JP2000223019A - カラーフィルターの形成方法 - Google Patents
カラーフィルターの形成方法Info
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- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 カラー陰極線管等のフィルター層の膜むらや
混色をなくし、ユニフォミティ劣化のない高輝度・高コ
ントラストの表示が得られるカラーフィルターの形成方
法を提供する。 【解決手段】 本発明では、最後に形成する１色のフィ
ルター層の形成工程が、他色のフォトレジスト層５上を
含むパネル１内面に、最終色の顔料層を形成する工程
と、フォトレジスト層５を剥離して、この層上に形成さ
れた最終色の顔料層を除去する工程とを備えたカラーフ
ィルターの形成方法において、フォトレジスト層５の大
きさを、それぞれのパターンの周端部が、隣接する最終
色のフィルター層の形成予定部（ホール）の周端部か
ら、15〜40μm 離れた位置を占めるような大きさとす
る。
混色をなくし、ユニフォミティ劣化のない高輝度・高コ
ントラストの表示が得られるカラーフィルターの形成方
法を提供する。 【解決手段】 本発明では、最後に形成する１色のフィ
ルター層の形成工程が、他色のフォトレジスト層５上を
含むパネル１内面に、最終色の顔料層を形成する工程
と、フォトレジスト層５を剥離して、この層上に形成さ
れた最終色の顔料層を除去する工程とを備えたカラーフ
ィルターの形成方法において、フォトレジスト層５の大
きさを、それぞれのパターンの周端部が、隣接する最終
色のフィルター層の形成予定部（ホール）の周端部か
ら、15〜40μm 離れた位置を占めるような大きさとす
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、カラーフィルター
の形成方法に係わり、特にカラー陰極線管などのフェー
スパネルの内面にカラーフィルターを形成する方法に関
する。
の形成方法に係わり、特にカラー陰極線管などのフェー
スパネルの内面にカラーフィルターを形成する方法に関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、カラー陰極線管において、フ
ェースプレートのパネル（フェースパネル）内面の蛍光
体層との間に、蛍光体の発光色に対応した各色のフィル
ター層を設けて、カラーフィルター付き蛍光体層とする
ことが知られている。
ェースプレートのパネル（フェースパネル）内面の蛍光
体層との間に、蛍光体の発光色に対応した各色のフィル
ター層を設けて、カラーフィルター付き蛍光体層とする
ことが知られている。
【０００３】すなわち、カラー陰極線管のパネルの内面
には、青（Ｂ）、緑（Ｇ）、赤（Ｒ）の各色のドット状
やストライプ状の蛍光体層が形成され、この蛍光体層に
電子ビームが衝突し、蛍光体が各色に発光することによ
り、画像表示がなされている。カラーフィルター付き蛍
光体層は、パネルと蛍光体層との間に、蛍光体層の発光
色と同色の光を透過する各色のフィルター層から構成さ
れるフィルターパターンを設けたもので、入射した外光
のうち、緑色や青色成分の光は赤色のフィルター層で、
緑色や赤色成分の光は青色のフィルター層で、青色や赤
色成分の光は緑色のフィルター層でそれぞれ吸収させ、
コントラストや色純度等の画像特性を向上させようとす
るものである。
には、青（Ｂ）、緑（Ｇ）、赤（Ｒ）の各色のドット状
やストライプ状の蛍光体層が形成され、この蛍光体層に
電子ビームが衝突し、蛍光体が各色に発光することによ
り、画像表示がなされている。カラーフィルター付き蛍
光体層は、パネルと蛍光体層との間に、蛍光体層の発光
色と同色の光を透過する各色のフィルター層から構成さ
れるフィルターパターンを設けたもので、入射した外光
のうち、緑色や青色成分の光は赤色のフィルター層で、
緑色や赤色成分の光は青色のフィルター層で、青色や赤
色成分の光は緑色のフィルター層でそれぞれ吸収させ、
コントラストや色純度等の画像特性を向上させようとす
るものである。
【０００４】このようなカラーフィルターを形成するに
は、ガラスパネルの内面に顔料分散液を塗布して顔料層
を形成した後、その上にフォトレジスト液を塗布し、露
光し次いで現像を行なうことで、パターニングする方法
が採られている。このとき、顔料層のパターンとして残
すべき箇所には、ガラスパネルとの付着性が要求され、
それ以外の箇所にはパネルからの剥離性が要求される。
また、顔料層には透明性が必要とされ、顔料粒子が凝集
することなく均一に分散していることも要求される。
は、ガラスパネルの内面に顔料分散液を塗布して顔料層
を形成した後、その上にフォトレジスト液を塗布し、露
光し次いで現像を行なうことで、パターニングする方法
が採られている。このとき、顔料層のパターンとして残
すべき箇所には、ガラスパネルとの付着性が要求され、
それ以外の箇所にはパネルからの剥離性が要求される。
また、顔料層には透明性が必要とされ、顔料粒子が凝集
することなく均一に分散していることも要求される。
【０００５】また、従来からカラーフィルターの形成で
は、生産性の向上などを目的として、以下に示す方法も
行なわれている。例えば、青色および緑色のフィルター
層の形成では、前記したように顔料層を形成し、その上
にフォトレジスト液を塗布した後、露光次いで現像を行
なうことで、青色および緑色のフィルターパターンを順
に形成する。次いで、パネル内面全体に赤色顔料層を形
成した後、フォトレジスト液の塗布および露光・現像を
行なうことなく、上層に積層・形成された赤色顔料層ご
と、青色および緑色のフィルター層上に形成されたフォ
トレジスト層のパターンを剥離することにより、赤色の
フィルター層を形成する。
は、生産性の向上などを目的として、以下に示す方法も
行なわれている。例えば、青色および緑色のフィルター
層の形成では、前記したように顔料層を形成し、その上
にフォトレジスト液を塗布した後、露光次いで現像を行
なうことで、青色および緑色のフィルターパターンを順
に形成する。次いで、パネル内面全体に赤色顔料層を形
成した後、フォトレジスト液の塗布および露光・現像を
行なうことなく、上層に積層・形成された赤色顔料層ご
と、青色および緑色のフィルター層上に形成されたフォ
トレジスト層のパターンを剥離することにより、赤色の
フィルター層を形成する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなカラーフィルターの形成方法においては、青色およ
び緑色のフィルター層上に設けられたフォトレジスト層
のパターンの大きさを設定することが難しく、このパタ
ーンのサイズによっては、最後に形成する最終色（赤
色）のフィルター層に、膜むら（膜厚の不均一）や混色
のような欠点が生じるおそれがあった。
うなカラーフィルターの形成方法においては、青色およ
び緑色のフィルター層上に設けられたフォトレジスト層
のパターンの大きさを設定することが難しく、このパタ
ーンのサイズによっては、最後に形成する最終色（赤
色）のフィルター層に、膜むら（膜厚の不均一）や混色
のような欠点が生じるおそれがあった。
【０００７】そして、このような欠点を有するフィルタ
ー付き蛍光面を備えたカラー陰極線管では、ボディカラ
ーの不適切や輝度むら、ホワイトユニフォミティの低
下、外観不良やカラーフィルターの濃淡の不均一、コン
トラストの低下等が生じやすいという問題があった。
ー付き蛍光面を備えたカラー陰極線管では、ボディカラ
ーの不適切や輝度むら、ホワイトユニフォミティの低
下、外観不良やカラーフィルターの濃淡の不均一、コン
トラストの低下等が生じやすいという問題があった。
【０００８】本発明は、これらの問題を解決するために
なされたもので、カラー陰極線管等のフィルター層の膜
むらや混色をなくし、ユニフォミティ劣化のない高輝度
・高コントラストの表示が得られるカラーフィルターの
形成方法を提供することを目的とする。
なされたもので、カラー陰極線管等のフィルター層の膜
むらや混色をなくし、ユニフォミティ劣化のない高輝度
・高コントラストの表示が得られるカラーフィルターの
形成方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明のカラーフィルタ
ーの形成方法は、パネルの内面に複数色のフィルター層
を所定のパターンで配列したカラーフィルターを形成す
るにあたり、最後に形成する１色を除く残りの各色のフ
ィルター層の形成工程が、前記パネルの内面に顔料層を
形成する工程と、前記顔料層の上に、前記パターンを有
するフォトレジスト層を形成する工程とを備え、最後に
形成する最終色のフィルター層の形成工程が、他色のフ
ィルター層上に形成された前記フォトレジスト層上を含
む前記パネルの内面に、該最終色の顔料層を形成する工
程と、前記フォトレジスト層を剥離して、その上に形成
された前記最終色の顔料層を除去する工程とを備えたカ
ラーフィルターの形成方法において、前記フォトレジス
ト層が、その周端縁が、隣接する前記最終色のフィルタ
ー層の形成予定部の周端縁から、15〜40μm 離れた位置
を占めるような大きさを有することを特徴とする。
ーの形成方法は、パネルの内面に複数色のフィルター層
を所定のパターンで配列したカラーフィルターを形成す
るにあたり、最後に形成する１色を除く残りの各色のフ
ィルター層の形成工程が、前記パネルの内面に顔料層を
形成する工程と、前記顔料層の上に、前記パターンを有
するフォトレジスト層を形成する工程とを備え、最後に
形成する最終色のフィルター層の形成工程が、他色のフ
ィルター層上に形成された前記フォトレジスト層上を含
む前記パネルの内面に、該最終色の顔料層を形成する工
程と、前記フォトレジスト層を剥離して、その上に形成
された前記最終色の顔料層を除去する工程とを備えたカ
ラーフィルターの形成方法において、前記フォトレジス
ト層が、その周端縁が、隣接する前記最終色のフィルタ
ー層の形成予定部の周端縁から、15〜40μm 離れた位置
を占めるような大きさを有することを特徴とする。
【００１０】本発明において、最終色を除く各色（例え
ば、青色）のフィルター層の形成工程で、図１に示すよ
うに、現像後のフォトレジスト層１０の大きさを、それ
ぞれのパターンの周端縁の、隣接する最終色（例えば、
赤色）のフィルター層の形成予定部（ホール）２０の周
端縁からの距離ａが、15〜40μm となるような大きさと
したのは、以下に示す理由による。
ば、青色）のフィルター層の形成工程で、図１に示すよ
うに、現像後のフォトレジスト層１０の大きさを、それ
ぞれのパターンの周端縁の、隣接する最終色（例えば、
赤色）のフィルター層の形成予定部（ホール）２０の周
端縁からの距離ａが、15〜40μm となるような大きさと
したのは、以下に示す理由による。
【００１１】なお、図では、青、緑、赤の各色のフィル
ター層の形成予定部（ホール）２０を、Ｂ、Ｇ、Ｒでそ
れぞれ示した。また、図中ｌは、隣接する２つのフィル
ター層の形成予定部（ホール）２０の間隔を示し、通常
40〜52μm となっている。
ター層の形成予定部（ホール）２０を、Ｂ、Ｇ、Ｒでそ
れぞれ示した。また、図中ｌは、隣接する２つのフィル
ター層の形成予定部（ホール）２０の間隔を示し、通常
40〜52μm となっている。
【００１２】すなわち、フォトレジスト層１０のパター
ンの周端部が、隣接する最終色のフィルター層の形成予
定部（ホール）２０の周端部から、15μm 未満と、極め
て近接した位置まで広がっている場合には、最終色のフ
ィルター層の形成工程において、顔料の塗膜が、既に形
成されたフォトレジスト層のパターンによりはじかれ
る。そのため、均一な厚さの塗膜（顔料層）を形成する
ことができず、最終色のフィルター層に部分的な色むら
が生じ、これが、パネルのフェース面から見た場合に、
部分的な輝度むらの発生やホワイトユニフォミティの低
下につながる。
ンの周端部が、隣接する最終色のフィルター層の形成予
定部（ホール）２０の周端部から、15μm 未満と、極め
て近接した位置まで広がっている場合には、最終色のフ
ィルター層の形成工程において、顔料の塗膜が、既に形
成されたフォトレジスト層のパターンによりはじかれ
る。そのため、均一な厚さの塗膜（顔料層）を形成する
ことができず、最終色のフィルター層に部分的な色むら
が生じ、これが、パネルのフェース面から見た場合に、
部分的な輝度むらの発生やホワイトユニフォミティの低
下につながる。
【００１３】また、フォトレジスト層１０のパターンの
周端部が、隣接する最終色のフィルター層の形成予定部
（ホール）２０から40μm 以上離れた位置にある場合に
は、このフォトレジスト層１０が、自色のフィルター層
をかろうじて覆う大きさとなる。そして、このような場
合には、フォトレジスト層を剥離する工程で、このフォ
トレジスト層上に形成された最終色の顔料層を、完全に
除去しきることができずに残してしまい、フィルター層
が混色するおそれがあった。
周端部が、隣接する最終色のフィルター層の形成予定部
（ホール）２０から40μm 以上離れた位置にある場合に
は、このフォトレジスト層１０が、自色のフィルター層
をかろうじて覆う大きさとなる。そして、このような場
合には、フォトレジスト層を剥離する工程で、このフォ
トレジスト層上に形成された最終色の顔料層を、完全に
除去しきることができずに残してしまい、フィルター層
が混色するおそれがあった。
【００１４】したがって、本発明においては、現像後の
フォトレジスト層１０の大きさを、それぞれのパターン
の周端部が、隣接する最終色のフィルター層の形成予定
部（ホール）２０の周端部から、15〜40μm の距離とな
るような大きさにすることにより、フィルター層の剥が
れや混色、膜むら（膜厚の不均一）をなくし、ホワイト
ユニフォミティが良好で高輝度・高コントラストの蛍光
面を得ることができる。
フォトレジスト層１０の大きさを、それぞれのパターン
の周端部が、隣接する最終色のフィルター層の形成予定
部（ホール）２０の周端部から、15〜40μm の距離とな
るような大きさにすることにより、フィルター層の剥が
れや混色、膜むら（膜厚の不均一）をなくし、ホワイト
ユニフォミティが良好で高輝度・高コントラストの蛍光
面を得ることができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施例について説明する。
施例について説明する。
【００１６】実施例 図２は、本発明のカラーフィルターの形成方法の実施例
の工程を示す図であり、図３は、実施例の各工程でのパ
ネル面の断面図である。まず、図２のＡ〜Ｇの工程で、
青色のフィルターパターンを形成し、次に同様にしてＡ
〜Ｇの工程を繰り返すことにより、緑色のフィルターパ
ターンを形成する。その後、Ｈ〜Ｊの工程を経て、赤色
のフィルターパターンを形成する。
の工程を示す図であり、図３は、実施例の各工程でのパ
ネル面の断面図である。まず、図２のＡ〜Ｇの工程で、
青色のフィルターパターンを形成し、次に同様にしてＡ
〜Ｇの工程を繰り返すことにより、緑色のフィルターパ
ターンを形成する。その後、Ｈ〜Ｊの工程を経て、赤色
のフィルターパターンを形成する。
【００１７】まず、図３（ａ）に示すように、カラー陰
極線管のガラスパネル１の内面に、ブラックマトリクス
として所定のパターンの黒色層２を、公知の方法で形成
した。すなわち、パネル１の内面にフォトレジスト層を
形成し、シャドウマスクを介して露光した後、現像・乾
燥して、顔料層および蛍光体層の形成予定部にドット状
の光硬化膜を残留させた。次いで、その上の全面に、黒
鉛のような光吸収物質を塗布して結着させた後、過酸化
水素水で洗浄して光硬化膜を溶解することにより、その
上の光吸収物質の層を除去し、顔料層および蛍光体層の
形成予定部となるホールを露出させて、パターニングさ
れた黒色層２を形成した。
極線管のガラスパネル１の内面に、ブラックマトリクス
として所定のパターンの黒色層２を、公知の方法で形成
した。すなわち、パネル１の内面にフォトレジスト層を
形成し、シャドウマスクを介して露光した後、現像・乾
燥して、顔料層および蛍光体層の形成予定部にドット状
の光硬化膜を残留させた。次いで、その上の全面に、黒
鉛のような光吸収物質を塗布して結着させた後、過酸化
水素水で洗浄して光硬化膜を溶解することにより、その
上の光吸収物質の層を除去し、顔料層および蛍光体層の
形成予定部となるホールを露出させて、パターニングさ
れた黒色層２を形成した。
【００１８】次に、青、緑、赤の各色のフィルター層を
形成するための顔料分散液として、次の組成のものをそ
れぞれ準備した。青顔料分散液は、青顔料粒子としてア
ルミン酸コバルト（Ａｌ2 Ｏ3 −ＣｏＯ）（商品名コバ
ルトブルーX 、東洋顔料社製：粒子径0.01〜0.02μm ）
を30重量%(wt%)、高分子電解質としてアクリル酸共重合
体のアンモニウム塩（商品名ディスペック GA-40、アラ
イド・コロイド社製）を0.7wt%の割合で、それぞれ純水
中に分散させて調製した。このとき、高分子電解質濃度
／顔料濃度は 0.023となっている。
形成するための顔料分散液として、次の組成のものをそ
れぞれ準備した。青顔料分散液は、青顔料粒子としてア
ルミン酸コバルト（Ａｌ2 Ｏ3 −ＣｏＯ）（商品名コバ
ルトブルーX 、東洋顔料社製：粒子径0.01〜0.02μm ）
を30重量%(wt%)、高分子電解質としてアクリル酸共重合
体のアンモニウム塩（商品名ディスペック GA-40、アラ
イド・コロイド社製）を0.7wt%の割合で、それぞれ純水
中に分散させて調製した。このとき、高分子電解質濃度
／顔料濃度は 0.023となっている。
【００１９】緑顔料分散液は、緑顔料粒子としてＴｉＯ
2 −ＮｉＯ−ＣｏＯ−ＺｎＯ（商品名ダイピロキサイド
TMグリーン＃3320、大日精化社製：粒子径0.01〜0.02μ
m ）を 30wt%、高分子電解質としてアクリル酸共重合体
のアンモニウム塩（商品名ディスペックGA-40 ）を0.7w
t%の割合で、、それぞれ純水中に分散させて調製した。
このとき、高分子電解質濃度／顔料濃度比は 0.023とな
っている。
2 −ＮｉＯ−ＣｏＯ−ＺｎＯ（商品名ダイピロキサイド
TMグリーン＃3320、大日精化社製：粒子径0.01〜0.02μ
m ）を 30wt%、高分子電解質としてアクリル酸共重合体
のアンモニウム塩（商品名ディスペックGA-40 ）を0.7w
t%の割合で、、それぞれ純水中に分散させて調製した。
このとき、高分子電解質濃度／顔料濃度比は 0.023とな
っている。
【００２０】赤顔料分散液は、赤顔料粒子としてＦｅ2
Ｏ3 の微粒子（粒子径0.01〜0.02μm ）を 20wt%、高分
子電解質として、ポリオキシエチレンアルキルエーテル
サルフェートのアンモニウム塩（商品名ハイテノール0
8、第一工業製薬株式会社製）を0.7wt%の割合で、それ
ぞれ純水中に分散させて調製した。このとき、高分子電
解質濃度／顔料濃度は 0.035となっている。
Ｏ3 の微粒子（粒子径0.01〜0.02μm ）を 20wt%、高分
子電解質として、ポリオキシエチレンアルキルエーテル
サルフェートのアンモニウム塩（商品名ハイテノール0
8、第一工業製薬株式会社製）を0.7wt%の割合で、それ
ぞれ純水中に分散させて調製した。このとき、高分子電
解質濃度／顔料濃度は 0.035となっている。
【００２１】顔料分散液の塗布工程Αおよび乾燥工程Ｂ
は、それぞれ以下に示す方法で行なった。まず、基板と
してのカラー陰極線管のパネル（図３のパネル１）を温
度30℃に保持して、前記した青顔料分散液を塗布した。
次いで、パネル１を 100〜150rpmで回転させ、過剰の顔
料分散液を振り切り、一定膜厚を有する塗布層とした
後、ヒーター温度 120℃で 3〜 4分間加熱乾燥し、図３
（ｂ）に示すように、青顔料層３Ｂを形成した。
は、それぞれ以下に示す方法で行なった。まず、基板と
してのカラー陰極線管のパネル（図３のパネル１）を温
度30℃に保持して、前記した青顔料分散液を塗布した。
次いで、パネル１を 100〜150rpmで回転させ、過剰の顔
料分散液を振り切り、一定膜厚を有する塗布層とした
後、ヒーター温度 120℃で 3〜 4分間加熱乾燥し、図３
（ｂ）に示すように、青顔料層３Ｂを形成した。
【００２２】次に、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）を
3wt%、重クロム酸アンモニウム（ＡＤＣ）を0.2wt%、界
面活性剤を0.01wt% 、残部を純水として、フォトレジス
ト液を調製した。そして、調製されたフォトレジスト液
を、レジスト塗布工程Ｃおよび乾燥工程Ｄで、前記した
顔料分散液と同様の方法で塗布・乾燥して、青色顔料層
３Ｂの上にレジスト塗布層４を積層・形成した。
3wt%、重クロム酸アンモニウム（ＡＤＣ）を0.2wt%、界
面活性剤を0.01wt% 、残部を純水として、フォトレジス
ト液を調製した。そして、調製されたフォトレジスト液
を、レジスト塗布工程Ｃおよび乾燥工程Ｄで、前記した
顔料分散液と同様の方法で塗布・乾燥して、青色顔料層
３Ｂの上にレジスト塗布層４を積層・形成した。
【００２３】次いで、パターン露光工程Ｅで、図３
（ｃ）に示すように、図示しないシャドウマスクを介
し、高圧水銀灯を用いて紫外線を照射して、レジスト塗
布層４を所定のパターンに露光した後、以下に示す方法
で、現像工程Ｆおよび乾燥工程Ｇを順に行なった。すな
わち、霧状にした現像液、例えばＮａＣＯ3 を含有する
ｐＨ9 のアルカリ水溶液を、現像液圧 2〜 10kg/cm2
でスプレイすることにより現像した後、乾燥して、図３
（ｄ）に示すように、青顔料層３Ｂとフォトレジスト層
５とが積層した円形ドット状のパターンを形成した。
（ｃ）に示すように、図示しないシャドウマスクを介
し、高圧水銀灯を用いて紫外線を照射して、レジスト塗
布層４を所定のパターンに露光した後、以下に示す方法
で、現像工程Ｆおよび乾燥工程Ｇを順に行なった。すな
わち、霧状にした現像液、例えばＮａＣＯ3 を含有する
ｐＨ9 のアルカリ水溶液を、現像液圧 2〜 10kg/cm2
でスプレイすることにより現像した後、乾燥して、図３
（ｄ）に示すように、青顔料層３Ｂとフォトレジスト層
５とが積層した円形ドット状のパターンを形成した。
【００２４】次に、このような青顔料層３Ｂの形成と同
様にして、緑顔料層３Ｇを形成した（図３（ｅ））。こ
のとき現像液としては、ＮａＣＯ3 を含有するアルカリ
水溶液を用いた。
様にして、緑顔料層３Ｇを形成した（図３（ｅ））。こ
のとき現像液としては、ＮａＣＯ3 を含有するアルカリ
水溶液を用いた。
【００２５】なお、実施例では、青顔料層３Ｂおよび緑
顔料層３Ｇの上にそれぞれ積層・形成された現像済みの
フォトレジスト層５の大きさを、それぞれのパターンの
周端部が、隣接する最終色（赤色）のフィルター層の形
成予定部（ホール）の周端部から、15〜40μm の距離と
なるような大きさとした。
顔料層３Ｇの上にそれぞれ積層・形成された現像済みの
フォトレジスト層５の大きさを、それぞれのパターンの
周端部が、隣接する最終色（赤色）のフィルター層の形
成予定部（ホール）の周端部から、15〜40μm の距離と
なるような大きさとした。
【００２６】次に、赤顔料分散液の塗布工程Ｈおよび乾
燥工程Ｉで、図３（ｅ）に示すように、赤顔料分散液を
パネル内面の全体に塗布し乾燥した後、フォトレジスト
層５の剥離工程Ｊで、青顔料層３Ｂおよび緑顔料層３Ｇ
上に形成された赤顔料層３Ｒを、フォトレジスト層５ご
と取り去ることにより、赤顔科層３Ｒを形成した。
燥工程Ｉで、図３（ｅ）に示すように、赤顔料分散液を
パネル内面の全体に塗布し乾燥した後、フォトレジスト
層５の剥離工程Ｊで、青顔料層３Ｂおよび緑顔料層３Ｇ
上に形成された赤顔料層３Ｒを、フォトレジスト層５ご
と取り去ることにより、赤顔科層３Ｒを形成した。
【００２７】こうして、図３（ｆ）に示すように、パネ
ル１内面に、青顔料層３Ｂ、緑顔料層３Ｇ、赤顔料層３
Ｒからなるフィルターパターンを形成した。形成された
フィルターパターンでは、赤顔料層３Ｒに色むらがな
く、かつ青顔料層３Ｂや緑顔料層３Ｇの上に赤顔料層３
Ｒが混色することもなかった。
ル１内面に、青顔料層３Ｂ、緑顔料層３Ｇ、赤顔料層３
Ｒからなるフィルターパターンを形成した。形成された
フィルターパターンでは、赤顔料層３Ｒに色むらがな
く、かつ青顔料層３Ｂや緑顔料層３Ｇの上に赤顔料層３
Ｒが混色することもなかった。
【００２８】次に、こうして形成されたカラーフィルタ
ーの上に、図３（ｇ）に示すように、青顔料層３Ｂの上
に青蛍光体層６Ｂを、緑顔料層３Ｇの上に緑蛍光体層６
Ｇを、赤顔料層３Ｒの上に赤蛍光体層６Ｒを、それぞれ
通常のスラリー法により順に形成した。
ーの上に、図３（ｇ）に示すように、青顔料層３Ｂの上
に青蛍光体層６Ｂを、緑顔料層３Ｇの上に緑蛍光体層６
Ｇを、赤顔料層３Ｒの上に赤蛍光体層６Ｒを、それぞれ
通常のスラリー法により順に形成した。
【００２９】なお、蛍光体スラリー（懸濁液）として
は、以下のものを用いた。すなわち、青色蛍光体スラリ
ーとしては、青色蛍光体（ＺｎＳ：Ａｇ，Ａ１）100gと
ＰＶＡ5g、ＡＤＣ 0.30g、界面活性剤 0.01g、純水140g
を混合撹拌して調製したものを使用した。緑色蛍光体ス
ラリーとしては、緑色蛍光体（ＺｎＳ：Ｃｕ，Ａｌ）10
0gと、ＰＶＡ8g、ＡＤＣ 0.40g、界面活性剤 0.01g、純
水160gを混合撹拌して調製したものを使用した。さら
に、赤色蛍光体スラリーとしては、赤色蛍光体（Ｙ2 Ｏ
2 Ｓ：Ｅｕ）100gと、ＰＶＡ 10g、ＡＤＣ 0.50g、界面
活性剤 0.01g、純水190gを混合撹拌して調製したものを
使用した。
は、以下のものを用いた。すなわち、青色蛍光体スラリ
ーとしては、青色蛍光体（ＺｎＳ：Ａｇ，Ａ１）100gと
ＰＶＡ5g、ＡＤＣ 0.30g、界面活性剤 0.01g、純水140g
を混合撹拌して調製したものを使用した。緑色蛍光体ス
ラリーとしては、緑色蛍光体（ＺｎＳ：Ｃｕ，Ａｌ）10
0gと、ＰＶＡ8g、ＡＤＣ 0.40g、界面活性剤 0.01g、純
水160gを混合撹拌して調製したものを使用した。さら
に、赤色蛍光体スラリーとしては、赤色蛍光体（Ｙ2 Ｏ
2 Ｓ：Ｅｕ）100gと、ＰＶＡ 10g、ＡＤＣ 0.50g、界面
活性剤 0.01g、純水190gを混合撹拌して調製したものを
使用した。
【００３０】こうして、パネル１内面に、青、緑、赤色
の顔料層３Ｂ、３Ｇ、３Ｒおよび蛍光体層６Ｂ、６Ｇ、
６Ｒがそれぞれ所定のパターンで形成された、フィルタ
ー付き蛍光面が得られた。そして、得られた蛍光面にお
いては、フィルター層の剥がれや混色、膜むら（膜厚の
不均一）等がなく、ホワイトユニフォミティ品位が良好
で高コントラストの表示が実現された。
の顔料層３Ｂ、３Ｇ、３Ｒおよび蛍光体層６Ｂ、６Ｇ、
６Ｒがそれぞれ所定のパターンで形成された、フィルタ
ー付き蛍光面が得られた。そして、得られた蛍光面にお
いては、フィルター層の剥がれや混色、膜むら（膜厚の
不均一）等がなく、ホワイトユニフォミティ品位が良好
で高コントラストの表示が実現された。
【００３１】なお、以上の実施例では、本発明をカラー
陰極線管におけるカラーフィルターの形成に用いた例に
ついて説明したが、陰極線管に限らず、プラズマディス
プレイパネル（ＰＤＰ）や液晶表示装置のような表示装
置のカラーフィルター形成に、適用することも可能であ
る。
陰極線管におけるカラーフィルターの形成に用いた例に
ついて説明したが、陰極線管に限らず、プラズマディス
プレイパネル（ＰＤＰ）や液晶表示装置のような表示装
置のカラーフィルター形成に、適用することも可能であ
る。
【００３２】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
のカラーフィルターの形成方法によれば、現像後のフォ
トレジスト層の大きさを、それぞれのパターンの周端部
が、隣接する最終色のフィルター層の形成予定部（ホー
ル）の周端部から、15〜40μmの距離となるような大き
さとすることにより、フィルター層の剥がれや混色、膜
むら（膜厚の不均一）をなくし、ホワイトユニフォミテ
ィが良好で高輝度・高コントラストの蛍光面を得ること
ができる。
のカラーフィルターの形成方法によれば、現像後のフォ
トレジスト層の大きさを、それぞれのパターンの周端部
が、隣接する最終色のフィルター層の形成予定部（ホー
ル）の周端部から、15〜40μmの距離となるような大き
さとすることにより、フィルター層の剥がれや混色、膜
むら（膜厚の不均一）をなくし、ホワイトユニフォミテ
ィが良好で高輝度・高コントラストの蛍光面を得ること
ができる。
【図１】フィルター層の形成予定部（ホール）とフォト
レジスト層との位置関係を模式的に示す平面図。
レジスト層との位置関係を模式的に示す平面図。
【図２】本発明の実施例の流れを示す工程図。
【図３】実施例の各工程におけるパネル面の断面図。
１………パネル ２………黒色層 ３Ｂ………青顔料層 ３Ｇ………緑顔料層 ３Ｒ………赤顔料層 ５………フォトレジスト層 ６Ｂ………青蛍光体層 ６Ｇ………緑蛍光体層 ６Ｒ………赤蛍光体層
Claims (4)
- 【請求項１】 パネルの内面に複数色のフィルター層を
所定のパターンで配列したカラーフィルターを形成する
にあたり、 最後に形成する１色を除く残りの各色のフィルター層の
形成工程が、前記パネルの内面に顔料層を形成する工程
と、前記顔料層の上に、前記パターンを有するフォトレ
ジスト層を形成する工程とを備え、 最後に形成する最終色のフィルター層の形成工程が、他
色のフィルター層上に形成された前記フォトレジスト層
上を含む前記パネルの内面に、該最終色の顔料層を形成
する工程と、前記フォトレジスト層を剥離して、その上
に形成された前記最終色の顔料層を除去する工程とを備
えたカラーフィルターの形成方法において、 前記フォトレジスト層が、その周端縁が、隣接する前記
最終色のフィルター層の形成予定部の周端縁から、15〜
40μm 離れた位置を占めるような大きさを有することを
特徴とするカラーフィルターの形成方法。 - 【請求項２】 前記複数色のフィルター層が、青、緑、
赤の３色のフィルター層であり、青色のフィルター層の
形成と緑色のフィルター層の形成とを順に行なった後、
最終色である赤色のフィルター層の形成を行なうことを
特徴とする請求項１記載のカラーフィルターの形成方
法。 - 【請求項３】 前記フォトレジスト層が、円形ドット状
のパターンを有することを特徴とする請求項１または２
記載のカラーフィルターの形成方法。 - 【請求項４】 前記複数色のフィルター層を、陰極線管
のフェースパネル内面で蛍光体層との間に形成すること
を特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載のカラ
ーフィルターの形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2413999A JP2000223019A (ja) | 1999-02-01 | 1999-02-01 | カラーフィルターの形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2413999A JP2000223019A (ja) | 1999-02-01 | 1999-02-01 | カラーフィルターの形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000223019A true JP2000223019A (ja) | 2000-08-11 |
Family
ID=12129998
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2413999A Withdrawn JP2000223019A (ja) | 1999-02-01 | 1999-02-01 | カラーフィルターの形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000223019A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003107378A1 (en) * | 2002-06-12 | 2003-12-24 | Thomson Licensing S.A. | Method of manufacturing a color filter cathode ray tube (crt) |
-
1999
- 1999-02-01 JP JP2413999A patent/JP2000223019A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003107378A1 (en) * | 2002-06-12 | 2003-12-24 | Thomson Licensing S.A. | Method of manufacturing a color filter cathode ray tube (crt) |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20060404 |