JPH10240788A - 半導体集積回路のシミュレーション方法 - Google Patents
半導体集積回路のシミュレーション方法Info
- Publication number
- JPH10240788A JPH10240788A JP4217397A JP4217397A JPH10240788A JP H10240788 A JPH10240788 A JP H10240788A JP 4217397 A JP4217397 A JP 4217397A JP 4217397 A JP4217397 A JP 4217397A JP H10240788 A JPH10240788 A JP H10240788A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- variation
- relative
- variation range
- absolute
- simulation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 14
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 14
- 238000004088 simulation Methods 0.000 claims abstract description 39
- 238000012545 processing Methods 0.000 abstract description 11
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 8
- 238000000342 Monte Carlo simulation Methods 0.000 description 7
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000007619 statistical method Methods 0.000 description 3
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 2
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000007429 general method Methods 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- 238000009827 uniform distribution Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F30/00—Computer-aided design [CAD]
- G06F30/30—Circuit design
- G06F30/36—Circuit design at the analogue level
- G06F30/367—Design verification, e.g. using simulation, simulation program with integrated circuit emphasis [SPICE], direct methods or relaxation methods
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Evolutionary Computation (AREA)
- Geometry (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)
- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
Abstract
つき範囲を考慮したワーストケース・シミュレーション
を行う、半導体集積回路のシミュレーション方法を提供
する。 【解決手段】 入力装置104には、回路シミュレーシ
ョンで用いる回路接続情報、解析条件に加えて、整合の
ある素子同士を同一番号で示す相対指定と、抵抗素子の
絶対ばらつき範囲と相対ばらつき範囲からなるばらつき
範囲が格納されている。ばらつきモデル構成101で
は、規定された絶対ばらつき範囲および相対ばらつき範
囲から素子パラメータの取り得る最大値および最小値を
求めてばらつきモデルとする。回路シミュレーション処
理102ではばらつきモデルを用いて相対ばらつきを考
慮したワーストケース・シミュレーションを行う。結果
表示103でシミュレーション結果を表示する。
Description
慮した半導体集積回路のシミュレーション方法に関す
る。
では、回路特性の計算に莫大なシミュレーション時間を
かけて解析を行うため、計算時間をいかに減らすかが設
計品質、製造歩留まりの向上に直接関わる課題の一つで
ある。
として説明する。
が与えられている場合の一般的な方法としてワーストケ
ース解析法が挙げられている。ワーストケース解析で
は、頂点法やモーメント法がよく用いられており、頂点
法では統計パラメータの分布を全て一様分布と見なして
パラメータ変動領域の頂点のうち一つをワーストケース
とする方法で計算量が少ないが、パラメータの相関関係
が考慮できず結果が過大/過小評価になりやすい欠点が
あり、モーメント法ではパラメータの相関関係は考慮で
きるものの回路特性の線形性が保証されなければならな
い制約があり、利用に際して注意を必要としている。
に、増幅利得、高調波歪率などの考察項目、およびトラ
ンジスタのエミッタ接地電流増幅率hfe、半導体抵抗
などのばらつき範囲が与えられているパラメータを入力
装置304より入力し、確率内挿モデル構成301によ
り、前記ばらつき範囲が与えられているパラメータから
近似精度が最大となるサンプリングデータを求めて内挿
モデルを構成する。次に、統計解析302により前記内
挿モデルを用いてモンテカルロ法によるワーストケース
を求めて、結果表示303により表示する。
るサンプリングデータを求めることにより、計算量の少
ない内挿モデルを構成することができ、その結果、少な
いシミュレーション回数で解析精度を保つことができる
としている。
計算量が少ない内挿モデルを構成してはいるが、最終的
に統計解析ではモンテカルロ法を用いているため、一般
的なモンテカルロ法よりも計算数は少ないにしても、近
似精度を十分向上させるには多量のシミュレーション回
数が必要になるという欠点がある。
母集団平均Fの±10%以内となる際に必要となるシミ
ュレーション回数Nは、3σ=1として100回程度と
なる。
り半導体集積回路上の素子には素子パラメータのばらつ
き範囲が与えられているわけであるが、前記ばらつき範
囲には、素子パラメータのばらつきが最大値となる最大
ばらつきと最小値となる最小ばらつきを規定した絶対ば
らつき範囲と、半導体集積回路上で近接して配置され、
かつ、同一構造および同一形状となる複数の素子を互い
に整合のある素子とみなし、前記整合のある素子同士で
規定される相対ばらつき範囲とがある。相対ばらつき範
囲とは、前記整合のある素子同士の素子パラメータは製
造ばらつきの影響を同程度に受けるため、絶対ばらつき
範囲の中で前記整合のある素子同士の素子パラメータは
同程度の値を持つことから、前記整合のある素子同士の
素子パラメータの値の差異をばらつき範囲として規定す
るものである。ここで、一般的に相対ばらつき範囲は絶
対ばらつき範囲よりも狭い範囲を持つ。
算が、シミュレーション以外に必要になるという欠点が
あり、上述した相対ばらつき範囲を考慮した場合、内挿
モデルを構成する計算がさらに困難になる欠点がある。
た従来のワーストケース・シミュレーションに比べ少な
いシミュレーション回数で相対ばらつきを考慮した回路
シミュレーション結果が得られる、半導体集積回路のシ
ミュレーション方法を提供することにある。
のシミュレーション方法は、規定された絶対ばらつき範
囲および相対ばらつき範囲から素子パラメータの取り得
る最大値および最小値、すなわち相対ばらつきを考慮し
たワーストケースの素子パラメータを求めてばらつきモ
デルとするばらつきモデル構成段階と、前記ばらつきモ
デルを用いて相対ばらつきを考慮したワーストケース・
シミュレーションを行う回路シミュレーション段階を有
する。
組の数をmとしたときのシミュレーション回数Npは次
式で表わされる。
1のときNp=7(回)となり、従来例の(モンテカル
ロ法)の場合のN=100(回)より少ないことがわか
る。
したワーストケース・シミュレーションに比べ少ないシ
ミュレーション回数で相対ばらつきを考慮した回路シミ
ュレーション結果が得られる。
ル構成段階は、素子値を絶対ばらつき範囲の最大、最小
で換算した絶対ばらつきの最大値、最小値を全ての素子
について求める段階と、整合のある素子同士であること
を示す相対指定がある素子に対応する絶対ばらつき最大
値に対して相対ばらつき範囲で換算した相対ばらつき最
大値および絶対ばらつき最小値に対して相対ばらつき範
囲で換算した相対ばらつき最小値を求める段階を含み、
回路シミュレーション段階は、各素子の素子値を前記絶
対ばらつき最大値、絶対ばらつき最小値、相対指定があ
る素子についてはさらに相対ばらつき最大値、前記相対
ばらつき最小値に置き換えて回路シミュレーションを行
う。
て図面を参照して説明する。図1は本発明の一実施形態
の、半導体集積回路のシミュレーション方法の処理を表
す流れ図である。
ンで用いる回路接続情報、解析条件に加えて、整合のあ
る素子同士を同一番号で示す相対指定と、抵抗素子の絶
対ばらつき範囲と相対ばらつき範囲からなるばらつき範
囲のデータが格納されている。
納されている回路接続情報の例で、素子番号の列におい
てQで始まる素子はトランジスタ、Rで始まるのは抵抗
素子、Vで始まるのは電源素子、端子接続番号のコレク
タ、ベース、エミッタは素子の端子の接続番号、種類の
列においてNはトランジスタの種類、LおよびHは抵抗
素子の種類、DCおよびACは電源素子の種類、相対指
定においては同一番号の素子同士は整合のある素子であ
ることをそれぞれ表しており、空欄部には該当情報がな
いことを表している。この例でのデータ数は8(行)と
なっている。
ばらつき範囲の例で、種類の列においてLおよびHが抵
抗素子の種類、第2列、第3列は素子値に対する比率
(%)で絶対ばらつき範囲の最大値側および最小値側、
第4列、第5列は素子値に対する比率(%)で相対ばら
つき範囲の最大値側および最小値側をそれぞれ表してい
る。この例でのデータ数は2(行)となっている。
れているデータからワーストケースとなる素子値の組み
合わせを求める際に、絶対ばらつき範囲のみでなく相対
ばらつき範囲も考慮して求められた前記素子値の組み合
わせをばらつきモデルとする。
説明する流れ図で、表3は内部メモリ上のばらつきモデ
ルを説明する表である。
当する回路接続情報(表1)の素子値を絶対ばらつき範
囲の最大で換算した絶対ばらつき最大値を求め、内部メ
モリに格納し(ステップ201)、ステップ201と同
様にして絶対ばらつき最小値を求めて内部メモリに格納
することを(ステップ202)、前記ばらつき範囲(表
2)の抵抗素子の種類に該当する回路接続情報(表1)
の素子値の全てに対して実行する(ステップ203)。
定があるかどうかを判定し(ステップ204)は、ある
場合相対指定に該当する素子のうちの1個(R3)に対
応する前記絶対ばらつき最大値(表3)に対して前記相
対ばらつき範囲で換算した相対ばらつき最大値を求める
(ステップ205)。ここで、素子値は絶対ばらつき範
囲を超えることがないことから、絶対ばらつき最大値
(表3)から相対ばらつき範囲の最小値の分を差し引い
た値をばらつきモデルの相対ばらつき最大値(表3、最
大値1)として内部メモリに格納する。次に、ステップ
205と同様にして絶対ばらつき最小値(表3)に相対
ばらつき範囲の最大値の分を加えた値を相対ばらつき最
小値(表3、最小値1)として内部メモリに格納する。
(ステップ206)さらに、前記相対指定に該当する次
の素子(R3の次の素子はR4)に対してステップ20
5とステップ206の処理を行い、ばらつきモデルの相
対ばらつき最大値(表3、最大値2)および相対ばらつ
き最小値(表3、最小値2)を求め、内部メモリに格納
し、前記相対指定に該当する素子がなくなるまでステッ
プ205と206の処理を繰り返す(ステップ20
7)。
の方向(正または負)が全て同じ場合はあり得ないの
で、例えば素子R4に対する最大値1は1180(=1
150+1000×0.03)、最小値1は820(=
850−1000×0.03)と計算されるが、これら
は絶対ばらつきの最大値よりも大きい、絶対ばらつきの
最小値よりも小さいので、素子R4の最大値1、最小値
1はそれぞれ絶対ばらつきの最大値、最小値と同じにな
る。素子R3の最大値2、最小値2についても同様であ
る。本例では、相対指定に該当する素子はR3とR4の
2個のみであるので、ばらつきモデル(表3)の最大値
3、最小値3以降のデータは無い。
で、回路接続情報(表1)と解析条件とで回路シミュレ
ーション処理を行うわけであるが、ここで、抵抗素子の
素子値を上述したばらつきモデル(表3)の値に置き換
えて、かつ、ばらつきモデルの個数回(本例では、第2
列〜第7列なので6回)の回路シミュレーションを行
い、結果表示103により回路シミュレーション結果を
表示する。
素子の個数が2個(表1のデータ4のR3とデータ5の
R4)で、組み合わせ1組(表1)の場合を説明した
が、組み合わせが2組以上の場合は、上述したばらつき
モデルの値(表3の第3列〜第8列、素子の個数が3個
以上の場合は、第9列以降も含む)に対して、ばらつき
モデル構成101(図2)のステップ205〜ステップ
207の処理と同等の処理を行うことによって、本実施
形態と同等の効果が得られる。
て、本実施形態の説明では、抵抗素子について述べた
が、トランジスタ、ダイオードなどの能動素子のパラメ
ータ、および容量素子、インダクターなどの受動素子の
値/パラメータに対しても、本実施形態と同等の処理を
行うことによって、本実施形態と同等の効果が得られ
る。
た絶対ばらつき範囲および相対ばらつき範囲から素子パ
ラメータの取り得る最大値および最小値(相対ばらつき
を考慮したワーストケースの素子パラメータ)としたば
らつきモデル構成を用いて相対ばらつきを考慮したワー
ストケース・シミュレーションを行うことにより、従来
例のモンテカルロ法を利用したワーストケース・シミュ
レーションに比べ少ないシミュレーション回数で相対ば
らつきを考慮した回路シミュレーション結果が得られる
という効果があり、また、本発明のばらつきモデル構成
は素子値をばらつき範囲で換算するだけなので、従来例
での内挿モデルを構成するための計算量に対して、計算
量が少なく、かつ、相対ばらつき範囲の考慮が容易であ
るという効果もある。
ュレーション方法の処理を表す流れ図である。
を説明する流れ図である。
Claims (2)
- 【請求項1】 規定された絶対ばらつき範囲および相対
ばらつき範囲から素子パラメータの取り得る最大値およ
び最小値、すなわち相対ばらつきを考慮したワーストケ
ースの素子パラメータを求めてばらつきモデルとするば
らつきモデル構成段階と、 前記ばらつきモデルを用いて相対ばらつきを考慮したワ
ーストケース・シミュレーションを行う回路シミュレー
ション段階を有する、半導体集積回路のシミュレーショ
ン方法。 - 【請求項2】 前記ばらつきモデル構成段階は、素子値
を絶対ばらつき範囲の最大、最小で換算した絶対ばらつ
きの最大値、最小値を全ての素子について求める段階
と、整合のある素子同士であることを示す相対指定があ
る素子に対応する絶対ばらつき最大値に対して前記相対
ばらつき範囲で換算した相対ばらつき最大値および絶対
ばらつき最小値に対して前記相対ばらつき範囲で換算し
た相対ばらつき最小値を求める段階を含み、 前記回路シミュレーション段階は、各素子の素子値を前
記絶対ばらつき最大値、前記絶対ばらつき最小値、相対
指定がある素子についてはさらに前記相対ばらつき最大
値、前記相対ばらつき最小値に置き換えて回路シミュレ
ーションを行う、請求項1記載の半導体集積回路のシミ
ュレーション方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4217397A JP3008876B2 (ja) | 1997-02-26 | 1997-02-26 | 半導体集積回路のシミュレーション方法 |
US09/030,420 US6035115A (en) | 1997-02-26 | 1998-02-25 | Method for performing simulation of a semiconductor integrated circuit using a relative variation model |
CNB981053661A CN1151458C (zh) | 1997-02-26 | 1998-02-26 | 半导体集成电路的模拟方法和模拟系统 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4217397A JP3008876B2 (ja) | 1997-02-26 | 1997-02-26 | 半導体集積回路のシミュレーション方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10240788A true JPH10240788A (ja) | 1998-09-11 |
JP3008876B2 JP3008876B2 (ja) | 2000-02-14 |
Family
ID=12628593
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4217397A Expired - Fee Related JP3008876B2 (ja) | 1997-02-26 | 1997-02-26 | 半導体集積回路のシミュレーション方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6035115A (ja) |
JP (1) | JP3008876B2 (ja) |
CN (1) | CN1151458C (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002305253A (ja) * | 2001-04-05 | 2002-10-18 | Oki Electric Ind Co Ltd | 回路シミュレーション用パラメータ抽出方法 |
KR100399698B1 (ko) * | 2000-07-24 | 2003-09-29 | 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 | 시뮬레이션 방법 및 시뮬레이션 장치 |
CN1301629C (zh) * | 2003-08-15 | 2007-02-21 | 中兴通讯股份有限公司 | 一种模拟请求位置信息的系统及方法 |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4240519B2 (ja) * | 1999-12-28 | 2009-03-18 | 株式会社日立製作所 | 入力パラメータ設定支援方法 |
ATE453159T1 (de) * | 2000-05-12 | 2010-01-15 | Simplex Solutions Inc | Hochgenaues taktierungsmodell für die prüfung von integrierten schaltungen |
JP2002110489A (ja) * | 2000-09-26 | 2002-04-12 | Toshiba Corp | 半導体装置の回路特性のシミュレータ、及び、シミュレート方法 |
FR2824155B1 (fr) * | 2001-04-25 | 2003-08-29 | Dolphin Integration Sa | Procede de simulation de dispersion d'un circuit electonique autorisant son utilisation dans un processus iteratif |
US6983432B2 (en) | 2001-05-04 | 2006-01-03 | International Business Machines Corporation | Circuit and method for modeling I/O |
US20030182639A1 (en) * | 2002-03-25 | 2003-09-25 | International Business Machines Corporation | Circuit simulator system and method |
JP3828104B2 (ja) * | 2003-10-02 | 2006-10-04 | 株式会社東芝 | 模擬回路パターン評価方法、半導体集積回路の製造方法、テスト基板、及びテスト基板群 |
US7219316B2 (en) * | 2003-10-23 | 2007-05-15 | International Business Machines Corporation | Multi-valued or single strength signal detection in a hardware description language |
JP4001584B2 (ja) * | 2004-02-26 | 2007-10-31 | 松下電器産業株式会社 | シミュレーション装置 |
US20060203581A1 (en) * | 2005-03-10 | 2006-09-14 | Joshi Rajiv V | Efficient method and computer program for modeling and improving static memory performance across process variations and environmental conditions |
CN100461188C (zh) * | 2006-01-13 | 2009-02-11 | 英业达股份有限公司 | 计算机辅助高频电路模型模拟分析方法及系统 |
TW200921445A (en) * | 2007-11-08 | 2009-05-16 | Airoha Tech Corp | Circuit analysis method |
CN101655882B (zh) * | 2009-07-24 | 2012-10-17 | 上海宏力半导体制造有限公司 | 基于统计模型最差情况的建模方法 |
US8453102B1 (en) | 2010-03-12 | 2013-05-28 | Worldwide Pro Ltd. | Hierarchical variation analysis of integrated circuits |
WO2017173357A1 (en) * | 2016-03-31 | 2017-10-05 | Mentor Graphics Corporation | Circuit validation for circuits comprising multiple possible variants for individual components |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4744084A (en) * | 1986-02-27 | 1988-05-10 | Mentor Graphics Corporation | Hardware modeling system and method for simulating portions of electrical circuits |
JPH05281293A (ja) * | 1992-03-31 | 1993-10-29 | Sony Corp | 集積回路シミュレーション方法 |
JPH06348683A (ja) * | 1993-04-16 | 1994-12-22 | Sony Corp | 集積回路のシミュレーション方法 |
US5590063A (en) * | 1994-07-05 | 1996-12-31 | Motorola, Inc. | Optimization method using parallel processors |
US5625803A (en) * | 1994-12-14 | 1997-04-29 | Vlsi Technology, Inc. | Slew rate based power usage simulation and method |
US5621652A (en) * | 1995-03-21 | 1997-04-15 | Vlsi Technology, Inc. | System and method for verifying process models in integrated circuit process simulators |
-
1997
- 1997-02-26 JP JP4217397A patent/JP3008876B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-02-25 US US09/030,420 patent/US6035115A/en not_active Expired - Fee Related
- 1998-02-26 CN CNB981053661A patent/CN1151458C/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100399698B1 (ko) * | 2000-07-24 | 2003-09-29 | 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 | 시뮬레이션 방법 및 시뮬레이션 장치 |
JP2002305253A (ja) * | 2001-04-05 | 2002-10-18 | Oki Electric Ind Co Ltd | 回路シミュレーション用パラメータ抽出方法 |
CN1301629C (zh) * | 2003-08-15 | 2007-02-21 | 中兴通讯股份有限公司 | 一种模拟请求位置信息的系统及方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3008876B2 (ja) | 2000-02-14 |
CN1151458C (zh) | 2004-05-26 |
CN1194418A (zh) | 1998-09-30 |
US6035115A (en) | 2000-03-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3008876B2 (ja) | 半導体集積回路のシミュレーション方法 | |
Shi et al. | Compact representation and efficient generation of s-expanded symbolic network functions for computer-aided analog circuit design | |
Medeiro et al. | A vertically integrated tool for automated design of/spl Sigma//spl Delta/modulators | |
US20030066034A1 (en) | Corner simulation methodology | |
CN106449628B (zh) | 半导体布局结构及其设计方法 | |
CN111523160A (zh) | 用于仿真集成电路的方法和设备以及计算机可读介质 | |
Sanabria-Borbón et al. | Sizing analogue integrated circuits by integer encoding and NSGA-II | |
US20100076742A1 (en) | Simulation model for transistors | |
CN101840451A (zh) | 一种集成电路工艺参数模型的优化方法 | |
CN113361222B (zh) | 一种集成电路制造工艺虚拟仿真方法和装置 | |
US20020045280A1 (en) | System for and method of designing and manufacturing a semiconductor device | |
US6795840B1 (en) | Method for generating a sequence of random numbers of A 1/f-noise | |
JP2002259444A (ja) | 情報検索プログラムおよび情報検索方法 | |
US20040054702A1 (en) | Method for on-demand generation of individual random numbers of a sequence of random numbers of a 1/f noise | |
CN113569516B (zh) | 一种获取任意比例数的bjt失配模型的方法及系统 | |
JP2630220B2 (ja) | 回路シミュレーション方法 | |
CN111539173B (zh) | 一种电阻模型参数的同步提取方法 | |
CN110046321B (zh) | 曲线积分的计算方法、装置、设备及存储介质 | |
US20040260523A1 (en) | System and method for high-order accurate device model approximation | |
Surav Yilmaz et al. | A systematic class AB state space synthesis method based on MOSFET square law and translinear square‐root cells | |
JP2840894B2 (ja) | 回路シミュレーション装置 | |
US20020166099A1 (en) | Method of and system for making a semiconductor device | |
JP2002197401A (ja) | シミュレーション方法及びシミュレータ | |
Haigh | Symbolic active-RC circuit synthesis by admittance matrix expansion | |
CN118069014A (zh) | 数据模型框图尺寸自适应方法、装置、介质及电子设备 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071203 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081203 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091203 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091203 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101203 Year of fee payment: 11 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |