JP2004020559A - 雰囲気炉用熱電対 - Google Patents
雰囲気炉用熱電対 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004020559A JP2004020559A JP2002213125A JP2002213125A JP2004020559A JP 2004020559 A JP2004020559 A JP 2004020559A JP 2002213125 A JP2002213125 A JP 2002213125A JP 2002213125 A JP2002213125 A JP 2002213125A JP 2004020559 A JP2004020559 A JP 2004020559A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thermocouple
- gas
- furnace
- tube
- protection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Waste-Gas Treatment And Other Accessory Devices For Furnaces (AREA)
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
Abstract
【課題】雰囲気炉に使用する熱電対は、一般的に素線をセラミックス製の閉端管で保護して使用されている。水素等の還元性ガスを雰囲気ガスとして用いる場合、セラミックスに対し拡散性の強い水素ガスは、セラミックス保護管を浸透し、素線に悪影響を及ぼし、断線等を引き起こす原因となる。この様な場合、一般的な白金系素線は使用できず、W−Re系素線が使用されている。W−Re系素線は再生できないため、費用負担増となり、大きな問題であった。本発明では、水素ガス等の拡散性の高いガスのセラミック保護管からの浸透を防ぎ、熱電対の寿命を、長くすることができる様な雰囲気炉用熱電対を提供する。
【解決手段】本発明の雰囲気炉用熱電対は、工業用炉に使用する熱電対において、熱電対の保護に使用するセラミックス製の保護管を2層とし、2層の保護管内にガスを流し得る構造を具備することを特徴とする。
【選択図】 図1
【解決手段】本発明の雰囲気炉用熱電対は、工業用炉に使用する熱電対において、熱電対の保護に使用するセラミックス製の保護管を2層とし、2層の保護管内にガスを流し得る構造を具備することを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、工業用炉において、炉内が水素など拡散性の高いガスであっても、そのガスの影響を受けず、安定した測温ができる雰囲気炉用熱電対に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に焼成炉の温度測定には熱電対、ゼーゲルコーン、メジャーリング、放射温度計などの方法が用いられる。また連続的に温度を測定し、炉内温度を制御するためには、安定した電気的な信号として出力することが必要である。例えば、ゼーゲルコーンやメジャーリングによる方法は、炉内温度分布の調査には適しているが、電気的な信号として出力することが不可能であり、炉内の温度を制御することができない。また放射温度計は、高額であり、かつ低温域から高温域まで幅広く測温できるものがないのが現状である。そのため、炉内温度測定には熱電対がもっとも多く使用されている。この熱電対は金属製の素線を用い、任意の温度での起電力差を電気信号として出力することで、炉内温度を測定し、温度制御することができる。しかし、この方法は金属製の素線が炉内に露出すると、炉内雰囲気により、著しく劣化し、正確な温度測定が困難になる。そこで、熱電対はアルミナやムライトなどのセラミックス製の保護管でその外周を保護するのが一般的である。
【0003】
【発明の解決しようとする課題】
ところで、上記の方法では、雰囲気焼成炉で多く用いられる雰囲気として、水素を含む還元雰囲気があるが、水素などのセラミックスに対する拡散性の高いガスは、アルミナなどのセラミックスを通して浸透し、熱電対の劣化を引き起こす。また、保護管の破損により、炉内ガスが炉外に流出することになり、危険である。また、水素を含む還元雰囲気用熱電対としては、一般的な白金系の熱電対を使用できず、タングステン−レニウム(W−Re)系が使用されているが、白金系の熱電対は、断線や劣化しても再生使用が可能であるのに対し、W−Re系熱電対は再生使用ができないため、費用負担増となり、大きな問題点となっていた。本発明は、以上のような問題点を解消させ、工業用炉に使用する熱電対において、水素等の拡散性の高いガス雰囲気内でも安定して使用でき、保護管の破損などが生じた場合でも、炉内の雰囲気を炉外に流出することなく、さらに、高価で再生使用ができないタングステン−レニウム系に比較して、安価で再生可能な白金系素線を使用することができる熱電対を提供することを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】
すなわち本発明の雰囲気焼成炉用熱電対は、工業用炉に使用する熱電対において、熱電対の保護に使用するセラミックス製の保護管を2層とし、2層の保護管内にガスを流し得る構造を具備することを特徴とする。
【0005】
【発明の実施と形態】
本発明の熱電対は、保護管の2層構造と気密性に伴って得られるものである。熱電対の保護管には金属やセラミックス質を用いて、熱電対の素線を覆うのが効果的である。しかし、金属保護管には通気性がなく雰囲気下での使用には有効であるが、金属には使用温度に限界があり、特にセラミックスの焼成温度は1000℃以上と高く、これ以上の温度域には適していない。一方アルミナや炭化珪素などのセラミックス保護管は、1000℃を超える高温域には適しているものの、その多くは気孔を有し、炉内のガス、特に水素などの拡散性の高いガスがこの気孔を通じて保護管内に浸透し、最後には熱電対の素線が腐食し劣化することになり、正確な起電力を得ることができなくなる。特に白金系は水素に容易に反応し断線に至る。
本発明者らは、熱電対の保護管を2層にし、その層間に不活性ガスを流すことにより熱電対の劣化を防ぎ寿命の改善ができることを見出した。
【0006】
【実施例】
本発明の実施の一形態を図により説明する。図1に示すとおり熱電対の構造は、熱電対素線1、それを保護するための保護内管2さらに保護外管3、金属スリーブ4、熱電対信号を外部に取り出すための気密型端子箱5、保護管内に不活性ガスを供給するためのガス導入管6、ガスを排出するためのガス排出管7より構成されている。保護内管2の先端は閉端となっておりスリット8を有し、開端側は金属スリーブ4内のガス導入管6とガス排出管7の間で、シール材9でシールされている。ガス導入管6から導入された不活性ガスは、保護内管2を通り先端のスリット8から保護外管3に供給される。さらに保護外管3内と保護内管2の間を通り、ガス排出管7から外部に放出される。このとき不活性ガスは、気密型端子箱5によって完全にシールされているため正規ルート以外からのガス放出はない。そのため、ガス排出管6の排出量調整により、保護管内のガスは必ず炉内のガス圧よりも高い圧力を保持することができる。この保護管内のガス圧は炉内ガス圧よりも30%以上高いことが好ましく、ガス導入管用ニードル弁10、ガス排出管用ニードル弁11で調整することができる。なお、使用するセラミックス製の保護管の開気孔率は1%以下が好ましい。
電子部品や蛍光塗料の焼成に用いられるNa,K,Pb,Bi等を含有する反応性の高いガスい特殊雰囲気では保護管を肉厚にすることで寿命を長くすることができるが、耐熱衝撃性を劣化させる問題があった。本発明の熱電対では、熱電対の保護に使用するセラミックス製の保護管が2層構造であることで、耐熱衝撃性を損なうことなく、保護管の寿命を長くすることができ、熱電対の劣化を防ぎ、長く使用することができた。
【0007】
【発明の効果】
上記のように本発明により、工業用炉に使用する熱電対において、従来の熱電対では得られなかった、高温および拡散性の高いガス雰囲気条件下での長寿命を可能にした。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を実施した熱電対の断面図である。
【符号の説明】
1・・・熱電対素線
2・・・保護内管
3・・・保護外管
4・・・金属スリーブ
5・・・気密端子箱
6・・・ガス導入管
7・・・ガス排出管
8・・・スリット
9・・・シール材
10・・ガス導入管用ニードル弁
11・・ガス排出管用ニードル弁
【発明の属する技術分野】
本発明は、工業用炉において、炉内が水素など拡散性の高いガスであっても、そのガスの影響を受けず、安定した測温ができる雰囲気炉用熱電対に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に焼成炉の温度測定には熱電対、ゼーゲルコーン、メジャーリング、放射温度計などの方法が用いられる。また連続的に温度を測定し、炉内温度を制御するためには、安定した電気的な信号として出力することが必要である。例えば、ゼーゲルコーンやメジャーリングによる方法は、炉内温度分布の調査には適しているが、電気的な信号として出力することが不可能であり、炉内の温度を制御することができない。また放射温度計は、高額であり、かつ低温域から高温域まで幅広く測温できるものがないのが現状である。そのため、炉内温度測定には熱電対がもっとも多く使用されている。この熱電対は金属製の素線を用い、任意の温度での起電力差を電気信号として出力することで、炉内温度を測定し、温度制御することができる。しかし、この方法は金属製の素線が炉内に露出すると、炉内雰囲気により、著しく劣化し、正確な温度測定が困難になる。そこで、熱電対はアルミナやムライトなどのセラミックス製の保護管でその外周を保護するのが一般的である。
【0003】
【発明の解決しようとする課題】
ところで、上記の方法では、雰囲気焼成炉で多く用いられる雰囲気として、水素を含む還元雰囲気があるが、水素などのセラミックスに対する拡散性の高いガスは、アルミナなどのセラミックスを通して浸透し、熱電対の劣化を引き起こす。また、保護管の破損により、炉内ガスが炉外に流出することになり、危険である。また、水素を含む還元雰囲気用熱電対としては、一般的な白金系の熱電対を使用できず、タングステン−レニウム(W−Re)系が使用されているが、白金系の熱電対は、断線や劣化しても再生使用が可能であるのに対し、W−Re系熱電対は再生使用ができないため、費用負担増となり、大きな問題点となっていた。本発明は、以上のような問題点を解消させ、工業用炉に使用する熱電対において、水素等の拡散性の高いガス雰囲気内でも安定して使用でき、保護管の破損などが生じた場合でも、炉内の雰囲気を炉外に流出することなく、さらに、高価で再生使用ができないタングステン−レニウム系に比較して、安価で再生可能な白金系素線を使用することができる熱電対を提供することを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】
すなわち本発明の雰囲気焼成炉用熱電対は、工業用炉に使用する熱電対において、熱電対の保護に使用するセラミックス製の保護管を2層とし、2層の保護管内にガスを流し得る構造を具備することを特徴とする。
【0005】
【発明の実施と形態】
本発明の熱電対は、保護管の2層構造と気密性に伴って得られるものである。熱電対の保護管には金属やセラミックス質を用いて、熱電対の素線を覆うのが効果的である。しかし、金属保護管には通気性がなく雰囲気下での使用には有効であるが、金属には使用温度に限界があり、特にセラミックスの焼成温度は1000℃以上と高く、これ以上の温度域には適していない。一方アルミナや炭化珪素などのセラミックス保護管は、1000℃を超える高温域には適しているものの、その多くは気孔を有し、炉内のガス、特に水素などの拡散性の高いガスがこの気孔を通じて保護管内に浸透し、最後には熱電対の素線が腐食し劣化することになり、正確な起電力を得ることができなくなる。特に白金系は水素に容易に反応し断線に至る。
本発明者らは、熱電対の保護管を2層にし、その層間に不活性ガスを流すことにより熱電対の劣化を防ぎ寿命の改善ができることを見出した。
【0006】
【実施例】
本発明の実施の一形態を図により説明する。図1に示すとおり熱電対の構造は、熱電対素線1、それを保護するための保護内管2さらに保護外管3、金属スリーブ4、熱電対信号を外部に取り出すための気密型端子箱5、保護管内に不活性ガスを供給するためのガス導入管6、ガスを排出するためのガス排出管7より構成されている。保護内管2の先端は閉端となっておりスリット8を有し、開端側は金属スリーブ4内のガス導入管6とガス排出管7の間で、シール材9でシールされている。ガス導入管6から導入された不活性ガスは、保護内管2を通り先端のスリット8から保護外管3に供給される。さらに保護外管3内と保護内管2の間を通り、ガス排出管7から外部に放出される。このとき不活性ガスは、気密型端子箱5によって完全にシールされているため正規ルート以外からのガス放出はない。そのため、ガス排出管6の排出量調整により、保護管内のガスは必ず炉内のガス圧よりも高い圧力を保持することができる。この保護管内のガス圧は炉内ガス圧よりも30%以上高いことが好ましく、ガス導入管用ニードル弁10、ガス排出管用ニードル弁11で調整することができる。なお、使用するセラミックス製の保護管の開気孔率は1%以下が好ましい。
電子部品や蛍光塗料の焼成に用いられるNa,K,Pb,Bi等を含有する反応性の高いガスい特殊雰囲気では保護管を肉厚にすることで寿命を長くすることができるが、耐熱衝撃性を劣化させる問題があった。本発明の熱電対では、熱電対の保護に使用するセラミックス製の保護管が2層構造であることで、耐熱衝撃性を損なうことなく、保護管の寿命を長くすることができ、熱電対の劣化を防ぎ、長く使用することができた。
【0007】
【発明の効果】
上記のように本発明により、工業用炉に使用する熱電対において、従来の熱電対では得られなかった、高温および拡散性の高いガス雰囲気条件下での長寿命を可能にした。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を実施した熱電対の断面図である。
【符号の説明】
1・・・熱電対素線
2・・・保護内管
3・・・保護外管
4・・・金属スリーブ
5・・・気密端子箱
6・・・ガス導入管
7・・・ガス排出管
8・・・スリット
9・・・シール材
10・・ガス導入管用ニードル弁
11・・ガス排出管用ニードル弁
Claims (1)
- 工業用炉に使用する熱電対において、熱電対の保護に使用するセラミックス製の保護管を2層とし、2層の保護管内にガスを流し得る構造を具備することを特徴とする雰囲気炉用熱電対。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002213125A JP2004020559A (ja) | 2002-06-19 | 2002-06-19 | 雰囲気炉用熱電対 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002213125A JP2004020559A (ja) | 2002-06-19 | 2002-06-19 | 雰囲気炉用熱電対 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004020559A true JP2004020559A (ja) | 2004-01-22 |
Family
ID=31184450
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002213125A Pending JP2004020559A (ja) | 2002-06-19 | 2002-06-19 | 雰囲気炉用熱電対 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004020559A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006112760A (ja) * | 2004-10-18 | 2006-04-27 | Tdk Corp | 焼成炉 |
JP2006138647A (ja) * | 2004-11-10 | 2006-06-01 | Ricoh Co Ltd | 熱電対及び反応系及び結晶成長装置 |
JP2013152117A (ja) * | 2012-01-24 | 2013-08-08 | Jx Nippon Oil & Energy Corp | 温度測定装置 |
JP2014145579A (ja) * | 2013-01-23 | 2014-08-14 | Martin Gmbh Fuer Umwelt & Energietechnik | 焼却プラント内に導管を配管する方法及びそのような導管を有する装置 |
JP2016103522A (ja) * | 2014-11-27 | 2016-06-02 | 光洋サーモシステム株式会社 | 熱処理装置 |
JP2018169405A (ja) * | 2018-06-15 | 2018-11-01 | 光洋サーモシステム株式会社 | 温度検出装置、および、熱処理装置 |
-
2002
- 2002-06-19 JP JP2002213125A patent/JP2004020559A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006112760A (ja) * | 2004-10-18 | 2006-04-27 | Tdk Corp | 焼成炉 |
JP2006138647A (ja) * | 2004-11-10 | 2006-06-01 | Ricoh Co Ltd | 熱電対及び反応系及び結晶成長装置 |
JP4667011B2 (ja) * | 2004-11-10 | 2011-04-06 | 株式会社リコー | 熱電対及び反応系及び結晶製造装置 |
JP2013152117A (ja) * | 2012-01-24 | 2013-08-08 | Jx Nippon Oil & Energy Corp | 温度測定装置 |
JP2014145579A (ja) * | 2013-01-23 | 2014-08-14 | Martin Gmbh Fuer Umwelt & Energietechnik | 焼却プラント内に導管を配管する方法及びそのような導管を有する装置 |
JP2016103522A (ja) * | 2014-11-27 | 2016-06-02 | 光洋サーモシステム株式会社 | 熱処理装置 |
JP2018169405A (ja) * | 2018-06-15 | 2018-11-01 | 光洋サーモシステム株式会社 | 温度検出装置、および、熱処理装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6102565A (en) | Ceramic sheath type thermocouple | |
US5662418A (en) | High temperature probe | |
US5228975A (en) | Gas sensor having hermetic and electrically insulating seal in housing | |
US5696348A (en) | Thermocouple structure | |
JP2005172489A (ja) | 溶湯用測温プローブ | |
JPH06317480A (ja) | 熱電対組立体 | |
US6632018B2 (en) | Thermocouple-type temperature-detecting device | |
JP2009115789A (ja) | 温度センサ及びその製造方法 | |
JP6740328B2 (ja) | 温度計 | |
US3935032A (en) | Sheathed thermocouple | |
JP2004020559A (ja) | 雰囲気炉用熱電対 | |
JP4007610B2 (ja) | 腐食減肉試験装置及び腐食減肉試験方法 | |
JPH0333212B2 (ja) | ||
JP3572312B2 (ja) | セラミックシース型熱電対 | |
JP3592629B2 (ja) | 測温プローブ | |
JPH07280659A (ja) | 耐高温腐食用温度計 | |
JP3550915B2 (ja) | 高温測温用セラミック熱電対 | |
JP3329189B2 (ja) | セラミックシース型熱電対 | |
JP3533944B2 (ja) | 破壊検知機能付き熱電対用保護管の構造 | |
JP3641759B2 (ja) | 熱電対と保護管が一体となった測温センサーの製造方法 | |
JP2881434B2 (ja) | 保護管式連続測温計の熱電対劣化防止方法 | |
JP2010272805A (ja) | サーミスタ素子とその製造方法 | |
JPH01272932A (ja) | 高純度高温雰囲気用熱電対の保護装置 | |
RU42311U1 (ru) | Термоэлектрический преобразователь | |
JP2008516204A (ja) | 酸素センサおよびその利用方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050519 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070730 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070807 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080108 |