JP3238890B2 - アレイ導波路型波長合分波器 - Google Patents
アレイ導波路型波長合分波器Info
- Publication number
- JP3238890B2 JP3238890B2 JP31224297A JP31224297A JP3238890B2 JP 3238890 B2 JP3238890 B2 JP 3238890B2 JP 31224297 A JP31224297 A JP 31224297A JP 31224297 A JP31224297 A JP 31224297A JP 3238890 B2 JP3238890 B2 JP 3238890B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- waveguide
- channel waveguide
- light intensity
- array
- demultiplexer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光通信あるいは光
情報処理で用いられる導波路型光素子（光導波回路）、
特に平面基板上に形成された、フラットな光周波数特性
を有する導波路型波長合分波器に関するものである。
情報処理で用いられる導波路型光素子（光導波回路）、
特に平面基板上に形成された、フラットな光周波数特性
を有する導波路型波長合分波器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、シリコン基板あるいは石英基板上
に形成した石英系ガラス光導波路によって構成されたプ
レーナ光波回路（ＰＬＣ：Ｐｌａｎｅｒ Ｌｉｇｈｔｗ
ａｖｅＣｉｒｃｕｉｔ）の研究開発が盛んに行われてい
る。そこでは、アレイ導波路型波長合分波器（ＡＷＧ）
やマッハツェンダ干渉計のように、多光束あるいは２光
束の光干渉を用いて光波長合分波器を実現している。
に形成した石英系ガラス光導波路によって構成されたプ
レーナ光波回路（ＰＬＣ：Ｐｌａｎｅｒ Ｌｉｇｈｔｗ
ａｖｅＣｉｒｃｕｉｔ）の研究開発が盛んに行われてい
る。そこでは、アレイ導波路型波長合分波器（ＡＷＧ）
やマッハツェンダ干渉計のように、多光束あるいは２光
束の光干渉を用いて光波長合分波器を実現している。
【０００３】前記アレイ導波路型波長合分波器では、並
列配置された互いに光路長がｎ×ΔＬずつ異なる数十〜
数百本のアレイ状の導波路（チャネル導波路アレイ）を
伝搬する複数の光の干渉により、波長合分波機能を実現
している。ここで、ｎは導波路の実効屈折率、ΔＬは隣
接した各導波路間の長さの差であり、具体的には１０〜
１００μｍ程度の値である。詳しくは、Ｈ．Ｔａｋａｈ
ａｓｈｉ ｅｔ．ａｌ．，“Ａｒｒａｙｅｄ−Ｗａｖｅ
ｇｕｉｄｅ Ｇｒａｔｉｎｇ ｆｏｒ Ｗａｖｅｌｅｎ
ｇｔｈ Ｄｉｖｉｓｉｏｎ Ｍｕｌｔｉ／Ｄｅｍｕｌｔ
ｉｐｌｅｘｅｒｗｉｔｈ Ｎａｎｏｍｅｔｒｅ Ｒｅｓ
ｏｌｕｔｉｏｎ”，Ｅｌｅｃｔｒｏｎ．Ｌｅｔｔ．，Ｖ
ｏｌ．２６，Ｎｏ．２，ｐｐ．８７−８８，１９９０に
記載されている。
列配置された互いに光路長がｎ×ΔＬずつ異なる数十〜
数百本のアレイ状の導波路（チャネル導波路アレイ）を
伝搬する複数の光の干渉により、波長合分波機能を実現
している。ここで、ｎは導波路の実効屈折率、ΔＬは隣
接した各導波路間の長さの差であり、具体的には１０〜
１００μｍ程度の値である。詳しくは、Ｈ．Ｔａｋａｈ
ａｓｈｉ ｅｔ．ａｌ．，“Ａｒｒａｙｅｄ−Ｗａｖｅ
ｇｕｉｄｅ Ｇｒａｔｉｎｇ ｆｏｒ Ｗａｖｅｌｅｎ
ｇｔｈ Ｄｉｖｉｓｉｏｎ Ｍｕｌｔｉ／Ｄｅｍｕｌｔ
ｉｐｌｅｘｅｒｗｉｔｈ Ｎａｎｏｍｅｔｒｅ Ｒｅｓ
ｏｌｕｔｉｏｎ”，Ｅｌｅｃｔｒｏｎ．Ｌｅｔｔ．，Ｖ
ｏｌ．２６，Ｎｏ．２，ｐｐ．８７−８８，１９９０に
記載されている。
【０００４】また、ＡＷＧの光周波数特性の平坦化は、
図１に示すように入力用チャネル導波路１と第１の扇形
スラブ導波路２との境界近傍において入力用チャネル導
波路がパラボラ形状３をなしていることで実現されてい
る。詳しくは、Ｋ．Ｏｋａｍｏｔｏ ｅｔ．ａｌ．，
“Ｆｌａｔ Ｓｐｅｃｔｒａｌ Ｒｅｓｐｏｎｓｅ Ａ
ｒｒａｙｅｄ−Ｗａｖｅｇｕｉｄｅ Ｇｒａｔｉｎｇ
Ｍｕｌｔｉｐｌｅｘｅｒｗｉｔｈ Ｐａｒａｂｏｌｉｃ
Ｗａｖｅｇｕｉｄｅ Ｈｏｒｎｓ”，Ｅｌｅｃｔｒｏ
ｎ．Ｌｅｔｔ．，Ｖｏｌ．３２，Ｎｏ．１８，ｐｐ．１
６６１−１６６２，１９９６、または特願平８−１１０
９５０号に記載されている。
図１に示すように入力用チャネル導波路１と第１の扇形
スラブ導波路２との境界近傍において入力用チャネル導
波路がパラボラ形状３をなしていることで実現されてい
る。詳しくは、Ｋ．Ｏｋａｍｏｔｏ ｅｔ．ａｌ．，
“Ｆｌａｔ Ｓｐｅｃｔｒａｌ Ｒｅｓｐｏｎｓｅ Ａ
ｒｒａｙｅｄ−Ｗａｖｅｇｕｉｄｅ Ｇｒａｔｉｎｇ
Ｍｕｌｔｉｐｌｅｘｅｒｗｉｔｈ Ｐａｒａｂｏｌｉｃ
Ｗａｖｅｇｕｉｄｅ Ｈｏｒｎｓ”，Ｅｌｅｃｔｒｏ
ｎ．Ｌｅｔｔ．，Ｖｏｌ．３２，Ｎｏ．１８，ｐｐ．１
６６１−１６６２，１９９６、または特願平８−１１０
９５０号に記載されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】図２は前述した従来の
ＡＷＧの光周波数特性（ここでは周波数間隔２００ＧＨ
ｚ）を示すものである。この光周波数特性からもわかる
ように、ＰＬＣの作製プロセスの誤差により実際のパラ
ボラ形状が設計形状から若干ずれてしまい、これによっ
て各ポート間あるいはチップ間で透過帯域幅や挿入損失
がばらつくという問題があった。
ＡＷＧの光周波数特性（ここでは周波数間隔２００ＧＨ
ｚ）を示すものである。この光周波数特性からもわかる
ように、ＰＬＣの作製プロセスの誤差により実際のパラ
ボラ形状が設計形状から若干ずれてしまい、これによっ
て各ポート間あるいはチップ間で透過帯域幅や挿入損失
がばらつくという問題があった。
【０００６】本発明の目的は、フラットな光周波数特性
を安定かつ簡便に実現し得るアレイ導波路型波長合分波
器を提供することにある。
を安定かつ簡便に実現し得るアレイ導波路型波長合分波
器を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】従来のＡＷＧにおいて光
周波数特性が平坦化されるのは、パラボラ形状の入力用
チャネル導波路の出射端ではニアフィールドが方形状の
強度分布となり、それが第１の扇形スラブ導波路、チャ
ネル導波路アレイ、第２の扇形スラブ導波路を伝搬後、
出力用チャネル導波路の入射端に同じ方形状の光強度分
布を形成するためである。ここで、前記方形状の光強度
分布は第１の扇形スラブ導波路内で回折する際にｓｉｎ
ｃ（シンク）関数形のファーフィールド分布に変換され
るため、チャネル導波路アレイにおける各導波路はこの
ｓｉｎｃ関数形の光強度分布に対応するそれぞれの光強
度を取り込んむことになる。
周波数特性が平坦化されるのは、パラボラ形状の入力用
チャネル導波路の出射端ではニアフィールドが方形状の
強度分布となり、それが第１の扇形スラブ導波路、チャ
ネル導波路アレイ、第２の扇形スラブ導波路を伝搬後、
出力用チャネル導波路の入射端に同じ方形状の光強度分
布を形成するためである。ここで、前記方形状の光強度
分布は第１の扇形スラブ導波路内で回折する際にｓｉｎ
ｃ（シンク）関数形のファーフィールド分布に変換され
るため、チャネル導波路アレイにおける各導波路はこの
ｓｉｎｃ関数形の光強度分布に対応するそれぞれの光強
度を取り込んむことになる。
【０００８】本発明はこの点に着目して、作製プロセス
の誤差によりパラボラ形状が設計形状からずれるという
問題を、パラボラ部分のずれを直接補正するのではな
く、そのファーフィールドと等価なチャネル導波路アレ
イにおける光強度分布を補正してｓｉｎｃ関数形に近づ
け、個々の導波路についてその伝搬光強度を補正するこ
とに最も大きな特徴を有する。そして、この際、本来、
その光強度が０となるべき導波路を取り除くことによ
り、ｓｉｎｃ関数の０になるべき位置を強制的に０にし
て、簡易かつ確実にチャネル導波路アレイにおける光強
度分布をｓｉｎｃ関数形に近づけるようになした。
の誤差によりパラボラ形状が設計形状からずれるという
問題を、パラボラ部分のずれを直接補正するのではな
く、そのファーフィールドと等価なチャネル導波路アレ
イにおける光強度分布を補正してｓｉｎｃ関数形に近づ
け、個々の導波路についてその伝搬光強度を補正するこ
とに最も大きな特徴を有する。そして、この際、本来、
その光強度が０となるべき導波路を取り除くことによ
り、ｓｉｎｃ関数の０になるべき位置を強制的に０にし
て、簡易かつ確実にチャネル導波路アレイにおける光強
度分布をｓｉｎｃ関数形に近づけるようになした。
【０００９】
【実施の形態１】図３は本発明のＡＷＧの第１の実施の
形態を示すもので、図中、１１は入力用チャネル導波
路、１２は出力用チャネル導波路、１３はチャネル導波
路アレイ、１４は第１の扇形スラブ導波路、１５は第２
の扇形スラブ導波路である。従来のＡＷＧとの相違点
は、チャネル導波路アレイ１３内の一部の導波路を取り
除いて（１６）、光強度分布を強制的にｓｉｎｃ関数に
している点である。
形態を示すもので、図中、１１は入力用チャネル導波
路、１２は出力用チャネル導波路、１３はチャネル導波
路アレイ、１４は第１の扇形スラブ導波路、１５は第２
の扇形スラブ導波路である。従来のＡＷＧとの相違点
は、チャネル導波路アレイ１３内の一部の導波路を取り
除いて（１６）、光強度分布を強制的にｓｉｎｃ関数に
している点である。
【００１０】実際には、まず、これまでのフラットＡＷ
Ｇ用フォトマスクを用いてチップ作製を行い、作製した
チップのチャネル導波路アレイにおける光強度分布を測
定し、設計とずれて光が存在してしまうポート部分を取
り除いたフォトマスクを再度作製し、このフォトマスク
を用いて従来と同様のプロセスでＡＷＧチップを作製し
た。その結果、透過スペクトルの３ｄＢ幅は１７０ＧＨ
ｚまで広がり、またこれまでのＡＷＧで問題となってい
たプロセス誤差のために生じる各ポート間の特性のばら
つきが解消され、歩留まりの高いフラットＡＷＧが実現
可能であった。
Ｇ用フォトマスクを用いてチップ作製を行い、作製した
チップのチャネル導波路アレイにおける光強度分布を測
定し、設計とずれて光が存在してしまうポート部分を取
り除いたフォトマスクを再度作製し、このフォトマスク
を用いて従来と同様のプロセスでＡＷＧチップを作製し
た。その結果、透過スペクトルの３ｄＢ幅は１７０ＧＨ
ｚまで広がり、またこれまでのＡＷＧで問題となってい
たプロセス誤差のために生じる各ポート間の特性のばら
つきが解消され、歩留まりの高いフラットＡＷＧが実現
可能であった。
【００１１】なお、アレイ部分の光強度分布の測定は、
ＡＷＧをアレイ部分で切断して直接測定しても良く、ま
た、ＡＷＧを破壊することなく測定する方法としては、
例えばＫ．Ｔａｋａｄａ，Ｈ．Ｙａｍａｄａ，ａｎｄ
Ｙ．Ｉｎｏｕｅ，“Ｏｐｔｉｃａｌ ｌｏｗ ｃｏｈｅ
ｒｅｎｃｅ ｍｅｔｈｏｄ ｆｏｒ ｃｈａｒａｃｔｅ
ｒｉｚｉｎｇ ｓｉｌｉｃａ−ｂａｓｅｄ ａｒｒａｙ
ｅｄ−ｗａｖｅｇｕｉｄｅ ｇｒａｔｉｎｇ ｍｕｌｔ
ｉｐｌｅｘｅｒｓ”，Ｊ．Ｌｉｇｈｔｗａｖｅ．Ｔｅｃ
ｈｎｏｌ．，Ｖｏｌ．１４，Ｎｏ．７，ｐｐ．５０−６
２に記載された方法がある。
ＡＷＧをアレイ部分で切断して直接測定しても良く、ま
た、ＡＷＧを破壊することなく測定する方法としては、
例えばＫ．Ｔａｋａｄａ，Ｈ．Ｙａｍａｄａ，ａｎｄ
Ｙ．Ｉｎｏｕｅ，“Ｏｐｔｉｃａｌ ｌｏｗ ｃｏｈｅ
ｒｅｎｃｅ ｍｅｔｈｏｄ ｆｏｒ ｃｈａｒａｃｔｅ
ｒｉｚｉｎｇ ｓｉｌｉｃａ−ｂａｓｅｄ ａｒｒａｙ
ｅｄ−ｗａｖｅｇｕｉｄｅ ｇｒａｔｉｎｇ ｍｕｌｔ
ｉｐｌｅｘｅｒｓ”，Ｊ．Ｌｉｇｈｔｗａｖｅ．Ｔｅｃ
ｈｎｏｌ．，Ｖｏｌ．１４，Ｎｏ．７，ｐｐ．５０−６
２に記載された方法がある。
【００１２】
【実施の形態２】本発明のＡＷＧの第２の実施の形態と
しては、設計とずれているフラットＡＷＧ用フォトマス
ク上のチャネル導波路アレイの一部を波長４８８ｎｍの
Ａｒイオンレーザでトリミングし、チャネル導波路アレ
イ内の光強度分布をｓｉｎｃ関数に補正したフォトマス
クを用いて、従来と同様のプロセスでＡＷＧチップを作
製した。その結果、透過スペクトルの３ｄＢ幅は１６５
ＧＨｚまで広がり、またこれまでのＡＷＧで問題となっ
ていたプロセス誤差のために生じる各ポート間の特性の
ばらつきが解消され、歩留まりの高いフラットＡＷＧが
実現可能であった。
しては、設計とずれているフラットＡＷＧ用フォトマス
ク上のチャネル導波路アレイの一部を波長４８８ｎｍの
Ａｒイオンレーザでトリミングし、チャネル導波路アレ
イ内の光強度分布をｓｉｎｃ関数に補正したフォトマス
クを用いて、従来と同様のプロセスでＡＷＧチップを作
製した。その結果、透過スペクトルの３ｄＢ幅は１６５
ＧＨｚまで広がり、またこれまでのＡＷＧで問題となっ
ていたプロセス誤差のために生じる各ポート間の特性の
ばらつきが解消され、歩留まりの高いフラットＡＷＧが
実現可能であった。
【００１３】
【実施の形態３】本発明のＡＷＧの第３の実施の形態と
しては、設計とずれているフラットＡＷＧ用フォトマス
ク上のチャネル導波路アレイの一部をＣｒエッチング液
によりウェットエッチングでトリミングし、チャネル導
波路アレイ内の光強度分布をｓｉｎｃ関数に補正したフ
ォトマスクを用いて、従来と同様のプロセスでＡＷＧチ
ップを作製した。その結果、透過スペクトルの３ｄＢ幅
は１６５ＧＨｚまで広がり、第１及び第２の実施の形態
の場合と同様に特性のばらつきの小さいフラットＡＷＧ
が実現された。
しては、設計とずれているフラットＡＷＧ用フォトマス
ク上のチャネル導波路アレイの一部をＣｒエッチング液
によりウェットエッチングでトリミングし、チャネル導
波路アレイ内の光強度分布をｓｉｎｃ関数に補正したフ
ォトマスクを用いて、従来と同様のプロセスでＡＷＧチ
ップを作製した。その結果、透過スペクトルの３ｄＢ幅
は１６５ＧＨｚまで広がり、第１及び第２の実施の形態
の場合と同様に特性のばらつきの小さいフラットＡＷＧ
が実現された。
【００１４】
【実施の形態４】本発明のＡＷＧの第４の実施の形態と
しては、設計とずれて光が存在してしまったチャネル導
波路アレイの一部に波長１９３ｎｍのＡｒＦエキシマレ
ーザを照射し、そのコアを破壊することで、強制的に光
強度分布をｓｉｎｃ関数とした。その結果、特性のばら
つきの小さいフラットＡＷＧが実現された。
しては、設計とずれて光が存在してしまったチャネル導
波路アレイの一部に波長１９３ｎｍのＡｒＦエキシマレ
ーザを照射し、そのコアを破壊することで、強制的に光
強度分布をｓｉｎｃ関数とした。その結果、特性のばら
つきの小さいフラットＡＷＧが実現された。
【００１５】
【実施の形態５】本発明のＡＷＧの第５の実施の形態と
しては、設計とずれて光が存在してしまったチャネル導
波路アレイの中心部にダイシングソーで約２０μｍの細
い溝を作製し、この溝に光強度減衰フィルタを挿入する
ことで、光強度分布をｓｉｎｃ関数に補正した。その結
果、特性のばらつきの小さいフラットＡＷＧが実現され
た。
しては、設計とずれて光が存在してしまったチャネル導
波路アレイの中心部にダイシングソーで約２０μｍの細
い溝を作製し、この溝に光強度減衰フィルタを挿入する
ことで、光強度分布をｓｉｎｃ関数に補正した。その結
果、特性のばらつきの小さいフラットＡＷＧが実現され
た。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
従来のＡＷＧと比較して、フラットな光周波数特性を安
定かつ簡便に実現することが可能となり、ＷＤＭ通信シ
ステムに用いて、光源の波長が温度変化等により各信号
チャンネルの中心波長からドリフトしても通過損失が変
化せず、システム設計の許容度を増すことができる。
従来のＡＷＧと比較して、フラットな光周波数特性を安
定かつ簡便に実現することが可能となり、ＷＤＭ通信シ
ステムに用いて、光源の波長が温度変化等により各信号
チャンネルの中心波長からドリフトしても通過損失が変
化せず、システム設計の許容度を増すことができる。
【図１】従来のアレイ導波路型波長合分波器の一例を示
す構成図
す構成図
【図２】従来のアレイ導波路型波長合分波器の透過特性
を示す図
を示す図
【図３】本発明のアレイ導波路型波長合分波器の実施の
形態の一例を示す構成図
形態の一例を示す構成図
１１：入力用チャネル導波路、１２：出力用チャネル導
波路、１３：チャネル導波路アレイ、１４：第１の扇形
スラブ導波路、１５：第２の扇形スラブ導波路、１６：
導波路が除去された部分。
波路、１３：チャネル導波路アレイ、１４：第１の扇形
スラブ導波路、１５：第２の扇形スラブ導波路、１６：
導波路が除去された部分。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平11−2734（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−92506（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−171112（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−333447（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−297228（ＪＰ，Ａ) 特開 平10−197735（ＪＰ，Ａ) 特開 平11−6928（ＪＰ，Ａ) 特開 平10−90530（ＪＰ，Ａ) 米国特許5136671（ＵＳ，Ａ) 1997年電子情報通信学会エレクトロニ クスソサイエティ大会講演論文集１ （1997年８月13日発行）ｐ．228，山田 裕朗 ｅｔ．ａｌ．，Ｃ−３−119 Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ Ｌｅｔｔｅ ｒｓ，Ｖｏｌ．33 Ｎｏ．20（25ｔｈ Ｓｅｐｔｅｍｂｅｒ 1997）ｐｐ．1698 −1699 Ｈ．Ｙａｍａｄａ ｅｔ ａ ｌ．, Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｌｉｇｈｔｗ ａｖｅ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｖｏ ｌ．12 Ｎｏ．６（Ｊｕｎｅ 1994）ｐ ｐ．957−962，Ｂ．Ｇｌａｎｃｅ ｅ ｔ．ａｌ．, (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02B 6/12 - 6/14 G02F 1/00 - 1/035 G02F 1/29 - 1/313
Claims (3)
- 【請求項１】 基板上に配置された入力用チャネル導波
路と、出力用チャネル導波路と、チャネル導波路アレイ
と、前記入力用チャネル導波路及びチャネル導波路アレ
イを接続する第１の扇形スラブ導波路と、前記出力用チ
ャネル導波路及びチャネル導波路アレイを接続する第２
の扇形スラブ導波路とを備え、前記チャネル導波路アレ
イの各導波路の長さが所定の光路長差で順次長くなるよ
うに構成され、かつ前記第１の扇型スラブ導波路との接
続部近傍における入力用チャネル導波路の各導波路がパ
ラボラ形状をなしているアレイ導波路型波長合分波器に
おいて、 チャネル導波路アレイを構成する複数の導波路のうち、
該チャネル導波路アレイにおける光強度分布がｓｉｎｃ
関数形となる時に光強度が０となるべき少なくとも一部
の導波路を除去したことを特徴とするアレイ導波路型波
長合分波器。 - 【請求項２】 チャネル導波路アレイを構成する複数の
導波路のうち、光強度が０となるべき少なくとも一部の
導波路に対応する部分を取り除いたフォトマスクを用い
て作製したことを特徴とする請求項１記載のアレイ導波
路型波長合分波器。 - 【請求項３】 チャネル導波路アレイを構成する複数の
導波路のうち、光強度が０となるべき少なくとも一部の
導波路を中心としてダイシング溝を形成し、該溝に光強
度減衰フィルタを挿入したことを特徴とする請求項１記
載のアレイ導波路型波長合分波器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31224297A JP3238890B2 (ja) | 1997-11-13 | 1997-11-13 | アレイ導波路型波長合分波器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31224297A JP3238890B2 (ja) | 1997-11-13 | 1997-11-13 | アレイ導波路型波長合分波器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11142661A JPH11142661A (ja) | 1999-05-28 |
| JP3238890B2 true JP3238890B2 (ja) | 2001-12-17 |
Family
ID=18026886
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31224297A Expired - Lifetime JP3238890B2 (ja) | 1997-11-13 | 1997-11-13 | アレイ導波路型波長合分波器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3238890B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003227948A (ja) * | 2002-02-04 | 2003-08-15 | Ntt Electornics Corp | 光合分波器及びその製造方法 |
| JP3775673B2 (ja) * | 2002-12-27 | 2006-05-17 | 日本電信電話株式会社 | アレイ導波路格子型光合分波回路 |
| JP4580204B2 (ja) * | 2004-09-28 | 2010-11-10 | 富士通株式会社 | 光分波器／光合波器の透過特性を補償する装置および方法 |
-
1997
- 1997-11-13 JP JP31224297A patent/JP3238890B2/ja not_active Expired - Lifetime
Non-Patent Citations (3)
| Title |
|---|
| １９９７年電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ大会講演論文集１（１９９７年８月１３日発行）ｐ．２２８，山田裕朗 ｅｔ．ａｌ．，Ｃ−３−１１９ |
| Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ Ｌｅｔｔｅｒｓ，Ｖｏｌ．３３ Ｎｏ．２０（２５ｔｈ Ｓｅｐｔｅｍｂｅｒ １９９７）ｐｐ．１６９８−１６９９ Ｈ．Ｙａｍａｄａ ｅｔ ａｌ．， |
| Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｌｉｇｈｔｗａｖｅ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｖｏｌ．１２ Ｎｏ．６（Ｊｕｎｅ １９９４）ｐｐ．９５７−９６２，Ｂ．Ｇｌａｎｃｅ ｅｔ．ａｌ．， |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11142661A (ja) | 1999-05-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7457496B2 (en) | Receiver photonic integrated circuit (RxPIC) chip utilizing compact wavelength selective decombiners | |
| CA2240056C (en) | Optical wavelength multiplexer/demultiplexer | |
| EP1226461B1 (en) | Phasar with flattened pass-band | |
| US6055349A (en) | Optical waveguide device and manufacturing method therefor | |
| US6249364B1 (en) | Optical wave-guide wavelength multiplexer and demultiplexer | |
| JPH116928A (ja) | アレイ導波路格子型波長合分波器 | |
| JP4385224B2 (ja) | 光導波路デバイス及び光導波路モジュール | |
| US7801402B2 (en) | Receiver photonic integrated circuit (RxPIC) chip utilizing compact wavelength selective decombiners | |
| JP2002323626A (ja) | 光波長合分波器および光合分波システム | |
| US5978532A (en) | Spectrographic multiplexer component having an array of waveguides | |
| Gini et al. | Polarization independent InP WDM multiplexer/demultiplexer module | |
| EP1130424B1 (en) | Optical waveguide circuit | |
| JP3238890B2 (ja) | アレイ導波路型波長合分波器 | |
| JP3029028B2 (ja) | 光波長合分波器 | |
| Herben et al. | Chirping of an MMI-PHASAR demultiplexer for application in multiwavelength lasers | |
| Clemens et al. | Wavelength-adaptable optical phased array in SiO 2-Si | |
| US6330090B1 (en) | Optical fiber wavelength, multiplexer and demultiplexer | |
| JP2001074950A (ja) | 光合分波器の特性調整方法 | |
| KR100420951B1 (ko) | 분극 광섬유, 분극 광섬유를 제조하는 방법 및 분산 보상기 | |
| US6973240B2 (en) | Optical filter | |
| JP3797483B2 (ja) | アレイ型導波路格子 | |
| JP2005141201A (ja) | 波長選択性光学デバイスおよびその波長特性調整方法 | |
| JP3137165B2 (ja) | 光導波回路の製造方法 | |
| JP2798124B2 (ja) | 光導波路デバイス及びその製造方法 | |
| JP3832741B2 (ja) | 波長タップ回路 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071005 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081005 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091005 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101005 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111005 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121005 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121005 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131005 Year of fee payment: 12 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |