JPH10233162A

JPH10233162A - カラー受像管の蛍光面の現像方法

Info

Publication number: JPH10233162A
Application number: JP3512397A
Authority: JP
Inventors: Makoto Onodera; 誠小野寺; Yoshinori Takahashi; 芳典高橋
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1997-02-19
Filing date: 1997-02-19
Publication date: 1998-09-02

Abstract

(57)【要約】【課題】フェースプレートを回転させながら現像液を
スプレーして行われる従来のカラー受像管の蛍光面の現
像方法では、フェースプレート周辺部に現像液溜まりが
できて現像ムラが生じやすいという課題があった。【解決手段】フェースプレート１を内面を下向きにし
てほぼ水平に配置し、フェースプレート１の下方に配設
された複数のノズル２１を揺動させながら、これらのノ
ズル２１から上向きに現像液２２を吐出して現像を行
う。この方法によれば、フェースプレート内面全域にわ
たり均一な現像液厚が得られ、また、単位面積あたりの
現像時間も均一化できるので、現像ムラの発生を防止す
ることが可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、カラー受像管の
フェースプレートに例えばフィルター付き蛍光体層等の
蛍光面を形成する場合などに適用される現像方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】カラー受像管のフェースプレート内面に
は赤、青、緑色のドット状やストライプ状等の蛍光体層
が形成されている。この蛍光体層に電子ビームが衝突す
ることにより蛍光体層が発光して画像表示がなされる。

【０００３】コントラストや色純度等の画像表示特性を
向上させるために、従来より蛍光体層の改善がなされて
いる。例えば、フェースプレートと蛍光体層との間に、
蛍光体層の発光色と同色の体色を持つ顔料層を設けたフ
ィルター付き蛍光体層がある。このフィルター付き蛍光
体層は、入射した外光のうち赤色顔料は緑や青成分の光
を、青色顔料は緑や赤成分の光を、緑色顔料は青や赤成
分の光を、選択的に吸収するためコントラストや色純度
が向上する。

【０００４】例えば特開平５−２７５００８号公報にこ
のフィルター付き蛍光体層の製造方法が開示されてい
る。この方法は、レジストを塗布後、所定位置以外を露
光し現像することによりレジスト層のパターンを形成
し、その上に顔料液を塗布した後、酸分解によりレジス
ト層とその上の顔料層を剥離して顔料層パターンを得
る、というものである。

【０００５】その際、現像はフェースプレートを回転さ
せながら現像液をスプレーして行われるが、この現像方
法によるとフェースプレートの側壁下部に現像液溜まり
が生じやすく、また、フェースプレートの回転により中
央部と周辺部で単位面積当たりの現像時間が異なり、中
央部と周辺部での現像の状態に違いが生じるという難点
があった。さらに、フィルターパターンを得るごとに露
光、現像を繰り返すことから複雑な設備が必要となると
いう問題もあった。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】このように、フェース
プレートを回転させながら現像液を吹き付けて行われる
従来のカラー受像管の蛍光面の現像方法では、フェース
プレート周辺部に現像液溜まりができて現像ムラが生じ
やすいという問題があった。

【０００７】本発明はこのような課題に対処するために
なされたもので、より簡単な設備で、フェースプレート
の内面に現像ムラのない均一な蛍光体層を形成すること
のできるカラー受像管の蛍光面の現像方法の提供を目的
としている。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のカラー受像管の蛍光面の現像方法は、ほぼ
水平に設置したカラー受像管のフェースプレート面に形
成された被現像物に、ノズルを揺動させながらこのノズ
ルから上向きに現像液を吹き付けて現像を行う、という
ものである。

【０００９】本発明によれば、フェースプレートを回転
させながら現像液を一か所から吹き付ける方法に比べ、
フェースプレート内面全域で均一な現像液圧が得られ、
また単位面積あたりの現像時間も均一化できるので、現
像ムラの発生を防止することが可能となる。

【００１０】また、フェースプレートの回転機構が不要
となるから、例えばフィルター付き蛍光体層を形成する
場合において、露光から第２色目の顔料分散液の塗布ま
での間の搬送系上で容易に現像処理を行うことが可能と
なる。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係るカラー受像管
の蛍光面の現像方法を、カラー受像管のフェースプレー
ト内面にフィルター付き蛍光体層を形成する場合に適用
した実施形態について図面を参照して説明する。

【００１２】図１乃至図３はその工程図である。まず、
図１（ａ）に示すように、フェースプレート１の内面上
に所定パターンの光吸収層２を形成した。

【００１３】次に、青、緑、赤のフィルターを形成する
ための顔料分散液およびフォトレジスト液として、例え
ば次の組成のものを準備した。

【００１４】（青顔料分散液）青顔料粒子：アルミン酸コバルト、３０重量％（商品名
コバルトブルーＸ（粒子径０．０１〜０．０２μｍ、東
洋顔料社製））分散剤：ポリアクリル酸共重合体のアンモニウム塩、
０．７重量％（ディスペックＧＡ−４０（アライド・コ
ロイド社製））それぞれ純水中に分散（緑顔料分散液）緑顔料粒子：ＴｉＯ₂−ＮｉＯ−ＣｏＯ−ＺｎＯ、３０
重量％（商品名ダイピロキサイドＴＭ−グリーン＃３３
２０（粒子径０．０１〜０．０２μｍ、大日精化社
製））分散剤：アクリル酸のナトリウム塩、０．７重量％（デ
ィスペックＮ−４０（アライド・コロイド社製））それぞれ純水上に分散（赤顔料分散剤）赤顔料粒子：Ｆｅ₂Ｏ₃の微粒子、２０重量％（粒子径
０．０１〜０．０２μｍ）分散剤：ポリオキシエチレンアルキルエーテルサルフェ
ートのアンモニウム塩、０．７重量％（ハイテノール０
８（第一工業製薬社製））それぞれ純水上に分散（フォトレジスト液）ポリビニルアルコール３重量％重クロム酸アンモニウム０．２０重量％界面活性剤０．０１重量％純水残部次に、フェースプレート１を温度３０℃に保持して、図
１（ｂ）に示すように、青色顔料層３の顔料分散液を塗
布した。

【００１５】この顔料分散液の塗布は、フェースプレー
ト内面を上向き、横向き、下向きのいずれの状態にして
行ってもよいが、均一な塗布が行えるように顔料分散液
の固形分、粘度、塗り方等のパラメータを適宜コントロ
ールすることが望ましい。具体的な塗布方法としては、
スピンコート法、浸せき法、フローコート法等が挙げら
れるが、なかでもスピンコート法が均一で所定の膜厚を
得るために最適である。続いて、フェースプレート１
を１００〜３００ｒｐｍで回転させ、過剰の顔料分散液
を振り切り、ヒーター温度１２０℃にて３〜４分間乾燥
した。

【００１６】乾燥方法としては、例えば振り切りによる
乾燥、ヒーターによる乾燥、熱風による乾燥、ドライエ
アーによる乾燥、室温における長時間の乾燥等が例示で
きる。或いはこれらの乾燥方法を組み合わせて用いても
よい。

【００１７】次いで、フォトレジスト液を塗布・乾燥
し、図１（ｃ）に示すように、レジスト層４と青色顔料
層３の積層構造を形成した。そして図１（ｄ）に示すよ
うに、例えば色選別電極５を介して、高圧水銀灯等の光
源により所定のパターンに露光した。

【００１８】この後、図４に示すように、フェースプレ
ート１をその内面を下向きにしてほぼ水平に配置し、フ
ェースプレート１の下方に等間隔に配置された複数のノ
ズル２１から上向きに現像液２２を所定の液圧（例えば
１〜１０Ｋｇ／ｃｍ²の液圧）でフェースプレート１の
内面に向けてスプレーした。またこの現像中、フェース
プレート１の内面全体に亘って現像液２２が一様に吹き
付けられるよう、図５（ａ）（ｂ）に示すように、ノズ
ル２１を所定のストロークで所定の回数揺動（往復動）
させた。揺動回数は１〜１０の範囲とした。このように
して図１（ｅ）に示すように、レジスト層４と青色顔料
層３の積層パターンを形成した。

【００１９】なお、ノズル２１としては広角スプレーノ
ズルや広角フラットスプレーノズルを使用することが好
ましい。

【００２０】次に、フェースプレート１を温度３０℃に
保持して、図２（ａ）に示すように、緑色顔料層６の顔
料分散液を塗布した。続いて、フェースプレート１を１
００〜３００ｒｐｍで回転させ、過剰の顔料分散液を振
り切り、ヒーターにより温度１２０℃にて３〜４分間乾
燥させた。次いで、フォトレジスト液を塗布・乾燥し、
図２（ｂ）に示すように、レジスト層７と緑色顔料層６
の積層構造を形成した。そして図２（ｃ）に示すよう
に、例えば色選別電極５を介して、高圧水銀灯等の光源
により所定のパターンに露光した。

【００２１】この後、再び、図４及び図５に示したよう
に、フェースプレート１をその内面を下向きにしてほぼ
水平に配置し、フェースプレート１の下方に等間隔に配
設された複数のノズル２１から上向きに現像液２２をフ
ェースプレート１の内面に向けてスプレーした。このよ
うにして図２（ｄ）に示すように、レジスト層７と緑色
顔料層６の積層パターンを形成した。

【００２２】次に、フェースプレート１を温度３０℃に
保持して、図３（ａ）に示すように、フェースプレート
１上、レジスト層４と青色顔料層３の積層パターン上、
およびレジスト層７と緑色顔料層６の積層パターン上に
赤色顔料層８の顔料分散液を塗布した。続いて、フェー
スプレート１を１００〜３００ｒｐｍで回転させ、過剰
の顔料分散液を振り切り、ヒーターにより温度１２０℃
にて３〜４分間乾燥した。そして、例えばスルファミン
酸５％、過ヨウ素酸カリウム０．５％からなる剥離液を
塗布し、水圧２〜１０Ｋｇ／ｃｍ²で、レジスト層４、
７をその上の赤色顔料層８とともに剥離することによ
り、図３（ｂ）に示すように、フェースプレート１上に
青色顔料層３、緑色顔料層６および赤色顔料層８からな
る顔料層パターンを得た。

【００２３】その後、図３（ｃ）に示すように、通常の
方法により、青色蛍光体層９、緑色蛍光体層１０および
赤色蛍光体層１１をそれぞれ青色顔料層３、緑色顔料層
６および赤色顔料層８と対応するように形成した。こう
して、フェースプレート１上に顔料層および蛍光体層を
有する所望のフィルター付き蛍光体層を完成させた。以
上のように、本実施形態では、フェースプレート１を内
面を下向きにしてほぼ水平姿勢に配置し、フェースプレ
ート１の下方でノズル２１を揺動させながら、ノズル２
１から上向きに現像液２２をフェースプレート１内面に
向けてスプレーすることにより、フェースプレート１内
面全域でほぼ均一な現像液圧が得られ、また単位面積あ
たりの現像時間も均一化できるので、現像ムラが生じる
ことがなくなる。

【００２４】さらに、本実施形態の現像方法によれば、
フェースプレートの回転機構等の大がかりな設備が不要
となり、露光から顔料分散液塗布までの過程で簡単に現
像を行うことができる。例えば、フェースプレートをそ
の内面を下向きにして搬送する搬送系の途中に現像液吐
出ノズルを設置するだけでよい。これにより、簡単な設
備で均一な現像が行え、品位の高いフィルター膜を形成
することができる。

【００２５】本発明は、カラー受像管のフェースプレー
ト内面に設けられるフィルター付き蛍光体層の製造以外
にも、例えば光吸収層のレジスト現像等の他の部分にも
適用可能である。さらに、各顔料層のパタ−ニングに際
し、本発明による方法で現像液をスプレーする前に、同
様の方法にてフェースプレートにアルカリ現像液を塗布
することにより、各顔料層の不要部の現像をより確実に
行うことができる。

【００２６】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、フ
ェースプレート内面全域で均一な現像液圧が得られ、ま
た単位面積あたりの現像時間も均一化できるので、現像
ムラの発生を防止することが可能となる。また、フェー
スプレートの回転機構が不要となるので、例えばフィル
ター付き蛍光体層を形成する場合において、露光から第
２色目の顔料分散液の塗布までの間の搬送系上で容易に
現像処理を行うことが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の現像方法を適用してカラー受像管のフ
ェースプレート内面にフィルター付き蛍光体層を形成す
る場合の青色顔料層の形成工程を示す図

【図２】本発明の現像方法を適用してカラー受像管のフ
ェースプレート内面にフィルター付き蛍光体層を形成す
る場合の緑色顔料層の形成工程を示す図

【図３】本発明の現像方法を適用してカラー受像管のフ
ェースプレート内面にフィルター付き蛍光体層を形成す
る場合の赤色顔料層の形成工程を示す図

【図４】本発明に係る現像液供給機構を説明するための
斜視図

【図５】本発明に係る現像方法を説明するための斜視図

【符号の説明】

１……フェースプレート３……青色顔料層４、７……レジスト層６……緑色顔料層８……赤色顔料層９……青色蛍光体層１０……緑色蛍光体層１１……赤色蛍光体層２１……ノズル２２……現像液

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ほぼ水平に設置したカラー受像管のフェ
ースプレート面に形成された被現像物に、ノズルを揺動
しながらこのノズルから上向きに現像液を吹き付けて現
像を行うことを特徴とするカラー受像管の蛍光面の現像
方法。