TW382794B - Dispensing pump for epoxy encapsulation of integrated circuits - Google Patents

Description

經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（1 ) 發明領域 本發明係關於液體精確的施配，且更關於一種用環氧樹 脂密封積體電路之施配泵。 發明背景 在施配微小精確數量的液體（如環氧樹脂）至積體電路的 包封部份時，最重要的是施配數量要能高度重複地維持達 成，雖然溫度及液體黏度的可能改變之情況下亦能維持達 成。在某些應用上，所施配的液體對上述改變極爲敏感， 例如，在包封積體電路時，通常使用兩種成份的混合環氧 樹脂，該環氧樹脂被環氧樹脂製造商所預混合，然後冷却 結凍，此後，該環氧樹脂必需在幾天内（在某些情數小時） 被使用。 在正常施配作業時，此種包封用的環氧樹脂具相當高的 黏度，然而，當溫度改變時，黏度亦隨之改變，黏度改變 會影響施配體積，特別是當正體積位移移裝置（positive volume displacement device)被用來施配環氧樹脂。對一已 知组的施配衝程參數（dispensing stroke parameter，即，位 移距離，力量及速率）而言，黏度的改變會更改該施配結 果。 另一問題係關於在液體内殘存 <有空氣或氧泡：而必須自 泵裝置排除。顯然，若在位移衝程期間，排量泵 (displacement pump)正在壓縮被殘存空氣時，位移衝程 (displacement stoke)及施配體積之間的關係會被畸變。 此種包封用的預混合兩成份環氧樹脂中大部份者含有耐 -4- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -—^—^1 ί ·1^ϋ 1 m^i mtmlt m^i ^ I «^^^1 I I \ ， 一"-^、1 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 ________ B7 五、發明説明（2 ) 磨填料（如二氧化碎），純耐磨填料會不良地磨損該施配 裝置，而再惡化損壞該施配作業，及/或影響最終過度下荷 時間（excessive d〇Wntime)，因爲需要修復或更換受損元 件0 過去已使用鑽泵(auser pump)，以進行此種精確數量的施 配作業，一般鑽泵的輸出直接會随著施配流體黏度、針大 小及供給壓力的改變而改變。設計出適當泵，能將黏度改 變及流體流速之效應降低至最小的影響效應，使用先進校 準技術，及用手調整閥爲必要的，因此，能維持精確度之 情況下，不能將可能的質量流速調至最大値。 發明概要 本發明的目的是在配置相當高黏度材料液體時，方高流 速下且與材料之黏度無關之情況下、所施配體積能達3高 度之重複性。 本發明的另一目的是改進在施配液體時的精確度，方法 是解決亨'氣氣泡.〜及/或液气聲度或、溫之t.改變0埤成多問 本發明的再一目的是在包封積體電路時改良精確度及性 月匕谷1 ’方法藉將不良影響（如下荷時間）的效應減至最 小，該下荷時間係直接源自耐磨填料，該耐磨填料通常用 在兩成份預混環氧樹脂。 本發明藉使用一泵客内階面柱塞（stepped plunger)及使用 兩密封件及在其間的開放體積（open volume)而達成上述目 的’以將泵室（pUmping chamber)活動地啓動，啓動是自液 體（在施配之前填滿泵室的液體）中移除任何空氣或殘存 -5- 本紙張尺度適用中g®家標準( CNS ) Λ4規格（210X297^^1 " " '~〜 --------'**------訂 (請先閱讀背面之注意事項再填蹲本頁} 經濟部中央榡準局員工消費合作社印製 A7 ---------B7 五、發明説明（3 ) 氣泡。在泵室啓動之後，柱塞的進一步移動會導致自泵室 的出口向外眞正容量排量（true volume displace:ent)。 因此，不論液體的黏度或溫度大小爲何（特別是液體爲包 封用的兩成份環氧樹脂），兩階面柱塞及密封件及泵室之間 的相互關係能維持流體（被向前移動的柱塞所移位排量的體 積）的體積等於自泵室所排量的體積，換言之，在填滿泵室 且將泵室啓動之後，此些元件的配置方式能確保被柱塞所 密封的内室（internal chamber)只含有不可壓縮的流體（要被 施配）° 柱塞可重複地進入該泵室内的液體材料内，以一直施配 點滴狀或不同液流狀的液體材料，直到内室需要再填滿爲 止。以控制速率下驅動活塞，在射出期間所施配液體材料 的體積能在改變活塞被引動的間時之下，控制向下驅動的 活塞的間時數量而能精確地測定出材料體積，因而，能施 配各種不同體積的液體材料。因爲活塞的直徑爲已知的大 小，每單位時間下所施配的液體材料的數量爲已知的，因 而能輕易計算出所施配液體材料的總體積。申請人已使用 一伺服驅動直流馬達，以能精準控制柱塞的移動，柱塞的 移動爲可程式化控制，以精確地施配出理想體積的液體材 料，該理想體積在3微升至500微升（甚至1〇〇〇微升\之 間。 依據本發明一具體實例中，施配泵包含一泵室，該泵室 經由一三定位四向閥可操控地連接至一供給注射筒及—2 配喷嘴’該四向閥係被自動控制，以在填滿及啓動期間用 -6- 紙張尺度適用中國國家標準（CMS ) A4規格（2丨0X2W公H ---- --------1' 裝------訂------ί (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 經濟部中央標準局I,貝工消費合作社印製 五、發明説明（4 =主k接該（、紇/主射茼，且在施配期間用噴嘴連接該泵 室。該系室具有-園繞側壁，其定義-内部體積或内部 罜’供施配液體之用，該側壁上具有一位在其〆端的出 在出口相對側上且與出口轴向上對準處，該篆室包含 有h面柱塞’在出σ的遠處的柱塞上具有—相當大的第 口 IM/J ’其上另有一較小的第二部份。該第一部份具有圓 料橫截面。日陷部份可爲圓形1具有較小的直徑，或 可屙任何其他形狀，只要橫截面面積是,】、於第一部份的橫 截面面積’―驅動機構（較好是伺服驅動直流馬達）可操控 ㈣Μ柱塞㈣―部❾’以使得柱塞纽室中沿著軸往 復的來回移動。 ^軸向上輯塞延伸通過兩密封件，該第—密封件通常 以f封方式與柱塞的第-部份鳴合。兩個密封件皆具有許 多穿通其間的中央通道，該中央通道具有適當的大小，以 對應至g的第-部份的内# H封件是位在第一密 料=口之^其被—内肩部所支撐，該内肩部是被側 壁域所疋義。在兩密封件之間的轴向間隔内定義— w ’料與外面之間通氣 排氣’以在最初填滿期間及合妊 月冋夂田枉塞向出口移動時的泵室啓 動期間内，殘存的空氣能被排放至外面，在啓動期間，將 柱塞的罘一邵份最終與第二衮封件接觸。 因爲柱塞與密封件相互合作，以在啓動 自内部體積移除，此後，在内部體積内只存留有不；壓： 的氣體，《的進-步向出口移動會使得流體自栗室 --------f 裝--------^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) _

經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 , ~· __ - - 五、發明説明（5 ) 貫正的位移而被排放出來。因此’即使在相當高流速下。 與溫度變化及黏度改變無關的情況下，可多次重複地施配 出相同微小數量的液體。 本發明之施配泵亦改良先前技藝的施配器，係改良藉耐 磨填料施配黏性環氧樹脂的能力，更詳細言之，可將環氧 樹脂流動通道大小加大，以使得阻塞（clogging)的潛在可能 性降低至最小。此外，由於構造相當簡單，且使用流體連 接用架下可更換元件（off-the shelf replaceable component) ’以當需要更換損壞元件時將下荷時間降低至 最小値。至於泵室、側壁、密封件及活塞亦易於可用手接 控到，且其結構相當簡單，便於製造，且/或在開動時易於 组裝、更換元件。所有此些特徵在用環氧樹脂包封積體電 路時可獲致優點。 本發明的此些及其他特徵在看過下文詳細說明及附圖後 可更易於了解。 圖式簡單説明 圖1爲剖面示意圖，説明依據本發明第一較佳具體實例 的施配中的施配泵。 圖2爲圖1中沿著線2 _ 2剖下的剖面圖。 圖3爲依據本發明第二具體實例的階面柱塞的側視圖。 圖4爲相似於圖1的剖面圖，顯示泵室最初被填滿。 圖式詳細説明 圖1顯不本發明第—較佳具-體實例的施配泵1 0，該施配 录1 0 at*施配南精確數量的環氧樹脂，以包封積體電路，該 施配泵1〇包含—供给注射筒（或料筒（camidge) 12)，以藉 '舌塞1 〇或楮2氣壓力之壓力下供應環氧樹脂至相鄰安裝的 __ -8- 本纸張尺度適财加公楚-----一、 ^^1 / In mV ^ \^々 i l^n -1 n^— 一OJ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 五、發明説明（6 =自S1:經由—間16將液體傳送至施配喷嘴 丑Η邊知傳迗至—位在支 如方 牙物22上的積體電路20, 士万向“24所示，該支撐物22可相對 為料同1 2可馬任何傳統料 、 夕 想體積的環氧樹脂。此種斜、、在理想壓力下供給理 方八八計 ㈣料同的—般體積爲約3至180立 万么刀。私％氣樹脂供應至泵室 約5〇_8〇psi。 戈至14内的所需的典型壓力在 二包封積體電路用的環氧樹脂是兩成份環氧樹 爲二氧切）預漏合，通常，供應商將 脂預混合’然後冷b接著運送至下游使用者， 二=數，内使用，且在某些情泥下數小時内要使用。 :J ―虱化矽’此環氧樹脂在此種型式施配裝置内特 J::。此外’由於該種環氧樹脂對溫度變化很敏感，會 改變其黏度。 Θ 本發明的施配泵1〇是眞正正拙旦石 關之情況下在高流速下“液:C料黏度無 災〇 ，傳达收體2 5數量的 重覆性很高。录室包含—堅固側壁26，_壁％定義― 出口 2S及内部體積3Q，在較佳具體實例中該出口 ^是 位在㈣體積的垂直底部’雖然亦可設計出其他方位。較 好用表面漆或任何其他堅固相容材肖，將側壁^電艘銘。 該泵室14包含有第一方向密封件32及第二方向密封件 3 4 ，該兩密封件彼此在軸向上相間隔，以在並間定義出〜 開放體積36。該密封件3 2, 3 4較好是熱塑性塑膠，如聚 亞胺（polyimide)。在泵室14的側壁26中的埠38與流體出 -9 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 訂 經濟部中央標隼局員Η消費合作社印製 本紙張尺度適用中國囷家標隼（CNS ) A4規格（210X 297公釐 〜---. A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作枉印製 五、發明説明（7 口線40連通，而沿著 控制。 出，、泉40流動的流體是用閥42來 柱塞4 4沿著泵室1*的中止 向密封件32及第二方二被支撐，延伸通過第-方 18對準。柱実44 。讀件34 ’且與出口 28及噴嘴 土 具有階面構形，係具有相當大直徑第一 邵份4 ό及相當小第一如^ ^ 好由不銹鋼所製成，：；；1雖然可與側壁26 -樣較 48之t，黛.口1中，弟—邵份46是位在第二部份 $二邵份48的直徑較第二方向密封件 =另-種方式，第二部份48的橫向㈣大小 ^ 流體=部體㈣及開放體積36之間流動。第—= 的外m>等於（且較好是難大於）第—方向密封件 及第二方向密封件3 4 , 内彳工，以防止在施配期間流體流向 開放隨積36及自開放體積36流動。 當階面柱塞44向下移動經過該包含在内部體積30内的 ㈣25(以如上所述的兩成份環氧樹脂）時，将液體2 泵至14移動排動，經過出口 28，通過閥16，經過嘴一 1 8 0且自嘴％向外排出而落向基板2 G，柱塞4 4移動時_ 好是被直流伺服驅動馬達45所控制^ .乂 閥16較好是由Medex公司型號第Bi934_iL出售的三^ 位四向閥’此閱！ 6是四向施轉閥，經由開關5 g的时節操 作（toggle operatl〇n)，可選擇將内部體積3〇與噴嘴以 互連通，或選擇經由在其間延伸的導管52將内部體積^ 與供给注射筒1 2相互連通。 一 裝 訂 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -10 本紙復尺度顧 210X297公釐） -濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（8 ) 噴嘴1 S較好包含有一圓柱形嘴稍（tip ) 5 4，該嘴稍5 4 是在塑膠殼體5 6内緊密地貼合，該嘴稍5 4較好經由Luer 鎖固互連件58與閥16相互連接，此爲施配工業上已知的 傳统技術’特別是關於醫療裝置的施配。相似地，第二 Luer鎖固互連件5 9是位在閥1 8及泵室14之間，第三 Luer鎖固互連件60將導管52與閥16相互連通，而第四 Luer鎖固互連件62將注射筒12與導管52相互連通。 移動閥1 6的開關5 0的較佳方式是能選擇性地將注射筒 12與栗室14互相連通’或選擇性地將泵室14與噴嘴18 互相連接’故本發明提供一成型配件（或配合件6 4 )，該配 件上具有一内部凹陷，該内部凹陷的形狀是與閥j 6的開關 5 〇的形狀互補3經由一機械構件6 6，該配件6 4可操控地 連接土某型式的控制用引動器（c〇ntr〇llable actuator)，如 氣動氣缸或電氣電磁開關（electrical s〇ien〇id)。選擇性地 棱制戎引動器，使得開關5 0持續在兩選擇位置之間來回反 復開啓或關閉，以控制流體流經閥1 6之流動。 圖2顯示本發明第二較佳具體實例的柱塞144之側視 圖，其中，第一部份140是等於圖1中所顯示柱塞44的第 —部份46。然而，柱塞144的第二部份148在截面大小上 不同，該第二部份148具有四個對稱配置的閱放段149， 如圖3所示沿著開放段149延伸，。 在操作施配泵10時，填滿該預混合兩成份環氧樹脂的料 筒或注射筒安裝至第四Luer鎖固互連件62上。將閥丨6打 開，以讓環氧樹脂在注射筒12及泵室14之間流動， -11- L, 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X297公釐） - -1 —--1 *m I m mi 11 --. { i - 二 1 0¾ ，v'° (諳先閏讀背面之注意事項再填寫本頁) Α7 Β7 il濟部中央榡準局負工消費合作祍印¾

五、發明説明（9 塞13被驅動’或在注射筒12上施加空氣壓力而流動，通 常在5…0 psi的壓力下’以使得環氧樹脂流經導管 52 ’經過間Η而流人該内部體積3G，較好填滿内部體積 W。右使用2氣壓力，經由空氣供给口 (未繪出)及壓縮空 氣供應器（未緣出），在注射筒12上施加空氣壓力 最初在内部體積3〇填滿環氧樹脂(如圖4所示），在注射 ^及^4之間保持打開狀態，而閥42(與開放體積w 中流體連通保持打開狀態，使得流體自内部體積 外流出，不可壓縮流體完全填滿内部體積3 _門 π查:流體25自心流出而測定出内部= =，柱塞44向下移動，以將第—部份4 位在弟二万向密封件34内，此柱塞44移動時會啓動 二，：用不可M環氧樹脂液體25填滿内部體積3〇 :而 /不殘存有生乳，然後，移動間1 6的開關5〇 仔流體㈣在内部體積3Q及喷嘴18之間流通連通，2 :::暴44進一步朝向出口 28移動，會使得流體25自 内邵體積3"動經過出口 28而正體積地排出。 ： 叫較好用直流伺服驅動馬達45)能高 & 施配，獲致高度可重複數量。 拉丄夜 此施配系1〇特別適於包封基板2〇上的積 板〇是位在支擇物22上。包封的作 ^ 摔物22的相對移動時進行，如方向箭：= 角1 8而芫成此相對移動。 -12- 210X297 公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁 裝 A7 A7 B? 五、發明説明（1〇 車又好地，以自動方式規劃施配I 10的元件之控制過程， 此k制過&包含该給至液體2 5 (在供應注射筒工2中）的力 f或空氣壓力，控制配件64之移動及開關5G控制的氣動 虱缸疋操作，將閩42打開或關閉，以在最初填滿期間排放 内—& 3 0内之氣體’及可能最重要的，柱塞4 4相對於 粟室14之反復來回移動。 在重新開始再％滿作業之前，相似數目的柱塞以的向下 夕動可G封同達5 0份以上。爲將泵室}4再填滿，關閉閥 16，以將注射筒12及栗室“相互連通，當柱塞44後退 和動至u，在此位置，柱塞44的大截面46是保持正 好在山封件。4之下’如圖！所示，液體25 ^驅動進入内 H以&其再填滿至理想的水平高度。再殖入内部 體積3〇的液體52的數量是被控制住，以在後退：前，與 柱塞4 4所佔體積匹A , 〜配在再％滿疋W不需要啓動，只在用 新料筒12最初填滿時需要。若柱塞44進行需求的後退及 自料筒12再填滿液體25時，需同時控制。 在使用本發明時，申請人已達成沒有滴液之情況下間歇 施配液體，該液體具有i厘泊（⑽啊㈣之黏度。本發明 亦、口使用黏度1 i i M厘泊的液體。本發明能精確地施 配，、流速在每秒0.006 cc至i cc，且喷出量在〇〇〇2“至2 C C之間’精確性比1 %還好。 雖然已描述本發明之較佳具體實例，應了解該具體實例 只是例，之用，因爲熟悉此技藝.之人士能知道對本發明進 行更改终多項目而不會偏離本發明之範圍。例如，密封件 1 裝 H 訂 f請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 -13- A7 B7五、發明説明（11 ) 的中央通道之橫截面形狀，柱塞之大部份之外形狀不需要 一定是圓形，只要在其間產生流體緊密密封效果。上述揭 露描述之具體實例應只視爲示範性而非限制性。申請人希 望用下列申請專利範圍限定。 -----I - --- I - -- - - - j I —^1: - — - lli - -ί、一^ !!---- .1 - - .....I — - ——I. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 4 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐）

Claims (1)

1. 、申請專利範圍 1. 一種液體施配器，其包括有： —泵室，具有一周邊側壁，以定義—内部體積，出口 位在其一端，及一在該側壁上形成的埠且與出口相間 隔； —對密封件，其位在泵室中，位在埠的相對側邊，以 在其間•定義出一開放體積，該密封件包含有對準用通 道；及 一枉塞，其安裝在泵室中，以延伸通過密封件的通 道，且可往復來回向出口移動或自出口移離，該柱塞包 含有第一部份及第二部份，該第—部份具有適當大小， :位在柱塞中時’每一密封件的通道會形成一流體緊密 密封，該第二部份具有較第一密封件的通道更小的橫截 面積，以當第二部份位在其中時，在第二密封件相對側 之間流體能軸向流動，使得内部體積填滿要被施配的液 體，且柱塞延伸通過密封件，以在第—及第二密封件處 开;^成流體緊密密封，柱塞進一步向出口移動，會使得、^ 體自出口向外正排出。 2·如申請專利範圍第1項所述之液體施配器，其中，該条 室的形狀爲圓柱形，且該側壁定義一般圓柱形内部體 積。 3. 如申請專利範園第1項所述_之液體施配器，其中，該侧 壁包含有一段厚度漸增之壁’該壁在肩部終止，第二密 封件抵住該肩部。 4. 如申請專利範圍第1項所述之液體施配器，其中，密封 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 Μ Β8 C8 DS 、中請專利範圍 件之通道與出口轴向對準。 5如申請專利範圍第1項所述之液體施配器’其中，密封 件的通道及柱塞第一部份之外緣是圓形的橫辣面。 6. 如申請專利範圍第5項所述之液體施配器，其中，柱塞 的第二部份亦是圓形的橫截面。 7. 如申請專利範圍第5項所述之液體旅配器，其中，柱塞 廉 的第二部份亦是橫截面的截面。 8. —種液體施配器，其包括有： 一泵室，其具有一堅固周緣側壁，以定義—内部體 積，及具有一出口，該出口位於内部體積的第一端； 一對密封件，其安装在泵室内位於其第二端處，該第 二端與第一端相對，且與位在其間的開放體積相間隔， 該側壁定義出系室用之卑，每一密封忤包含有一中央通 道； 一被支撐在泵室中的柱塞，該柱塞與出口轴向對準， 且軸向延伸通過密封件的中央通道，該柱塞包含有第/ 部份，該第一部份具有適當大小，以密封地延伸通過第 一密封件的中央通道，該柱塞另包含有第二部份，該第 二邵份的橫截面面積較第一部份爲小；及 一驅動機構，該驅動機構可操控地連接至活塞，以往 後來回地驅動活塞至出口及自出口移離，因而施 配的液體積填滿内部體積之後，柱塞向出口移動，直到 柱塞的第-部份座靠在第二密封件之内，以啓動泵室， 以致於當柱塞向出π進一步移叙砝 .. 7秒動時，使得液體向外移動 -16- ^纸張尺度賴中@家標準（CNS ) A4規格（210x1^^7 ----- n —I* i^— .^^1· n^— m tm ^ ι^ϋ HI tm —1— \· J - . ,¾ C請先聞讀背面之注意事項#填寫本 AS B8 C8 D8 广 * ·" - ♦ 申請專利範圍 經過口而正排出。 9.如申請專利範圍第8項的液體施配器，另包括有： 一出口線及一閥，該出口線可操控地連接至埠，而免 閥位在沿著出口線之方向上，以選擇性地將開放室排桌 至大氣及關閉。 1〇_如申請•專利範圍第8項的液體施配器，另包括有： 一連k閥及一施配喷嘴及供給料筒，該連接閥係可吞 控地連接至出口，該施配噴嘴及供給料筒亦可操控連名 至閥，可操控該閥，使得供给料筒與泵室内之流體相3 連通，以將泵室填滿及啓動，且亦被操控，以使得泵复 與施配噴嘴内流體連通，以供施配之用。 11.如申請專利範圍第10項的液體施配器，其中，連接閥是 具有一手控開關的旋轉閥，且另包括一配件，該配件= 形狀與開關互補，以將三向旋轉閥耦接至自動引動搞 械。 12_如申請專利範圍第8項的液體施配器，並 /、丁邊驅勳祸 構疋伺服驅動直流馬達。 13. —種用環氧樹脂密封積體.電路的^)，其包括有. 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 將施配泵相對於積體電路移動，該積體電路係在支撐 物上，該施配泵包含有一泵室及—出口，該泵室具有一 =體積，該出口被-周園側壁所定義，用^配黏結 的％氧樹脂填滿内部體積，相對於出口， i, ,, 嘴渴疋藉用一 沧封件及柱塞，該柱塞在流體緊密配置下延伸，出 口的柱塞的末端部份具有一變小的橫截面積；$t ___ - 17- 本紙張尺度適用t國国家標準（CNS ) ( 21〇><297公 8 S 8 8 Λ BCD 申請專利範圍 柱4向出口移動，將環氧樹脂自泵室的出口施配出 來而施配在積體電路上’同時維持内部體積的流體呈現 緊密情況。 H如申請專利範圍第1 3的方法，另包括有： 、U擇f生地虹制柱塞的移動，以在下列方式之至少一者 勺方式•下施配J果氧樹脂，間歇性滴流施配法及間歇性流 出施配法。 15·如申叫專利範圍第1 3的方法，另包括有： 姊在她配之七，經由一閥，自供給注射筒將泵室的内部 =積％滿5哀氧樹脂，而柱塞的末端部份可延伸地置放在 山封件中’以複流體在密封件的相對側邊之間流動； ，將泵罜啓動，係將柱塞向出口移動，以使得末端部份 私動通過拉封件，以使得炷塞的較大部份徑向位在密封 件中，因而在内部體積中產生流體緊密情況，當柱塞進 一步在施配期間向出口移動時，造成液體經由出口正 排出。 .、 16. 如申請專利範圍第15的方法，另包括有： 在流體自内部體積移動經過密封件時，經由泵室中的 埠排氣至大氣。 17. 如申請專利範圍第15的方法，另包括有： 在填料及啓動期間控制二閥，以用供给注射筒可操控 地連接泵室，且用於在該施配期間可操控地將泵室連接 至施配噴嘴。 18. 如申請專利範圍第1 5的方法，其中，該柱塞的較大部份 -18- 本纸張尺度適财國國家標準（匚阳）^^祕（21〇/297公釐）_ --;---------裝--------訂 (請先閏讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟·部中央標準局員工消費合作社印製 8 8 S 8 ABC0 六、申請專利範圍延伸通過另一密封件，該另一密封件與該密封件相間隔) 且在出口之相對側上，且另包括··在該施配，填料及啓動期間在該柱塞的較大部份及另一 密封件之間維持流體緊密狀態。 ^^^1 fm n^i ^m— I» ^^^^1 If— n^i— ml-*" . · 0¾ 、\=tl (請先閣讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局δΕΚ工消費合作社印製 -19- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐）