JPH10242193A - ワイヤボンディング方法及びその装置 - Google Patents
ワイヤボンディング方法及びその装置Info
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- JPH10242193A JPH10242193A JP9047899A JP4789997A JPH10242193A JP H10242193 A JPH10242193 A JP H10242193A JP 9047899 A JP9047899 A JP 9047899A JP 4789997 A JP4789997 A JP 4789997A JP H10242193 A JPH10242193 A JP H10242193A
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- H01L24/78—Apparatus for connecting with wire connectors
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- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
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- H01L2224/85148—Aligning involving movement of a part of the bonding apparatus
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- Power Engineering (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は、半導体チップの電極とリードフレー
ムなどの基板の電極とをワイヤで接続するワイヤボンデ
ィング方法及びその装置の提供を目的とする。 【解決手段】本発明は、テーブル部の移動方向の加速度
を求める加速度検出工程と、この加速度検出工程にて求
められた加速度に基づいて揺動手段を制御し前記加速度
によるキャピラリツールの位置ずれを補正させる位置ず
れ補正工程とを具備する。
ムなどの基板の電極とをワイヤで接続するワイヤボンデ
ィング方法及びその装置の提供を目的とする。 【解決手段】本発明は、テーブル部の移動方向の加速度
を求める加速度検出工程と、この加速度検出工程にて求
められた加速度に基づいて揺動手段を制御し前記加速度
によるキャピラリツールの位置ずれを補正させる位置ず
れ補正工程とを具備する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体チップの電
極とリードフレームなどの基板の電極とをワイヤで接続
するワイヤボンディング方法及びその装置に関する。
極とリードフレームなどの基板の電極とをワイヤで接続
するワイヤボンディング方法及びその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、ワイヤボンディング装置は、図
３に示すように、先端にキャピラリ７１を取着したボン
ディングアーム７２を揺動機構７３で支持するととも
に、この揺動機構７３をＸＹテーブル７４に搭載し、こ
のＸＹテーブル７４と揺動機構７３との協動作用により
ボンディングアーム７２を三次元方向に移動させること
により、ボンディング対象である半導体チップ７５のパ
ッド及びリードフレームに対してワイヤ７８のボンディ
ングを行うように構成されている。
３に示すように、先端にキャピラリ７１を取着したボン
ディングアーム７２を揺動機構７３で支持するととも
に、この揺動機構７３をＸＹテーブル７４に搭載し、こ
のＸＹテーブル７４と揺動機構７３との協動作用により
ボンディングアーム７２を三次元方向に移動させること
により、ボンディング対象である半導体チップ７５のパ
ッド及びリードフレームに対してワイヤ７８のボンディ
ングを行うように構成されている。
【０００３】従来、この揺動機構７３の駆動系としてデ
ィジタル直流サーボ系７９が使用されている。このディ
ジタル直流サーボ系７９は、位置指令パルス信号Ｓ１を
発生する制御部８０を有し、この制御部８０から出力さ
れた位置指令パルス信号Ｓ１と、位置検出用のパルスジ
ェネレータ８１から出力された位置フィードバックパル
ス信号Ｓ２とのパルス数の偏差を偏差カウンタ８２で求
め、この偏差カウンタ８２のカウント値に定数を乗算し
た後、ディジタル・アナログ（Ｄ／Ａ）変換器８３によ
りアナログ電圧に変換して加算器８４に導入する。
ィジタル直流サーボ系７９が使用されている。このディ
ジタル直流サーボ系７９は、位置指令パルス信号Ｓ１を
発生する制御部８０を有し、この制御部８０から出力さ
れた位置指令パルス信号Ｓ１と、位置検出用のパルスジ
ェネレータ８１から出力された位置フィードバックパル
ス信号Ｓ２とのパルス数の偏差を偏差カウンタ８２で求
め、この偏差カウンタ８２のカウント値に定数を乗算し
た後、ディジタル・アナログ（Ｄ／Ａ）変換器８３によ
りアナログ電圧に変換して加算器８４に導入する。
【０００４】そして、この加算器８４でタコジェネレー
タ８５からフィードバックされたモータ８６の速度検出
信号Ｓ３と加算し、その加算出力を駆動部８７で例えば
パルス幅復調してそのパルス幅に対応する駆動電流をモ
ータ８６に供給し、これにより揺動機構７３のモータ８
６を駆動している。
タ８５からフィードバックされたモータ８６の速度検出
信号Ｓ３と加算し、その加算出力を駆動部８７で例えば
パルス幅復調してそのパルス幅に対応する駆動電流をモ
ータ８６に供給し、これにより揺動機構７３のモータ８
６を駆動している。
【０００５】その結果、モータ８６は、位置フィードバ
ックループ及び速度フィードバックループにより、それ
ぞれ回転量及び回転速度が常に制御されながら回転し、
キャピラリツール７１は、高精度で揺動動作を行うこと
が可能となっている。
ックループ及び速度フィードバックループにより、それ
ぞれ回転量及び回転速度が常に制御されながら回転し、
キャピラリツール７１は、高精度で揺動動作を行うこと
が可能となっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】さて、ワイヤボンディ
ング装置は、半導体チップ７５のパッド及びリードフレ
ーム間のキャピラリツール７１の動作として三次元方向
に軌跡を高精度で移動させることが要求される。ところ
で、高速でワイヤボンディングを行うために、ＸＹテー
ブル７４は、約３Ｇの加速度で移動し、揺動機構７３
は、これに合わせて移動したり、ある位置に停止したり
している。この際、揺動機構７３の揺動中心と揺動機構
７３の重心が合致しないために、ＸＹテーブル７４の加
速度により揺動機構７３に慣性力が発生する。ここで、
揺動機構７３は、位置・速度・電流の制御ループにより
目標位置に保持されるが、現状の制御方法では、目標位
置と現在位置との偏差量が発生したときには、この偏差
量に比例して保持力は増加するようにしている（目標位
置では、理論上、保持力は発生しない。）。よって、Ｘ
Ｙテーブル７４の加速度により、揺動機構７３に慣性力
が発生すると、目標位置に位置決めすることができず
に、これと釣り合う保持力を発生させる偏差量の位置ま
で、揺動機構７３の位置ずれが発生することになり、三
次元軌跡を精度良く移動できないという問題が発生す
る。この現象は、ある位置にキャピラリツール７１が位
置決めされたままＸＹテーブル７４が移動したときに発
生しやすい。
ング装置は、半導体チップ７５のパッド及びリードフレ
ーム間のキャピラリツール７１の動作として三次元方向
に軌跡を高精度で移動させることが要求される。ところ
で、高速でワイヤボンディングを行うために、ＸＹテー
ブル７４は、約３Ｇの加速度で移動し、揺動機構７３
は、これに合わせて移動したり、ある位置に停止したり
している。この際、揺動機構７３の揺動中心と揺動機構
７３の重心が合致しないために、ＸＹテーブル７４の加
速度により揺動機構７３に慣性力が発生する。ここで、
揺動機構７３は、位置・速度・電流の制御ループにより
目標位置に保持されるが、現状の制御方法では、目標位
置と現在位置との偏差量が発生したときには、この偏差
量に比例して保持力は増加するようにしている（目標位
置では、理論上、保持力は発生しない。）。よって、Ｘ
Ｙテーブル７４の加速度により、揺動機構７３に慣性力
が発生すると、目標位置に位置決めすることができず
に、これと釣り合う保持力を発生させる偏差量の位置ま
で、揺動機構７３の位置ずれが発生することになり、三
次元軌跡を精度良く移動できないという問題が発生す
る。この現象は、ある位置にキャピラリツール７１が位
置決めされたままＸＹテーブル７４が移動したときに発
生しやすい。
【０００７】この対策として、ＸＹテーブル７４の加速
度を低下させて揺動機構７３に発生する慣性力を低減す
る方法があるが、ボンディング速度が低下し、生産性が
低下する欠点をもっている。
度を低下させて揺動機構７３に発生する慣性力を低減す
る方法があるが、ボンディング速度が低下し、生産性が
低下する欠点をもっている。
【０００８】他の対策として、揺動機構７３にバランサ
を取り付け重心位置のズレを低減する方法もあるが、揺
動機構７３の慣性モーメントが増加するので、高速移動
が困難となり、生産性が低下する欠点をもっている。
を取り付け重心位置のズレを低減する方法もあるが、揺
動機構７３の慣性モーメントが増加するので、高速移動
が困難となり、生産性が低下する欠点をもっている。
【０００９】さらに、各ボンディング動作の間の停止時
間を入れ、振動を低減する方法もあるが、これもまた生
産性低下を惹起してしまう。一方、特開平８−１２４９
６１号公報には、ＸＹテーブル７４の上下（Ｚ）方向の
振動を加速度センサで検出し、この加速度センサからの
検出信号に基づいて、ボンディングアームを揺動させる
ための駆動部であるボイスコイルモータへのドライバの
出力電流を補正することによりＺ方向の振動の影響を防
止する技術が開示されているが、本発明が解決しようと
しているのはＸＹ方向の位置決め誤差補正である点で、
目的を異にしている。本発明は、上記事情を勘案してな
されたもので、上記課題を解決することのできるワイヤ
ボンディング装置を提供することを目的とする。
間を入れ、振動を低減する方法もあるが、これもまた生
産性低下を惹起してしまう。一方、特開平８−１２４９
６１号公報には、ＸＹテーブル７４の上下（Ｚ）方向の
振動を加速度センサで検出し、この加速度センサからの
検出信号に基づいて、ボンディングアームを揺動させる
ための駆動部であるボイスコイルモータへのドライバの
出力電流を補正することによりＺ方向の振動の影響を防
止する技術が開示されているが、本発明が解決しようと
しているのはＸＹ方向の位置決め誤差補正である点で、
目的を異にしている。本発明は、上記事情を勘案してな
されたもので、上記課題を解決することのできるワイヤ
ボンディング装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】請求項１のワイヤボンデ
ィング方法は、一平面に沿う方向に移動自在なテーブル
部と、このテーブル部に隣接して設けられ被ボンディン
グ部材を保持する被ボンディング部材保持部と、前記テ
ーブル部上に設けられ前記被ボンディング部材に対して
ワイヤボンディングを行うボンディング部とを具備し、
前記ボンディング部は、前記テーブル部に一体的に搭載
された揺動自在なボンディングアームと、このボンディ
ングアームの先端に取付けられたキャピラリツールと、
前記ボンディングアームを揺動駆動する揺動手段とを有
して、前記テーブル部により前記キャピラリツールの位
置決めを行うとともに、前記揺動手段により前記キャピ
ラリツールを前記被ボンディング部材に圧着させること
により前記キャピラリツールを介して供給されたワイヤ
を前記被ボンディング部材にボンディングするワイヤボ
ンディング方法において、前記テーブル部の移動方向の
加速度を求める加速度検出工程と、この加速度検出工程
にて求められた加速度に基づいて前記揺動手段を制御し
前記テーブル部に生じた加速度による前記キャピラリツ
ールの位置ずれを補正させる位置ずれ補正工程とを具備
する。
ィング方法は、一平面に沿う方向に移動自在なテーブル
部と、このテーブル部に隣接して設けられ被ボンディン
グ部材を保持する被ボンディング部材保持部と、前記テ
ーブル部上に設けられ前記被ボンディング部材に対して
ワイヤボンディングを行うボンディング部とを具備し、
前記ボンディング部は、前記テーブル部に一体的に搭載
された揺動自在なボンディングアームと、このボンディ
ングアームの先端に取付けられたキャピラリツールと、
前記ボンディングアームを揺動駆動する揺動手段とを有
して、前記テーブル部により前記キャピラリツールの位
置決めを行うとともに、前記揺動手段により前記キャピ
ラリツールを前記被ボンディング部材に圧着させること
により前記キャピラリツールを介して供給されたワイヤ
を前記被ボンディング部材にボンディングするワイヤボ
ンディング方法において、前記テーブル部の移動方向の
加速度を求める加速度検出工程と、この加速度検出工程
にて求められた加速度に基づいて前記揺動手段を制御し
前記テーブル部に生じた加速度による前記キャピラリツ
ールの位置ずれを補正させる位置ずれ補正工程とを具備
する。
【００１１】請求項２のワイヤボンディング方法は、請
求項１において、加速度検出工程については、テーブル
部に取付けられた加速度センサにより加速度を検出す
る。請求項３のワイヤボンディング方法は、請求項１に
おいて、加速度検出工程については、テーブル部を駆動
する指令信号に基づいて加速度を検出する。
求項１において、加速度検出工程については、テーブル
部に取付けられた加速度センサにより加速度を検出す
る。請求項３のワイヤボンディング方法は、請求項１に
おいて、加速度検出工程については、テーブル部を駆動
する指令信号に基づいて加速度を検出する。
【００１２】しかして、請求項１乃至請求項３のワイヤ
ボンディング方法は、テーブル部の移動方向の加速度に
対応して揺動手段を制御し加速度によるキャピラリツー
ルの位置ずれを補正させるようにしているので、発生し
た慣性力と釣り合った保持力を発生させることができ、
キャピラリツールを目標位置に高精度で位置決めするこ
とが可能となる。その結果、高速で安定したループ形状
を描かせることが可能となり、歩留り及び生産性を向上
させることができる。
ボンディング方法は、テーブル部の移動方向の加速度に
対応して揺動手段を制御し加速度によるキャピラリツー
ルの位置ずれを補正させるようにしているので、発生し
た慣性力と釣り合った保持力を発生させることができ、
キャピラリツールを目標位置に高精度で位置決めするこ
とが可能となる。その結果、高速で安定したループ形状
を描かせることが可能となり、歩留り及び生産性を向上
させることができる。
【００１３】請求項４のワイヤボンディング装置は、下
記構成を具備するワイヤボンディング装置。 （ア）一平面に沿う方向に移動自在なテーブル部。
記構成を具備するワイヤボンディング装置。 （ア）一平面に沿う方向に移動自在なテーブル部。
【００１４】（イ）前記テーブル部に隣接して設けられ
被ボンディング部材を保持する被ボンディング部材保持
部。 （ウ）前記テーブル部に揺動自在に搭載されたボンディ
ングアームと、このボンディングアームの先端に取付け
られワイヤが挿通されるキャピラリツールと、前記ボン
ディングアームを揺動駆動することにより前記テーブル
部により位置決めされた前記キャピラリツールを前記被
ボンディング部材に圧着させて前記ワイヤを前記被ボン
ディング部材にボンディングする揺動駆動手段とを具備
するボンディング部。
被ボンディング部材を保持する被ボンディング部材保持
部。 （ウ）前記テーブル部に揺動自在に搭載されたボンディ
ングアームと、このボンディングアームの先端に取付け
られワイヤが挿通されるキャピラリツールと、前記ボン
ディングアームを揺動駆動することにより前記テーブル
部により位置決めされた前記キャピラリツールを前記被
ボンディング部材に圧着させて前記ワイヤを前記被ボン
ディング部材にボンディングする揺動駆動手段とを具備
するボンディング部。
【００１５】（エ）前記テーブル部の移動方向の加速度
を求める加速度検出手段と、この加速度検出手段にて求
められた加速度に基づいてこの加速度に伴う前記キャピ
ラリツールの位置ずれを補正させる位置ずれ補正信号を
出力する補正信号出力手段とを具備するボンディング制
御部。
を求める加速度検出手段と、この加速度検出手段にて求
められた加速度に基づいてこの加速度に伴う前記キャピ
ラリツールの位置ずれを補正させる位置ずれ補正信号を
出力する補正信号出力手段とを具備するボンディング制
御部。
【００１６】（オ）前記補正信号出力手段からの位置ず
れ補正信号に基づいて前記揺動駆動手段に駆動信号を印
加する駆動制御手段とを具備するボンディング制御部。
請求項５のワイヤボンディング装置は、請求項４におい
て、前記ボンディング制御部は、前記揺動駆動手段の位
置を検出し位置フィードバック信号を出力する位置検出
器と、前記揺動駆動手段の目標位置を示す目標位置信号
を出力する位置設定器と、前記目標位置信号と前記位置
フィードバック信号との偏差を算出する偏差カウンタ
と、前記偏差カウンタからの偏差信号及び前記位置ずれ
補正信号に基づいて位置指令信号を駆動制御手段に出力
する位置ゲイン補正器とを具備する。
れ補正信号に基づいて前記揺動駆動手段に駆動信号を印
加する駆動制御手段とを具備するボンディング制御部。
請求項５のワイヤボンディング装置は、請求項４におい
て、前記ボンディング制御部は、前記揺動駆動手段の位
置を検出し位置フィードバック信号を出力する位置検出
器と、前記揺動駆動手段の目標位置を示す目標位置信号
を出力する位置設定器と、前記目標位置信号と前記位置
フィードバック信号との偏差を算出する偏差カウンタ
と、前記偏差カウンタからの偏差信号及び前記位置ずれ
補正信号に基づいて位置指令信号を駆動制御手段に出力
する位置ゲイン補正器とを具備する。
【００１７】請求項６のワイヤボンディング装置は、請
求項５において、前記ボンディング制御部は、前記揺動
駆動手段の位置を検出し位置フィードバック信号を出力
する位置検出器と、前記揺動駆動手段の目標位置を示す
目標位置信号を出力する位置設定器と、前記目標位置信
号と前記位置フィードバック信号との偏差を算出する偏
差カウンタと、前記偏差カウンタからの偏差信号及び前
記位置ずれ補正信号に基づいて位置指令信号を駆動制御
手段に出力する位置ゲイン補正器とを具備する。
求項５において、前記ボンディング制御部は、前記揺動
駆動手段の位置を検出し位置フィードバック信号を出力
する位置検出器と、前記揺動駆動手段の目標位置を示す
目標位置信号を出力する位置設定器と、前記目標位置信
号と前記位置フィードバック信号との偏差を算出する偏
差カウンタと、前記偏差カウンタからの偏差信号及び前
記位置ずれ補正信号に基づいて位置指令信号を駆動制御
手段に出力する位置ゲイン補正器とを具備する。
【００１８】請求項７のワイヤボンディング装置は、請
求項５おいて、加速度検出手段は、加速度センサであ
る。請求項８のワイヤボンディング装置は、請求項５お
いて、加速度検出手段は、テーブル部を駆動する指令信
号に基づいて加速度を検出する。
求項５おいて、加速度検出手段は、加速度センサであ
る。請求項８のワイヤボンディング装置は、請求項５お
いて、加速度検出手段は、テーブル部を駆動する指令信
号に基づいて加速度を検出する。
【００１９】しかして、請求項４乃至請求項８のワイヤ
ボンディング装置は、テーブル部に発生した加速度変化
に応じて補正信号出力手段から出力された位置ずれ補正
信号に基づいて揺動手段を制御し、加速度によるキャピ
ラリツールの位置ずれを補正させるようにしているの
で、発生した慣性力と釣り合った保持力を発生させるこ
とができ、キャピラリツールを目標位置に高精度で位置
決めすることが可能となる。その結果、高速で安定した
ループ形状を描かせることが可能となり、歩留り及び生
産性を向上させることができる。
ボンディング装置は、テーブル部に発生した加速度変化
に応じて補正信号出力手段から出力された位置ずれ補正
信号に基づいて揺動手段を制御し、加速度によるキャピ
ラリツールの位置ずれを補正させるようにしているの
で、発生した慣性力と釣り合った保持力を発生させるこ
とができ、キャピラリツールを目標位置に高精度で位置
決めすることが可能となる。その結果、高速で安定した
ループ形状を描かせることが可能となり、歩留り及び生
産性を向上させることができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図面
を参照して詳述する。図１は、この実施形態のワイヤボ
ンディング装置を示している。このワイヤボンディング
装置は、ＸＹ（水平）方向に移動自在なＸＹテーブル部
１と、このＸＹテーブル部１上に搭載されているボンデ
ィング部２と、ＸＹテーブル部１に近接して設けられ被
ボンディング部材３を着脱自在に載置する被ボンディン
グ部材保持部４と、一連のボンディング動作を電気的に
制御するボンディング制御部５とを具備している。
を参照して詳述する。図１は、この実施形態のワイヤボ
ンディング装置を示している。このワイヤボンディング
装置は、ＸＹ（水平）方向に移動自在なＸＹテーブル部
１と、このＸＹテーブル部１上に搭載されているボンデ
ィング部２と、ＸＹテーブル部１に近接して設けられ被
ボンディング部材３を着脱自在に載置する被ボンディン
グ部材保持部４と、一連のボンディング動作を電気的に
制御するボンディング制御部５とを具備している。
【００２１】しかして、ＸＹテーブル部１は、台部１ａ
と、この台部１ａにより支持された基台６と、この基台
６によりＸ（紙面垂直）方向に移動自在に静圧支持され
たＸテーブル７と、このＸテーブル７をＸ方向に駆動す
るＸリニアモータ８と、Ｘテーブル７の上に搭載された
台板９と、この台板９によりＹ（左右）方向に移動自在
に静圧支持されたＹテーブル１０と、このＹテーブル１
０をＹ方向に駆動するＹリニアモータ１１とを有してい
る。
と、この台部１ａにより支持された基台６と、この基台
６によりＸ（紙面垂直）方向に移動自在に静圧支持され
たＸテーブル７と、このＸテーブル７をＸ方向に駆動す
るＸリニアモータ８と、Ｘテーブル７の上に搭載された
台板９と、この台板９によりＹ（左右）方向に移動自在
に静圧支持されたＹテーブル１０と、このＹテーブル１
０をＹ方向に駆動するＹリニアモータ１１とを有してい
る。
【００２２】前記基台６の上部には、Ｘテーブル７の下
部を収納する凹部６ａが凹設されている。そして、凹部
６ａの内壁面には、Ｘテーブル７を静圧支持するための
複数の空気孔６ｂが開口している。これら空気孔６ｂ
は、圧縮空気源（図示せず。）に流体的に接続されてい
る。その結果、Ｘテーブル７は、空気孔６ｂから噴出さ
れる圧縮空気により、凹部６ａの内壁面から数μｍ浮上
する。一方、台板９の上部には、Ｙテーブル１０の下部
を収納する凹部９ａが凹設されている。そして、凹部９
ａの内壁面には、Ｙテーブル１０を静圧支持するための
複数の空気孔（図示せず。）が開口している。これら空
気孔は、圧縮空気源（図示せず。）に流体的に接続され
ている。その結果、Ｙテーブル１０は、空気孔から噴出
される圧縮空気により、凹部９ａの内壁面から数μｍ浮
上する。
部を収納する凹部６ａが凹設されている。そして、凹部
６ａの内壁面には、Ｘテーブル７を静圧支持するための
複数の空気孔６ｂが開口している。これら空気孔６ｂ
は、圧縮空気源（図示せず。）に流体的に接続されてい
る。その結果、Ｘテーブル７は、空気孔６ｂから噴出さ
れる圧縮空気により、凹部６ａの内壁面から数μｍ浮上
する。一方、台板９の上部には、Ｙテーブル１０の下部
を収納する凹部９ａが凹設されている。そして、凹部９
ａの内壁面には、Ｙテーブル１０を静圧支持するための
複数の空気孔（図示せず。）が開口している。これら空
気孔は、圧縮空気源（図示せず。）に流体的に接続され
ている。その結果、Ｙテーブル１０は、空気孔から噴出
される圧縮空気により、凹部９ａの内壁面から数μｍ浮
上する。
【００２３】さらに、ボンディング部２は、Ｙテーブル
１０上に搭載された軸受１３と、この軸受１３に矢印１
４方向に揺動自在に軸支されたボンディングアーム１６
と、このボンディングアーム１６の先端部に取付けられ
ワイヤ１７ａが挿通されたキャピラリツール１７と、回
転軸１５に連結されボンディングアーム１６を揺動駆動
する揺動モータ１８とを有している。
１０上に搭載された軸受１３と、この軸受１３に矢印１
４方向に揺動自在に軸支されたボンディングアーム１６
と、このボンディングアーム１６の先端部に取付けられ
ワイヤ１７ａが挿通されたキャピラリツール１７と、回
転軸１５に連結されボンディングアーム１６を揺動駆動
する揺動モータ１８とを有している。
【００２４】最後に、ボンディング制御部５は、速度フ
ィードバック信号Ｓ１を出力する速度フィードバック部
１９と、位置フィードバック信号Ｓ５を出力する位置検
出器２５と、速度フィードバック信号Ｓ１及び位置指令
信号Ｓ２に基づいて揺動モータ１８を駆動する揺動モー
タ駆動部２１と、Ｙテーブル１０に発生したＹ方向の加
速度に伴うキャピラリツール１７の位置ずれを補正させ
る位置ずれ補正信号Ｓ３を位置フィードバック部２０に
出力する位置ずれ補正部２２とを有している。
ィードバック信号Ｓ１を出力する速度フィードバック部
１９と、位置フィードバック信号Ｓ５を出力する位置検
出器２５と、速度フィードバック信号Ｓ１及び位置指令
信号Ｓ２に基づいて揺動モータ１８を駆動する揺動モー
タ駆動部２１と、Ｙテーブル１０に発生したＹ方向の加
速度に伴うキャピラリツール１７の位置ずれを補正させ
る位置ずれ補正信号Ｓ３を位置フィードバック部２０に
出力する位置ずれ補正部２２とを有している。
【００２５】さらに、ボンディング制御部５は、ＸＹテ
ーブル部１及びボンディング部２を、予め設定されたプ
ログラムに従って統御し、一連のボンディング作業を集
中制御する演算制御部５ａを有している。
ーブル部１及びボンディング部２を、予め設定されたプ
ログラムに従って統御し、一連のボンディング作業を集
中制御する演算制御部５ａを有している。
【００２６】しかして、速度フィードバック部１９は、
揺動モータ１８に直結され揺動モータ１８の回転数に応
じた信号Ｓ４を出力する例えばタコジェネレータなどの
速度検出器２３と、この速度検出器２３から出力された
信号Ｓ４を増幅して速度フィードバック信号Ｓ１を出力
する速度信号増幅器２４とを有している。この速度フィ
ードバック信号Ｓ１は、アナログ信号である。
揺動モータ１８に直結され揺動モータ１８の回転数に応
じた信号Ｓ４を出力する例えばタコジェネレータなどの
速度検出器２３と、この速度検出器２３から出力された
信号Ｓ４を増幅して速度フィードバック信号Ｓ１を出力
する速度信号増幅器２４とを有している。この速度フィ
ードバック信号Ｓ１は、アナログ信号である。
【００２７】一方、位置フィードバック部２０は、揺動
モータ１８の回転位置を示す位置フィードバック信号Ｓ
５を出力する例えばパルスジェネレータなどの位置検出
器２５と、予め演算制御部５ａに設定されたプログラム
に基づいて揺動モータ１８の回転停止位置を制御するた
めの目標位置信号Ｓ６を出力する位置設定器２６と、位
置フィードバック信号Ｓ５及び目標位置信号Ｓ６を入力
してそれらの偏差ΔＰを求める偏差カウンタ２７と、こ
の偏差カウンタ２７から出力された偏差ΔＰを示す偏差
信号Ｓ７を入力しこの偏差信号Ｓ７が示す偏差ΔＰに予
め設定された定数αを乗算することにより、α・ΔＰ＝
Ｇ１を算出しディジタル信号Ｓ８を出力する位置ゲイン
補正器２８と、この位置ゲイン補正器２８から出力され
た信号Ｓ８をディジタル／アナログ（Ｄ／Ａ）変換して
得られた位置指令信号Ｓ２を揺動モータ駆動部２１に出
力するＤ／Ａ変換器２９とを有している。
モータ１８の回転位置を示す位置フィードバック信号Ｓ
５を出力する例えばパルスジェネレータなどの位置検出
器２５と、予め演算制御部５ａに設定されたプログラム
に基づいて揺動モータ１８の回転停止位置を制御するた
めの目標位置信号Ｓ６を出力する位置設定器２６と、位
置フィードバック信号Ｓ５及び目標位置信号Ｓ６を入力
してそれらの偏差ΔＰを求める偏差カウンタ２７と、こ
の偏差カウンタ２７から出力された偏差ΔＰを示す偏差
信号Ｓ７を入力しこの偏差信号Ｓ７が示す偏差ΔＰに予
め設定された定数αを乗算することにより、α・ΔＰ＝
Ｇ１を算出しディジタル信号Ｓ８を出力する位置ゲイン
補正器２８と、この位置ゲイン補正器２８から出力され
た信号Ｓ８をディジタル／アナログ（Ｄ／Ａ）変換して
得られた位置指令信号Ｓ２を揺動モータ駆動部２１に出
力するＤ／Ａ変換器２９とを有している。
【００２８】さらに、位置ずれ補正部２２は、Ｙテーブ
ル１０上に取付けられＹ方向の加速度を検出してアナロ
グ信号Ｓ９を出力する加速度センサ３０と、この加速度
センサ３０から出力された信号Ｓ９を予め定められたサ
ンプリング時間（例えば１ｍｓ）ごとにディジタル信号
Ｓ１０にアナログ／ディジタル（Ａ／Ｄ）変換するＡ／
Ｄ変換器３１と、このＡ／Ｄ変換器３１から出力された
ディジタル信号Ｓ１０を入力してＹ方向の加速度の大き
さに応じた位置ずれ補正値ΔＧを算出しこの補正値ΔＧ
を示す位置ずれ補正信号Ｓ３を位置ゲイン補正器２８に
出力するゲイン補正回路３２とを有している。
ル１０上に取付けられＹ方向の加速度を検出してアナロ
グ信号Ｓ９を出力する加速度センサ３０と、この加速度
センサ３０から出力された信号Ｓ９を予め定められたサ
ンプリング時間（例えば１ｍｓ）ごとにディジタル信号
Ｓ１０にアナログ／ディジタル（Ａ／Ｄ）変換するＡ／
Ｄ変換器３１と、このＡ／Ｄ変換器３１から出力された
ディジタル信号Ｓ１０を入力してＹ方向の加速度の大き
さに応じた位置ずれ補正値ΔＧを算出しこの補正値ΔＧ
を示す位置ずれ補正信号Ｓ３を位置ゲイン補正器２８に
出力するゲイン補正回路３２とを有している。
【００２９】さらにまた、揺動モータ駆動部２１は、速
度フィードバック信号Ｓ１及び位置指令信号Ｓ２を入力
して加算しこれにより得られた信号Ｓ１１を電流指令信
号として出力する加算器３３と、この加算器３３から出
力された電流指令信号Ｓ１１に基づき揺動モータ１８を
駆動する駆動信号Ｓ１２を揺動モータ１８に出力する駆
動制御回路３４とを有している。
度フィードバック信号Ｓ１及び位置指令信号Ｓ２を入力
して加算しこれにより得られた信号Ｓ１１を電流指令信
号として出力する加算器３３と、この加算器３３から出
力された電流指令信号Ｓ１１に基づき揺動モータ１８を
駆動する駆動信号Ｓ１２を揺動モータ１８に出力する駆
動制御回路３４とを有している。
【００３０】つぎに、上記構成のワイヤボンディング装
置を用いてこの実施形態のワイヤボンディング方法につ
いて述べる。まず、演算制御部５ａに格納されたボンデ
ィング・プログラム指令に従って、Ｘテーブル７とＹテ
ーブル１０が駆動され、ボンディング部２は、Ｘ方向及
びＹ方向に水平移動し、キャピラリツール１７が所定の
ボンディング位置に位置決めされる。そして、モータ１
８が起動することによりボンディングアーム１６は、上
下方向に揺動し、キャピラリツール１７の下端部から導
出されたワイヤ１７ａを、被ボンディング部材保持部４
に載置された被ボンディング部材３である半導体チップ
３ａ及びリードフレーム３ｂの各電極部に圧着する。こ
のとき、Ｙテーブル１０が駆動されるのに伴い、Ｙテー
ブル１０には加速度が発生する（図２（ａ）のΔＡ１，
ΔＡ２参照）。 一方、速度検出器２３にては、揺動モ
ータ１８の回転数を示す信号Ｓ４が、速度信号増幅器２
４にて増幅され、速度フィードバック信号Ｓ１として加
算器３３に出力される。
置を用いてこの実施形態のワイヤボンディング方法につ
いて述べる。まず、演算制御部５ａに格納されたボンデ
ィング・プログラム指令に従って、Ｘテーブル７とＹテ
ーブル１０が駆動され、ボンディング部２は、Ｘ方向及
びＹ方向に水平移動し、キャピラリツール１７が所定の
ボンディング位置に位置決めされる。そして、モータ１
８が起動することによりボンディングアーム１６は、上
下方向に揺動し、キャピラリツール１７の下端部から導
出されたワイヤ１７ａを、被ボンディング部材保持部４
に載置された被ボンディング部材３である半導体チップ
３ａ及びリードフレーム３ｂの各電極部に圧着する。こ
のとき、Ｙテーブル１０が駆動されるのに伴い、Ｙテー
ブル１０には加速度が発生する（図２（ａ）のΔＡ１，
ΔＡ２参照）。 一方、速度検出器２３にては、揺動モ
ータ１８の回転数を示す信号Ｓ４が、速度信号増幅器２
４にて増幅され、速度フィードバック信号Ｓ１として加
算器３３に出力される。
【００３１】他方、位置検出器２５からは、揺動モータ
１８の回転位置を示す位置フィードバック信号Ｓ５が偏
差カウンタ２７に出力される。この偏差カウンタ２７に
は、位置設定器２６から位置決め制御するための目標位
置信号Ｓ６が入力している。しかして、偏差カウンタ２
７にては、位置フィードバック信号Ｓ５及び目標位置信
号Ｓ６の偏差ΔＰを求め、この偏差ΔＰを示す偏差信号
Ｓ７が位置ゲイン補正器２８に出力される。そして、こ
の位置ゲイン補正器２８にては、偏差信号Ｓ７が示す偏
差ΔＰに予め設定された定数αを乗算したα・ΔＰ＝Ｇ
１を算出し、算出された位置ゲイン補正値Ｇ１を示すデ
ィジタル信号Ｓ８が出力される。そして、信号Ｓ８は、
Ｄ／Ａ変換器２９にてＤ／Ａ変換され、位置指令信号Ｓ
２として加算器３３に出力される。なお、位置ゲイン補
正値Ｇ１の値は、予め定められたサンプリング時間（例
えば１ｍｓ）ごとに加速度ΔＡ１，ΔＡ２の変化に対応
して逐次更新される。
１８の回転位置を示す位置フィードバック信号Ｓ５が偏
差カウンタ２７に出力される。この偏差カウンタ２７に
は、位置設定器２６から位置決め制御するための目標位
置信号Ｓ６が入力している。しかして、偏差カウンタ２
７にては、位置フィードバック信号Ｓ５及び目標位置信
号Ｓ６の偏差ΔＰを求め、この偏差ΔＰを示す偏差信号
Ｓ７が位置ゲイン補正器２８に出力される。そして、こ
の位置ゲイン補正器２８にては、偏差信号Ｓ７が示す偏
差ΔＰに予め設定された定数αを乗算したα・ΔＰ＝Ｇ
１を算出し、算出された位置ゲイン補正値Ｇ１を示すデ
ィジタル信号Ｓ８が出力される。そして、信号Ｓ８は、
Ｄ／Ａ変換器２９にてＤ／Ａ変換され、位置指令信号Ｓ
２として加算器３３に出力される。なお、位置ゲイン補
正値Ｇ１の値は、予め定められたサンプリング時間（例
えば１ｍｓ）ごとに加速度ΔＡ１，ΔＡ２の変化に対応
して逐次更新される。
【００３２】しかして、加算器３３は、速度フィードバ
ック信号Ｓ１と位置指令信号Ｓ２とが加算され、電流指
令信号Ｓ１１が駆動制御回路３４に出力される。その結
果、駆動制御回路３４にては、電流指令信号Ｓ１１に基
づき揺動モータ１８が制御される。
ック信号Ｓ１と位置指令信号Ｓ２とが加算され、電流指
令信号Ｓ１１が駆動制御回路３４に出力される。その結
果、駆動制御回路３４にては、電流指令信号Ｓ１１に基
づき揺動モータ１８が制御される。
【００３３】この場合、図２（ｂ）に示すように、位置
ゲイン補正値Ｇは、一定値Ｇ１のままである。その結
果、キャピラリツール１７の位置は、発生した慣性力に
より目標位置に位置決めすることができず、これと釣り
合う保持力を発生させる偏差量ΔＬ１，ΔＬ２の位置ま
で、位置ずれが発生し、三次元軌跡を精度よく移動でき
ないする。
ゲイン補正値Ｇは、一定値Ｇ１のままである。その結
果、キャピラリツール１７の位置は、発生した慣性力に
より目標位置に位置決めすることができず、これと釣り
合う保持力を発生させる偏差量ΔＬ１，ΔＬ２の位置ま
で、位置ずれが発生し、三次元軌跡を精度よく移動でき
ないする。
【００３４】そこで、この実施例においては、ボンディ
ング中、加速度センサ３０によりＹテーブル１０の加速
度を検出し、検出した加速度を示す信号Ｓ９をＡ／Ｄ変
換器３１に出力する。そして、信号Ｓ９は、このＡ／Ｄ
変換器３１にて、予め定められたサンプリング時間（例
えば１ｍｓ）ごとにＡ／Ｄ変換され、ゲイン補正回路３
２に入力する。しかして、このゲイン補正回路３２にて
は、信号Ｓ１０を入力すると、Ｙ方向の加速度の大きさ
に応じた位置ゲイン補正値ΔＧを算出する。
ング中、加速度センサ３０によりＹテーブル１０の加速
度を検出し、検出した加速度を示す信号Ｓ９をＡ／Ｄ変
換器３１に出力する。そして、信号Ｓ９は、このＡ／Ｄ
変換器３１にて、予め定められたサンプリング時間（例
えば１ｍｓ）ごとにＡ／Ｄ変換され、ゲイン補正回路３
２に入力する。しかして、このゲイン補正回路３２にて
は、信号Ｓ１０を入力すると、Ｙ方向の加速度の大きさ
に応じた位置ゲイン補正値ΔＧを算出する。
【００３５】この場合の位置ゲイン補正値ΔＧの算出方
法は、以下のようなものである。すなわち、あらかじ
め、Ｙテーブル１０の加速度と位置ゲインＧとの関係を
予め実験的に求めておく。つまり、キャピラリツール１
７が目標位置から最小偏差量（揺動モータ１８の最小回
転角分解能）ずれたとき、Ｙテーブル１０の加速度によ
り発生する慣性力と釣り合う保持力を発生させるための
基準位置ゲイン補正値ΔＧ０を実験的に予め求めてお
き、この基準位置ゲイン補正値ΔＧ０に基づいて位置ゲ
イン補正値ΔＧを算出するように設定する。
法は、以下のようなものである。すなわち、あらかじ
め、Ｙテーブル１０の加速度と位置ゲインＧとの関係を
予め実験的に求めておく。つまり、キャピラリツール１
７が目標位置から最小偏差量（揺動モータ１８の最小回
転角分解能）ずれたとき、Ｙテーブル１０の加速度によ
り発生する慣性力と釣り合う保持力を発生させるための
基準位置ゲイン補正値ΔＧ０を実験的に予め求めてお
き、この基準位置ゲイン補正値ΔＧ０に基づいて位置ゲ
イン補正値ΔＧを算出するように設定する。
【００３６】この位置ゲイン補正値ΔＧの求め方につい
て以下に記述する。まず、Ｘテーブル７及びＹテーブル
１０からなるＸＹテーブル部１を任意の加速度ΔＡ３で
駆動し、このときの位置検出器２５の最大ずれ量ΔＬ５
を測定する。つぎに、ボンディング部２を、キャピラリ
ツール１７の揺動方向に保持力ΔＦ１で押し、位置ゲイ
ン補正値ΔＧを変化させて、位置検出器２５のずれ量が
最小偏差量となるときのΔＧを求める。これで、加速度
ΔＡ３と位置ゲイン補正値ΔＧとの関係を求めることが
できる。
て以下に記述する。まず、Ｘテーブル７及びＹテーブル
１０からなるＸＹテーブル部１を任意の加速度ΔＡ３で
駆動し、このときの位置検出器２５の最大ずれ量ΔＬ５
を測定する。つぎに、ボンディング部２を、キャピラリ
ツール１７の揺動方向に保持力ΔＦ１で押し、位置ゲイ
ン補正値ΔＧを変化させて、位置検出器２５のずれ量が
最小偏差量となるときのΔＧを求める。これで、加速度
ΔＡ３と位置ゲイン補正値ΔＧとの関係を求めることが
できる。
【００３７】しかして、算出した位置ゲイン補正値ΔＧ
は、位置ずれ補正信号Ｓ３として位置ゲイン補正器２８
に出力される。その結果、位置ゲイン補正器２８にて
は、偏差カウンタ２７から出力された偏差ΔＰを示す偏
差信号Ｓ７を入力し、予め設定された定数Ｇ１とゲイン
補正回路３２から入力した位置ゲイン補正値ΔＧを加算
し、補正された位置ゲインＧ２を算出する（図２
（ｄ））。そして、このＧ２と偏差ΔＰを乗算してＤ／
Ａ変換器２９に出力する。なお、位置フィードバックゲ
インＧ２の値は、予め定められたサンプリング時間（例
えば１ｍｓ）ごとに偏差ΔＰ及び加速度の変化に対応し
て逐次更新される。
は、位置ずれ補正信号Ｓ３として位置ゲイン補正器２８
に出力される。その結果、位置ゲイン補正器２８にて
は、偏差カウンタ２７から出力された偏差ΔＰを示す偏
差信号Ｓ７を入力し、予め設定された定数Ｇ１とゲイン
補正回路３２から入力した位置ゲイン補正値ΔＧを加算
し、補正された位置ゲインＧ２を算出する（図２
（ｄ））。そして、このＧ２と偏差ΔＰを乗算してＤ／
Ａ変換器２９に出力する。なお、位置フィードバックゲ
インＧ２の値は、予め定められたサンプリング時間（例
えば１ｍｓ）ごとに偏差ΔＰ及び加速度の変化に対応し
て逐次更新される。
【００３８】しかして、この位置ゲインＧ２に基づいて
得られた電流指令信号Ｓ１１により揺動モータ１８を駆
動した場合の、キャピラリツール１７の位置ずれは、偏
差量ΔＬ３，ΔＬ４となり、補正しない位置ゲインＧ１
を用いた場合に比べて偏差量が著しく減少する（図２
（ｅ））。すなわち、補正された位置ゲインＧ２によ
り、揺動モータ１８には、Ｙテーブル１０の加速度を補
正した駆動電流が印加され、発生した慣性力に釣り合う
保持力を、キャピラリツール１７の目標停止位置に対す
る最小偏差量で発生させることができる結果、キャピラ
リツール１７の位置決めを高精度で行うことができるよ
うになり、三次元軌跡を高速で描くことができる。
得られた電流指令信号Ｓ１１により揺動モータ１８を駆
動した場合の、キャピラリツール１７の位置ずれは、偏
差量ΔＬ３，ΔＬ４となり、補正しない位置ゲインＧ１
を用いた場合に比べて偏差量が著しく減少する（図２
（ｅ））。すなわち、補正された位置ゲインＧ２によ
り、揺動モータ１８には、Ｙテーブル１０の加速度を補
正した駆動電流が印加され、発生した慣性力に釣り合う
保持力を、キャピラリツール１７の目標停止位置に対す
る最小偏差量で発生させることができる結果、キャピラ
リツール１７の位置決めを高精度で行うことができるよ
うになり、三次元軌跡を高速で描くことができる。
【００３９】以上のように、この実施形態のワイヤボン
ディング方法及びその装置は、Ｙテーブル１０のＹ方向
の加速度に対応して位置ゲインを変化させるようにして
いるので、発生した慣性力と釣り合った保持力を発生さ
せることができ、キャピラリツール１７を目標位置に高
精度で位置決めすることが可能となる。その結果、高速
で安定したループ形状を描かせることが可能となり、歩
留り及び生産性を向上させることができる。
ディング方法及びその装置は、Ｙテーブル１０のＹ方向
の加速度に対応して位置ゲインを変化させるようにして
いるので、発生した慣性力と釣り合った保持力を発生さ
せることができ、キャピラリツール１７を目標位置に高
精度で位置決めすることが可能となる。その結果、高速
で安定したループ形状を描かせることが可能となり、歩
留り及び生産性を向上させることができる。
【００４０】なお、上記実施形態においては、Ｙテーブ
ル１０に取付けられた加速度センサ３０によりＹ方向の
加速度による慣性力の影響を減殺する場合を例示してい
るが、Ｘテーブル７にも加速度センサを取付け、かつ、
Ｙ方向の場合と同じ信号処理を行わせることにより、Ｘ
Ｙ両方向の慣性力の影響を同時的に減殺することができ
る。
ル１０に取付けられた加速度センサ３０によりＹ方向の
加速度による慣性力の影響を減殺する場合を例示してい
るが、Ｘテーブル７にも加速度センサを取付け、かつ、
Ｙ方向の場合と同じ信号処理を行わせることにより、Ｘ
Ｙ両方向の慣性力の影響を同時的に減殺することができ
る。
【００４１】また、上記実施形態においては、加速度は
加速度センサにより検出しているが、ボンディング制御
部５から、予め設定されたプログラムに基づきＸＹテー
ブル部１に印加される移動指令信号から加速度を算出
し、算出した加速度値に基づいて上述した処理を行うよ
うにしてもよい。この場合、加速度センサの取付けが不
要となり、構造も簡単となる利点を有する。
加速度センサにより検出しているが、ボンディング制御
部５から、予め設定されたプログラムに基づきＸＹテー
ブル部１に印加される移動指令信号から加速度を算出
し、算出した加速度値に基づいて上述した処理を行うよ
うにしてもよい。この場合、加速度センサの取付けが不
要となり、構造も簡単となる利点を有する。
【００４２】さらに、上記実施形態においては、位置ゲ
インを補正することにより、慣性力により位置ずれの影
響を解消するようにしているが、これに限定することは
なく、加速度変化に照応して、速度フィードバックゲイ
ンを示す速度フィードバック信号Ｓ１又は電流指令信号
Ｓ１１を補正することにより位置ずれの影響を解消する
ようにしてもよい。この場合は、位置ずれ補正信号Ｓ３
は、駆動制御回路又は加算器３３に出力させるようにす
る。
インを補正することにより、慣性力により位置ずれの影
響を解消するようにしているが、これに限定することは
なく、加速度変化に照応して、速度フィードバックゲイ
ンを示す速度フィードバック信号Ｓ１又は電流指令信号
Ｓ１１を補正することにより位置ずれの影響を解消する
ようにしてもよい。この場合は、位置ずれ補正信号Ｓ３
は、駆動制御回路又は加算器３３に出力させるようにす
る。
【００４３】
【発明の効果】請求項１乃至請求項３のワイヤボンディ
ング方法は、テーブル部の移動方向の加速度に対応して
揺動手段を制御し加速度によるキャピラリツールの位置
ずれを補正させるようにしているので、発生した慣性力
と釣り合った保持力を発生させることができ、キャピラ
リツールを目標位置に高精度で位置決めすることが可能
となる。その結果、高速で安定したループ形状を描かせ
ることが可能となり、歩留り及び生産性を向上させるこ
とができる。
ング方法は、テーブル部の移動方向の加速度に対応して
揺動手段を制御し加速度によるキャピラリツールの位置
ずれを補正させるようにしているので、発生した慣性力
と釣り合った保持力を発生させることができ、キャピラ
リツールを目標位置に高精度で位置決めすることが可能
となる。その結果、高速で安定したループ形状を描かせ
ることが可能となり、歩留り及び生産性を向上させるこ
とができる。
【００４４】請求項４乃至請求項８のワイヤボンディン
グ装置は、テーブル部に発生した加速度変化に応じて補
正信号出力手段から出力された位置ずれ補正信号に基づ
いて揺動手段を制御し、加速度によるキャピラリツール
の位置ずれを補正させるようにしているので、発生した
慣性力と釣り合った保持力を発生させることができ、キ
ャピラリツールを目標位置に高精度で位置決めすること
が可能となる。その結果、高速で安定したループ形状を
描かせることが可能となり、歩留り及び生産性を向上さ
せることができる。
グ装置は、テーブル部に発生した加速度変化に応じて補
正信号出力手段から出力された位置ずれ補正信号に基づ
いて揺動手段を制御し、加速度によるキャピラリツール
の位置ずれを補正させるようにしているので、発生した
慣性力と釣り合った保持力を発生させることができ、キ
ャピラリツールを目標位置に高精度で位置決めすること
が可能となる。その結果、高速で安定したループ形状を
描かせることが可能となり、歩留り及び生産性を向上さ
せることができる。
【図１】本発明の一実施形態のワイヤボンディング装置
の全体構成図である。
の全体構成図である。
【図２】本発明の一実施形態のワイヤボンディング方法
を説明するためのタイミングチャートである。
を説明するためのタイミングチャートである。
【図３】従来技術の説明図である。
１：ＸＹテーブル部，２：ボンディング部，３：被ボン
ディング部材，５：ボンディング制御部，１６：ボンデ
ィングアーム，１７：キャピラリツール，１７ａ：ワイ
ヤ，１８：揺動モータ，２５：位置検出器，２７：偏差
カウンタ，２８：位置ゲイン補正器，３０：加速度セン
サ，３２：ゲイン補正回路，３３：加算器。
ディング部材，５：ボンディング制御部，１６：ボンデ
ィングアーム，１７：キャピラリツール，１７ａ：ワイ
ヤ，１８：揺動モータ，２５：位置検出器，２７：偏差
カウンタ，２８：位置ゲイン補正器，３０：加速度セン
サ，３２：ゲイン補正回路，３３：加算器。
Claims (8)
- 【請求項１】一平面に沿う方向に移動自在なテーブル部
と、このテーブル部に隣接して設けられ被ボンディング
部材を保持する被ボンディング部材保持部と、前記テー
ブル部上に設けられ前記被ボンディング部材に対してワ
イヤボンディングを行うボンディング部とを具備し、前
記ボンディング部は、前記テーブル部に一体的に搭載さ
れた揺動自在なボンディングアームと、このボンディン
グアームの先端に取付けられたキャピラリツールと、前
記ボンディングアームを揺動駆動する揺動手段とを有し
て、前記テーブル部により前記キャピラリツールの位置
決めを行うとともに、前記揺動手段により前記キャピラ
リツールを前記被ボンディング部材に圧着させることに
より前記キャピラリツールを介して供給されたワイヤを
前記被ボンディング部材にボンディングするワイヤボン
ディング方法において、前記テーブル部の移動方向の加
速度を求める加速度検出工程と、この加速度検出工程に
て求められた加速度に基づいて前記揺動手段を制御し前
記テーブル部に生じた加速度による前記キャピラリツー
ルの位置ずれを補正させる位置ずれ補正工程とを具備し
たことを特徴とするワイヤボンディング方法。 - 【請求項２】前記加速度検出工程にては、前記テーブル
部に取付けられた加速度センサにより加速度を検出する
ことを特徴とする請求項１記載のワイヤボンディング方
法。 - 【請求項３】前記加速度検出工程にては、前記テーブル
部を駆動する指令信号に基づいて加速度を検出すること
を特徴とする請求項１記載のワイヤボンディング方法。 - 【請求項４】下記構成を具備するワイヤボンディング装
置。 （ア）一平面に沿う方向に移動自在なテーブル部。 （イ）前記テーブル部に隣接して設けられ被ボンディン
グ部材を保持する被ボンディング部材保持部。 （ウ）前記テーブル部に揺動自在に搭載されたボンディ
ングアームと、このボンディングアームの先端に取付け
られワイヤが挿通されるキャピラリツールと、前記ボン
ディングアームを揺動駆動することにより前記テーブル
部により位置決めされた前記キャピラリツールを前記被
ボンディング部材に圧着させて前記ワイヤを前記被ボン
ディング部材にボンディングする揺動駆動手段とを具備
するボンディング部。 （エ）前記テーブル部の移動方向の加速度を求める加速
度検出手段と、この加速度検出手段にて求められた加速
度に基づいてこの加速度に伴う前記キャピラリツールの
位置ずれを補正させる位置ずれ補正信号を出力する位置
ずれ補正信号出力手段とを具備するボンディング制御
部。 （オ）前記位置ずれ補正信号出力手段からの位置ずれ補
正信号に基づいて前記揺動駆動手段に駆動信号を印加す
る駆動制御手段とを具備するボンディング制御部。 - 【請求項５】前記ボンディング制御部は、前記揺動駆動
手段の位置を検出し位置フィードバック信号を出力する
位置検出器と、前記揺動駆動手段の目標位置を示す目標
位置信号を出力する位置設定器と、前記目標位置信号と
前記位置フィードバック信号との偏差を算出する偏差カ
ウンタと、前記偏差カウンタからの偏差信号及び前記位
置ずれ補正信号に基づいて位置指令信号を駆動制御手段
に出力する位置ゲイン補正器とを具備することを特徴と
する請求項４記載のワイヤボンディング装置。 - 【請求項６】前記ボンディング制御部は、前記揺動駆動
手段の速度を検出し速度フィードバック信号を出力する
速度検出器を有するとともに、前記駆動制御手段は、前
記速度フィードバック信号及び前記位置指令信号に基づ
いて前記揺動駆動手段に駆動信号を印加することを特徴
とする請求項５記載のワイヤボンディング装置。 - 【請求項７】前記加速度検出手段は、加速度センサであ
ることを特徴とする請求項４記載のワイヤボンディング
装置。 - 【請求項８】前記加速度検出手段は、前記テーブル部を
駆動する指令信号に基づいて加速度を検出することを特
徴とする請求項４記載のワイヤボンディング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9047899A JPH10242193A (ja) | 1997-03-03 | 1997-03-03 | ワイヤボンディング方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9047899A JPH10242193A (ja) | 1997-03-03 | 1997-03-03 | ワイヤボンディング方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10242193A true JPH10242193A (ja) | 1998-09-11 |
Family
ID=12788253
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9047899A Pending JPH10242193A (ja) | 1997-03-03 | 1997-03-03 | ワイヤボンディング方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10242193A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008098368A (ja) * | 2006-10-11 | 2008-04-24 | Ushio Inc | ステージ装置 |
| JP2009054665A (ja) * | 2007-08-24 | 2009-03-12 | Tokyo Electron Ltd | 搬送アームの移動位置の調整方法及び位置検出用治具 |
-
1997
- 1997-03-03 JP JP9047899A patent/JPH10242193A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008098368A (ja) * | 2006-10-11 | 2008-04-24 | Ushio Inc | ステージ装置 |
| JP2009054665A (ja) * | 2007-08-24 | 2009-03-12 | Tokyo Electron Ltd | 搬送アームの移動位置の調整方法及び位置検出用治具 |
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