JP3996971B2

JP3996971B2 - 光導波路形フィルタの製造方法

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Publication number: JP3996971B2
Application number: JP11559297A
Authority: JP
Inventors: 健治河野; 博正田野辺; 正樹神徳; 裕三吉国; 広明三条; 裕二蓮見
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Current assignee: Nippon Telegraph and Telephone Corp
Priority date: 1997-05-06
Filing date: 1997-05-06
Publication date: 2007-10-24
Anticipated expiration: 2017-05-06
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Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は光導波路形フィルタに関し、特に製作の再現性がよく、挿入損失が小さい光導波路形フィルタとその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の光導波路形フィルタの例として、図１２に示すアレイ格子フィルタについて考察する。図中、Ｉは入力用光導波路、ＩＩは入力側スラブ光導波路、ＩＩＩはアレイ光導波路である。ここで、図１２からわかるように、各アレイ光導波路の長さは異なっている。すなわち、図１２の上から下に向かって、順に隣接する各アレイ光導波路の長さはそれぞれΔＬだけ短くなっているとする。ＩＶは出力用スラブ光導波路、Ｖは出力用光導波路である。図１３に図１２のＡ−Ａ′における断面図を示す。光導波路としてはハイメサ光導波路を例にとった。図中、１は上部ＩｎＰクラッド、２はバンドギャップ波長が１．１μｍのＩｎＧａＡｓＰ（以下１．１Ｑと呼ぶ）からなるコア、３は下部ＩｎＰクラッド、４は基板、５は空気である。Ｗは光導波路幅（つまりコア２の幅）、Ｄはコアの厚み、Ｈ₁ は上部ＩｎＰクラッドの厚み、Ｈ₂ は下部ＩｎＰクラッドの厚みである。
【０００３】
さて、アレイ格子のフィルタ特性について考える。
【０００４】
アレイ格子の原理は以下の通りである。入力用光導波路Ｉを伝搬してきた入力光（信号光）は入力用スラブ光導波路ＩＩで横方向には自由空間として広がり、アレイ光導波路ＩＩＩに結合する。なお、アレイ光導波路ＩＩＩと入力用スラブ光導波路ＩＩの接続面は入力用光導波路Ｉに対する一つの円弧をなし、各アレイ光導波路はその円弧上に並んでいるので、アレイ光導波路ＩＩＩに結合した直後の伝搬光は全てのアレイ光導波路において同位相である。次にこのアレイ光導波路ＩＩＩに結合した光はアレイ光導波路ＩＩＩを伝搬した後、アレイ光導波路ＩＩＩと出力用スラブ光導波路ＩＶとの接続面に達する。前述のように、各アレイ光導波路は上から下に、順にΔＬだけ短くなっているので、アレイ光導波路を伝搬してきた光はアレイ光導波路ＩＩＩと出力用スラブ光導波路ＩＶとの接続面で、隣接する各アレイ光導波路間において、
【０００５】
【数１】
ｋ₀ ｎ_eqΔＬ（１）
の位相差が生じている。ここで、ｋ₀ は真空中の波数、ｎ_eqはアレイ光導波路ＩＩＩの等価屈折率である。次に、このアレイ光導波路ＩＩＩから出射された光は出力用スラブ光導波路ＩＶを伝搬する間に互いに干渉し合った結果、出力用スラブ光導波路ＩＶと出力用光導波路Ｖの接続面に結像し、出力用光導波路Ｖに結合した後、外部へ取り出される。
【０００６】
以下、アレイ光導波路ＩＩＩから出射された光が出力側スラブ光導波路を伝搬後、結像する場合を考える。出射端における各アレイ光導波路の中心間距離をｄ、アレイ光導波路ＩＩＩからの光の出射角をθとすると、結像の条件は
【０００７】
【数２】
ｎ_s ｄｓｉｎθ＋ｎ_eqΔＬ＝ｍλ （２）
となる。ここで、ｎ_s は出力用スラブ光導波路ＩＶの等価屈折率、ｍは回折の次数、λは波長である。
【０００８】
簡単のために、θ＝０、つまり中心付近の光を考えると、式（２）は、
【０００９】
【数３】
ｎ_eqΔＬ＝ｍλ （３）
となる。
【００１０】
式（３）からわかるように、アレイ光導波路の等価屈折率ｎ_eqが変化すると結像する波長λも変化する。ところが、光導波路製作時に光導波路の横幅Ｗが設計時からずれると、アレイ光導波路の等価屈折率ｎ_eqも設計値からずれてしまい、信号光の波長がアレイ格子フィルタとしての通過帯域から外れてしまうことになる。以下、この点について考察する。
【００１１】
ここで、図１４に、図１３に示したハイメサ光導波路について、横幅Ｗを変数として疑似ＴＥモードの等価屈折率ｎ_eqをセミベクトル解析法によって計算した結果を示す。なお、１．１Ｑコア２の厚みＤは０．４μｍ、上部ＩｎＰクラッドの厚みＨ₁ は１．５μｍ、下部ＩｎＰクラッドの厚みＨ₂ は１μｍとした。前述のように横幅Ｗが変化すると等価屈折率ｎ_eqも変わることを図１４から確認できる。
【００１２】
さて、信号光の波長λの変化Δλとアレイ光導波路の等価屈折率ｎ_eqの変化Δｎ_eqは次式で結びつけられる。
【００１３】
【数４】
Δｎ_eq＝ｎ_eqΔλ／λ （４）
従って、光の周波数が１０ＧＨｚ変化（波長１．５５μｍ帯では約１Åの波長変化に相当）すると、アレイ光導波路の等価屈折率ｎ_eqとしては、約０．０００２の変化に対応するが、図１４から、この等価屈折率ｎ_eqの変化は光導波路の横幅の僅か１００Å程度の変化で生じてしまうことがわかる。つまり、約１０ＧＨｚの光の周波数変化に対応する光導波路のトレランスは１００Åとなり、製作時のばらつき（一般にｒｕｎ−ｔｏ−ｒｕｎでは約±０．１μｍのばらつきがある）と比較するとかなり小さな値となる。そのため、１回の製作において、信号光の波長とアレイ格子フィルタの通過帯域を設計値どおりに一致させることは現状の製作技術では極めて困難である。現状では、アレイ格子フィルタを製作後、コアやクラッドを構成する半導体材料の屈折率が温度により変化し、その結果、等価屈折率も温度により変化することを利用して信号光の波長とアレイ格子フィルタの通過帯域を設計値に合わせるために、使用期間を通してのペルチェ素子による温度制御が不可欠である。
【００１４】
光導波路の横幅の誤差は、アレイ格子フィルタだけでなく、マッハツェンダ型フィルタにおいても同様に問題である。特開平４−２５５８０６号公報には、マスクパターンの微少誤差に起因する光路長差設定誤差を救済する方法が記載されている。図１５は、特開平４−２５５８０６号公報に記載されている、波長無依存カプラとしての導波型光干渉計回路である。１１および１２は方向性結合器、１３および１４は方向性結合器１１および１２を連結する光導波路である。１６は光導波路１４に設けられた長さｇの欠損部である。欠損部１６はクラッドガラスで充填されている。この導波型光干渉計回路は以下に説明する方法によって製作される。まず、通常の、欠損部を生じないマスクパターンを使用して導波型光干渉計回路を製作する。光導波路幅の設計値からのずれによって光導波路１３と１４の光路長差ΔＬにも誤差を生ずるので、得られた光干渉計回路の特性を測定し、光路長差ΔＬの設計値からのずれを測定する。そして、改めてマスクパターンの光導波路１４のパターンをレーザトリミングして欠損部を設け、このマスクパターンを用いて光干渉回路を製作する。光路長差は［（Δｎ）・ｇ］だけ補正される。なお、Δｎは光導波路の実効屈折率とクラッドガラスの屈折率との差である。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、従来のアレイ格子フィルタでは、アレイ光導波路の横幅の製作誤差を防ぎ、信号光の波長とアレイ格子フィルタの通過帯域を設計値どおりに一致させることは難しく、特開平４−２５５８０６号公報の方法は、製作誤差による光路長差を救済するために、マスクパターンをレーザトリミングする複雑な工程を必要とし、しかもこの方法はアレイ格子フィルタには現実に適用できない。
【００１６】
本発明は、アレイ格子フィルタにおいても、マッハツェンダ型フィルタにおいても、実現が可能で、製作の再現性がよく、挿入損失が小さい光導波路形フィルタの製造方法を提供することを目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
上述した目的を達成するために、本発明による光導波路形フィルタの製造方法は、複数の光導波路を備え、前記複数の光導波路に入力光を分波して各々の光導波路を伝搬させた後に合波して干渉させ、前記入力光を波長に基づいて選別する光導波路形フィルタの製造方法において、前記複数の光導波路の形成後に出力光の波長を測定する第１の工程と、測定した前記出力光の波長に基づいて前記光導波路を表面からエッチングして、出力光の波長を所定の波長に一致させる第２の工程とを備えたことを特徴とする。
【００１８】
ここで、好適には、前記光導波路の表面からのエッチング工程が、前記複数の光導波路のそれぞれのコアの上部のクラッドを一様にエッチングする工程である。
【００１９】
さらに、前記光導波路がリッジ型光導波路であり、前記光導波路の表面からのエッチング工程が、前記複数の光導波路のそれぞれのコアの上部のクラッドを一様にエッチングするとともにリッジ型光導波路の側面をもエッチングする工程であることが好ましい。
【００２０】
また、前記光導波路の表面からのエッチング工程が、前記複数の光導波路のそれぞれのコアの上部のクラッドの厚みおよび前記光導波路の幅の少なくとも一方を異ならしめるようにエッチングする工程であることが好ましく、または前記光導波路の表面からのエッチング工程が、前記複数の光導波路のそれぞれのコアの上部のクラッドの厚みおよび前記光導波路の幅の少なくとも一方について一部の領域のみをエッチングする工程であることが好ましい。
【００２１】
上記方法において、好適には、前記複数の光導波路のそれぞれのコアの一部の領域が他の領域より屈折率の高い材料で構成されている。
【００２２】
また、上記方法において、好適には、前記複数の光導波路のそれぞれのコアを構成する材料の屈折率が互いに異なる。
【００２３】
上記方法において、前記光導波路形フィルタがアレイ格子フィルタであってもよく、前記光導波路形フィルタがマッハツェンダ型フィルタであってもよい。
【００２４】
さらに、好ましくは、上記方法において、前記マッハツェンダ型フィルタを構成する２本の光導波路の長さが等しく、その断面形状が互いに異なる。あるいは２本の光導波路の長さが異なり、その断面形状が同一または異なる。
【００２５】
本発明の方法により、複数の光導波路を備え、前記複数の光導波路に入力光を分波して各々の光導波路を伝搬させた後に合波して干渉させ、前記入力光を波長に基づいて選別する光導波路形フィルタにおいて、前記複数の光導波路のコアの上部のクラッドの厚みおよび光導波路の幅の少なくとも一方が、それぞれの光導波路間で異なっている光導波路形フィルタを製造することができる。
【００２６】
さらに、本発明の方法により、複数の光導波路を備え、前記複数の光導波路に入力光を分波して各々の光導波路を伝搬させた後に合波して干渉させ、前記入力光を波長に基づいて選別する光導波路形フィルタにおいて、前記複数の光導波路のコアの上部のクラッドの厚みおよび前記光導波路の幅の少なくとも一方について一部の領域のみがエッチングされている光導波路形フィルタを製造することもできる。
【００２７】
【発明の実施の形態】
本発明においては、光学長が異なる複数の光導波路を備え、複数の光導波路に入力光（信号光）を分波して各々の光導波路を伝搬させた後に合波して干渉させ、信号光を波長に基づいて選別する光導波路形フィルタを製造するに際し、まず、複数の光導波路を形成して、その出力光の波長を測定する。次いで、測定した出力光の波長に基づいて光導波路を表面からエッチングして、コア上部のクラッドの厚みおよびコアあるいはクラッドの幅の少なくとも一方を調整する。その結果、光導波路の等価屈折率を変え、信号光の波長と光導波路形フィルタの通過帯域の中心波長を一致させることができる。
【００２８】
【実施例】
実施例１
図１に本発明の光導波路形フィルタの製造方法の第１の実施例における製作過程を示す。図１は、図１２、図１３に示した従来例と同様に、アレイ格子フィルタのアレイ導波の一つを示したものであり、同一部位を同一の参照符号で示してある。従来例と同様に、ドライエッチングによって、図１（ａ）のようにハイメサ光導波路からなるアレイ光導波路を形成し、フィルタの通過帯域特性を測定する。この時点では、先に説明したように、光導波路の幅の設計値からのずれによって、信号光とアレイ光導波路フィルタの通過帯域が一致しないために、信号光を取り出すことができない。そこで、図１（ｂ）に示すように、アレイ光導波路の上部からドライエッチングビームを印加し、上部ＩｎＰクラッド１をその表面からエッチングする。これにより、上部ＩｎＰクラッド１の厚みＨ₁ を薄くすることができる。
【００２９】
図２には、上部ＩｎＰクラッド１の厚みＨ₁ を変数とした場合の等価屈折率ｎ_eqとアレイ格子フィルタの通過帯域の中心周波数の変化Δｆの計算結果を示す。なお、波長は１．５５μｍ帯とし、アレイ格子フィルタの通過帯域の中心周波数の変化ΔｆはＧＨｚの単位で示した。また、１．１Ｑコアの幅Ｗは２．４μｍ、厚みＤは０．４μｍとした。さらに、上方から上部ＩｎＰクラッド１をドライエッチングする際、基板４もエッチングされて下部ＩｎＰクラッド３の厚みＨ₂ は厚くなるので、上部ＩｎＰクラッド１の厚みＨ₁ 、１．１Ｑコアの厚みＤおよび下部ＩｎＰクラッド３の厚みＨ₂ の和は２．９μｍで一定とした。図中の黒点は実験結果を示し、上部クラッドの厚みが０．９μｍの時の中心周波数の変化Δｆは３２ＧＨｚであった。
【００３０】
図２からわかるように、上部ＩｎＰクラッド１の厚みが大きくなると、空気５の導波光に対する影響が少なくなり、等価屈折率ｎ_eqは大きくなる。また、等価屈折率ｎ_eqが変化するため、アレイ格子フィルタの通過帯域の中心周波数も変化する。一般に、アレイ格子フィルタのチャネル間隔は１００ＧＨｚから２００ＧＨｚ程度であるから、例えば、信号光とアレイ格子フィルタの通過帯域の中心周波数が５０ＧＨｚずれていたと仮定すると、図２からわかるように、最初上部ＩｎＰクラッド１の厚みＨ₁ が１．５μｍの場合には、上部ＩｎＰクラッド１の厚みＨ₁ を０．９μｍ程度になるようにエッチングすることにより、信号光とフィルタの通過帯域の中心周波数を完全に一致させることが可能となる。また、この際の加工のトレランスは比較的緩いこと、さらに、上部クラッドの厚みＨ₁ が小さくなるようにエッチング量を多くすれば数１００ＧＨｚの調整が可能であることがわかる。
【００３１】
上述した本発明の第１の実施例の製作手順をまとめると以下のようになる。
【００３２】
（１）図１（ａ）のようにアレイ光導波路を形成する。
【００３３】
（２）アレイ格子フィルタの通過帯域特性を測定し、信号光とアレイ格子フィルタの通過帯域の中心周波数のずれ量を明らかにする。
【００３４】
（３）上部ＩｎＰクラッド１を表面からエッチングして、中心周波数のずれ量を補正する。
【００３５】
（４）アレイ格子フィルタの通過帯域の中心周波数が信号光の波長と一致するまで、上記（２）、（３）の工程を繰り返す。
【００３６】
なお、図１においては、１本のアレイ光導波路のみを示したが、アレイ光導波路を構成する全光導波路について、上部クラッドが一様に表面からエッチングされることは言うまでもない。この点は以下の実施例についても同様である。
【００３７】
実施例２
図３に本発明の光導波路形フィルタの製造方法の第２の実施例を示す。本実施例は、図１に示したハイメサ光導波路の斜め上方からエッチングする方法である。この実施例によれば、上部ＩｎＰクラッド１の厚みだけでなく、ハイメサ光導波路の幅（従って、１．１Ｑコア２の幅）Ｗ変化するため、僅かなエッチング量でアレイ格子フィルタの通過帯域の中心周波数を信号光の波長に一致させることが可能となる。
【００３８】
実施例３
図４は本発明の第３の実施例を示し、埋め込みコア型のアレイ光導波路に本発明の方法を適用した例である。図４（ａ）はアレイ光導波路形成直後の状態を示し、図４（ｂ）はクラッドのエッチング状態を示す。図４において、６はクラッド、７は埋め込みコアである。この場合、クラッドのエッチングはドライエッチングに限られず、ウェットエッチングも可能である。アレイ光導波路製作後に、フィルタの通過帯域特性を測定し、クラッド６を表面からエッチングして、アレイ格子フィルタの通過帯域の中心周波数を信号光の周波数と一致させることは、実施例１と全く同じである。
【００３９】
実施例４
図５、図６および図７は本発明の第４の実施例を示し、本発明をマッハツェンダ型フィルタに適用して例で、図５は上面図、図６および図７はそれぞれ図５のＢ−Ｂ′、Ｃ−Ｃ′における断面図である。ここで、ＶＩは入力用光導波路、ＶＩＩは入力用３ｄＢカプラ、ＶＩＩＩは直線光導波路、ＩＸは出力用３ｄＢカプラ、Ｘは出力用光導波路である。直線光導波路ＶＩＩＩの２本の光導波路８と９に光路長差を持たせるために、ドライエッチングによって、光導波路の８の上部クラッド１の厚みと光導波路９の上部クラッド１の厚みが異なるようにする。先に述べたように、上部クラッド１の厚みが大きいほど導波光の実効屈折率が大きくなり、従って光路が長くなるので、上部クラッド１の厚みによって光路長差を調整できる。マッハツェンダ型フィルタを製作後に、フィルタの通過帯域特性を測定し、上部クラッド１を表面からドライエッチングして、フィルタの通過帯域の中心周波数を信号光の周波数と一致させることは、実施例１と全く同じである。また、実施例２と同様に、斜め上方からドライエッチングビームを印加して片方の光導波路のエッチングを行うこともできる。
【００４０】
実施例５
図８に本発明の第４の実施例を示し、図８（ａ）は上面図、図８（ｂ）は図８（ａ）のＤ−Ｄ′およびＥ−Ｅ′における断面図である。両断面は全く等しいので一図で代表する。図８において、ＸＩは位相変化光導波路である。本実施例は、第４の実施例のマッハツェンダ型フィルタにおいて、２本の光導波路の光路長に差をつけるために、一方の光導波路１０を直線光導波路９より長くした例である。本実施例では、２本の光導波路９、１０の長さが異なっているため、２本の光導波路の断面形状が同じとなるように上部クラッド１をフィルタ表面から一様にエッチングしても、このフィルタの通過帯域の中心周波数を信号光の周波数と一致させることができる利点がある。なお、光導波路９と１０のそれぞれの上部クラッドの厚みが異なるように上部クラッドをエッチングすれば一層の効果がある。
【００４１】
実施例６
図９に本発明の第６の実施例を示す。図９（ａ）は上面図、図９（ｂ）および図９（ｃ）は図９（ａ）のＤ−Ｄ′およびＥ−Ｅ′における断面図である。本実施例は図８に示した第５の実施例において、位相変化光導波路ＸＩの２本の光導波路９、１０のコアを構成する材料を異ならしめた例である。本実施例では、コアの材料として光導波路１０では１．１コア２を、一方、光導波路９ではバンドギャップ波長が１．３μｍのＩｎＧａＡｓＰ（１．３Ｑ）コア２′を用いている。１．１Ｑコア２と１．３Ｑコア２′の屈折率は１．５５μｍにおいて、それぞれ約３．２８および約３．３９と異なっており、１．１Ｑコア２の方が１．３Ｑコア２′よりも低い。従って、導波光は１．１Ｑコア２においての方が１．３Ｑコア２′においてよりも、より上下に広がっている。そのため、上部クラッド１の厚みが同じとなるようにエッチングしても、空気５の導波光に対する影響は１．１Ｑコア２においての方が１．３Ｑコア２′においてよりも大きくなる。その結果、２本の光導波路のコアの屈折率を異ならしめると本発明の効果が顕著になる。なお、この場合には、２本の光導波路が長い方が、効果が大きく、長い方の光導波路のコアの屈折率が短い方の光導波路のコアの屈折率より小さい方が効果が大きい。さらに、光導波路９と１０のそれぞれの上部クラッド１の厚みが異なるように上部クラッド１をエッチングすれば、より一層の効果があることは言うまでもない。また、本実施例において、光導波路９と光導波路１０の長さを同じとしても若干効果は落ちるが、フィルタの通過帯域の中心周波数を信号光の周波数と一致させることは可能である。
【００４２】
実施例７
図１０は本発明の第７の実施例であり、本発明を適用したアレイ格子フィルタの上面図である。本実施例においては、実施例１と異なり、アレイ光導波路ＩＩＩの全クラッドの表面を一様にエッチングするのではなく、アレイ光導波路の一部の領域ＩＩＩＡのクラッドをエッチングしている。この際、エッチングすべき領域は式（１）からわかるように、隣接アレイ光導波路とΔＬの長さの差があるように選べばよいことになる。フィルタの通過帯域の中心周波数を信号光の周波数と一致させる手順は実施例１で述べたとおりである。
【００４３】
なお、マッハツェンダ型フィルタへの適用例である第６の実施例のように、屈折率の異なる材料のコアを用いることにより顕著な効果を得る手法は、第１の実施例あるいは第７の実施例などのアレイ格子フィルタにも適用可能であることは言うまでもない。
【００４４】
実施例８
アレイ光導波路ＩＩＩの全ての光導波路においてその上部クラッドの厚みが同じ場合について、全ての光導波路のコアの一部の領域に他の領域より屈折率の高い材料を用いることによって、アレイ格子フィルタの中心周波数を温度無依存化できることが知られている。（田野辺他、１９９７年３月、電子情報通信学会春期全国大会、Ｃ−３−１５９）。図１１はそのアレイ格子フィルタの上面図を模式的に示したものであり、領域ＩＩＩＢが屈折率の高いコア材料を用いた領域である。このアレイ格子フィルタに実施例１または実施例２に示した本発明の方法を適用すれば、温度無依存アレイ格子フィルタの中心周波数を信号光の周波数と一致させることができる。同様に、温度無依存マッハツェンダ型フィルタの中心周波数を信号光の周波数と一致させることもできる。
【００４５】
【発明の効果】
一般に、１回の試作では信号光の波長とフィルタの通過帯域を一致させることが困難なため、使用の全期間にわたる温度制御が必要であった。しかし、以上説明したように、本発明によれば、試作したフィルタの通過帯域特性を測定し、光導波路のコア上部のクラッドおよびコアあるいはクラッドの幅の少なくとも一方をエッチングして調整することによって、信号光の波長と光導波路形フィルタの通過帯域を一致させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例を説明する斜視図である。
【図２】本発明の原理を説明するための線図である。
【図３】本発明の第２の実施例を説明する図である。
【図４】本発明の第３の実施例を説明する図である。
【図５】本発明の第４の実施例の上面図である。
【図６】図５のＢ−Ｂ′における断面図である。
【図７】図５のＣ−Ｃ′における断面図である。
【図８】本発明の第５の実施例を示し、（ａ）は上面図、（ｂ）はそのＤ−Ｄ′（またはＥ−Ｅ′）における断面図である。
【図９】本発明の第６の実施例を示し、（ａ）は上面図、（ｂ）はそのＤ−Ｄ′における断面図、（ｃ）はＥ−Ｅ′における断面図である。
【図１０】本発明の第７の実施例の上面図である。
【図１１】本発明の第８の実施例の上面図である。
【図１２】従来のアレイ格子フィルタの断面図である。
【図１３】図１２のＡ−Ａ′における断面図である。
【図１４】従来のアレイ格子フィルタのトレランスを表す線図である。
【図１５】従来のマッハツェンダ形フィルタの上面図である。
【符号の説明】
１上部ＩｎＰクラッド
２１．１Ｑ組成のコア
３下部ＩｎＰクラッド
４基板
５空気
６クラッド
７埋め込みコア
８、９直線光導波路
１０光路長の長い光導波路
１１、１２方向性結合器
１３、１４光導波路
１６欠損部

Claims

複数の光導波路を備え、前記複数の光導波路に入力光を分波して各々の光導波路を伝搬させた後に合波して干渉させ、前記入力光を波長に基づいて選別する光導波路形フィルタの製造方法において、
前記複数の光導波路の形成後に出力光の波長を測定する第１の工程と、測定した前記出力光の波長に基づいて前記光導波路を表面からエッチングして、出力光の波長を所定の波長に一致させる第２の工程とを備えたことを特徴とする光導波路形フィルタの製造方法。
請求項１に記載の方法において、前記光導波路の表面からのエッチング工程が、前記複数の光導波路のそれぞれのコアの上部のクラッドを一様にエッチングする工程であることを特徴とする光導波路形フィルタの製造方法。
請求項１または２に記載の方法において、前記光導波路がリッジ型光導波路であり、前記光導波路の表面からのエッチング工程が、前記複数の光導波路のそれぞれのコアの上部のクラッドを一様にエッチングするとともにリッジ型光導波路の側面をもエッチングする工程であることを特徴とする光導波路形フィルタの製造方法。
請求項１または３に記載の方法において、前記光導波路の表面からのエッチング工程が、前記複数の光導波路のそれぞれのコアの上部のクラッドの厚みおよび前記光導波路の幅の少なくとも一方を異ならしめるようにエッチングする工程であることを特徴とする光導波路形フィルタの製造方法。
請求項１または３に記載の方法において、前記光導波路の表面からのエッチング工程が、前記複数の光導波路のそれぞれのコアの上部のクラッドの厚みおよび前記光導波路の幅の少なくとも一方について一部の領域のみをエッチングする工程であることを特徴とする光導波路形フィルタの製造方法。
請求項１から５のいずれかに記載の方法において、前記複数の光導波路のそれぞれのコアの一部の領域が他の領域より屈折率の高い材料で構成されていることを特徴とする光導波路形フィルタの製造方法。
請求項１から６のいずれかに記載の方法において、前記複数の光導波路のそれぞれのコアを構成する材料の屈折率が互いに異なることを特徴とする光導波路形フィルタの製造方法。
請求項１から７のいずれかに記載の方法において、前記光導波路形フィルタがアレイ格子フィルタであることを特徴とする光導波路形フィルタの製造方法。
請求項１から７のいずれかに記載の方法において、前記光導波路形フィルタがマッハツェンダ型フィルタであることを特徴とする光導波路形フィルタの製造方法。
請求項９に記載の方法において、前記マッハツェンダ型フィルタを構成する２本の光導波路の長さが等しく、その断面形状が互いに異なることを特徴とする光導波路形フィルタの製造方法。