JPH1027765A - チップ状電子部品の製造方法 - Google Patents
チップ状電子部品の製造方法Info
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- JPH1027765A JPH1027765A JP29135596A JP29135596A JPH1027765A JP H1027765 A JPH1027765 A JP H1027765A JP 29135596 A JP29135596 A JP 29135596A JP 29135596 A JP29135596 A JP 29135596A JP H1027765 A JPH1027765 A JP H1027765A
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Abstract
め形成された外部電極となる金属膜上に電気めっきによ
り錫等のめっき膜を能率的に形成できるようにする。 【解決手段】 分割することにより複数の素体が得られ
るように複数の素体を長手方向に配列したスティック状
ブロック11の長手方向に延びる両側面に予め金属膜1
2を形成しておく。このブロック11を導電性のホルダ
13によって保持する。ホルダ13には、クリアランス
18を残してブロック11を収納するキャビティ17が
設けられるとともに、外部から金属膜12へのめっき液
の到達を許容する経路が透孔19,20およびクリアラ
ンス18によって与えられている。このホルダ13をめ
っき液に浸漬しかつ陰極側に接続しながら、電気めっき
を行なった後、複数の素体を得るため、ブロック11を
分割する。
Description
品の製造方法に関するもので、特に、チップ状電子部品
の外部電極の形成において電気めっきが適用される、チ
ップ状電子部品の製造方法に関するものである。
チップコンデンサのようなチップ状電子部品を製造する
場合、多数のチップ状電子部品を能率的に得るため、一
般に、図10に示すようなマザー構造物1が用意され
る。マザー構造物1は、複数の互いに平行な第1の分割
線2およびこれら第1の分割線2に対して直交する複数
の互いに平行な第2の分割線3に沿って分割することに
より、複数のチップ状電子部品のための素体4を与える
ものである。
部回路要素との接続のための端子となる外部電極が、典
型的には、図10に示した素体4の両端部上に形成され
る。このような外部電極において、下地となる金属膜
が、まず、ドライめっきまたは焼付け等により、素体4
上に形成され、その上に、半田拡散防止や半田付け性を
高める等の目的でニッケルや錫または半田等の電気めっ
き膜が形成されるものがある。
うなバレル方式が採用されることがある。すなわち、め
っき液5内には、軸6を中心として矢印7で示すように
回転するバレル8が配置されるとともに、バレル8に対
向するように陽極9が配置される。バレル8側は、公知
の手段で陰極とされる。また、バレル8は、めっき液5
の通過を許容する構造を有しており、その内部には、上
述のように下地となる金属膜が既に形成された複数の素
体4とともに、たとえばスチールボールからなる導電性
の複数のメディア10が投入される。
実施するとき、ある素体4上の金属膜が、メディア10
および/または他の素体4上の金属膜を介して、陰極側
に接続されたバレル8の電極とある確率で電気的に導通
し、それによって、陽極9側から供給された金属が金属
膜上に析出する。なお、バレル方式による電気めっきの
場合、主として、バレル8内の表面部にある素体4に対
して、めっきが施されるが、バレル8の回転により複数
の素体4が攪拌されるため、結果として、すべての素体
4に対してめっきが施されることになる。
素体4について見たとき、それが表面部に出てくる確率
は、素体4とメディア10との投入比、素体4の投入数
量、バレル8の大きさ等により左右するものであるが、
いずれにしてもそれほど高くはなく、また、素体4上の
金属膜だけでなくメディア10上にもめっき膜が析出す
るため、所望のめっきを終えるのに比較的長時間要す
る、という問題がある。
らの状態で取り扱われるので、たとえば薄膜でコイル導
体を形成したチップコイルの場合のように、素体4が方
向性を有している場合には、後工程において方向を合わ
せるための操作が必要となり、このことがコストアップ
の原因となっている。さらに、素体4上の下地金属膜が
メディア10と接している時は導通しているが、浮きが
発生した場合は導通が遮断され、めっき膜厚のばらつき
が発生するという問題もある。
る上述したような下地の金属膜の表面に電気めっきによ
りめっき膜を形成する方法が能率化され、かつコストア
ップの要因を低減できる、チップ状電子部品の製造方法
を提供しようとすることである。
電子部品の製造方法では、上述の技術的課題を解決する
ため、分割することにより複数のチップ状電子部品のた
めの素体が得られるように複数の当該素体を長手方向に
配列したものであって、その長手方向に延びかつ互いに
対向する両側面にチップ状電子部品の外部電極となる金
属膜が形成された、スティック状ブロックと、このステ
ィック状ブロックを保持するものであって、外部から金
属膜へのめっき液の到達を許容する経路を有するととも
に、少なくとも一方の金属膜に導電的に接触する導電面
を備える、ホルダとがそれぞれ用意される。そして、こ
のホルダにスティック状ブロックを保持させ、このよう
にスティック状ブロックを保持したホルダをめっき液内
に浸漬し、かつ導電面を陰極側に接続した状態で、電気
めっきが実施される。次いで、複数の素体を得るため、
スティック状ブロックが分割される。
に関して、次のような態様のものがある。第1に、ホル
ダは、スティック状ブロックを収納するキャビティを備
え、このキャビティの少なくとも一部は、スティック状
ブロックの前記両側面に対してそれぞれクリアランスを
介して対向する壁面によって規定され、金属膜へのめっ
き液の到達を許容する通路の一部は、これらクリアラン
スによって与えられる。第2に、ホルダは、スティック
状ブロックを収納するキャビティを備え、このキャビテ
ィは、スティック状ブロックの前記両側面をそれぞれ露
出させる開口を形成している。
電気めっきする工程において、好ましくは、めっき液内
には、2つの陽極が互いに対向するように配置され、ス
ティック状ブロックの前記両側面をそれぞれ陽極に対向
させるように、ホルダが2つの陽極の間に配置される。
また、スティック状ブロックの両側面に形成された金属
膜が、当該スティック状ブロックを介して互いに導通さ
れることもある。この場合には、ホルダにスティック状
ブロックを保持させたとき、ホルダに備える導電面が一
方の金属膜に接触するだけで、他方の金属膜も導電面に
対して導通状態となる。このように、スティック状ブロ
ックの両側面に形成された金属膜が当該スティック状ブ
ロックを介して互いに導通される一態様としては、2つ
の金属膜がスティック状ブロックから得られる各チップ
状電子部品の内部に形成されるコイル導体によって互い
に導通される態様がある。
実施形態によるチップ状電子部品の製造方法を説明する
ためのものである。この実施形態では、図10に示すよ
うに、マザー構造物1が第1の分割線2に沿って1次分
割されることによって得られたスティック状ブロック1
1の形態で以下の工程が実施される。スティック状ブロ
ック11は、最終的には、第2の分割線3に沿って2次
分割することにより複数の素体4が得られるように複数
の素体4を長手方向に配列したものである。
手方向に延びかつ互いに対向する両側面には、図1およ
び図2に示すように、得ようとするチップ状電子部品の
外部電極の下地となる金属膜12が形成される。これら
金属膜12は、スティック状ブロック11の両側面上だ
けでなく、これら側面に隣接する面の一部をも覆う位置
まで延びている。金属膜12は、たとえば、ドライめっ
きにより形成されたり、導電性ペーストの塗布、焼付け
によって形成されたりする。ドライめっきにより形成さ
れる場合、たとえば、ニクロムからなる層とモネルから
なる層との2層構造であったりする。また、焼付けの場
合、たとえば、Ag−Pdを導電成分とする金属膜12
が形成される。
ク11の材質は、セラミックであっても、樹脂であって
もよいが、金属膜12の形成に焼付けが適用される場合
には、耐熱性が要求されるので、セラミックであること
が好ましい。このようなスティック状ブロック11を保
持するため、ホルダ13が用意される。ホルダ13は、
ホルダ本体14と、その両主面上にそれぞれ重ねられる
カバー板15および16とを備える。
ブロック11をそれぞれ個別に収納する複数のキャビテ
ィ17が設けられる。各キャビティ17内にスティック
状ブロック11が収納されたとき、スティック状ブロッ
ク11の厚みがホルダ本体14の厚みの範囲内に納まる
ように、ホルダ本体14の厚みが決められる。また、ス
ティック状ブロック11がキャビティ17内で動き得る
ように、スティック状ブロック11の両側面とこれらに
対向するキャビティ17の各壁面との間には、それぞ
れ、クリアランス18が形成される。
に同様の構成を有している。カバー板15および16
は、上述のようにキャビティ17内に収納されたスティ
ック状ブロック11がキャビティ17内において適正な
姿勢を維持しながら留められるようにするためのもので
ある。カバー板15および16には、上述したクリアラ
ンス18にそれぞれ連通するスリット状の透孔19およ
び20が設けられる。この実施形態では、1つのキャビ
ティ17に関して、2つずつの透孔19および20が位
置するようにされ、また、透孔19および20の各々の
近傍に金属膜12が位置するようにされる。
ティック状ブロック11を保持させた状態としてから、
ホルダ13は、図3に示すように、めっき液21内に浸
漬される。ホルダ13には、その外部から金属膜12へ
のめっき液21の到達を許容する経路が形成されてい
る。すなわち、この経路は、上述した透孔19および2
0ならびにクリアランス18によって与えられる。
ルダ本体14ならびにカバー板15および16は、とも
にステンレス鋼のような導電性材料から構成され、めっ
き液21中において、このホルダ13が陰極側に接続さ
れる。したがって、キャビティ17内において、スティ
ック状ブロック11上の金属膜12は、ホルダ13に接
触することにより、陰極側の電位を有するようにされ
る。他方、ホルダ13に対向するように、めっき液21
内には、たとえば錫またはニッケルからなる陽極22が
配置される。このようにして、電気めっきが進められ、
金属膜12上に、所望の金属からなるめっき膜が析出す
る。
4ならびにカバー板15および16のすべてが導電性材
料から構成されるのではなく、金属膜12に接触する部
分のみが導電性材料から構成されてもよい。たとえば、
この実施形態では、カバー板16を下方に向けて、ホル
ダ13が水平姿勢に配置されるので、このカバー板16
のみが導電性材料から構成されてもよい。要するに、ホ
ルダ13は、陰極側に接続されかつ金属膜12に導電的
に接触する導電面を少なくとも備えていればよいことに
なるので、ホルダ13の、金属膜12に接触する面のみ
が導電性を有するようにされてもよく、ホルダ13自身
の材料は任意に選ぶことができる。
くは、めっき液21は適当に攪拌され、透孔19および
20ならびにクリアランス18によって与えられる経路
を通ってめっき液21が良好に循環するようにされる。
また、ホルダ13は、図3において矢印23で示すよう
に、めっき液21中にて、前後、左右または上下に揺動
または振動されるのが好ましい。これによって、スティ
ック状ブロック11はキャビティ17内で動くので、上
述しためっき液21の循環が一層促進されるとともに、
金属膜12上へめっき膜がより均一に析出するようにな
り、また、めっき膜の析出によりホルダ13とスティッ
ク状ブロック11とがくっつくことがない。
るめっき膜が形成されたスティック状ブロック11は、
図10に示すように、ここから複数の素体4または完成
品としてのチップ状電子部品を得るため、第2の分割線
3に沿って2次分割される。この分割後の姿勢を崩さな
いように、複数の素体4を取り扱うようにすれば、素体
4の方向性を合わせるための再整列工程を不要とするこ
とができる。
態によるチップ状電子部品の製造方法を説明するための
ものである。この実施形態では、まず、用いられるホル
ダ13aが前述した実施形態におけるホルダ13と異な
っている。図4に示すように、ホルダ13aは、ホルダ
13の場合と同様、ホルダ本体14aと、その両主面上
にそれぞれ重ねられるカバー板15aおよび16aとを
備える。
状ブロック11をそれぞれ個別に収納する複数のキャビ
ティ17a(1つのみが図示されている。)が設けられ
る。各キャビティ17a内にスティック状ブロック11
が収納されたとき、スティック状ブロック11の幅がホ
ルダ本体14aの厚みの範囲内に納まるように、ホルダ
本体14aの厚みが決められる。キャビティ17aは、
ここに収納されたスティック状ブロック11の両側面を
それぞれ露出させる開口24および25を形成してい
る。
質的に同様の構成を有している。カバー板15aおよび
16aには、上述した開口24および25の位置にそれ
ぞれ対応する位置に透孔26および27が設けられる。
なお、カバー板15aおよび16aは、詳細には図示し
ないが、スティック状ブロック11の長手方向両端部に
おいて、スティック状ブロック11を覆う壁部28およ
び29を有していて、これによって、上述のようにキャ
ビティ17a内に収納されたスティック状ブロック11
がキャビティ17a内において適正な姿勢を維持しなが
ら留められるようにされる。
から金属膜12へのめっき液30の到達を許容する経路
は、透孔26および27と開口24および25を含むキ
ャビティ17aの一部とによって与えられる。また、こ
の実施形態では、図4および図5に示すように、ホルダ
13aがその面方向を垂直に向けてめっき液30中に配
置される。また、めっき液30内には、垂直方向に延び
る2つの陽極31および32が互いに対向するように配
置される。そして、ホルダ13aは、スティック状ブロ
ック11の両側面をそれぞれ陽極31および32に対向
させるように、2つの陽極31および32の間に配置さ
れる。
とき、スティック状ブロック11の両側面すなわち金属
膜12が、開口24および25ならびに透孔26および
27を介して、陽極31および32とそれぞれ正面で対
向しているので、金属膜12上により効率的にめっき膜
を析出させることができる。この実施形態においても、
ホルダ本体14aならびにカバー板15aおよび16a
のすべてが導電性材料から構成されるのではなく、金属
膜12に接触する部分のみが導電性材料から構成されて
もよい。たとえば、この実施形態では、ホルダ13aが
垂直姿勢に配置されるので、ホルダ本体14aのみが導
電性材料から構成されてもよい。また、ホルダ13a
の、金属膜12に接触する面のみが導電性を有するよう
にされてもよい。
は、めっき液30は適当に攪拌され、透孔26および2
7ならびに開口24および25を通ってめっき液30が
良好に循環するようにされる。また、ホルダ13aは、
図5において矢印33で示すように、めっき液30中に
て、前後、左右または上下に揺動または振動されるのが
好ましい。これによって、スティック状ブロック11は
キャビティ17a内で動くので、上述しためっき液30
の循環が一層促進されるとともに、金属膜12上へめっ
き膜がより均一に析出するようになり、また、めっき膜
の析出によりホルダ13aとスティック状ブロック11
とがくっつくことがない。
金属膜12上に所望の金属からなるめっき膜が形成され
たスティック状ブロック11は、図10に示すように、
第2の分割線3に沿って分割され、それによって複数の
素体4または完成品としてのチップ状電子部品が与えら
れる。図6ないし図8は、この発明のさらに他の実施形
態によるチップ状電子部品の製造方法を説明するための
ものである。ここで、図6は、前述した図1に対応する
図であって、ホルダ13bを分解してスティック状ブロ
ック11aとともに示す斜視図である。また、図7は、
図6の線VII−VIIに沿う断面をもってホルダ13
bをスティック状ブロック11aとともに示す拡大断面
図であり、図8は、同じく線VIII−VIIIに沿う
断面をもって示したものである。
bの形態およびホルダ13b内でのスティック状ブロッ
ク11aの保持姿勢が、前述した実施形態の場合とは異
なっている。ホルダ13bは、ホルダ本体14bと、そ
の両主面上にそれぞれ重ねられるカバー板15bおよび
16bとを備える。ホルダ本体14bには、複数のステ
ィック状ブロック11aをともに収納するキャビティ1
7bが設けられる。キャビティ17bは、上下方向に貫
通している。キャビティ17bを規定する周面上であっ
て、対向する1対の内側面の各々上には、複数の位置決
め凹部34および35が等間隔に配列されて設けられ
る。スティック状ブロック11aは、各々の長手方向の
各端部が位置決め凹部34および35内に位置決めされ
た状態で、キャビティ17b内に収納される。キャビテ
ィ17b内では、スティック状ブロック11aは、その
両側面に形成された金属膜12aおよび12bが上下方
向に向くようにされ、このような姿勢にあるスティック
状ブロック11aの上下方向寸法がホルダ本体14bの
厚みの範囲内に納まるように、ホルダ本体14bの厚み
が決められる。
凹部34および35内において、幅方向クリアランス3
6(図7参照)、長手方向クリアランス37(図8参
照)および上下方向クリアランス38(図7および図8
参照)を形成して位置され、そのため、これらクリアラ
ンス36〜38の分だけ、キャビティ17b内で幅方
向、長手方向および上下方向に動くことができる。
質的に同様の構成を有している。カバー板15bおよび
16bには、上述したキャビティ17bの位置に対応し
て透孔39および40が設けられる。透孔39および4
0は、スティック状ブロック11aの両側面に形成され
た金属膜12aおよび12bをそれぞれ露出させる。ま
た、カバー板15bおよび16bは、図7および図8に
よく示されているように、スティック状ブロック11a
の長手方向両端部において、スティック状ブロック11
aを覆う壁部41および42を有していて、これによっ
て、上述のようにキャビティ17b内に収納されたステ
ィック状ブロック11aがキャビティ17b内において
適正な姿勢を維持しながら留められるようにされる。
から金属膜12aおよび12bへのめっき液の到達を許
容する経路は、透孔39および40とキャビティ17b
の一部とによって与えられる。この実施形態では、ステ
ィック状ブロック11aは、下方の導電膜12bにおい
てのみ、ホルダ13b、より特定的には下のカバー板1
6bに接触しており、この状態で、めっき液中に配置さ
れ、下方の導電膜12bに対してだけでなく上方の導電
膜12aに対しても電気めっきが施される。
では、スティック状ブロック11aを分割して得られる
チップ状電子部品は、内部にコイル導体43を形成する
インダクタンス素子すなわちチップコイルであり、この
スティック状ブロック11aの両側面に形成された金属
膜12aおよび12bは、コイル導体43によって互い
に導通されている。したがって、ホルダ13bに一方の
金属膜12bを接触させるだけで、他方の金属膜12a
にも陰極側の電位が与えられ、双方の金属膜12aおよ
び12bに対する電気めっきを同時に達成することがで
きる。
互いに導通する状態にするのは、上述したコイル導体4
3以外のものであってもよい。たとえば金属皮膜抵抗体
のような抵抗体であってもよい。また、この導通手段
は、上述したコイル導体43のように、スティック状ブ
ロック11aの内部に形成されるものに限らず、外表面
上に形成されるものであってもよい。また、導電手段
は、得ようとするチップ状電子部品のための電気的要素
となるものを兼ねるのではなく、たとえば、スティック
状ブロック11aの長手方向端部であって、チップ状電
子部品を取り出す部分ではない部分に形成された導電手
段であってもよい。
bならびにカバー板15bおよび16bのすべてが導電
性材料から構成されるのではなく、下方の金属膜12b
に接触する部分のみが導電性材料から構成されてもよ
い。たとえば、この実施形態では、下方のカバー板16
bのみが導電性材料から構成されても、また、カバー板
16bの、金属膜12bに接触する面のみが導電性を有
するようにされてもよい。
は、めっき液は適当に攪拌され、透孔39および40を
通ってめっき液が良好に循環するようにされる。また、
ホルダ13bは、めっき液中にて、前後、左右または上
下に揺動または振動されるのが好ましい。これによっ
て、スティック状ブロック11aはキャビティ17b内
で動くので、上述しためっき液の循環が一層促進される
とともに、金属膜12aおよび12b上へめっき膜がよ
り均一に析出するようになり、また、めっき膜の析出に
よりホルダ13bとスティック状ブロック11aとがく
っつくことがない。
向に揺らすと、スティック状ブロック11aは、ホルダ
13bに対して図8において左右方向に往復変位する。
これによって、クリアランス37の大きさおよびスティ
ック状ブロック11aの長手方向端部における金属膜1
2bが形成されない領域の大きさを適当に選べば、カバ
ー板16bに接触する金属膜12bの端部においてもめ
っき液に接触する機会が与えられ、めっき膜の形成が阻
害されない。
2bの端部においては、上述のように、めっき液に接触
する機会が与えられるとしても、金属膜12bの他の部
分に比べると、めっき液に接触している総時間が短く、
析出するめっき膜の膜厚も薄くなることは避けられな
い。したがって、この問題を懸念するならば、金属膜1
2bの端部が位置するスティック状ブロック11aの端
部には、コイル導体43を形成せず、金属膜12bのみ
を形成し、この端部からはチップ状電子部品を取り出さ
ないようにすればよい。
金属膜12aおよび12b上に所望の金属からなるめっ
き膜が形成されたスティック状ブロック11aは、図1
0に示すように、第2の分割線3に沿って分割され、そ
れによって複数の素体4または完成品としてのチップ状
電子部品が与えられる。図9は、この発明のさらに他の
実施形態を説明するためのものである。図9に示した実
施形態は、前述した各実施形態におけるホルダ13、1
3aおよび13bのいずれに対しても適用することがで
きる。したがって、図9では、これらホルダ13、13
aおよび13bを総括して、「13c」の参照符号をも
ってホルダが示されている。
が、互いの間に間隔を置いた状態となるように、スペー
サ部材44により保持される。このような保持状態のま
ま、複数のホルダ13cは、めっき液内に浸漬され、各
ホルダ13cによって保持された複数のスティック状ブ
ロックの金属膜に対してめっきが施される。このとき、
複数のホルダ13cの互いの間にもめっき液が円滑に流
通するので、各ホルダ13c間でめっき膜析出量に差が
生じることはない。
取り扱えば、めっき工程の能率が高められるので、チッ
プ状電子部品の生産能力が高められ、結果として、チッ
プ状電子部品のコストダウンを図ることができる。以
上、この発明を図示した実施形態に関連して説明した
が、この発明の範囲内において、その他、種々の変形の
実施形態が可能である。
ク11または11aを保持することができ、外部からス
ティック状ブロック11または11a上の金属膜12ま
たは12aおよび12bへのめっき液の到達を許容する
経路を有するとともに、金属膜12または少なくとも一
方の金属膜12bに導電的に接触する導電面を備える、
という条件を満たす限り、どのような形態のものでもよ
く、その形状、構造、分割構成等は種々に変更すること
ができる。
ら金属膜へのめっき液の到達を許容する経路を有すると
ともに、少なくとも一方の金属膜に導電的に接触する導
電面を備えるホルダを用い、このホルダによってスティ
ック状ブロックを保持しかつ導電面を陰極側に接続した
状態で、スティック状ブロックをホルダとともにめっき
液に浸漬して電気めっきを実施するので、金属膜上への
めっき膜の析出が、めっき操作中において、常に進行す
る。したがって、バレル方式に比べて、より短時間でめ
っき工程を終えることができ、めっきに必要な電力の節
減を図ることができる。
ることにより複数の素体が得られるスティック状ブロッ
クの形態で、外部電極のための金属膜上への電気めっき
膜の形成が行なわれるので、その後の工程にまで素体を
一定の方向に向けた整列状態で取り扱うことが可能とな
り、バレル方式の場合に必要であった素体の再整列工程
が不要となる。したがって、このことは、特に方向性の
あるたとえばチップコイルのようなチップ状電子部品の
製造にとって有利であり、このような再整列のためのコ
ストの削減に伴い、全体としてのチップ状電子部品の製
造コストを低減することができる。
ック状ブロックを収納するキャビティが、スティック状
ブロックの金属膜が形成された両側面をそれぞれ露出さ
せる開口を形成しているものを用いるとともに、電気め
っきするとき、めっき液内に2つの陽極を互いに対向す
るように配置し、スティック状ブロックの上述の両側面
をそれぞれ陽極に対向させるように、ホルダを2つの陽
極の間に配置すれば、各金属膜上に、より能率的にめっ
き膜を析出させることができる。
成された金属膜が、当該スティック状ブロックを介して
互いに導通される場合には、ホルダにスティック状ブロ
ックを保持させたとき、ホルダに備える導電面が一方の
金属膜に接触するだけで、他方の金属膜も導電面に対し
て導通した状態となる。したがって、この実施形態によ
れば、ホルダに備える導電面を両方の金属膜に接触させ
るための配慮が不要となるので、ホルダの設計が容易に
なる。このような効果は、得ようとするチップ状電子部
品がたとえばチップコイルである場合のように、スティ
ック状ブロックから得られる各チップ状電子部品の内部
に形成されるコイル導体によって、2つの金属膜が互い
に導通されている場合などにおいて期待することができ
る。
の製造方法において用いられるホルダ13の一部を拡大
してスティック状ブロック11とともに示す断面図であ
る。
状ブロック11とともに示す斜視図である。
保持したホルダ13をめっき液21内に浸漬して電気め
っきを実施している状態を示す図解的正面図である。
品の製造方法において用いられるホルダ13aの一部を
拡大してスティック状ブロック11とともに示す断面図
であり、併せて陽極31および32の各一部を示してい
る。
相当の図である。
電子部品の製造方法において用いられるホルダ13bを
分解してスティック状ブロック11aとともに示す斜視
図である。
ルダ13bをスティック状ブロック11aとともに示す
拡大断面図である。
てホルダ13bをスティック状ブロック11aとともに
示す拡大断面図である。
電子部品の製造方法において適用される複数のホルダ1
3cの配置状態を示す正面図である。
の素体4を得るために用意されるマザー構造物1を示す
斜視図である。
めっき工程を図解的に示す正面図である。
Claims (6)
- 【請求項1】 分割することにより複数のチップ状電子
部品のための素体が得られるように複数の当該素体を長
手方向に配列したものであって、その長手方向に延びか
つ互いに対向する両側面にチップ状電子部品の外部電極
となる金属膜が形成された、スティック状ブロックを用
意し、 前記スティック状ブロックを保持するものであって、外
部から前記金属膜へのめっき液の到達を許容する経路を
有するとともに、少なくとも一方の前記金属膜に導電的
に接触する導電面を備える、ホルダを用意し、 前記ホルダに前記スティック状ブロックを保持させ、 前記スティック状ブロックを保持した前記ホルダをめっ
き液内に浸漬し、かつ前記導電面を陰極側に接続した状
態で、電気めっきを行ない、 次いで、複数の前記素体を得るため、前記スティック状
ブロックを分割する、各工程を備える、チップ状電子部
品の製造方法。 - 【請求項2】 前記ホルダは、前記スティック状ブロッ
クを収納するキャビティを備え、前記キャビティの少な
くとも一部は、前記スティック状ブロックの前記両側面
に対してそれぞれクリアランスを介して対向する壁面に
よって規定され、前記金属膜へのめっき液の到達を許容
する通路の一部は、前記クリアランスによって与えられ
る、請求項1に記載のチップ状電子部品の製造方法。 - 【請求項3】 前記ホルダは、前記スティック状ブロッ
クを収納するキャビティを備え、前記キャビティは、前
記スティック状ブロックの前記両側面をそれぞれ露出さ
せる開口を形成している、請求項1に記載のチップ状電
子部品の製造方法。 - 【請求項4】 前記電気めっきする工程において、前記
めっき液内には、2つの陽極が互いに対向するように配
置され、前記スティック状ブロックの前記両側面をそれ
ぞれ前記陽極に対向させるように、前記ホルダが2つの
前記陽極の間に配置される、請求項3に記載のチップ状
電子部品の製造方法。 - 【請求項5】 前記スティック状ブロックの両側面に形
成された前記金属膜は、当該スティック状ブロックを介
して互いに導通されており、前記ホルダに前記スティッ
ク状ブロックを保持させたとき、前記ホルダに備える前
記導電面は一方の前記金属膜に接触する、請求項1ない
し4のいずれかに記載のチップ状電子部品の製造方法。 - 【請求項6】 前記スティック状ブロックの両側面に形
成された前記金属膜は、当該スティック状ブロックから
得られる各チップ状電子部品の内部に形成されるコイル
導体によって互いに導通されている、請求項5に記載の
チップ状電子部品の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29135596A JP3629845B2 (ja) | 1996-05-09 | 1996-11-01 | チップ状電子部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11483396 | 1996-05-09 | ||
JP8-114833 | 1996-05-09 | ||
JP29135596A JP3629845B2 (ja) | 1996-05-09 | 1996-11-01 | チップ状電子部品の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1027765A true JPH1027765A (ja) | 1998-01-27 |
JP3629845B2 JP3629845B2 (ja) | 2005-03-16 |
Family
ID=26453497
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP29135596A Expired - Lifetime JP3629845B2 (ja) | 1996-05-09 | 1996-11-01 | チップ状電子部品の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3629845B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11219920A (ja) * | 1998-01-30 | 1999-08-10 | Ebara Corp | めっき装置 |
JP2011208203A (ja) * | 2010-03-29 | 2011-10-20 | Tdk Corp | めっき装置、めっき方法およびチップ型電子部品の製造方法 |
-
1996
- 1996-11-01 JP JP29135596A patent/JP3629845B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11219920A (ja) * | 1998-01-30 | 1999-08-10 | Ebara Corp | めっき装置 |
JP2011208203A (ja) * | 2010-03-29 | 2011-10-20 | Tdk Corp | めっき装置、めっき方法およびチップ型電子部品の製造方法 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP3629845B2 (ja) | 2005-03-16 |
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