JPH10229065A - 洗浄槽および洗浄方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 洗浄液の滞留部分をなくして被洗浄物への微
粒子等の再付着を防止した洗浄槽の提供が望まれてい
る。 【解決手段】 被洗浄物Ｗを槽本体２に収容してこれを
洗浄液で洗浄するための洗浄槽１０である。洗浄液を吐
出口７Ｌ、７Ｒ、１４Ｌ、１４Ｒから供給する一対の洗
浄液供給管３、１１を槽本体２に備えている。これら一
対の洗浄液供給管３、１１は、一方からの洗浄液の吐出
によって槽本体２内の洗浄液に生じる対流が他方からの
洗浄液の吐出によって槽本体２内の洗浄液に生じる対流
で打ち消されるよう、これら一方と他方の洗浄液供給管
が槽本体２内においてそれぞれの吐出口が対称な位置と
なるように配設されている。洗浄液供給管３、１１は、
供給側と吐出口のみが開口されたものとなっている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハの洗
浄に好適な洗浄槽とこの洗浄槽を用いた洗浄方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエハの洗浄槽として、従来、例
えば図７（ａ）、（ｂ）に示すものが知られている。図
７（ａ）、（ｂ）において符号１は洗浄槽である。な
お、図７（ａ）は洗浄槽１の平面図であり、図７（ｂ）
は図７（ａ）のＡ−Ａ線矢視図である。洗浄槽１は、図
７（ａ）に示したように底面が正方形である槽本体２の
底部に、図７（ａ）、（ｂ）に示したように洗浄液供給
管３とウエハ支持体４とを配設して構成されたものであ
る。

【０００３】洗浄液供給管３は、図示しない洗浄液供給
源に接続する供給源側配管５と、これに連続する正方形
環状の吐出側配管６とからなるものである。吐出側配管
６は、その外形が槽本体２の底面形状よりわずかに小さ
く形成されたもので、槽本体２の四周の内壁面に沿って
配設されたものであり、その一辺の中央部にて前記供給
源側配管５に連続したものである。この吐出側配管６に
は、前記供給源側配管５に連続した一辺の両側の辺６
Ｌ、６Ｒにそれぞれ複数の吐出口７Ｌ…（７Ｒ…）が形
成されている。これら吐出口７Ｌ、７Ｒは、両辺におい
て同数ずつ形成され、かつこれらは、一方の辺の吐出口
７Ｌ…と他方の辺の吐出口７Ｒ…とが槽本体２の中心線
を対称軸として互いに略線対称の位置に配置されてい
る。さらに、これら吐出口７Ｌ、７Ｒは、槽本体２の上
部側に向けて開口されたものとなっている。

【０００４】ウエハ支持体４は、一対の管状体４ａ、４
ａからなるものである。これら管状体４ａ、４ａは、側
面視コ字状に形成されたもので、その両端が槽本体２の
底面に固定された状態で互いに平行に配置されたもので
ある。また、これら管状体４ａ、４ａは、前記吐出側配
管６の吐出口７Ｌ、７Ｒを形成した両辺６Ｌ、６Ｒと平
行となるように配置され、かつ、所定距離離した状態で
槽本体２底面の略中央部に配列せしめられている。そし
て、このような構成のもとにウエハ支持体４は、図７
（ｂ）に示したように管状体４ａ、４ａの間に半導体ウ
エハ（以下、ウエハと略称する）Ｗを載置し、公知の固
定手段（図示略）によってこれを固定するようになって
いる。

【０００５】このような洗浄槽１を用いて被洗浄物であ
るウエハＷを洗浄するには、予め槽本体２内に洗浄水を
満たしておき、その状態でウエハＷをウエハ支持体４上
に載置固定する。そして、この状態で洗浄液供給源から
洗浄液を一定圧で送り、供給源側配管５、吐出側配管６
を介して吐出口７Ｌ、７Ｒより同時に洗浄液を槽本体２
内に供給する。すると、吐出口７Ｌ、７Ｒより吐出され
た洗浄液は、槽本体２内において、図８中矢印で示すよ
うに対流を生じ、また余剰の洗浄液はオーバーフローす
る。ここで、図８は、図７（ｂ）と同じ側断面で見た洗
浄液の対流分布図である。

【０００６】この図８に示すように、吐出された洗浄液
は槽本体２の底部両側からそれぞれ上昇し、液面側で中
央に向かい、さらに両方の流れが衝突して槽本体２の中
央部より下降する。そして、槽本体２の底面にぶつかる
ことによって槽本体２の両側、すなわち吐出側配管６に
おける辺６Ｌ、６Ｒのそれぞれの側に向かい、以下、こ
の対流が連続する。

【０００７】このような対流が連続すると、図８中にＦ
ａで示したポイント、すなわち吐出口７Ｌ（７Ｒ）の直
上でかつ槽本体２の深さ方向における略中央部では、図
９に示すように、対流の強さが一定になるまでの所定時
間を経過した後には、洗浄液の供給を止めるまで一定の
強さの上昇流が起こっている。同様に、図８中にＦｂで
示したポイント、すなわち槽本体２における吐出側配管
６の両辺６Ｌ、６Ｒの中間点で、かつ槽本体２の深さ方
向における略中央部では、図９に示すように、対流の強
さが一定になるまでの所定時間を経過した後には、洗浄
液の供給を止めるまで一定の強さの下降流が起こってい
る。なお、図９は、槽本体２内における特定ポイントで
の、処理時間と対流方向および対流速度との関係を示す
グラフ図である。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところで、前記の洗浄
槽１では、図８に示したようにウエハＷにおけるＦａで
示したポイントの近傍、およびＦｂで示したポイントの
近傍には、洗浄液供給管３から供給されたフレッシュな
洗浄液が供給されるものの、これらポイントＦａ、Ｆｂ
の中間位置では、該中間位置が図８中矢印で示した対流
の中心となり、しかも対流が一定方向であることから、
ここの洗浄液が滞留して滞留部分Ｔが形成されてしま
う。すると、この滞留部分Ｔには、ウエハＷから除去さ
れた微粒子等が停滞してしまい、結果としてこの停滞し
た微粒子等がウエハＷに再付着し易くなってしまう。ま
た、前述したように対流分布が生じることによってフレ
ッシュな洗浄液の供給位置が偏ってしまうので、洗浄の
均一性も劣ってしまう。

【０００９】本発明は前記事情に鑑みてなされたもの
で、その目的とするところは、洗浄液の滞留部分をなく
して被洗浄物への微粒子等の再付着を防止した洗浄槽
と、対流方向を平均化して洗浄の均一性を向上した洗浄
方法とを提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明における請求項１
記載の洗浄槽では、洗浄液を吐出口から供給する洗浄液
供給管を槽本体に一対備えてなり、これら一対の洗浄液
供給管は、一方からの洗浄液の吐出によって槽本体内の
洗浄液に生じる対流が他方からの洗浄液の吐出によって
槽本体内の洗浄液に生じる対流で打ち消されるよう、こ
れら一方と他方の洗浄液供給管が槽本体内においてそれ
ぞれの吐出口が対称な位置となるように配設され、かつ
前記洗浄液供給管は、供給側と吐出口のみが開口された
ものであることを前記課題の解決手段とした。

【００１１】この洗浄槽によれば、槽本体に備えられた
一対の洗浄液供給管が、その一方からの洗浄液の吐出に
よって槽本体内の洗浄液に生じる対流が他方からの洗浄
液の吐出によって槽本体内の洗浄液に生じる対流で打ち
消されるよう、これら一方と他方の洗浄液供給管が槽本
体内においてそれぞれの吐出口が対称な位置となるよう
に配設されているので、例えばこれら一対の洗浄液供給
管から洗浄液を交互に供給することにより、それぞれの
洗浄液供給によって生じる対流が互いに打ち消される。
したがって、対流が互いに打ち消し合う際の対流間の衝
突によって洗浄液の流れに乱れが生じ、一方の対流だけ
が生じているときに形成された滞留部分が消失する。

【００１２】本発明における請求項４記載の洗浄方法で
は、前記洗浄槽を用いてその一対の洗浄液供給管から洗
浄液を交互に供給することを前記課題の解決手段とし
た。この洗浄方法によれば、前記洗浄槽を用いて一対の
洗浄液供給管から洗浄液を交互に供給するので、対流が
互いに打ち消し合う際の対流間の衝突によって洗浄液の
流れに乱れを生じさせ、一方の対流だけが生じていると
きに形成された滞留部分を消失することが可能になり、
また、互いに打ち消し合う対流を交互に生じさせること
から、対流方向を平均化させることが可能になる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明を詳しく説明する。
図１（ａ）、（ｂ）は本発明の洗浄槽をウエハＷ用の洗
浄槽に適用した場合の第一実施形態例を示す図であり、
図１（ａ）、（ｂ）において符号１０は洗浄槽である。
なお、図１（ａ）は洗浄槽１０の平面図であり、図１
（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ線矢視図である。

【００１４】図１（ａ）、（ｂ）に示した洗浄槽１０が
図７（ａ）、（ｂ）に示した洗浄槽１と異なるところ
は、図１（ｂ）に示すように、槽本体２の底部に設けら
れた洗浄液供給管３とは別に、同じ構成からなる洗浄液
供給管１１が槽本体２の上部（液面部）にも設けられて
いる点である。すなわち、この洗浄槽１０における洗浄
液供給管１１（以下、これを上洗浄液供給管１１と称
し、また洗浄液供給管３を下洗浄液供給管３と称する）
は、下洗浄液供給管３と同様に、図示しない洗浄液供給
源に接続する供給源側配管１２と、これに連続する正方
形環状の吐出側配管１３とからなるものであり、吐出側
配管１３には、下洗浄液供給管３における吐出側配管６
の吐出口７Ｌ…のそれぞれに対向する位置に吐出口１４
Ｌが、また吐出口７Ｒ…のそれぞれに対向する位置に吐
出口１４Ｒが形成されている。

【００１５】したがって、このような構成により下洗浄
液供給管３と上洗浄液供給管１１とは、槽本体２の深さ
方向における中心面を対称面として略面対称の位置に配
置されたものとなっており、また、これらの吐出口７
Ｌ、７Ｒ…と吐出口１４Ｌ、１４Ｒ…とも、同様に略面
対称に配置されたものとなっている。

【００１６】また、これら吐出口７Ｌ、７Ｒ…、吐出口
１４Ｌ、１４Ｒ…は、図１（ａ）に示すように、ウエハ
支持体４上に載置固定されるウエハＷの間隔に対応して
形成配置されている。すなわち、ウエハＷの両面上をフ
レッシュな洗浄液が効率良く流れるよう、吐出口７Ｌ、
７Ｒ…、吐出口１４Ｌ、１４Ｒ…は、複数載置固定され
たウエハＷのそれぞれの間、および外側に配置されたウ
エハＷのさらに外側に配置されているのである。よっ
て、このような吐出口７Ｌ、７Ｒ…、吐出口１４Ｌ、１
４Ｒ…の配置により、これら吐出口７Ｌ、７Ｒ…、吐出
口１４Ｌ、１４Ｒ…から吐出された洗浄液がウエハＷの
両面上を流れるようになり、したがってフレッシュな洗
浄液をウエハＷの両面上に効率良く供給できるのであ
る。

【００１７】このような洗浄槽１を用いて被洗浄物であ
るウエハＷを洗浄するには、従来と同様に予め槽本体２
内に洗浄水を満たしておき、その状態でウエハＷをウエ
ハ支持体４上に載置固定する。そして、この状態で一方
の洗浄液供給管に接続された洗浄液供給源から洗浄液を
一定圧で送る。例えば、下洗浄液供給管３に洗浄液を所
定時間送り、これの吐出口７Ｌ、７Ｒより同時に洗浄液
を槽本体２内に供給する。すると、吐出口７Ｌ、７Ｒよ
り吐出された洗浄液は、従来と同様に槽本体２内におい
て、図２中実線の矢印で示すように対流を生じ、また余
剰の洗浄液はオーバーフローする。なお、図２は、図１
（ｂ）と同じ側断面で見た洗浄液の対流分布図である。

【００１８】次に、下洗浄液供給管３からの洗浄液供給
を停止すると同時に、上洗浄液供給管１１からの洗浄液
供給を開始する。このとき、洗浄液の供給条件、すなわ
ち洗浄液の吐出圧および吐出量は、下洗浄液供給管３か
らの供給条件と同一にする。ただし、供給時間について
は、図３に示すように最初の上洗浄液供給管１１からの
洗浄液供給時間より少し長い時間とする（図３では、下
洗浄液供給管３からの洗浄液供給を「下供給」と記し、
上洗浄液供給管１１からの洗浄液供給を「上供給」と記
している）。これは、最初の洗浄液供給のときには、槽
本体２内の洗浄液には対流が生じておらず、したがっ
て、後述するようにこの対流を打ち消す時間が不要であ
るからである。

【００１９】ここで、図３は、図２中にＦａで示したポ
イントとＦｂで示したポイントでの、処理時間と対流方
向および対流速度との関係を示すグラフ図である。な
お、Ｆａは、吐出口７Ｌ（７Ｒ）と吐出口１４Ｌ（１４
Ｒ）との略中間点であり、Ｆｂは、槽本体２における吐
出側配管６の両辺６Ｌ、６Ｒの中間部で、かつ槽本体２
の深さ方向における略中央部である。

【００２０】図３に示したように、最初に下洗浄液供給
管３からの洗浄液供給を行うと、槽本体２内に洗浄液の
対流が無い状態から、ポイントＦａでは上昇流が生じて
これが徐々に強くなり、一方ポイントＦｂでは下降流が
生じてこれが徐々に強くなる。そして、所定時間経過す
ると、これらは一定の速度となる。この一定の速度とな
ってから次の操作により対流速度が変わるまでの時間ｔ
を、本例では基本サイクルとする。

【００２１】すなわち、前述した最初の下洗浄液供給管
３からの洗浄液供給に続く上洗浄液供給管１１からの洗
浄液供給では、その当初においては前の洗浄液供給によ
る対流の強さが残っていることから、見掛け上図２中実
線の矢印で示した対流が起きているが、時間の経過に伴
い、上洗浄液供給管１１からの洗浄液供給による対流が
強くなって遂には前の対流が後の対流によって打ち消さ
れる（図３中の実線と破線の交点部）。そして、さらに
洗浄液供給が続けられることにより、槽本体２において
は、図２中破線の矢印で示すようにポイントＦａでは下
降流が生じてこれが徐々に強くなり、一方ポイントＦｂ
では上昇流が生じてこれが徐々に強くなる。そして、所
定時間経過すると、先の下洗浄液供給管３からの洗浄液
供給の場合と同様に、これらは一定の速度となる。した
がって、この一定の速度となってから前記時間ｔだけ上
洗浄液供給管１１からの洗浄液供給を続けるのである。

【００２２】そして、この上洗浄液供給管１１からの洗
浄液供給を、対流速度が一定になってから時間ｔ続けた
ら、この上洗浄液供給管１１からの洗浄液供給を停止す
ると同時に、再度下洗浄液供給管３からの洗浄液供給を
開始し、以下、同様にして上洗浄液供給管１１からの洗
浄液供給と下洗浄液供給管３からの洗浄液供給とを交互
に繰り返す。

【００２３】このようにして下洗浄液供給管３からの洗
浄液供給と上洗浄液供給管１１からの洗浄液供給とを交
互に繰り返してウエハＷの洗浄を行うと、それぞれの洗
浄液供給によって生じる対流をある時点で互いに打ち消
すことができ、これにより対流が互いに打ち消し合う際
の対流間の衝突によって槽本体２内の洗浄液の流れに乱
れを生じさせることができる。したがって、一方の対流
だけが生じているときに形成された滞留部分を消失させ
ることができ、これにより滞留部分に停滞した微粒子等
を再度分散させ、その後に生じた対流にのせてオーバー
フローされる洗浄液と共に槽本体２の外に効率よく排出
することができる。また、このように互いに打ち消し合
う対流を交互に生じさせることから、対流方向を平均化
させることがき、これにより吐出口７Ｌ、７Ｒ（１４
Ｌ、１４Ｒ）から吐出されるフレッシュな洗浄液の供給
位置を偏ることなく分散させることができ、したがって
洗浄の均一性を向上させることができる。

【００２４】図４（ａ）、（ｂ）は本発明の洗浄槽をウ
エハＷ用の洗浄槽に適用した場合の第二実施形態例を示
す図であり、図４（ａ）、（ｂ）において符号２０は洗
浄槽である。なお、図４（ａ）は洗浄槽２０の平面図で
あり、図４（ｂ）は図４（ａ）のＡ−Ａ線矢視図であ
る。

【００２５】図４（ａ）、（ｂ）に示した洗浄槽２０が
図７（ａ）、（ｂ）に示した洗浄槽１と異なるところ
は、図４（ａ）に示すように、槽本体２の底部に設けら
れた洗浄液供給管３に代えて、一対の洗浄液供給管２１
Ｌ、２１Ｒを設けた点である。すなわち、この洗浄槽２
０における洗浄供給管２１Ｌ、２１Ｒは、先を閉じた直
管状のもので、それぞれ図示しない洗浄液供給源に接続
されたものである。これら洗浄供給管２１Ｌ、２１Ｒ
は、槽本体２内の底部において、図７（ａ）に示した洗
浄液供給管３における吐出側配管６の、吐出口７Ｌ、７
Ｒを形成した辺６Ｌ、６Ｒと同じ位置に配置されたもの
である。

【００２６】また、これら洗浄供給管２１Ｌ、２１Ｒの
吐出口２２Ｌ、２２Ｒ…は、前記第一実施形態例の吐出
口７Ｌ、７Ｒ、１４Ｌ、１４Ｒと同様に、ウエハ支持体
４上に載置固定されるウエハＷの間隔に対応して形成配
置されており、これにより吐出口２２Ｌ、２２Ｒ…から
吐出されたフレッシュな洗浄液は、ウエハＷの両面上を
効率良く流れるようになっている。また、このように吐
出口２２Ｌ…と吐出口２２Ｒ…とがウエハＷを挟んで配
置されていることにより、これら吐出口２２Ｌ、２２Ｒ
…は、槽本体２の中心線を対称軸として互いに略線対称
に配置されたものとなっている。

【００２７】このような洗浄槽１を用いて被洗浄物であ
るウエハＷを洗浄するには、従来と同様に予め槽本体２
内に洗浄水を満たしておき、その状態でウエハＷをウエ
ハ支持体４上に載置固定する。そして、この状態で一方
の洗浄液供給管、例えば洗浄液供給管２１Ｌに接続され
た洗浄液供給源から洗浄液を一定圧で所定時間送り、こ
れの吐出口２２Ｌ…より洗浄液を槽本体２内に供給す
る。すると、吐出口２２Ｌ…より吐出された洗浄液は、
槽本体２内において、図５中実線の矢印で示すようにそ
の底部の洗浄液供給管２１Ｌ側、すなわち図５において
底部左側から上昇し、液面側に到った後右側に向かい、
さらに下降して洗浄液供給管２１Ｒ近傍に到り、その後
元の洗浄液供給管２１Ｌ側に向かい、以下、この対流が
連続する。また、余剰の洗浄液はオーバーフローする。
なお、図５は、図４（ｂ）と同じ側断面で見た洗浄液の
対流分布図である。

【００２８】次に、洗浄液供給管２１Ｌからの洗浄液供
給を停止すると同時に、洗浄液供給管２１Ｒからの洗浄
液供給を開始する。このとき、洗浄液の供給条件、すな
わち洗浄液の吐出圧および吐出量は、洗浄液供給管２１
Ｌからの供給条件と同一にする。ただし、供給時間につ
いては、先の第一実施形態例の場合と同様に、図６に示
すように最初の洗浄液供給管２１Ｌからの洗浄液供給時
間より少し長い時間とする（図６では、洗浄液供給管２
１Ｌからの洗浄液供給を「左供給」と記し、洗浄液供給
管２１Ｒからの洗浄液供給を「右供給」と記してい
る）。ここで、図６は、図５中にＦａで示したポイント
とＦｂで示したポイントでの、処理時間と対流方向およ
び対流速度との関係を示すグラフ図である。なお、Ｆａ
は、洗浄液供給管２１Ｌの吐出口２２Ｌの直上でかつ槽
本体２の深さ方向における略中央部であり、Ｆｂは、洗
浄液供給管２１Ｒの吐出口２２Ｒの直上でかつ槽本体２
の深さ方向における略中央部である。

【００２９】図６に示したように、最初に洗浄液供給管
２１Ｌからの洗浄液供給を行うと、槽本体２内に洗浄液
の対流が無い状態から、ポイントＦａでは上昇流が生じ
てこれが徐々に強くなり、一方ポイントＦｂでは下降流
が生じてこれが徐々に強くなる。そして、所定時間経過
すると、先の第一実施形態例の場合と同様にこれらは一
定の速度となる。この一定の速度となってから次の操作
により対流速度が変わるまでの時間ｔを、本例において
も基本サイクルとする。

【００３０】すなわち、前述した最初の洗浄液供給管２
１Ｌからの洗浄液供給に続く洗浄液供給管２１Ｒからの
洗浄液供給では、先の第一実施形態例と同様に、その当
初においては前の洗浄液供給による対流の強さが残って
いることから、見掛け上図５中実線の矢印で示した対流
が起きているが、時間の経過に伴い、洗浄液供給管２１
Ｒからの洗浄液供給による対流が強くなって遂には前の
対流が後の対流によって打ち消される（図５中の実線と
破線の交点部）。そして、さらに洗浄液供給が続けられ
ることにより、槽本体２においては、図５中破線の矢印
で示すようにポイントＦａでは下降流が生じてこれが徐
々に強くなり、一方ポイントＦｂでは上昇流が生じてこ
れが徐々に強くなる。そして、所定時間経過すると、先
の洗浄液供給管２１Ｌからの洗浄液供給の場合と同様
に、これらは一定の速度となる。したがって、この一定
の速度となってから前記時間ｔだけ洗浄液供給管２１Ｒ
からの洗浄液供給を続けるのである。

【００３１】そして、この洗浄液供給管２１Ｒからの洗
浄液供給を、対流速度が一定になってから時間ｔ続けた
ら、この洗浄液供給管２１Ｒからの洗浄液供給を停止す
ると同時に、再度洗浄液供給管２１Ｌからの洗浄液供給
を開始し、以下、同様にして洗浄液供給管２１Ｒからの
洗浄液供給と洗浄液供給管２１Ｌからの洗浄液供給とを
交互に繰り返す。

【００３２】このようにして洗浄液供給管２１Ｌからの
洗浄液供給と洗浄液供給管２１Ｒからの洗浄液供給とを
交互に繰り返してウエハＷの洗浄を行うと、先の第一実
施形態例と同様に、それぞれの洗浄液供給によって生じ
る対流をある時点で互いに打ち消すことができ、これに
より対流が互いに打ち消し合う際の対流間の衝突によっ
て槽本体２内の洗浄液の流れに乱れを生じさせることが
できる。したがって、一方の対流だけが生じているとき
に形成された滞留部分を消失させることができ、これに
より滞留部分に停滞した微粒子等を再度分散させ、その
後に生じた対流にのせてオーバーフローされる洗浄液と
共に槽本体２の外に効率よく排出することができる。ま
た、このように互いに打ち消し合う対流を交互に生じさ
せることから、対流方向を平均化させることがき、これ
により吐出口７Ｌ、７Ｒ（１４Ｌ、１４Ｒ）から吐出さ
れるフレッシュな洗浄液の供給位置を偏ることなく分散
させることができ、したがって洗浄の均一性を向上させ
ることができる。

【００３３】なお、本発明の洗浄槽は前記実施形態例に
示した構成に限定されることなく、基本的には洗浄液配
管が一対備えられ、これらが互いの対流を打ち消すこと
ができるようそれぞれから洗浄液を供給できるように構
成配置されていればよい。例えば、第二実施形態例にお
ける洗浄液供給管２１Ｌ、２１Ｒを槽本体２の底部でな
く上部（液面部）に設け、それぞれの吐出口２２Ｌ、２
２Ｒ…を底面側に向けるようにしてもよいのである。

【００３４】

【発明の効果】以上説明したように本発明の洗浄槽は、
槽本体に備えられた一対の洗浄液供給管が、その一方か
らの洗浄液の吐出によって槽本体内の洗浄液に生じる対
流が他方からの洗浄液の吐出によって槽本体内の洗浄液
に生じる対流で打ち消されるよう、これら一方と他方の
洗浄液供給管が槽本体内においてそれぞれの吐出口が対
称な位置となるように配設されたものであり、例えばこ
れら一対の洗浄液供給管から洗浄液を交互に供給するこ
とにより、それぞれの洗浄液供給によって生じる対流を
互いに打ち消すことができるようにしたものである。よ
って、対流が互いに打ち消し合う際の対流間の衝突によ
って洗浄液の流れに乱れを生じさせ、一方の対流だけが
生じているときに形成された滞留部分を消失させること
ができ、これにより滞留部分に停滞した微粒子等を再度
分散させ、その後に生じた対流にのせてオーバーフロー
される洗浄液と共に槽本体の外に効率よく排出すること
ができ、したがって被洗浄物に微粒子等が再付着するの
を防ぐことができる。また、洗浄液供給管を、供給側と
吐出口のみが開口されたものとしたので、従来と同様の
簡単な配管をそのまま利用することができ、したがって
設備に多大なコストをかけることなく安価に作製するこ
とができる。

【００３５】本発明の洗浄方法は、前記洗浄槽を用いて
その一対の洗浄液供給管から洗浄液を交互に供給するよ
うにした方法であるから、対流が互いに打ち消し合う際
の対流間の衝突によって洗浄液の流れに乱れを生じさ
せ、一方の対流だけが生じているときに形成された滞留
部分を消失させることによって被洗浄物に微粒子等が再
付着するのを防ぐことができる。また、このように互い
に打ち消し合う対流を交互に生じさせることから、対流
方向を平均化させることがき、これにより吐出口から吐
出されるフレッシュな洗浄液の供給位置を偏ることなく
分散させることができ、したがって洗浄の均一性を向上
させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明における洗浄槽の第一実施形態例の概略
構成図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−
Ａ線矢視図である。

【図２】図１に示した洗浄槽内における対流分布図であ
る。

【図３】図２中のポイントＦａ、Ｆｂでの処理時間と対
流方向および対流速度との関係を示すグラフ図である。

【図４】本発明における洗浄槽の第二実施形態例の概略
構成図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−
Ａ線矢視図である。

【図５】図４に示した洗浄槽内における対流分布図であ
る。

【図６】図５中のポイントＦａ、Ｆｂでの処理時間と対
流方向および対流速度との関係を示すグラフ図である。

【図７】従来の洗浄槽の一例の概略構成図であり、
（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線矢視図であ
る。

【図８】図７に示した洗浄槽内における対流分布図であ
る。

【図９】図８中のポイントＦａ、Ｆｂでの処理時間と対
流方向および対流速度との関係を示すグラフ図である。

【符号の説明】

２ 槽本体 ３、１１、２１Ｌ、２１Ｒ 洗浄液供給
管 １０、２０ 洗浄槽 １４Ｌ、１４Ｒ、２２Ｌ、２２
Ｒ 吐出口 Ｗ 半導体ウエハ（被洗浄物）

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被洗浄物を槽本体に収容してこれを洗浄
   液で洗浄するための洗浄槽であって、 洗浄液を吐出口から供給する洗浄液供給管を槽本体に一
   対備えてなり、これら一対の洗浄液供給管は、一方から
   の洗浄液の吐出によって槽本体内の洗浄液に生じる対流
   が他方からの洗浄液の吐出によって槽本体内の洗浄液に
   生じる対流で打ち消されるよう、これら一方と他方の洗
   浄液供給管が槽本体内においてそれぞれの吐出口が対称
   な位置となるように配設され、かつ前記洗浄液供給管
   は、供給側と吐出口のみが開口されたものであることを
   特徴とする洗浄槽。
2. 【請求項２】 前記一対の洗浄液供給管が、槽本体の上
   部側と底部側とに配置され、 該洗浄液供給管の吐出口が、槽本体の深さ方向における
   中心面を対称面として略面対称の位置に配置されるとと
   もに、互いに対向した状態に開口されてなることを特徴
   とする請求項１記載の洗浄槽。
3. 【請求項３】 前記一対の洗浄液供給管が、槽本体の上
   部側あるいは底部側に配置され、 該洗浄液供給管の吐出口が、槽本体の中心線を対称軸と
   して互いに略線対称の位置に配置されるとともに、槽本
   体の深さ方向でかつ該深さ方向の中央部側に向けて開口
   されてなることを特徴とする請求項１記載の洗浄槽。
4. 【請求項４】 洗浄槽の槽本体内に被洗浄物を収容して
   これを洗浄液で洗浄する洗浄方法であって、 前記洗浄槽は、洗浄液を吐出口から供給する洗浄液供給
   管を槽本体に一対備え、これら一対の洗浄液供給管が、
   一方からの洗浄液の吐出によって槽本体内の洗浄液に生
   じる対流が他方からの洗浄液の吐出によって槽本体内の
   洗浄液に生じる対流で打ち消されるよう、これら一方と
   他方の洗浄液供給管が槽本体内においてそれぞれの吐出
   口が対称な位置となるように配設され、かつ前記洗浄液
   供給管が、供給側と吐出口のみが開口したものであり、 該洗浄槽における槽本体内の略中央部に被洗浄物を設置
   した後、前記一対の洗浄液供給管から洗浄液を交互に供
   給することを特徴とする洗浄方法。