JP2005183823A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】バッチ式ホットウオール形CVD装置10は、アウタチューブ12とインナチューブ13とを有しウエハ1を処理する処理室14を構成したプロセスチューブ11と、プロセスチューブ11を取り囲む断熱槽41と、熱線を照射する加熱ランプ42群と、加熱ランプ42群の熱線を処理室14の方向に反射させるリフレクタ47と、プロセスチューブ11と断熱槽41との間に形成された冷却エア通路51と、冷却エア通路51に周方向に等間隔に敷設された複数本のノズル56と、各ノズル56に冷却エア62をアウタチューブ12の方向に噴射するように開設された複数個の噴射口57と、断熱槽41の天井部に開設された排気口53、55とを備えている。冷却エア62を冷却エア通路51に流通させることにより、プロセスチューブ11を急速に降温できる。
【選択図】図7
Description
基板を処理する処理室と、この処理室の外側を取り囲むように敷設された発熱体を有するヒータユニットと、前記発熱体と同軸状に冷却ガスを噴射する複数の噴射孔が開設されたノズルとを備えていることを特徴とする基板処理装置を用いる半導体装置の製造方法であって、前記ヒータユニットが前記基板を加熱するステップと、前記基板を前記処理室にて処理するステップと、前記ノズルから冷却ガスを供給するステップとを備えていることを特徴とする半導体装置の製造方法。
Claims (2)
- 基板を処理する処理室と、この処理室の外側を取り囲むように敷設された発熱体を有するヒータユニットと、前記発熱体と略同軸状に設けられ、前記処理室に向けて冷却ガスを噴射する複数の噴射孔が開設された複数のノズルとを備えていることを特徴とする基板処理装置。
- 基板を処理する処理室と、この処理室を加熱するヒータユニットとを備えている基板処理装置において、
前記ヒータユニットは複数の排気口の開口面が前記処理室と前記ヒータユニットとの間の筒状空間の略直上の天井部に配されていることを特徴とする基板処理装置。
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