JPH10284980A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
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- JPH10284980A JPH10284980A JP8932597A JP8932597A JPH10284980A JP H10284980 A JPH10284980 A JP H10284980A JP 8932597 A JP8932597 A JP 8932597A JP 8932597 A JP8932597 A JP 8932597A JP H10284980 A JPH10284980 A JP H10284980A
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- Japan
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- pad
- base substrate
- bond pad
- acoustic wave
- wave device
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ベース基板でのアースまわりを良くしアースを
強化することにより、帯域外減衰量等の特性を向上する
ことができる弾性表面波装置を提供することにある。 【解決手段】ベース基板1の上面において、封止パッド
11とアース端子電極に接続された側面電極14b,1
4cとは接続電極16aで接続され、封止パッド11と
ダイボンドパッド12とは接続電極16bで接続され、
ダイボンドパッド12とアース用のワイヤ−ボンドパッ
ド13bとは接続電極16cで接続されている。また、
ワイヤーボンドパッド13aは対応する入出力端子電極
に、封止パッド11、ダイボンドパッド12及びアース
用のワイヤ−ボンドパッド13bは対応するアース端子
電極にスルーホール7でそれぞれ接続されている。
強化することにより、帯域外減衰量等の特性を向上する
ことができる弾性表面波装置を提供することにある。 【解決手段】ベース基板1の上面において、封止パッド
11とアース端子電極に接続された側面電極14b,1
4cとは接続電極16aで接続され、封止パッド11と
ダイボンドパッド12とは接続電極16bで接続され、
ダイボンドパッド12とアース用のワイヤ−ボンドパッ
ド13bとは接続電極16cで接続されている。また、
ワイヤーボンドパッド13aは対応する入出力端子電極
に、封止パッド11、ダイボンドパッド12及びアース
用のワイヤ−ボンドパッド13bは対応するアース端子
電極にスルーホール7でそれぞれ接続されている。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、単層のベース基板
上に載置されたSAW素子を金属キャップで封止した構
造の弾性表面波装置に関し、詳しくは、ベース基板の外
面に形成された電極パターンに関する。
上に載置されたSAW素子を金属キャップで封止した構
造の弾性表面波装置に関し、詳しくは、ベース基板の外
面に形成された電極パターンに関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、ベース基板上に載置されリー
ド線によりベース基板に電気的に接続されたSAW素子
をベース基板と金属キャップとを半田付けして気密封止
した構造の弾性表面波装置がある。図5はこのような構
造の弾性表面波装置の従来のベース基板の上面図、図6
は図5のX−X線断面図である。
ド線によりベース基板に電気的に接続されたSAW素子
をベース基板と金属キャップとを半田付けして気密封止
した構造の弾性表面波装置がある。図5はこのような構
造の弾性表面波装置の従来のベース基板の上面図、図6
は図5のX−X線断面図である。
【0003】従来のベース基板1の上面には、図5に示
すように、金属キャップとの半田接合を果たすための封
止パッド11、SAW素子が載置されるダイボンドパッ
ド12、SAW素子との電気的接続を果たすためのワイ
ヤーボンドパッド13a、13bが形成されている。ベ
ース基板1の下面には、図示しないが、入出力端子電極
及びアース端子電極が形成されている。ベース基板1の
側面には上下面に亘って入出力端子電極に接続された側
面電極14a、アース端子電極に接続された側面電極1
4b,14cが形成されている。
すように、金属キャップとの半田接合を果たすための封
止パッド11、SAW素子が載置されるダイボンドパッ
ド12、SAW素子との電気的接続を果たすためのワイ
ヤーボンドパッド13a、13bが形成されている。ベ
ース基板1の下面には、図示しないが、入出力端子電極
及びアース端子電極が形成されている。ベース基板1の
側面には上下面に亘って入出力端子電極に接続された側
面電極14a、アース端子電極に接続された側面電極1
4b,14cが形成されている。
【0004】入出力用のワイヤーボンドパッド13aは
対応する入出力端子電極に、封止パッド11、ダイボン
ドパッド12及びアース用のワイヤ−ボンドパッド13
bは対応するアース端子電極にスルーホール7でそれぞ
れ接続されている。例えば、ワイヤーボンドパッド13
bは、図6に示すように、スルーホール7によりアース
端子電極15に接続されている。他のパッドと他の端子
電極との接続も図6に示すものと同様に構成されてい
る。
対応する入出力端子電極に、封止パッド11、ダイボン
ドパッド12及びアース用のワイヤ−ボンドパッド13
bは対応するアース端子電極にスルーホール7でそれぞ
れ接続されている。例えば、ワイヤーボンドパッド13
bは、図6に示すように、スルーホール7によりアース
端子電極15に接続されている。他のパッドと他の端子
電極との接続も図6に示すものと同様に構成されてい
る。
【0005】そして、ベース基板1のダイボンドパッド
12上にSAW素子が接着剤で固定され、SAW素子は
リード線によりベース基板1上に形成されたそれぞれの
ワイヤーボンドパッド13a,13bに電気的に接続さ
れ、ベース基板1と金属キャップとが封止パッド11部
で半田接合されて、SAW素子が気密封止される。
12上にSAW素子が接着剤で固定され、SAW素子は
リード線によりベース基板1上に形成されたそれぞれの
ワイヤーボンドパッド13a,13bに電気的に接続さ
れ、ベース基板1と金属キャップとが封止パッド11部
で半田接合されて、SAW素子が気密封止される。
【0006】上記のように、封止パッド11、ダイボン
ドパッド12、アース用のワイヤーボンドパッド13
b、アース用の側面電極14b,14c、アース端子電
極、及び金属キャップは、全てアース電位となるように
構成されている。気密性を確保するために、各スルーホ
ール7の孔内には導電性材料が充填されている。この弾
性表面波装置は端子電極が形成された下面を実装面とし
て、実装基板に実装される。
ドパッド12、アース用のワイヤーボンドパッド13
b、アース用の側面電極14b,14c、アース端子電
極、及び金属キャップは、全てアース電位となるように
構成されている。気密性を確保するために、各スルーホ
ール7の孔内には導電性材料が充填されている。この弾
性表面波装置は端子電極が形成された下面を実装面とし
て、実装基板に実装される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の弾性表面波装置においては、アース電位となる各パ
ッドとアース端子電極とはスルーホールにより接続され
ているだけであり、ベース基板でのアースまわりが悪
く、特に低域側での十分な帯域外減衰量が得られないと
いう問題があった。
来の弾性表面波装置においては、アース電位となる各パ
ッドとアース端子電極とはスルーホールにより接続され
ているだけであり、ベース基板でのアースまわりが悪
く、特に低域側での十分な帯域外減衰量が得られないと
いう問題があった。
【0008】そこで、本発明の目的は、ベース基板での
アースまわりを良くしアースを強化することにより、帯
域外減衰量等の特性を向上することができる弾性表面波
装置を提供することにある。
アースまわりを良くしアースを強化することにより、帯
域外減衰量等の特性を向上することができる弾性表面波
装置を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項1に係る発明は、一方主面に封止パッドとダ
イボンドパッドと複数のワイヤーボンドパッドが形成さ
れ、他方主面に前記各パッドとスルーホールにより接続
された複数の端子電極が形成された単層のベース基板
と、前記ダイボンドパッド上に載置され、かつ前記複数
のワイヤーボンドパッドに電気的に接続されたSAW素
子と、前記SAW素子を封止するように前記封止パッド
に半田付けされた金属キャップとを備えてなる弾性表面
波装置において、前記封止パッドと、前記複数の端子電
極のうちのアース用の端子電極とをベース基板の外面で
接続したことを特徴とするものである。
に、請求項1に係る発明は、一方主面に封止パッドとダ
イボンドパッドと複数のワイヤーボンドパッドが形成さ
れ、他方主面に前記各パッドとスルーホールにより接続
された複数の端子電極が形成された単層のベース基板
と、前記ダイボンドパッド上に載置され、かつ前記複数
のワイヤーボンドパッドに電気的に接続されたSAW素
子と、前記SAW素子を封止するように前記封止パッド
に半田付けされた金属キャップとを備えてなる弾性表面
波装置において、前記封止パッドと、前記複数の端子電
極のうちのアース用の端子電極とをベース基板の外面で
接続したことを特徴とするものである。
【0010】請求項2に係る発明は、請求項1に記載の
弾性表面波装置において、前記封止パッドと、前記ダイ
ボンドパッドと、前記ワイヤーボンドパッドのうちのア
ース用のワイヤーボンドパッドとの少なくともいずれか
2つをベース基板の一方主面で相互に接続したことを特
徴とするものである。
弾性表面波装置において、前記封止パッドと、前記ダイ
ボンドパッドと、前記ワイヤーボンドパッドのうちのア
ース用のワイヤーボンドパッドとの少なくともいずれか
2つをベース基板の一方主面で相互に接続したことを特
徴とするものである。
【0011】上記の構成によれば、封止パッドとアース
用の端子電極とは、スルーホールによる接続に加えベー
ス基板の外面においても接続されるので、ベース基板で
のアースまわりが良くなりアースが強化されたものとな
る。
用の端子電極とは、スルーホールによる接続に加えベー
ス基板の外面においても接続されるので、ベース基板で
のアースまわりが良くなりアースが強化されたものとな
る。
【0012】さらに、ダイボンドパッドと封止パッドと
アース用のワイヤーボンドパッドとをそれぞれベース基
板の一方主面で接続することにより、ベース基板でのア
ースはさらに強化されたものとなる。
アース用のワイヤーボンドパッドとをそれぞれベース基
板の一方主面で接続することにより、ベース基板でのア
ースはさらに強化されたものとなる。
【0013】つまり、本発明の構成においては、ベース
基板でのアースまわりは改善され、アースは大幅に強化
されるので、弾性表面波装置の特性、特に帯域外減衰量
を大幅に改善することができる。
基板でのアースまわりは改善され、アースは大幅に強化
されるので、弾性表面波装置の特性、特に帯域外減衰量
を大幅に改善することができる。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、本発明をその実施例を示す
図面に基づいて説明する。本発明の第1実施例の係る弾
性表面波装置の構造を図1〜図3に示す。図1は弾性表
面波装置の断面図、図2はベース基板の上面図、図3は
図2のX−X線断面図である。
図面に基づいて説明する。本発明の第1実施例の係る弾
性表面波装置の構造を図1〜図3に示す。図1は弾性表
面波装置の断面図、図2はベース基板の上面図、図3は
図2のX−X線断面図である。
【0015】本実施例の弾性表面波装置は、図1に示す
ように、アルミナ等のセラミックスからなる単層のベー
ス基板1上にSAW素子2が接着剤4で固定され、SA
W素子2はリード線5によりベース基板1上に形成され
たそれぞれのワイヤーボンドパッド(図1では図示せ
ず)に電気的に接続され、ベース基板1と金属キャップ
3とが半田6により半田付けされて、SAW素子2が気
密封止されている。
ように、アルミナ等のセラミックスからなる単層のベー
ス基板1上にSAW素子2が接着剤4で固定され、SA
W素子2はリード線5によりベース基板1上に形成され
たそれぞれのワイヤーボンドパッド(図1では図示せ
ず)に電気的に接続され、ベース基板1と金属キャップ
3とが半田6により半田付けされて、SAW素子2が気
密封止されている。
【0016】ベース基板1の上面には、図2に示すよう
に、周縁部に金属キャップとの半田接合を果たすための
矩形枠状の封止パッド11、SAW素子が載置される中
央部にダイボンドパッド12、ダイボンドパッド12の
両側にSAW素子との電気的接続を果たすための入出力
用のワイヤーボンドパッド13a、アース用のワイヤー
ボンドパッド13bが形成されている。
に、周縁部に金属キャップとの半田接合を果たすための
矩形枠状の封止パッド11、SAW素子が載置される中
央部にダイボンドパッド12、ダイボンドパッド12の
両側にSAW素子との電気的接続を果たすための入出力
用のワイヤーボンドパッド13a、アース用のワイヤー
ボンドパッド13bが形成されている。
【0017】ベース基板1の下面には、図示しないが、
入出力端子電極及びアース端子電極が形成され、ベース
基板1の側面には所定の箇所に上下面に亘って入出力端
子電極に接続された側面電極14a、アース端子電極に
接続された側面電極14b,14cが形成されている。
入出力端子電極及びアース端子電極が形成され、ベース
基板1の側面には所定の箇所に上下面に亘って入出力端
子電極に接続された側面電極14a、アース端子電極に
接続された側面電極14b,14cが形成されている。
【0018】そして、ベース基板1の上面において、封
止パッド11とアース端子電極に接続された側面電極1
4b,14cとは接続電極16aで接続され、封止パッ
ド11とダイボンドパッド12とは接続電極16bで接
続され、ダイボンドパッド12とアース用のワイヤ−ボ
ンドパッド13bとは接続電極16cで接続されてい
る。また、ワイヤーボンドパッド13aは対応する入出
力端子電極に、封止パッド11、ダイボンドパッド12
及びアース用のワイヤ−ボンドパッド13bは対応する
アース端子電極にスルーホール7でそれぞれ接続されて
いる。
止パッド11とアース端子電極に接続された側面電極1
4b,14cとは接続電極16aで接続され、封止パッ
ド11とダイボンドパッド12とは接続電極16bで接
続され、ダイボンドパッド12とアース用のワイヤ−ボ
ンドパッド13bとは接続電極16cで接続されてい
る。また、ワイヤーボンドパッド13aは対応する入出
力端子電極に、封止パッド11、ダイボンドパッド12
及びアース用のワイヤ−ボンドパッド13bは対応する
アース端子電極にスルーホール7でそれぞれ接続されて
いる。
【0019】より詳しくは、図3に示すように、例え
ば、ワイヤーボンドパッド13bは、スルーホール7に
よりアース端子電極15に接続され、封止パッド11と
アース端子電極15とは側面電極14a及び接続電極1
6aによりベース基板1の外面で接続されている。他の
パッドと他の端子電極とのスルーホール7による接続も
図3に示すものと同様に構成されている。
ば、ワイヤーボンドパッド13bは、スルーホール7に
よりアース端子電極15に接続され、封止パッド11と
アース端子電極15とは側面電極14a及び接続電極1
6aによりベース基板1の外面で接続されている。他の
パッドと他の端子電極とのスルーホール7による接続も
図3に示すものと同様に構成されている。
【0020】各パッド及び各電極はW、Mo等の導電性
材料が用いられている。気密性を確保するために、各ス
ルーホール7の孔内には導電性材料が充填されている。
この弾性表面波装置は端子電極が形成された下面を実装
面として、実装基板に実装される。
材料が用いられている。気密性を確保するために、各ス
ルーホール7の孔内には導電性材料が充填されている。
この弾性表面波装置は端子電極が形成された下面を実装
面として、実装基板に実装される。
【0021】接続電極16a,16b上には、それぞれ
半田流れ防止用コート9(図2において破線で示す)が
形成されている。この半田流れ防止用コート9は、ベー
ス基板1と金属キャップとをリフロー半田付けするとき
に、溶融した半田が封止パッド11から側面電極14
b,14c、及びダイボンドパッド12へ流れ込まない
ように設けられたものである。
半田流れ防止用コート9(図2において破線で示す)が
形成されている。この半田流れ防止用コート9は、ベー
ス基板1と金属キャップとをリフロー半田付けするとき
に、溶融した半田が封止パッド11から側面電極14
b,14c、及びダイボンドパッド12へ流れ込まない
ように設けられたものである。
【0022】なお、図1に示すSAW素子2は圧電性基
板からなり、その上面にはAl等の導電性材料からなる
複数のインターデジタルトランスデューサ(IDT)が
形成されている。
板からなり、その上面にはAl等の導電性材料からなる
複数のインターデジタルトランスデューサ(IDT)が
形成されている。
【0023】上記のように、本実施例の弾性表面波装置
においては、封止パッド11、ダイボンドパッド12、
アース用のワイヤーボンドパッド13b、アース用の側
面電極14b,14c、アース用の端子電極及び金属キ
ャップ3は、従来例のスルーホール7による接続に加
え、ベース基板1の上面に形成された接続電極16a,
16b,16cでも接続されて、全てアース電位となる
ように構成されている。
においては、封止パッド11、ダイボンドパッド12、
アース用のワイヤーボンドパッド13b、アース用の側
面電極14b,14c、アース用の端子電極及び金属キ
ャップ3は、従来例のスルーホール7による接続に加
え、ベース基板1の上面に形成された接続電極16a,
16b,16cでも接続されて、全てアース電位となる
ように構成されている。
【0024】すなわち、本実施例のベース基板1におい
ては、アース電位となる各パッド11、12、13b及
び側面電極14b,14cの接続箇所を増やすととも
に、これらのパッド及び電極はベース基板1の上面で接
続されており、従来例のものに比べベース基板1のアー
スまわりは大幅に改善されてアースが大幅に強化された
ものとなっている。
ては、アース電位となる各パッド11、12、13b及
び側面電極14b,14cの接続箇所を増やすととも
に、これらのパッド及び電極はベース基板1の上面で接
続されており、従来例のものに比べベース基板1のアー
スまわりは大幅に改善されてアースが大幅に強化された
ものとなっている。
【0025】この結果、本実施例のベース基板を用いて
SAWフィルタを構成した場合、図4に示すように、従
来例のものに比べ、帯域外減衰量特に低域側における減
衰量を大幅に改善することができた。図4は、中心周波
数380.8MHzのコードレス電話用のSAWフィル
タの周波数特性であり、低域側(336.2〜381.
325MHz)での必要(要求)減衰量57dB以上に
対し、従来のものでは約58dBあったが、本実施例の
ものでは約69dBとなり、約11dBの改善を図るこ
とができ、また、高域側(422.2〜425.325
MHz)での必要減衰量57dB以上に対し、従来のも
のでは約62dBあったが、本実施例のものでは約65
dBとなり、約3dBの改善を図ることができた。
SAWフィルタを構成した場合、図4に示すように、従
来例のものに比べ、帯域外減衰量特に低域側における減
衰量を大幅に改善することができた。図4は、中心周波
数380.8MHzのコードレス電話用のSAWフィル
タの周波数特性であり、低域側(336.2〜381.
325MHz)での必要(要求)減衰量57dB以上に
対し、従来のものでは約58dBあったが、本実施例の
ものでは約69dBとなり、約11dBの改善を図るこ
とができ、また、高域側(422.2〜425.325
MHz)での必要減衰量57dB以上に対し、従来のも
のでは約62dBあったが、本実施例のものでは約65
dBとなり、約3dBの改善を図ることができた。
【0026】なお、アース電位となる各パッド間及び側
面電極とを接続する接続電極は上記実施例に限るもので
はなく、その数、形状及び形成位置は、要求される特性
等により適宜設定される。例えば、図2に示す接続電極
のうちいずれか1つを形成したものでもよく、また、必
要に応じてアース用のワイヤーボンドパッド13bと封
止パッド11とをベース基板1の上面の近接する部分で
直接接続するようにしてもよい。
面電極とを接続する接続電極は上記実施例に限るもので
はなく、その数、形状及び形成位置は、要求される特性
等により適宜設定される。例えば、図2に示す接続電極
のうちいずれか1つを形成したものでもよく、また、必
要に応じてアース用のワイヤーボンドパッド13bと封
止パッド11とをベース基板1の上面の近接する部分で
直接接続するようにしてもよい。
【0027】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る弾性
表面波装置によれば、単層のベース基板の一方主面に形
成された封止パッドとベース基板の他方主面に形成され
たアース用の端子電極とは、スルーホールによる接続に
加えベース基板の外面においても接続されるので、ベー
ス基板でのアースまわりが良くなりアースが強化された
ものとなる。
表面波装置によれば、単層のベース基板の一方主面に形
成された封止パッドとベース基板の他方主面に形成され
たアース用の端子電極とは、スルーホールによる接続に
加えベース基板の外面においても接続されるので、ベー
ス基板でのアースまわりが良くなりアースが強化された
ものとなる。
【0028】さらに、ダイボンドパッドと封止パッドと
アース用のワイヤーボンドパッドとをそれぞれベース基
板の一方主面で接続することにより、ベース基板でのア
ースはさらに強化されたものとなる。
アース用のワイヤーボンドパッドとをそれぞれベース基
板の一方主面で接続することにより、ベース基板でのア
ースはさらに強化されたものとなる。
【0029】したがって、本発明の構成によれば、ベー
ス基板でのアースまわりは改善され、アースを大幅に強
化することができるので、弾性表面波装置の特性、特に
帯域外減衰量を大幅に改善することができる。
ス基板でのアースまわりは改善され、アースを大幅に強
化することができるので、弾性表面波装置の特性、特に
帯域外減衰量を大幅に改善することができる。
【図1】本発明の一実施例に係る弾性表面波装置の断面
図である。
図である。
【図2】本発明の一実施例に係る弾性表面波装置のベー
ス基板の上面図である。
ス基板の上面図である。
【図3】図2のX−X線断面図である。
【図4】実施例と従来例とのSAWフィルタの周波数特
性を示す図である。
性を示す図である。
【図5】従来の弾性表面波装置のベース基板の上面図で
ある。
ある。
【図6】図5のX−X線断面図である。
1 ベース基板 11 封止パッド 12 ダイボンドパッド 13a,13b ワイヤーボンドパッド 14a,14b,14c 側面電極 15 アース端子電極 16a,16b,16c 接続電極 2 SAW素子 3 金属ケース 4 接着剤 5 リード線 6 半田 7 スルーホール
Claims (2)
- 【請求項1】 一方主面に封止パッドとダイボンドパッ
ドと複数のワイヤーボンドパッドが形成され、他方主面
に前記各パッドとスルーホールにより接続された複数の
端子電極が形成された単層のベース基板と、前記ダイボ
ンドパッド上に載置され、かつ前記複数のワイヤーボン
ドパッドに電気的に接続されたSAW素子と、前記SA
W素子を封止するように前記封止パッドに半田付けされ
た金属キャップとを備えてなる弾性表面波装置におい
て、 前記封止パッドと、前記複数の端子電極のうちのアース
用の端子電極とをベース基板の外面で接続したことを特
徴とする弾性表面波装置。 - 【請求項2】 請求項1に記載の弾性表面波装置におい
て、さらに、前記封止パッドと、前記ダイボンドパッド
と、前記ワイヤーボンドパッドのうちのアース用のワイ
ヤーボンドパッドとの少なくともいずれか2つをベース
基板の一方主面で相互に接続したことを特徴とする弾性
表面波装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8932597A JPH10284980A (ja) | 1997-04-08 | 1997-04-08 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8932597A JPH10284980A (ja) | 1997-04-08 | 1997-04-08 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10284980A true JPH10284980A (ja) | 1998-10-23 |
Family
ID=13967526
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8932597A Pending JPH10284980A (ja) | 1997-04-08 | 1997-04-08 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10284980A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7647221B2 (en) | 2003-04-30 | 2010-01-12 | The Directv Group, Inc. | Audio level control for compressed audio |
TWI690156B (zh) * | 2019-07-10 | 2020-04-01 | 頎邦科技股份有限公司 | 表面聲波裝置及其製造方法 |
-
1997
- 1997-04-08 JP JP8932597A patent/JPH10284980A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7647221B2 (en) | 2003-04-30 | 2010-01-12 | The Directv Group, Inc. | Audio level control for compressed audio |
TWI690156B (zh) * | 2019-07-10 | 2020-04-01 | 頎邦科技股份有限公司 | 表面聲波裝置及其製造方法 |
US11522517B2 (en) | 2019-07-10 | 2022-12-06 | Chipbond Technology Corporation | Surface acoustic wave device and method of manufacturing the same |
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