JPH10289576A - 半導体装置の内部降圧電源回路 - Google Patents

半導体装置の内部降圧電源回路

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JPH10289576A
JPH10289576A JP9093874A JP9387497A JPH10289576A JP H10289576 A JPH10289576 A JP H10289576A JP 9093874 A JP9093874 A JP 9093874A JP 9387497 A JP9387497 A JP 9387497A JP H10289576 A JPH10289576 A JP H10289576A
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voltage
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    • G05F1/10Regulating voltage or current
    • G05F1/46Regulating voltage or current wherein the variable actually regulated by the final control device is dc
    • G05F1/462Regulating voltage or current wherein the variable actually regulated by the final control device is dc as a function of the requirements of the load, e.g. delay, temperature, specific voltage/current characteristic
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 半導体装置の内部降圧電源回路に関し、内部
降圧電源電圧の電位を調整するためのヒューズ回路にお
けるDCパス電流を削減し、低消費電力化及び安定動作
を実現することを目的とする。 【解決手段】 制御電圧に応じた内部電源電圧VIIを
発生する回路14を有し、通常動作時用と試験動作時用
とにそれぞれ、制御電圧の電位を調整可能とするための
ヒューズ素子を用いた電位調整回路10,15を備え、
更に、それぞれ対応する電位調整回路の出力に基づいて
制御電圧の電位を制御する回路13,18を備え、通常
動作時用の電位調整回路10の電源に外部電源電圧VC
Cを用い、試験動作時用の電位調整回路15の電源に内
部降圧電源電圧VIIを用いるように構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置の内部
降圧電源回路に係り、特に、その内部降圧電源電圧の電
位を調整するためのヒューズ回路を用いた電源回路の構
成に関する。今日の半導体装置においては、ますます低
消費電力化が要求されてきており、ヒューズ回路で発生
するDCパス電流を限りなく0に近づけるための回路技
術が必要となってきている。しかし、従来知られている
電源回路では、その要求に必ずしも満足に応えていると
は言えず、改善の余地が残されている。そこで、かかる
要求を満足するための回路技術が要望されている。
【0002】
【従来の技術】通常、半導体装置においては、消費電力
の低減、酸化膜圧の耐圧改善、電源電圧の平坦化、外部
電源電圧の移行時期などといった目的から、外部電源電
圧をチップ内部で必要とする電源電圧に降圧して用いる
といったこと(つまり「内部降圧」)が一般的に行われ
ている。
【0003】図8には外部電源電圧(VCC)に対する
内部降圧電源電圧(VII)の特性の一例が示される。
図示の例は、外部電源電圧としてVCC=3.3Vを使
用した製品の場合を示したものである。VCC=3.3
Vを使用した製品の推奨動作範囲は、一般にカタログよ
りVCC=3.0V〜3.6Vの範囲とされている。し
かし、上述した目的より、チップ内部ではVII=2.
4Vで平坦(つまり一定)となるように制御された内部
降圧電源回路が実際には使用される。
【0004】一方、半導体装置においては、製品不良が
発生することは避けられない。これは、バスタブ・カー
ブなどからも知られるように、その不良時期において、
生産されてからすぐに出現するものと、長年経ってから
寿命により出現するものとの2つの形態に殆どが支配さ
れる。前者の形態を「初期不良」と称している。半導体
装置では、この初期不良を早期に取り除くための試みと
して、例えばバーン・イン(B.I.)試験等の加速試
験が行われる。これは、デバイスに対して苛酷な条件
(つまり、電圧が推奨動作範囲より高く、温度も高温と
いった状態で、長時間動作を行わせるといった条件)を
与えることにより、行われるものである。
【0005】図8の例では、VCC≧4Vの範囲を加速
試験領域としており、この範囲では内部降圧電源電圧
(VII)は、VII=2.4Vの平坦状態から解除さ
れ、外部電源電圧(VCC)に追従して高電位となるよ
うに制御される。以上に鑑み、従来知られている内部降
圧電源回路は、通常動作時用の電源電圧制御部と試験動
作時用の電源電圧制御部から構成されることが一般的と
なっている。図9にその一構成例が示される。
【0006】図9において、50は通常動作時用VII
電位調整回路を示し、プロセスアウト後にノードNの電
位に応じた内部降圧電源電圧VIIの電位を調整可能と
するためのヒューズ素子を用いたヒューズ回路51と、
該ヒューズ回路51におけるヒューズ素子の切断状態を
指示する情報をデコードするデコード回路52とを有し
ている。また、53はデコード回路52のデコード結果
に基づいてノードNの電位を制御する通常動作時用VI
I電位制御回路、54は通常動作時用VII電位制御回
路53の出力(ノードNの電位)に応答して内部降圧電
源電圧VIIを発生するVII発生回路を示す。
【0007】同様に、55は試験動作時用VII電位調
整回路を示し、プロセスアウト後にノードNの電位に応
じた内部降圧電源電圧VIIの電位を調整可能とするた
めのヒューズ素子を用いたヒューズ回路56と、該ヒュ
ーズ回路56におけるヒューズ素子の切断状態を指示す
る情報をデコードするデコード回路57とを有してい
る。また、58はデコード回路57のデコード結果に基
づいてノードNの電位を制御する試験動作時用VII電
位制御回路を示す。この試験動作時用VII電位制御回
路58の出力はノードNに接続されている。従って、V
II発生回路54は、試験動作時には、VII電位制御
回路58の出力(ノードNの電位)に応答して内部降圧
電源電圧VIIを発生する。
【0008】また、通常動作時用のVII電位調整回路
50及びVII電位制御回路53、試験動作時用のVI
I電位調整回路55及びVII電位制御回路58、並び
にVII発生回路54の回路電源として、それぞれ外部
電源電圧(VCC)が用いられている。この構成におい
て、ノードNの電位は、通常動作時用及び試験動作時用
の各VII電位制御回路53,58の出力によって決定
される。しかしながら、プロセス変動などといった好ま
しくない状況で製品が作られた時、大抵の場合は、目標
としていたVII電位制御用の電圧(ノードNの電位)
を出力することができなくなってしまうことになる。
【0009】そこで、プロセスアウト後にこのVII電
位制御用の電圧(ノードNの電位)の調整を行えるよう
にするために、上述した通常動作時用VII電位調整回
路50及び試験動作時用VII電位調整回路55が設け
られている。すなわち、通常動作時においては、VII
電位調整回路50内のヒューズ回路51における各ヒュ
ーズ素子を適宜切断状態とし、このヒューズ素子の切断
状態を指示する情報をデコード回路52によってデコー
ドし、このデコード結果に基づいて、VII電位制御回
路53によりノードNの電位を調整することが可能とな
る。
【0010】同様に、試験動作時においては、VII電
位調整回路55内のヒューズ回路56における幾つかの
ヒューズ素子を切断状態とし、これらヒューズ素子の切
断状態を指示する情報をデコード回路57によってデコ
ードし、このデコード結果に基づいて、VII電位制御
回路58によりノードNの電位を調整することができ
る。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】上述したように従来の
内部降圧電源回路では、プロセスアウト後にノードNの
電位(つまり内部降圧電源電圧VIIの電位)を調整可
能とするためのヒューズ回路51及び56が用いられて
いるため、各ヒューズ回路ではヒューズ素子を通してD
Cパス電流が発生してしまう。今日、低消費電力化が進
む中で、このDCパス電流の値は、カタログで許容され
た電流値に比べて無視できない大きさとなってきてお
り、問題となっていた。
【0012】また、従来技術では内部降圧電源回路を構
成する回路の全ての電源に外部電源電圧(VCC)が使
用されているため、上記の問題点は一層顕著に現れる場
合もある。すなわち、この回路構成においてヒューズ回
路における各ヒューズ素子の切断状態が完全でない場合
(つまり、抵抗値としてあまり高いものとならなかった
場合)、DCパス電流が相対的に増大することになる。
その結果、ヒューズ素子の数が増えれば増えるほど、問
題は顕著化してくることになる。最近のデバイスカタロ
グとしては、μAオーダーの消費電流値が存在し、低消
費電力化は積極的に行わなければならない状況にある。
このヒューズ回路におけるDCパス電流は、このμAオ
ーダーのカタログ値を左右しかねないため、その電流値
を極力抑えることが必要である。
【0013】また、DCパス電流が増大すると、各ヒュ
ーズ素子の両端に現れる電圧(つまりヒューズ素子の切
断状態を指示する情報)が不安定となる可能性があり、
そのために、ヒューズ回路自体の動作信頼性が低下する
といった不都合もある。これは、内部降圧電源回路全体
としての動作を不安定にするものである。本発明は、か
かる従来技術における課題に鑑み創作されたもので、外
部電源電圧を内部で必要とする電源電圧に降圧して使用
する半導体装置において、その内部降圧電源電圧の電位
を調整するためのヒューズ回路におけるDCパス電流を
削減し、ひいては低消費電力化を図り、安定動作を実現
することができる内部降圧電源回路を提供することを目
的とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明によれば、半導体装置において外部から供給
される外部電源電圧を内部電源電圧に降圧する内部降圧
電源回路であって、制御電圧に応答して前記内部電源電
圧を発生する回路と、通常動作時用と試験動作時用とに
それぞれ設けられ、前記制御電圧の電位を調整可能とす
るためのヒューズ素子を有する電位調整回路と、通常動
作時用と試験動作時用とにそれぞれ設けられ、それぞれ
対応する前記電位調整回路の出力に基づいて前記制御電
圧の電位を制御する電位制御回路とを具備し、前記通常
動作時用の電位調整回路の電源として前記外部電源電圧
を用い、前記試験動作時用の電位調整回路の電源として
前記内部電源電圧を用いることを特徴とする半導体装置
の内部降圧電源回路が提供される。
【0015】本発明の構成によれば、バーン・イン試験
等の試験動作時に動作が要求される回路部分(すなわち
電位調整回路)の電源に通常の電源電圧(外部電源電
圧)よりも低い電位の電圧(内部降圧電源電圧)が用い
られているので、電位調整回路内のヒューズ素子に流れ
るDCパス電流を相対的に削減することができる。これ
は、低消費電力化に寄与するものである。
【0016】また、DCパス電流が相対的に削減される
ことにより、ヒューズ素子の両端に現れる電圧(つまり
ヒューズ素子の切断状態を指示する情報)が相対的に安
定化される。これによって、内部降圧電源回路全体の安
定動作を実現することが可能となる。なお、本発明の他
の構成上の特徴及び作用の詳細については、添付図面を
参照しつつ以下に記述される実施形態を用いて説明す
る。
【0017】
【発明の実施の形態】図1には本発明の第1実施形態に
係る半導体装置の内部降圧電源回路の構成が示される。
本実施形態に係る内部降圧電源回路は、構成的には、図
9に示した従来技術の場合と殆ど同じである。すなわ
ち、本実施形態において、参照符号10〜18が付され
た構成要素は、図9において参照符号50〜58が付さ
れた構成要素にそれぞれ対応するものであり、各々の作
用については同じであるので、その説明は省略する。
【0018】本実施形態に係る内部降圧電源回路の特徴
は、バーン・イン試験等の試験動作時に動作が要求され
るVII電位調整回路15(ヒューズ回路16及びデコ
ード回路17を含む)にのみ、回路電源として外部電源
電圧VCCよりも低い電位の内部降圧電源電圧VIIを
使用し、他の全ての回路には回路電源として外部電源電
圧VCCを使用したことである。
【0019】図2〜図4には本実施形態の内部降圧電源
回路を構成する各回路の具体的な一構成例が示される。
図2は通常動作時用VII電位調整回路10(ヒューズ
回路11及びデコード回路12)の一構成例を示す。図
示のように、ヒューズ回路11は、ヒューズ素子F1〜
F6と、nチャネルトランジスタQ1〜Q3と、インバ
ータIV1〜IV15とを用いて構成されており、デコ
ード回路12は、インバータIV21〜IV27と、A
NDゲートAD1〜AD5とを用いて構成されている。
また、FO1〜FO3はそれぞれヒューズ素子の切断状
態を指示する情報、DO1,DOX1〜DO5,DOX
5はそれぞれデコード情報を表している。
【0020】図3は試験動作時用VII電位調整回路1
5(ヒューズ回路16及びデコード回路17)の一構成
例を示す。図示のように、ヒューズ回路16は、ヒュー
ズ素子F11〜F18と、nチャネルトランジスタQ1
1〜Q14と、インバータIV31〜IV50とを用い
て構成されており、デコード回路17は、インバータI
V51〜IV63と、ANDゲートAD11〜AD19
とを用いて構成されている。また、FO11〜FO14
はそれぞれヒューズ素子の切断状態を指示する情報、D
O11,DOX11〜DO19,DOX19はそれぞれ
デコード情報を表している。
【0021】図4は通常動作時用及び試験動作時用の各
VII電位制御回路13及び18とVII発生回路14
の一構成例を示す。図示のように、通常動作時用VII
電位制御回路13は、第1のカレントミラー回路(pチ
ャネルトランジスタQ21及びQ22、nチャネルトラ
ンジスタQ23及びQ24、抵抗器R1)と、第2のカ
レントミラー回路(pチャネルトランジスタQ25及び
Q26、nチャネルトランジスタQ27〜Q29)と、
pチャネルトランジスタQ30と、第3のカレントミラ
ー回路(pチャネルトランジスタQ31及びQ32、n
チャネルトランジスタQ33〜Q35)と、pチャネル
トランジスタQ36と、デコード情報DO1,DOX1
〜DO5,DOX5に応答するトランスファゲートTG
1〜TG5と、該トランスファゲートのオン/オフによ
ってその抵抗値が変わる抵抗器ストリング(抵抗器R1
1〜R16)とを用いて構成されている。また、試験動
作時用VII電位制御回路18は、レベルシフタを構成
するpチャネルトランジスタQ41〜Q43及び抵抗器
R2と、カレントミラー回路(pチャネルトランジスタ
Q44及びQ45、nチャネルトランジスタQ46〜Q
48)と、pチャネルトランジスタQ49と、デコード
情報DO11,DOX11〜DO19,DOX19に応
答するトランスファゲートTG11〜TG19と、該ト
ランスファゲートのオン/オフによってその抵抗値が変
わる抵抗器ストリング(抵抗器R21〜R30)とを用
いて構成されている。また、VII発生回路14は、各
VII電位制御回路13及び18の出力端(ノードN)
の電位に応答するnチャネルトランジスタQ50を用い
て構成されている。つまり、図示の例では、トランジス
タQ50のゲートの電位(ノードNの電位)に応じて外
部電源電圧VCCから内部降圧電源電圧VIIへと変換
を行っている。
【0022】図2〜図4に示される構成において、各ヒ
ューズ回路11,16から出力されたヒューズ情報(ヒ
ューズ素子の切断状態を指示する情報)FO1〜FO
3,FO11〜FO14は、それぞれ対応するデコード
回路12,17によってデコードされ、そのデコード結
果(デコード情報)DO1,DOX1〜DO5,DOX
5、DO11,DOX11〜DO19,DOX19に基
づいて、各VII電位制御回路13,18内の抵抗器ス
トリング(抵抗器R11〜R16,R21〜R30)の
抵抗値が決定され、その決定された抵抗値に応じてノー
ドNの電位、すなわち内部降圧電源電圧VIIの電位が
決定される。
【0023】以上説明したように、第1実施形態の構成
によれば、試験動作時用VII電位調整回路15(ヒュ
ーズ回路16及びデコード回路17)の電源に通常の電
源電圧(VCC)よりも低い電位の内部降圧電源電圧V
IIが用いられているので、ヒューズ回路16における
各ヒューズ素子F11〜F18に流れるDCパス電流を
相対的に削減することができる。
【0024】回路全体におけるDCパス電流の削減の効
果を定量的に表すと、以下の式のようになる。 ICC=I×{(nn×VCC)+(nb×VII)}
/(nn+nb)×VCC ここに、ICCは対策後(本実施形態)のDCパス電
流、Iは対策前(例えば図9に示した従来技術)のDC
パス電流、nnは通常動作時用のヒューズ回路11にお
けるヒューズ素子のパス数、nbは試験動作時用のヒュ
ーズ回路16におけるヒューズ素子のパス数を表してい
る。
【0025】図2及び図3に示す構成例では、nn=
3、nb=4であり、また、VCC=3.3V、VII
=2.4Vで考えると、 ICC=I×{(3×3.3)+(4×2.4)}/(3+4)×3.3 =0.84I となり、約16%の電流削減となる。
【0026】このように、本実施形態の構成によれば、
ヒューズ回路で発生するDCパス電流を削減することが
できるので、昨今要求されている低消費電力化に十分に
応えることができる。また、DCパス電流を削減するこ
とにより、ヒューズ回路における各ヒューズ素子の両端
に現れる電圧(つまり各ヒューズ素子の切断状態を指示
する情報)を次段のデコード回路に安定して供給するこ
とができる。これによって、ヒューズ回路及びデコード
回路を含めた内部降圧電源回路全体の動作を安定に維持
することが可能となる。
【0027】図5には本発明の第2実施形態に係る半導
体装置の内部降圧電源回路の構成が示される。本実施形
態に係る内部降圧電源回路は、上述した第1実施形態に
係る回路構成と実質上同じ構成を有している。この第2
実施形態に係る内部降圧電源回路の特徴は、通常動作時
用及び試験動作時用の各VII電位調整回路10及び1
5の電源としてそれぞれ専用の電源回路20及び30を
設けたことである。
【0028】図6には各電源回路20及び30の一構成
例が示される。図示の例では、通常動作時用電源回路2
0は、外部電源電圧VCCのラインにドレインが接続さ
れ且つ該ドレインにゲートが接続されたnチャネルトラ
ンジスタ21によって構成されている(図6(a)参
照)。そして、トランジスタ21のソースより、通常動
作時用VII電位調整回路10に供給されるべき電源電
圧VCCLが取り出されるようになっている。つまり、
外部電源電圧VCCから該外部電源電圧VCCよりも低
い電位の電圧VCCLを生成している。
【0029】同様に、試験動作時用電源回路30も、外
部電源電圧VCCのラインにドレインが接続され且つ該
ドレインにゲートが接続されたnチャネルトランジスタ
31によって構成されている(図6(b)参照)。そし
て、トランジスタ31のソースより、試験動作時用VI
I電位調整回路15に供給されるべき電源電圧VCCL
が取り出されるようになっている。つまり、外部電源電
圧VCCから該外部電源電圧VCCよりも低い電位の電
圧VCCLを生成している。
【0030】かかる構成を有する電源回路20及び30
を用いることにより、ヒューズ素子に流れるDCパス電
流を更に削減することができ、更なる低消費電力化を実
現することが可能となる。図7には各電源回路20及び
30の他の構成例が示される。図示の例では、通常動作
時用電源回路20は、外部電源電圧VCCのラインにド
レインが接続され且つ該ドレインにゲートが接続された
nチャネルトランジスタ22によって構成されている
(図7(a)参照)。そして、トランジスタ22のソー
スより、通常動作時用VII電位調整回路10に供給さ
れるべき電源電圧VCCLが取り出されるようになって
いる。つまり、外部電源電圧VCCから該外部電源電圧
VCCよりも低い電位の電圧VCCLを生成している。
【0031】一方、試験動作時用電源回路30は、内部
降圧電源電圧VIIのラインにドレインが接続され且つ
該ドレインにゲートが接続されたnチャネルトランジス
タ32によって構成されている(図7(b)参照)。そ
して、トランジスタ32のソースより、試験動作時用V
II電位調整回路15に供給されるべき電源電圧VII
Lが取り出されるようになっている。つまり、内部降圧
電源電圧VIIから該内部降圧電源電圧VIIよりも更
に低い電位の電圧VIILを生成している。
【0032】かかる構成を有する電源回路20及び30
を用いることにより、図6の構成例の場合に比べて、更
に一層の低消費電力化を図ることが可能となる。なお、
図6及び図7に示す電源回路20,30の構成例では、
外部電源電圧VCC又は内部降圧電源電圧VIIのレベ
ルに対してnチャネルトランジスタ1個分のしきい値電
圧だけ降圧したレベルを有する電圧を生成するようにし
たが、電源回路20,30の構成例は図示の例に限定さ
れないことはもちろんである。
【0033】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、外
部電源電圧を内部で必要とする電源電圧に降圧して使用
する半導体装置において、その内部降圧電源電圧の電位
を調整するためのヒューズ回路におけるDCパス電流を
削減することができる。これによって、低消費電力化及
び安定動作を実現することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態に係る半導体装置の内部
降圧電源回路の構成を示すブロック図である。
【図2】図1における通常動作時用VII電位調整回路
の一例を示す回路図である。
【図3】図1における試験動作時用VII電位調整回路
の一例を示す回路図である。
【図4】図1におけるVII電位制御回路及びVII発
生回路の一例を示す回路図である。
【図5】本発明の第2実施形態に係る半導体装置の内部
降圧電源回路の構成を示すブロック図である。
【図6】図5における通常動作時用及び試験動作時用の
各電源回路の一例を示す回路図である。
【図7】図5における通常動作時用及び試験動作時用の
各電源回路の他の例を示す回路図である。
【図8】外部電源電圧(VCC)対内部降圧電源電圧
(VII)の特性図である。
【図9】従来技術の半導体装置の内部降圧電源回路の構
成を示すブロック図である。
【符号の説明】
10…通常動作時用VII電位調整回路 11…(通常動作時用の)ヒューズ回路 12…(通常動作時用の)デコード回路 13…通常動作時用VII電位制御回路 14…VII発生回路 15…試験動作時用VII電位調整回路 16…(試験動作時用の)ヒューズ回路 17…(試験動作時用の)デコード回路 18…試験動作時用VII電位制御回路 20…通常動作時用電源回路 30…試験動作時用電源回路 VCC…外部から供給される電源電圧 VII…内部で降圧された電源電圧 N…VII電位制御回路の出力ノード

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 半導体装置において外部から供給される
    外部電源電圧を内部電源電圧に降圧する内部降圧電源回
    路であって、 制御電圧に応答して前記内部電源電圧を発生する回路
    と、 通常動作時用と試験動作時用とにそれぞれ設けられ、前
    記制御電圧の電位を調整可能とするためのヒューズ素子
    を有する電位調整回路と、 通常動作時用と試験動作時用とにそれぞれ設けられ、そ
    れぞれ対応する前記電位調整回路の出力に基づいて前記
    制御電圧の電位を制御する電位制御回路とを具備し、 前記通常動作時用の電位調整回路の電源として前記外部
    電源電圧を用い、前記試験動作時用の電位調整回路の電
    源として前記内部電源電圧を用いることを特徴とする半
    導体装置の内部降圧電源回路。
  2. 【請求項2】 前記通常動作時用の電位調整回路の電源
    として設けられた専用の電源回路を更に具備し、該電源
    回路により、前記外部電源電圧から該外部電源電圧より
    も低い電位の電圧を生成することを特徴とする請求項1
    に記載の半導体装置の内部降圧電源回路。
  3. 【請求項3】 前記試験動作時用の電位調整回路の電源
    として設けられた専用の電源回路を更に具備し、該電源
    回路により、前記外部電源電圧から該外部電源電圧より
    も低い電位の電圧を生成することを特徴とする請求項1
    に記載の半導体装置の内部降圧電源回路。
  4. 【請求項4】 前記試験動作時用の電位調整回路の電源
    として設けられた専用の電源回路を更に具備し、該電源
    回路により、前記内部電源電圧から該内部電源電圧より
    も低い電位の電圧を生成することを特徴とする請求項1
    に記載の半導体装置の内部降圧電源回路。
  5. 【請求項5】 前記通常動作時用の電位制御回路及び前
    記試験動作時用の電位制御回路は、前記制御電圧の電位
    を決定する抵抗器ストリングをそれぞれ有することを特
    徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の半導体
    装置の内部降圧電源回路。
  6. 【請求項6】 前記通常動作時用の電位調整回路及び前
    記試験動作時用の電位調整回路は、それぞれ、前記制御
    電圧の電位を調整可能とするための複数のヒューズ素子
    を含むヒューズ回路と、該ヒューズ回路におけるヒュー
    ズ素子の切断状態を指示する情報をデコードするデコー
    ド回路とを有し、各々のデコード回路のデコード結果に
    応じてそれぞれ対応する前記抵抗器ストリングの抵抗値
    が決定されることを特徴とする請求項5に記載の半導体
    装置の内部降圧電源回路。
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