JPH10307220A - 光導波路形フィルタの製造方法および光導波路形フィルタ - Google Patents
光導波路形フィルタの製造方法および光導波路形フィルタInfo
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- JPH10307220A JPH10307220A JP9115592A JP11559297A JPH10307220A JP H10307220 A JPH10307220 A JP H10307220A JP 9115592 A JP9115592 A JP 9115592A JP 11559297 A JP11559297 A JP 11559297A JP H10307220 A JPH10307220 A JP H10307220A
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Abstract
波路形フィルタとその製造方法を提供する。 【解決手段】 光学長が異なる複数の光導波路を備え、
複数の光導波路に信号光を分波して各々の光導波路を伝
搬させた後に合波して干渉させ、信号光を波長に基づい
て選別する光導波路形フィルタを製造するに際し、ま
ず、複数の光導波路を形成して、その出力光の波長を測
定する。次いで、測定した出力光の波長に基づいて光導
波路を表面からエッチングして、コア上部のクラッドお
よびコアあるいはクラッドの幅の少なくとも一方を調整
する。その結果、光導波路の等価屈折率を変え、信号光
の波長と光導波路形フィルタの通過帯域の中心波長を一
致させることができる。
Description
に関し、特に製作の再現性がよく、挿入損失が小さい光
導波路形フィルタとその製造方法に関する。
図12に示すアレイ格子フィルタについて考察する。図
中、Iは入力用光導波路、IIは入力側スラブ光導波
路、IIIはアレイ光導波路である。ここで、図12か
らわかるように、各アレイ光導波路の長さは異なってい
る。すなわち、図12の上から下に向かって、順に隣接
する各アレイ光導波路の長さはそれぞれΔLだけ短くな
っているとする。IVは出力用スラブ光導波路、Vは出
力用光導波路である。図13に図12のA−A′におけ
る断面図を示す。光導波路としてはハイメサ光導波路を
例にとった。図中、1は上部InPクラッド、2はバン
ドギャップ波長が1.1μmのInGaAsP(以下
1.1Qと呼ぶ)からなるコア、3は下部InPクラッ
ド、4は基板、5は空気である。Wは光導波路幅(つま
りコア2の幅)、Dはコアの厚み、H1は上部InPク
ラッドの厚み、H2 は下部InPクラッドの厚みであ
る。
考える。
力用光導波路Iを伝搬してきた入力光(信号光)は入力
用スラブ光導波路IIで横方向には自由空間として広が
り、アレイ光導波路IIIに結合する。なお、アレイ光
導波路IIIと入力用スラブ光導波路IIの接続面は入
力用光導波路Iに対する一つの円弧をなし、各アレイ光
導波路はその円弧上に並んでいるので、アレイ光導波路
IIIに結合した直後の伝搬光は全てのアレイ光導波路
において同位相である。次にこのアレイ光導波路III
に結合した光はアレイ光導波路IIIを伝搬した後、ア
レイ光導波路IIIと出力用スラブ光導波路IVとの接
続面に達する。前述のように、各アレイ光導波路は上か
ら下に、順にΔLだけ短くなっているので、アレイ光導
波路を伝搬してきた光はアレイ光導波路IIIと出力用
スラブ光導波路IVとの接続面で、隣接する各アレイ光
導波路間において、
neqはアレイ光導波路IIIの等価屈折率である。次
に、このアレイ光導波路IIIから出射された光は出力
用スラブ光導波路IVを伝搬する間に互いに干渉し合っ
た結果、出力用スラブ光導波路IVと出力用光導波路V
の接続面に結像し、出力用光導波路Vに結合した後、外
部へ取り出される。
た光が出力側スラブ光導波路を伝搬後、結像する場合を
考える。出射端における各アレイ光導波路の中心間距離
をd、アレイ光導波路IIIからの光の出射角をθとす
ると、結像の条件は
価屈折率、mは回折の次数、λは波長である。
光を考えると、式(2)は、
路の等価屈折率neqが変化すると結像する波長λも変化
する。ところが、光導波路製作時に光導波路の横幅Wが
設計時からずれると、アレイ光導波路の等価屈折率neq
も設計値からずれてしまい、信号光の波長がアレイ格子
フィルタとしての通過帯域から外れてしまうことにな
る。以下、この点について考察する。
サ光導波路について、横幅Wを変数として疑似TEモー
ドの等価屈折率neqをセミベクトル解析法によって計算
した結果を示す。なお、1.1Qコア2の厚みDは0.
4μm、上部InPクラッドの厚みH1 は1.5μm、
下部InPクラッドの厚みH2 は1μmとした。前述の
ように横幅Wが変化すると等価屈折率neqも変わること
を図14から確認できる。
光導波路の等価屈折率neqの変化Δneqは次式で結びつ
けられる。
m帯では約1Åの波長変化に相当)すると、アレイ光導
波路の等価屈折率neqとしては、約0.0002の変化
に対応するが、図14から、この等価屈折率neqの変化
は光導波路の横幅の僅か100Å程度の変化で生じてし
まうことがわかる。つまり、約10GHzの光の周波数
変化に対応する光導波路のトレランスは100Åとな
り、製作時のばらつき(一般にrun−to−runで
は約±0.1μmのばらつきがある)と比較するとかな
り小さな値となる。そのため、1回の製作において、信
号光の波長とアレイ格子フィルタの通過帯域を設計値ど
おりに一致させることは現状の製作技術では極めて困難
である。現状では、アレイ格子フィルタを製作後、コア
やクラッドを構成する半導体材料の屈折率が温度により
変化し、その結果、等価屈折率も温度により変化するこ
とを利用して信号光の波長とアレイ格子フィルタの通過
帯域を設計値に合わせるために、使用期間を通してのペ
ルチェ素子による温度制御が不可欠である。
ルタだけでなく、マッハツェンダ型フィルタにおいても
同様に問題である。特開平4−255806号公報に
は、マスクパターンの微少誤差に起因する光路長差設定
誤差を救済する方法が記載されている。図15は、特開
平4−255806号公報に記載されている、波長無依
存カプラとしての導波型光干渉計回路である。11およ
び12は方向性結合器、13および14は方向性結合器
11および12を連結する光導波路である。16は光導
波路14に設けられた長さgの欠損部である。欠損部1
6はクラッドガラスで充填されている。この導波型光干
渉計回路は以下に説明する方法によって製作される。ま
ず、通常の、欠損部を生じないマスクパターンを使用し
て導波型光干渉計回路を製作する。光導波路幅の設計値
からのずれによって光導波路13と14の光路長差ΔL
にも誤差を生ずるので、得られた光干渉計回路の特性を
測定し、光路長差ΔLの設計値からのずれを測定する。
そして、改めてマスクパターンの光導波路14のパター
ンをレーザトリミングして欠損部を設け、このマスクパ
ターンを用いて光干渉回路を製作する。光路長差は
[(Δn)・g]だけ補正される。なお、Δnは光導波
路の実効屈折率とクラッドガラスの屈折率との差であ
る。
のアレイ格子フィルタでは、アレイ光導波路の横幅の製
作誤差を防ぎ、信号光の波長とアレイ格子フィルタの通
過帯域を設計値どおりに一致させることは難しく、特開
平4−255806号公報の方法は、製作誤差による光
路長差を救済するために、マスクパターンをレーザトリ
ミングする複雑な工程を必要とし、しかもこの方法はア
レイ格子フィルタには現実に適用できない。
も、マッハツェンダ型フィルタにおいても、実現が可能
で、製作の再現性がよく、挿入損失が小さい光導波路形
フィルタとその製造方法を提供することを目的とする。
ために、本発明による光導波路形フィルタの製造方法
は、複数の光導波路を備え、前記複数の光導波路に入力
光を分波して各々の光導波路を伝搬させた後に合波して
干渉させ、前記入力光を波長に基づいて選別する光導波
路形フィルタの製造方法において、前記複数の光導波路
の形成後に出力光の波長を測定する第1の工程と、測定
した前記出力光の波長に基づいて前記光導波路を表面か
らエッチングして、出力光の波長を所定の波長に一致さ
せる第2の工程とを備えたことを特徴とする。
らのエッチング工程が、前記複数の光導波路のそれぞれ
のコアの上部のクラッドを一様にエッチングする工程で
ある。
であり、前記光導波路の表面からのエッチング工程が、
前記複数の光導波路のそれぞれのコアの上部のクラッド
を一様にエッチングするとともにリッジ型光導波路の側
面をもエッチングする工程であることが好ましい。
グ工程が、前記複数の光導波路のそれぞれのコアの上部
のクラッドの厚みおよび前記光導波路の幅の少なくとも
一方を異ならしめるようにエッチングする工程であるこ
とが好ましく、または前記光導波路の表面からのエッチ
ング工程が、前記複数の光導波路のそれぞれのコアの上
部のクラッドの厚みおよび前記光導波路の幅の少なくと
も一方について一部の領域のみをエッチングする工程で
あることが好ましい。
光導波路のそれぞれのコアの一部の領域が他の領域より
屈折率の高い材料で構成されている。
複数の光導波路のそれぞれのコアを構成する材料の屈折
率が互いに異なる。
タがアレイ格子フィルタであってもよく、前記光導波路
形フィルタがマッハツェンダ型フィルタであってもよ
い。
前記マッハツェンダ型フィルタを構成する2本の光導波
路の長さが等しく、その断面形状が互いに異なる。ある
いは2本の光導波路の長さが異なり、その断面形状が同
一または異なる。
の光導波路を備え、前記複数の光導波路に入力光を分波
して各々の光導波路を伝搬させた後に合波して干渉さ
せ、前記入力光を波長に基づいて選別する光導波路形フ
ィルタにおいて、前記複数の光導波路のそれぞれのコア
の上部のクラッドの厚みおよび前記光導波路の幅の少な
くとも一方が異なっていることを特徴とする。
は、複数の光導波路を備え、前記複数の光導波路に入力
光を分波して各々の光導波路を伝搬させた後に合波して
干渉させ、前記入力光を波長に基づいて選別する光導波
路形フィルタにおいて、前記複数の光導波路のコアの上
部のクラッドの厚みおよび前記光導波路の幅の少なくと
も一方について一部の領域のみがエッチングされている
ことを特徴とする。
る複数の光導波路を備え、複数の光導波路に入力光(信
号光)を分波して各々の光導波路を伝搬させた後に合波
して干渉させ、信号光を波長に基づいて選別する光導波
路形フィルタを製造するに際し、まず、複数の光導波路
を形成して、その出力光の波長を測定する。次いで、測
定した出力光の波長に基づいて光導波路を表面からエッ
チングして、コア上部のクラッドの厚みおよびコアある
いはクラッドの幅の少なくとも一方を調整する。その結
果、光導波路の等価屈折率を変え、信号光の波長と光導
波路形フィルタの通過帯域の中心波長を一致させること
ができる。
実施例における製作過程を示す。図1は、図12、図1
3に示した従来例と同様に、アレイ格子フィルタのアレ
イ導波の一つを示したものであり、同一部位を同一の参
照符号で示してある。従来例と同様に、ドライエッチン
グによって、図1(a)のようにハイメサ光導波路から
なるアレイ光導波路を形成し、フィルタの通過帯域特性
を測定する。この時点では、先に説明したように、光導
波路の幅の設計値からのずれによって、信号光とアレイ
光導波路フィルタの通過帯域が一致しないために、信号
光を取り出すことができない。そこで、図1(b)に示
すように、アレイ光導波路の上部からドライエッチング
ビームを印加し、上部InPクラッド1をその表面から
エッチングする。これにより、上部InPクラッド1の
厚みH1 を薄くすることができる。
1 を変数とした場合の等価屈折率neqとアレイ格子フィ
ルタの通過帯域の中心周波数の変化Δfの計算結果を示
す。なお、波長は1.55μm帯とし、アレイ格子フィ
ルタの通過帯域の中心周波数の変化ΔfはGHzの単位
で示した。また、1.1Qコアの幅Wは2.4μm、厚
みDは0.4μmとした。さらに、上方から上部InP
クラッド1をドライエッチングする際、基板4もエッチ
ングされて下部InPクラッド3の厚みH2 は厚くなる
ので、上部InPクラッド1の厚みH1 、1.1Qコア
の厚みDおよび下部InPクラッド3の厚みH2 の和は
2.9μmで一定とした。図中の黒点は実験結果を示
し、上部クラッドの厚みが0.9μmの時の中心周波数
の変化Δfは32GHzであった。
ド1の厚みが大きくなると、空気5の導波光に対する影
響が少なくなり、等価屈折率neqは大きくなる。また、
等価屈折率neqが変化するため、アレイ格子フィルタの
通過帯域の中心周波数も変化する。一般に、アレイ格子
フィルタのチャネル間隔は100GHzから200GH
z程度であるから、例えば、信号光とアレイ格子フィル
タの通過帯域の中心周波数が50GHzずれていたと仮
定すると、図2からわかるように、最初上部InPクラ
ッド1の厚みH1 が1.5μmの場合には、上部InP
クラッド1の厚みH1 を0.9μm程度になるようにエ
ッチングすることにより、信号光とフィルタの通過帯域
の中心周波数を完全に一致させることが可能となる。ま
た、この際の加工のトレランスは比較的緩いこと、さら
に、上部クラッドの厚みH1 が小さくなるようにエッチ
ング量を多くすれば数100GHzの調整が可能である
ことがわかる。
をまとめると以下のようになる。
を形成する。
を測定し、信号光とアレイ格子フィルタの通過帯域の中
心周波数のずれ量を明らかにする。
ッチングして、中心周波数のずれ量を補正する。
心周波数が信号光の波長と一致するまで、上記(2)、
(3)の工程を繰り返す。
波路のみを示したが、アレイ光導波路を構成する全光導
波路について、上部クラッドが一様に表面からエッチン
グされることは言うまでもない。この点は以下の実施例
についても同様である。
実施例を示す。本実施例は、図1に示したハイメサ光導
波路の斜め上方からエッチングする方法である。この実
施例によれば、上部InPクラッド1の厚みだけでな
く、ハイメサ光導波路の幅(従って、1.1Qコア2の
幅)W変化するため、僅かなエッチング量でアレイ格子
フィルタの通過帯域の中心周波数を信号光の波長に一致
させることが可能となる。
アレイ光導波路に本発明の方法を適用した例である。図
4(a)はアレイ光導波路形成直後の状態を示し、図4
(b)はクラッドのエッチング状態を示す。図4におい
て、6はクラッド、7は埋め込みコアである。この場
合、クラッドのエッチングはドライエッチングに限られ
ず、ウェットエッチングも可能である。アレイ光導波路
製作後に、フィルタの通過帯域特性を測定し、クラッド
6を表面からエッチングして、アレイ格子フィルタの通
過帯域の中心周波数を信号光の周波数と一致させること
は、実施例1と全く同じである。
本発明をマッハツェンダ型フィルタに適用して例で、図
5は上面図、図6および図7はそれぞれ図5のB−
B′、C−C′における断面図である。ここで、VIは
入力用光導波路、VIIは入力用3dBカプラ、VII
Iは直線光導波路、IXは出力用3dBカプラ、Xは出
力用光導波路である。直線光導波路VIIIの2本の光
導波路8と9に光路長差を持たせるために、ドライエッ
チングによって、光導波路の8の上部クラッド1の厚み
と光導波路9の上部クラッド1の厚みが異なるようにす
る。先に述べたように、上部クラッド1の厚みが大きい
ほど導波光の実効屈折率が大きくなり、従って光路が長
くなるので、上部クラッド1の厚みによって光路長差を
調整できる。マッハツェンダ型フィルタを製作後に、フ
ィルタの通過帯域特性を測定し、上部クラッド1を表面
からドライエッチングして、フィルタの通過帯域の中心
周波数を信号光の周波数と一致させることは、実施例1
と全く同じである。また、実施例2と同様に、斜め上方
からドライエッチングビームを印加して片方の光導波路
のエッチングを行うこともできる。
図、図8(b)は図8(a)のD−D′およびE−E′
における断面図である。両断面は全く等しいので一図で
代表する。図8において、XIは位相変化光導波路であ
る。本実施例は、第4の実施例のマッハツェンダ型フィ
ルタにおいて、2本の光導波路の光路長に差をつけるた
めに、一方の光導波路10を直線光導波路9より長くし
た例である。本実施例では、2本の光導波路9、10の
長さが異なっているため、2本の光導波路の断面形状が
同じとなるように上部クラッド1をフィルタ表面から一
様にエッチングしても、このフィルタの通過帯域の中心
周波数を信号光の周波数と一致させることができる利点
がある。なお、光導波路9と10のそれぞれの上部クラ
ッドの厚みが異なるように上部クラッドをエッチングす
れば一層の効果がある。
図、図9(b)および図9(c)は図9(a)のD−
D′およびE−E′における断面図である。本実施例は
図8に示した第5の実施例において、位相変化光導波路
XIの2本の光導波路9、10のコアを構成する材料を
異ならしめた例である。本実施例では、コアの材料とし
て光導波路10では1.1コア2を、一方、光導波路9
ではバンドギャップ波長が1.3μmのInGaAsP
(1.3Q)コア2′を用いている。1.1Qコア2と
1.3Qコア2′の屈折率は1.55μmにおいて、そ
れぞれ約3.28および約3.39と異なっており、
1.1Qコア2の方が1.3Qコア2′よりも低い。従
って、導波光は1.1Qコア2においての方が1.3Q
コア2′においてよりも、より上下に広がっている。そ
のため、上部クラッド1の厚みが同じとなるようにエッ
チングしても、空気5の導波光に対する影響は1.1Q
コア2においての方が1.3Qコア2′においてよりも
大きくなる。その結果、2本の光導波路のコアの屈折率
を異ならしめると本発明の効果が顕著になる。なお、こ
の場合には、2本の光導波路が長い方が、効果が大き
く、長い方の光導波路のコアの屈折率が短い方の光導波
路のコアの屈折率より小さい方が効果が大きい。さら
に、光導波路9と10のそれぞれの上部クラッド1の厚
みが異なるように上部クラッド1をエッチングすれば、
より一層の効果があることは言うまでもない。また、本
実施例において、光導波路9と光導波路10の長さを同
じとしても若干効果は落ちるが、フィルタの通過帯域の
中心周波数を信号光の周波数と一致させることは可能で
ある。
たアレイ格子フィルタの上面図である。本実施例におい
ては、実施例1と異なり、アレイ光導波路IIIの全ク
ラッドの表面を一様にエッチングするのではなく、アレ
イ光導波路の一部の領域IIIAのクラッドをエッチン
グしている。この際、エッチングすべき領域は式(1)
からわかるように、隣接アレイ光導波路とΔLの長さの
差があるように選べばよいことになる。フィルタの通過
帯域の中心周波数を信号光の周波数と一致させる手順は
実施例1で述べたとおりである。
例である第6の実施例のように、屈折率の異なる材料の
コアを用いることにより顕著な効果を得る手法は、第1
の実施例あるいは第7の実施例などのアレイ格子フィル
タにも適用可能であることは言うまでもない。
部クラッドの厚みが同じ場合について、全ての光導波路
のコアの一部の領域に他の領域より屈折率の高い材料を
用いることによって、アレイ格子フィルタの中心周波数
を温度無依存化できることが知られている。(田野辺
他、1997年3月、電子情報通信学会春期全国大会、
C−3−159)。図11はそのアレイ格子フィルタの
上面図を模式的に示したものであり、領域IIIBが屈
折率の高いコア材料を用いた領域である。このアレイ格
子フィルタに実施例1または実施例2に示した本発明の
方法を適用すれば、温度無依存アレイ格子フィルタの中
心周波数を信号光の周波数と一致させることができる。
同様に、温度無依存マッハツェンダ型フィルタの中心周
波数を信号光の周波数と一致させることもできる。
フィルタの通過帯域を一致させることが困難なため、使
用の全期間にわたる温度制御が必要であった。しかし、
以上説明したように、本発明によれば、試作したフィル
タの通過帯域特性を測定し、光導波路のコア上部のクラ
ッドおよびコアあるいはクラッドの幅の少なくとも一方
をエッチングして調整することによって、信号光の波長
と光導波路形フィルタの通過帯域を一致させることがで
きる。
る。
図、(b)はそのD−D′(またはE−E′)における
断面図である。
図、(b)はそのD−D′における断面図、(c)はE
−E′における断面図である。
す線図である。
ある。
Claims (12)
- 【請求項1】 複数の光導波路を備え、前記複数の光導
波路に入力光を分波して各々の光導波路を伝搬させた後
に合波して干渉させ、前記入力光を波長に基づいて選別
する光導波路形フィルタの製造方法において、 前記複数の光導波路の形成後に出力光の波長を測定する
第1の工程と、測定した前記出力光の波長に基づいて前
記光導波路を表面からエッチングして、出力光の波長を
所定の波長に一致させる第2の工程とを備えたことを特
徴とする光導波路形フィルタの製造方法。 - 【請求項2】 請求項1に記載の方法において、前記光
導波路の表面からのエッチング工程が、前記複数の光導
波路のそれぞれのコアの上部のクラッドを一様にエッチ
ングする工程であることを特徴とする光導波路形フィル
タの製造方法。 - 【請求項3】 請求項1または2に記載の方法におい
て、前記光導波路がリッジ型光導波路であり、前記光導
波路の表面からのエッチング工程が、前記複数の光導波
路のそれぞれのコアの上部のクラッドを一様にエッチン
グするとともにリッジ型光導波路の側面をもエッチング
する工程であることを特徴とする光導波路形フィルタの
製造方法。 - 【請求項4】 請求項1または3に記載の方法におい
て、前記光導波路の表面からのエッチング工程が、前記
複数の光導波路のそれぞれのコアの上部のクラッドの厚
みおよび前記光導波路の幅の少なくとも一方を異ならし
めるようにエッチングする工程であることを特徴とする
光導波路形フィルタの製造方法。 - 【請求項5】 請求項1または3に記載の方法におい
て、前記光導波路の表面からのエッチング工程が、前記
複数の光導波路のそれぞれのコアの上部のクラッドの厚
みおよび前記光導波路の幅の少なくとも一方について一
部の領域のみをエッチングする工程であることを特徴と
する光導波路形フィルタの製造方法。 - 【請求項6】 請求項1から5のいずれかに記載の方法
において、前記複数の光導波路のそれぞれのコアの一部
の領域が他の領域より屈折率の高い材料で構成されてい
ることを特徴とする光導波路形フィルタの製造方法。 - 【請求項7】 請求項1から6のいずれかに記載の方法
において、前記複数の光導波路のそれぞれのコアを構成
する材料の屈折率が互いに異なることを特徴とする光導
波路形フィルタの製造方法。 - 【請求項8】 請求項1から7のいずれかに記載の方法
において、前記光導波路形フィルタがアレイ格子フィル
タであることを特徴とする光導波路形フィルタの製造方
法。 - 【請求項9】 請求項1から7のいずれかに記載の方法
において、前記光導波路形フィルタがマッハツェンダ型
フィルタであることを特徴とする光導波路形フィルタの
製造方法。 - 【請求項10】 請求項9に記載の方法において、前記
マッハツェンダ型フィルタを構成する2本の光導波路の
長さが等しく、その断面形状が互いに異なることを特徴
とする光導波路形フィルタの製造方法。 - 【請求項11】 複数の光導波路を備え、前記複数の光
導波路に入力光を分波して各々の光導波路を伝搬させた
後に合波して干渉させ、前記入力光を波長に基づいて選
別する光導波路形フィルタにおいて、前記複数の光導波
路のそれぞれのコアの上部のクラッドの厚みおよび前記
光導波路の幅の少なくとも一方が異なっていることを特
徴とする光導波路形フィルタ。 - 【請求項12】 複数の光導波路を備え、前記複数の光
導波路に入力光を分波して各々の光導波路を伝搬させた
後に合波して干渉させ、前記入力光を波長に基づいて選
別する光導波路形フィルタにおいて、前記複数の光導波
路のコアの上部のクラッドの厚みおよび前記光導波路の
幅の少なくとも一方について一部の領域のみがエッチン
グされていることを特徴とする光導波路形フィルタ。
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JP11559297A JP3996971B2 (ja) | 1997-05-06 | 1997-05-06 | 光導波路形フィルタの製造方法 |
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JP11559297A JP3996971B2 (ja) | 1997-05-06 | 1997-05-06 | 光導波路形フィルタの製造方法 |
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JPH10307220A true JPH10307220A (ja) | 1998-11-17 |
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Citations (8)
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---|---|---|---|---|
JPS5627105A (en) * | 1979-08-14 | 1981-03-16 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Phase matching and coupling length adjusting hethod |
JPH01289902A (ja) * | 1988-05-17 | 1989-11-21 | Ricoh Co Ltd | 導波形光受動素子 |
JPH04233502A (ja) * | 1990-06-25 | 1992-08-21 | Siemens Ag | 光デュプレクサ |
JPH0627337A (ja) * | 1992-07-07 | 1994-02-04 | Hitachi Cable Ltd | 光フィルタ及びその出射光の周波数調整方法 |
JPH06110091A (ja) * | 1992-09-29 | 1994-04-22 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 導波路型光結合回路 |
JPH06308546A (ja) * | 1993-04-20 | 1994-11-04 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光回路の特性調整方法 |
JPH0943440A (ja) * | 1995-07-28 | 1997-02-14 | Toshiba Corp | 集積化光合分波器 |
JPH09105826A (ja) * | 1995-08-29 | 1997-04-22 | At & T Corp | 光学導波路装置 |
-
1997
- 1997-05-06 JP JP11559297A patent/JP3996971B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5627105A (en) * | 1979-08-14 | 1981-03-16 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Phase matching and coupling length adjusting hethod |
JPH01289902A (ja) * | 1988-05-17 | 1989-11-21 | Ricoh Co Ltd | 導波形光受動素子 |
JPH04233502A (ja) * | 1990-06-25 | 1992-08-21 | Siemens Ag | 光デュプレクサ |
JPH0627337A (ja) * | 1992-07-07 | 1994-02-04 | Hitachi Cable Ltd | 光フィルタ及びその出射光の周波数調整方法 |
JPH06110091A (ja) * | 1992-09-29 | 1994-04-22 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 導波路型光結合回路 |
JPH06308546A (ja) * | 1993-04-20 | 1994-11-04 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光回路の特性調整方法 |
JPH0943440A (ja) * | 1995-07-28 | 1997-02-14 | Toshiba Corp | 集積化光合分波器 |
JPH09105826A (ja) * | 1995-08-29 | 1997-04-22 | At & T Corp | 光学導波路装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019105808A (ja) * | 2017-12-14 | 2019-06-27 | 日本電信電話株式会社 | 光学素子およびその製造方法 |
WO2022244274A1 (ja) * | 2021-05-21 | 2022-11-24 | 日本電信電話株式会社 | 光導波路素子の製造方法 |
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