JP4361668B2 - 熱処理装置及びその方法 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエハなどの複数の被処理体に対して熱処理例えば酸化や拡散処理を一括して行う熱処理装置及びその方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
多数枚の半導体ウエハ（以下ウエハという）をバッチで熱処理する装置として縦型熱処理装置があり、その中にはいわゆる成膜炉と酸化、拡散炉とがある。これらの炉はいずれも石英製の反応管が用いられるが、処理及びその温度領域が異なるため装置構成が大きく異なる。成膜炉は処理温度がせいぜい８００℃以下で行われるため、反応管の下部には、ガス供給管及び排気管が接続される金属製の筒状のマニホ−ルドが接合され、このマニホ−ルドの下端の開口部は金属製のキャップ部により開閉されると共に、マニホ−ルドとキャップ部との接合部には樹脂製のシ−ル部材であるＯリングが介在して気密性が保たれている。
【０００３】
一方酸化、拡散炉は処理温度が８５０℃以上と高く、またウエハ上のシリコンを酸化する酸化処理は、通常塩化水素によるゲッタリングを併用して行われる。そして水蒸気を用いるウエット酸化の場合だけでなく、酸素（０2 ）ガス及び塩化水素（ＨＣｌ）ガスを用いるドライ酸化においても微量ながら水分が生成されるため、高温下でしかも水分が存在することから塩化水素の腐食性が大きく、従って金属を用いることができない。このため酸化処理が行われる縦型熱処理装置は、石英製の反応管のフランジ部と石英製のキャップ部とを接合するようにしているが、石英は輻射光を透過するためこの間にＯリングを介在させるとその温度が耐熱温度を越えてしまい、また石英の中に冷却水路を形成することは加工上無理があることからＯリングは使用できず、従って石英の面接触により気密性を確保するようにしている。
【０００４】
ここで酸化処理を行う縦型熱処理装置における従来のシ−ル構造について図８を参照しながら述べる。図８において１１は下端が開口した石英製の反応管であり、ガス供給管１１ａ及び排気管１１ｂを備えている。１２はこの反応管１１の周りを囲むように設けられたヒ−タ、１３は石英製のキャップ部であり、このキャップ部１３の上には、多数枚のウエハＷが棚状に保持されたウエハボ−ト１４が保温筒１５を介して載置されている。キャップ部１３はボ−トエレベ−タ１０により昇降され、上昇位置にあるときには周縁部１３ａが反応管１１のフランジ部１６に接合される。そしてフランジ部１６の接合面には周方向に沿って溝部１７が形成されており、この溝部１７にパ−ジガス例えば窒素ガスを供給するようにしている。このようなシ−ル構造によれば、キャップ部１３の周縁部１３ａ及びフランジ部１６の接合が不均一であっても、窒素ガスが反応管１１の内外を仕切るいわばカ−テンの役割を果たし、反応管１１内の雰囲気ガスが外に漏洩することを防止している。
【０００５】
更に本発明者は、フランジ部１６の接合面において溝部１７の内側領域を切り欠いてその下面がキャップ部１３から浮いた状態にすることも検討している。即ち、図 の構成において溝部１７の外側の接合面同士の当たりが内側の接合面同士の当たりよりも弱いときには、窒素ガスが外側に流れ、それに引き込まれて雰囲気ガスが外部に漏洩するおそれがあるが、溝部１７の内側領域を切り欠けば、内側に向かう窒素ガスの流れが形成されるので、そのような懸念がなくなる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで最近においてウエハをクロ−ズ型カセット（密閉型カセット）に入れて搬送することが行われ、これに合わせて縦型熱処理装置側においても熱処理炉の下方側のウエハの移載領域（ロ−ダ室）をパ−ジガスの陽圧雰囲気とすることが検討されている。酸化処理や拡散処理を行うときの反応管１１内の圧力は常圧付近であるから、この場合には反応管１１内の圧力が外部よりも低くなる。一方反応管１１の内部と外部との気密構造は、フランジ部１６とキャップ部１３の周縁部１３ａとの面接触に頼っているが、互いに接合する両面は石英部材であるため高精度の加工が困難であるし、高精度に加工できたとしてもわずかな組み立て誤差により面接触の精度が落ちてしまう。このためロ−ダ室内のパ−ジガスがフランジ部１６とキャップ部１３の周縁部１３ａとの対向部位を通って反応管１１内に流入するおそれがある。このようにパ−ジガスが反応管１１内に流入すると、反応管１１の底部付近の温度が低くなり、ウエハボ−ト１４の下段側のウエハＷのプロセスに対して悪影響を及ぼすことになる。
【０００７】
また酸化処理を行う場合にも反応管１１内を例えば１３３Ｐａ（１Ｔｏｒｒ）〜４６５５０Ｐａ（３５０Ｔｏｒｒ）程度の微減圧雰囲気にすることも検討されており、この場合には反応管１１の外部が大気圧雰囲気であっても空気が前記対向部位を通って反応管１１内に流入し、ウエハＷ上に自然酸化膜が形成されてしまうおそれがある。
本発明はこのような事情の下になされたものであり、その目的は、腐食性ガスを含む処理ガスにより被処理体に対して熱処理を行う縦型の熱処理装置において高い気密性を確保できる技術を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、複数の被処理体を棚状に保持させた保持具を、下端にフランジ部を有する縦型の石英製の反応容器内に下端開口部から搬入すると共に反応容器内を所定の熱処理温度に加熱し、腐食性のガスを含む処理ガスにより被処理体に対して熱処理を行う熱処理装置において、
その周縁部が内側の領域よりも高い段部として構成されると共に、当該段部の上面が前記反応容器のフランジ部に接合するように設けられ、前記保持具を搭載して反応容器内の下端開口部を開閉するために、金属により構成されたキャップ部本体と、
前記キャップ部本体における前記周縁部よりも内側部位の表面を覆うように、前記段部の内側に嵌合されたセラミックス製のカバ−部と、
前記フランジ部との間を気密にシ−ルするために前記キャップ部本体の前記段部の上面に周方向に沿ってリング状に設けられた樹脂製のシ−ル部材と、
前記キャップ部本体における前記段部よりも内側の領域においてキャップ部本体の周方向に沿ってリング状に設けられると共に、カバー部の下面を前記キャップ部本体の表面から浮かせて両者の間に形成されたパージガス供給用の隙間と、
前記フランジ部と前記キャップ部本体の周縁部との対向部位において前記シ−ル部材よりも内側の領域にパ−ジガスを供給するために、前記パージガス供給用の隙間に開口するようにキャップ部本体に形成されたパ−ジガス供給路を含むパージガス供給部と、を備え、
前記パージガス供給用の隙間に供給されたパ−ジガスが、前記隙間からキャップ部本体の表面に沿って外側に流れて前記対向部位に供給されることを特徴とする。
【０００９】
この発明は例えば８５０℃以上で行われる、シリコン酸化膜を得るための酸化処理に好適であり、腐食性のガスとしては例えば被処理体をゲッタリングするための塩化水素ガスが挙げられる。
【００１０】
この発明によれば、石英製の反応容器のフランジ部に接合されるキャップ部の周縁部は金属製であるから、シ−ル部材を設けても石英の場合よりも昇温が抑えられ、またシ−ル部材を嵌め込む溝を高精度で加工することができ、従って樹脂製のシ−ル部材を用いたシ−ル構造を実現できる。そしてパ−ジガスによりフランジ部及びキャップ部の周縁部間をパ−ジしているから、キャップ部の金属部分に腐食性ガスが触れるのを防止できると共にこのパ−ジガスにより前記シ−ル部材を冷却できる。なおシ−ル部材を冷却するためにキャップ部の前記周縁部に周方向に沿って冷却流体の流路を設けることが好ましい。
【００１２】
本発明は熱処理方法においても成立するものであり、その方法は、複数の被処理体を棚状に保持させた保持具を、その周縁部が内側の領域よりも高い段部として構成されると共に、当該段部の上面が前記反応容器のフランジ部に接合するように設けられ、金属により構成されたキャップ部本体の上に搭載して縦型の石英製の反応容器内に下端開口部から搬入し、前記キャップ部本体の周縁部と反応容器の下端のフランジ部とを接合する工程と、
前記キャップ部本体の段部の上面に周方向に沿ってリング状に設けられた樹脂製のシ−ル部材により、前記キャップ部本体の周縁部と反応容器のフランジ部との対向部位を気密にシ−ルする工程と、
前記キャップ部本体の前記段部の内側にセラミックス製のカバ−部を嵌合し、前記キャップ部本体における前記段部よりも内側の領域においてキャップ部本体の周方向に沿ってリング状に設けられると共に、前記カバー部の下面をキャップ部本体の表面から浮かせて両者の間に形成されたパージガス供給用の隙間に、キャップ部本体に設けられたパージガス供給路を介してパージガスを供給する工程と、
前記パージガス供給用の隙間に供給されたパージガスを当該隙間からキャップ部本体の表面に沿って外側に流して前記フランジ部と前記キャップ部本体の周縁部との対向部位において前記シ−ル部材よりも内側の領域に供給し、このパ−ジガスにより前記周縁部と処理ガスとの接触を防ぎかつ前記シ−ル部材を冷却する工程と、
この工程を行いながら、所定の熱処理温度の雰囲気下にて腐食性のガスを含む処理ガスにより被処理体に対して熱処理を行う工程と、を含むことを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の熱処理装置の実施の形態を説明するが、先ず熱処理装置の全体構成について図１及び図２を参照しながら述べておく。この熱処理装置は一般に縦型熱処理装置と呼ばれているものであり、縦型の熱処理炉２を備えている。この熱処理炉２は、下端が開口部している円筒状の石英製の反応容器である反応管２１と、この反応管２１を囲むように設けられた抵抗発熱体などからなる加熱手段であるヒ−タ２２と、前記反応管２１及びヒ−タ２２の間にて断熱体２３に支持されて設けられた均熱用容器２４と、ガス供給管２５と、前記反応管２１に接続された排気管２６とを備えている。前記反応管２１は下端が開口すると共に、上面２１ａの少し下方側に多数のガス穴２１ｂを有するガス拡散板２１ｃが設けられている。また前記ガス供給管２５は前記反応管２１と均熱用容器２４との間にて垂直に立ち上げられており、その先端部は反応管３１の上面２１ａとガス拡散板２１ｃとの間の空間に突入されていると共に、基端側は反応管２１の底部付近にてＬ字に屈曲されて外部に配管されている。
【００１４】
更にこの熱処理装置は、ボ−トエレベ−タ４０の上に設けられたキャップ部３を備えており、このキャップ部３はボ−トエレベ−タ４０が上がりきった位置にて反応管２１のフランジ部５にその周縁部３１の上面が接合して反応管２１の下端開口部２７を閉じ、ボ−トエレベ−タ４０が下がったときに前記開口部２７を開くように構成されている。なお図１及び図２ではキャップ部３及びフランジ部５は簡略して記載してある。
【００１５】
キャップ部３の上には保温部材２８を介して保持具であるウエハボ−ト４が搭載されている。ウエハボ−ト４は、図２において例えば天板４１及び底板４２の間に複数の支柱４３を設け、この支柱４３に上下方向に形成された溝にウエハＷの周縁を挿入して保持するように構成されている。保温部材２８はこの例では石英製の保温筒として記載してあるが、石英製のフィンを多段に積層したものなどであってもよい。
【００１６】
次にこの実施の形態の要部である前記フランジ部５及びキャップ部３のシ−ル構造について図３を参照しながら述べるが、キャップ部３がフランジ部５から離れた状態についても図４に示しておく。キャップ部３は金属製例えばステンレス製のキャップ部本体３０と石英製の第１及び第２のカバ−体６１、６２と、石英製のタ−ンテ−ブル６３とを備えている。キャップ部本体３０の周縁部３１は図５にも示すようにその内側の領域よりも高い段部になっており、周縁部３１の上面（フランジ部５との対向部位）には周方向に沿ってリング状に溝３２が形成されている。この溝３２内には、前記フランジ部５との間を気密にシ−ルするためにＯリングと呼ばれているリング状の樹脂製のシ−ル部材（以下Ｏリングという）３３が嵌め込まれている。
【００１７】
前記周縁部３１における前記溝３２の下方側には、前記Ｏリング３３を冷却するための冷却流体例えば冷却水を通流させるための冷却水路（冷却流体流路）７１が周方向に沿って形成されており、この冷却水路７１には給水管７２及び排水管７３が接続されている。給水管７２及び排水管７３はキャップ部３の下面側を通ってボ−トエレベ−タ４０内に配管されている。
【００１８】
一方反応管２１のフランジ部５はベ−スプレ−ト５０に固定されており、前記周縁部３１に対向する対向部位はＯリング３３を潰すように平らな接合面として構成されている。なお前記ガス供給管２５は、この例では反応管２１の底部に一体化された水平管２５ａに垂直管２５ｂを接続して構成されている。
【００１９】
前記キャップ部本体３０の周縁部３１よりも内側部位は低くなっていてリング状の凹部３４が形成されており、その凹部３４の底面は外側寄りに対して内側寄りの方が高い段差になっている。前記石英製の第１及び第２のカバ−体６１、６２は夫々この凹部３４の外側寄り及び内側寄りに嵌め込まれており、第１のカバ−体６１の外縁側の表面は前記フランジ部５の内縁側の下面と接合されることとなる。またキャップ部本体３０には、前記第１のカバ−体６の底面の一部と凹部３４の底面（キャップ部本体３０の表面）との隙間に開口するように窒素ガス（Ｎ2 ガス）供給路７３が厚さ方向に貫通して設けられ、この窒素ガス供給路７３には、窒素ガス供給管７４が接続されている。窒素ガス供給管７４の基端側には図示しない窒素ガス供給源が接続され、ここから供給されるパージガスである窒素ガスはキャップ部３の金属部分を腐食性ガスから保護すると共に前記Ｏリング３３を冷却するために用いられるものである。この例では窒素ガス供給路７３及び窒素ガス供給管７４によりパ−ジガス供給部をなす窒素ガス供給部が構成される。
【００２０】
前記保温部材２８は前記タ−ンテ−ブル６３の上に載置されており、このタ−ンテ−ブル６３は、キャップ部本体３０の下部に連続するハウジング３５に軸受された回転軸６４の上に取り付けられている。回転軸６４は、モ−タＭ、プ−リＰ１，Ｐ２及びベルトＢからなる駆動部６５により回転される。なお６６は、ボ−トエレベ−タ４０に対してキャップ部３を支持する支持部分である。
【００２１】
前記第１のカバ−体６１の上面及び保温部材２８の下面には夫々リング状突起６１ａ及び２８ａが設けられ、互いに重なり合ってラビリンスが形成されていると共に、前記第２のカバ−体６２の上面及びタ−ンテ−ブル６３の下面にも夫々リング状突起６２ａ及び６３ａが設けられ、互いに重なり合ってラビリンスが形成されている。これらラビリンスは、反応管２１内の処理ガスがキャップ部６１の内側の金属部分に回り込むのを防止する役割を果たしている。
【００２２】
次に上述実施の形態の作用について説明する。先ず多数枚例えば６０枚のウエハＷをウエハボ−ト４に棚状に保持させ、ヒ−タ２２により予め所定の温度に加熱された反応管２１内にボ−トエレベ−タ４０により搬入し、炉口である開口部２７をキャップ部４４により気密に閉じる（図１の状態）。続いて反応管３１内を所定の温度に昇温すると共に、反応管３１内を例えば１３３Ｐａ（１Ｔｏｒｒ）〜４６５５０Ｐａ（３５０Ｔｏｒｒ）程度の微減圧状態にし、この状態でウエハＷの温度を安定させてから酸化処理を行う。
【００２３】
この酸化処理において、例えばいわゆるドライ酸化の場合には酸素ガス及び塩化水素ガスよりなる処理ガスが用いられ、いわゆるウエット酸化の場合には酸素ガス、水蒸気及び塩化水素ガスよりなる処理ガスが用いられる。処理ガスはガス供給管２５を介して反応管２１の上部に流入し、ガス孔２１ｂから反応管２１内の処理領域に供給され、下部の排気管２６から排気される。このときウエハボ−ト４はタ−ンテ−ブル６３により回転し、処理ガスは棚状に積まれたウエハＷの間に入り込み、酸素ガスによりウエハＷ表面部のシリコン層が酸化されかつ塩化水素ガスによりゲッタリングされながらシリコン酸化膜が生成される。
【００２４】
一方キャップ部３がフランジ部５に押し付けられることによりＯリング３３が潰れて反応管２１内と外部とが気密にシ−ルされる。そして図６に示すようにキャップ部本体３０に設けられたガス供給路７３から窒素ガスが当該キャップ部本体３０の表面と石英製のカバ−体６１との間に例えば２〜３ｓｌｍの流量で供給され、更に両者の隙間に沿って外側に流れる。そしてこの窒素ガスはフランジ部５の下面に当たり、当該下面とキャップ部本体３０の周縁部３１の表面との間の隙間に沿って外側に広がって、この隙間をパ−ジすると共に、当該下面と前記カバ−体６１の表面との隙間に沿って内側に広がって反応管２１内の雰囲気に流出し、排気管２６から排気される。
【００２５】
上述の実施の形態によれば、キャップ部３と接合される反応管２１のフランジ部５は石英製としているが、キャップ部３の周縁部３１を金属製としているため、Ｏリング３３を設けても石英の場合よりも昇温が抑えられ、またＯリング３３を嵌め込む溝３２を高精度で加工することができる。仮に石英の中にＯリング３３を嵌め込もうとすると溝３２を高精度で加工することが難しく、Ｏリング３３を嵌め込んだときに全周に渡って均一な気密性を得ることが困難になる。
【００２６】
従ってキャップ部３側にＯリング３３を設けることができるので、石英同士の接合の場合に比べて組み立て許容誤差も緩和され、確実にシ−ルすることができる。そして従来技術の項目で述べたように、熱処理炉２の下方側のウエハの移載領域（ロ−ダ室）をパ−ジガスの陽圧雰囲気としたりあるいは反応管２１内を微減圧にして酸化処理を行う場合であっても外気が反応管２１内に流入することを防止でき、石英同士の接合に比べて有利である。
【００２７】
また石英の場合には熱伝導が悪いこと及び冷却水路の形成が困難なことから、冷却水による冷却効果を狙うことが実質できないが、前記周縁部３１を金属製としているのでここに冷却水を流すことによりＯリング３３の冷却効果が得られる。ここで前記周縁部３１を金属製にするだけであれば、腐食の問題が残るが、この実施の形態ではパ−ジガスによりフランジ部５及びキャップ部３の周縁部３１間をパ−ジしているから、キャップ部３の金属部分に腐食性ガスが触れるのを防止できると共にこのパ−ジガスにより前記Ｏリング３３を冷却できる。またキャップ部本体３０は金属製としているが、周縁部３１よりも内側においては石英製のカバ−体６１、６２を設けているので、金属部分に腐食性ガスが触れることを防止できる。
【００２８】
既述のように、例えば８５０℃以上の温度で酸化処理を行う装置では反応管２１の下に金属性のマニホ−ルドを設けることができないので、この実施の形態は有効であり、外気の流入や処理ガスの流出を確実に防止できる。
【００２９】
上述の実施の形態ではパ−ジガス供給部をキャップ部３側に設けたが、本発明は反応管２１のフランジ部５に設けてもよい。図７はこのような実施の形態を示すものであり、フランジ部５におけるキャップ部３との対向部位であってＯリング３３よりも内側寄りに周方向に溝８０を形成すると共に、この溝８０内に開口するようにキャップ部３内に窒素ガス供給路８１を形成し、当該窒素ガス供給路８１に窒素ガス供給管８２を接続している。この例では、窒素ガス供給路８１及び窒素ガス供給管８２により窒素ガス供給部が構成され、窒素ガスは溝８０からフランジ部５及びキャップ部３の間の微小な隙間をパ−ジして反応管２１内に流出する。
【００３０】
以上において前記パ−ジガス供給部から供給されるパージガスとしては窒素ガスに限らずアルゴンガスなどの不活性ガスであってもよい。またキャップ部本体３０の表面を覆うカバ−体（６１、６２）としては石英に限らず炭化ケイ素（ＳｉＣ）などのセラミックスであってもよい。更にまたキャップ部３が金属製のキャップ部本体とカバ−体とに分離されずに例えば周縁部３１以外はセラミックスで構成されるような一体的なものも本発明の権利範囲に入るものである。
【００３１】
【発明の効果】
本発明によれば、腐食性ガスを含む処理ガスにより被処理体に対して熱処理を行い、金属製のマニホ−ルドが使用できない縦型の熱処理装置において高い気密性を確保できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の熱処理装置の実施の形態の全体構成を略解して示す縦断側面図である。
【図２】図１の熱処理装置を示す概観図である。
【図３】上記実施の形態に用いられるシール構造部分を、キャップ部が閉じた状態として示す断面図である。
【図４】上記実施の形態に用いられるシール構造部分を、キャップ部が開いた状態として示す断面図である。
【図５】キャップ部の一部を示す分解斜視図である。
【図６】パージガスが流れる様子を示す説明図である。
【図７】本発明の熱処理装置の他の実施の形態に用いられるシール構造部分を、キャップ部が閉じた状態として示す断面図である。
【図８】従来の熱処理装置を示す縦断側面図である。
【符号】
２１ 反応管
２２ ヒータ
３ キャップ部
３０ キャップ部本体
３１ 周縁部
３２ 溝部
３３ Ｏリング
４ ウエハボート
４０ ボートエレベータ
５ フランジ部
６１、６２ カバー体
６３ ターンテーブル
７１ 冷却水路
７３ Ｎ2ガス供給路
７４ Ｎ2ガス供給管
８１ Ｎ2ガス供給路
８２ Ｎ2ガス供給管

Claims (8)

1. 複数の被処理体を棚状に保持させた保持具を、下端にフランジ部を有する縦型の石英製の反応容器内に下端開口部から搬入すると共に反応容器内を所定の熱処理温度に加熱し、腐食性のガスを含む処理ガスにより被処理体に対して熱処理を行う熱処理装置において、
   その周縁部が内側の領域よりも高い段部として構成されると共に、当該段部の上面が前記反応容器のフランジ部に接合するように設けられ、前記保持具を搭載して反応容器内の下端開口部を開閉するために、金属により構成されたキャップ部本体と、
   前記キャップ部本体における前記周縁部よりも内側部位の表面を覆うように、前記段部の内側に嵌合されたセラミックス製のカバ−部と、
   前記フランジ部との間を気密にシ−ルするために前記キャップ部本体の前記段部の上面に周方向に沿ってリング状に設けられた樹脂製のシ−ル部材と、
   前記キャップ部本体における前記段部よりも内側の領域においてキャップ部本体の周方向に沿ってリング状に設けられると共に、前記カバー部の下面を前記キャップ部本体の表面から浮かせて両者の間に形成されたパージガス供給用の隙間と、
   前記フランジ部と前記キャップ部本体の周縁部との対向部位において前記シ−ル部材よりも内側の領域にパ−ジガスを供給するために、前記パージガス供給用の隙間に開口するようにキャップ部本体に形成されたパ−ジガス供給路を含むパージガス供給部と、を備え、
   前記パージガス供給用の隙間に供給されたパ−ジガスが、前記隙間からキャップ部本体の表面に沿って外側に流れて前記対向部位に供給されることを特徴とする熱処理装置。
2. シ−ル部材を冷却するためにキャップ部本体の前記周縁部に周方向に沿って冷却流体の流路を設けたことを特徴とする請求項１記載の熱処理装置。
3. カバ−部は石英製であることを特徴とする請求項１又は２記載の熱処理装置。
4. 熱処理温度は８５０℃以上であることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の熱処理装置。
5. 腐食性ガスは塩化水素であることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の熱処理装置。
6. 被処理体に対して行われる熱処理はシリコン酸化膜を得るための酸化処理であることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の熱処理装置。
7. 複数の被処理体を棚状に保持させた保持具を、その周縁部が内側の領域よりも高い段部として構成されると共に、当該段部の上面が前記反応容器のフランジ部に接合するように設けられ、金属により構成されたキャップ部本体の上に搭載して縦型の石英製の反応容器内に下端開口部から搬入し、前記キャップ部本体の周縁部と反応容器の下端のフランジ部とを接合する工程と、
   前記キャップ部本体の段部の上面に周方向に沿ってリング状に設けられた樹脂製のシ−ル部材により、前記キャップ部本体の周縁部と反応容器のフランジ部との対向部位を気密にシ−ルする工程と、
   前記キャップ部本体の前記段部の内側にセラミックス製のカバ−部を嵌合し、前記キャップ部本体における前記段部よりも内側の領域においてキャップ部本体の周方向に沿ってリング状に設けられると共に、前記カバー部の下面をキャップ部本体の表面から浮かせて両者の間に形成されたパージガス供給用の隙間に、キャップ部本体に設けられたパージガス供給路を介してパージガスを供給する工程と、
   前記パージガス供給用の隙間に供給されたパージガスを当該隙間からキャップ部本体の表面に沿って外側に流して前記フランジ部と前記キャップ部本体の周縁部との対向部位において前記シ−ル部材よりも内側の領域に供給し、このパ−ジガスにより前記周縁部と処理ガスとの接触を防ぎかつ前記シ−ル部材を冷却する工程と、
   この工程を行いながら、所定の熱処理温度の雰囲気下にて腐食性のガスを含む処理ガスにより被処理体に対して熱処理を行う工程と、を含むことを特徴とする熱処理方法。
8. パ−ジガスの冷却に加えて、キャップ部の中に冷却流体を流すことによりシ−ル部材を冷却することを特徴とする請求項７記載の熱処理方法。

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