JPH10267563A - 高温加熱炉の測温機構 - Google Patents
高温加熱炉の測温機構Info
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- JPH10267563A JPH10267563A JP8772397A JP8772397A JPH10267563A JP H10267563 A JPH10267563 A JP H10267563A JP 8772397 A JP8772397 A JP 8772397A JP 8772397 A JP8772397 A JP 8772397A JP H10267563 A JPH10267563 A JP H10267563A
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- thermocouple
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 熱電対を挿入した熱電対保護管の先端部を炉
内の温度を測定する部位に設置した場合において、イン
ナーケースの熱膨張により熱電対保護管に大きな外部応
力が加わることを防止することができる高温加熱炉の測
温機構を提供すること。 【解決手段】 熱電対を挿入した熱電対保護管６１の先
端部を炉内の温度を測定する部位に設置するとともに、
熱電対保護管６１の基端側を炉容器の近傍位置まで延出
し、この基端部を、保護管支持部材６２を介して炉容器
に炉容器の軸方向及び半径方向に可動に支持する。
内の温度を測定する部位に設置した場合において、イン
ナーケースの熱膨張により熱電対保護管に大きな外部応
力が加わることを防止することができる高温加熱炉の測
温機構を提供すること。 【解決手段】 熱電対を挿入した熱電対保護管６１の先
端部を炉内の温度を測定する部位に設置するとともに、
熱電対保護管６１の基端側を炉容器の近傍位置まで延出
し、この基端部を、保護管支持部材６２を介して炉容器
に炉容器の軸方向及び半径方向に可動に支持する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＣＶＤ炉、焼結炉
等の高温加熱炉の測温機構に関し、特に、炉内の任意の
部位の温度を測定することができるようにした高温加熱
炉の測温機構に関するものである。
等の高温加熱炉の測温機構に関し、特に、炉内の任意の
部位の温度を測定することができるようにした高温加熱
炉の測温機構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、ＣＶＤ炉、焼結炉等の高温加熱炉
においては、加熱炉の運転を自動制御するため等に、炉
内の各部位の温度を測定するための測温機構を設けるよ
うにしている。
においては、加熱炉の運転を自動制御するため等に、炉
内の各部位の温度を測定するための測温機構を設けるよ
うにしている。
【０００３】その一例を、図５に示すＣＶＤ炉を用いて
説明する。このＣＶＤ炉は、ステンレススチール等から
なる金属製の炉容器１の内部に、加熱室２０を構成する
黒鉛製のインナーケース２を設置するとともに、インナ
ーケース２の周囲に、黒鉛製の発熱体３及び断熱材４を
設けて構成されている。この場合において、黒鉛製の発
熱体３は、炉容器１の胴部１０、ステンレススチール等
からなる金属製の断熱材ケース４１及び断熱材４を貫通
して配設した電極３１を介して電源（図示省略）に接続
するようにする。また、炉容器１の容器下蓋１１には、
インナーケース２の加熱室２０内に反応ガスを導入する
ための、ガス導入管５１、ステンレススチール等からな
る金属製のガス導入管接続部材５２並びに断熱材４及び
インナーケース２を貫通する黒鉛製のノズル５３からな
る反応ガス導入部材５を配設する。また、インナーケー
ス２の上部には、排気筒２１を一体に形成し、加熱室２
０内のガスを、この排気筒２１を介して、炉容器１の容
器上蓋１２の上部に形成した排気管１３を介してガス処
理装置（図示省略）に排出するようにする。
説明する。このＣＶＤ炉は、ステンレススチール等から
なる金属製の炉容器１の内部に、加熱室２０を構成する
黒鉛製のインナーケース２を設置するとともに、インナ
ーケース２の周囲に、黒鉛製の発熱体３及び断熱材４を
設けて構成されている。この場合において、黒鉛製の発
熱体３は、炉容器１の胴部１０、ステンレススチール等
からなる金属製の断熱材ケース４１及び断熱材４を貫通
して配設した電極３１を介して電源（図示省略）に接続
するようにする。また、炉容器１の容器下蓋１１には、
インナーケース２の加熱室２０内に反応ガスを導入する
ための、ガス導入管５１、ステンレススチール等からな
る金属製のガス導入管接続部材５２並びに断熱材４及び
インナーケース２を貫通する黒鉛製のノズル５３からな
る反応ガス導入部材５を配設する。また、インナーケー
ス２の上部には、排気筒２１を一体に形成し、加熱室２
０内のガスを、この排気筒２１を介して、炉容器１の容
器上蓋１２の上部に形成した排気管１３を介してガス処
理装置（図示省略）に排出するようにする。
【０００４】ところで、このＣＶＤ炉においては、ＣＶ
Ｄ炉の運転、特に、発熱体３による加熱を自動制御する
ために、炉内の温度を測定するための測温機構１０６を
設けるようにしている。この測温機構１０６は、熱電対
（図示省略）を挿入したアルミナ、炭化ケイ素等のセラ
ミックス製の熱電対保護管１６１の先端部を炉内の温度
を測定する部位、具体的には、発熱体３の外表面近傍に
設置するとともに、熱電対保護管１６１の基端側を、断
熱材４及び断熱材ケース４１を貫通させて炉容器１の胴
部１０の近傍位置まで延出し、その基端部をステンレス
スチール等からなる金属製の熱電対保護管取付管１６５
に固定し、この熱電対保護管取付管１６５を密閉状態で
保持する保護管支持部材１６２を介して炉容器１の胴部
１０に固定し、熱電対保護管１６１に挿入した熱電対に
より測定した発熱体３の外表面近傍の温度に基づいて、
加熱室２０内の温度を推定し、発熱体３による加熱を自
動制御できるようにしている。
Ｄ炉の運転、特に、発熱体３による加熱を自動制御する
ために、炉内の温度を測定するための測温機構１０６を
設けるようにしている。この測温機構１０６は、熱電対
（図示省略）を挿入したアルミナ、炭化ケイ素等のセラ
ミックス製の熱電対保護管１６１の先端部を炉内の温度
を測定する部位、具体的には、発熱体３の外表面近傍に
設置するとともに、熱電対保護管１６１の基端側を、断
熱材４及び断熱材ケース４１を貫通させて炉容器１の胴
部１０の近傍位置まで延出し、その基端部をステンレス
スチール等からなる金属製の熱電対保護管取付管１６５
に固定し、この熱電対保護管取付管１６５を密閉状態で
保持する保護管支持部材１６２を介して炉容器１の胴部
１０に固定し、熱電対保護管１６１に挿入した熱電対に
より測定した発熱体３の外表面近傍の温度に基づいて、
加熱室２０内の温度を推定し、発熱体３による加熱を自
動制御できるようにしている。
【０００５】しかしながら、この従来の測温機構１０６
は、加熱室２０内やインナーケース２の温度を直接測定
するものではないため、測温精度が低く、また、加熱室
２０内やインナーケース２の温度変化を即時に検出でき
ないという問題点を有していた。
は、加熱室２０内やインナーケース２の温度を直接測定
するものではないため、測温精度が低く、また、加熱室
２０内やインナーケース２の温度変化を即時に検出でき
ないという問題点を有していた。
【０００６】この問題点に対処するためには、熱電対を
挿入した熱電対保護管１６１の先端部を加熱室２０内や
インナーケース２に設置する必要があるが、特に、大型
炉において、熱電対保護管１６１の先端部を加熱室２０
内やインナーケース２に設置した場合、インナーケース
２の熱膨張により熱電対保護管１６１の先端部の位置が
大きく変位することにより、基端部を熱電対保護管取付
管１６５及び保護管支持部材１６２を介して炉容器１の
胴部１０に固定した熱電対保護管１６１等に大きな外部
応力が加わり、熱電対保護管１６１等が破損するという
問題があった。
挿入した熱電対保護管１６１の先端部を加熱室２０内や
インナーケース２に設置する必要があるが、特に、大型
炉において、熱電対保護管１６１の先端部を加熱室２０
内やインナーケース２に設置した場合、インナーケース
２の熱膨張により熱電対保護管１６１の先端部の位置が
大きく変位することにより、基端部を熱電対保護管取付
管１６５及び保護管支持部材１６２を介して炉容器１の
胴部１０に固定した熱電対保護管１６１等に大きな外部
応力が加わり、熱電対保護管１６１等が破損するという
問題があった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、熱電対を挿
入した熱電対保護管の先端部を炉内の温度を測定する部
位に設置した場合において、インナーケースの熱膨張に
より熱電対保護管に大きな外部応力が加わることを防止
することができる高温加熱炉の測温機構を提供すること
を第１の目的とする。
入した熱電対保護管の先端部を炉内の温度を測定する部
位に設置した場合において、インナーケースの熱膨張に
より熱電対保護管に大きな外部応力が加わることを防止
することができる高温加熱炉の測温機構を提供すること
を第１の目的とする。
【０００８】また、本発明は、熱電対を挿入した熱電対
保護管内に炉内の反応ガスや粉塵等が侵入することを防
止することができる高温加熱炉の測温機構を提供するこ
とを第２の目的とする。
保護管内に炉内の反応ガスや粉塵等が侵入することを防
止することができる高温加熱炉の測温機構を提供するこ
とを第２の目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記第１の目的を達する
ため、本第１発明の高温加熱炉の測温機構は、熱電対を
挿入した熱電対保護管の先端部を炉内の温度を測定する
部位に設置するとともに、該熱電対保護管の基端側を炉
容器の近傍位置まで延出し、該熱電対保護管の基端部
を、保護管支持部材を介して炉容器に炉容器の軸方向及
び半径方向に可動に支持するようにしたことを特徴とす
る。
ため、本第１発明の高温加熱炉の測温機構は、熱電対を
挿入した熱電対保護管の先端部を炉内の温度を測定する
部位に設置するとともに、該熱電対保護管の基端側を炉
容器の近傍位置まで延出し、該熱電対保護管の基端部
を、保護管支持部材を介して炉容器に炉容器の軸方向及
び半径方向に可動に支持するようにしたことを特徴とす
る。
【００１０】炉容器の近傍位置まで延出した熱電対保護
管の基端部を、保護管支持部材を介して炉容器に炉容器
の軸方向及び半径方向に可動に支持することにより、イ
ンナーケースの熱膨張による熱電対保護管の先端部の位
置の変位を、保護管支持部材により吸収し、熱電対保護
管に外部応力が加わることを防止することができる。
管の基端部を、保護管支持部材を介して炉容器に炉容器
の軸方向及び半径方向に可動に支持することにより、イ
ンナーケースの熱膨張による熱電対保護管の先端部の位
置の変位を、保護管支持部材により吸収し、熱電対保護
管に外部応力が加わることを防止することができる。
【００１１】また、上記第２の目的を達するため、本第
２発明の高温加熱炉の測温機構は、上記第１発明の高温
加熱炉の測温機構において、熱電対保護管の基端部近傍
にガス放出管を配設したことを特徴とする。
２発明の高温加熱炉の測温機構は、上記第１発明の高温
加熱炉の測温機構において、熱電対保護管の基端部近傍
にガス放出管を配設したことを特徴とする。
【００１２】熱電対保護管の基端部近傍に配設したガス
放出管からガスパージを行うことにより、熱電対保護管
内に炉内の反応ガスや粉塵等が侵入することを防止する
ことができる。
放出管からガスパージを行うことにより、熱電対保護管
内に炉内の反応ガスや粉塵等が侵入することを防止する
ことができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の高温加熱炉の測温
機構の実施の形態を図面に基づいて説明する。
機構の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１４】図１は、本発明の高温加熱炉の測温機構の
第１実施例を示す。この高温加熱炉の測温機構６は、図
３〜図４に示すように、熱電対６３を挿入したアルミ
ナ、炭化ケイ素等のセラミックス製の熱電対保護管６１
の先端部を炉内の温度を測定する部位、より具体的に
は、加熱室２０内やインナーケース２に設置（図示の実
施例においては、熱電対保護管６１の先端部をインナー
ケース２に設置）するとともに、熱電対保護管６１の基
端側を、発熱体３、断熱材４及び断熱材ケース（図示省
略）を貫通させ、炉容器１（図５に示すＣＶＤ炉参照。
以下同じ。）の近傍位置まで延出し、熱電対保護管６１
の基端部を、保護管支持部材６２を介して炉容器１の胴
部１０に炉容器１の軸方向及び半径方向に可動に支持す
るようにしたもので、炉容器１の胴部１０に固定した保
護管支持部材６２の支持管６２ａと、蓋体６２ｂと、蓋
体６２ｂと熱電対保護管６１の基端部に形成したフラン
ジ６１ａとを接続する蛇腹管等からなるフレキシブル管
６２ｃとから構成する。そして、熱電対６３から導出し
た導線６３ａは、熱電対保護管６１内に配設したアルミ
ナ、窒化ホウ素等の絶縁体材料からなる円筒状の絶縁管
６４に挿通し、保護管支持部材６２の蓋体６２ｂに配設
した熱電対端子６３ｂを介して炉外に配設した測温装置
（図示省略）に接続する。
第１実施例を示す。この高温加熱炉の測温機構６は、図
３〜図４に示すように、熱電対６３を挿入したアルミ
ナ、炭化ケイ素等のセラミックス製の熱電対保護管６１
の先端部を炉内の温度を測定する部位、より具体的に
は、加熱室２０内やインナーケース２に設置（図示の実
施例においては、熱電対保護管６１の先端部をインナー
ケース２に設置）するとともに、熱電対保護管６１の基
端側を、発熱体３、断熱材４及び断熱材ケース（図示省
略）を貫通させ、炉容器１（図５に示すＣＶＤ炉参照。
以下同じ。）の近傍位置まで延出し、熱電対保護管６１
の基端部を、保護管支持部材６２を介して炉容器１の胴
部１０に炉容器１の軸方向及び半径方向に可動に支持す
るようにしたもので、炉容器１の胴部１０に固定した保
護管支持部材６２の支持管６２ａと、蓋体６２ｂと、蓋
体６２ｂと熱電対保護管６１の基端部に形成したフラン
ジ６１ａとを接続する蛇腹管等からなるフレキシブル管
６２ｃとから構成する。そして、熱電対６３から導出し
た導線６３ａは、熱電対保護管６１内に配設したアルミ
ナ、窒化ホウ素等の絶縁体材料からなる円筒状の絶縁管
６４に挿通し、保護管支持部材６２の蓋体６２ｂに配設
した熱電対端子６３ｂを介して炉外に配設した測温装置
（図示省略）に接続する。
【００１５】この場合において、熱電対保護管６１のフ
ランジ６１ａは、黒鉛により形成し、必要に応じて表面
に炭化ケイ素のコーティングを施すようにし、一方、保
護管支持部材６２の支持管６２ａ、蓋体６２ｂ及びフレ
キシブル管６２ｃは、いずれもステンレススチール等の
金属により形成し、各部材間は、溶接又はシール部材を
配設することにより、熱電対保護管６１のフランジ６１
ａ並びに保護管支持部材６２の蓋体６２ｂ及びフレキシ
ブル管６２ｃにより区画された熱電対保護管６１の基端
部が開口する空間６０の密閉状態を保持できるようにす
る。
ランジ６１ａは、黒鉛により形成し、必要に応じて表面
に炭化ケイ素のコーティングを施すようにし、一方、保
護管支持部材６２の支持管６２ａ、蓋体６２ｂ及びフレ
キシブル管６２ｃは、いずれもステンレススチール等の
金属により形成し、各部材間は、溶接又はシール部材を
配設することにより、熱電対保護管６１のフランジ６１
ａ並びに保護管支持部材６２の蓋体６２ｂ及びフレキシ
ブル管６２ｃにより区画された熱電対保護管６１の基端
部が開口する空間６０の密閉状態を保持できるようにす
る。
【００１６】また、熱電対保護管６１の基端部が開口す
る空間６０には、ガス放出管７を接続し、このガス放出
管７から空間６０内に不活性ガスのガスパージを行うこ
とにより、熱電対保護管６１内に炉内の反応ガスや粉塵
等が侵入することを防止するようにする。
る空間６０には、ガス放出管７を接続し、このガス放出
管７から空間６０内に不活性ガスのガスパージを行うこ
とにより、熱電対保護管６１内に炉内の反応ガスや粉塵
等が侵入することを防止するようにする。
【００１７】図２は、本発明の高温加熱炉の測温機構の
第２実施例を示す。この高温加熱炉の測温機構６は、上
記第１実施例の高温加熱炉の測温機構６と同様、熱電対
保護管６１の基端部を、保護管支持部材６２を介して炉
容器１の胴部１０に炉容器１の軸方向及び半径方向に可
動に支持するようにしたもので、炉容器１の胴部１０に
固定した保護管支持部材６２の支持管６２ａと、蓋体６
２ｂと、熱電対保護管６１の基端部に形成したフランジ
６１ａの周囲を覆うように支持し、フランジ６１ａとの
間にラビリンス通路６０ａを形成するカバー体６２ｄと
から構成する。そして、熱電対６３から導出した導線６
３ａは、熱電対保護管６１内に配設したアルミナ、窒化
ホウ素等の絶縁体材料からなる円筒状の絶縁管６４に挿
通し、保護管支持部材６２の蓋体６２ｂに配設した熱電
対端子６３ｂを介して炉外に配設した測温装置（図示省
略）に接続する。
第２実施例を示す。この高温加熱炉の測温機構６は、上
記第１実施例の高温加熱炉の測温機構６と同様、熱電対
保護管６１の基端部を、保護管支持部材６２を介して炉
容器１の胴部１０に炉容器１の軸方向及び半径方向に可
動に支持するようにしたもので、炉容器１の胴部１０に
固定した保護管支持部材６２の支持管６２ａと、蓋体６
２ｂと、熱電対保護管６１の基端部に形成したフランジ
６１ａの周囲を覆うように支持し、フランジ６１ａとの
間にラビリンス通路６０ａを形成するカバー体６２ｄと
から構成する。そして、熱電対６３から導出した導線６
３ａは、熱電対保護管６１内に配設したアルミナ、窒化
ホウ素等の絶縁体材料からなる円筒状の絶縁管６４に挿
通し、保護管支持部材６２の蓋体６２ｂに配設した熱電
対端子６３ｂを介して炉外に配設した測温装置（図示省
略）に接続する。
【００１８】この場合において、熱電対保護管６１のフ
ランジ６１ａは、黒鉛により形成し、必要に応じて表面
に炭化ケイ素のコーティングを施すようにし、一方、保
護管支持部材６２の支持管６２ａ、蓋体６２ｂ及びカバ
ー体６２ｄは、いずれもステンレススチール等の金属に
より形成し、熱電対保護管６１のフランジ６１ａと保護
管支持部材６２のカバー体６２ｄの間を除く各部材間
は、溶接又はシール部材を配設するようにする。
ランジ６１ａは、黒鉛により形成し、必要に応じて表面
に炭化ケイ素のコーティングを施すようにし、一方、保
護管支持部材６２の支持管６２ａ、蓋体６２ｂ及びカバ
ー体６２ｄは、いずれもステンレススチール等の金属に
より形成し、熱電対保護管６１のフランジ６１ａと保護
管支持部材６２のカバー体６２ｄの間を除く各部材間
は、溶接又はシール部材を配設するようにする。
【００１９】また、熱電対保護管６１のフランジ６１ａ
並びに保護管支持部材６２の蓋体６２ｂ及びカバー体６
２ｄにより区画された熱電対保護管６１の基端部が開口
する空間６０には、ガス放出管７を接続し、このガス放
出管７から空間６０内に不活性ガスのガスパージを行う
ことにより、熱電対保護管６１内に炉内の反応ガスや粉
塵等が侵入することを防止するようにする。
並びに保護管支持部材６２の蓋体６２ｂ及びカバー体６
２ｄにより区画された熱電対保護管６１の基端部が開口
する空間６０には、ガス放出管７を接続し、このガス放
出管７から空間６０内に不活性ガスのガスパージを行う
ことにより、熱電対保護管６１内に炉内の反応ガスや粉
塵等が侵入することを防止するようにする。
【００２０】上記の第１及び第２実施例の高温加熱炉の
測温機構６は、炉容器１の近傍位置まで延出した熱電対
保護管６１の基端部を、第１実施例の高温加熱炉の測温
機構６においては蛇腹管等からなるフレキシブル管６２
ｃ等からなる保護管支持部材６２を介して、また、第２
実施例の高温加熱炉の測温機構６においては熱電対保護
管６１の基端部に形成したフランジ６１ａの周囲を覆う
ように支持し、フランジ６１ａとの間にラビリンス通路
６０ａを形成するカバー体６２ｄ等からなる保護管支持
部材６２を介して、炉容器１の胴部１０に炉容器１の軸
方向及び半径方向に可動に支持することにより、インナ
ーケース２の熱膨張による熱電対保護管６１の先端部の
位置の変位を、保護管支持部材６２のフレキシブル管６
２ｃ又は熱電対保護管６１のフランジ６１ａと保護管支
持部材６２のカバー体６２ｄの間に形成したラビリンス
通路６０ａにより吸収し、熱電対保護管６１に外部応力
が加わることを防止する。
測温機構６は、炉容器１の近傍位置まで延出した熱電対
保護管６１の基端部を、第１実施例の高温加熱炉の測温
機構６においては蛇腹管等からなるフレキシブル管６２
ｃ等からなる保護管支持部材６２を介して、また、第２
実施例の高温加熱炉の測温機構６においては熱電対保護
管６１の基端部に形成したフランジ６１ａの周囲を覆う
ように支持し、フランジ６１ａとの間にラビリンス通路
６０ａを形成するカバー体６２ｄ等からなる保護管支持
部材６２を介して、炉容器１の胴部１０に炉容器１の軸
方向及び半径方向に可動に支持することにより、インナ
ーケース２の熱膨張による熱電対保護管６１の先端部の
位置の変位を、保護管支持部材６２のフレキシブル管６
２ｃ又は熱電対保護管６１のフランジ６１ａと保護管支
持部材６２のカバー体６２ｄの間に形成したラビリンス
通路６０ａにより吸収し、熱電対保護管６１に外部応力
が加わることを防止する。
【００２１】また、熱電対保護管６１の基端部が開口す
る空間６０に接続したガス放出管７から空間６０内に不
活性ガスのガスパージを行うことにより、熱電対保護管
６１内に炉内の反応ガスや粉塵等が侵入することを防止
する。
る空間６０に接続したガス放出管７から空間６０内に不
活性ガスのガスパージを行うことにより、熱電対保護管
６１内に炉内の反応ガスや粉塵等が侵入することを防止
する。
【００２２】
【発明の効果】本発明の高温加熱炉の測温機構によれ
ば、炉容器の近傍位置まで延出した熱電対保護管の基端
部を、保護管支持部材を介して炉容器に炉容器の軸方向
及び半径方向に可動に支持することにより、インナーケ
ースの熱膨張による熱電対保護管の先端部の位置の変位
を、保護管支持部材により吸収し、熱電対保護管に外部
応力が加わることを防止することができる。これによ
り、熱電対を挿入した熱電対保護管の先端部を、炉内の
温度を測定する任意の部位、具体的には、加熱室内やイ
ンナーケースに設置することが可能となり、測温精度を
向上することができるとともに、加熱室内やインナーケ
ースの温度変化を即時に検出することが可能となる。
ば、炉容器の近傍位置まで延出した熱電対保護管の基端
部を、保護管支持部材を介して炉容器に炉容器の軸方向
及び半径方向に可動に支持することにより、インナーケ
ースの熱膨張による熱電対保護管の先端部の位置の変位
を、保護管支持部材により吸収し、熱電対保護管に外部
応力が加わることを防止することができる。これによ
り、熱電対を挿入した熱電対保護管の先端部を、炉内の
温度を測定する任意の部位、具体的には、加熱室内やイ
ンナーケースに設置することが可能となり、測温精度を
向上することができるとともに、加熱室内やインナーケ
ースの温度変化を即時に検出することが可能となる。
【００２３】また、熱電対保護管の基端部近傍にガス放
出管を配設し、熱電対保護管の基端部近傍に配設したガ
ス放出管からガスパージを行うことにより、熱電対保護
管内に炉内の反応ガスや粉塵等が侵入することを防止す
ることができる。これにより、熱電対保護管内に挿入し
た熱電対が炉内の反応ガス等により腐食させることを防
止することができ、測温機構の耐久性を向上することが
できる。
出管を配設し、熱電対保護管の基端部近傍に配設したガ
ス放出管からガスパージを行うことにより、熱電対保護
管内に炉内の反応ガスや粉塵等が侵入することを防止す
ることができる。これにより、熱電対保護管内に挿入し
た熱電対が炉内の反応ガス等により腐食させることを防
止することができ、測温機構の耐久性を向上することが
できる。
【図１】本発明の高温加熱炉の測温機構の第１実施例を
示す要部の断面図である。
示す要部の断面図である。
【図２】本発明の高温加熱炉の測温機構の第２実施例を
示す要部の断面図である。
示す要部の断面図である。
【図３】熱電対保護管をインナーケースに設置した状態
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図４】同断面図である。
【図５】従来のＣＶＤ炉を示す断面図である。
１ 炉容器 １０ 胴部 ２ インナーケース ２０ 加熱室 ３ 発熱体 ４ 断熱材 ５ 反応ガス導入部材 ６ 測温機構 ６０ 空間 ６０ａ ラビリンス通路 ６１ 熱電対保護管 ６１ａ フランジ ６２ 保護管支持部材 ６２ａ 支持管 ６２ｂ 蓋体 ６２ｃ フレキシブル管 ６３ 熱電対 ７ ガス放出管
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 江崎 才四郎 東京都世田谷区南鳥山３−12−５−１ (72)発明者 藤田 房雄 岡山県玉野市用吉1777−26 (72)発明者 山本 茂 滋賀県甲賀郡甲西町下田2235−79
Claims (2)
- 【請求項１】 熱電対を挿入した熱電対保護管の先端部
を炉内の温度を測定する部位に設置するとともに、該熱
電対保護管の基端側を炉容器の近傍位置まで延出し、該
熱電対保護管の基端部を、保護管支持部材を介して炉容
器に炉容器の軸方向及び半径方向に可動に支持するよう
にしたことを特徴とする高温加熱炉の測温機構。 - 【請求項２】 前記熱電対保護管の基端部近傍にガス放
出管を配設したことを特徴とする請求項１記載の高温加
熱炉の測温機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8772397A JPH10267563A (ja) | 1997-03-21 | 1997-03-21 | 高温加熱炉の測温機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8772397A JPH10267563A (ja) | 1997-03-21 | 1997-03-21 | 高温加熱炉の測温機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10267563A true JPH10267563A (ja) | 1998-10-09 |
Family
ID=13922841
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8772397A Withdrawn JPH10267563A (ja) | 1997-03-21 | 1997-03-21 | 高温加熱炉の測温機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10267563A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017003423A (ja) * | 2015-06-10 | 2017-01-05 | 東京窯業株式会社 | 測温プローブ |
| CN108917409A (zh) * | 2018-07-19 | 2018-11-30 | 大同新成新材料股份有限公司 | 一种测温浸渍预热炉及测温方法 |
-
1997
- 1997-03-21 JP JP8772397A patent/JPH10267563A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017003423A (ja) * | 2015-06-10 | 2017-01-05 | 東京窯業株式会社 | 測温プローブ |
| CN108917409A (zh) * | 2018-07-19 | 2018-11-30 | 大同新成新材料股份有限公司 | 一种测温浸渍预热炉及测温方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040601 |