JP2018169405A - 温度検出装置、および、熱処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
5 チューブ
13 温度検出装置
31 温度センサ
32 保護管
40 接続部
41 第1保護部
42 第2保護部
47 第1接続部
48 加圧気体受入部
52 第2接続部
53 排気口
54 突き合わせ部
55 鍔部
100 被処理物
Claims (4)
- 温度センサと、
前記温度センサを収容して保護するための保護管と、を備え、
前記保護管は、前記保護管の一端側を形成する第1保護部と、前記保護管の他端側を形成し前記第1保護部の耐熱温度よりも高い耐熱温度を有し前記第1保護部に連結される第2保護部と、加圧された気体を前記保護管内に受け入れるための加圧気体受入部と、を含み、
前記第1保護部は、筒状のチャンバと、このチャンバよりも細い筒状部と、を含み、
前記チャンバの軸方向一端部の下部に前記加圧気体受入部が接続されており、
前記チャンバの軸方向他端部の上部に、前記第2保護部に向けて延びる前記筒状部が接続されていることを特徴とする、温度検出装置。 - 請求項1に記載の温度検出装置であって、
前記筒状部は、水平に延びており、
前記第1保護部は、前記筒状部に接続された筒状の湾曲部と、
この湾曲部に接続されて鉛直に延び前記第2保護部に接続される筒状の鉛直部と、をさらに有することを特徴とする、温度検出装置。 - 請求項1または請求項2に記載の温度検出装置であって、
前記チャンバの前記軸方向一端部には、前記温度センサの信号線が通過する信号線出入口が設けられており、
前記信号線出入口は、前記筒状部と同軸に配置されており、
前記加圧気体受入部は、前記筒状部とは非同軸に配置されていることを特徴とする、温度検出装置。 - 被処理物を収容するためのチューブと、
前記チューブ内の温度を検出するように構成された、請求項1〜3の何れか1項に記載の温度検出装置と、
を備えていることを特徴とする、熱処理装置。
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