JPH10255470A - 半導体記憶装置及びシステム - Google Patents

半導体記憶装置及びシステム

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JPH10255470A
JPH10255470A JP9074490A JP7449097A JPH10255470A JP H10255470 A JPH10255470 A JP H10255470A JP 9074490 A JP9074490 A JP 9074490A JP 7449097 A JP7449097 A JP 7449097A JP H10255470 A JPH10255470 A JP H10255470A
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雅俊 長谷川
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正行 中村
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一彦 梶谷
Shinichi Miyatake
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 その低コスト化を阻害することなく、BSG
方式を採るシンクロナスDRAM等の高速化を図り、こ
れを含むコンピュータ等の高速化を図る。 【解決手段】 電源電圧VDD及び接地電位VSSその
動作電源とし、かつ相補ビット線B0*における読み出
し信号の増幅後の到達電位が内部電圧VDL及びVSL
とされるBSG方式を採るシンクロナスDRAM等にお
いて、ライトアンプから相補共通データ線CD0*を介
してメモリアレイの選択メモリセルに供給される書き込
み信号のハイレベル及びロウレベルの到達電位を、所定
期間だけそれぞれ電源電圧VDD及び接地電位VSSと
し、あるいはセンスアンプに対するコモンソース線CS
P及びCSNの電位を、所定期間だけそれぞれ電源電圧
VDD及び接地電位VSSとすることで、相補ビット線
B0*における書き込み信号の実質的な到達振幅を相補
ビット線B0*における読み出し信号の増幅後の到達振
幅よりも大きくして、言わばオーバードライブ書き込み
を行う。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は半導体記憶装置及
びシステムに関し、例えば、BSG(ブーステッド・セ
ンス・グラウンド)方式を採るシンクロナスDRAM
(ダイナミック・ランダム・アクセス・メモリ)及びこ
れを含むコンピュータシステムならびにその高速化に利
用して特に有効な技術に関するものである。
【0002】
【従来の技術】直交して配置される所定数のワード線及
び相補ビット線ならびにこれらのワード線及び相補ビッ
ト線の交点に格子状に配置される多数のダイナミック型
メモリセルを含むメモリアレイをその基本構成要素と
し、所定のクロック信号に従って同期動作するいわゆる
シンクロナスDRAMがある。また、このようなシンク
ロナスDRAMを、例えばディスプレイ制御のためのフ
レームメモリとして含むコンピュータシステムがある。
【0003】一方、シンクロナスDRAM等の高速化・
低消費電力化を図る一つの手段として、ビット線におけ
る読み出し信号の増幅後のハイレベル及びロウレベル
を、電源電圧VDDより所定値だけ低い電位VDLある
いは接地電位VSSより所定値だけ高い電位VSLとす
るいわゆるBSG方式が知られている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本願発明者等は、この
発明に先立って、BSG方式を採るシンクロナスDRA
Mを開発し、次のような問題点に直面した。すなわち、
このシンクロナスDRAMは、図10に例示されるよう
に、NチャンネルMOSFET(金属酸化物半導体型電
界効果トランジスタ。この明細書では、MOSFETを
して絶縁ゲート型電界効果トランジスタの総称とする)
N2及びPチャンネルMOSFETP2あるいはNチャ
ンネルMOSFETN3及びPチャンネルMOSFET
P3からなる一対のCMOS(相補型MOS)インバー
タが交差結合されてなる単位増幅回路を含むセンスアン
プSAを備える。また、センスアンプSAの各単位増幅
回路は、コモンソース線CSP及びCSNにそれぞれ所
定の内部電圧VDL及びVSLが供給されることにより
選択的に動作状態とされ、メモリアレイMARYの選択
ワード線に結合された所定数のメモリセルから相補ビッ
ト線B0*(ここで、例えば非反転ビット線B0T及び
反転ビット線B0Bを合わせて相補ビット線B0*のよ
うに*を付して表す。また、それが有効とされるとき選
択的にハイレベルとされるいわゆる非反転信号等につい
てはその名称の末尾にTを付して表し、それが有効とさ
れるとき選択的にロウレベルとされるいわゆる反転信号
等についてはその名称の末尾にBを付して表す。以下同
様)等を介して出力される微小読み出し信号を増幅し
て、内部電圧VDLをハイレベルとし内部電圧VSLを
ロウレベルとするBSGレベルの2値読み出し信号とす
る。
【0005】上記シンクロナスDRAMにおいて、相補
ビット線B0*等における2値読み出し信号のハイレベ
ルとなる電位VDLは、電源電圧VDDを例えば+3.
3V(ボルト)とするとき、例えば+2.5Vとされ、
そのロウレベルとなる電位VSLは例えば+0.8Vと
される。つまり、このシンクロナスDRAMでは、その
動作電源となる電源電圧VDD及び接地電位VSSの電
位差が3.3Vであるにもかかわらず、各相補ビット線
における2値読み出し信号の到達振幅が1.7Vに圧縮
されるため、シンクロナスDRAMの微細化・高集積化
を図ることができるとともに、相補ビット線のレベル変
化を高速化してシンクロナスDRAMの高速化を図り、
相補ビット線の負荷容量に対するチャージ電流を削減し
てシンクロナスDRAMの低消費電力化を図ることがで
きるものとされる。
【0006】一方、メモリアレイMARYの選択メモリ
セルに対する書き込み動作は、ライトアンプWAの単位
ライトアンプUWA0等を構成するPチャンネルMOS
FETPE及びPFならびにNチャンネルMOSFET
NJ及びNKから、相補共通データ線CD0*等ならび
に図示されないYスイッチYSのスイッチMOSFET
を介して行われ、相補共通データ線CD0*等における
書き込み信号のハイレベル及びロウレベルの到達電位
は、図11に例示されるように、それぞれ上記内部電圧
VDL及びVSLとされる。周知のように、MOSFE
Tの微細化・低電圧化は、必ずしもそのしきい値電圧の
スケーリングには結びつかない。したがって、BSG方
式を採ることによりシンクロナスDRAMの高速化・低
消費電力化を図ろうとすると、読み出し信号及び書き込
み信号の振幅圧縮によってシンクロナスDRAMの読み
出し動作及び書き込み動作が遅くなり、そのアクセスタ
イムが長くなる。また、これに対処するためにMOSF
ETの低Vth化を図ろうとすると、不純物の打ち込み
量制御のためにフォトマスクの所要数が増え、製造工程
が増えて、シンクロナスDRAMの低コスト化が阻害さ
れる。
【0007】この発明の目的は、その低コスト化を阻害
することなく、BSG方式を採るシンクロナスDRAM
等の高速化を図り、シンクロナスDRAMを含むコンピ
ュータシステム等の高速化を図ることにある。
【0008】この発明の前記ならびにその他の目的と新
規な特徴は、この明細書の記述及び添付図面から明らか
になるであろう。
【0009】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次
の通りである。すなわち、第1及び第2の電源電圧をそ
の動作電源としかつBSG方式を採るシンクロナスDR
AM等において、ライトアンプから相補共通データ線を
介してメモリアレイの選択メモリセルに供給される書き
込み信号のハイレベル及びロウレベルの到達電位を、所
定期間だけそれぞれ第1及び第2の電源電圧電位とし、
あるいはセンスアンプに対する第1及び第2コモンソー
ス線の電位を、所定期間だけそれぞれ第1及び第2の電
源電圧電位とすることで、ビット線における書き込み信
号の実質的な到達振幅を読み出し信号の増幅後の到達振
幅よりも大きくして、言わばオーバードライブ書き込み
を行う。
【0010】上記手段によれば、BSG方式による微細
化・低消費電力化を享受しつつ、しかもその低コスト化
を阻害することなく、BSG方式を採るシンクロナスD
RAM等の書き込み動作を高速化することができ、これ
によってシンクロナスDRAMを含むコンピュータシス
テム等の高速化を図ることができる。
【0011】
【発明の実施の形態】図1には、この発明が適用された
シンクロナスDRAMの一実施例のブロック図が示され
ている。同図をもとに、まずこの実施例のシンクロナス
DRAMの構成及び動作の概要について説明する。な
お、図1の各ブロックを構成する回路素子は、公知のM
OSFET集積回路の製造技術により、単結晶シリコン
のような1個の半導体基板上に形成される。
【0012】図1において、この実施例のシンクロナス
DRAMは、特に制限されないが、4個のバンクBNK
0〜BNK3を備え、これらのバンクのそれぞれは、そ
のレイアウト面積の大半を占めて配置されるメモリアレ
イMARYと、直接周辺回路となるロウアドレスデコー
ダRD,センスアンプSA,カラムアドレスデコーダC
DならびにライトアンプWA及びメインアンプMAとを
備える。
【0013】バンクBNK0〜BNK3を構成するメモ
リアレイMARYは、図の垂直方向に平行して配置され
る所定数のワード線と、水平方向に平行して配置される
所定組の相補ビット線とをそれぞれ含む。これらのワー
ド線及び相補ビット線の交点には、情報蓄積キャパシタ
及びアドレス選択MOSFETからなる多数のダイナミ
ック型メモリセルがそれぞれ格子状に配置される。な
お、メモリアレイMARYの具体的構成及び動作につい
ては、後で詳細に説明する。
【0014】バンクBNK0〜BNK3のメモリアレイ
MARYを構成するワード線は、その下方において対応
するロウアドレスデコーダRDに結合され、択一的に選
択状態とされる。各バンクのロウアドレスデコーダRD
には、ロウアドレスレジスタRAから11ビットの内部
アドレス信号X0〜X10が共通に供給され、タイミン
グ発生回路TGから内部制御信号RGが供給される。ロ
ウアドレスレジスタRAには、アドレスバッファABを
介してXアドレス信号AX0〜AX10が供給され、タ
イミング発生回路TGから内部制御信号RLが供給され
る。また、アドレスバッファABには、外部のアクセス
装置からアドレス入力端子A0〜A10を介してXアド
レス信号AX0〜AX10ならびにYアドレス信号AY
0〜AY8が時分割的に供給され、アドレス入力端子A
11及びA12を介して2ビットのバンクアドレス信号
BA0及びBA1が供給される。
【0015】アドレスバッファABは、アドレス入力端
子A0〜A10を介して時分割的に入力されるXアドレ
ス信号AX0〜AX10ならびにYアドレス信号AY0
〜AY8と、アドレス入力端子A11及びA12を介し
て入力されるバンクアドレス信号BA0及びBA1を取
り込み、ロウアドレスレジスタRA,カラムアドレスカ
ウンタCC,バンクアドレスレジスタBA,データ入出
力選択回路DSならびに図示されないモードレジスタM
Rに伝達する。バンクアドレスレジスタBAには、さら
にタイミング発生回路TGから内部制御信号BLが供給
され、データ入出力選択回路DSには図示されない内部
制御信号BCが供給される。
【0016】バンクアドレスレジスタBAは、アドレス
入力端子A11及びA12からアドレスバッファABを
介して入力されるバンクアドレス信号BA0及びBA1
を内部制御信号BLに従って取り込み、保持するととも
に、内部バンクアドレス信号B0及びB1としてバンク
選択回路BSに伝達する。
【0017】バンク選択回路BSは、バンクアドレスレ
ジスタBAから伝達される内部バンクアドレス信号B0
及びB1をデコードして、対応するバンク選択信号BS
0〜BS3を所定のタイミングで択一的にハイレベルと
する。これらのバンク選択信号BS0〜BS3は、対応
するバンクBNK0〜BNK3にそれぞれ供給され、そ
の周辺回路たるロウアドレスデコーダRD,カラムアド
レスデコーダCD,センスアンプならびにライトアンプ
WA及びメインアンプMA等を選択的に動作状態とする
ための駆動選択信号として用いられる。
【0018】ロウアドレスレジスタRAは、アドレスバ
ッファABから伝達されるXアドレス信号AX0〜AX
10を内部制御信号RLに従って取り込み、保持すると
ともに、これらのXアドレス信号をもとに内部アドレス
信号X0〜X10を形成し、バンクBNK0〜BNK3
のロウアドレスデコーダRDに供給する。
【0019】バンクBNK0〜BNK3のロウアドレス
デコーダRDは、内部制御信号RGがハイレベルとされ
かつ対応するバンク選択信号BS0〜BS3がハイレベ
ルとされることでそれぞれ選択的に動作状態とされ、ロ
ウアドレスレジスタRAから供給される内部アドレス信
号X0〜X10をデコードして、対応するメモリアレイ
MARYの指定されたワード線を択一的に選択状態とす
る。
【0020】次に、バンクBNK0〜BNK3のメモリ
アレイMARYを構成する相補ビット線は、その左方に
おいて対応するセンスアンプSAに結合される。各バン
クのセンスアンプSAには、対応するカラムアドレスデ
コーダCDから図示されないp+1ビットのビット線選
択信号YS0〜YSpがそれぞれ供給され、タイミング
発生回路TGから内部制御信号PA及びPCが共通に供
給される。また、各バンクのカラムアドレスデコーダC
Dには、カラムアドレスカウンタCCから9ビットの内
部アドレス信号Y0〜Y8が共通に供給され、タイミン
グ発生回路TGから内部制御信号CGが共通に供給され
る。カラムアドレスカウンタCCには、前記アドレスバ
ッファABからYアドレス信号AY0〜AY8が供給さ
れるとともに、タイミング発生回路TGから内部制御信
号CLが供給される。
【0021】カラムアドレスカウンタCCは、図示され
ない内部制御信号CUに従って歩進動作を行うバイナリ
ーカウンタを含む。このカウンタは、アドレスバッファ
ABから供給されるYアドレス信号AY0〜AY8を内
部制御信号CLに従って取り込み、保持する。また、こ
れらのYアドレス信号AY0〜AY8を初期値として内
部制御信号CUに従った歩進動作を行い、内部アドレス
信号Y0〜Y8を順次形成して、各バンクのカラムアド
レスデコーダCDに供給する。
【0022】このとき、各バンクのカラムアドレスデコ
ーダCDは、内部制御信号CGがハイレベルとされかつ
対応するバンク選択信号BS0〜BS3がハイレベルと
されることでそれぞれ選択的に動作状態とされ、カラム
アドレスカウンタCCから供給される内部アドレス信号
Y0〜Y8をデコードして、ビット線選択信号YS0〜
YSpの対応するビットを択一的にハイレベルとする。
【0023】データ入出力選択回路DSは、アドレスバ
ッファABから供給されるアドレス信号A11及びA1
2つまりバンクアドレス信号BA0及びBA1を内部制
御信号BCに従って取り込み、保持するとともに、これ
らのバンクアドレス信号をデコードして、データ入出力
回路IOに対するデータ選択信号DS0〜DS3の対応
するビットを所定のタイミングで択一的にハイレベルと
する。
【0024】バンクBNK0〜BNK3のセンスアンプ
SAは、メモリアレイMARYの各相補ビット線に対応
して設けられる所定数の単位回路を含み、これらの単位
回路のそれぞれは、Nチャンネル型の3個のプリチャー
ジMOSFETが直並列結合されてなるビット線プリチ
ャージ回路と、一対のCMOSインバータが交差結合さ
れてなる単位増幅回路と、Nチャンネル型の一対のスイ
ッチMOSFETとを含む。このうち、各単位回路のビ
ット線プリチャージ回路を構成するプリチャージMOS
FETは、内部制御信号PCがハイレベルとされること
で選択的にかつ一斉にオン状態となり、対応するメモリ
アレイMARYの各相補ビット線の非反転及び反転信号
線を中間電位HVにプリチャージする。
【0025】一方、各単位回路の単位増幅回路は、内部
制御信号PAがハイレベルとされかつ対応するバンク選
択信号BS0〜BS3がハイレベルとされることで選択
的にかつ一斉に動作状態とされ、各メモリアレイMAR
Yの選択ワード線に結合される所定数のメモリセルから
対応する相補ビット線を介して出力される微小読み出し
信号をそれぞれ増幅して、所定の2値読み出し信号とす
る。
【0026】さらに、各単位回路のスイッチMOSFE
Tは、対応するビット線選択信号YS0〜YSpのハイ
レベルを受けて16組ずつ選択的にオン状態となり、対
応するメモリアレイMARYの対応する16組の相補ビ
ット線と相補共通データ線CD0*〜CD15*との間
を選択的に接続状態とする。
【0027】この実施例において、シンクロナスDRA
Mは、例えば+3.3Vの電源電圧VDD(第1の電源
電圧)と0Vつまり接地電位VSS(第2の電源電圧)
とをその動作電源とする。また、シンクロナスDRAM
はBSG方式を採り、センスアンプSAの単位増幅回路
には、コモンソース線CSP及びCSNを介して、それ
ぞれ例えば+2.5V(第1の電位)及び+0.8V
(第2の電位)とされる内部電圧VDL及びVSLが動
作電源として供給される。このため、各相補ビット線に
おける読み出し信号の増幅後の到達振幅はVDL−VS
Lつまり1.7Vに圧縮され、これによって各相補ビッ
ト線のチャージ又はディスチャージ動作を高速化してシ
ンクロナスDRAMの読み出し動作を高速化し、各相補
ビット線のチャージ電流を削減してその低消費電力化を
図ることができる。センスアンプSAの具体的構成及び
動作については、後で詳細に説明する。
【0028】相補共通データ線CD0*〜CD15*
は、対応するライトアンプWAの各単単位ライトアンプ
の出力端子にそれぞれ結合されるとともに、対応するメ
インアンプMAの各単位メインアンプの入力端子にそれ
ぞれ結合される。
【0029】バンクBNK0〜BNK3のライトアンプ
WA及びメインアンプMAは、相補共通データ線CD0
*〜CD15*に対応して設けられる16個の単位ライ
トアンプ及び単位メインアンプをそれぞれ備える。ま
た、データ入出力回路IOは、データ入出力端子D0〜
D15に対応して設けられる16個の入力バッファ及び
出力バッファと、書き込みデータ又は読み出しデータを
選択的に伝達する書き込みデータ選択回路及び読み出し
データ選択回路とを備える。
【0030】バンクBNK0〜BNK3のライトアンプ
WAの各単位ライトアンプの入力端子は、書き込みデー
タバスWDB00〜WDB015ないしWDB30〜W
DB315を介して、データ入出力回路IOの書き込み
データ選択回路の対応する出力端子にそれぞれ結合さ
れ、メインアンプMAの各単位メインアンプの出力端子
は、読み出しデータバスRDB00〜RDB015ない
しRDB30〜RDB315を介して、データ入出力回
路IOの読み出しデータ選択回路の対応する入力端子に
それぞれ結合される。データ入出力回路IOの書き込み
データ選択回路の各入力端子ならびに読み出しデータ選
択回路の各出力端子は、対応するデータ入出力端子D0
〜D15にそれぞれ共通結合される。
【0031】ライトアンプWAの各単位ライトアンプに
は、タイミング発生回路TGから内部制御信号WGP及
びWGが共通に供給され、メインアンプMAの各単位メ
インアンプには図示されない内部制御信号RPが共通に
供給される。また、データ入出力回路IOの書き込みデ
ータ選択回路及び読み出しデータ選択回路には、データ
入出力選択回路DSからデータ選択信号DS0〜DS3
が供給され、その出力バッファには、内部制御信号OC
が共通に供給される。
【0032】データ入出力回路IOの各入力バッファ
は、シンクロナスDRAMが書き込みモードで選択状態
とされるとき、アクセス装置からデータ入出力端子D0
〜D15を介して入力される16ビットの書き込みデー
タを取り込み、保持する。このとき、データ入出力回路
IOの書き込みデータ選択回路は、各入力バッファから
供給される書き込みデータをデータ選択信号DS0〜D
S3に従って選択的に書き込みデータバスWDB00〜
WDB015ないしWDB30〜WDB315に出力
し、指定されたバンクBNK0〜BNK3のライトアン
プWAに伝達する。また、ライトアンプWAの各単位ラ
イトアンプは、内部制御信号WGP又はWGがハイレベ
ルとされかつ対応するバンク選択信号BS0〜BS3が
ハイレベルとされることで選択的に動作状態とされ、デ
ータ入出力回路IOから書き込みデータバスWDB00
〜WDB015ないしWDB30〜WDB315を介し
て伝達される書き込みデータを所定の相補書き込み信号
に変換した後、対応する相補共通データ線CD0*〜C
D15*からセンスアンプSAを介して対応するメモリ
アレイMARYの選択状態にある16個のメモリセルに
書き込む。
【0033】この実施例において、ライトアンプWAの
各単位ライトアンプにより形成される相補書き込み信号
は、そのハイレベル及びロウレベルの到達電位がそれぞ
れ所定期間だけ電源電圧VDD及び接地電位VSSとさ
れ、いわゆるオーバードライブ書き込みが行われる。こ
の結果、この実施例のシンクロナスDRAMがBSG方
式を採るにもかかわらず、その書き込み動作が高速化さ
れ、これによってシンクロナスDRAMを含むコンピュ
ータシステムの高速化が図られる。ライトアンプWAの
具体的構成及び動作については、後で詳細に説明する。
【0034】一方、バンクBNK0〜BNK3のメイン
アンプMAの単位メインアンプは、シンクロナスDRA
Mが読み出しモードで選択状態とされるとき、内部制御
信号RPがハイレベルとされかつ対応するバンク選択信
号BS0〜BS3がハイレベルとされることで選択的に
動作状態とされ、対応するメモリアレイMARYの選択
された16個のメモリセルから相補共通データ線CD0
*〜CD15*を介して出力される読み出し信号をそれ
ぞれ増幅し、読み出しデータバスRDB00〜RDB0
15ないしRDB30〜RDB315を介してデータ入
出力回路IOに伝達する。このとき、データ入出力回路
IOの読み出しデータ選択回路は、バンクBNK0〜B
NK3のメインアンプMAから読み出しデータバスRD
B00〜RDB015ないしRDB30〜RDB315
を介して出力される読み出しデータをデータ選択信号D
S0〜DS3に従って選択し、出力バッファに伝達す
る。また、データ入出力回路IOの各出力バッファは、
内部制御信号OCのハイレベルを受けて選択的に動作状
態とされ、読み出しデータ選択回路から供給される読み
出しデータをデータ入出力端子D0〜D15を介して出
力する。
【0035】内部電圧発生回路VGは、外部から供給さ
れる電源電圧VDD及び接地電位VSSをもとに、内部
電圧VDL及びVDLならびに中間電位HVを生成し、
シンクロナスDRAMの各部に供給する。特に制限され
ないが、電源電圧VDDは+3.3Vとされ、内部電圧
VDL及びVSLならびに中間電位HVは、それぞれ+
2.5V及び+0.8Vならびに+1.65Vとされ
る。
【0036】タイミング発生回路TGは、外部のアクセ
ス装置から起動制御信号として供給されるチップ選択信
号CSB,ロウアドレスストローブ信号RASB,カラ
ムアドレスストローブ信号CASB,ライトイネーブル
信号WEBならびに入出力マスク信号DQMと、クロッ
ク信号CLK及びクロックイネーブル信号CKEとをも
とに上記各種内部制御信号を選択的に形成し、各部に供
給する。
【0037】図2には、図1のシンクロナスDRAMに
含まれるメモリアレイMARY及びセンスアンプSAの
一実施例の部分的な回路図が示されている。同図をもと
に、シンクロナスDRAMに含まれるメモリアレイMA
RY及びセンスアンプSAの具体的構成及び動作を説明
する。なお、以下の回路図において、そのチャネル(バ
ックゲート)部に矢印が付されるMOSFETはPチャ
ンネル型であって、矢印の付されないNチャンネルMO
SFETと区別して示される。
【0038】図2において、メモリアレイMARYは、
図の垂直方向に平行して配置されるm+1本のワード線
W0〜Wmと、水平方向に平行して配置されるn+1組
の相補ビット線B0*〜Bn*とを含む。これらのワー
ド線及び相補ビット線の交点には、情報蓄積キャパシタ
Cs及びアドレス選択MOSFETQaからなる(m+
1)×(n+1)個のダイナミック型メモリセルが格子
状に配置される。メモリアレイMARYの同一の行に配
置されるn+1個のメモリセルのアドレス選択MOSF
ETQaのゲートは、対応するワード線W0〜Wmにそ
れぞれ共通結合される。また、メモリアレイMARYの
同一の列に配置されるm+1個のメモリセルのアドレス
選択MOSFETQaのドレインは、対応する相補ビッ
ト線B0*〜Bn*の非反転又は反転信号線に所定の規
則性をもって交互に結合される。メモリアレイMARY
を構成するすべてのメモリセルの情報蓄積キャパシタC
sの他方の電極には、中間電位HVのプレート電圧が供
給される。
【0039】次に、センスアンプSAは、メモリアレイ
MARYの相補ビット線B0*〜Bn*に対応して設け
られるn+1個の単位回路を備え、これらの単位回路の
それぞれは、図2に例示されるように、Nチャンネル型
の3個のプリチャージMOSFETN6〜N8が直並列
結合されてなるビット線プリチャージ回路と、Pチャン
ネルMOSFETP2及びNチャンネルMOSFETN
2ならびにPチャンネルMOSFETP3及びNチャン
ネルMOSFETN3からなる一対のCMOSインバー
タが互いに交差結合されてなる単位増幅回路と、Nチャ
ンネル型の一対のスイッチMOSFETN4及びN5と
を含む。
【0040】センスアンプSAの各単位回路のビット線
プリチャージ回路を構成するプリチャージMOSFET
N6〜N8のゲートには、タイミング発生回路TGから
内部制御信号PCが共通に供給され、プリチャージMO
SFETN6及びN7の共通結合されたソースには、中
間電位HVが供給される。これにより、プリチャージM
OSFETN6〜N8は、内部制御信号PCのハイレベ
ルを受けて選択的にかつ一斉にオン状態となり、メモリ
アレイMARYの相補ビット線B0*〜Bn*の非反転
及び反転信号線を中間電位HVにプリチャージする。
【0041】一方、センスアンプSAの各単位回路の単
位増幅回路を構成するMOSFETP2及びN2の共通
結合されたドレインは、各単位増幅回路の非反転入出力
ノードとしてメモリアレイMARYの対応する相補ビッ
ト線B0*〜Bn*の非反転信号線にそれぞれ結合さ
れ、MOSFETP3及びN3の共通結合されたドレイ
ンは、各単位増幅回路の反転入出力ノードとして対応す
る相補ビット線B0*〜Bn*の反転信号線にそれぞれ
結合される。単位増幅回路を構成するPチャンネルMO
SFETP2及びP3の共通結合されたソースは、各単
位増幅回路の高電位電源供給ノードとしてコモンソース
信号線CSPに結合され、NチャンネルMOSFETN
2及びN3の共通結合されたソースは、その低電位電源
供給ノードとしてコモンソース信号線CSNに結合され
る。
【0042】コモンソース線CSPは、その下方におい
てPチャンネル型の駆動MOSFETP1を介して内部
電圧供給点VDLに結合され、コモンソース線CSN
は、Nチャンネル型の駆動MOSFETN1を介して内
部電圧供給点VSLに結合される。駆動MOSFETN
1のゲートには、タイミング発生回路TGから内部制御
信号PAが供給され、駆動MOSFETP1のゲートに
は、そのインバータV1による反転信号が供給される。
前述のように、内部電圧VDLは、例えば+2.5Vと
され、内部電圧VSLは+0.8Vとされる。
【0043】これにより、センスアンプSAの駆動MO
SFETP1及びN1は、内部制御信号PAのハイレベ
ルを受けて選択的にオン状態となり、コモンソース線C
SP及びCSNに対して内部電圧VDL及びVSLをそ
れぞれ選択的に供給する。このとき、センスアンプSA
の各単位増幅回路は、コモンソース線CSP及びCSN
の内部電圧VDL及びVSLを受けて選択的にかつ一斉
に動作状態となり、メモリアレイMARYの選択ワード
線に結合されるn+1個のメモリセルから相補ビット線
B0*〜Bn*を介して出力される微小読み出し信号を
それぞれ増幅して、そのハイレベルの到達電位を内部電
圧VDLとしロウレベルの到達電位を内部電圧VSLと
するBSGレベルの2値読み出し信号とする。
【0044】センスアンプSAの各単位回路を構成する
スイッチMOSFETN4及びN5のゲートは、順次1
6組ずつ共通結合され、カラムアドレスデコーダCDか
ら対応するビット線選択信号YS0〜YSpがそれぞれ
共通に供給される。なお、ビット線選択信号のビット数
p+1が、メモリアレイMARYの相補ビット線B0*
〜Bn*の組数n+1に対して、 p+1=(n+1)/16 なる関係にあることは言うまでもない。
【0045】これにより、センスアンプSAの各単位回
路のスイッチMOSFETN4及びN5は、ビット線選
択信号YS0〜YSpの対応するビットがハイレベルと
されることで16組ずつ選択的にオン状態となり、メモ
リアレイMARYの対応する16組の相補ビット線と相
補共通データ線CD0*〜CD15*つまりライトアン
プWA及びメインアンプMAとの間を選択的に接続状態
とする。
【0046】図3には、図1のシンクロナスDRAMに
含まれるライトアンプWAの一実施例の部分的な回路図
が示されている。なお、図3には、バンクBNK0のラ
イトアンプWAを構成する16個の単位ライトアンプの
うち単位ライトアンプUWA0が例示的に示されてお
り、以下の説明もこれを例に進められる。
【0047】図3において、バンクBNK0のライトア
ンプWAは、書き込みデータバスWDB00〜WDB0
15に対応して設けられる16個の単位ライトアンプU
WA0〜UWA15を備え、これらの単位ライトアンプ
のそれぞれは、特に制限されないが、図の単位ライトア
ンプUWA0に代表して示されるように、それぞれ4個
のPチャンネルMOSFETP4〜P7ならびにNチャ
ンネルMOSFETN9〜NCと、それぞれ2個のナン
ド(NAND)ゲートNA1及びNA2ならびにノア
(NOR)ゲートNO1及びNO2とを含む。
【0048】MOSFETP4及びP5のソースは、と
もに電源電圧供給点VDDに結合され、そのドレイン
は、反転共通データ線CD0B及び非反転共通データ線
CD0Tにそれぞれ結合される。また、MOSFETN
9及びNAのソースは、ともに接地電位供給点VSSに
結合され、そのドレインは、非反転共通データ線CD0
T及び反転共通データ線CD0Bにそれぞれ結合され
る。MOSFETN9のゲートには、ノアゲートNO1
の出力信号が供給され、MOSFETP4のゲートに
は、そのインバータV4による反転信号が供給される。
また、MOSFETP5のゲートには、ナンドゲートN
A1の出力信号が供給され、MOSFETNAのゲート
には、そのインバータV5による反転信号が供給され
る。
【0049】ナンドゲートNA1の一方の入力端子に
は、内部制御信号WGPが供給され、ノアゲートNO1
の一方の入力端子には、そのインバータV2による反転
信号が供給される。これらのナンドゲートNA1及びノ
アゲートNO1の他方の入力端子は、ともに書き込みデ
ータバスWDB00に結合される。
【0050】これにより、MOSFETP4及びN9
は、ともにノアゲートNO1の出力信号がハイレベルと
されるとき、言い換えるならば内部制御信号WGPがハ
イレベルとされかつ書き込みデータバスWDB00を介
して供給される書き込みデータがロウレベルつまり論理
“0”とされるとき選択的にオン状態となる。また、M
OSFETP5及びNAは、ともにナンドゲートNA1
の出力信号がロウレベルとされるとき、言い換えるなら
ば内部制御信号WGPがハイレベルとされかつ書き込み
データバスWDB00を介して供給される書き込みデー
タがハイレベルつまり論理“1”とされるとき選択的に
オン状態となる。
【0051】単位ライトアンプUWA0のMOSFET
P4及びN9がオン状態とされるとき、非反転共通デー
タ線CD0Tには接地電位VSSのようなロウレベルの
書き込み信号が出力され、反転共通データ線CD0Bに
は電源電圧VDDのようなハイレベルの書き込み信号が
出力される。また、MOSFETP5及びNAがオン状
態とされるとき、非反転共通データ線CD0Tには電源
電圧VDDのようなハイレベルの書き込み信号が出力さ
れ、反転共通データ線CD0Bには接地電位VSSのよ
うなロウレベルの書き込み信号が出力される。
【0052】一方、単位ライトアンプUWA0を構成す
るMOSFETP6及びP7のソースは、ともに内部電
圧供給点VDLに結合され、そのドレインは、非反転共
通データ線CD0T及び反転共通データ線CD0Bにそ
れぞれ結合される。また、MOSFETNB及びNCの
ソースは、ともに内部電圧供給点VSLに結合され、そ
のドレインは、反転共通データ線CD0B及び非反転共
通データ線CD0Tにそれぞれ結合される。MOSFE
TP7のゲートには、ノアゲートNO2の出力信号が供
給され、MOSFETNCのゲートには、そのインバー
タV7による反転信号が供給される。また、MOSFE
TNBのゲートには、ナンドゲートNA2の出力信号が
供給され、MOSFETP6のゲートには、そのインバ
ータV6による反転信号が供給される。
【0053】ナンドゲートNA2の一方の入力端子に
は、内部制御信号WGが供給され、ノアゲートNO2の
一方の入力端子には、そのインバータV3による反転信
号が供給される。これらのナンドゲートNA2及びノア
ゲートNO2の他方の入力端子は、ともに書き込みデー
タバスWDB00に結合される。
【0054】これにより、MOSFETP7及びNC
は、ともにノアゲートNO2の出力信号がハイレベルと
されるとき、言い換えるならば内部制御信号WGがハイ
レベルとされかつ書き込みデータバスWDB00を介し
て供給される書き込みデータがロウレベルつまり論理
“0”とされるとき選択的にオン状態となる。また、M
OSFETP6及びNBは、ともにナンドゲートNA2
の出力信号がロウレベルとされるとき、言い換えるなら
ば内部制御信号WGがハイレベルとされかつ書き込みデ
ータバスWDB00を介して供給される書き込みデータ
がハイレベルつまり論理“1”とされるとき選択的にオ
ン状態となる。
【0055】単位ライトアンプUWA0のMOSFET
P7及びNCがオン状態とされるとき、非反転共通デー
タ線CD0Tには内部電圧VSLのようなロウレベルの
書き込み信号が出力され、反転共通データ線CD0Bに
は内部電圧VDLのようなハイレベルの書き込み信号が
出力される。また、MOSFETP5及びNAがオン状
態とされるとき、非反転共通データ線CD0Tには内部
電圧VDLのようなハイレベルの書き込み信号が出力さ
れ、反転共通データ線CD0Bには内部電圧VSLのよ
うなロウレベルの書き込み信号が出力される。
【0056】この実施例において、内部制御信号WGP
は、後述するように、書き込み動作が行われる期間の当
初において所定期間だけ選択的にハイレベルとされ、内
部制御信号WGは、内部制御信号WGPがロウレベルに
戻された後、他の所定期間だけ選択的にハイレベルとさ
れる。したがって、この実施例の単位ライトアンプUW
A0により形成される相補書き込み信号は、書き込み動
作が行われる当初において所定期間だけ、それぞれ電源
電圧VDD及び接地電位VSSをハイレベル及びロウレ
ベルの到達電位とする比較的大きな振幅の書き込み信号
とされ、その後の所定期間では、それぞれ内部電圧VD
L及びVSLをハイレベル及びロウレベルの到達電位と
する比較的小さな振幅の書き込み信号とされる。
【0057】図4には、図3のライトアンプWAの一実
施例の信号波形図が示されている。同図をもとに、この
実施例のシンクロナスDRAMの書き込みモードつまり
ライトサイクルにおける具体的動作ならびにその特徴に
ついて説明する。なお、以下の信号波形図には、バンク
BNK0のワード線W0と、ビット線選択信号YS0に
対応する相補ビット線B0*〜B15*とが選択状態と
される場合が例示的に示され、以下の具体的な説明もこ
れに関する部分を例に進められる。また、同図には、書
き込みデータが論理“1”とされる場合が例示され、書
き込みデータが論理“0”とされる場合が点線で付記さ
れる。さらに、シンクロナスDRAMでは、このライト
サイクルに先立って、バンクBNK0のワード線W0を
選択状態とするためのアクティブコマンドがすでに実行
済の状態にある。したがって、メモリアレイMARYの
例えば相補ビット線B0*には、ワード線W0との交点
にある選択メモリセルの保持データつまり例えば論理
“0”のデータに対応した微小読み出し信号が出力さ
れ、これがすでにセンスアンプSAの対応する単位増幅
回路により増幅されて内部電圧VDLをハイレベルとし
内部電圧VSLをロウレベルとするBSGレベルの2値
読み出し信号となっている。
【0058】図4において、この実施例のシンクロナス
DRAMは、クロック信号CLKの立ち上がりエッジつ
まりそのロウレベルからハイレベルへの変化時点でチッ
プ選択信号CSB及びカラムアドレスストローブ信号C
ASBがロウレベルとされ、かつライトイネーブル信号
WEBがロウレベルとされることで、ライトサイクルつ
まり書き込みモードによる選択状態とされる。このと
き、アドレス入力端子A0〜A12には、バンクBNK
0のビット線選択信号YS0を指定する組み合わせでY
アドレス信号AY0〜AY8が供給され、データ入出力
端子D0には、論理“1”又は“0”の書き込みデータ
が選択的に入力される。
【0059】シンクロナスDRAMでは、クロック信号
CLKの立ち上がりから所定時間が経過した時点でビッ
ト線選択信号YS0が択一的にハイレベルとされる。ま
た、やや遅れて内部制御信号WGPが所定期間だけハイ
レベルとされた後、これと入れ換わりに内部制御信号W
Gが他の所定期間だけハイレベルとされる。
【0060】ライトアンプWAの単位ライトアンプUW
A0では、まず内部制御信号WGPのハイレベルと書き
込みデータの論理“1”とを受けてナンドゲートNA1
の出力信号NA1outが所定期間だけロウレベルとな
り、続いて内部制御信号WGのハイレベルと書き込みデ
ータの論理“1”とを受けてナンドゲートNA2の出力
信号NA2outが他の所定期間だけロウレベルとされ
る。
【0061】ナンドゲートNA1の出力信号NA1ou
tがロウレベルとされるとき、相補共通データ線CD0
*の非反転及び反転信号線には、ライトアンプWAの単
位ライトアンプUWA0からフルスィングつまりそのハ
イレベルを電源電圧VDDとしそのロウレベルを接地電
位VSSとする論理“1”の相補書き込み信号が出力さ
れ、オーバードライブ書き込みが行われる。このため、
相補ビット線B0*の非反転及び反転信号線の電位は急
速に反転されるが、非反転及び反転信号線の電位が交差
した時点でナンドゲートNA2の出力信号NA2out
がロウレベルとされ、相補書き込み信号の到達電位がそ
のハイレベルを内部電圧VDLとしそのロウレベルを内
部電圧VSLとするBSGレベルとされる。したがっ
て、相補ビット線B0*の非反転及び反転信号線の電位
変化は比較的緩やかなものとなリ、やがて内部電圧VD
L又はVSLのBSGレベルに到達する。
【0062】以上のように、この実施例のシンクロナス
DRAMはBSG方式を採り、メモリアレイMARYの
相補ビット線B0*〜Bn*における読み出し信号の増
幅後の到達電位は、内部電圧VDLをハイレベルとし内
部電圧VSLをロウレベルとするBSGレベルとされる
が、書き込み動作時にライトアンプWAから相補共通デ
ータ線CD0*〜CD15*を介して各相補ビット線に
供給される相補書き込み信号の到達電位は、電源電圧V
DDをハイレベルとし接地電位VSSをロウレベルとす
るフルスィングレベルとされ、オーバードライブ書き込
みが行われる。この結果、BSG方式による微細化・低
消費電力化を享受しつつ、しかもMOSFETを低Vt
h化することなく、言い換えるならば不純物の打ち込み
量制御のためのフォトマスク及び製造工程の追加による
コスト上昇を招くことなく、シンクロナスDRAMの書
き込み動作を高速化でき、これによってシンクロナスD
RAMを含むコンピュータシステムの高速化を図ること
ができる。
【0063】なお、相補ビット線B0*〜Bn*の非反
転及び反転信号線の電位が交差した後に相補書き込み信
号の到達電位がBSGレベルに切り換えられ、その電位
変化が緩やかとなることで、相補ビット線B0*〜Bn
*の非反転及び反転信号線の電位が内部電圧VDLを超
えて高くあるいは内部電圧VSL以下となるのを防止で
き、これによって動作電流の増大を防止し、特にロウレ
ベルが内部電圧VSL以下となることによるメモリセル
のデータ破壊を防止できる。
【0064】図5には、この発明が適用されたシンクロ
ナスDRAMに含まれるライトアンプWAの第2の実施
例の部分的な回路図が示され、図6には、その一実施例
の信号波形図が示されている。なお、この実施例は、前
記図1〜図4の実施例を基本的に踏襲するものであるた
め、これと異なる部分について説明を追加する。
【0065】図5において、この実施例のライトアンプ
WAを構成する単位ライトアンプUWA0は、それぞれ
6個のPチャンネルMOSFETP8〜PDならびにN
チャンネルMOSFETND〜NIと、それぞれ4個の
ナンドゲートNA3〜NA6ならびにノアゲートNO3
〜NO6とを含む。MOSFETP8のドレインは、非
反転共通データ線CD0Tに結合される。また、そのソ
ースは、MOSFETP8を介して電源電圧供給点VD
Dに結合されるとともに、MOSFETP9を介して内
部電圧供給点VDLに結合され、さらにキャパシタC1
の一方の電極に結合される。同様に、MOSFETPC
のドレインは、反転共通データ線CD0Bに結合され
る。また、そのソースは、MOSFETPDを介して電
源電圧供給点VDDに結合されるとともに、MOSFE
TPBを介して内部電圧供給点VDLに結合され、さら
にキャパシタC3の一方の電極に結合される。
【0066】一方、単位ライトアンプUWA0を構成す
るMOSFETNFのドレインは、反転共通データ線C
D0Bに結合される。また、そのソースは、MOSFE
TNDを介して接地電位供給点VSSに結合されるとと
もに、MOSFETNEを介して内部電圧供給点VSL
に結合され、さらにキャパシタC2の一方の電極に結合
される。同様に、MOSFETNHのドレインは、非反
転共通データ線CD0Tに結合される。また、そのソー
スは、MOSFETNIを介して接地電位供給点VSS
に結合されるとともに、MOSFETNGを介して内部
電圧供給点VSLに結合され、さらにキャパシタC4の
一方の電極に結合される。
【0067】単位ライトアンプUWA0のMOSFET
PAのゲートには、ナンドゲートNA3の出力信号つま
り反転内部信号W11Bが供給され、MOSFETNF
のゲートには、そのインバータVCによる反転信号つま
り非反転内部信号W11が供給される。また、MOSF
ETP9のゲートには、ナンドゲートNA6の出力信号
つまり反転内部信号W14Bが供給され、MOSFET
NEのゲートには、そのインバータVFによる反転信号
つまり非反転内部信号W14が供給される。さらに、M
OSFETNDのゲートには、ナンドゲートNA4の出
力信号つまり反転内部信号W12Bが供給され、MOS
FETP8のゲートには、そのインバータVDによる反
転信号つまり非反転内部信号W12が供給される。キャ
パシタC2の他方の電極には、ナンドゲートNA5の出
力信号つまり反転内部信号W13Bが供給され、キャパ
シタC3の他方の電極には、そのインバータVEによる
反転信号つまり非反転内部信号W13が供給される。
【0068】次に、単位ライトアンプUWA0のMOS
FETNHのゲートには、ノアゲートNO3の出力信号
つまり非反転内部信号W01が供給され、MOSFET
PCのゲートには、そのインバータVGによる反転信号
つまり反転内部信号W01Bが供給される。また、MO
SFETNGのゲートには、ノアゲートNO6の出力信
号つまり非反転内部信号W04が供給され、MOSFE
TPBのゲートには、そのインバータVJによる反転信
号つまり反転内部信号W04Bが供給される。さらに、
MOSFETPDのゲートには、ノアゲートNO4の出
力信号つまり非反転内部信号W02が供給され、MOS
FETNIのゲートには、そのインバータVHによる反
転信号つまり反転内部信号W02Bが供給される。キャ
パシタC3の他方の電極には、ノアゲートNO5の出力
信号つまり非反転内部信号W03が供給され、キャパシ
タC3の他方の電極には、そのインバータVIによる反
転信号つまり反転内部信号W03Bが供給される。
【0069】ナンドゲートNA3,NA4,NA5なら
びにNA6の一方の入力端子には、内部制御信号WG
1,WG2,WG3ならびにWG4がそれぞれ供給さ
れ、その他方の入力端子には、書き込みデータバスWD
B00を介して書き込みデータの対応するビットが共通
に供給される。また、ノアゲートNO3,NO4,NO
5ならびにNO6の一方の入力端子には、内部制御信号
WG1,WG2,WG3ならびにWG4のインバータV
8,V9,VAならびにVBによる反転信号がそれぞれ
供給され、その他方の入力端子には、書き込みデータバ
スWDB00を介して書き込みデータの対応するビット
が共通に供給される。
【0070】これらのことから、反転内部信号W11
B,W12B,W13BならびにW14Bは、対応する
内部制御信号WG1,WG2,WG3ならびにWG4が
ハイレベルとされかつ書き込みデータの対応するビット
がハイレベルつまり論理“1”とされるとき選択的にロ
ウレベルとされ、これを受けて非反転内部信号W11,
W12,W13ならびにW14がそれぞれ選択的にハイ
レベルとされる。また、非反転内部信号W01,W0
2,W03ならびにW04は、対応する内部制御信号W
G1,WG2,WG3ならびにWG4がロウレベルとさ
れかつ書き込みデータの対応するビットがロウレベルつ
まり論理“0”とされるとき選択的にハイレベルとさ
れ、これを受けて反転内部信号W01B,W02B,W
03BならびにW04Bがそれぞれ選択的にロウレベル
とされる。
【0071】この実施例において、内部制御信号WG1
〜WG4は所定の時間関係を有し、このことを受けて非
反転内部信号W11〜W14ならびにW01〜W04は
図6に示されるような時間関係を持つものとされる。以
下、書き込みデータの対応するビットが論理“1”であ
る場合を例に、説明を進める。
【0072】シンクロナスDRAMがアクティブコマン
ド実行後の非選択状態とされ非反転内部信号W11〜W
14がすべてロウレベルつまり反転内部信号W11B〜
W14Bがすべてハイレベルとされるとき、ライトアン
プWAの単位ライトアンプUWA0では、非反転内部信
号W12のロウレベルを受けてMOSFETP8がオン
状態となり、反転内部信号W12Bのハイレベルを受け
てMOSFETNDがオン状態となる。また、キャパシ
タC1の他方の電極には、非反転内部信号W13のロウ
レベルが供給され、キャパシタC2の他方の電極には、
反転内部信号W13Bのハイレベルが供給される。これ
により、キャパシタC1は、その一方の電極が電源電圧
VDDとされその他方の電極が接地電位VSSとされる
形でチャージされ、キャパシタC2は、その一方の電極
が接地電位VSSとされその他方の電極が電源電圧VD
Dとされる形でチャージされる。
【0073】シンクロナスDRAMがライトサイクルで
選択状態とされると、非反転内部信号W11〜W14が
所定の時間関係をもってハイレベルつまり反転内部信号
W11B〜W14Bがロウレベルとされる。ライトアン
プWAの単位ライトアンプUWA0では、まず反転内部
信号W11Bのロウレベルを受けてMOSFETPAが
オン状態となり、非反転内部信号W11のハイレベルを
受けてMOSFETNFがオン状態となる。また、非反
転内部信号W12のハイレベルを受けてMOSFETP
8がオフ状態となり、反転内部信号W12Bのロウレベ
ルを受けてMOSFETNDがオフ状態となる。
【0074】これにより、キャパシタC1の一方の電極
が非反転共通データ線CD0Tに接続されるとともに、
そのMOSFETP8を介するチャージ動作が停止さ
れ、非反転共通データ線CD0Tの電位は電源電圧VD
Dに保持される。また、キャパシタC2の一方の電極が
反転共通データ線CD0Bに接続されるとともに、その
MOSFETNDを介するチャージ動作が停止され、反
転共通データ線CD0Bの電位は接地電位VSSに向か
って徐々に低下し始める。
【0075】次に、非反転内部信号W13がハイレベル
つまり反転内部信号W13Bがロウレベルとされると、
キャパシタC1の他方の電極が電源電圧VDDまで押し
上げられ、非反転共通データ線CD0Tの電位は、その
負荷容量とキャパシタC1の静電容量との間のチャージ
シェアに対応する分だけ急速に上昇する。また、キャパ
シタC2の他方の電極が接地電位VSSまで引き下げら
れ、反転共通データ線CD0Bの電位は、その負荷容量
とキャパシタC2の静電容量との間のチャージシェアに
対応する分だけ急速に低下する。
【0076】つまり、この実施例では、キャパシタC1
及びC2がいわゆるブートストラップ容量として作用
し、相補共通データ線CD0*〜CD15*の負荷容量
との間のチャージシェアを利用して選択メモリセルに対
するオーバードライブ書き込みが行われる訳であって、
キャパシタC1及びC2の静電容量と各相補共通データ
線の負荷容量との間の容量比を適当に設計することによ
り、書き込み信号の到達電位を容易に設定することがで
きる。この結果、オーバードライブ書き込みによる相補
ビット線B0*〜Bn*の到達電位を、電源電圧変動及
びプロセスバラツキに関係なく安定化し、不必要な振幅
拡大を防止することができる。
【0077】図7には、この発明が適用されたシンクロ
ナスDRAMに含まれるライトアンプWAの第3の実施
例の部分的な回路図が示され、図8には、その一実施例
の信号波形図が示されている。なお、この実施例は、前
記図1〜図4の実施例を基本的に踏襲するものであるた
め、これと異なる部分について説明を追加する。
【0078】図7において、この実施例のライトアンプ
WAを構成する単位ライトアンプUWA0は、2個のP
チャンネルMOSFETPE及びPFならびにNチャン
ネルMOSFETNJ及びNKと、ナンドゲートNA7
及びノアゲートNO7とを含む。このうち、MOSFE
TPE及びPFのソースは、内部電圧供給点VDLに結
合され、そのドレインは、非反転共通データ線CD0T
及び反転共通データ線CD0Bにそれぞれ結合される。
また、MOSFETNJ及びNKのソースは、内部電圧
供給点VSLに結合され、そのドレインは、反転共通デ
ータ線CD0B及び非反転共通データ線CD0Tにそれ
ぞれ結合される。
【0079】単位ライトアンプUWA0のMOSFET
PEのゲートには、ナンドゲートNA7の出力信号が供
給され、MOSFETNJのゲートには、そのインバー
タVKによる反転信号が供給される。また、MOSFE
TNKのゲートには、ノアゲートNO7の出力信号が供
給され、MOSFETPFのゲートには、そのインバー
タVLによる反転信号が供給される。ナンドゲートNA
7の一方の入力端子には、内部制御信号WGが供給さ
れ、ノアゲートNO7の一方の入力端子には、そのイン
バータV3による反転信号が供給される。これらのナン
ドゲートNA7及びノアゲートNO7の他方の入力端子
には、書き込みデータバスWDB00を介して書き込み
データの対応するビットが共通に供給される。
【0080】この実施例において、センスアンプSAの
コモンソース線CSPは、Pチャンネル型の駆動MOS
FETP1を介して内部電圧供給点VDLに結合される
とともに、Pチャンネル型のもう一つの駆動MOSFE
TPGを介して電源電圧供給点VDDに結合される。ま
た、コモンソース線CSNは、Nチャンネル型の駆動M
OSFETN1を介して内部電圧供給点VSLに結合さ
れるとともに、Nチャンネル型のもう一つの駆動MOS
FETNLを介して接地電位供給点VSSに結合され
る。駆動MOSFETN1のゲートには、ノアゲートN
O8の出力信号が供給され、駆動MOSFETP1のゲ
ートには、そのインバータV1による反転信号が供給さ
れる。また、駆動MOSFETNLのゲートには、内部
制御信号WGPが供給され、駆動MOSFETPGのゲ
ートには、そのインバータVNによる反転信号が供給さ
れる。ノアゲートNO8の一方の入力端子には、前記内
部制御信号PAのインバータVMによる反転信号が供給
され、その他方の入力端子には、内部制御信号WGPが
供給される。
【0081】ここで、内部制御信号WGは、図8に示さ
れるように、クロック信号CLKの立ち上がりから所定
時間が経過した時点で所定期間だけ選択的にハイレベル
とされ、内部制御信号WGPは、内部制御信号WGがロ
ウレベルに戻されたのを受けて所定期間だけ選択的にハ
イレベルとされる。
【0082】これらのことから、単位ライトアンプUW
A0のナンドゲートNA7の出力信号NA7outは、
内部制御信号WGがハイレベルとされかつ書き込みデー
タの対応するビットがハイレベルつまり論理“1”とさ
れるとき選択的にロウレベルとされ、ノアゲートNO7
の出力信号NO7outは、内部制御信号WGがハイレ
ベルとされかつ書き込みデータの対応するビットがロウ
レベルつまり論理“0”とされるとき選択的にハイレベ
ルとされる。また、ノアゲートNO8の出力信号NO8
outは、内部制御信号PAがハイレベルとされかつ内
部制御信号WGPがロウレベルとされるとき選択的にハ
イレベルとされる。
【0083】単位ライトアンプUWA0では、ナンドゲ
ートNA7の出力信号NA7outがロウレベルとされ
るとき、MOSFETPE及びNJがオン状態となり、
相補共通データ線CD0*の非反転及び反転信号線は、
それぞれ内部電圧VDL及びVSLすなわちBSGレベ
ルのハイレベル及びロウレベルとされる。また、ノアゲ
ートNO7の出力信号NO7outがハイレベルとされ
るときは、MOSFETPF及びNKがオン状態とな
り、相補共通データ線CD0*の非反転及び反転信号線
は、それぞれ内部電圧VSL及びVDLすなわちBSG
レベルのロウレベル及びハイレベルとされる。
【0084】センスアンプSAでは、内部制御信号WG
PがロウレベルとされノアゲートNO8の出力信号NO
8outがハイレベルとされるとき、駆動MOSFET
P1及びN1がオン状態となり、コモンソース線CSP
及びCSNには、それぞれ内部電圧VDL及びVSLが
供給される。したがって、相補ビット線B0*における
読み出し信号の増幅後の到達振幅は、内部電圧VDLを
ハイレベルとし内部電圧VSLをロウレベルとするBS
Gレベルとされる。
【0085】一方、内部制御信号WGPがハイレベルと
されると、センスアンプSAでは、ノアゲートNO8の
出力信号NO8outのロウレベルを受けて駆動MOS
FETN1及びP1がオフ状態となり、代わって駆動M
OSFETPG及びNLがオン状態となる。このため、
コモンソース線CSPには、駆動MOSFETPGを介
して電源電圧VDDが供給され、コモンソース線CSN
には、駆動MOSFETNLを介して接地電位VSSが
供給される。これにより、相補ビット線B0*における
読み出し信号の増幅後の到達振幅は、電源電圧VDDを
ハイレベルとし接地電位VSSをロウレベルとするフル
スィングのCMOSレベルとなって、等価的なオーバー
ドライブ書き込みが実現される。
【0086】以上の結果、この実施例のシンクロナスD
RAMでも、単位ライトアンプUWA0〜UWA15の
構成を簡素化してその所要回路素子数を削減しつつ、前
記図1〜図4の実施例と同様な効果を得ることができ、
これによってシンクロナスDRAMの低コスト化と書き
込み動作の高速化を図り、これを含むコンピュータシス
テムの低コスト化及び高速化を図ることができるものと
なる。
【0087】図9には、この発明が適用されたシンクロ
ナスDRAMを含むコンピュータシステムの一実施例の
ブロック図が示されている。同図をもとに、本発明によ
るシンクロナスDRAMの応用システムの概要とその特
徴について説明する。
【0088】図9において、この実施例のコンピュータ
は、いわゆるストアドプログラム方式の中央処理装置C
PUをその基本構成要素とする。中央処理装置CPUに
は、特に制限されないが、システムバスSBUSを介し
て例えば通常のスタティック型RAMからなるランダム
アクセスメモリRAMと、マスクROM等からなるリー
ドオンリーメモリROMと、ディスプレイ制御装置DP
YCならびに周辺装置コントローラPERCとが結合さ
れる。ディスプレイ制御装置DPYCには、図1〜図4
又は図5〜図6あるいは図7〜図8の実施例のシンクロ
ナスDRAMを応用したフレームメモリFLMが結合さ
れるとともに、所定のディスプレイ装置DPYが結合さ
れる。また、周辺装置コントローラPERCには、キー
ボードKBD及び外部記憶装置EXMが結合される。
【0089】中央処理装置CPUは、予めリードオンリ
ーメモリROMに格納されたプログラムに従ってステッ
プ動作し、コンピュータの各部を制御・統轄する。ま
た、ランダムアクセスメモリRAMは、いわゆる一時記
憶装置として使用され、例えばリードオンリーメモリR
OMから中央処理装置CPUに伝達されるプログラム及
び演算データ等を一時的に格納し中継するために供され
る。さらに、ディスプレイ制御装置DPYCは、フレー
ムメモリFLMに格納された画像データをもとにディス
プレイ装置DPYの表示制御を行い、周辺装置コントロ
ーラPERCは、キーボードKBD及び外部記憶装置E
XM等の周辺装置を制御する。コンピュータは、さら
に、交流入力電源をもとに安定した所定の直流電源電圧
を形成し、各部に動作電源として供給する電源装置PO
WSを備える。
【0090】この実施例において、フレームメモリFL
MとなるシンクロナスDRAMは、前述のように、BS
G方式を採り、そのメモリアレイの各相補ビット線にお
ける読み出し信号の増幅後の到達振幅は、内部電圧VD
Lをハイレベルとし内部電圧VSLをロウレベルとする
BSGレベルとされる。また、シンクロナスDRAMで
は、各相補ビット線における書き込み信号の到達振幅
を、電源電圧VDDをハイレベルとし接地電位VSSを
ロウレベルとするフルスィングのCMOSレベルとする
ことで、オーバードライブ書き込みが行われ、これによ
ってBSG方式による微細化・低消費電力化を享受しつ
つ、しかもその低コスト化を阻害することなく、シンク
ロナスDRAMの書き込み動作の高速化が図られる。こ
の結果、フレームメモリFLMを含むコンピュータシス
テムの高速化を図り、その低消費電力化・低コスト化を
図ることができるものとなる。
【0091】以上の実施例から得られる作用効果は、下
記の通りである。すなわち、 (1)第1及び第2の電源電圧をその動作電源としかつ
BSG方式を採るシンクロナスDRAM等において、ラ
イトアンプから相補共通データ線を介してメモリアレイ
の選択メモリセルに供給される書き込み信号のハイレベ
ル及びロウレベルの到達電位を、所定期間だけそれぞれ
第1及び第2の電源電圧電位とし、あるいはセンスアン
プに対する第1及び第2コモンソース線の電位を、所定
期間だけそれぞれ第1及び第2の電源電圧電位として、
ビット線における書き込み信号の実質的な到達振幅を読
み出し信号の増幅後の到達振幅よりも大きくして、言わ
ばオーバードライブ書き込みを行うことで、シンクロナ
スDRAM等の書き込み動作を高速化することができる
という効果が得られる。 (2)上記(1)項により、MOSFETの低Vth化
の必要性をなくして、シンクロナスDRAM等のフォト
マスクの所要数を削減し、その製造工程を簡素化するこ
とができるという効果が得られる。
【0092】(3)上記(1)項〜(2)項において、
書き込み信号のハイレベル及びロウレベルの到達電位
を、書き込み動作が行われる期間の当初所定期間だけ読
み出し信号の到達電位より大きくし、その後所定期間だ
け読み出し信号の到達電位と同電位とすることで、ビッ
ト線における書き込み信号の振幅が読み出し信号の到達
電位より大きくなるのを防止することができるという効
果が得られる。 (4)上記(3)項により、シンクロナスDRAMの書
き込み動作時における動作電流がいたずらに大きくなる
のを防止し、オーバードライブ書き込みによる保持デー
タの破壊を防止することができるという効果が得られ
る。
【0093】(5)上記(1)項〜(4)項において、
シンクロナスDRAM等のライトアンプに、書き込み動
作が行われない所定の期間においてその一方の電極がそ
れぞれ第1及び第2の電源電圧電位にチャージされ、書
き込み動作が行われる期間の当初において所定期間だけ
その他方の電極がそれぞれ第1及び第2の電源電圧電位
とされるブートストラップ容量を設けることで、ビット
線における書き込み信号のレベルを比較的容易に設定す
ることができ、その電源変動やプロセスバラツキにとも
なう変動を抑制することができるという効果が得られ
る。 (6)上記(1)項〜(4)項において、書き込み信号
の実質的な到達振幅を、第1及び第2コモンソース線の
電位を選択的に第1又は第2の電源電圧電位とすること
により選択的に大きくすることで、ライトアンプの構成
を簡素化してその所要回路素子数を削減することができ
るという効果が得られる。 (7)上記(1)項〜(6)項により、BSG方式によ
る微細化・低消費電力化を享受しつつ、しかもその低コ
スト化を阻害することなく、シンクロナスDRAM等の
高速化を図ることができるという効果が得られる。
【0094】(8)上記(1)項〜(7)項のシンクロ
ナスDRAMをコンピュータシステムのフレームメモリ
等に応用することで、コンピュータシステムの高速化,
低消費電力化ならびに低コスト化を図ることができると
いう効果が得られる。
【0095】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、この発明は、上記実
施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない
範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。例え
ば、図1において、シンクロナスDRAMは、×8ビッ
ト又は×32ビット等、任意のビット構成を採ることが
できるし、任意数のバンクを備えることができる。ま
た、バンクBNK0〜BNK3のメモリアレイMARY
は、その直接周辺回路を含めて複数のマットに分割でき
るし、いわゆるシェアドセンス方式を採るものであって
もよい。さらに、シンクロナスDRAMのブロック構成
は、種々の実施形態を採りうるし、起動制御信号,アド
レス信号ならびに内部制御信号等の名称及び組み合わせ
ならびにその有効レベル等も、この実施例による制約を
受けない。
【0096】図2において、メモリアレイMARYは、
任意数の冗長素子を含むことができる。また、センスア
ンプSAは、いわゆるダイレクトセンス方式を採ること
ができるし、コモンソース線CSP及びCSNに対する
駆動MOSFETの形態も任意に設定できる。図3,図
5ならびに図7において、単位ライトアンプUWA0〜
UWA15の具体的構成は、その基本的な論理条件が変
わらないことを条件に種々の実施形態を採りうるし、電
源電圧の極性及び絶対値ならびにMOSFETの導電型
等についても同様である。図4,図6ならびに図8にお
いて、クロック信号CLKを含む各起動制御信号,内部
制御信号ならびに内部信号等の具体的電位及び時間関係
は、この発明に制約を与えない。
【0097】図9において、コンピュータシステムは、
他の各種入出力デバイスを含むことができるし、シンク
ロナスDRAMも各種メモリに応用できる。コンピュー
タシステムのブロック構成及びバス構成は、種々の実施
形態を採りうる。
【0098】以上の実施例では、書き込み信号の非反転
及び反転信号の実質的な到達電位を拡大することにより
オーバードライブ書き込みを実現しているが、特にロウ
レベル側のマージンが少ない場合は、ハイレベル側のみ
をオーバードライブしてもよい。さらに、以上の実施例
において、シンクロナスDRAMはBSG方式を採るも
のとしているが、このことは必須条件ではなく、例え
ば、相補ビット線における読み出し信号の増幅後の到達
電位が電源電圧VDDをハイレベルとし接地電位VSS
をロウレベルとするCMOSレベルである場合も、相補
書き込み信号の到達電位を電源電圧VDDより高いハイ
レベル又は接地電位VSSより低いロウレベルとするこ
とで、オーバードライブ書き込みを実現してもよい。
【0099】以上の説明では、主として本発明者によっ
てなされた発明をその背景となった利用分野であるシン
クロナスDRAMならびにこれをフレームメモリとして
含むコンピュータシステムに適用した場合について説明
したが、それに限定されるものではなく、例えば、通常
のダイナミック型RAMやダイナミック型RAMを基本
構成要素とする各種半導体メモリならびにこれを含む各
種デジタルシステムにも適用できる。この発明は、少な
くともセンスアンプを備える半導体記憶装置ならびにこ
れを含む装置又はシステムに広く適用できる。
【0100】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記の通りである。すなわち、第1及び第2の電源電圧を
その動作電源としかつBSG方式を採るシンクロナスD
RAM等において、ライトアンプから相補共通データ線
を介してメモリアレイの選択メモリセルに供給される書
き込み信号のハイレベル及びロウレベルの到達電位を、
所定期間だけそれぞれ第1及び第2の電源電圧電位と
し、あるいはセンスアンプに対する第1及び第2コモン
ソース線の電位を、所定期間だけそれぞれ第1及び第2
の電源電圧電位とすることで、ビット線における書き込
み信号の実質的な到達振幅を読み出し信号の増幅後の到
達振幅よりも大きくして言わばオーバードライブ書き込
みを行う。これにより、BSG方式による微細化・低消
費電力化を享受しつつ、しかもその低コスト化を阻害す
ることなく、BSG方式を採るシンクロナスDRAM等
の書き込み動作を高速化することができ、これによって
シンクロナスDRAMを含むコンピュータシステム等の
高速化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明が適用されたシンクロナスDRAMの
一実施例を示すブロック図である。
【図2】図1のシンクロナスDRAMに含まれるメモリ
アレイ及びセンスアンプの一実施例を示す部分的な回路
図である。
【図3】図1のシンクロナスDRAMに含まれるライト
アンプの一実施例を示す部分的な回路図である。
【図4】図3のライトアンプの一実施例を示す信号波形
図である。
【図5】この発明が適用されたシンクロナスDRAMに
含まれるライトアンプの第2の実施例を示す部分的な回
路図である。
【図6】図5のライトアンプの一実施例を示す信号波形
図である。
【図7】この発明が適用されたシンクロナスDRAMに
含まれるライトアンプの第3の実施例を示す部分的な回
路図である。
【図8】図7のライトアンプの一実施例を示す信号波形
図である。
【図9】この発明が適用されたシンクロナスDRAMを
含むコンピュータシステムの一実施例を示すブロック図
である。
【図10】この発明に先立って本願発明者等が開発した
シンクロナスDRAMに含まれるライトアンプの一例を
示す部分的な回路図である。
【図11】図10のライトアンプの一例を示す信号波形
図である。
【符号の説明】
BNK0〜BNK3……バンク、MARY……メモリア
レイ、RD……ロウアドレスデコーダ、SA……センス
アンプ、CD……カラムアドレスデコーダ、WA……ラ
イトアンプ、MA……メインアンプ、AB……アドレス
バッファ、RA……ロウアドレスレジスタ、BA……バ
ンクアドレスレジスタ、BS……バンク選択回路、CC
……カラムアドレスカウンタ、IO……データ入出力回
路、DS……データ入出力選択回路、VG……内部電圧
発生回路、TG……タイミング発生回路、D0〜D15
……データ入出力端子、CLK……クロック信号又はそ
の入力端子、CKE……クロックイネーブル信号又はそ
の入力端子、CSB……チップ選択信号又はその入力端
子、RASB……ロウアドレスストローブ信号又はその
入力端子、CASB……カラムアドレスストローブ信号
又はその入力端子、WEB……ライトイネーブル信号又
はその入力端子、DQM……データマスク信号又はその
入力端子、A0〜A12……アドレス信号又はその入力
端子。W0〜Wm……ワード線、B0*〜Bn*……相
補ビット線、Cs……情報蓄積キャパシタ、Qa……ア
ドレス選択MOSFET、YS0〜YSp……ビット線
選択信号、CD0*〜CD15*……相補共通データ
線。UWA0〜UWA15……単位ライトアンプ、WD
B0〜WDB15……書き込みデータバス。P1〜PG
……PチャンネルMOSFET、N1〜NL……Nチャ
ンネルMOSFET、V1〜VN……インバータ、NA
1〜NA6……ナンドゲート、NO1〜NO6……ノア
ゲート、C1〜C2……キャパシタ。CPU……中央処
理装置、SBUS……システムバス、RAM……ランダ
ムアクセスメモリ、SDRAM……シンクロナスDRA
M、ROM……リードオンリーメモリ、DPYC……デ
ィスプレイ制御装置、FLM……フレームメモリ、DP
Y……ディスプレイ装置、PERC……周辺装置コント
ローラ、KBD……キーボード、EXM……外部記憶装
置、POWS……電源装置。
フロントページの続き (72)発明者 中村 正行 東京都青梅市今井2326番地 株式会社日立 製作所デバイス開発センタ内 (72)発明者 梶谷 一彦 東京都青梅市今井2326番地 株式会社日立 製作所デバイス開発センタ内 (72)発明者 宮武 伸一 東京都小平市上水本町5丁目20番1号 日 立超エル・エス・アイ・エンジニアリング 株式会社内

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 そのビット線における書き込み信号の実
    質的な到達振幅が上記ビット線における読み出し信号の
    増幅後の実質的な到達振幅よりも大きくされることを特
    徴とする半導体記憶装置。
  2. 【請求項2】 請求項1において、 上記半導体記憶装置は、第1及び第2の電源電圧をその
    動作電源とするものであって、 上記読み出し信号は、そのハイレベルの実質的な到達電
    位を上記第1の電源電圧電位より所定値だけ絶対値の小
    さな第1の電位とし、そのロウレベルの実質的な到達電
    位を上記第2の電源電圧電位より所定値だけ絶対値の大
    きな第2の電位とするものであり、 上記書き込み信号は、そのハイレベルの実質的な到達電
    位を上記第1の電源電圧電位とし、そのロウレベルの実
    質的な到達電位を上記第2の電源電圧電位とするもので
    あることを特徴とする半導体記憶装置。
  3. 【請求項3】 請求項2において、 上記半導体記憶装置は、書き込み信号を生成するライト
    アンプと、第1及び第2のコモンソース線に上記第1及
    び第2の電位がそれぞれ供給されることで選択的に動作
    状態とされるセンスアンプとを具備するものであって、 上記書き込み信号の実質的な到達振幅は、上記ライトア
    ンプによりそのハイレベルの実質的な到達電位が上記第
    1の電源電圧電位とされ、そのロウレベルの実質的な到
    達電位が上記第2の電源電圧電位とされることで、上記
    ビット線における読み出し信号の増幅後の実質的な到達
    電位よりも大きくされるものであることを特徴とする半
    導体記憶装置。
  4. 【請求項4】 請求項3において、 上記書き込み信号のハイレベル及びロウレベルの到達電
    位は、書き込み動作が行われる期間の当初において所定
    期間だけ選択的に上記第1又は第2の電源電圧電位とさ
    れた後、他の所定期間だけ選択的に上記第1又は第2の
    電位とされるものであることを特徴とする半導体記憶装
    置。
  5. 【請求項5】 請求項4において、 上記ライトアンプは、書き込み動作が行われない所定の
    期間においてその一方の電極がそれぞれ上記第1及び第
    2の電源電圧電位にチャージされ、書き込み動作が行わ
    れる期間の当初において上記所定期間だけその他方の電
    極がそれぞれ上記第1及び第2の電源電圧電位とされる
    ブートストラップ容量を含むものであることを特徴とす
    る半導体記憶装置。
  6. 【請求項6】 請求項2において、 上記半導体記憶装置は、書き込み信号を生成するライト
    アンプと、第1及び第2のコモンソース線に上記第1及
    び第2の電位がそれぞれ供給されることで選択的に動作
    状態とされるセンスアンプとを具備するものであって、 上記書き込み信号の実質的な到達振幅は、上記第1及び
    第2コモンソース線の電位がそれぞれ選択的に上記第1
    又は第2の電源電圧電位とされることで選択的に大きく
    されるものであることを特徴とする半導体記憶装置。
  7. 【請求項7】 請求項6において、 上記第1及び第2コモンソース線の電位は、書き込み動
    作が行われる期間の当初において所定期間だけそれぞれ
    上記第1及び第2の電位とされ、次に他の所定期間だけ
    それぞれ上記第1及び第2の電源電圧電位とされた後、
    上記第1及び第2の電位とされるものであることを特徴
    とする半導体記憶装置。
  8. 【請求項8】 そのビット線における書き込み信号の実
    質的な到達振幅が上記ビット線における読み出し信号の
    増幅後の到達振幅より大きくされる半導体記憶装置を含
    んでなることを特徴とするシステム。
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