JPH10232143A - 位置測定装置 - Google Patents

位置測定装置

Info

Publication number
JPH10232143A
JPH10232143A JP9346745A JP34674597A JPH10232143A JP H10232143 A JPH10232143 A JP H10232143A JP 9346745 A JP9346745 A JP 9346745A JP 34674597 A JP34674597 A JP 34674597A JP H10232143 A JPH10232143 A JP H10232143A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
scanning
measuring device
characteristic curve
measuring
scale
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP9346745A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4178426B2 (ja
Inventor
Alfons Spies
アルフオンス・シユピース
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Original Assignee
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dr Johannes Heidenhain GmbH filed Critical Dr Johannes Heidenhain GmbH
Publication of JPH10232143A publication Critical patent/JPH10232143A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4178426B2 publication Critical patent/JP4178426B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/142—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
    • G01D5/145—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices influenced by the relative movement between the Hall device and magnetic fields

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、走査距離について
比較的大きな公差でもできる限り歪みのない出力信号を
供給する位置測定装置を提供することを課題とする。 【解決手段】 測定尺１とこれに対して相
対的に移動可能な走査要素２ａ〜２ｄとを備え、走査要
素を介して相対運動の際に位置に依存した強度変調され
た出力信号Ｓ1 、Ｓ 2が発生可能で、出力信号は後続の
電子制御装置４に供給され、その際 −走査要素２ａ〜２ｄは両側で少なくとも部分的に、近
似的にリニアーな作動領域にそれぞれ隣接した飽和領域
を有する作業特性曲線を有し、入力信号の変化の際でも
実質的に変更された出力信号は生じることがなく、 −測定尺１と走査要素２ａ〜２ｄとの間の距離は、全測
定領域に亘って作動特性曲線の飽和領域にある最大入力
信号の間の制御が行われるように選択され、 −走査要素２ａ〜２ｄは、出力信号からの少なくとも第
３高調波の濾波が保証されることを特徴とする前記位置
測定装置。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、測定尺走査の際に
１つ又は複数の走査要素によって位置に依存する出力信
号が発生する位置測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】本発明の基礎とする問題の続いての説明
は磁気的位置測定装置の例で行われる。しかし基本的に
は類似の問題は他の物理的走査原理に基づく位置測定装
置、例えば光学的、誘導的又は容量的位置測定装置でも
生じる。磁気的位置測定装置の場合、磁気的測定尺目盛
の走査のために種々の磁界感能走査要素が使用される。
例えばホ−ル要素のような磁気抵抗要素が好適である。
この要素によってインクリメンタル測定装置の場合に各
要素に対して相対的に移動可能に配設された測定尺目盛
の周期的磁化部が走査される。その際周期的磁化部は交
互に配設された磁気的Ｎ極及びＳ極から成る。出力側で
は走査要素は測定尺目盛と走査要素の相対移動の際に、
公知の方法で処理されることができる周期的に変調され
た信号を供給する。インクリメンタル測定装置におい
て、一般に少なくとも1 対の位相のずれた出力信号
Ｓ1 、Ｓ 2が発生され、位相差は９０°である。出力信
号Ｓ1 、Ｓ 2に関して、出力信号Ｓ1 、Ｓ 2が公知の電
子制御装置又は評価装置で処理されるべき場合に、一連
の要求が生じる。一般に電子制御装置はできる限り正弦
曲線の出力信号を前提とする、そのわけは理想的な正弦
曲線の場合にみの信号の許容される分割又は信号の補間
が可能であるからである。更に９０°位相のずれた両信
号Ｓ1 、Ｓ 2は信号周期内でそれぞれできる限り等しい
振幅を有するべきである。リサージュの図形による信号
曲線のたの要求として、供給される出力信号Ｓ 1 、Ｓ 2
の最大振幅が、例えば磁気的測定尺目盛と使用される走
査要素との間の走査距離が変化する場合でも、できる限
り小さい変動しか受けないようにされることができる。
公知の磁気的測定装置における信号品質に関する総合的
な問題は、次に図１（ａ）、（ｂ）、図２（ａ）及び
（ｂ）に記載されている。図１（ａ）は、中央の放物線
領域と放物線領域に隣接する区間される飽和領域とから
成る、磁界感度走査要素、例えば磁気抵抗要素を示す。
その際検出される磁界強度に対する抵抗変化が表示さ
れ、即ち走査要素の入力信号として検出された磁界強度
が使用され、出力信号として所定の抵抗変化が得られ
る。図中更に作動曲線の互いに比較されるべき３つの制
御領域又は作動領域ａ、ｂ及びｃが表されている。これ
らの制御領域ａ、ｂ及びｃは、相異なる磁気的最大磁界
強度又は入力信号に相応し、これらの制御領域の間で走
査要素が運転され、即ち相異なる制御領域ａ、ｂ及びｃ
が走査要素と磁気的測定尺目盛との間の相異なる走査距
離を示す。最も僅かな最大磁場の強さを有する領域ａ
は、最大の走査距離を示し、一方領域ｃは最小の走査距
離を示す。選択された全ての制御領域はこの場合によっ
て走査要素の又は複数のこの種の走査要素の作動特性曲
線の放物線の部分に位置する。
【０００３】図１（ｂ）において、合成されたリサージ
ュの図形が示されており、リサージュの図形は作動特性
曲線における放物線部分の相異なる距離領域ａ、ｂ及び
ｃにおける９０°位相のずれた２つの正弦−及び余弦曲
線出力信号Ｓ1 、Ｓ 2について得られる。その際一方で
は、作動特性曲線の放物線領域において円形のリサージ
ュの図形が生じることが保証されることが認められる。
従って位相のずれた両出力信号Ｓ1 、Ｓ 2の信号振幅は
それぞれ等しい。他方では図１（ｂ）に基づいて、距離
領域ａ及びｃにおける最大信号振幅が殆どファクタ２だ
け相違し、即ち両円の曲率半径は殆どファクタ２だけ相
違する。しかし変化する走査距離での信号振幅のそのよ
うな大きな変動は、電子制御装置の信号処理における問
題の原因となる。走査される測定尺目盛の磁場の強さの
走査距離の極端な距離依存性に基づいて、信号品質の著
しい損傷が生じる。
【０００４】公知の磁気的測定装置における他の問題
は、両図２（ａ）及び（ｂ）に基づいて説明する。その
際前記例のような磁界感度走査要素の等しい特性曲線か
ら出発する。しかし走査要素は特性曲線の３つの制御領
域ａ、ｂ及びｃにおいて運転され、制御領域は作動特性
曲線の放物線部分の領域に位置するのではなく、作動特
性曲線の飽和領域に部分的に位置する。従って最大入力
信号又は最大磁場の強さは、それぞれ作動特性曲線の飽
和領域に位置する。その際飽和領域の下に走査要素の作
動特性曲線のそのような領域が理解され、走査要素にお
いて検出された磁場の強さの変化の際にも複数の又は表
示された相対的抵抗変化が殆ど一定になる。更に領域ａ
は最大の走査距離を示し、一方領域ｃは検出された最高
の最大磁場の強さを有する最小の走査距離を表わす。
【０００５】位相のずれた出力信号Ｓ1 、Ｓ 2のリサー
ジュの図形を表わす図２（ｂ）から明らかなように、最
大走査距離の領域ａにおいて、円形リサージュの図形、
即ち位相のずれた両出力信号の等しい信号振幅が得られ
る。しかし走査距離が小さく選択されればされる程、即
ち走査要素が多く飽和領域で制御（変調）されればされ
る程、理想の円形からのリサージュの図形の偏倚は大き
い。このことは特に以前に円形リサージュの図形の明ら
かなずれが存在した場合の領域ｃである。リサージュの
図形の形態の走査距離のそのような依存性も電子制御装
置における信号の処理、信号補間の際の不所望の誤差の
原因となる。
【０００６】既に述べたように、他の物理的走査原理に
基づく位置測定装置でも類似の問題が存在する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、走査
距離に関する比較的大きな公差でもできるかぎり歪まな
い出力信号を供給するような位置測定装置を創造するこ
とである。更に走査距離の変動がある場合でも出力信号
の一定の最大振幅が要求される。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明によれば本発明の
課題は特許請求の範囲第１項又は第１０項の特徴を有す
る位置測定装置によって解決される。本発明の位置測定
装置の有利な実施形態は従属請求項の措置から得られ
る。本発明によれば、特許請求の範囲第１項により、走
査要素を、全測定領域に亘って得られるその作動特性曲
線の飽和領域において制御すること、即ちそれぞれ作動
特性曲線の飽和領域に位置する最大入力信号の間に制御
することが提案される。このことは走査距離の好適な選
択によって、即ち走査距離が充分に小さく選択されかつ
この走査距離が全測定領域に亘って、検出された入力信
号の高い振幅が常に走査要素の制御を常に作動特性曲線
の飽和領域まで作用するように保持されることが保証さ
れる場合に達成される。それによって、場合によっては
走査距離の場合に変化する最大振幅の大きな変化は生じ
ないことが確保される。作動特性曲線のこの制御領域に
おいて通常の方法で生じる出力信号の歪みを消失させる
ために、本発明によれば、特に少なくとも1 つの走査要
素の出力信号から第３高調波を除去するために、信号フ
ィルタを実施することが考慮される。不所望の高調波の
濾波のために当業者に周知の一連の可能性が使用される
ことができる。勿論他の信号最適化のために他の高調波
部分、例えば５次、７次の高調波の濾波も行われること
ができる。走査ユニット又は走査要素の側の措置の他に
そのような濾波は基本的に電子的方法でも行われること
ができる。
【０００９】本発明によって構成された又は本発明によ
って運転される位置測定装置の合成された出力信号は歪
みのない信号曲線同様に走査距離が変化する場合に要求
される振幅定数を有する。公知の電子制御装置又は評価
装置における信号処理は最適の信号品質のベース上で行
われる。総括して改良された測定精度が得られる。特許
請求の範囲第１項による実施形態とは選択的に、特許請
求の範囲第１０項によれば、走査要素を更にリニアー出
力特性をもった走査要素を使用しかつ後続する電子制御
装置の好適な構成要素を介して作動特性曲線の飽和領域
を巧みに生成することも可能である。測定運転中飽和領
域まで制御が行われる、信号濾波は電子的方法で行われ
る。本発明による構成は種々の走査要素と関連して、特
に、比較的大きな制御領域に亘るリニアーな出力特性を
有する走査要素と関連しても使用される。
【００１０】勿論本発明による磁気位置測定装置は直線
型測定装置としても回転型測定装置としても形成される
ことができる。その他相異なる目盛ピッチ等の複数の隣
接した目盛トラックを備えた実施可能性を可能である。
従って本発明の構成の領域において多様な実施可能性が
存在し、特に本発明による構成は種々の物理的走査原理
でも使用される。
【００１１】本発明による位置測定装置の他の利点並び
に詳細は次に図示の実施例に基づく次の記載から得られ
る。
【００１２】
【実施例】本発明による位置測定装置の第１実施形態の
ブロック図が図３に示されている。本発明による構成を
磁気的位置測定装置の例の次の図で説明する。しかしこ
の構成は、既に示唆したように、出力信号の所望の品質
を確保するために、物理的走査原理又は物理的位置測定
装置にも転用することができる。
【００１３】図３の実施例において、磁気的測定尺目盛
１は走査ユニット５の好適な支持体３上に配設された複
数の走査要素２ａ〜２ｄによって走査される。走査要素
２ａ〜２ｄは磁気的測定尺目盛１に亘って走査距離ｄの
測定領域に設けられている。図示の実施例において、走
査される磁気的測定尺目盛は、磁気的位置測定装置をイ
ンクリメンタル測定装置として作動させる磁気的Ｎ極及
びＳ極の交互の配列で形成されている。目盛周期ＴＰと
して図３に相応して磁極Ｎ又はＳの長さが特定されてい
る。走査ユニット５並びに磁気的測定尺目盛１はｘ方向
に互いに相対移動可能に配設されておりかつ例えば工作
機械の工具並びに工作物と関連しており、その相対位置
は互いに高精度に特定されるべきである。走査要素２ａ
〜２ｄとして図示の第１実施例において複数の磁気抵抗
要素が使用され、磁気抵抗要素は支持体３上測定方向ｘ
に対して垂直に等間隔にストリップ状に配設されてい
る。検出平面における支持体３上の磁気抵抗要素の具体
的な配列に関しては、図６の次の記載が参照される。走
査要素２ａ〜２ｄを介して測定尺目盛１と走査ユニット
５の相対移動の間に発生される、周期的に変調される出
力信号Ｓ1 、Ｓ2 は評価ユニット４又は電子制御装置に
よって公知の方法で処理される。図示の実施例の場合に
好適に配列された走査要素２ａ〜２ｄによるインクリメ
ンタル目盛として形成された測定尺目盛１の走査の際に
９０°位相のずれた２つの正弦曲線又は余弦曲線の出力
信号Ｓ1 、Ｓ2 が発生され、その結果位置特定の他に方
向検出も可能である。
【００１４】評価ユニット４に引き渡される出力信号Ｓ
1 、Ｓ2 の所望の品質を確保するために、本発明による
位置測定装置で一連の措置が施される。そこで本発明に
よる走査要素のための実施形態が選択され、その作動特
性曲線は、検出される特定された磁場の強さの飽和領域
を有し、飽和領域は走査要素の少なくとも殆どリニアー
な作動領域のそれぞれ両側に隣接して続いている。この
ことは、一般的な形において、検出された入力信号の特
定された大きさから走査要素の出力信号が飽和領域で得
られ、飽和領域では入力信号の変更の際にも実質的に変
わらない出力信号が得られることを意味する。好適に形
成された走査要素の特性曲線は図４（ａ）に示されてお
り、その際いわゆる周期的な特性曲線が対象とされる。
作動特性曲線の飽和領域としてこの実施形態である領域
が存在し、その領域においては検出された磁場の強さの
変化にもかかわらず、出力信号の振幅の著しい変化は生
じない。図４（ａ）の例においてそのような飽和領域
は、プラスマイナス５ｍＴの磁場の強さの値を有する。
そのように形成された走査要素２ａ〜２ｄは、本発明に
よれば全測定領域に亘って、即ち走査された磁気的測定
尺目盛１の全長に亘って作動特性曲線の飽和領域までの
制御（変調）が行われるように運転される。そのために
それぞれ作動特性曲線の飽和領域にある最大入力信号の
間の走査要素の制御が行われる。このことは、走査要素
２ａ〜２ｄと磁気的測定尺目盛１との間の走査距離ｄ
が、走査要素２ａが常に飽和領域にあり即ち略プラスマ
イナス５ｍＴよりも大きい最大の磁場の強さ又は入力信
号の間に制御されるように、小さく選択されることによ
って達成される。そのように必要な小さい走査距離ｄは
好適な構造的措置によって本発明による位置測定装置の
内方で簡単に実施され、その際例えば走査ユニットを測
定尺目盛に亘って滑動させることが行われる。
【００１５】図４（ｂ）には、他の好適な走査要素の作
動特性曲線が図示されており、走査要素は同様に本発明
による位置測定装置の内方に装入されることができる。
この作動特性曲線も検出される磁場の強さが高い場合飽
和領域を有し、飽和領域においては作用する磁場の強さ
の変化のある場合でも出力信号の振幅の本質的な変化は
最早生じない。ここでも少なくとも部分的に、殆どリニ
アーな作動特性曲線の両側に隣接して作動特性曲線の飽
和領域が続いている。そのような作動特性曲線を磁気抵
抗要素は有し、その際出力信号のリニアー化のための所
定の措置が適する。このことは例えば公知の方法で予備
設定−磁場を介して達成され、磁場は例えば磁気抵抗要
素の近くの永久磁石を介して発生される。作動特性曲線
に関しては更に、入力信号の高い磁場の領域に出力信号
の振幅の大きな変化は生じることがなく又は出力信号は
磁場の強さの変化があっても変わらない。
【００１６】使用された走査要素の各作動特性曲線の飽
和領域までの制御の他に本発明によれば、出力信号
Ｓ1 、Ｓ2 の濾波を実施することが行われる。この際濾
波は、出力信号Ｓ1 、Ｓ2 から少なくとも第３高調波が
消去されるように行われる。そのような濾波に亘って、
既に冒頭で記載された不所望の信号歪みは好適な走査距
離ｄでは進んで回避され又は少なくとも減少される。本
発明による位置測定装置のおける好適な濾波措置に関し
て、これに関連して本出願人のヨーロッパ特許明細書０
５４１８２９が参照される。そこでは磁気抵抗要素によ
る走査要素の場合に出力信号Ｓ1 、Ｓ2 の濾波が達成さ
れることができかつ少なくとも出力信号から第３高調波
が消去されることができるような一連の可能性が提案さ
れる。可能な濾波のバリエーションは測定方向に対する
ストリップ状磁気抵抗要素の斜めの配列又は正弦関数又
は余弦関数によるそのような要素の長さの変化が行われ
る。第３高調波並びに例えば第５高調波の出力信号から
の濾波に好適な濾波装置を次に図６（ａ）〜（ｃ）に基
づいて記載する。
【００１７】本発明による位置測定装置の記載の措置に
基づいて、出力信号Ｓ1 、Ｓ2 の所望の改良された信号
品質が得られる。図５においてこのために公知のリサー
ジュの図形に２つの位相のずれた出力信号Ｓ1 、Ｓ2 の
信号曲線が示されており、リサージュの図形は本発明に
よる位置測定装置の記載の構成に基づいて図４の（ａ）
及び（ｂ）から相異なる走査距離領域が得られる。一方
では高い磁場の強さの領域、即ち領域ｃにおける制御に
もかかわらず、例えば図２（ｂ）から分るような信号歪
みは生じないことが明らかである。その上走査距離ａ及
びｃでは信号の最大振幅は比較的僅かな量だけ相違し、
即ち走査距離ｄの出力信号Ｓ1 、Ｓ2 の振幅の必要な独
立性が保証される。
【００１８】従って本発明による位置測定装置の内方で
充分最適な出力信号Ｓ1 、Ｓ2 が得られ、位置測定装置
は信号処理の際に位置特定のための電子制御装置又は評
価ユニット４に僅かな誤差しか供給しない。図１の実施
例に使用された走査ユニット５の検出平面の図は図６
（ａ）に示されている。同時に所望の濾波作用が保証さ
れる走査要素の配列のための他の可能性が図６（ｂ）、
（ｃ）に示されている。図６（ａ）〜（ｃ）は説明上の
もので検出平面における測定尺の正確な配列を与えず、
即ち次に図示の測定尺の角度関係は必ずしも正確ではな
い。図６（ａ）による変形において、検出平面内で支持
体３上に合わせて磁気抵抗要素の形の４つの走査要素２
ａ〜２ｄが配設されている。４つの走査要素２ａ〜２ｄ
は測定尺目盛の目盛周期ＴＰに亘って延びている。この
際検出平面に４つの走査要素２ａ〜２ｄの斜めの配列が
測定方向ｘに対する垂直線に対して所定の角度αに設定
されており、それによって第３高調波の所望の濾波が行
われる。相応した角度αは、等式ｔａｎα＝ＴＰ／３Ｌ
から得られ、Ｌは走査要素２ａ〜２ｄの長さを表わしか
つＴＰは測定尺目盛の目盛周期を表わす。図４（ａ）に
よる磁気的測定尺目盛の目盛周期及びノンリニアーの作
動特性曲線の場合に磁気的測定尺目盛の目盛周期ＴＰの
内方に４つのストリップ２ａ〜２ｄが等間隔に配設され
ている。図６（ａ）にによれば、隣接した走査要素の左
の縁の間隔はそれぞれＴＰ／４である。目盛周期ＴＰは
図３に相応して特定されている。第３高調波の所望の濾
波を作用する走査要素２ａ〜２ｄの角度的設定の他に、
更に他の濾波作用が得られ、その際台形状の走査要素２
ａ〜２ｄの幅ｂが好適に選択されている。幅ｂ＝ＴＰ／
５の比が与えられた場合、走査要素２ａ〜２ｄの好適な
配列によって公知の方法で発生される出力信号Ｓ1 、Ｓ
2 から第５高調波の濾波も行われる。勿論、走査ユニッ
トにおいて複数のそのように構成された走査要素２ａ〜
２ｄの４つの群が測定方向ｘにおいて隣接して配設され
かつ互いに配列されている場合に可能であり又は有利で
ある。
【００１９】所望の濾波作用を確保する走査ユニットの
構成のための他の可能性を図６（ｂ）は示す。同様に４
つの走査要素２２ａ〜２２ｄがストリップ状の磁気抵抗
要素として形成されており、支持体２３上目盛周期ＴＰ
の内方に配設されている。しかし磁気抵抗ストリップは
ｖ状に測定方向ｘに向けて配設されている。隣接した走
査要素の左の縁の間隔はＴＰ／４になる。改めてｖ状に
形成された走査要素２２ａ〜２２ｄのＴＰ／４の幅ｂ
は、第３高調波の斜め配置によって作用される濾波の他
に、第５高調波の濾波も行われるように選択されてい
る。測定方向に対して垂直線に対する磁気抵抗ストリッ
プの配列の角度αは好ましくは実施形態において、式ｔ
ａｎα＝ＴＰ（３Ｌ／２）から得られる。
【００２０】走査ユニットの構成又は磁気抵抗走査要素
３２ａ〜３２ｄの配列のための第３の可能性は、図６
（ｃ）に示されている。支持体３３上に配設された磁気
抵抗ストリップ３２ａ〜３２ｄは、測定方向ｘに対して
平行に向けられた中心軸線に対して対称的に形成されて
おり、更にストリップ３２ａ〜３２ｄの形態は正弦曲線
状に選択されている。更に目盛周期ＴＰの内方には、そ
の左縁がそれぞれ互いに間隔ＴＰ／４を有する４つのそ
のような走査要素３２ａ〜３２ｄを有する。
【００２１】図６（ａ）〜（ｃ）に記載された少なくと
も第３高調波の濾波のための変形の他に他の公知の可能
性もあり、それは同様に本発明による位置測定装置に使
用されることができる。本発明による位置測定装置の第
２の実施形態は図７（ａ）にブロック図で部分的に示さ
れており、位置測定装置は磁気的位置測定装置として形
成されている。この際走査された磁気的測定尺目盛は表
されていない。第１実施例とは異なり、リニアー作動特
性曲線を有する磁気感応走査要素７２ａ〜７２ｂが使用
され、例えばホール素子が使用される。従ってこれらの
要素７２ａ〜７２ｂの作動特性曲線は走査された測定尺
目盛の場合に一般に達成されることができない磁場の強
さにおける飽和領域を有する。走査要素７２ａ、７２ｂ
は従って、このことは前の例において本発明により提案
されたように、飽和領域では運転されず又は制御されな
い。従って本発明による原理を変換するために、磁気的
位置測定装置のこの実施形態においては、走査要素７２
ａ〜７２ｂに後続された電子制御装置７６ａ、７６ｂの
入力部分７６ａにおける構成要素７４ａ、７４ｂを介し
て作動特性曲線の飽和領域を生じさせることが行われ
る。この目的で図示の実施形態においては電子制御装置
の入力部分７６ａでそれぞれ増幅器７４ａ、７４ｂにノ
ンリニアーの要素７４ａ、７４ｂが並列に付設されてい
る。このノンリニアーの要素７３ａ、７３ｂではノンリ
ニアー増幅器−作動特性曲線を生じさせる、好適な抵
抗、ダイオード等が対象とされる。この方法で変形され
た、増幅器７３ａ、７３ｂの台形状の作動特性曲線は図
７（ｂ）に表されている。そのように変調された増幅器
−作動特性曲線の制御は好適に発生された飽和領域の間
で行われ、即ち走査距離は、そのような作動領域が全測
定長さに亘って保持される程小さく選択されている。そ
のような実施形態ではリニアー出力特性の走査要素７２
ａ、７２ｂの側での高調波の濾波は不可能なので、少な
くとも第３高調波の必要な濾波は増幅器７３ａ、７３ｂ
による電子的方法で図式的に示された濾波ユニット７５
で行われる。出力側ではそのような信号調製により最適
の信号Ｓ1 ’、Ｓ2 ’が存在し、この信号は評価ユニッ
トの後続の部分７６ｂで公知の方法で位置特定のために
関与されられることができる。
【００２２】本発明による位置測定装置のこの実施形態
の信号の濾波に関して、これに関連して本出願人による
ヨーロッパ特許明細書０１０６９５１が参照される。そ
こでは例えば図７による実施形態に基づいて、電子的方
法で不所望の高調波が周期的走査信号から消去される方
法が記載されている。そのために本発明によれば、更に
リニアーな出力信号特性を有する走査要素を飽和領域な
しに、例えばホール素子を使用しかつそれにもかかわら
ず所望の信号品質を得ることが可能である。本発明によ
る位置測定装置を好適に構成するための一連の可能性が
得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は公知の磁気測定装置による磁場感応走査
要素の作動特性曲線であり、（ａ）は中央の放物線領域
とこれに隣接した飽和領域を表わす図であり、（ｂ）は
そのリサージュの図形である。
【図２】図２は公知の磁気測定装置による磁場感応走査
要素の作動特性曲線であり、（ａ）は中央の放物線領域
とこれに隣接した飽和領域を表わす図であり、（ｂ）は
そのリサージュの図形である。
【図３】図３は、磁気的位置測定装置として形成され
た、本発明による位置測定装置の第１実施例のブロック
図である。
【図４】図４は本発明による位置測定装置に使用される
ことができる走査要素の特性曲線であり、（ａ）は第１
の走査要素の特性曲線、（ｂ）は第２の走査要素の特性
曲線である。
【図５】図５は本発明による位置測定装置のリサージュ
の図形における信号曲線を示す図である。
【図６】図３は、所定の高調波部分の濾波に使用され
る、検出平面にある複数の走査要素を備えた本発明によ
る位置測定装置の走査ユニットの正面図であり、（ａ）
は直線ストリップ状の磁気抵抗要素の形の４つの走査要
素を備えたもの、（ｂ）は曲折したストリップ状の磁気
抵抗要素の形の４つの走査要素を備えたもの、（ｃ）は
正弦曲線状のストリップ状の磁気抵抗要素の形の４つの
走査要素を備えたものを示す図である。
【図７】図７は、本発明による位置測定装置の他の実施
例を示す図であり、（ａ）はその信号ブロック図であ
り、（ｂ）はその作動特性曲線を示す図である。
【符合の説明】
１ 測定尺目盛 ２ａ 走査要素 ２ｂ 走査要素 ２ｃ 走査要素 ２ｄ 走査要素 ４ 電子制御装置 ２２ａ 走査要素 ２２ｂ 走査要素 ２２ｃ 走査要素 ２２ｄ 走査要素 ３２ａ 走査要素 ３２ｂ 走査要素 ３２ｃ 走査要素 ３２ｄ 走査要素 ｄ 走査距離 Ｓ1 出力信号 Ｓ2 出力信号
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｇ０１Ｂ 7/00 Ｇ０１Ｂ 7/00 Ｊ (72)発明者 アルフオンス・シユピース ドイツ連邦共和国、83358 ゼーブリユツ ク、ウオプフナーストラーセ、２

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 測定尺（１）とこれに対して相対的に移
    動可能な走査要素（２ａ〜２ｄ；２２ａ〜２２ｄ；３２
    ａ〜３２ｄ）とを備え、走査要素を介して相対運動の際
    に位置に依存した強度変調された出力信号（Ｓ1 、
    Ｓ2 ）が発生可能で、出力信号は後続の電子制御装置
    （４）に供給され、その際 −走査要素（２ａ〜２ｄ；２２ａ〜２２ｄ；３２ａ〜３
    ２ｄ）は両側で少なくとも部分的に、近似的にリニアー
    な作動領域にそれぞれ隣接した飽和領域を有する作動特
    性曲線を有し、入力信号の変化の際でも実質的に変更さ
    れる出力信号は生じることがなく、 −測定尺（１）と走査要素（２ａ〜２ｄ；２２ａ〜２２
    ｄ；３２ａ〜３２ｄ）との間の距離は、絶測定領域に亘
    って作動特性曲線の飽和領域にある最大入力信号の間の
    制御が行われるように選択されており、 −走査要素（２ａ〜２ｄ；２２ａ〜２２ｄ；３２ａ〜３
    ２ｄ）は、出力信号（Ｓ 1 、Ｓ2 ）からの少なくとも第
    ３高調波の濾波が保証されることを特徴とする前記位置
    測定装置。
  2. 【請求項２】 走査要素が、磁気測定尺目盛（１）が走
    査可能にされるための磁気抵抗要素（２ａ〜２ｄ；２２
    ａ〜２２ｄ；３２ａ〜３２ｄ）として形成されている、
    請求項１記載の位置測定装置。
  3. 【請求項３】 磁気抵抗要素が測定尺目盛（１）の走査
    される磁場の強さの領域に本質的にリニアな作動特性曲
    線を有する請求項２記載の位置測定装置。
  4. 【請求項４】 磁気抵抗要素が測定尺目盛（１）の走査
    される磁場の強さの領域で実質的にリニアな作動特性曲
    線を有する請求項２記載の位置測定装置。
  5. 【請求項５】 複数のストリップ状の磁気抵抗要素が、
    支持構造部分（３；２３；３３）上に等間隔に配設され
    ている、請求項２記載の位置測定装置。
  6. 【請求項６】 磁気抵抗要素が走査される測定尺目盛
    （１）に対して９０°から偏した角度（α）で配設され
    ており、それによって出力信号（Ｓ1 、Ｓ2 ）中の少な
    くとも第３高調波の濾波が行われる、請求項５記載の位
    置測定装置。
  7. 【請求項７】 測定方向（Ｘ）における磁気抵抗要素の
    幅（ｂ）が、追加的に出力信号（Ｓ1 、Ｓ2 ）中の少な
    くとも第５高調波の濾波が行われるように選択されてい
    る、請求項６記載の位置長さ測定装置。
  8. 【請求項８】 測定方向における磁気抵抗要素の長さ
    が、正弦曲線又は余弦曲線に依存して選択されている、
    請求項５記載の位置測定装置。
  9. 【請求項９】 磁気抵抗要素が、測定方向（Ｘ）に対す
    る垂直線に対して配設される角度（α）が、ＴＰが磁気
    的測定尺目盛（１）の目盛周期でありかつＬが磁気抵抗
    要素の長さである場合に、式ｔａｎα＝ＴＰ／３Ｌから
    得られる、請求項６記載の位置測定装置。
  10. 【請求項１０】 測定尺目盛とこれに対して相対的に移
    動可能な少なくとも1 つの走査要素（７２ａ、７２ｂ）
    とを備え、相対移動の際に走査要素を介して位置に依存
    し、後続の電子制御装置（７６ａ、７６ｂ）に供給され
    る、強度変調された出力信号（Ｓ1 、Ｓ2 ）が発生可能
    である位置測定装置において、 −電子制御装置（７６ａ、７６ｂ）の少なくとも1 つの
    構成要素（７３ａ、７３ｂ、７４ａ、７４ｂ）が、両側
    で少なくとも部分的に近似リニアーの作動領域に隣接し
    て、入力信号の変化の際にも本質的に変化した出力信号
    （Ｓ1 、Ｓ2 ）は発生されない飽和領域を有するように
    形成されており、 −測定尺目盛と走査要素（７２ａ、７２ｂ）との間の走
    査距離は、全測定領域に亘って、作動特性曲線の飽和領
    域にある最大入力信号の間の制御が行われるように選択
    されており、 −電子制御装置（７６ａ、７６ｂ）が、出力信号
    （Ｓ1 、Ｓ2 ）から少なくとも第３高調波の濾波が保証
    されるように形成されていることを特徴とする前記位置
    測定装置。
  11. 【請求項１１】 走査要素（７２ａ、７２ｂ）がリニア
    ー作動特性曲線を有するホ−ル素子の形の磁気感応走査
    要素として形成されている、請求項１０記載の位置測定
    装置。
  12. 【請求項１２】 電子制御装置（７６ａ、７６ｂ）の入
    力ユニット（７６ａ）における少なくとも1 つの増幅器
    （７３ａ、７３ｂ）にノンリニアー特性の構成要素（７
    ４ａ、７４ｂ）が並列に接続されており、その結果増幅
    器（７３ａ、７３ｂ）の飽和領域を有する作動特性曲線
    が得られる、請求項１１記載の位置測定装置。
JP34674597A 1996-12-17 1997-12-16 位置測定装置 Expired - Fee Related JP4178426B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19652562A DE19652562C2 (de) 1996-12-17 1996-12-17 Positionsmeßeinrichtung
DE19652562:4 1996-12-17

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH10232143A true JPH10232143A (ja) 1998-09-02
JP4178426B2 JP4178426B2 (ja) 2008-11-12

Family

ID=7815055

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP34674597A Expired - Fee Related JP4178426B2 (ja) 1996-12-17 1997-12-16 位置測定装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US6018881A (ja)
EP (1) EP0849566B1 (ja)
JP (1) JP4178426B2 (ja)
DE (2) DE19652562C2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005214920A (ja) * 2004-02-02 2005-08-11 Sankyo Seiki Mfg Co Ltd 磁気センサ
JP2009503511A (ja) * 2005-07-26 2009-01-29 ジーエスアイ・グループ・コーポレーション 調波成分を抑制するための傾斜光学検出素子を有する光学エンコーダ

Families Citing this family (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6327791B1 (en) 1999-06-09 2001-12-11 The Government Of The United States As Represented By The Secretary Of Commerce Chain code position detector
JP2001124589A (ja) * 1999-10-22 2001-05-11 Asahi Optical Co Ltd 磁気式エンコーダを搭載した測量機
JP2001124554A (ja) * 1999-10-22 2001-05-11 Asahi Optical Co Ltd 磁気式エンコーダを備えた測量機
EP1111346A3 (en) 1999-11-30 2003-10-22 RENISHAW plc Device for holding a measurement scale
US6543149B1 (en) * 1999-12-02 2003-04-08 The Regents Of The University Of California Coordinate measuring system
DE50112891D1 (de) 2000-02-17 2007-10-04 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmesseinrichtung und Verfahren zu deren Betrieb
JP3930227B2 (ja) * 2000-06-14 2007-06-13 ペンタックス株式会社 磁気式エンコーダおよび磁気式エンコーダを搭載した測量機
EP1243897B1 (de) * 2001-03-23 2013-12-18 Melexis Technologies NV Magnetischer Weggeber
DE10129819C2 (de) * 2001-06-13 2003-11-27 Smw Autoblok Spannsysteme Gmbh Messgerät
TW575518B (en) * 2001-07-31 2004-02-11 Inventio Ag Lift installation with a measuring system for determining absolute cage position
DE10162849B4 (de) * 2001-12-20 2007-11-29 Sensitec Gmbh Längenmesssystem, bei dem ein Massstab relativ zur Position von beabstandeten Längensensoren bewegt wird
DE10308030B4 (de) 2003-02-24 2011-02-03 Meas Deutschland Gmbh Magnetoresistiver Sensor zur Bestimmung eines Winkels oder einer Position
DE10313676A1 (de) * 2003-03-26 2004-10-07 Imi Norgren-Herion Fluidtronic Gmbh & Co. Kg Positionsmeßvorrichtung für fluidische Zylinder-Kolben-Anordnungen
DE10319609A1 (de) * 2003-05-02 2004-11-18 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Optoelektronische Detektoranordnung
BRPI0607124A2 (pt) * 2005-02-01 2009-08-04 Nct Engineering Gmbh sensor de posição e máquina de lavar
DE102005009923B4 (de) * 2005-03-04 2016-11-24 Sensitec Gmbh Magnetoresistiver Sensor zur Bestimmung einer Position des Sensors
US8823294B2 (en) * 2007-06-27 2014-09-02 Brooks Automation, Inc. Commutation of an electromagnetic propulsion and guidance system
JP5663304B2 (ja) 2007-06-27 2015-02-04 ブルックス オートメーション インコーポレイテッド 多次元位置センサ
CN101855811B (zh) * 2007-06-27 2013-11-20 布鲁克斯自动化公司 具有提升能力和减少的齿槽特性的电机定子
US8222892B2 (en) * 2007-06-27 2012-07-17 Brooks Automation, Inc. Sensor for simultaneous position and gap measurement
JP5416104B2 (ja) 2007-06-27 2014-02-12 ブルックス オートメーション インコーポレイテッド セルフベアリングモータ用位置フィードバック
US8283813B2 (en) * 2007-06-27 2012-10-09 Brooks Automation, Inc. Robot drive with magnetic spindle bearings
US9752615B2 (en) * 2007-06-27 2017-09-05 Brooks Automation, Inc. Reduced-complexity self-bearing brushless DC motor
JP2011514652A (ja) 2007-07-17 2011-05-06 ブルックス オートメーション インコーポレイテッド チャンバ壁に一体化されたモータを伴う基板処理装置
US20140124266A1 (en) * 2010-09-02 2014-05-08 John M. Birckhead Magnetically Initiated Actuation Mechanism
KR101428971B1 (ko) 2013-03-21 2014-08-13 숭실대학교산학협력단 변위 측정 장치
US9766095B2 (en) * 2013-04-23 2017-09-19 Mitsubishi Electric Corporation Magnetic position detection device and magnetic position detection method
KR101449873B1 (ko) 2013-11-29 2014-10-13 숭실대학교산학협력단 변위 측정 장치
US10119841B2 (en) * 2014-10-24 2018-11-06 Mitsubishi Electric Corporation Magnetic position detection device and magnetic position detection method
FR3039269B1 (fr) * 2015-07-21 2017-08-11 Electricfil Automotive Capteur de mesure de la position absolue d'un mobile
ES2796899T3 (es) * 2015-07-23 2020-11-30 Actimesure Dispositivo palpador para el control geométrico de piezas
DE102016224012A1 (de) * 2016-12-02 2018-06-07 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Positionsmesseinrichtung und Verfahren zum Betreiben einer Positionsmesseinrichtung
EP3410075B1 (en) * 2017-05-30 2020-10-07 MEAS France Temperature compensation for magnetic field sensing devices and a magnetic field sensing device using the same
DE102021112732A1 (de) * 2021-05-17 2022-11-17 Infineon Technologies Ag Vorrichtung und verfahren zur kalibrierung eines magnetischen winkelsensors

Family Cites Families (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3249854A (en) * 1957-11-01 1966-05-03 Whittaker Corp Displacement measuring device
WO1979000343A1 (en) * 1977-12-05 1979-06-14 Secr Defence Improvements in or relating to nickel-,cobalt-,and iron based alloys
DE2758854C2 (de) * 1977-12-30 1979-09-27 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Vorrichtung zum Messen der Verschiebung und/oder der Geschwindigkeit eines mit einem optischen Streifenmuster verbundenen Körpers
DE2826213B2 (de) * 1978-06-15 1980-06-04 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Photoelektrisches inkrementales Längen- und Winkelmeßsystem
DE2952106C2 (de) * 1979-12-22 1982-11-04 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Lichtelektrische inkrementale Längen- oder Winkelmeßeinrichtung
DE3148910C1 (de) * 1981-12-10 1983-03-10 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Lichtelektrische inkrementale Laengen- oder Winkelmesseinrichtung
FR2522807B1 (fr) * 1982-03-05 1985-11-15 Jaeger Capteur de position a magnetoresistance
DE3214794C2 (de) * 1982-04-21 1984-06-07 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Magnetische Längen- oder Winkelmeßeinrichtung
DE3239108A1 (de) * 1982-10-22 1984-04-26 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Positionsmessverfahren und einrichtungen zur durchfuehrung des verfahrens
DE3325803C2 (de) * 1983-07-16 1986-11-20 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Inkrementale, lichtelektrische Meßeinrichtung
DE3412128C1 (de) * 1984-03-31 1985-05-09 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Positionsmesseinrichtung
DE3417176C2 (de) * 1984-05-09 1986-07-31 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Photoelektrische Meßeinrichtung
DE3616144A1 (de) * 1986-05-14 1987-11-19 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Fotoelektrische messeinrichtung
DE58904369D1 (de) * 1989-11-02 1993-06-17 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmesseinrichtung.
DE4011718A1 (de) * 1990-04-11 1991-10-17 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Integriert-optische sensoreinrichtung
EP0482224B1 (de) * 1990-10-20 1994-01-12 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Interferentielle Messeinrichtung für wenigstens eine Messrichtung
JP2990822B2 (ja) * 1991-03-14 1999-12-13 ソニー・プレシジョン・テクノロジー株式会社 磁気センサ
ATE108274T1 (de) * 1991-05-18 1994-07-15 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Interferentielle positionsmessvorrichtung.
EP0541829B1 (de) * 1991-11-04 1995-01-11 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Vorrichtung zur Erzeugung oberwellenfreier periodischer Signale
EP0541827B1 (de) * 1991-11-04 1995-04-12 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Vorrichtung zur Erzeugung oberwellenfreier periodischer Signale
ATE147158T1 (de) * 1993-04-10 1997-01-15 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Magnetisches messsystem
DE4316221C2 (de) * 1993-05-14 1995-11-23 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmeßeinrichtung
DE4323712C2 (de) * 1993-07-15 1997-12-11 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Lichtelektrische Längen- oder Winkelmeßeinrichtung
US5545985A (en) * 1994-03-16 1996-08-13 Campbell; Peter Magnetoresistive position sensor including an encoder wherein the magnetization extends greater than 0.5 times the pole pitch below the surface
DE19508700C1 (de) * 1995-03-02 1996-08-14 Huebner Elektromasch Ag Vorrichtung zum Gewinnen weitgehend oberwellenfreier periodischer Signale
DE19712622C5 (de) * 1997-03-26 2010-07-15 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Anordnung und Verfahren zur automatischen Korrektur fehlerbehafteter Abtastsignale inkrementaler Positionsmeßeinrichtungen

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005214920A (ja) * 2004-02-02 2005-08-11 Sankyo Seiki Mfg Co Ltd 磁気センサ
JP2009503511A (ja) * 2005-07-26 2009-01-29 ジーエスアイ・グループ・コーポレーション 調波成分を抑制するための傾斜光学検出素子を有する光学エンコーダ

Also Published As

Publication number Publication date
DE19652562C2 (de) 1999-07-22
DE59709624D1 (de) 2003-04-30
EP0849566A1 (de) 1998-06-24
JP4178426B2 (ja) 2008-11-12
DE19652562A1 (de) 1998-06-25
US6018881A (en) 2000-02-01
EP0849566B1 (de) 2003-03-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH10232143A (ja) 位置測定装置
KR100497467B1 (ko) 인덱스 펄스를 가진 마그네틱 엔코더
US20090102460A1 (en) Position sensor
JP2619593B2 (ja) 位置測定装置
US5747995A (en) Magnetic position measuring device using Hall elements as sensors and method for its operation
US8013596B2 (en) Position detector and positioning device
US5627466A (en) Position measuring device having a sensor for sensing the distance between a scanning unit and a scale
EP0455983A1 (en) Position measuring device with a phase adjust circuit and process for phase adjustment
JP4410316B2 (ja) 位置センサ
JP2819507B2 (ja) 磁気的測定システム
JP3676819B2 (ja) スケール読み取り装置
EP2404141A1 (en) Position encoder apparatus
JP5017275B2 (ja) スケールおよび読取りヘッドのシステム
US7748251B2 (en) Circuit configuration and method for ascertaining tilt errors in connection with a position-measuring device
US20080180093A1 (en) Measuring element with a track for determining a position and corresponding measuring method
JP2000329585A (ja) 光学位置測定装置の走査ユニット
US11913814B2 (en) Position measuring device
EP1016852B1 (en) Apparatus for measuring the position of a movable member
JP3220278B2 (ja) 位置検出装置
KR20090074789A (ko) 위치 지정 장치
JP2007303845A (ja) 位置検出方法及び撮像装置
JP3564831B2 (ja) 測定装置における信号処理回路
JPH07253334A (ja) 光学式エンコーダ
DE59000119D1 (de) Messverfahren zur wegmessung mittels resolver und inductosyn.
JP2003083772A (ja) 光学スケールを用いた寸法測定装置

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20050208

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20050509

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20050517

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050808

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20051129

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20060322

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20060406

A912 Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912

Effective date: 20060519

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080613

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110905

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120905

Year of fee payment: 4

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees