JPH10307220A - 光導波路形フィルタの製造方法および光導波路形フィルタ - Google Patents
光導波路形フィルタの製造方法および光導波路形フィルタInfo
- Publication number
- JPH10307220A JPH10307220A JP9115592A JP11559297A JPH10307220A JP H10307220 A JPH10307220 A JP H10307220A JP 9115592 A JP9115592 A JP 9115592A JP 11559297 A JP11559297 A JP 11559297A JP H10307220 A JPH10307220 A JP H10307220A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical waveguide
- optical
- filter
- optical waveguides
- core
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 製作の再現性がよく、挿入損失が小さい光導
波路形フィルタとその製造方法を提供する。 【解決手段】 光学長が異なる複数の光導波路を備え、
複数の光導波路に信号光を分波して各々の光導波路を伝
搬させた後に合波して干渉させ、信号光を波長に基づい
て選別する光導波路形フィルタを製造するに際し、ま
ず、複数の光導波路を形成して、その出力光の波長を測
定する。次いで、測定した出力光の波長に基づいて光導
波路を表面からエッチングして、コア上部のクラッドお
よびコアあるいはクラッドの幅の少なくとも一方を調整
する。その結果、光導波路の等価屈折率を変え、信号光
の波長と光導波路形フィルタの通過帯域の中心波長を一
致させることができる。
波路形フィルタとその製造方法を提供する。 【解決手段】 光学長が異なる複数の光導波路を備え、
複数の光導波路に信号光を分波して各々の光導波路を伝
搬させた後に合波して干渉させ、信号光を波長に基づい
て選別する光導波路形フィルタを製造するに際し、ま
ず、複数の光導波路を形成して、その出力光の波長を測
定する。次いで、測定した出力光の波長に基づいて光導
波路を表面からエッチングして、コア上部のクラッドお
よびコアあるいはクラッドの幅の少なくとも一方を調整
する。その結果、光導波路の等価屈折率を変え、信号光
の波長と光導波路形フィルタの通過帯域の中心波長を一
致させることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は光導波路形フィルタ
に関し、特に製作の再現性がよく、挿入損失が小さい光
導波路形フィルタとその製造方法に関する。
に関し、特に製作の再現性がよく、挿入損失が小さい光
導波路形フィルタとその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の光導波路形フィルタの例として、
図１２に示すアレイ格子フィルタについて考察する。図
中、Ｉは入力用光導波路、ＩＩは入力側スラブ光導波
路、ＩＩＩはアレイ光導波路である。ここで、図１２か
らわかるように、各アレイ光導波路の長さは異なってい
る。すなわち、図１２の上から下に向かって、順に隣接
する各アレイ光導波路の長さはそれぞれΔＬだけ短くな
っているとする。ＩＶは出力用スラブ光導波路、Ｖは出
力用光導波路である。図１３に図１２のＡ−Ａ′におけ
る断面図を示す。光導波路としてはハイメサ光導波路を
例にとった。図中、１は上部ＩｎＰクラッド、２はバン
ドギャップ波長が１．１μｍのＩｎＧａＡｓＰ（以下
１．１Ｑと呼ぶ）からなるコア、３は下部ＩｎＰクラッ
ド、４は基板、５は空気である。Ｗは光導波路幅（つま
りコア２の幅）、Ｄはコアの厚み、Ｈ1は上部ＩｎＰク
ラッドの厚み、Ｈ2 は下部ＩｎＰクラッドの厚みであ
る。
図１２に示すアレイ格子フィルタについて考察する。図
中、Ｉは入力用光導波路、ＩＩは入力側スラブ光導波
路、ＩＩＩはアレイ光導波路である。ここで、図１２か
らわかるように、各アレイ光導波路の長さは異なってい
る。すなわち、図１２の上から下に向かって、順に隣接
する各アレイ光導波路の長さはそれぞれΔＬだけ短くな
っているとする。ＩＶは出力用スラブ光導波路、Ｖは出
力用光導波路である。図１３に図１２のＡ−Ａ′におけ
る断面図を示す。光導波路としてはハイメサ光導波路を
例にとった。図中、１は上部ＩｎＰクラッド、２はバン
ドギャップ波長が１．１μｍのＩｎＧａＡｓＰ（以下
１．１Ｑと呼ぶ）からなるコア、３は下部ＩｎＰクラッ
ド、４は基板、５は空気である。Ｗは光導波路幅（つま
りコア２の幅）、Ｄはコアの厚み、Ｈ1は上部ＩｎＰク
ラッドの厚み、Ｈ2 は下部ＩｎＰクラッドの厚みであ
る。
【０００３】さて、アレイ格子のフィルタ特性について
考える。
考える。
【０００４】アレイ格子の原理は以下の通りである。入
力用光導波路Ｉを伝搬してきた入力光（信号光）は入力
用スラブ光導波路ＩＩで横方向には自由空間として広が
り、アレイ光導波路ＩＩＩに結合する。なお、アレイ光
導波路ＩＩＩと入力用スラブ光導波路ＩＩの接続面は入
力用光導波路Ｉに対する一つの円弧をなし、各アレイ光
導波路はその円弧上に並んでいるので、アレイ光導波路
ＩＩＩに結合した直後の伝搬光は全てのアレイ光導波路
において同位相である。次にこのアレイ光導波路ＩＩＩ
に結合した光はアレイ光導波路ＩＩＩを伝搬した後、ア
レイ光導波路ＩＩＩと出力用スラブ光導波路ＩＶとの接
続面に達する。前述のように、各アレイ光導波路は上か
ら下に、順にΔＬだけ短くなっているので、アレイ光導
波路を伝搬してきた光はアレイ光導波路ＩＩＩと出力用
スラブ光導波路ＩＶとの接続面で、隣接する各アレイ光
導波路間において、
力用光導波路Ｉを伝搬してきた入力光（信号光）は入力
用スラブ光導波路ＩＩで横方向には自由空間として広が
り、アレイ光導波路ＩＩＩに結合する。なお、アレイ光
導波路ＩＩＩと入力用スラブ光導波路ＩＩの接続面は入
力用光導波路Ｉに対する一つの円弧をなし、各アレイ光
導波路はその円弧上に並んでいるので、アレイ光導波路
ＩＩＩに結合した直後の伝搬光は全てのアレイ光導波路
において同位相である。次にこのアレイ光導波路ＩＩＩ
に結合した光はアレイ光導波路ＩＩＩを伝搬した後、ア
レイ光導波路ＩＩＩと出力用スラブ光導波路ＩＶとの接
続面に達する。前述のように、各アレイ光導波路は上か
ら下に、順にΔＬだけ短くなっているので、アレイ光導
波路を伝搬してきた光はアレイ光導波路ＩＩＩと出力用
スラブ光導波路ＩＶとの接続面で、隣接する各アレイ光
導波路間において、
【０００５】
【数１】 ｋ0 ｎeqΔＬ （１） の位相差が生じている。ここで、ｋ0 は真空中の波数、
ｎeqはアレイ光導波路ＩＩＩの等価屈折率である。次
に、このアレイ光導波路ＩＩＩから出射された光は出力
用スラブ光導波路ＩＶを伝搬する間に互いに干渉し合っ
た結果、出力用スラブ光導波路ＩＶと出力用光導波路Ｖ
の接続面に結像し、出力用光導波路Ｖに結合した後、外
部へ取り出される。
ｎeqはアレイ光導波路ＩＩＩの等価屈折率である。次
に、このアレイ光導波路ＩＩＩから出射された光は出力
用スラブ光導波路ＩＶを伝搬する間に互いに干渉し合っ
た結果、出力用スラブ光導波路ＩＶと出力用光導波路Ｖ
の接続面に結像し、出力用光導波路Ｖに結合した後、外
部へ取り出される。
【０００６】以下、アレイ光導波路ＩＩＩから出射され
た光が出力側スラブ光導波路を伝搬後、結像する場合を
考える。出射端における各アレイ光導波路の中心間距離
をｄ、アレイ光導波路ＩＩＩからの光の出射角をθとす
ると、結像の条件は
た光が出力側スラブ光導波路を伝搬後、結像する場合を
考える。出射端における各アレイ光導波路の中心間距離
をｄ、アレイ光導波路ＩＩＩからの光の出射角をθとす
ると、結像の条件は
【０００７】
【数２】 ｎs ｄｓｉｎθ＋ｎeqΔＬ＝ｍλ （２） となる。ここで、ｎs は出力用スラブ光導波路ＩＶの等
価屈折率、ｍは回折の次数、λは波長である。
価屈折率、ｍは回折の次数、λは波長である。
【０００８】簡単のために、θ＝０、つまり中心付近の
光を考えると、式（２）は、
光を考えると、式（２）は、
【０００９】
【数３】 ｎeqΔＬ＝ｍλ （３） となる。
【００１０】式（３）からわかるように、アレイ光導波
路の等価屈折率ｎeqが変化すると結像する波長λも変化
する。ところが、光導波路製作時に光導波路の横幅Ｗが
設計時からずれると、アレイ光導波路の等価屈折率ｎeq
も設計値からずれてしまい、信号光の波長がアレイ格子
フィルタとしての通過帯域から外れてしまうことにな
る。以下、この点について考察する。
路の等価屈折率ｎeqが変化すると結像する波長λも変化
する。ところが、光導波路製作時に光導波路の横幅Ｗが
設計時からずれると、アレイ光導波路の等価屈折率ｎeq
も設計値からずれてしまい、信号光の波長がアレイ格子
フィルタとしての通過帯域から外れてしまうことにな
る。以下、この点について考察する。
【００１１】ここで、図１４に、図１３に示したハイメ
サ光導波路について、横幅Ｗを変数として疑似ＴＥモー
ドの等価屈折率ｎeqをセミベクトル解析法によって計算
した結果を示す。なお、１．１Ｑコア２の厚みＤは０．
４μｍ、上部ＩｎＰクラッドの厚みＨ1 は１．５μｍ、
下部ＩｎＰクラッドの厚みＨ2 は１μｍとした。前述の
ように横幅Ｗが変化すると等価屈折率ｎeqも変わること
を図１４から確認できる。
サ光導波路について、横幅Ｗを変数として疑似ＴＥモー
ドの等価屈折率ｎeqをセミベクトル解析法によって計算
した結果を示す。なお、１．１Ｑコア２の厚みＤは０．
４μｍ、上部ＩｎＰクラッドの厚みＨ1 は１．５μｍ、
下部ＩｎＰクラッドの厚みＨ2 は１μｍとした。前述の
ように横幅Ｗが変化すると等価屈折率ｎeqも変わること
を図１４から確認できる。
【００１２】さて、信号光の波長λの変化Δλとアレイ
光導波路の等価屈折率ｎeqの変化Δｎeqは次式で結びつ
けられる。
光導波路の等価屈折率ｎeqの変化Δｎeqは次式で結びつ
けられる。
【００１３】
【数４】 Δｎeq＝ｎeqΔλ／λ （４） 従って、光の周波数が１０ＧＨｚ変化（波長１．５５μ
ｍ帯では約１Åの波長変化に相当）すると、アレイ光導
波路の等価屈折率ｎeqとしては、約０．０００２の変化
に対応するが、図１４から、この等価屈折率ｎeqの変化
は光導波路の横幅の僅か１００Å程度の変化で生じてし
まうことがわかる。つまり、約１０ＧＨｚの光の周波数
変化に対応する光導波路のトレランスは１００Åとな
り、製作時のばらつき（一般にｒｕｎ−ｔｏ−ｒｕｎで
は約±０．１μｍのばらつきがある）と比較するとかな
り小さな値となる。そのため、１回の製作において、信
号光の波長とアレイ格子フィルタの通過帯域を設計値ど
おりに一致させることは現状の製作技術では極めて困難
である。現状では、アレイ格子フィルタを製作後、コア
やクラッドを構成する半導体材料の屈折率が温度により
変化し、その結果、等価屈折率も温度により変化するこ
とを利用して信号光の波長とアレイ格子フィルタの通過
帯域を設計値に合わせるために、使用期間を通してのペ
ルチェ素子による温度制御が不可欠である。
ｍ帯では約１Åの波長変化に相当）すると、アレイ光導
波路の等価屈折率ｎeqとしては、約０．０００２の変化
に対応するが、図１４から、この等価屈折率ｎeqの変化
は光導波路の横幅の僅か１００Å程度の変化で生じてし
まうことがわかる。つまり、約１０ＧＨｚの光の周波数
変化に対応する光導波路のトレランスは１００Åとな
り、製作時のばらつき（一般にｒｕｎ−ｔｏ−ｒｕｎで
は約±０．１μｍのばらつきがある）と比較するとかな
り小さな値となる。そのため、１回の製作において、信
号光の波長とアレイ格子フィルタの通過帯域を設計値ど
おりに一致させることは現状の製作技術では極めて困難
である。現状では、アレイ格子フィルタを製作後、コア
やクラッドを構成する半導体材料の屈折率が温度により
変化し、その結果、等価屈折率も温度により変化するこ
とを利用して信号光の波長とアレイ格子フィルタの通過
帯域を設計値に合わせるために、使用期間を通してのペ
ルチェ素子による温度制御が不可欠である。
【００１４】光導波路の横幅の誤差は、アレイ格子フィ
ルタだけでなく、マッハツェンダ型フィルタにおいても
同様に問題である。特開平４−２５５８０６号公報に
は、マスクパターンの微少誤差に起因する光路長差設定
誤差を救済する方法が記載されている。図１５は、特開
平４−２５５８０６号公報に記載されている、波長無依
存カプラとしての導波型光干渉計回路である。１１およ
び１２は方向性結合器、１３および１４は方向性結合器
１１および１２を連結する光導波路である。１６は光導
波路１４に設けられた長さｇの欠損部である。欠損部１
６はクラッドガラスで充填されている。この導波型光干
渉計回路は以下に説明する方法によって製作される。ま
ず、通常の、欠損部を生じないマスクパターンを使用し
て導波型光干渉計回路を製作する。光導波路幅の設計値
からのずれによって光導波路１３と１４の光路長差ΔＬ
にも誤差を生ずるので、得られた光干渉計回路の特性を
測定し、光路長差ΔＬの設計値からのずれを測定する。
そして、改めてマスクパターンの光導波路１４のパター
ンをレーザトリミングして欠損部を設け、このマスクパ
ターンを用いて光干渉回路を製作する。光路長差は
［（Δｎ）・ｇ］だけ補正される。なお、Δｎは光導波
路の実効屈折率とクラッドガラスの屈折率との差であ
る。
ルタだけでなく、マッハツェンダ型フィルタにおいても
同様に問題である。特開平４−２５５８０６号公報に
は、マスクパターンの微少誤差に起因する光路長差設定
誤差を救済する方法が記載されている。図１５は、特開
平４−２５５８０６号公報に記載されている、波長無依
存カプラとしての導波型光干渉計回路である。１１およ
び１２は方向性結合器、１３および１４は方向性結合器
１１および１２を連結する光導波路である。１６は光導
波路１４に設けられた長さｇの欠損部である。欠損部１
６はクラッドガラスで充填されている。この導波型光干
渉計回路は以下に説明する方法によって製作される。ま
ず、通常の、欠損部を生じないマスクパターンを使用し
て導波型光干渉計回路を製作する。光導波路幅の設計値
からのずれによって光導波路１３と１４の光路長差ΔＬ
にも誤差を生ずるので、得られた光干渉計回路の特性を
測定し、光路長差ΔＬの設計値からのずれを測定する。
そして、改めてマスクパターンの光導波路１４のパター
ンをレーザトリミングして欠損部を設け、このマスクパ
ターンを用いて光干渉回路を製作する。光路長差は
［（Δｎ）・ｇ］だけ補正される。なお、Δｎは光導波
路の実効屈折率とクラッドガラスの屈折率との差であ
る。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
のアレイ格子フィルタでは、アレイ光導波路の横幅の製
作誤差を防ぎ、信号光の波長とアレイ格子フィルタの通
過帯域を設計値どおりに一致させることは難しく、特開
平４−２５５８０６号公報の方法は、製作誤差による光
路長差を救済するために、マスクパターンをレーザトリ
ミングする複雑な工程を必要とし、しかもこの方法はア
レイ格子フィルタには現実に適用できない。
のアレイ格子フィルタでは、アレイ光導波路の横幅の製
作誤差を防ぎ、信号光の波長とアレイ格子フィルタの通
過帯域を設計値どおりに一致させることは難しく、特開
平４−２５５８０６号公報の方法は、製作誤差による光
路長差を救済するために、マスクパターンをレーザトリ
ミングする複雑な工程を必要とし、しかもこの方法はア
レイ格子フィルタには現実に適用できない。
【００１６】本発明は、アレイ格子フィルタにおいて
も、マッハツェンダ型フィルタにおいても、実現が可能
で、製作の再現性がよく、挿入損失が小さい光導波路形
フィルタとその製造方法を提供することを目的とする。
も、マッハツェンダ型フィルタにおいても、実現が可能
で、製作の再現性がよく、挿入損失が小さい光導波路形
フィルタとその製造方法を提供することを目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】上述した目的を達成する
ために、本発明による光導波路形フィルタの製造方法
は、複数の光導波路を備え、前記複数の光導波路に入力
光を分波して各々の光導波路を伝搬させた後に合波して
干渉させ、前記入力光を波長に基づいて選別する光導波
路形フィルタの製造方法において、前記複数の光導波路
の形成後に出力光の波長を測定する第１の工程と、測定
した前記出力光の波長に基づいて前記光導波路を表面か
らエッチングして、出力光の波長を所定の波長に一致さ
せる第２の工程とを備えたことを特徴とする。
ために、本発明による光導波路形フィルタの製造方法
は、複数の光導波路を備え、前記複数の光導波路に入力
光を分波して各々の光導波路を伝搬させた後に合波して
干渉させ、前記入力光を波長に基づいて選別する光導波
路形フィルタの製造方法において、前記複数の光導波路
の形成後に出力光の波長を測定する第１の工程と、測定
した前記出力光の波長に基づいて前記光導波路を表面か
らエッチングして、出力光の波長を所定の波長に一致さ
せる第２の工程とを備えたことを特徴とする。
【００１８】ここで、好適には、前記光導波路の表面か
らのエッチング工程が、前記複数の光導波路のそれぞれ
のコアの上部のクラッドを一様にエッチングする工程で
ある。
らのエッチング工程が、前記複数の光導波路のそれぞれ
のコアの上部のクラッドを一様にエッチングする工程で
ある。
【００１９】さらに、前記光導波路がリッジ型光導波路
であり、前記光導波路の表面からのエッチング工程が、
前記複数の光導波路のそれぞれのコアの上部のクラッド
を一様にエッチングするとともにリッジ型光導波路の側
面をもエッチングする工程であることが好ましい。
であり、前記光導波路の表面からのエッチング工程が、
前記複数の光導波路のそれぞれのコアの上部のクラッド
を一様にエッチングするとともにリッジ型光導波路の側
面をもエッチングする工程であることが好ましい。
【００２０】また、前記光導波路の表面からのエッチン
グ工程が、前記複数の光導波路のそれぞれのコアの上部
のクラッドの厚みおよび前記光導波路の幅の少なくとも
一方を異ならしめるようにエッチングする工程であるこ
とが好ましく、または前記光導波路の表面からのエッチ
ング工程が、前記複数の光導波路のそれぞれのコアの上
部のクラッドの厚みおよび前記光導波路の幅の少なくと
も一方について一部の領域のみをエッチングする工程で
あることが好ましい。
グ工程が、前記複数の光導波路のそれぞれのコアの上部
のクラッドの厚みおよび前記光導波路の幅の少なくとも
一方を異ならしめるようにエッチングする工程であるこ
とが好ましく、または前記光導波路の表面からのエッチ
ング工程が、前記複数の光導波路のそれぞれのコアの上
部のクラッドの厚みおよび前記光導波路の幅の少なくと
も一方について一部の領域のみをエッチングする工程で
あることが好ましい。
【００２１】上記方法において、好適には、前記複数の
光導波路のそれぞれのコアの一部の領域が他の領域より
屈折率の高い材料で構成されている。
光導波路のそれぞれのコアの一部の領域が他の領域より
屈折率の高い材料で構成されている。
【００２２】また、上記方法において、好適には、前記
複数の光導波路のそれぞれのコアを構成する材料の屈折
率が互いに異なる。
複数の光導波路のそれぞれのコアを構成する材料の屈折
率が互いに異なる。
【００２３】上記方法において、前記光導波路形フィル
タがアレイ格子フィルタであってもよく、前記光導波路
形フィルタがマッハツェンダ型フィルタであってもよ
い。
タがアレイ格子フィルタであってもよく、前記光導波路
形フィルタがマッハツェンダ型フィルタであってもよ
い。
【００２４】さらに、好ましくは、上記方法において、
前記マッハツェンダ型フィルタを構成する２本の光導波
路の長さが等しく、その断面形状が互いに異なる。ある
いは２本の光導波路の長さが異なり、その断面形状が同
一または異なる。
前記マッハツェンダ型フィルタを構成する２本の光導波
路の長さが等しく、その断面形状が互いに異なる。ある
いは２本の光導波路の長さが異なり、その断面形状が同
一または異なる。
【００２５】本発明による光導波路形フィルタは、複数
の光導波路を備え、前記複数の光導波路に入力光を分波
して各々の光導波路を伝搬させた後に合波して干渉さ
せ、前記入力光を波長に基づいて選別する光導波路形フ
ィルタにおいて、前記複数の光導波路のそれぞれのコア
の上部のクラッドの厚みおよび前記光導波路の幅の少な
くとも一方が異なっていることを特徴とする。
の光導波路を備え、前記複数の光導波路に入力光を分波
して各々の光導波路を伝搬させた後に合波して干渉さ
せ、前記入力光を波長に基づいて選別する光導波路形フ
ィルタにおいて、前記複数の光導波路のそれぞれのコア
の上部のクラッドの厚みおよび前記光導波路の幅の少な
くとも一方が異なっていることを特徴とする。
【００２６】さらに、本発明による光導波路形フィルタ
は、複数の光導波路を備え、前記複数の光導波路に入力
光を分波して各々の光導波路を伝搬させた後に合波して
干渉させ、前記入力光を波長に基づいて選別する光導波
路形フィルタにおいて、前記複数の光導波路のコアの上
部のクラッドの厚みおよび前記光導波路の幅の少なくと
も一方について一部の領域のみがエッチングされている
ことを特徴とする。
は、複数の光導波路を備え、前記複数の光導波路に入力
光を分波して各々の光導波路を伝搬させた後に合波して
干渉させ、前記入力光を波長に基づいて選別する光導波
路形フィルタにおいて、前記複数の光導波路のコアの上
部のクラッドの厚みおよび前記光導波路の幅の少なくと
も一方について一部の領域のみがエッチングされている
ことを特徴とする。
【００２７】
【発明の実施の形態】本発明においては、光学長が異な
る複数の光導波路を備え、複数の光導波路に入力光（信
号光）を分波して各々の光導波路を伝搬させた後に合波
して干渉させ、信号光を波長に基づいて選別する光導波
路形フィルタを製造するに際し、まず、複数の光導波路
を形成して、その出力光の波長を測定する。次いで、測
定した出力光の波長に基づいて光導波路を表面からエッ
チングして、コア上部のクラッドの厚みおよびコアある
いはクラッドの幅の少なくとも一方を調整する。その結
果、光導波路の等価屈折率を変え、信号光の波長と光導
波路形フィルタの通過帯域の中心波長を一致させること
ができる。
る複数の光導波路を備え、複数の光導波路に入力光（信
号光）を分波して各々の光導波路を伝搬させた後に合波
して干渉させ、信号光を波長に基づいて選別する光導波
路形フィルタを製造するに際し、まず、複数の光導波路
を形成して、その出力光の波長を測定する。次いで、測
定した出力光の波長に基づいて光導波路を表面からエッ
チングして、コア上部のクラッドの厚みおよびコアある
いはクラッドの幅の少なくとも一方を調整する。その結
果、光導波路の等価屈折率を変え、信号光の波長と光導
波路形フィルタの通過帯域の中心波長を一致させること
ができる。
【００２８】
【実施例】実施例１ 図１に本発明の光導波路形フィルタの製造方法の第１の
実施例における製作過程を示す。図１は、図１２、図１
３に示した従来例と同様に、アレイ格子フィルタのアレ
イ導波の一つを示したものであり、同一部位を同一の参
照符号で示してある。従来例と同様に、ドライエッチン
グによって、図１（ａ）のようにハイメサ光導波路から
なるアレイ光導波路を形成し、フィルタの通過帯域特性
を測定する。この時点では、先に説明したように、光導
波路の幅の設計値からのずれによって、信号光とアレイ
光導波路フィルタの通過帯域が一致しないために、信号
光を取り出すことができない。そこで、図１（ｂ）に示
すように、アレイ光導波路の上部からドライエッチング
ビームを印加し、上部ＩｎＰクラッド１をその表面から
エッチングする。これにより、上部ＩｎＰクラッド１の
厚みＨ1 を薄くすることができる。
実施例における製作過程を示す。図１は、図１２、図１
３に示した従来例と同様に、アレイ格子フィルタのアレ
イ導波の一つを示したものであり、同一部位を同一の参
照符号で示してある。従来例と同様に、ドライエッチン
グによって、図１（ａ）のようにハイメサ光導波路から
なるアレイ光導波路を形成し、フィルタの通過帯域特性
を測定する。この時点では、先に説明したように、光導
波路の幅の設計値からのずれによって、信号光とアレイ
光導波路フィルタの通過帯域が一致しないために、信号
光を取り出すことができない。そこで、図１（ｂ）に示
すように、アレイ光導波路の上部からドライエッチング
ビームを印加し、上部ＩｎＰクラッド１をその表面から
エッチングする。これにより、上部ＩｎＰクラッド１の
厚みＨ1 を薄くすることができる。
【００２９】図２には、上部ＩｎＰクラッド１の厚みＨ
1 を変数とした場合の等価屈折率ｎeqとアレイ格子フィ
ルタの通過帯域の中心周波数の変化Δｆの計算結果を示
す。なお、波長は１．５５μｍ帯とし、アレイ格子フィ
ルタの通過帯域の中心周波数の変化ΔｆはＧＨｚの単位
で示した。また、１．１Ｑコアの幅Ｗは２．４μｍ、厚
みＤは０．４μｍとした。さらに、上方から上部ＩｎＰ
クラッド１をドライエッチングする際、基板４もエッチ
ングされて下部ＩｎＰクラッド３の厚みＨ2 は厚くなる
ので、上部ＩｎＰクラッド１の厚みＨ1 、１．１Ｑコア
の厚みＤおよび下部ＩｎＰクラッド３の厚みＨ2 の和は
２．９μｍで一定とした。図中の黒点は実験結果を示
し、上部クラッドの厚みが０．９μｍの時の中心周波数
の変化Δｆは３２ＧＨｚであった。
1 を変数とした場合の等価屈折率ｎeqとアレイ格子フィ
ルタの通過帯域の中心周波数の変化Δｆの計算結果を示
す。なお、波長は１．５５μｍ帯とし、アレイ格子フィ
ルタの通過帯域の中心周波数の変化ΔｆはＧＨｚの単位
で示した。また、１．１Ｑコアの幅Ｗは２．４μｍ、厚
みＤは０．４μｍとした。さらに、上方から上部ＩｎＰ
クラッド１をドライエッチングする際、基板４もエッチ
ングされて下部ＩｎＰクラッド３の厚みＨ2 は厚くなる
ので、上部ＩｎＰクラッド１の厚みＨ1 、１．１Ｑコア
の厚みＤおよび下部ＩｎＰクラッド３の厚みＨ2 の和は
２．９μｍで一定とした。図中の黒点は実験結果を示
し、上部クラッドの厚みが０．９μｍの時の中心周波数
の変化Δｆは３２ＧＨｚであった。
【００３０】図２からわかるように、上部ＩｎＰクラッ
ド１の厚みが大きくなると、空気５の導波光に対する影
響が少なくなり、等価屈折率ｎeqは大きくなる。また、
等価屈折率ｎeqが変化するため、アレイ格子フィルタの
通過帯域の中心周波数も変化する。一般に、アレイ格子
フィルタのチャネル間隔は１００ＧＨｚから２００ＧＨ
ｚ程度であるから、例えば、信号光とアレイ格子フィル
タの通過帯域の中心周波数が５０ＧＨｚずれていたと仮
定すると、図２からわかるように、最初上部ＩｎＰクラ
ッド１の厚みＨ1 が１．５μｍの場合には、上部ＩｎＰ
クラッド１の厚みＨ1 を０．９μｍ程度になるようにエ
ッチングすることにより、信号光とフィルタの通過帯域
の中心周波数を完全に一致させることが可能となる。ま
た、この際の加工のトレランスは比較的緩いこと、さら
に、上部クラッドの厚みＨ1 が小さくなるようにエッチ
ング量を多くすれば数１００ＧＨｚの調整が可能である
ことがわかる。
ド１の厚みが大きくなると、空気５の導波光に対する影
響が少なくなり、等価屈折率ｎeqは大きくなる。また、
等価屈折率ｎeqが変化するため、アレイ格子フィルタの
通過帯域の中心周波数も変化する。一般に、アレイ格子
フィルタのチャネル間隔は１００ＧＨｚから２００ＧＨ
ｚ程度であるから、例えば、信号光とアレイ格子フィル
タの通過帯域の中心周波数が５０ＧＨｚずれていたと仮
定すると、図２からわかるように、最初上部ＩｎＰクラ
ッド１の厚みＨ1 が１．５μｍの場合には、上部ＩｎＰ
クラッド１の厚みＨ1 を０．９μｍ程度になるようにエ
ッチングすることにより、信号光とフィルタの通過帯域
の中心周波数を完全に一致させることが可能となる。ま
た、この際の加工のトレランスは比較的緩いこと、さら
に、上部クラッドの厚みＨ1 が小さくなるようにエッチ
ング量を多くすれば数１００ＧＨｚの調整が可能である
ことがわかる。
【００３１】上述した本発明の第１の実施例の製作手順
をまとめると以下のようになる。
をまとめると以下のようになる。
【００３２】（１）図１（ａ）のようにアレイ光導波路
を形成する。
を形成する。
【００３３】（２）アレイ格子フィルタの通過帯域特性
を測定し、信号光とアレイ格子フィルタの通過帯域の中
心周波数のずれ量を明らかにする。
を測定し、信号光とアレイ格子フィルタの通過帯域の中
心周波数のずれ量を明らかにする。
【００３４】（３）上部ＩｎＰクラッド１を表面からエ
ッチングして、中心周波数のずれ量を補正する。
ッチングして、中心周波数のずれ量を補正する。
【００３５】（４）アレイ格子フィルタの通過帯域の中
心周波数が信号光の波長と一致するまで、上記（２）、
（３）の工程を繰り返す。
心周波数が信号光の波長と一致するまで、上記（２）、
（３）の工程を繰り返す。
【００３６】なお、図１においては、１本のアレイ光導
波路のみを示したが、アレイ光導波路を構成する全光導
波路について、上部クラッドが一様に表面からエッチン
グされることは言うまでもない。この点は以下の実施例
についても同様である。
波路のみを示したが、アレイ光導波路を構成する全光導
波路について、上部クラッドが一様に表面からエッチン
グされることは言うまでもない。この点は以下の実施例
についても同様である。
【００３７】実施例２ 図３に本発明の光導波路形フィルタの製造方法の第２の
実施例を示す。本実施例は、図１に示したハイメサ光導
波路の斜め上方からエッチングする方法である。この実
施例によれば、上部ＩｎＰクラッド１の厚みだけでな
く、ハイメサ光導波路の幅（従って、１．１Ｑコア２の
幅）Ｗ変化するため、僅かなエッチング量でアレイ格子
フィルタの通過帯域の中心周波数を信号光の波長に一致
させることが可能となる。
実施例を示す。本実施例は、図１に示したハイメサ光導
波路の斜め上方からエッチングする方法である。この実
施例によれば、上部ＩｎＰクラッド１の厚みだけでな
く、ハイメサ光導波路の幅（従って、１．１Ｑコア２の
幅）Ｗ変化するため、僅かなエッチング量でアレイ格子
フィルタの通過帯域の中心周波数を信号光の波長に一致
させることが可能となる。
【００３８】実施例３ 図４は本発明の第３の実施例を示し、埋め込みコア型の
アレイ光導波路に本発明の方法を適用した例である。図
４（ａ）はアレイ光導波路形成直後の状態を示し、図４
（ｂ）はクラッドのエッチング状態を示す。図４におい
て、６はクラッド、７は埋め込みコアである。この場
合、クラッドのエッチングはドライエッチングに限られ
ず、ウェットエッチングも可能である。アレイ光導波路
製作後に、フィルタの通過帯域特性を測定し、クラッド
６を表面からエッチングして、アレイ格子フィルタの通
過帯域の中心周波数を信号光の周波数と一致させること
は、実施例１と全く同じである。
アレイ光導波路に本発明の方法を適用した例である。図
４（ａ）はアレイ光導波路形成直後の状態を示し、図４
（ｂ）はクラッドのエッチング状態を示す。図４におい
て、６はクラッド、７は埋め込みコアである。この場
合、クラッドのエッチングはドライエッチングに限られ
ず、ウェットエッチングも可能である。アレイ光導波路
製作後に、フィルタの通過帯域特性を測定し、クラッド
６を表面からエッチングして、アレイ格子フィルタの通
過帯域の中心周波数を信号光の周波数と一致させること
は、実施例１と全く同じである。
【００３９】実施例４ 図５、図６および図７は本発明の第４の実施例を示し、
本発明をマッハツェンダ型フィルタに適用して例で、図
５は上面図、図６および図７はそれぞれ図５のＢ−
Ｂ′、Ｃ−Ｃ′における断面図である。ここで、ＶＩは
入力用光導波路、ＶＩＩは入力用３ｄＢカプラ、ＶＩＩ
Ｉは直線光導波路、ＩＸは出力用３ｄＢカプラ、Ｘは出
力用光導波路である。直線光導波路ＶＩＩＩの２本の光
導波路８と９に光路長差を持たせるために、ドライエッ
チングによって、光導波路の８の上部クラッド１の厚み
と光導波路９の上部クラッド１の厚みが異なるようにす
る。先に述べたように、上部クラッド１の厚みが大きい
ほど導波光の実効屈折率が大きくなり、従って光路が長
くなるので、上部クラッド１の厚みによって光路長差を
調整できる。マッハツェンダ型フィルタを製作後に、フ
ィルタの通過帯域特性を測定し、上部クラッド１を表面
からドライエッチングして、フィルタの通過帯域の中心
周波数を信号光の周波数と一致させることは、実施例１
と全く同じである。また、実施例２と同様に、斜め上方
からドライエッチングビームを印加して片方の光導波路
のエッチングを行うこともできる。
本発明をマッハツェンダ型フィルタに適用して例で、図
５は上面図、図６および図７はそれぞれ図５のＢ−
Ｂ′、Ｃ−Ｃ′における断面図である。ここで、ＶＩは
入力用光導波路、ＶＩＩは入力用３ｄＢカプラ、ＶＩＩ
Ｉは直線光導波路、ＩＸは出力用３ｄＢカプラ、Ｘは出
力用光導波路である。直線光導波路ＶＩＩＩの２本の光
導波路８と９に光路長差を持たせるために、ドライエッ
チングによって、光導波路の８の上部クラッド１の厚み
と光導波路９の上部クラッド１の厚みが異なるようにす
る。先に述べたように、上部クラッド１の厚みが大きい
ほど導波光の実効屈折率が大きくなり、従って光路が長
くなるので、上部クラッド１の厚みによって光路長差を
調整できる。マッハツェンダ型フィルタを製作後に、フ
ィルタの通過帯域特性を測定し、上部クラッド１を表面
からドライエッチングして、フィルタの通過帯域の中心
周波数を信号光の周波数と一致させることは、実施例１
と全く同じである。また、実施例２と同様に、斜め上方
からドライエッチングビームを印加して片方の光導波路
のエッチングを行うこともできる。
【００４０】実施例５ 図８に本発明の第４の実施例を示し、図８（ａ）は上面
図、図８（ｂ）は図８（ａ）のＤ−Ｄ′およびＥ−Ｅ′
における断面図である。両断面は全く等しいので一図で
代表する。図８において、ＸＩは位相変化光導波路であ
る。本実施例は、第４の実施例のマッハツェンダ型フィ
ルタにおいて、２本の光導波路の光路長に差をつけるた
めに、一方の光導波路１０を直線光導波路９より長くし
た例である。本実施例では、２本の光導波路９、１０の
長さが異なっているため、２本の光導波路の断面形状が
同じとなるように上部クラッド１をフィルタ表面から一
様にエッチングしても、このフィルタの通過帯域の中心
周波数を信号光の周波数と一致させることができる利点
がある。なお、光導波路９と１０のそれぞれの上部クラ
ッドの厚みが異なるように上部クラッドをエッチングす
れば一層の効果がある。
図、図８（ｂ）は図８（ａ）のＤ−Ｄ′およびＥ−Ｅ′
における断面図である。両断面は全く等しいので一図で
代表する。図８において、ＸＩは位相変化光導波路であ
る。本実施例は、第４の実施例のマッハツェンダ型フィ
ルタにおいて、２本の光導波路の光路長に差をつけるた
めに、一方の光導波路１０を直線光導波路９より長くし
た例である。本実施例では、２本の光導波路９、１０の
長さが異なっているため、２本の光導波路の断面形状が
同じとなるように上部クラッド１をフィルタ表面から一
様にエッチングしても、このフィルタの通過帯域の中心
周波数を信号光の周波数と一致させることができる利点
がある。なお、光導波路９と１０のそれぞれの上部クラ
ッドの厚みが異なるように上部クラッドをエッチングす
れば一層の効果がある。
【００４１】実施例６ 図９に本発明の第６の実施例を示す。図９（ａ）は上面
図、図９（ｂ）および図９（ｃ）は図９（ａ）のＤ−
Ｄ′およびＥ−Ｅ′における断面図である。本実施例は
図８に示した第５の実施例において、位相変化光導波路
ＸＩの２本の光導波路９、１０のコアを構成する材料を
異ならしめた例である。本実施例では、コアの材料とし
て光導波路１０では１．１コア２を、一方、光導波路９
ではバンドギャップ波長が１．３μｍのＩｎＧａＡｓＰ
（１．３Ｑ）コア２′を用いている。１．１Ｑコア２と
１．３Ｑコア２′の屈折率は１．５５μｍにおいて、そ
れぞれ約３．２８および約３．３９と異なっており、
１．１Ｑコア２の方が１．３Ｑコア２′よりも低い。従
って、導波光は１．１Ｑコア２においての方が１．３Ｑ
コア２′においてよりも、より上下に広がっている。そ
のため、上部クラッド１の厚みが同じとなるようにエッ
チングしても、空気５の導波光に対する影響は１．１Ｑ
コア２においての方が１．３Ｑコア２′においてよりも
大きくなる。その結果、２本の光導波路のコアの屈折率
を異ならしめると本発明の効果が顕著になる。なお、こ
の場合には、２本の光導波路が長い方が、効果が大き
く、長い方の光導波路のコアの屈折率が短い方の光導波
路のコアの屈折率より小さい方が効果が大きい。さら
に、光導波路９と１０のそれぞれの上部クラッド１の厚
みが異なるように上部クラッド１をエッチングすれば、
より一層の効果があることは言うまでもない。また、本
実施例において、光導波路９と光導波路１０の長さを同
じとしても若干効果は落ちるが、フィルタの通過帯域の
中心周波数を信号光の周波数と一致させることは可能で
ある。
図、図９（ｂ）および図９（ｃ）は図９（ａ）のＤ−
Ｄ′およびＥ−Ｅ′における断面図である。本実施例は
図８に示した第５の実施例において、位相変化光導波路
ＸＩの２本の光導波路９、１０のコアを構成する材料を
異ならしめた例である。本実施例では、コアの材料とし
て光導波路１０では１．１コア２を、一方、光導波路９
ではバンドギャップ波長が１．３μｍのＩｎＧａＡｓＰ
（１．３Ｑ）コア２′を用いている。１．１Ｑコア２と
１．３Ｑコア２′の屈折率は１．５５μｍにおいて、そ
れぞれ約３．２８および約３．３９と異なっており、
１．１Ｑコア２の方が１．３Ｑコア２′よりも低い。従
って、導波光は１．１Ｑコア２においての方が１．３Ｑ
コア２′においてよりも、より上下に広がっている。そ
のため、上部クラッド１の厚みが同じとなるようにエッ
チングしても、空気５の導波光に対する影響は１．１Ｑ
コア２においての方が１．３Ｑコア２′においてよりも
大きくなる。その結果、２本の光導波路のコアの屈折率
を異ならしめると本発明の効果が顕著になる。なお、こ
の場合には、２本の光導波路が長い方が、効果が大き
く、長い方の光導波路のコアの屈折率が短い方の光導波
路のコアの屈折率より小さい方が効果が大きい。さら
に、光導波路９と１０のそれぞれの上部クラッド１の厚
みが異なるように上部クラッド１をエッチングすれば、
より一層の効果があることは言うまでもない。また、本
実施例において、光導波路９と光導波路１０の長さを同
じとしても若干効果は落ちるが、フィルタの通過帯域の
中心周波数を信号光の周波数と一致させることは可能で
ある。
【００４２】実施例７ 図１０は本発明の第７の実施例であり、本発明を適用し
たアレイ格子フィルタの上面図である。本実施例におい
ては、実施例１と異なり、アレイ光導波路ＩＩＩの全ク
ラッドの表面を一様にエッチングするのではなく、アレ
イ光導波路の一部の領域ＩＩＩＡのクラッドをエッチン
グしている。この際、エッチングすべき領域は式（１）
からわかるように、隣接アレイ光導波路とΔＬの長さの
差があるように選べばよいことになる。フィルタの通過
帯域の中心周波数を信号光の周波数と一致させる手順は
実施例１で述べたとおりである。
たアレイ格子フィルタの上面図である。本実施例におい
ては、実施例１と異なり、アレイ光導波路ＩＩＩの全ク
ラッドの表面を一様にエッチングするのではなく、アレ
イ光導波路の一部の領域ＩＩＩＡのクラッドをエッチン
グしている。この際、エッチングすべき領域は式（１）
からわかるように、隣接アレイ光導波路とΔＬの長さの
差があるように選べばよいことになる。フィルタの通過
帯域の中心周波数を信号光の周波数と一致させる手順は
実施例１で述べたとおりである。
【００４３】なお、マッハツェンダ型フィルタへの適用
例である第６の実施例のように、屈折率の異なる材料の
コアを用いることにより顕著な効果を得る手法は、第１
の実施例あるいは第７の実施例などのアレイ格子フィル
タにも適用可能であることは言うまでもない。
例である第６の実施例のように、屈折率の異なる材料の
コアを用いることにより顕著な効果を得る手法は、第１
の実施例あるいは第７の実施例などのアレイ格子フィル
タにも適用可能であることは言うまでもない。
【００４４】実施例８ アレイ光導波路ＩＩＩの全ての光導波路においてその上
部クラッドの厚みが同じ場合について、全ての光導波路
のコアの一部の領域に他の領域より屈折率の高い材料を
用いることによって、アレイ格子フィルタの中心周波数
を温度無依存化できることが知られている。（田野辺
他、１９９７年３月、電子情報通信学会春期全国大会、
Ｃ−３−１５９）。図１１はそのアレイ格子フィルタの
上面図を模式的に示したものであり、領域ＩＩＩＢが屈
折率の高いコア材料を用いた領域である。このアレイ格
子フィルタに実施例１または実施例２に示した本発明の
方法を適用すれば、温度無依存アレイ格子フィルタの中
心周波数を信号光の周波数と一致させることができる。
同様に、温度無依存マッハツェンダ型フィルタの中心周
波数を信号光の周波数と一致させることもできる。
部クラッドの厚みが同じ場合について、全ての光導波路
のコアの一部の領域に他の領域より屈折率の高い材料を
用いることによって、アレイ格子フィルタの中心周波数
を温度無依存化できることが知られている。（田野辺
他、１９９７年３月、電子情報通信学会春期全国大会、
Ｃ−３−１５９）。図１１はそのアレイ格子フィルタの
上面図を模式的に示したものであり、領域ＩＩＩＢが屈
折率の高いコア材料を用いた領域である。このアレイ格
子フィルタに実施例１または実施例２に示した本発明の
方法を適用すれば、温度無依存アレイ格子フィルタの中
心周波数を信号光の周波数と一致させることができる。
同様に、温度無依存マッハツェンダ型フィルタの中心周
波数を信号光の周波数と一致させることもできる。
【００４５】
【発明の効果】一般に、１回の試作では信号光の波長と
フィルタの通過帯域を一致させることが困難なため、使
用の全期間にわたる温度制御が必要であった。しかし、
以上説明したように、本発明によれば、試作したフィル
タの通過帯域特性を測定し、光導波路のコア上部のクラ
ッドおよびコアあるいはクラッドの幅の少なくとも一方
をエッチングして調整することによって、信号光の波長
と光導波路形フィルタの通過帯域を一致させることがで
きる。
フィルタの通過帯域を一致させることが困難なため、使
用の全期間にわたる温度制御が必要であった。しかし、
以上説明したように、本発明によれば、試作したフィル
タの通過帯域特性を測定し、光導波路のコア上部のクラ
ッドおよびコアあるいはクラッドの幅の少なくとも一方
をエッチングして調整することによって、信号光の波長
と光導波路形フィルタの通過帯域を一致させることがで
きる。
【図１】本発明の第１の実施例を説明する斜視図であ
る。
る。
【図２】本発明の原理を説明するための線図である。
【図３】本発明の第２の実施例を説明する図である。
【図４】本発明の第３の実施例を説明する図である。
【図５】本発明の第４の実施例の上面図である。
【図６】図５のＢ−Ｂ′における断面図である。
【図７】図５のＣ−Ｃ′における断面図である。
【図８】本発明の第５の実施例を示し、（ａ）は上面
図、（ｂ）はそのＤ−Ｄ′（またはＥ−Ｅ′）における
断面図である。
図、（ｂ）はそのＤ−Ｄ′（またはＥ−Ｅ′）における
断面図である。
【図９】本発明の第６の実施例を示し、（ａ）は上面
図、（ｂ）はそのＤ−Ｄ′における断面図、（ｃ）はＥ
−Ｅ′における断面図である。
図、（ｂ）はそのＤ−Ｄ′における断面図、（ｃ）はＥ
−Ｅ′における断面図である。
【図１０】本発明の第７の実施例の上面図である。
【図１１】本発明の第８の実施例の上面図である。
【図１２】従来のアレイ格子フィルタの断面図である。
【図１３】図１２のＡ−Ａ′における断面図である。
【図１４】従来のアレイ格子フィルタのトレランスを表
す線図である。
す線図である。
【図１５】従来のマッハツェンダ形フィルタの上面図で
ある。
ある。
１ 上部ＩｎＰクラッド ２ １．１Ｑ組成のコア ３ 下部ＩｎＰクラッド ４ 基板 ５ 空気 ６ クラッド ７ 埋め込みコア ８、９ 直線光導波路 １０ 光路長の長い光導波路 １１、１２ 方向性結合器 １３、１４ 光導波路 １６ 欠損部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 吉国 裕三 東京都新宿区西新宿三丁目19番２号 日本 電信電話株式会社内 (72)発明者 三条 広明 東京都新宿区西新宿三丁目19番２号 日本 電信電話株式会社内 (72)発明者 蓮見 裕二 東京都新宿区西新宿三丁目19番２号 日本 電信電話株式会社内
Claims (12)
- 【請求項１】 複数の光導波路を備え、前記複数の光導
波路に入力光を分波して各々の光導波路を伝搬させた後
に合波して干渉させ、前記入力光を波長に基づいて選別
する光導波路形フィルタの製造方法において、 前記複数の光導波路の形成後に出力光の波長を測定する
第１の工程と、測定した前記出力光の波長に基づいて前
記光導波路を表面からエッチングして、出力光の波長を
所定の波長に一致させる第２の工程とを備えたことを特
徴とする光導波路形フィルタの製造方法。 - 【請求項２】 請求項１に記載の方法において、前記光
導波路の表面からのエッチング工程が、前記複数の光導
波路のそれぞれのコアの上部のクラッドを一様にエッチ
ングする工程であることを特徴とする光導波路形フィル
タの製造方法。 - 【請求項３】 請求項１または２に記載の方法におい
て、前記光導波路がリッジ型光導波路であり、前記光導
波路の表面からのエッチング工程が、前記複数の光導波
路のそれぞれのコアの上部のクラッドを一様にエッチン
グするとともにリッジ型光導波路の側面をもエッチング
する工程であることを特徴とする光導波路形フィルタの
製造方法。 - 【請求項４】 請求項１または３に記載の方法におい
て、前記光導波路の表面からのエッチング工程が、前記
複数の光導波路のそれぞれのコアの上部のクラッドの厚
みおよび前記光導波路の幅の少なくとも一方を異ならし
めるようにエッチングする工程であることを特徴とする
光導波路形フィルタの製造方法。 - 【請求項５】 請求項１または３に記載の方法におい
て、前記光導波路の表面からのエッチング工程が、前記
複数の光導波路のそれぞれのコアの上部のクラッドの厚
みおよび前記光導波路の幅の少なくとも一方について一
部の領域のみをエッチングする工程であることを特徴と
する光導波路形フィルタの製造方法。 - 【請求項６】 請求項１から５のいずれかに記載の方法
において、前記複数の光導波路のそれぞれのコアの一部
の領域が他の領域より屈折率の高い材料で構成されてい
ることを特徴とする光導波路形フィルタの製造方法。 - 【請求項７】 請求項１から６のいずれかに記載の方法
において、前記複数の光導波路のそれぞれのコアを構成
する材料の屈折率が互いに異なることを特徴とする光導
波路形フィルタの製造方法。 - 【請求項８】 請求項１から７のいずれかに記載の方法
において、前記光導波路形フィルタがアレイ格子フィル
タであることを特徴とする光導波路形フィルタの製造方
法。 - 【請求項９】 請求項１から７のいずれかに記載の方法
において、前記光導波路形フィルタがマッハツェンダ型
フィルタであることを特徴とする光導波路形フィルタの
製造方法。 - 【請求項１０】 請求項９に記載の方法において、前記
マッハツェンダ型フィルタを構成する２本の光導波路の
長さが等しく、その断面形状が互いに異なることを特徴
とする光導波路形フィルタの製造方法。 - 【請求項１１】 複数の光導波路を備え、前記複数の光
導波路に入力光を分波して各々の光導波路を伝搬させた
後に合波して干渉させ、前記入力光を波長に基づいて選
別する光導波路形フィルタにおいて、前記複数の光導波
路のそれぞれのコアの上部のクラッドの厚みおよび前記
光導波路の幅の少なくとも一方が異なっていることを特
徴とする光導波路形フィルタ。 - 【請求項１２】 複数の光導波路を備え、前記複数の光
導波路に入力光を分波して各々の光導波路を伝搬させた
後に合波して干渉させ、前記入力光を波長に基づいて選
別する光導波路形フィルタにおいて、前記複数の光導波
路のコアの上部のクラッドの厚みおよび前記光導波路の
幅の少なくとも一方について一部の領域のみがエッチン
グされていることを特徴とする光導波路形フィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11559297A JP3996971B2 (ja) | 1997-05-06 | 1997-05-06 | 光導波路形フィルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11559297A JP3996971B2 (ja) | 1997-05-06 | 1997-05-06 | 光導波路形フィルタの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10307220A true JPH10307220A (ja) | 1998-11-17 |
| JP3996971B2 JP3996971B2 (ja) | 2007-10-24 |
Family
ID=14666429
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11559297A Expired - Lifetime JP3996971B2 (ja) | 1997-05-06 | 1997-05-06 | 光導波路形フィルタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3996971B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019105808A (ja) * | 2017-12-14 | 2019-06-27 | 日本電信電話株式会社 | 光学素子およびその製造方法 |
| WO2022244274A1 (ja) * | 2021-05-21 | 2022-11-24 | 日本電信電話株式会社 | 光導波路素子の製造方法 |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5627105A (en) * | 1979-08-14 | 1981-03-16 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Phase matching and coupling length adjusting hethod |
| JPH01289902A (ja) * | 1988-05-17 | 1989-11-21 | Ricoh Co Ltd | 導波形光受動素子 |
| JPH04233502A (ja) * | 1990-06-25 | 1992-08-21 | Siemens Ag | 光デュプレクサ |
| JPH0627337A (ja) * | 1992-07-07 | 1994-02-04 | Hitachi Cable Ltd | 光フィルタ及びその出射光の周波数調整方法 |
| JPH06110091A (ja) * | 1992-09-29 | 1994-04-22 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 導波路型光結合回路 |
| JPH06308546A (ja) * | 1993-04-20 | 1994-11-04 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光回路の特性調整方法 |
| JPH0943440A (ja) * | 1995-07-28 | 1997-02-14 | Toshiba Corp | 集積化光合分波器 |
| JPH09105826A (ja) * | 1995-08-29 | 1997-04-22 | At & T Corp | 光学導波路装置 |
-
1997
- 1997-05-06 JP JP11559297A patent/JP3996971B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5627105A (en) * | 1979-08-14 | 1981-03-16 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Phase matching and coupling length adjusting hethod |
| JPH01289902A (ja) * | 1988-05-17 | 1989-11-21 | Ricoh Co Ltd | 導波形光受動素子 |
| JPH04233502A (ja) * | 1990-06-25 | 1992-08-21 | Siemens Ag | 光デュプレクサ |
| JPH0627337A (ja) * | 1992-07-07 | 1994-02-04 | Hitachi Cable Ltd | 光フィルタ及びその出射光の周波数調整方法 |
| JPH06110091A (ja) * | 1992-09-29 | 1994-04-22 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 導波路型光結合回路 |
| JPH06308546A (ja) * | 1993-04-20 | 1994-11-04 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光回路の特性調整方法 |
| JPH0943440A (ja) * | 1995-07-28 | 1997-02-14 | Toshiba Corp | 集積化光合分波器 |
| JPH09105826A (ja) * | 1995-08-29 | 1997-04-22 | At & T Corp | 光学導波路装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019105808A (ja) * | 2017-12-14 | 2019-06-27 | 日本電信電話株式会社 | 光学素子およびその製造方法 |
| WO2022244274A1 (ja) * | 2021-05-21 | 2022-11-24 | 日本電信電話株式会社 | 光導波路素子の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3996971B2 (ja) | 2007-10-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA2198836C (en) | Optical wavelength multiplexer/demultiplexer | |
| CA2240056C (en) | Optical wavelength multiplexer/demultiplexer | |
| US20050129363A1 (en) | Arrayed waveguide grating with waveguides of unequal widths | |
| JP2003513330A (ja) | 通過帯域平滑化フェーズドアレイ | |
| JP2004234031A (ja) | 平面型光学導波路素子 | |
| US6195481B1 (en) | Array waveguide diffraction grating optical multiplexer/demultiplexer | |
| JP3112246B2 (ja) | アレイ導波路格子 | |
| JP2003014962A (ja) | 光合分波器 | |
| US6404946B1 (en) | Arrayed waveguide grating type optical multiplexer/demultiplexer | |
| US6556749B2 (en) | Array waveguide grating and method of manufacture thereof | |
| US5724461A (en) | Polarization-insensitive demultiplexer and a method of manufacture | |
| JP3039491B2 (ja) | 光波長合分波器 | |
| KR19990053074A (ko) | 쌍격자 구조를 갖는 수직결합형 파장가변 광필터 | |
| US5978532A (en) | Spectrographic multiplexer component having an array of waveguides | |
| US20030123799A1 (en) | Athermal arrayed waveguide grating | |
| US6768840B2 (en) | Arrayed waveguide grating and method for manufacturing the same | |
| JP3996971B2 (ja) | 光導波路形フィルタの製造方法 | |
| JP3224086B2 (ja) | フラット帯域特性の周波数幅が可変なアレイ導波路格子 | |
| US6735363B1 (en) | Waveguide-grating router with output tapers configured to provide a passband that is optimized for each channel individually | |
| US6134361A (en) | Optical multiplexer/demultiplexer | |
| JP3238890B2 (ja) | アレイ導波路型波長合分波器 | |
| US20020053678A1 (en) | Semiconductor integrated circuit | |
| JP3144620B2 (ja) | アレイ導波路格子 | |
| US7058262B2 (en) | Arrayed waveguide grating | |
| JPH10307219A (ja) | 光導波路形フィルタおよびその製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040123 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070207 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070216 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070417 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070511 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070710 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070731 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070806 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100810 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100810 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100810 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110810 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120810 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130810 Year of fee payment: 6 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |