)に示したように膜弁6が弁座8から離
れてインク室2のインクが膜弁6の下部の最高位置の通
孔11を通過してインク供給口5に流れる。
【0020】一方、膜弁6の下方領域はインク流路規制
板10により、膜弁6の長辺方向が端部程、膜弁側に接
近し、かつ幅方向が絞られた流路が形成されているか
ら、膜弁6の下方に集まっている気泡は自身の浮力によ
り通孔11の近傍に集まる。そしてここでのインクの流
速は他の領域に比較して速いため、気泡はインク流に乗
せられて記録ヘッドを経由してキャップ部材に排出され
る。
【0021】インクの充填が終了した段階で、印刷を実
行すると、膜弁座6の下部領域のインクがインク供給口
5から記録ヘッドに流れ込み、膜弁6の下部領域の圧力
が徐々に低下する。圧力低下が弾性支持部19の支持力
よりも大きくなると、膜弁6はインク供給口5側にたわ
んで通孔21が弁座8から離れる。これによりインク供
給口5の圧力が過度な負圧に至るまでにインク室2のイ
ンクが通孔21を通ってインク供給口5に流れ込む。
【0022】インクの流入により膜弁6の下部領域の圧
力が若干上昇すると、弾性支持部19は、上部からのイ
ンクの圧力に打ち勝って弁体部18を、高分子フィルム
12の揺動等の影響を受けることなく、確実にガイドし
て上流側に移動させて弁座8に弾接させ、通孔21を塞
ぐ。これによりインク室2からのインクの流出が停止す
る。したがって、インク室3のインク液面の高低に関り
なく、インク供給口5の圧力が記録ヘッドのメニスカス
を維持するのに適した負圧に維持される。
【0023】長時間の印刷によりノズル開口からのイン
ク滴の吐出に不都合が生じた場合には、記録ヘッドのノ
ズルプレートをキャッピング手段により封止して負圧を
作用させると、前述のインクの充填操作時と同様の作用
により、通孔11の近傍に集まっている気泡が記録ヘッ
ドの外に排出される。
【0024】図4乃至図6は、それぞれ膜弁6の他の実
施例を示すものであって、図4に示したものは、弁体部
18の通孔21を点対称点とするように配置された枝部
23、23を、金属板13のエッチング等により形成し
たもので、差圧を弁体部18、及び弾性支持部19に確
実に伝達して高分子フィルム12の過度な変形を防止す
ることができる。
【0025】図5は、膜弁6の下部領域の流路を、弾性
支持部19の延長方向の端部に行く程細くなるようにイ
ンク流路規制板10で絞った場合に最適な膜弁の一実施
例を示すもので、中心部の弁体部18と、これを両側か
ら支持する弾性支持部19と、周辺に取付け用の枠部2
5、26、27、28を残すように、金属板13をエッ
チングして菱形の窓を形成したものである。
【0026】この実施例によれば、弁体部18が位置す
る中央領域の高分子フィルム12の剛性を弱めて、弁体
部18を差圧に容易に追従させることができる。また気
泡が停滞しやすい最上部となる弾性支持部19の固定部
領域の流路を狭くできて、通孔9から流れ込んだインク
の流れにより気泡を容易に排除することができる。
【0027】図6は、弾性支持部19、19をジグザグ
状に形成した弾性支持部19’、19’により弁体部1
8を支持させたもので、この実施例によれば弾性支持部
19’、19’のたわみ変形領域を拡大できて、微小な
差圧に対しても弁体部20を応動させることができる。
【0028】図7(a)、(b)は、本発明の他の実施
例を示すものであって、膜弁6は図8に示したように弁
体部18の一側だけを弾性支持部29により片持梁状に
支持させるように構成されおり、また流路形成基板30
は、片持梁状の弾性支持部29の延長方向に沿うように
上方に傾斜し、幅が狭くなるように膜弁6の下部の流路
を規制するとともに、その最高位置に設けた1つの通孔
31からインクをインク供給口5に流出させるように構
成されている。
【0029】この実施例によれば、膜弁6の近傍のイン
ク流路の領域を可及的に狭く規制することが可能である
ため、膜弁6の気泡を1箇所に集めてインク流れにより
外部に排出することができる。
【0030】図9は、同上弁装置に適した膜弁の一実施
例を示すものであって、弁体部18と、弾性支持部2
9、枠部32を残すように水滴型の窓33を形成するよ
うに金属板をエッチング等により整形したものである。
【0031】なお、上述の実施例においては弁装置をイ
ンクカートリッジに組み込んだ場合に例を採って説明し
たが、記録ヘッドとインクタンクを一体化したデスポー
ザブルタイプの記録ヘッドに対しては、図10に示した
ように記録ヘッドのインク供給路Pとインクタンクとの
接続領域に上述したの弁装置40を組み込んでも同様の
作用を奏することは明らかである。
【0032】図11(a)、(b)は、それぞれ本発明
の他の実施例を示すものであって、この実施例において
は記録ヘッドHに連通するインク供給路と、これに連通
させて垂設されているインク供給針Nとの接続部に前述
した弁装置40を組み込んだもので、弁装置40の下流
側や、上流側にフィルタ41、42を設けたものであ
る。
【0033】なお、この実施例においては弁座部を両側
から支持する場合に例を採って説明したが、図7に示し
た弁部を片持梁状に支持した弁装置を組み込むと、弾性
支持部を短縮することができるため、組み込みが容易で
ある。
【0034】また、上述の実施例においては高分子フィ
ルムと金属板との積層体をエッチングにより加工してい
るが、弁体部や弾性支持部、及び枠部を金属板のプレス
加工により構成したり、また高分子の射出成形により構
成した高分子板を高分子フィルムに貼着するようにして
も同様の作用を奏する。
【0035】ところで、比較的ドット密度が低い印刷デ
ータにあっては、膜弁に作用する差圧が低いため、膜弁
全体の弾性を可及的に小さくするのが望ましが、弁体部
の位置が不安定となりインク供給能力に低下を来して却
って性能が低下する。
【0036】図12(a)は、このような問題を解消す
るのに適した膜弁の一実施例を示すものであって、弾性
を有し、加工が容易な金属板、たとえば厚さ0.03m
m程度の不錆鋼50を、中心点に弁体部52と、その中
心に位置する通孔53と、中心を点対称点とするように
一端が弁体部52に連続するジグザグ状の枝部54、5
4と、枝部54、54の他端に接続する周縁部55とを
エッチング加工やプレス加工したものと、塑性変形可能
な延伸性高分子材料、例えば厚さ0.0035mmのポ
リフェニレンサルファイド(PPS)樹脂フィルム51
を図12(b)、(c)に示したように弁体部52が弁
座8から少なくとも離反する程度まで中心部が突出する
ように予め塑性変形させたものとを望ましくは弁体部5
2を接着層や粘着層を介して接合して構成されている。
なお、接合後、または接合前に樹脂フィルム51に対し
て弁体部52の通孔53に対応する位置に通孔を穿設し
て流路を形成する。
【0037】このような塑性変形加工は、図13(I)
に示したように樹脂フィルム60の熱変形温度、または
二次転移温度以上、軟化点よりも低い温度に予め加熱し
て図13(I)に示したように所望とする脹らみ形状の
凸型材61に位置決めし、ついで図13(II)に示した
ように対応する凹型材62により押圧することにより脹
らみを付与することができる。
【0038】この実施例によれば、樹脂フィルム51
は、開弁状態に相当する脹らみを付けられているので、
弁体部52の弁座8への当接力は、実質的に枝部54、
54の弾性だけが作用することになる。この結果、枝部
54、54の剛性を高めて弁体部52のふらつきを防止
しつつ、小さな差圧で開弁させることができる。
【0039】そして、特に接合領域を樹脂フィルム51
と弁体部52とがラップする領域に限定すると、樹脂フ
ィルム51が弁体部52に作用する弾性力を抑制でき
て、弁体部52の追従性を高めることができる。
【0040】図14(a)、(b)は、上述の塑性変形
加工の他の実施例を示すもので、図14(a)に示した
実施例のおいては、塑性加工に必要な凹部63が形成さ
れたキャップ部材64と、基台65とにより樹脂フィル
ム60の周縁を気密的に固定し、かつ熱変形温度、また
は二次転移温度以上、軟化点以下に加熱しつつ、凹部6
3側の圧力が高くなるように通孔66、67差圧を付
与、つまり凹部63に負圧−Pを作用させたり、また基
台側から圧力Pを加えたりして塑性変形させるものであ
る。
【0041】なお、上述の実施例においてはキャップ部
材64に塑性変形させるべき形状に対応した凹部63を
形成しているが、図14(b)に示したように単なる空
洞68として形成し、前述と同様に樹脂フィルム60に
差圧を付与しても同様に塑性変形をさせることができ
る。
【0042】なお、このように高分子フィルムに塑性変
形加工を施すことは、図3、図4、図5、図6、図8、
図9に示した実施例に対しても有効であることは明らか
である。
【0043】
【発明の効果】以上、説明したように本発明において
は、上流側と下流側との圧力差に応動する弾性薄膜、こ
れの表面に形成され、通孔を有する弁体部、及び弁体部
と一体に形成されて常時上流側に付勢する弾性支持部と
からなる膜弁と、インク流路の上流側に位置して通孔に
弾接する弁座と、弁座の下流側に配置され、弾性支持部
の延長方向を長辺としてその端部側が上方となり、かつ
断面積が狭くなる流路を形成する流路形成板と備えたの
で、膜弁が広い面積で差圧を受けて記録ヘッドでのイン
クの消費に対応して流路を開いて記録ヘッドにインクを
供給でき、また流路形成板により膜弁の下部領域が端部
側を上方としかつ狭くなるように形成されていて、ここ
に気泡を集中させ、かつ強制的に排出されるインクの流
れに乗せて気泡を外部に確実に排出することができる。
【0044】また薄膜単独で膜弁を構成する場合に比較
して、弾性支持部材の剛性により、キャリッジ等の振動
に関りなく膜弁の中心位置の保持と、インクによる弾性
率の変動を防止して開閉動作を安定化して記録ヘッドへ
のインク供給の信頼性を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図(a)、(b)は、それぞれ本発明のインク
カートリッジの一実施例を、弁装置の長辺方向と短辺方
向の断面構造を閉弁状態で示す図である。
【図2】図(a)、(b)は、それぞれ本発明のインク
カートリッジの一実施例を、弁装置の長辺方向と短辺方
向の断面構造を開弁状態で示す図である。
【図3】図(a)、(b)は、それぞれ同上弁装置を構
成する膜弁の一実施例を示す上面図と、これに使用する
板材の断面図である。
【図4】本発明のインクカートリッジに使用する膜弁の
他の実施例を示す上面図である。
【図5】本発明のインクカートリッジに使用する膜弁の
他の実施例を示す上面図である。
【図6】本発明のインクカートリッジに使用する膜弁の
他の実施例を示す上面図である。
【図7】図(a)、(b)は、本発明の弁装置の他の実
施例を弁装置の長辺方向と短辺方向の断面構造を開弁状
態で示す図である。
【図8】同上弁装置の膜弁の一実施例を示す上面図であ
る。
【図9】同上弁装置の膜弁の他の実施例を示す上面図で
ある。
【図10】本発明の弁装置をインクタンクと一体構造と
して構成された記録ヘッドに組み込んだ実施例を示す断
面図である。
【図11】図(a)、(b)は、それぞれ本発明の弁装
置をインク供給針に組み込んだ実施例を示す断面図であ
る。
【図12】図(a)は、本発明に適した膜弁の他の実施
例を示す上面図であり、また図(b)、(c)は、それ
ぞれ膜弁を構成する樹脂フィルムの形状をA−A線、B
−B線での断面形状を示す図である。
【図13】図(I)、(II)は、それぞれ同上膜弁の製
造工程の内、樹脂フィルムの加工工程を示す図である。
【図14】図(a)、(b)は、同上膜弁の製造方法の
他の実施例を示す図である。
【符号の説明】
1 インク容器 2 インク室 5 インク供給口 6 膜弁 7 弁座形成部材 8 弁座 9 通孔 12 高分子フィルム 19 弾性支持部 20 高分子フィルムの露出部 21 通孔 N インク供給針 H インクジェット式記録ヘッド P インク流路
フロントページの続き (72)発明者 品田 聡 長野県諏訪市大和3丁目3番5号 セイコ ーエプソン株式会社内 (72)発明者 宮澤 久 長野県諏訪市大和3丁目3番5号 セイコ ーエプソン株式会社内

Claims (31)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 上流側と下流側との圧力差に応動する弾
    性薄膜、これの表面に形成され、通孔を有する弁体部、
    及び該弁体部と一体に形成されて常時上流側に付勢する
    弾性支持部とからなる膜弁と、 前記インク流路の上流側に位置して前記通孔に弾接する
    弁座と、 該弁座の下流側に配置され、前記弾性支持部の延長方向
    を長辺としてその端部側が上方となり、かつ断面積が狭
    くなる流路を形成する流路形成板とからなるインクジェ
    ット式記録装置のインク供給流路の弁装置。
  2. 【請求項2】 前記膜弁が、高分子フィルムと該高分子
    フィルムよりも弾性率の小さな板材の積層体として構成
    されている請求項1に記載のインクジェット式記録装置
    のインク供給流路の弁装置。
  3. 【請求項3】 前記弾性支持部が前記弁体部を両側から
    支持するように形成されている請求項1に記載のインク
    ジェット式記録装置のインク供給流路の弁装置。
  4. 【請求項4】 前記弾性支持部が前記弁体部を片側から
    支持するように形成されている請求項1に記載のインク
    ジェット式記録装置のインク供給流路の弁装置。
  5. 【請求項5】 前記弁体部から前記通孔を対称点とする
    ように前記弾性支持部が放射状に整形されている請求項
    3に記載のインクジェット式記録装置のインク供給流路
    の弁装置。
  6. 【請求項6】 前記弾性薄膜が前記通孔を頂点とする凸
    型形状に塑性変形加工されている請求項1に記載のイン
    クジェット式記録装置のインク供給流路の弁装置。
  7. 【請求項7】 前記凸型形状の脹らみが、少なくとも前
    記弁体部が前記弁座から離反する程度である請求項6に
    記載のインクジェット式記録装置のインク供給流路の弁
    装置。
  8. 【請求項8】 前記弾性薄膜が延伸性高分子である請求
    項6に記載のインクジェット式記録装置のインク供給流
    路の弁装置。
  9. 【請求項9】 前記弾性薄膜と前記弁体部との重複領域
    が接着されている請求項6に記載のインクジェット式記
    録装置のインク供給流路の弁装置。
  10. 【請求項10】 上部にインク室を備えた、下部にイン
    クジェット式記録ヘッドのインク供給針が挿入されるイ
    ンク供給口を備えた容器と、 前記インク室と前記インク供給口とを分割するように張
    設され、上流側と下流側との圧力差に応動する弾性薄
    膜、これの表面に形成され、通孔を有する弁体部、及び
    該弁体部と一体に形成されて常時上流側に付勢する弾性
    支持部とからなる膜弁と、 前記インク流路の上流側に位置して前記通孔に弾接する
    弁座と、 該弁座の下流側に配置され、前記弾性支持部の延長方向
    を長辺としてその端部側が上方となり、かつ断面積が狭
    くなる流路を形成する流路形成板とからなるインクカー
    トリッジ。
  11. 【請求項11】 前記膜弁が、高分子フィルムと該高分
    子フィルムよりも弾性率の小さな板材の積層体として構
    成されている請求項10に記載のインクカートリッジ。
  12. 【請求項12】 前記弾性支持部が前記弁体部を両側か
    ら支持するように形成されている請求項10に記載のイ
    ンクカートリッジ。
  13. 【請求項13】 前記弾性支持部が前記弁体部を片側か
    ら支持するように形成されている請求項10に記載のイ
    ンクカートリッジ。
  14. 【請求項14】 前記弁体部から前記通孔を対称点とす
    るように放射状に形成されている請求項10に記載のイ
    ンクカートリッジ。
  15. 【請求項15】 前記弾性薄膜が、前記通孔を頂点とす
    る凸型形状に塑性変形加工されている請求項10に記載
    のインクカートリッジ。
  16. 【請求項16】 前記凸型形状の脹らみが、少なくとも
    前記弁体部が前記弁座から離反する程度である請求項1
    5に記載のインクカートリッジ。
  17. 【請求項17】 前記弾性薄膜が延伸性高分子である請
    求項15に記載のインクカートリッジ。
  18. 【請求項18】 前記弾性薄膜と前記弁体部との重複領
    域が接着されている請求項15に記載のインクカートリ
    ッジ。
  19. 【請求項19】 インクジェット式記録ヘッドのインク
    流路に連通して、インクカートリッジのインクを前記記
    録ヘッドに供給するインク供給針において、 前記インク供給針の上流側と下流側を分割するように張
    設され、上流側と下流側との圧力差に応動する弾性薄
    膜、これの表面に形成され、通孔を有する弁体部、及び
    該弁体部と一体に形成されて常時上流側に付勢する弾性
    支持部とからなる膜弁と、 前記インク流路の上流側に位置して前記通孔に弾接する
    弁座と、 からなるインク供給針。
  20. 【請求項20】 該弁座の下流側に、前記弾性支持部の
    延長方向を長辺としてその端部側が上方となり、かつ断
    面積が狭くなる流路を形成する流路形成板が配置されて
    いる請求項19に記載のインク供給針。
  21. 【請求項21】 前記膜弁が、高分子フィルムと該高分
    子フィルムよりも弾性率の小さな板材の積層体として構
    成されている請求項19に記載のインク供給針。
  22. 【請求項22】 前記弾性支持部が前記弁体部を片側か
    ら支持するように形成されている請求項19に記載のイ
    ンク供給針。
  23. 【請求項23】 前記弾性薄膜が、前記通孔を頂点とす
    る凸型形状に塑性変形加工されている請求項19に記載
    のインク供給針。
  24. 【請求項24】 前記凸型形状の脹らみが、少なくとも
    前記弁体部が前記弁座から離反する程度である請求項2
    3に記載のインク供給針。
  25. 【請求項25】 前記弾性薄膜が延伸性高分子である請
    求項23に記載のインク供給針。
  26. 【請求項26】 前記弾性薄膜と前記弁体部との重複領
    域が接着されている請求項23に記載のインク供給針。
  27. 【請求項27】 弾性を有する板材に中心点に弁体部
    と、その中心に位置する通孔と、中心を点対称点とする
    ように一端が前記弁体部に連続する弾性支持とを形成す
    る工程と、 塑性変形可能な高分子材料のフィルムを中心に突出部を
    形成する工程と、 上記工程で構成された2部材を接合する工程とからなる
    弁装置の製造方法。
  28. 【請求項28】 前記突出部が機械的に加圧されて形成
    されている請求項27に記載の弁装置の製造方法。
  29. 【請求項29】 前記突出部が流体的に加圧されれて形
    成されている請求項27に記載の弁装置の製造方法。
  30. 【請求項30】 前記突出部の突出量が、弁体部が弁座
    から少なくとも離反する程度である請求項27に記載の
    弁装置の製造方法。
  31. 【請求項31】 前記高分子フィルムが熱変形温度、ま
    たは二次転移温度以上、軟化点よりも低い温度に加熱さ
    れている請求項27に記載の弁装置の製造方法。
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