JPH10277929A - 薄板のチャッキング方法及び装置 - Google Patents
薄板のチャッキング方法及び装置Info
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- JPH10277929A JPH10277929A JP9653197A JP9653197A JPH10277929A JP H10277929 A JPH10277929 A JP H10277929A JP 9653197 A JP9653197 A JP 9653197A JP 9653197 A JP9653197 A JP 9653197A JP H10277929 A JPH10277929 A JP H10277929A
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- Japan
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- thin plate
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- chucking
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- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 半導体ウエーハのような薄板の加工物を安定
保持し得ると共に、設備コストが低く、作業性がよく、
高精度の表面加工ができる薄板のチャッキング方法及び
装置を提供する。 【解決手段】 チャック本体１のチャック面２には液体
を介在させて加工物４が保持される。また、加工物４の
外周縁にはこれを安定保持するための当接部材のリング
状部材６が外周縁を覆って配設される。この状態で研削
砥石５を加工物４に当接係合することにより高精度の研
削が行なわれる。
保持し得ると共に、設備コストが低く、作業性がよく、
高精度の表面加工ができる薄板のチャッキング方法及び
装置を提供する。 【解決手段】 チャック本体１のチャック面２には液体
を介在させて加工物４が保持される。また、加工物４の
外周縁にはこれを安定保持するための当接部材のリング
状部材６が外周縁を覆って配設される。この状態で研削
砥石５を加工物４に当接係合することにより高精度の研
削が行なわれる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、薄板の加工物を表
面仕上げするためのチャッキング方法及び装置に係り、
特に、加工物の着脱が容易で、且つ比較的安価に実施で
き、作業環境に悪影響を及ぼさない薄板のチャッキング
方法及び装置に関する。
面仕上げするためのチャッキング方法及び装置に係り、
特に、加工物の着脱が容易で、且つ比較的安価に実施で
き、作業環境に悪影響を及ぼさない薄板のチャッキング
方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウエハのような薄板の加工物を研
磨加工等により表面仕上げする方法や装置は従来より各
種のものが採用されている。例えば、特開平８−６４５
６２号公報の「半導体研磨方法及び装置」がその一例で
ある。また、薄板の加工物を表面仕上げする場合、該加
工物をチャック本体のチャック面に密接保持することが
必要である。この保持精度が悪いと加工中に加工物が変
形又はずれて高精度の表面仕上げが行なわれない。従来
技術においても、薄板の加工物のチャッキング方法や装
置に関する各種の公知技術がある。例えば、特開平８−
６６８５０号公報および特開平８−２２２５３６号公報
が挙げられる。
磨加工等により表面仕上げする方法や装置は従来より各
種のものが採用されている。例えば、特開平８−６４５
６２号公報の「半導体研磨方法及び装置」がその一例で
ある。また、薄板の加工物を表面仕上げする場合、該加
工物をチャック本体のチャック面に密接保持することが
必要である。この保持精度が悪いと加工中に加工物が変
形又はずれて高精度の表面仕上げが行なわれない。従来
技術においても、薄板の加工物のチャッキング方法や装
置に関する各種の公知技術がある。例えば、特開平８−
６６８５０号公報および特開平８−２２２５３６号公報
が挙げられる。
【０００３】特開平８−６６８５０号公報の「ワークの
平面研削方法及び装置」は、真空チャック手段（１２）
に固持されたベースプレート（１４）上に接着部材を介
して半導体ウエーハ等のワークの片面を固定し、他面を
研磨加工仕上げした後、前記他面をベースプレート（１
４）に固定して前記片面を研磨加工仕上げするものであ
る。なお、接着部材としては、ワックス，接着剤，石
膏，氷等が使用される。
平面研削方法及び装置」は、真空チャック手段（１２）
に固持されたベースプレート（１４）上に接着部材を介
して半導体ウエーハ等のワークの片面を固定し、他面を
研磨加工仕上げした後、前記他面をベースプレート（１
４）に固定して前記片面を研磨加工仕上げするものであ
る。なお、接着部材としては、ワックス，接着剤，石
膏，氷等が使用される。
【０００４】また、特開平８−２２２５３６号公報の
「半導体製造装置、研削装置及び半導体装置の製造方
法」は、支持台（２０）上に冷却手段（２）を搭載し、
その上に氷結膜（３１）を設け、更に、氷結膜（３１）
上に加工物の半導体ウエーハ（１）を搭載し、半導体ウ
エーハ（１）の上面にバキュームパッド（７）を乗せて
バキュームパッド（７）の支持点（２０）からの高さを
スペーサ（６）により保持し、氷結膜（３１）の形成厚
みを制御して半導体ウエーハを正しい位置に反りなく保
持して研磨加工を行なうようにしたものである。
「半導体製造装置、研削装置及び半導体装置の製造方
法」は、支持台（２０）上に冷却手段（２）を搭載し、
その上に氷結膜（３１）を設け、更に、氷結膜（３１）
上に加工物の半導体ウエーハ（１）を搭載し、半導体ウ
エーハ（１）の上面にバキュームパッド（７）を乗せて
バキュームパッド（７）の支持点（２０）からの高さを
スペーサ（６）により保持し、氷結膜（３１）の形成厚
みを制御して半導体ウエーハを正しい位置に反りなく保
持して研磨加工を行なうようにしたものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】薄板の加工物をチャッ
キング保持する手段として前記公知技術のように接着部
材や真空手段を用いる方法の他，磁気力によって加工物
をチャッキングするものもある。また、両面テープ等の
副資材を用いて加工物を保持するものもある。
キング保持する手段として前記公知技術のように接着部
材や真空手段を用いる方法の他，磁気力によって加工物
をチャッキングするものもある。また、両面テープ等の
副資材を用いて加工物を保持するものもある。
【０００６】しかしながら、以上の従来のチャッキング
方法や装置は、各種の接着部材を使用する必要があり、
且つ水を冷却する装置，真空発生装置，磁気固着装置等
が必要となり、設備コストが大となる。また、ワックス
を使用する場合には、加工前後にワックスを溶かす加熱
装置が必要になり、加工後にワックスを取るための洗浄
装置が必要となる。また、両面テープの場合も、接着剤
を溶かすための溶剤が必要になり、作業環境にも悪影響
を及ぼす問題点がある。
方法や装置は、各種の接着部材を使用する必要があり、
且つ水を冷却する装置，真空発生装置，磁気固着装置等
が必要となり、設備コストが大となる。また、ワックス
を使用する場合には、加工前後にワックスを溶かす加熱
装置が必要になり、加工後にワックスを取るための洗浄
装置が必要となる。また、両面テープの場合も、接着剤
を溶かすための溶剤が必要になり、作業環境にも悪影響
を及ぼす問題点がある。
【０００７】本発明は、以上の問題点を解決するもの
で、薄板の加工物を確実に保持できると共に、安価で取
り扱いが容易であり、高精度の表面加工ができ、各種輪
郭形状の加工物にも対応できる薄板のチャッキング方法
及び装置を提供することを目的とする。
で、薄板の加工物を確実に保持できると共に、安価で取
り扱いが容易であり、高精度の表面加工ができ、各種輪
郭形状の加工物にも対応できる薄板のチャッキング方法
及び装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、以上の目的を
達成するために、表面仕上げされる薄板の加工物を保持
するチャッキング方法であって、チャック面と加工物と
の間に液体を介在せしめ、その表面張力によって前記加
工物を前記チャック面に固着する薄板のチャッキング方
法を特徴とする。更に具体的に、前記液体が水又は粘着
性を有する液体であり、前記加工物の周縁を当接部材で
保持して該加工物の移動を拘束することを特徴とする。
達成するために、表面仕上げされる薄板の加工物を保持
するチャッキング方法であって、チャック面と加工物と
の間に液体を介在せしめ、その表面張力によって前記加
工物を前記チャック面に固着する薄板のチャッキング方
法を特徴とする。更に具体的に、前記液体が水又は粘着
性を有する液体であり、前記加工物の周縁を当接部材で
保持して該加工物の移動を拘束することを特徴とする。
【０００９】また、本発明は、表面仕上げされる薄板の
加工物を保持するチャッキング装置であって、チャック
面に液体を介して密接保持された前記加工物の周縁に当
接して該加工物の移動を拘束する当接部材を設ける薄板
のチャッキング装置を構成するものである。更に具体的
に、前記当接部材が、前記チャック面を形成するチャッ
ク本体側に装着され、前記加工物の外周縁を覆う堰を形
成するリング状部材であり、前記リング状部材の前記堰
は、連続的又は断続的に形成されることを特徴とする。
また、前記当接部材が、前記チャック面を形成するチャ
ック本体側に植設される多数本のピン部材であり、前記
ピン部材は、前記チャック本体側に着脱可能に植設さ
れ、前記加工物の外周縁の輪郭に対応する位置に植設さ
れて前記加工物の外周縁を部分的に保持することを特徴
とする。
加工物を保持するチャッキング装置であって、チャック
面に液体を介して密接保持された前記加工物の周縁に当
接して該加工物の移動を拘束する当接部材を設ける薄板
のチャッキング装置を構成するものである。更に具体的
に、前記当接部材が、前記チャック面を形成するチャッ
ク本体側に装着され、前記加工物の外周縁を覆う堰を形
成するリング状部材であり、前記リング状部材の前記堰
は、連続的又は断続的に形成されることを特徴とする。
また、前記当接部材が、前記チャック面を形成するチャ
ック本体側に植設される多数本のピン部材であり、前記
ピン部材は、前記チャック本体側に着脱可能に植設さ
れ、前記加工物の外周縁の輪郭に対応する位置に植設さ
れて前記加工物の外周縁を部分的に保持することを特徴
とする。
【００１０】また、前記チャック本体側には、前記チャ
ック面に連通する貫通孔が形成され、該貫通孔には、前
記チャック面に保持されている前記加工物を前記チャッ
ク面から離脱するための押し出し手段が係合することを
特徴とする。また、前記押し出し手段が、前記貫通孔内
に供給される圧力媒体であり、前記押し出し手段が、前
記貫通孔に摺動自在に支持される押し出しピンであるこ
とを特徴とする。また、前記チャック本体の前記チャッ
ク面には凹溝が形成され、該凹溝は前記貫通孔に連通す
るものであることを特徴とする。
ック面に連通する貫通孔が形成され、該貫通孔には、前
記チャック面に保持されている前記加工物を前記チャッ
ク面から離脱するための押し出し手段が係合することを
特徴とする。また、前記押し出し手段が、前記貫通孔内
に供給される圧力媒体であり、前記押し出し手段が、前
記貫通孔に摺動自在に支持される押し出しピンであるこ
とを特徴とする。また、前記チャック本体の前記チャッ
ク面には凹溝が形成され、該凹溝は前記貫通孔に連通す
るものであることを特徴とする。
【００１１】また、前記当接部材が、チャック本体側に
摺動可能に支持され、該当接部材には、該当接部材を前
記チャック本体側から離れる方向に押圧する押圧機構部
が当接係合することを特徴とする。また、前記表面仕上
げが、研磨加工であることを特徴とするものである。
摺動可能に支持され、該当接部材には、該当接部材を前
記チャック本体側から離れる方向に押圧する押圧機構部
が当接係合することを特徴とする。また、前記表面仕上
げが、研磨加工であることを特徴とするものである。
【００１２】薄板の加工物は、水又は粘着性を有する液
体を介在せしめることによりチャック本体のチャック面
に簡単に密接保持され、通常の研削力では不動状態に保
持される。更に、加工物のチャック面への固持を確実に
するため、加工物の周縁を当接部材で保持する。一方、
加工済みの加工物をチャック面から簡単に離脱する方法
として貫通孔およびこれに連通する凹溝等に押し出し手
段を係合せしめる。また、当接部材はチャック本体側に
固持されてもよいが、これを摺動可能にチャック本体側
に支持し、且つ当接部材をチャック本体側から離れる方
向に押圧する押圧機構部を設けることにより当接部材と
加工物との当接形態が安定し、加工物の保持がより確実
に行なわれる。なお、本発明は各種の表面仕上げに適用
されるが、薄板の加工物の研磨仕上げに対して好適なも
のである。
体を介在せしめることによりチャック本体のチャック面
に簡単に密接保持され、通常の研削力では不動状態に保
持される。更に、加工物のチャック面への固持を確実に
するため、加工物の周縁を当接部材で保持する。一方、
加工済みの加工物をチャック面から簡単に離脱する方法
として貫通孔およびこれに連通する凹溝等に押し出し手
段を係合せしめる。また、当接部材はチャック本体側に
固持されてもよいが、これを摺動可能にチャック本体側
に支持し、且つ当接部材をチャック本体側から離れる方
向に押圧する押圧機構部を設けることにより当接部材と
加工物との当接形態が安定し、加工物の保持がより確実
に行なわれる。なお、本発明は各種の表面仕上げに適用
されるが、薄板の加工物の研磨仕上げに対して好適なも
のである。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の薄板のチャッキン
グ方法及び装置の実施の形態を図面を参照して詳述す
る。図１および図２は本発明の最も基本的なチャッキン
グ方法を示すものである。チャック本体１の平坦なチャ
ック面２は液体３により予め湿らされる。液体３は水で
もよいが、粘着性のある液体が望ましく、例えば、研磨
時の加工液でもよい。従って、従来技術のように接着部
材を使用する必要はない。液体３の湿らし方は適宜の方
法でよく、スプレー，手塗り，はけ塗り等の通常の手段
が用いられる。薄板の半導体ウエーハのような加工物４
は液体３により湿らされているチャック面２に当接する
ことにより密接保持される。これは、液体３を有する表
面張力が薄板の加工物４に作用し、加工物４をチャック
面２に密接するように作用するためである。図２に示す
ように、液体３を介してチャック面２に保持されている
加工物４に研削砥石５を当接せしめて公転，回転を両者
間で行なうことにより加工物４の表面加工が行なわれ
る。
グ方法及び装置の実施の形態を図面を参照して詳述す
る。図１および図２は本発明の最も基本的なチャッキン
グ方法を示すものである。チャック本体１の平坦なチャ
ック面２は液体３により予め湿らされる。液体３は水で
もよいが、粘着性のある液体が望ましく、例えば、研磨
時の加工液でもよい。従って、従来技術のように接着部
材を使用する必要はない。液体３の湿らし方は適宜の方
法でよく、スプレー，手塗り，はけ塗り等の通常の手段
が用いられる。薄板の半導体ウエーハのような加工物４
は液体３により湿らされているチャック面２に当接する
ことにより密接保持される。これは、液体３を有する表
面張力が薄板の加工物４に作用し、加工物４をチャック
面２に密接するように作用するためである。図２に示す
ように、液体３を介してチャック面２に保持されている
加工物４に研削砥石５を当接せしめて公転，回転を両者
間で行なうことにより加工物４の表面加工が行なわれ
る。
【００１４】図１，図２に示した加工物４の保持方法で
は、強力な研削抵抗に負ける場合がある。この補助手段
として加工物４の周縁，例えば外周縁を保持する当接部
材が使用される。図３乃至図６は当接部材の１つである
リング状部材６を示す。この場合、リング状部材６で加
工物４を保持するには、加工物４の外径がチャック本体
の外周７とほぼ同径のものからなる。リング状部材６は
チャック本体１の外周７に装着され、その内面には加工
物４の外周縁に当接する堰８が形成される。堰８は加工
物４のチャック面２に沿う移動を拘束し、加工物４を安
定保持すべく機能する。
は、強力な研削抵抗に負ける場合がある。この補助手段
として加工物４の周縁，例えば外周縁を保持する当接部
材が使用される。図３乃至図６は当接部材の１つである
リング状部材６を示す。この場合、リング状部材６で加
工物４を保持するには、加工物４の外径がチャック本体
の外周７とほぼ同径のものからなる。リング状部材６は
チャック本体１の外周７に装着され、その内面には加工
物４の外周縁に当接する堰８が形成される。堰８は加工
物４のチャック面２に沿う移動を拘束し、加工物４を安
定保持すべく機能する。
【００１５】図３，図４は連続した堰８を有するリング
状部材６を示したが、図５，図６は断続的な堰８ａを有
するリング状部材６ａを示す。断続的な堰８ａによって
も加工物４は十分に保持される。また、断続的な堰８ａ
の場合には、空隙部９が開口形成されるため、加工液が
加工部に入り易く、且つ熱の放散効率もよく、加工性の
向上が図れる。
状部材６を示したが、図５，図６は断続的な堰８ａを有
するリング状部材６ａを示す。断続的な堰８ａによって
も加工物４は十分に保持される。また、断続的な堰８ａ
の場合には、空隙部９が開口形成されるため、加工液が
加工部に入り易く、且つ熱の放散効率もよく、加工性の
向上が図れる。
【００１６】図７乃至図１０は前記当接部材としてピン
部材１０を用いた場合を示す。ピン部材１０はチャック
本体１のチャック面２側に多数本着脱可能に植設され
る。なお、ピン部材１０は各種の外周縁の輪郭形状の加
工物４に対応し得るために、例えば、図７に示すように
ランダムに配列されるが、加工物４の外周縁が一定の場
合にはそれに対応する位置に整然と配列される。図８に
示すように、ピン部材１０はその外周を加工物４の外周
縁１１に当接し加工物４を保持する。また、ピン部材１
０の突出端は加工物４の加工面よりもやや引っ込んだ位
置に配置される。
部材１０を用いた場合を示す。ピン部材１０はチャック
本体１のチャック面２側に多数本着脱可能に植設され
る。なお、ピン部材１０は各種の外周縁の輪郭形状の加
工物４に対応し得るために、例えば、図７に示すように
ランダムに配列されるが、加工物４の外周縁が一定の場
合にはそれに対応する位置に整然と配列される。図８に
示すように、ピン部材１０はその外周を加工物４の外周
縁１１に当接し加工物４を保持する。また、ピン部材１
０の突出端は加工物４の加工面よりもやや引っ込んだ位
置に配置される。
【００１７】図９は長方形状の外周縁１１を有する加工
物４を保持するピン部材１０を示す。この場合における
ピン部材１０は図７に示した輪郭ａに当接係合するもの
が使用される。図１０は曲線形状の外周縁１１ａを有す
る加工物４ａを保持するピン部材１０ａを示す。この場
合におけるピン部材１０ａは、図７に示す輪郭ｂに当接
係合するピン部材１０ａが使用される。同様に任意の輪
郭形状の加工物４に対してもその外周縁に対応する位置
にあるピン部材１０，１０ａを用いることにより加工物
４を不動状態に保持することができる。
物４を保持するピン部材１０を示す。この場合における
ピン部材１０は図７に示した輪郭ａに当接係合するもの
が使用される。図１０は曲線形状の外周縁１１ａを有す
る加工物４ａを保持するピン部材１０ａを示す。この場
合におけるピン部材１０ａは、図７に示す輪郭ｂに当接
係合するピン部材１０ａが使用される。同様に任意の輪
郭形状の加工物４に対してもその外周縁に対応する位置
にあるピン部材１０，１０ａを用いることにより加工物
４を不動状態に保持することができる。
【００１８】図１１に示すように、チャック本体１には
チャック面２側に連通する貫通孔１２が形成される。貫
通孔１２はチャック面２に密接保持されて表面加工され
た加工済みの加工物をチャック面２から離脱するための
ものである。離脱するための具体的手段としては、貫通
孔１２内に高圧エアを導入する方法、高圧の液状媒体を
導入する方法や図１３に示すように貫通孔１２内に押し
出し棒やピン１４を挿入する等の各種の押し出し手段が
採用される。
チャック面２側に連通する貫通孔１２が形成される。貫
通孔１２はチャック面２に密接保持されて表面加工され
た加工済みの加工物をチャック面２から離脱するための
ものである。離脱するための具体的手段としては、貫通
孔１２内に高圧エアを導入する方法、高圧の液状媒体を
導入する方法や図１３に示すように貫通孔１２内に押し
出し棒やピン１４を挿入する等の各種の押し出し手段が
採用される。
【００１９】図１１に示した貫通孔１２による加工物４
の押し出しは、加工物４の局所にのみ押圧力が作用し、
加工物４を変形させる問題点がある。この問題点を解消
する手段としては、多数個の貫通孔１２を設ける方法も
あるが、貫通孔１２に一度に多数本の押し出し棒やピン
を挿入することが難しい問題点があり、且つ押し出し作
業が複雑となり作業性が悪い問題点がある。そこで、図
１２に示す凹溝１３が採用される。凹溝１３はチャック
本体１のチャック面２側に設けられる連続溝であり、図
示では複数本（図示では２本）のリング溝１３ａと、該
リング溝間を連通するバイパス路１３ｂからなる。な
お、凹溝１３は貫通孔１２に連通する。凹溝１３によ
り、加工物４に作用する押圧力の平均化が図れる。
の押し出しは、加工物４の局所にのみ押圧力が作用し、
加工物４を変形させる問題点がある。この問題点を解消
する手段としては、多数個の貫通孔１２を設ける方法も
あるが、貫通孔１２に一度に多数本の押し出し棒やピン
を挿入することが難しい問題点があり、且つ押し出し作
業が複雑となり作業性が悪い問題点がある。そこで、図
１２に示す凹溝１３が採用される。凹溝１３はチャック
本体１のチャック面２側に設けられる連続溝であり、図
示では複数本（図示では２本）のリング溝１３ａと、該
リング溝間を連通するバイパス路１３ｂからなる。な
お、凹溝１３は貫通孔１２に連通する。凹溝１３によ
り、加工物４に作用する押圧力の平均化が図れる。
【００２０】前記した当接部材の実施の形態であるリン
グ状部材６やピン部材１０，１０ａはチャック本体１側
に固定されていてもよいが、図１４や図１５に示すよう
にチャック本体１側に摺動可能に支持されるものでもよ
い。図１４に示すように断続的な堰８ａを有するリング
状部材６ａはチャック本体１の外周７に摺動可能に支持
される。なお、図示のようにチャック本体１側に固持さ
れるピン１５がリング状部材６ａの長穴１６に係着さ
れ、リング状部材６ａの回動を拘束する。
グ状部材６やピン部材１０，１０ａはチャック本体１側
に固定されていてもよいが、図１４や図１５に示すよう
にチャック本体１側に摺動可能に支持されるものでもよ
い。図１４に示すように断続的な堰８ａを有するリング
状部材６ａはチャック本体１の外周７に摺動可能に支持
される。なお、図示のようにチャック本体１側に固持さ
れるピン１５がリング状部材６ａの長穴１６に係着さ
れ、リング状部材６ａの回動を拘束する。
【００２１】一方、リング状部材６ａには押圧機構部の
一つである押えばね１７が係合し、リング状部材６ａを
図の下方側に押圧するようにしている。なお、押えばね
１７は本例では片持ちばねからなり、その基端部はチャ
ック本体１に連結され、先端部はリング状部材６ａの図
の上面に当接係合する。押えばね１７により、リング状
部材６ａは加工物４を越えて押し出されるが、加工物４
の加工時には押えばね１７のばね力に抗して移動し、加
工物４の加工面とほぼ同一のレベル位置にその端面を合
致させる。これにより、リング状部材６ａの堰８ａによ
る加工物４の外周縁の保持が確実に行なわれる。
一つである押えばね１７が係合し、リング状部材６ａを
図の下方側に押圧するようにしている。なお、押えばね
１７は本例では片持ちばねからなり、その基端部はチャ
ック本体１に連結され、先端部はリング状部材６ａの図
の上面に当接係合する。押えばね１７により、リング状
部材６ａは加工物４を越えて押し出されるが、加工物４
の加工時には押えばね１７のばね力に抗して移動し、加
工物４の加工面とほぼ同一のレベル位置にその端面を合
致させる。これにより、リング状部材６ａの堰８ａによ
る加工物４の外周縁の保持が確実に行なわれる。
【００２２】図１５は、当接部材のピン部材１０ｂをチ
ャック本体１に摺動可能に設けた実施の形態を示す。ピ
ン部材１０ｂは軸部１８と鍔部１９を有するものからな
り、鍔部１９はチャック本体１側に凹設される凹孔２０
内に収納され、スプリング２１による押圧力を受ける。
なお、ピン部材１０ｂが飛び出さないように、チャック
本体１の凹孔２０の開口端には蓋部材２２が嵌着され
る。スプリング２１のばね力により、ピン部材１０ｂは
押圧され、軸部１８の突出端を加工物４の加工物より突
出される。しかしながら、加工物４の研削時には軸部１
８の突出端は加工物４の加工面と一致する。これによ
り、加工物４の外周縁１１，１１ａとピン部材１０ｂの
軸部１８との当接領域が大となり、加工物４の保持の確
実化が図れる。
ャック本体１に摺動可能に設けた実施の形態を示す。ピ
ン部材１０ｂは軸部１８と鍔部１９を有するものからな
り、鍔部１９はチャック本体１側に凹設される凹孔２０
内に収納され、スプリング２１による押圧力を受ける。
なお、ピン部材１０ｂが飛び出さないように、チャック
本体１の凹孔２０の開口端には蓋部材２２が嵌着され
る。スプリング２１のばね力により、ピン部材１０ｂは
押圧され、軸部１８の突出端を加工物４の加工物より突
出される。しかしながら、加工物４の研削時には軸部１
８の突出端は加工物４の加工面と一致する。これによ
り、加工物４の外周縁１１，１１ａとピン部材１０ｂの
軸部１８との当接領域が大となり、加工物４の保持の確
実化が図れる。
【００２３】以上の説明において、当接部材をリング状
部材やピン部材とし、押し出し手段を圧力媒体や押し出
しピンとし押圧機構部を図示のものとしたが、これ等に
限定するものではなく、同一類似の機能を有する他の公
知技術が適用される。また、当接部材は加工物の外周縁
を保持するものとしたが、加工物の形状により内周縁を
保持するものでもよい。
部材やピン部材とし、押し出し手段を圧力媒体や押し出
しピンとし押圧機構部を図示のものとしたが、これ等に
限定するものではなく、同一類似の機能を有する他の公
知技術が適用される。また、当接部材は加工物の外周縁
を保持するものとしたが、加工物の形状により内周縁を
保持するものでもよい。
【００２４】
１）本発明の請求項１，２に記載の薄板のチャッキング
方法によれば、液体をチャック面と加工物間に介在させ
るだけの極めて簡単な方法により加工物を保持すること
ができ、安価に、実施でき、作業性，操作性の向上が図
れる。
方法によれば、液体をチャック面と加工物間に介在させ
るだけの極めて簡単な方法により加工物を保持すること
ができ、安価に、実施でき、作業性，操作性の向上が図
れる。
【００２５】２）本発明の請求項３に記載の薄板のチャ
ッキング方法および請求項４に記載の薄板のチャッキン
グ装置によれば、加工物の周縁を当接部材で保持するこ
とにより、加工物の保持のより確実化が図れ、高精度の
表面加工を行なうことができる。
ッキング方法および請求項４に記載の薄板のチャッキン
グ装置によれば、加工物の周縁を当接部材で保持するこ
とにより、加工物の保持のより確実化が図れ、高精度の
表面加工を行なうことができる。
【００２６】３）本発明の請求項５，６に記載の薄板の
チャッキング装置によれば、当接部材として堰を有する
リング状部材を採用することにより、加工物の外周縁が
比較的大きな範囲で保持されるため、加工物の安定保持
が可能になる。
チャッキング装置によれば、当接部材として堰を有する
リング状部材を採用することにより、加工物の外周縁が
比較的大きな範囲で保持されるため、加工物の安定保持
が可能になる。
【００２７】４）本発明の請求項７，８に記載の薄板の
チャッキング装置によれば、当接部材としてピン部材を
採用することにより、単一のチャックで各種形状の外周
縁を有する加工物を確実に保持することができる。これ
により、設備コストの低減と作業性の向上が図れる。
チャッキング装置によれば、当接部材としてピン部材を
採用することにより、単一のチャックで各種形状の外周
縁を有する加工物を確実に保持することができる。これ
により、設備コストの低減と作業性の向上が図れる。
【００２８】５）本発明の請求項９乃至１１に記載の薄
板のチャッキング装置によれば、加工済みの加工物をチ
ャック面から離脱させるための押し出し手段が設けられ
るため、加工物の取り外し作業性の向上が図れる。
板のチャッキング装置によれば、加工済みの加工物をチ
ャック面から離脱させるための押し出し手段が設けられ
るため、加工物の取り外し作業性の向上が図れる。
【００２９】６）本発明の請求項１２に記載の薄板のチ
ャッキング装置によれば、貫通孔に連通する凹溝がチャ
ック面に形成されるため、加工物に均一の押し出し力が
作用し、チャック面からの離脱が円滑に行なわれ、加工
物の変形が防止される。
ャッキング装置によれば、貫通孔に連通する凹溝がチャ
ック面に形成されるため、加工物に均一の押し出し力が
作用し、チャック面からの離脱が円滑に行なわれ、加工
物の変形が防止される。
【００３０】７）本発明の請求項１３に記載の薄板のチ
ャッキング装置によれば、当接部材が押圧機構部により
チャック本体から離れる方向に押圧されるため、加工時
においても当接部材がチャック面から十分に突出し、加
工物の外周縁をその厚みの全高において確実に保持する
ことができる。
ャッキング装置によれば、当接部材が押圧機構部により
チャック本体から離れる方向に押圧されるため、加工時
においても当接部材がチャック面から十分に突出し、加
工物の外周縁をその厚みの全高において確実に保持する
ことができる。
【００３１】８）本発明の請求項１４および１５の薄板
のチャッキング方法および薄板のチャッキング装置によ
れば、表面仕上げとして研磨加工を採用することにより
加工物の高精度研削仕上げが可能になる。
のチャッキング方法および薄板のチャッキング装置によ
れば、表面仕上げとして研磨加工を採用することにより
加工物の高精度研削仕上げが可能になる。
【図１】本発明の基本的なチャッキング方法を示す斜視
図。
図。
【図２】図１の方法による加工物のチャッキング状態を
示す正面図。
示す正面図。
【図３】当接部材を設けた本発明のチャッキング方法お
よび装置を説明するための正面図。
よび装置を説明するための正面図。
【図４】連続的な堰を有するリング状部材からなる当接
部材による加工物の保持状態を示す正面図。
部材による加工物の保持状態を示す正面図。
【図５】断続的な堰を有するリング状部材からなる当接
部材による加工物の保持状態を示す正面図。
部材による加工物の保持状態を示す正面図。
【図６】図５の斜視図。
【図７】当接部材としてピン部材を用いた本発明のチャ
ッキング装置を示す下面図。
ッキング装置を示す下面図。
【図８】図７の正面図。
【図９】長方形の加工物をピン部材で保持した状態を示
す斜視図。
す斜視図。
【図１０】外周縁に曲線状の輪郭を形成する加工物をピ
ン部材で保持した状態を示す斜視図。
ン部材で保持した状態を示す斜視図。
【図１１】加工済みの加工物をチャック面から離脱する
ための貫通孔を形成した本発明のチャッキング装置を示
す軸断面図。
ための貫通孔を形成した本発明のチャッキング装置を示
す軸断面図。
【図１２】貫通孔に連通する凹溝をチャック面に設けた
本発明のチャッキング装置を示す下面図。
本発明のチャッキング装置を示す下面図。
【図１３】押し出し手段としてピンを採用した本発明の
チャッキング装置を示す軸断面図。
チャッキング装置を示す軸断面図。
【図１４】当接部材に係合する押し出し機構部の一実施
の形態を示す正面図。
の形態を示す正面図。
【図１５】ピン状の当接部材に係合する押し出し機構部
の実施の形態を示す軸断面図。
の実施の形態を示す軸断面図。
１ チャック本体 ２ チャック面 ３ 液体 ４ 加工物 ４ａ 加工物 ５ 研削砥石 ６ リング状部材 ７ 外周 ８ 堰 ８ａ 堰 ９ 空隙部 １０ ピン部材 １０ａ ピン部材 １０ｂ ピン部材 １１ 外周縁 １１ａ 外周縁 １２ 貫通孔 １３ 凹溝 １３ａ リング溝 １３ｂ バイパス路 １４ ピン １５ ピン １６ 長穴 １７ 押えばね １８ 軸部 １９ 鍔部 ２０ 凹孔 ２１ スプリング ２２ 蓋部材
Claims (15)
- 【請求項１】 表面仕上げされる薄板の加工物を保持す
るチャッキング方法であって、チャック面と加工物との
間に液体を介在せしめ、その表面張力によって前記加工
物を前記チャック面に固着することを特徴とする薄板の
チャッキング方法。 - 【請求項２】 前記液体が水又は粘着性を有する液体で
ある請求項１に記載の薄板のチャッキング方法。 - 【請求項３】 前記加工物の周縁を当接部材で保持して
該加工物の移動を拘束することを特徴とする請求項１に
記載の薄板のチャッキング方法。 - 【請求項４】 表面仕上げされる薄板の加工物を保持す
るチャッキング装置であって、チャック面に液体を介し
て密接保持された前記加工物の周縁に当接して該加工物
の移動を拘束する当接部材を設けることを特徴とする薄
板のチャッキング装置。 - 【請求項５】 前記当接部材が、前記チャック面を形成
するチャック本体側に装着され、前記加工物の外周縁を
覆う堰を形成するリング状部材である請求項４に記載の
薄板のチャッキング装置。 - 【請求項６】 前記リング状部材の前記堰は、連続的又
は断続的に形成されるものである請求項５に記載の薄板
のチャッキング装置。 - 【請求項７】 前記当接部材が、前記チャック面を形成
するチャック本体側に植設される多数本のピン部材であ
る請求項４に記載の薄板のチャッキング装置。 - 【請求項８】 前記ピン部材は、前記チャック本体側に
着脱可能に植設され、前記加工物の外周縁の輪郭に対応
する位置に植設されて前記加工物の外周縁を部分的に保
持するものである請求項７に記載の薄板のチャッキング
装置。 - 【請求項９】 前記チャック本体側には、前記チャック
面に連通する貫通孔が形成され、該貫通孔には、前記チ
ャック面に保持されている前記加工物を前記チャック面
から離脱するための押し出し手段が係合することを特徴
とする請求項４に記載の薄板のチャッキング装置。 - 【請求項１０】 前記押し出し手段が、前記貫通孔内に
供給される圧力媒体である請求項９に記載の薄板のチャ
ッキング装置。 - 【請求項１１】 前記押し出し手段が、前記貫通孔に摺
動自在に支持される押し出しピンである請求項９に記載
の薄板のチャッキング装置。 - 【請求項１２】 前記チャック本体の前記チャック面に
は凹溝が形成され、該凹溝は前記貫通孔に連通するもの
である請求項９に記載の薄板のチャッキング装置。 - 【請求項１３】 前記当接部材が、チャック本体側に摺
動可能に支持され、該当接部材には、該当接部材を前記
チャック本体側から離れる方向に押圧する押圧機構部が
当接係合することを特徴とする請求項４に記載の薄板の
チャッキング装置。 - 【請求項１４】 前記表面仕上げが、研磨加工である請
求項１に記載の薄板のチャッキング方法。 - 【請求項１５】 前記表面仕上げが研磨加工である請求
項４に記載の薄板のチャッキング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9653197A JPH10277929A (ja) | 1997-03-30 | 1997-03-30 | 薄板のチャッキング方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9653197A JPH10277929A (ja) | 1997-03-30 | 1997-03-30 | 薄板のチャッキング方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10277929A true JPH10277929A (ja) | 1998-10-20 |
Family
ID=14167721
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9653197A Pending JPH10277929A (ja) | 1997-03-30 | 1997-03-30 | 薄板のチャッキング方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10277929A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014059193A (ja) * | 2012-09-18 | 2014-04-03 | Japan Atomic Energy Agency | 燃料棒の被覆管試験片作製方法及び治具 |
| CN113478269A (zh) * | 2021-06-28 | 2021-10-08 | 大连理工大学 | 面向一体式结构薄壁阵列的在位冰冻加工方法 |
-
1997
- 1997-03-30 JP JP9653197A patent/JPH10277929A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014059193A (ja) * | 2012-09-18 | 2014-04-03 | Japan Atomic Energy Agency | 燃料棒の被覆管試験片作製方法及び治具 |
| CN113478269A (zh) * | 2021-06-28 | 2021-10-08 | 大连理工大学 | 面向一体式结构薄壁阵列的在位冰冻加工方法 |
| CN113478269B (zh) * | 2021-06-28 | 2022-04-12 | 大连理工大学 | 面向一体式结构薄壁阵列的在位冰冻加工方法 |
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