JPH10299644A - 集積回路のエポキシ樹脂封止用の吐出ポンプ - Google Patents

集積回路のエポキシ樹脂封止用の吐出ポンプ

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JPH10299644A
JPH10299644A JP10085154A JP8515498A JPH10299644A JP H10299644 A JPH10299644 A JP H10299644A JP 10085154 A JP10085154 A JP 10085154A JP 8515498 A JP8515498 A JP 8515498A JP H10299644 A JPH10299644 A JP H10299644A
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outlet
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fluid
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JP10085154A
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Alan Lewis
ルイス アラン
Eric L Austin
エル．オースティン エリック
Alec Babiarz
バビアーツ アレク
John Newbold
ニューボルド ジョン
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    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
    • B05C11/10—Storage, supply or control of liquid or other fluent material; Recovery of excess liquid or other fluent material
    • B05C11/1002—Means for controlling supply, i.e. flow or pressure, of liquid or other fluent material to the applying apparatus, e.g. valves
    • B05C11/1034—Means for controlling supply, i.e. flow or pressure, of liquid or other fluent material to the applying apparatus, e.g. valves specially designed for conducting intermittent application of small quantities, e.g. drops, of coating material
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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    • H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
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Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】高粘度の液体の吐出精度を上げる。 【解決手段】段差付きのプランジャー４４がポンプ室内
を軸方向に延在し、プランジャー４４の第１部分が第１
の方向シール３２を貫通する大きさであり、その第１方
向シール３２に位置合わせされている。プランジャー４
４は、移動可能であり、その第１部分が出口の方へ移動
して第２シール３４の所で内部容積を閉止する。プラン
ジャー４４の第２部分は、横断面寸法が第２シール３４
の内径よりもかなり小さく、ポンプ室の初期充填及び空
気抜き予備操作の間、ポートと協働して内部容積からの
流体の除去を促進する。充填及び空気抜き予備操作の後
に、プランジャー４４は、ポンプ室内の液体を確実容積
押し出しによってノズルから排出する。これは、材料の
粘度に無関係に、温度又は粘度の変化に無関係に、大流
体流量で高い繰り返し性でもって行われる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は液体の精密吐出に係
り、特にエポキシを吐出して集積回路を内部に封止する
為に適する吐出ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】集積回路の一部を内部に封止する為にエ
ポキシを吐出する場合のように微少量の液体を高精度に
吐出する場合には、液体の温度及び／又は粘度の変動に
かかわらず、吐出量の高再現性又は反復性を達成しかつ
維持することが重要である。或る分野にあっては吐出液
体は上述の変動に極めて敏感である。例えば、集積回路
の内部封止の場合には、エポキシ製造業者によって予混
合された後に冷却された二成分エポキシが通常使用され
る。このエポキシはその後、２〜３日以内に、場合によ
っては数時間以内に使用しなければならない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】典型的な吐出作業で
は、この種の内部封止用エポキシはかなり高い粘度を有
している。しかしながら、温度が変化すると、その粘度
も変動し易い。このような粘度変動は、特に容積式（確
実容積排出式）装置を使用してエポキシを吐出する場合
には、吐出量に影響を及ぼすことがある。吐出ストロー
ク・パラメータ、即ち往復運動行程、外力及び速度が決
定された場合、吐出量は粘度変動に伴って変化してしま
う。また、ポンプ装置からポンプ移送される液体内に空
気、即ち気泡が混入するといった別の問題も存在する。
容積式ポンプが押しのけストローク中に混入空気を圧縮
した場合には、押しのけストロークと吐出量との関係が
崩れてしまう。
【０００４】この種の樹脂封止用に使用される予混合の
二成分エポキシの大部分は、シリカのような研摩性充填
材料（ａｂｒａｓｉｖｅ ｆｉｌｌ ｍａｔｅｒｉａ
ｌ）を含有している。この研摩性充填材は、吐出装置を
著しく摩耗させて、吐出操作に悪影響を及ぼしたり、摩
耗部品の修理又は交換に起因して長期間の停止を余儀な
くさせる。この種の高精度吐出量を得るにはこれまでは
オーガー・ポンプを使用してきたが、典型的なオーガー
・ポンプの出力は、供給圧やニードル寸法や吐出流体の
粘度の変動に直接的に応じて変化してしまう。流体流量
及び粘度変化の影響は、適正なポンプ設計によって最小
化できるが、高度の較正（キャリブレーション）技術及
び弁操作の手動調整が必要となる。こうして、精度を保
ちながら最大質量流量を得るには、限界が存在する。
【０００５】本発明の目的は、かなり高粘度の材料の液
体吐出操作において、材料の粘度に無関係に高反復性で
もって大流量を吐出することである。本発明の他の目的
は、液体内での空気混入や粘度又は温度の変化に伴う種
々の問題を解決して、液体吐出の精度を向上することで
ある。本発明の更に別の目的は、二成分の予混合エポキ
シに典型的に使用されている研摩性充填材によって間接
的に生ずる悪影響、例えば作業停止時間を最小にするこ
とによって、集積回路の樹脂封止の精度及び生産能力を
向上することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上述の諸目的を
以下の手段によって達成する。即ち、ポンプ室内に段差
付のプランジャーを使用すると共に、２個のシールとこ
れらのシールの間に開放容積を設け、吐出操作の前に、
ポンプ室に充填された液体から空気又は混入気泡を除去
することによってポンプ室の空気抜き予備操作を行う。
この予備操作の後に、プランジャーを更に移動させるこ
とによって、真の容積押し出しがポンプ室の出口から外
方へ行われる。
【０００７】こうして、液体、特に樹脂封止用の二成分
エポキシの粘度又は温度に無関係に、二段差付きプラン
ジャーとシールとポンプ室との間の相互関係は、プラン
ジャーの移動により押しのけられる流体の量がポンプ室
から押しのけられる容積に等しくなることを、保証す
る。換言すると、これらの構成部品の配置は、ポンプ室
の充填及び予備操作後にプランジャーによってシールさ
れる内部室には、吐出されるべき非圧縮性流体のみしか
存在しないことを保証する。
【０００８】プランジャーは、ポンプ室内の液体材料中
に繰り返し押し込まれ、その材料をドット状に又は或る
長さで吐出するが、このような繰り返し吐出は、内部室
の再充填を必要とするまで、続けることができる。ピス
トンの駆動速度を制御することによって、１ショット中
に吐出される材料の量を、ピストンの下降駆動の時間に
よって正確に決定することができ、またピストン作動時
間を変えることによって、材料の吐出量を変えることが
できる。ピストンの直径は既知であるので、単位時間当
りの押しのけられる材料の量も既知であり、吐出される
材料の総量は簡単に計算することができる。出願人はサ
ーボ駆動の直流モータを使用してプランジャーの移動を
高精度に制御したので、プランジャーの移動をプログラ
ム化でき、これにより約３マイクロリットル（μｌ）〜
５００マイクロリットル（μｌ）の範囲、の吐出量、又
は１０００マイクロリットル（μｌ）もの吐出量を高精
度に得ることができた。
【０００９】本発明の好適実施例によると、吐出ポンプ
はポンプ室を具備し、このポンプ室は三位置、四方弁に
よって供給注入器と吐出ノズルとに接続されている。こ
の弁は自動的に、充填及び予備操作中には供給注入器を
ポンプ室に接続すると共に、吐出操作中にはポンプ室を
ノズルに接続する。ポンプ室は、吐出液体用の内部容積
即ち内部室を形成する周囲側壁と、内部室の一端部に位
置する出口とを具備する。ポンプ室は、出口に軸方向に
位置合わせされた段差付きのプランジャーを出口の反対
側に有し、このプランジャーは相対的に大径の第１部分
と相対的に小径の第２部分とを有し、この第１部分は第
２部分よりも出口から遠い位置に存在する。第１部分は
横断面形状が円形である。第２部分は、小径の円形とす
ることもできるが、横断面積が第１部分の横断面積より
も小さいならば円形以外の形状とすることもできる。駆
動機構は、好ましくはサーボ駆動の直流モータであり、
プランジャーの第１部分に作動的に接続され、プランジ
ャーをポンプ室内で軸線に沿って往復動させる。
【００１０】プランジャーは２個のシールを軸方向に貫
通して延在している。第１のシールは常時、プランジャ
ーの第１部分にシール状態で係合している。両シールは
プランジャーの第１部分の外径に対応した大きさの中央
貫通の通路を有する。第２のシールは第１シールと出口
との間に位置している。この第２シールは、側壁の肉厚
部によって形成される内側肩部によって支持されること
もできる。両シール間の軸方向空間は、開放容積を形成
し、側壁のポートはポンプ室の通気を許容し、これによ
って、初期充填操作中及びプランジャーの第１部分が実
際に第２シールに接触するようにプランジャーを出口の
方へ移動させるポンプ室予備操作中に、混入空気を排出
することができる。
【００１１】プランジャーと両シールとは協働して、予
備操作の間に混入空気を内部容積から除去して、この内
部容積内には吐出すべき非圧縮性流体のみを残存させる
ので、プランジャーを出口の方へ更に移動させることに
よって、ポンプ室から液体を確実に押し出すこと、即ち
真の液体確実押し出し排出が可能になる。こうして、比
較的大流量の場合でさえも、温度又は粘度の変化に無関
係に、微少量づつの多数回の繰り返し吐出が達成され
る。
【００１２】本発明の吐出ポンプはまた、研摩性充填材
を含有する粘性エポキシを吐出する公知の吐出の能力を
改良するものである。詳述すると、エポキシの流路は寸
法をかなり大きくすることができ、これによって流路詰
りの可能性を充分に小さくできる。また、流体接続部用
の構成部品として在庫の交換部品を使用できかつ比較的
単純な構造であるので、摩耗した構成部品を交換する必
要が生じた時にも、作業停止時間をできるだけ短くする
ことができる。ポンプ室についても、側壁やシールやピ
ストンは容易に入手できる部品であり、製造が簡単であ
り、及び／又は始動や切換時又は交換時の組立ても簡単
である。これらの特長のすべては、集積回路のエポキシ
樹脂封止時の利点となる。
【００１３】本発明の上述した特長及びその他の特長
は、以下の詳細な説明及び図面から更に容易に理解でき
るであろう。
【００１４】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の第１の好適実施
例に従った集積回路の樹脂封止用のエポキシを高精度に
吐出する吐出ポンプ１０を示す。この吐出ポンプ１０は
供給用の注入器、即ちカートリッジ１２を具備し、この
注入器１２はエポキシをピストン１３や空気圧などによ
る圧力下で、隣接取付されたポンプ室１４に供給する。
このポンプ室１４は液体を弁１６を介して吐出ノズル１
８に送出して、この送出された液体はその吐出ノズル１
８から、支持体２２上に載置された集積回路２０に向か
う。尚、この支持体２２は方向矢印２４によって示した
ようにノズル１８に対して相対移動するようにしてもよ
い。カートリッジ１２は、所望量のエポキシを所望の圧
力で供給する任意の従来のカートリッジ形のものを使用
することができる。このようなカートリッジの典型的な
容積は約３〜１８０立方センチメートルの範囲内であ
る。エポキシをポンプ室１４に供給する典型的な空気圧
は約５０〜８０ｐｓｉ（３．５２〜５．６２ｋｇ／ｃｍ
2）の範囲内である。
【００１５】上述のように、集積回路の樹脂封止用に典
型的に使用されるエポキシは、研摩性の充填材、通常は
シリカを含有する予混合の二成分エポキシである。この
エポキシは、典型的には供給器によって予混合（事前混
合）され、それから冷却されてエンドユーザ（最終使用
者）に輸送される。この輸送後は、エポキシは数日以内
に、或る場合では数時間内に使用されなければならな
い。また、このエポキシは、シリカを含有する為にこの
種の吐出装置にとって特に、研摩性又は摩耗性である。
更に、エポキシは、温度に敏感である為に粘度が変化し
易い。
【００１６】本発明の吐出ポンプ１０は、正真正銘の容
積式ポンプであり、材料粘度に無関係に液体２５を大流
量で多数回繰り返し送出できるように設計されている。
ポンプ室は堅い側壁２６を有し、この側壁２６は出口２
８と内部容積３０とを形成する。尚、この出口２８は好
適実施例では内部容積の鉛直方向の底に位置している
が、その他の方向であってもよい。側壁２６の材料は好
ましくは、表面仕上げされた陽極酸化アルミニウムであ
るか、又はその他の任意の堅い同等の材料である。ポン
プ室１４は第１の方向シール３２とこのシール３２から
軸方向に離間した第２の方向シール３４とを有し、両シ
ール３２，３４の間に開放の容積３６を形成している。
これらのシール３２，３４は好ましくは、ポリイミドの
ような熱可塑性材料である。ポンプ室１４の側壁２６に
設けられたポート３８は流体出口ライン４０に連通し、
このライン４０を流れる流体は弁４２によって制御され
る。
【００１７】プランジャー４４は、ポンプ室１４の中心
軸に沿って支持され第１の方向シール３２及び第２の方
向シール３４を貫通して延在し、出口２８及びノズル１
８に位置的に一致している。プランジャー４４は段差付
き形状であり、相対的に大径の第１部分４６と相対的に
小径の第２部分４８とを有する。プランジャー４４は好
ましくはステンレス鋼であるが、側壁２６の場合のよう
に任意の適当な堅い同等の材料、例えば機械加工可能な
プラスチックを使用することができる。図１において、
第１部分４６は第２部分４８の上方に位置している。第
２部分４８の直径は第２の方向シール３４の内径よりも
小径である。即ち、第２部分４８の横断面の大きさは、
内部容積３０と開放容積３６との間を流体が流通できる
ように定められている。第１部分４６の外径は、第１及
び第２の方向シール３２，３４の内径と少なくとも同径
か、好ましくはわずかに大径であり、これによって、吐
出作業中に流体が開放容積３６に流入したりそこから流
出することを防止する。
【００１８】段差付きのプランジャー４４が内部容積３
０内の液体２５、好ましくは上述した二成分エポキシ内
を通って下降移動すると、液体２５は、ポンプ室１４か
ら、出口２８と弁１６とノズル１８とを通って押し出さ
れ、その後にそのノズル１８から外へ流出して基材２０
に向う。プランジャー４４の移動は好ましくはｄ．ｃ．
（直流）サーボ駆動モータ４５によって制御される。
【００１９】弁１６は好ましくは、Ｍｅｄｅｘ社がＭｏ
ｄｅｌ Ｎｏ．Ｂ１９３４−１Ｌの名称で販売している
タイプの三位置、四方弁である。この弁１６は、四方の
回転弁であり、スイッチ５０のトグル動作によって選択
的に、内部容積３０をノズル１８に接続するか、又は内
部容積３０を供給注入器１２に両者間の導管５２を介し
て接続することができる。
【００２０】好ましくは、ノズル１８はプラスチック・
ケース５６内に締まりばめ（密嵌合）された円筒状先端
部５４を有し、この先端部５４は、吐出業界、特に医療
装置に関する吐出業界では周知であるように、好ましく
はＬｕｅｒ形の係止接続器５８を介して弁１６に接続し
ている。同様に、第２のＬｕｅｒ形の係止接続器５９は
弁１６とポンプ室１４との間に配置され、更に、第３の
Ｌｕｅｒ形の係止接続器６０は導管５２を弁１６に接続
し、第４のＬｕｅｒ形の係止接続器６２は注入器１２を
導管５２に接続する。
【００２１】注入器１２とポンプ室１４とを、又はポン
プ室１４とノズル１８とを選択的に接続する為に弁１６
のスイッチ５０を好適の方法で動かす為に、本発明は或
る形状の接続器、即ちアダプター６４を有し、この接続
器６４は弁１６のスイッチ５０の形状と相補関係にある
内部凹部を有する。接続器６４は機械部材６６を介し
て、空気シリンダー又は電気ソレノイドのような或る種
の制御可能なアクチュエータに接続している。このアク
チュエータを選択的に制御することによって、接続器６
４とこれに保持されたスイッチ５０とは二つの選択され
た位置の間を前後にトグル移動して、弁１６を流通する
流体の流れを制御する。
【００２２】図２は本発明の第２の好適実施例に従った
プランジャー１４４の側面図を示したものであり、第１
部分１４６は図１に示したプランジャー４４の第１部分
４６と同一である。しかしながら、プランジャー１４４
の第２部分１４８は横断面の寸法が異なっており、図３
に明示したように長手方向に延在した四つの対称配置の
開口部分１４９を有する。
【００２３】吐出ポンプ１０の動作を述べると、予混合
された二成分エポキシで満たされたカートリッジ即ち注
入器１２は、第４のＬｕｅｒ係止具６２に取り付けられ
る。弁１６が注入器１２とポンプ室１４との間の流通を
許容するように開放された状態において、ピストン１３
が駆動されるか又は空気圧が注入器１２の内部に供給さ
れる。その圧力は典型的には５０〜８０ｐｓｉ（３．５
２〜５．６２ｋｇ／ｃｍ2）のオーダであり、これによ
りエポキシが導管５２と弁１６とを通って内部容積３０
内に流入し、好ましくは内部容積３０を充填する。もし
空気圧が使用された場合には、注入器１２への空気圧は
空気供給ポート（不図示）及び加圧空気供給部（不図
示）を介して供給される。
【００２４】図４に示すように、内部容積３０をエポキ
シで初期充填する間、弁１６は注入器とポンプ室１４と
の間を開放に保持し、また開放容積３６に連通した弁４
２も開放に保たれるので、流体は内部容積３０から外方
へ流出し、これにより容積３０が非圧縮性流体で完全に
充填される。この内部容積３０の完全充填は、充填の時
間によって又はポート３８から流出する液体２５の視覚
検出によって、測定又は決定され、この完全充填後に、
プランジャー４４が下降移動されて第１部分４６が第２
の方向シール３４内に入る。このプランジャー４４の移
動はポンプ室１４を予備操作し、これにより内部容積３
０が空気の混入なしに、非圧縮性エポキシ液体２５で完
全に満たされる。その後に、弁１６のスイッチ５０が移
動されて内部容積３０とノズル１８との間の流体接続を
開放する。その後に、プランジャー４４が出口２８の方
へ更に移動すると、所定量の流体２５が内部容積３０か
ら出口２８を通って押し出される。プランジャー４４の
制御は好ましくはｄ．ｃ．サーボ駆動モータ４５によっ
て行われ、これにより、高精度の制御が行われ所定量の
液体を繰返し吐出することができる。
【００２５】この吐出ポンプ１０は、支持体２２上に載
置されている基材２０上の集積回路を樹脂封止する為に
特に適する。これは、典型的には方向矢印２４によって
示されたように、支持体２２に対する吐出ポンプ１０の
相対移動の間に行われる。この相対移動は、吐出ポンプ
をロボット（不図示）に取付けることによって、又はコ
ンベアのように支持体をノズル１８の所を通過させるこ
とによって行うことができる。
【００２６】好ましくは、吐出ポンプ１０の各構成部材
は、自動化方法によって互いに関連的に制御される。
尚、この制御は、供給注入器１２内の液体２５に供給さ
れる空気圧又は外力や、接続器６４とそれに保持された
スイッチ５０との移動を制御する空気シリンダーの操作
や、初期充填中に内部容積３０を通気する為の弁４２の
開閉や、多分最も重要な制御である、ポンプ室１４に対
するプランジャー４４の往復移動である。
【００２７】典型的には、再充填操作の再開前に、５０
個もの部品又はそれ以上の部品を、プランジャー４４の
同数回の下降移動によって樹脂封止することができるで
あろう。ポンプ室１４を再充填する為には、弁１６が注
入器１２とポンプ室１４とを相互接続するように閉弁さ
れ、図１に示したようにプランジャー４４の大径断面４
６が方向シール３４よりも下方に存する位置までプラン
ジャー４４が引っ込められる。液体２５が再び内部容積
３０内に送り込まれ、その内部容積３０を所望レベルま
で再充填する。内部容積３０内に再充填された液体２５
の量は、好ましくはプランジャー４４が上記引込み前に
占めていた容積に一致するように制御される。この再充
填操作の後にはポンプ予備操作は不要であり、ポンプ予
備操作は新しいカートリッジ１２によって初期充填する
際にのみ必要である。所望の場合には、プランジャー４
４の引込み動作とカートリッジ１２からの液体２５の再
充填動作とは同時に起こり、かつ制御されるようにして
もよい。
【００２８】本出願人が本発明を使用したところ、１セ
ンチポイズの粘度の液体を間欠吐出した際、滴下が全く
無かった。本発明は１センチポイズ〜１Ｍセンチポイズ
の粘度を有する液体と共に使用する為に適するものであ
る。本発明は、０．００６ｃｃ／秒〜１ｃｃ／秒の範囲
の流量で吐出した時に高精度を達成でき、０．００２ｃ
ｃ〜２ｃｃの範囲のショット・サイズで精度が１％より
ももっと良好である。
【００２９】本発明の好適実施例を説明してきたが、当
業者であれば本発明の範囲から逸脱することなく、上記
好適実施例から種々の変形例を考えることができる筈で
あるので、上記好適実施例は単なる例示として理解され
るべきである。例えば、シールとプランジャーとは流体
密シールを確保できるならば、シールの中央通路の横断
面形状及びプランジャーの大径部の外形状は、円形であ
る必要はない。こうして、開示及び記載された実施例
は、本質的に例示としてみなされ、本質的限定を加える
ものではない。出願人は添付の特許請求の範囲のみによ
って限定されることを希望するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の好適実施例に従った吐出操作中
の吐出ポンプを示した断面概略図。
【図２】本発明の第２の好適実施例による段差付きのプ
ランジャーを示した斜視図。
【図３】図２の段差付きのプランジャーの底面図。
【図４】ポンプ室の初期充填操作を示した図１と同様の
断面図。
【符号の説明】
１０ 吐出ポンプ １４ ポンプ室 ２５ 液体 ２６ 側壁 ２８ 出口 ３０ 内部容積 ３２ シール ３４ シール ３８ ポート ４４ プランジャー ４６ 第１部分 ４８ 第２部分
フロントページの続き (72)発明者 エリック エル．オースティン アメリカ合衆国．92014 カリフォルニア, デル マー，パインウッド ドライヴ 14210 (72)発明者 アレク バビアーツ アメリカ合衆国．92024 カリフォルニア, エンシニタス，バーガンディ ロード 1544 (72)発明者 ジョン ニューボルド アメリカ合衆国．92120 カリフォルニア, サンディエゴ，アパートメント シー11, レザヴォイア ドライヴ 5494

Claims (18)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 内部容積を形成する周囲側壁とそれの一
    端部に位置する出口と上記側壁に形成され上記出口から
    離間したポートとを有するポンプ室と、 上記ポンプ室に配置された一対のシールであって、上記
    両シールの間に開放容積を形成するように上記ポートの
    両側に位置すると共に、互いに位置的に整合した通路を
    夫々有する一対のシールと、 上記両シールの上記通路を貫通延在するように上記ポン
    プ室内に取付けられると共に、上記出口に接近及び離れ
    る方向に往復動可能なプランジャーと、 を具備し、 上記プランジャーは、上記両シールの各々の上記通路内
    に存する時にその通路と流体密シールを形成する大きさ
    の第１部分と、上記第２のシール内に存する時に上記第
    ２のシールの両側の間で流体の軸方向流通を許容するよ
    うに上記第２のシールの上記通路よりも小さい横断面積
    を有する第２部分とを具備し、これによって、上記内部
    容積が吐出されるべき液体で充填されかつ上記プランジ
    ャーが上記第１及び第２のシールの所で流体密シールを
    形成するように上記両シールを貫通延在する状態におい
    て、上記出口の方へのプランジャーの更なる移動が上記
    出口を介しての液体の外方への確実容積排出を行うこと
    を特徴とする液体吐出機。
  2. 【請求項２】 上記ポンプ室は形状が円筒形であり、上
    記側壁はほぼ円筒状の内部容積を形成することを特徴と
    する請求項１に記載の液体吐出機。
  3. 【請求項３】 上記側壁は肉厚部を有し、上記肉厚部は
    その終端部が肩部に至り、上記第２のシールは上記肩部
    に当接支持されることを特徴とする請求項１に記載の液
    体吐出機。
  4. 【請求項４】 上記両シールの上記通路は上記出口と軸
    方向に位置的に整合していることを特徴とする請求項１
    に記載の液体吐出機。
  5. 【請求項５】 上記両シールの上記通路と上記プランジ
    ャーの上記第１部分の外周囲は、横断面が円形であるこ
    とを特徴とする請求項１に記載の液体吐出機。
  6. 【請求項６】 上記プランジャーの上記第２部分も横断
    面が円形であることを特徴とする請求項５に記載の液体
    吐出機。
  7. 【請求項７】 上記プランジャーの上記第２部分は横断
    面が十字形状であることを特徴とする請求項５に記載の
    液体吐出機。
  8. 【請求項８】 内部容積を形成する堅い周囲側壁と上記
    内部容積の第１端部に位置する出口とを有するポンプ室
    と、 上記第１端部の反対側の第２端部において上記ポンプ室
    に取付けられた一対のシールであって、上記両シールの
    間に開放容積を形成するように互いに離間配置されると
    共に中央通路を夫々有する一対のシールと、 上記側壁によって形成された上記ポンプ室のポートと、 上記出口と軸方向に整合するように上記ポンプ室に支持
    され、上記両シールの上記中央通路を軸方向に貫通延在
    すると共に、上記第１シールの上記中央通路をシール状
    態で貫通延在できる大きさの第１部分と横断面積が上記
    第１部分より小さい第２部分とを有するプランジャー
    と、 上記プランジャーを上記出口の方へ及びそこから離れる
    方へ往復駆動するように上記プランジャーに作動的に接
    続された駆動機構と、 を具備し、 吐出すべき液体によって上記内部容積を充填した後に、
    上記プランジャーの上記第１部分が上記第２シールの内
    側に着座するまで上記プランジャーを上記出口の方へ移
    動させることによって、上記ポンプ室の空気抜き予備操
    作を行い、これによって、上記出口の方への上記プラン
    ジャーの更なる移動が上記出口を介しての外方への液体
    の確実容積排出を行うことを特徴とする液体吐出機。
  9. 【請求項９】 上記ポートに作動的に接続された出口ラ
    インと、上記出口ラインに沿って配置され、上記開放容
    積の大気への通気及び閉止を選択的に行う弁とを更に具
    備することを特徴とする請求項８に記載の液体吐出機。
  10. 【請求項１０】 上記出口に作動的に接続された接続器
    弁と、上記弁に作動的に接続された吐出ノズル及び供給
    カートリッジとを更に具備し、 上記弁は、上記ポンプ室の充填操作及び空気抜き予備操
    作の為に上記供給カートリッジと上記ポンプ室とを互い
    に流体連通状態に置くように操作され、また吐出操作の
    為に上記ポンプ室と上記吐出ノズルとを互いに流体連通
    状態に置くように操作されることを特徴とする請求項８
    に記載の液体吐出機。
  11. 【請求項１１】 上記接続器弁は手動操作スイッチを備
    えた回転弁であり、 上記スイッチと相補的な形状を有し、上記三方の回転弁
    を自動化された作動機構に連結するアダプターを更に具
    備することを特徴とする請求項１０に記載の液体吐出
    機。
  12. 【請求項１２】 上記駆動機構はサーボ駆動の直流モー
    タであることを特徴とする請求項８に記載の液体吐出
    機。
  13. 【請求項１３】 集積回路をエポキシで封止する方法に
    おいて、 支持体に配置された集積回路に対して吐出ポンプを相対
    的に移動するステップを具備し、上記吐出ポンプは、内
    部容積を有するポンプ室と、周囲側壁によって形成され
    る内部容積の出口とを有し、上記内部容積は吐出される
    べきエポキシで充填されかつ上記出口の反対側において
    シールとプランジャーとによって閉塞され、上記プラン
    ジャーは上記シールを流体密状態で貫通延在し、上記出
    口に近い方の上記プランジャーの端部は小さな横断面寸
    法を有し、 上記内部容積の流体密状態を保持しながら上記プランジ
    ャーを上記出口の方へ移動することによって、上記エポ
    キシを上記ポンプ室の上記出口から上記集積回路の方へ
    吐出するステップを具備することを特徴とする方法。
  14. 【請求項１４】 以下の吐出方法、即ち間欠的な滴下吐
    出方法と間欠的な流れ吐出方法との少なくとも一方の吐
    出方法を行うように上記プランジャーの移動を選択的に
    制御するステップを更に具備することを特徴とする請求
    項１３に記載の方法。
  15. 【請求項１５】 吐出操作の前に、上記プランジャーの
    上記端部が上記シール内に位置するように延在して上記
    シールの両側の間での流体の流通を許容する状態におい
    て、弁を介した供給注入器からのエポキシによって上記
    ポンプ室の上記内部容積を充填するステップと、 上記端部が上記シールを通過するように上記プランジャ
    ーを上記出口の方へ移動して上記プランジャーの相対的
    大径部が上記シールの半径方向内部に存することによっ
    て、上記ポンプ室について空気抜き予備操作を行い、こ
    れによって、上記内部容積に流体密状態を形成して、吐
    出操作中において上記出口の方への上記プランジャーの
    更なる移動が上記出口を介した液体の確実容積排出を行
    うことを特徴とする請求項１３に記載の方法。
  16. 【請求項１６】 上記内部容積から上記シールを通って
    来た流体を、上記ポンプ室のポートを介して大気中に排
    出するステップを更に具備することを特徴とする請求項
    １５に記載の方法。
  17. 【請求項１７】 弁を制御して、上記充填操作及び空気
    抜き予備操作の間は上記ポンプ室を上記供給注入器に作
    動的に接続すると共に上記吐出操作の間は上記ポンプ室
    を上記吐出ノズルに作動的に接続するステップを更に具
    備することを特徴とする請求項１５に記載の方法。
  18. 【請求項１８】 上記プランジャーの上記相対的大径部
    は他のシールを貫通延在し、上記他のシールは上記出口
    の反対側に上記シールから離間し、 上記吐出操作と上記充填操作と上記空気抜き予備操作と
    の間、上記プランジャーの上記相対的大径部と上記他の
    シールとの間に流体密状態を保つステップを更に具備す
    ることを特徴とする請求項１５に記載の方法。
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