JPH10300632A - 屈折率分布の測定方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 被検物１個当たりの測定時間を短縮でき、ま
た、試液の屈折率がおよその値しか分からない場合で
も、未知の被検物の絶対値を測定したり、良否判定を行
うことができる屈折率分布の測定方法と装置を提供す
る。 【解決手段】 被検物Ａ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４，Ａ５は
試液Ｂが充填されたセル２１内に置かれる。光源１から
の可干渉光を基準となる参照波ａと、複数の被検物を透
過する被検波ｂとに分割し、複数の被検物を光軸と垂直
な軸Ｏを中心として回転させつつ参照波と被検波を重畳
して干渉縞を形成し、干渉縞を解析する。これによって
複数の被検物の屈折率分布を一度に測定できる。また、
１つの被検物Ａ１をガラスレンズ等の屈折率が既知の基
準のものとすれば、試液の屈折率が正確には分からなく
ても、ガラスレンズの屈折率から各被検物の屈折率分布
を絶対値で求めることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、干渉縞の解析によ
り被検物の屈折率分布を３次元的に測定する技術に関
し、特に、被検物を屈折率がほぼ等しい試液内に浸して
測定する測定方法及び装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、レーザプリンタやカメラなどの光
学機器に使用される光学レンズの材料として、プラスチ
ックを用いることが多くなっている。プラスチック成形
レンズはガラス研磨レンズに比較して、コスト低減や非
球面レンズの製作性に優れ、安価であるというメリット
がある。

【０００３】しかし、その反面、ガラスレンズに比べ製
造上、屈折率分布が不安定でレンズの内部に不均一性を
生じることがある。レンズ内部に不均一性があると、光
学特性に大きな影響を及ぼし、画質の劣化やボケといっ
た原因につながる。したがって、レンズ内部の屈折率分
布を高精度に測定し、光学レンズの均質性を評価する必
要がある。

【０００４】そこで、本発明の出願人は、先願の特願平
６−２０３５０２号において、被検物を試液中に浸した
状態で光軸と直交する軸を中心に回転させ、複数の回転
角位置の各々で干渉縞の解析を行い、これらの干渉縞か
ら透過波面量を算出し、これを一次フーリエ変換し、さ
らに、二次元逆フーリエ変換を行って屈折率の分布を求
める方法を提案した。

【０００５】図６を用いて具体的に説明する。同図の装
置は、マハツェンダ型の干渉計を基本構成としており、
可干渉光としてのレーザ光を射出する光源１と、ビーム
エキスパンダ３と、光束分割用のビームスプリッタ５
と、２つの反射ミラー７、９と、光束重畳用のビームス
プリッタ１１と、結像レンズ１３と、ＣＣＤなどからな
る干渉縞検出器１５と、高速画像処理装置、マイクロコ
ンピュータなどからなる演算処理装置１７とを備えてい
る。以上の構成のうち、光源１から結像レンズ１３まで
で、干渉計ＩＡを構成している。

【０００６】光源１より出射するレーザ光は、ビームエ
キスパンダ３によって光束径を拡大され、ビームスプリ
ッタ５によって直角に屈折して参照波ａとなるレーザ光
束と、直進するもう一つのレーザ光束ｂとに分割され
る。後者のレーザ光束ｂは反射ミラー９で直角に屈折さ
せられ被検物Ａとしての位相物体を透過し、被検波ｂと
なる。

【０００７】前者の参照波ａは、反射ミラー７に入射す
るが、この反射ミラー７は、ピエゾ素子などによる電気
−変位変換素子１９により支持され、位相シフト法によ
る干渉縞解析を行うために、参照波ａの光路長を波長の
オーダで変更できるように配置されている。

【０００８】参照波ａは反射ミラー７で反射された後、
ビームスプリッタ１１に達し、他方の被検波ｂは、被検
物Ａを透過してからビームスプリッタ１１に達し、ここ
で参照波ａと被検波ｂとが重なり合うが、電気−変位変
換素子１９により参照波ａと被検波ｂとの光路長には、
ｎπ／２の位相の差ができるように調整される。

【０００９】重畳された参照波ａと被検波ｂは、ビーム
スプリッタ１１から２つに分けて射出され、一方は結像
レンズ１３に入射し、干渉縞検出器１５の撮像面に干渉
縞を結像する。干渉縞検出器１５にはリニアＣＣＤやア
レイ状のセンサを用いている。ビームスプリッタ１１か
ら射出された他方の光束は、結像レンズ１２を介してモ
ニター１４に入射し、ここでモニター用の干渉縞像を結
像する。

【００１０】被検物Ａの屈折率は空気の屈折率とはかな
り相違しており、被検物の入射面と射出面とが平行でな
い限り、被検物Ａを透過した被検波ｂは、不規則に収束
・発散する。一方、干渉計で干渉縞を結像させるには、
被検波ｂは、ほぼ平行な光束となっていなければならな
い。そこで、被検物Ａがどのような形状であっても、被
検物Ａを透過した被検波ｂがほぼ平行光束になるため
に、次のような構成としている。

【００１１】すなわち、被検物Ａは、被検波ｂの光路の
途中に設けられた容器状のセル２１内に設置される。セ
ル２１内には、その屈折率が被検物Ａの屈折率とほぼ同
一に調合された試液Ｂを満たしてある。そして、被検物
Ａは、回転台２３上に載置され、回転台２３は、図示し
ないサーボモータなどにより、被検波ｂに対して直交す
る軸Ｏを中心に任意の角度だけ回転自在である。セル２
１の両端、すなわち、被検波ｂの入射窓２５と射出窓２
７は互いに平行で、かつ、それぞれに面精度が高いオプ
チカルフラット２８，２９を取り付けて液密にシールド
している。したがって、被検物Ａと試液Ｂで充填された
セル２１は、全体として均一な屈折率の物体となり、か
つ、入射面と射出面とが平行なので、セル２１内を透過
した被検波ｂは、ほぼ平行な光束となって射出されるよ
うになる。

【００１２】干渉縞像は、干渉縞検出器１５で検出さ
れ、光電変換されて電気的な画像信号となり、Ａ／Ｄ変
換器２０によってＡ／Ｄ変換された後、演算装置１７に
入力される。なお、演算装置１７は、位相シフト法など
による干渉縞像の解析によって透過波面の計測演算を行
う透過波面計測部１８を含んでいる。

【００１３】次に上述の構成よりなる測定装置を利用し
て被検物Ａの屈折率を測定する方法を説明する。まず、
被検物Ａを回転台２３にセットしない状態で、干渉縞検
出器１５が出力する干渉縞像の画像信号を演算処理装置
１７に取り込んで演算処理装置内部の透過波面計測部１
８により干渉縞像の解析を行い、初期状態の透過波面の
計測をする。この計測結果に基づいて測定装置自身の定
常的な誤差成分を排除する初期処理を行う。

【００１４】次に、回転台２３に被検物Ａをセットし、
回転台２３がθ＝０の位置（初期回転位置）で干渉縞検
出器１５の撮像面に干渉縞を結像し、干渉縞検出器１５
が出力する干渉縞像の画像信号を演算処理装置１７に取
り込んで干渉縞像の解析を行う。

【００１５】回転台２３が初期回転位置にある透過波面
の計測では、干渉縞像の解析結果は被検物Ａの厚み方向
（光軸方向）に積算されており、これだけでは屈折率の
不均一部分の空間的な位置を特定することができない。

【００１６】そこで、回転台２３を初期回転位置より、
軸Ｏを中心にして矢印に示すように、所定角度回転さ
せ、回転台２３上の被検物Ａを被検波ｂの光軸に対して
変化させる。このように被検物Ａが回転変位しても干渉
縞像は干渉縞検出器１５の撮像面に結像する。この状態
下にて干渉縞検出器１５が出力する干渉縞像の画像信号
を演算処理装置１７に取り込んで透過波面の計測をす
る。こうしてたとえば、１゜刻みで１８０゜（π）ある
いは３６０゜（２π）の方向から複数回に渡って干渉縞
を形成し、この透過波面を計測して、コンピュータ、す
なわち、演算処理装置１７上で再合成する。この画像の
再構成は、公知のＸ線ＣＴ（Computed Tomography）解
析の手法を用いて行うことができる。

【００１７】図６はＣＴ法の原理を示すものである。角
度θから入射した被検波による透過波面のデータＰ
（ｘ，θ）を変数ｘについて一次元フーリエ変換すれ
ば、求めるべき屈折率の分布Δｎ（ｘ，ｙ）の二次元フ
ーリエ変換の極座標表現におけるθ方向成分が得られ
る。

【００１８】すなわち、０≦θ≦２π又は０≦θ≦πの
角度範囲にわたって透過波面を計測し、その透過波面デ
ータを一次元フーリエ変換し、フーリエ変換された各断
面の極座標データＰ（ｘ，θ）を直交座標データに変換
し、その後二次元逆フーリエ変換し、さらに屈折率に変
換する、ことにより被検物Ａの二次元屈折率分布を再構
成することができる。そして、多数の断面について同様
の測定を行えば、被検物Ａの三次元屈折率分布を求める
ことができる。

【００１９】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記の屈折
率測定方法によれば、全方位測定であるので測定に時間
がかかる。また、上記の屈折率測定方法では試液の屈折
率を基準とした相対屈折率で求められるが、試液の屈折
率がおよその値でしか分からない場合があり、そのよう
な場合でも、絶対屈折率を測定したい、または、被検物
の良否の判断をしたい。

【００２０】本発明は、上記の事実から考えられたもの
で、被検物１個当たりの測定時間を短縮できる屈折率分
布の測定方法を提供することを目的としている。また、
さらに、試液の屈折率が、およその値しか分からない場
合でも、未知の被検物の絶対値を測定したり、良否判定
を行うことができる屈折率分布の測定方法とその装置を
提供することを目的としている。

【００２１】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明の屈折率の測定方法は、同一光源からの可干
渉光を基準となる参照波と複数の被検物を透過する被検
波とに分割し、上記複数の被検物を相対位置を変化させ
ずに光軸と垂直な軸回りに回転させつつ参照波と被検波
を重畳して干渉縞を形成し、上記干渉縞を解析すること
により複数の被検物の屈折率分布を一度に測定すること
を特徴としている。

【００２２】上記複数の被検物を屈折率が被検物とほぼ
等しい試液内に保持し、上記軸回りに回転させつつ干渉
縞を解析したり、上記複数の被検物のうち少なくとも１
つを屈折率が既知のガラスレンズとしたり、上記被検物
のうち少なくとも１つを屈折率の基準となるマスターレ
ンズとしたり、屈折率が既知のガラスレンズの屈折率と
上記試液の屈折率との相対屈折率を算出し、該相対屈折
率から他の被検物の絶対屈折率を求めたり、上記マスタ
ーレンズ以外の被検物が、設計値が同一で屈折率分布が
未知であり、上記マスターレンズの屈折率と比較又は差
分演算を行うことにより、マスターレンズ以外の被検物
の屈折率分布を求めたりすることができる。

【００２３】本発明の屈折率分布の測定装置は、同一光
源からの可干渉光を基準となる参照波と被検物を透過す
る被検波とに分割し、参照波と被検波を重畳して干渉縞
を形成する干渉計と、上記被検物を複数個固定し、光軸
と直交する回転軸を中心に回動自在に保持する回転支持
部と、複数個の被検物が固定された該回転支持部を屈折
率が被検物とほぼ等しい試液内に保持するとともに相互
に平行な入射窓と射出窓とを有するセルと、を有するこ
とを特徴としている。上記干渉計がコモンパス型の干渉
計である構成とすることができる。

【００２４】

【発明の実施の形態】以下に、図面を参照して本発明の
実施例を詳細に説明する。図１は本発明の屈折率分布の
測定装置の要部を示す。本発明の測定装置は、図６で説
明した従来の屈折率測定装置とおなじ干渉計ＩＡを使用
するもので、セル２１内における被検物の配置構成のみ
が相違し、図１に示すような構成となっている。

【００２５】すなわち、本発明のセル２１は、その内部
に回転支持部２２を有し、ここに、複数の被検物Ａ１，
Ａ２，Ａ３，Ａ４，Ａ５を固定し、これらを回転軸Ｏを
中心として３６０°回転させても入射光の有効径から外
れないように位置決めしている。回転支持部２２は、従
来のような回転台でもよく、また上方から下方に向かっ
て設けられた支持アーム状のものでもよい。

【００２６】被検物の数は図の実施例では５個である
が、上記の回転支持部２２を回転しても入射光の有効径
から外れなければ、幾つでも、また形状がどんなもので
も、また、配置がどのようでも構わない。というのは、
ＣＴ解析は形状や配置などには依存しないからである。
また、干渉計も、図６に示すマハツェンダ干渉計でも、
あるいはフィゾー型やシアリング型の干渉計でもよい。
ただし、各被検物は、試液Ｂとほぼ同じ屈折率でなけれ
ばならないから、実際には、設計値が同じで、屈折率分
布が未知のものを複数個配置することとなる。

【００２７】上記の実施例において、回転支持部２２に
５個の被検物を固定し、回転支持部２２を、例えば、１
°間隔で１８０°又は３６０°回転し、各回転位置での
干渉縞像を干渉縞検出器１５の撮像面に結像する。そし
て、干渉縞検出器１５が出力する画像信号を演算処理装
置１７に取り込んで透過波面の計測をする。こうして演
算処理装置１７上で再合成すれば、５個（一般には、Ｎ
個）の被検物の屈折率分布を一度に得ることができ、被
検物１個当たりの測定時間を１／５（一般には、１／
Ｎ）に短縮することができる。

【００２８】ところで、上記５個の被検物Ａ１，Ａ２，
Ａ３，Ａ４，Ａ５の任意の点（ｘ，ｙ）の屈折率をｎｉ
（ｘ，ｙ）（ｉ＝１〜５）とすると、上記ＣＴ解析によ
る測定結果は、ある基準（試液の屈折率）からの差であ
る相対屈折率Δｎｉ（ｘ，ｙ）として算出される。そこ
で、上記５個の被検物のうち、たとえば、被検物Ａ１に
屈折率ｎが既知のガラスレンズを用いると、ガラスレン
ズの部分では屈折率が一定と考えられるから、ガラスレ
ンズ内における相対屈折率Δｎｉ（ｘ，ｙ）＝Δｎ（一
定）となる。そして、他の被検物の任意の点の座標
（ｘ，ｙ）における相対屈折率差Δｎｉ（ｘ，ｙ）から
Δｎｉ（ｘ，ｙ）−Δｎを計算し、ｎを加えることによ
って上記の任意の点における絶対屈折率ｎｉ（ｘ，ｙ）
を算出することができる。

【００２９】図２はこの解析手順を示すフローチャート
である。まず被検物Ａ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４，Ａ５をセ
ットする（Ｓ１）。このうち、Ａ１は基準となるガラス
レンズでその屈折率ｎは既知である。そして複数の被検
物相互間の相対位置を変化させずに回転させ、各回転位
置における透過波面を測定する（Ｓ２）。そしてその結
果を演算処理装置１７でＣＴ解析し（Ｓ３）、任意の点
（ｘ，ｙ）における相対屈折率Δｎｉ（ｘ，ｙ）を求め
る（Ｓ４）。そして、ガラスレンズにおける相対屈折率
をΔｎとし、この相対屈折率Δｎとの差Δｎｉ（ｘ，
ｙ）−Δｎを求める（Ｓ５）。そして、各被検物Ａ２，
Ａ３，Ａ４，Ａ５の屈折率ｎｉ（ｘ，ｙ）は、ｎｉ
（ｘ，ｙ）＝Δｎｉ（ｘ，ｙ）−Δｎ＋ｎより求めるこ
とができる。このとき、被検物Ａ２，Ａ３，Ａ４，Ａ５
のそれぞれに屈折率の分布があれば、Δｎｉ（ｘ，ｙ）
は任意の点における屈折率を表すから、屈折率の分布と
して求めることができる。このように、この実施例で
は、試液Ｂの屈折率を正確に測定できない場合であって
も、各被検物の屈折率分布を絶対値でしかも、正確に測
定できる。

【００３０】被検物Ａ１にマスターレンズを使用するこ
ともできる。ガラスレンズと異なる点は、マスターレン
ズはプラスチックレンズの良品を使用したものであり、
マスターレンズ自身も温度の変化により屈折率が変化す
ることである。また、マスターレンズ内部の屈折率も一
様ではない。そこで、マスターレンズの屈折率は、平均
の屈折率、あるいは、屈折率のばらつき（たとえば、最
大値と最小値で表わすことができる）等で把握されるこ
とになる。

【００３１】ところで、上記のマスターレンズの温度と
は、この測定においては、試液Ｂの温度と同じであるか
ら、いずれの被検物も同じ温度となり、被検物Ａ１、す
なわち、マスターレンズとの比較をすることによって他
の被検物Ａ２，Ａ３，Ａ４，Ａ５の良否の判定ができ
る。

【００３２】図３のフローチャートによって、以下に説
明する。まず被検物Ａ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４，Ａ５をセ
ットする（Ｓ１１）。このうち、Ａ１は基準となるマス
ターレンズである。そして各被検物の相対位置を変化さ
せずに回転させ、各回転位置における透過波面を測定す
る（Ｓ１２）。そしてその結果を演算処理装置１７でＣ
Ｔ解析し（Ｓ１３）、任意の点（ｘ，ｙ）における相対
屈折率Δｎｉ（ｘ，ｙ）を求める（Ｓ１４）。そして、
マスターレンズとの差分をΔｎｉ（ｘ，ｙ）−Δｎ１
（ｘ，ｙ）として求める（Ｓ１５）。Δｎ１（ｘ，ｙ）
の値としては、マスターレンズの平均値を用いる。そし
て、この値からＰＶ値を求める（Ｓ１６）。ＰＶ値とし
てはいくつかの求め方が考えられるが、ここでは、１つ
の被検物内における上記の差分（Δｎｉ（ｘ，ｙ）−Δ
ｎ１（ｘ，ｙ））の最大値と最小値との差を求めること
によっている。そして求めたＰＶ値（最大値と最小値と
の差）を予め設定しているスレッシュレベルと比較し
（Ｓ１７）、スレッシュレベルより小さい被検物は、屈
折率分布のばらつきが小さいので良品（Ｓ１８）、大き
い被検物はばらつきが大きいので不良品と判断する（Ｓ
１９）。この良否判定方法は、屈折率の絶対値を求めな
くても判定可能な方法である。

【００３３】なお、測定時の試液Ｂの温度を測定する等
により、試液Ｂの屈折率を正確に求められば、その値か
らマスターレンズの屈折率の平均値やばらつきを絶対値
で求めることができる。マスターレンズの屈折率が求ま
れば、上述したガラスレンズの場合とほぼ同じ手順で他
の被検物Ａ２，Ａ３，Ａ４，Ａ５の屈折率の分布を絶対
値で求めることができる。

【００３４】図４は、干渉計にコモンパス型のシアリン
グ干渉計ＩＢを用いた実施例を示す図である。コモンパ
ス型の干渉計とは、干渉させる２つの光束が同じ光路を
通るタイプの干渉計のことである。

【００３５】光源１から射出されたレーザ光は、ビーム
エキスパンダ３によって光束径を拡大され、セル２１と
その中にセットされた被検物を透過して２枚の平行平板
４１，４２に入射する。そして、表裏の平行平板の隣接
した２面、すなわち、表側の平行平板４１の第２面（裏
面）と、裏側の平行平板４２の第１面（表面）とで反射
される。２枚の平行平板４１，４２の上記各面における
反射率を適当に設定することにより、表側の平行平板４
１からの反射光束ｃ（実線）と裏側の平行平板４２から
の反射光束ｄ（点線）とがほぼ１：１となるようにす
る。また、これら両反射光束ｃ，ｄの間には、光軸と直
交する方向に微小なずれができ、これによって両光束を
重畳すると、シアリング干渉を生じる。

【００３６】上記の微小なずれを調整するために、裏面
の平行平板４２には、ピアゾ素子等の電気−変位変換素
子４３が設けられ、平行平板４２を波長λ以下の単位で
移動できるようにしている。

【００３７】反射光束ｃ，ｄは重畳されてビームスプリ
ッタ１１に入射して２つの光束に分割される。そして、
一方は結像レンズ１３を経て干渉縞検出器１５へ、他方
は結像レンズ１２を経てモニター１４に達し、シアリン
グ干渉縞を結像する。

【００３８】上記実施例において、干渉計ＩＢでは、干
渉をする２つの光束ｃ，ｄが、２枚の平行平板４１，４
２のところでわずかに光路が相違するだけで殆ど同じ光
路を通過するので、振動に対して非常に安定したものと
なる。多数の製品を検査する場合等には、生産現場に近
い場所で測定する方が望ましいが、そのような場所は、
実験室に比べ、振動を受け易い場所にあることが多い。
しかし、上記のコモンパス型の干渉計を使用すれば、そ
のような場所でも安定した測定が可能となる。

【００３９】なお、本発明の実施例のように、コモンパ
ス型の干渉計をシアリング干渉計とした場合は、マハツ
ェンダ干渉計で形成される干渉縞と比較して干渉縞の間
隔を広くとることができる。したがって、被検物と試液
との屈折率の差が大きい場合、マハツェンダ干渉計では
縞が多すぎて分解能を超え、測定が困難になるような場
合でも、シアリング干渉計を用いれば、容易に測定でき
ることになる。

【００４０】図５は、マハツェンダ干渉計ＩＡとシアリ
ング干渉計ＩＢの双方を用いた実施例である。シアリン
グ干渉計ＩＢは、コモンパス型を使用しており、振動に
強いものとなっている。このような構成とすると、マハ
ツェンダ干渉計ＩＡでは、分解能の高い測定ができ、シ
アリング干渉計ＩＢでは分解能は低下するが、広い範囲
の屈折率についての測定が可能となるので、いずれか一
方を選んで使用することができる。さらには、両方の干
渉計を使用し、両方のデータを活用することによって、
さらに、高精度の測定が可能になる。

【００４１】

【発明の効果】以上に説明したように本発明によれば、
複数の被検物を屈折率がほぼ同一の試液内に入れて回転
させつつ干渉縞像を形成し、形成された干渉縞像の透過
波面を測定して被検物の屈折率分布を測定するので、複
数の被検物について一斉に測定ができ、被検物１つあた
りの測定に要する時間を短縮することができる。

【００４２】また、複数の被検物のうちの１つをガラス
レンズとすれば、他の被検物の屈折率分布を絶対値で測
定することができる。ガラスレンズの代わりにマスター
レンズを使用した場合でも、他の被検物の良不良を判断
したり、屈折率を絶対値で求めることができる。干渉計
に、コモンパス型の干渉計を用いると、振動のある場所
でも安定して測定できるようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の屈折率分布を測定する装置の要部構成
を示す断面図である。

【図２】被検物の１つにガラスレンズを用いた場合、他
の被検物の屈折率を絶対値で求めるためのフローチャー
トである。

【図３】被検物の１つにマスターレンズを用いた場合、
他の被検物の良否を判断するためのフローチャートであ
る。

【図４】コモンパス型の干渉計を用いた測定装置の構成
を示す図である。

【図５】マハツェンダ干渉計とコモンパス型のシアリン
グ干渉計を使用した測定装置の構成を示す図である。

【図６】従来の屈折率分布を測定する装置の構成を示す
平面図である。

【図７】ＣＴ解析の原理を説明する図である。

【符号の説明】

Ａ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４，Ａ５ 被検物 Ｂ 試液 ａ 参照波 ｂ 被検波 １ 光源 １７ 演算処理装置 ２１ セル ２２ 回転支持部

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 同一光源からの可干渉光を基準となる参
   照波と複数の被検物を透過する被検波とに分割し、上記
   複数の被検物を相対位置を変化させずに光軸と垂直な軸
   回りに回転させつつ参照波と被検波を重畳して干渉縞を
   形成し、上記干渉縞を解析することにより複数の被検物
   の屈折率分布を一度に測定する屈折率分布の測定方法。
2. 【請求項２】 上記複数の被検物を、屈折率が被検物と
   ほぼ等しい試液内に保持し、上記軸回りに回転させつつ
   干渉縞を解析することを特徴とする請求項１記載の屈折
   率分布の測定方法。
3. 【請求項３】 上記複数の被検物のうち少なくとも１つ
   が屈折率が既知のガラスレンズであることを特徴とする
   請求項１又は２記載の屈折率分布の測定方法。
4. 【請求項４】 上記被検物のうち少なくとも１つは屈折
   率の基準となるマスターレンズであることを特徴とする
   請求項１又は２記載の屈折率分布の測定方法。
5. 【請求項５】 上記屈折率が既知のガラスレンズの屈折
   率と上記試液の屈折率との相対屈折率を算出し、該相対
   屈折率から他の被検物の絶対屈折率を求めることを特徴
   とする請求項３記載の屈折率分布の測定方法。
6. 【請求項６】 上記マスターレンズ以外の被検物が、設
   計値が同一で屈折率分布が未知であり、上記マスターレ
   ンズの屈折率と比較又は差分演算を行うことにより、マ
   スターレンズ以外の被検物の屈折率分布を求めることを
   特徴とする請求項４記載の屈折率分布の測定方法。
7. 【請求項７】 同一光源からの可干渉光を基準となる参
   照波と被検物を透過する被検波とに分割し、参照波と被
   検波を重畳して干渉縞を形成する干渉計と、上記被検物
   を複数個固定し、光軸と直交する回転軸を中心に回動自
   在に保持する回転支持部と、複数個の被検物が固定され
   た該回転支持部を屈折率が被検物とほぼ等しい試液内に
   保持するとともに相互に平行な入射窓と射出窓とを有す
   るセルと、を有することを特徴とする屈折率分布の測定
   装置。
8. 【請求項８】 上記干渉計がコモンパス型の干渉計であ
   ることを特徴とする請求項７記載の屈折率分布の測定装
   置。