JPH10223726A - ウェーハ・カセット収納装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 機構を簡略化し、動作時間を短縮することが
できるウェーハ・カセット収納装置を提供する。 【解決手段】 ＩＤ認識装置１２をカセット３の移動経
路外に置き、ＩＤ読みとり時にＩＤ認識装置１２を移動
させることがないので、認識装置の移動によるパーティ
クルの飛散によるウェーハ２の汚染を避けることがで
き、カセット置き台６を傾けることにより、ＩＤ読みと
りとウェーハ戻しを同時に行えるので、動作時間の短縮
をはかることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、複数の半導体ウ
ェーハや液晶基板（以下、ウェーハと略称する）が実装
されたウェーハ・カセット（以下、カセットと略称す
る）を気密性容器（以下、ポッドと称する）に出し入れ
するウェーハ・カセット収納装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ウェーハの製造工程では、カセット内に
実装された１枚または複数枚のウェーハをパーティクル
やガス状物質による汚染から守るために、種々の方法が
考案され実用化されている。特にウェーハの搬送時や保
管時にウェーハを汚染から守るために、カセットをポッ
ドに入れて搬送、保管する方法が提案されている。ま
た、このカセットをポッドに出し入れする際、カセット
に貼られたバーコードなどによる識別符号（以下、ＩＤ
と略称する）を読みとって製造管理を行うのが一般的で
ある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上述の方法では、カセ
ット上面に貼り付けられたバーコードを読みとるため
に、カセットをバーコードリーダの下部に置いて読み取
るのが通例である。しかし、従来のウェーハ・カセット
収納装置の場合は装置の上部にポッドがあるためにバー
コードリーダを読みとり位置に配置できないので、エレ
ベータ機構を持ったカセット置き台にカセットが載置さ
れた後に、アームに取り付けられたバーコードリーダを
カセット上部に移動させてバーコードを読み取る必要が
あり、機構が複雑になる傾向がある。また機構が複雑化
するに伴い、パーティクルの発生源となる摺動部や軸受
けの点数が増え、ウェーハが汚染しやすくなると言う解
決すべき課題がある。

【０００４】また、カセットがカセット置き台に載置さ
れ置き台が上昇してポッドへ収納されるとき、ウェーハ
がカセットから飛び出しているとウェーハ飛び出し検知
センサがこれを検知して、ウェーハ戻し機構を動作さ
せ、ウェーハをカセット内の定位置へ押し込む機構につ
いても、同様に機構が複雑なため、パーティクルの発生
源が増えるという問題点もあった。本発明は、このよう
な背景の下になされたもので、機構を簡略化し、動作時
間を短縮することができるウェーハ・カセット収納装置
を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、置き台に置かれたウェーハ・カセットをその上方に
配置された気密性容器に出し入れするウェーハ・カセッ
ト収納装置において、前記ウェーハ・カセット表面に上
方へ向けて取り付けられた識別符号表示部と、前記ウェ
ーハ・カセットを前記出し入れの方向に対して傾斜させ
る傾斜手段と、該傾斜手段により傾斜させられたウェー
ハ・カセットの表面の識別符号表示部へ向けて、かつ、
前記気密性容器へ向かうウェーハ・カセットの移動経路
から離れた位置に設けられた識別符号認識装置と、前記
ウェーハ・カセットから飛び出したウェーハを検知する
ウェーハ飛び出し検知装置とからなることを特徴とする
ウェーハ・カセット収納装置を提供する。

【０００６】請求項２に記載の発明は、前記傾斜手段
が、ウェーハ・カセットが乗せられた置き台に当接して
該置き台を傾斜させることを特徴とする請求項１に記載
のウェーハ・カセット収納装置を提供する。

【０００７】請求項３に記載の発明は、前記置き台が、
一端部近傍の位置で水平軸を中心として回動可能に支持
され、前記傾斜手段が、前記置き台の移動経路内に突出
して移動中の前記置き台の前記水平軸から離れた位置に
接することにより前記置き台を回動させることを特徴と
する請求項２に記載のウェーハ・カセット収納装置を提
供する。

【０００８】

【発明の実施の形態】図１から図５は本発明の一実施形
態によるウェーハ・カセット収納装置の構成と動作を示
す断面図である。図１において、符号１は以下に説明す
る各機構要素が取り付けられた支持部材を兼ねたクリー
ンルーム領域とストッカー領域との隔壁である。この隔
壁１の右側はクリーンルーム領域であり、ウェーハ２を
収容したカセット３を裸の状態で取り扱うことができる
領域である。またこの隔壁の左側は、ストッカー領域で
あり、前記カセット３はポッド４に収納し、外気と遮断
された状態で搬送または保管しなければならない領域で
ある。

【０００９】前記ポッド４の底蓋５を乗せたカセット置
き台６にはポッドのロック開閉機構７が付属しており、
前記置き台６はヒンジ機構８を介して上下方向移動機能
を有するアーム９に接続され、前記ヒンジ機構８を支点
として前記カセット３を乗せた状態で前記アーム９を下
方に移動させることにより、前記隔壁１に固定された置
き台傾斜用ピン１０と接触し、前記置き台６を傾けるこ
とができるようになっている。

【００１０】また、前記隔壁１の水平部分には前記ポッ
ド４を乗せることができ、前記底蓋５及び置き台６が通
過できる穴が開いており、図示の位置にウェーハ飛び出
し検知センサ１１が取り付けられて図２の矢印Ａの方向
を監視し、図示の位置にバーコードリーダによるＩＤ認
識装置１２が取り付けられて矢印Ｂの方向に位置するバ
ーコード認識票を読むべく待機している。上述のこれら
各機構は図示していない制御装置により制御され動作す
る。

【００１１】このような構成のウェーハ・カセット収納
装置における動作を図１から図５を参照して説明する。
図１は空のポッド４が定位置に置かれ、底蓋５がロック
されて待機している状態である。このとき制御装置から
カセット入庫の指令が出されると、底蓋５のロックが解
除されて前記底蓋５は置き台６と共に上下方向移動機能
を持ったアーム９により図２の位置まで下降し、停止す
る。

【００１２】図３は底蓋６の上にカセット３を乗せた状
態を示す。この状態からアーム９が下降すると、置き台
傾斜用ピン１０と置き台６とが接触して置き台６の端部
を上方へ押し上げ、アーム９がさらに下降すると置き台
６の片側はヒンジ機構８でアームと接続されているの
で、前記置き台６は図４に示すように傾斜する。このと
き、カセット３などの通路を避けて図示の場所に取り付
けられたバーコードリーダによるＩＤ認識装置によって
矢印Ｂの方向にある前記カセット３の認識番号を読み取
られると共に、もし前記カセット３から飛び出したウェ
ーハがあっても重力により定位置に戻される。

【００１３】次に、前記アーム９が上昇し、図３の位置
まで戻ったときに、ウェーハ飛び出し検知センサ１１に
より図３の矢印Ａの方向を監視し、もしウェーハの飛び
出しを検知すれば、前記アーム９を再び下降させ、置き
台６を傾けてウェーハを定位置に戻す動作を繰り返す。
もし、ウェーハ飛び出し等の異常がなければ前記アーム
９を図５に示す位置まで上昇させ、カセット３をポッド
４に収納する。ポッドに収納されたカセットはストッカ
ー領域において、パーティクルやガス状物質による汚染
の心配をすることなく取り扱うことができる。

【００１４】上述のようにＩＤ認識装置をカセットの移
動経路外に置き、ＩＤ読みとり時にＩＤ認識装置を移動
させることがないので、認識装置の移動によるパーティ
クルの飛散によるウェーハの汚染を避けることができ、
カセット置き台を傾けることにより、ＩＤ読みとりとウ
ェーハ戻しを同時に行えるので、動作時間の短縮をはか
ることができる。以上、本発明の一実施形態の動作を図
面を参照して詳述してきたが、本発明はこの実施形態に
限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲
の設計変更等があっても本発明に含まれる。例えば、カ
セット置き台を傾ける代わりに、カセット自体を傾ける
方法であっても良い。

【００１５】

【発明の効果】これまでに説明したように、この発明に
よれば、ＩＤ認識装置をカセットの移動経路外に置き、
ＩＤ読みとり時にＩＤ認識装置を移動させることがない
ので、認識装置の移動によるパーティクルの飛散による
ウェーハの汚染を避けることができ、カセット置き台を
傾けることにより、ＩＤ読みとりとウェーハ戻しを同時
に行えるので、動作時間の短縮をはかることができると
いう効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施形態によるウェーハ・カセッ
ト収納装置の構成を示す断面図である。

【図２】 図１の収納装置の待機状態を示す断面図であ
る。

【図３】 図１の収納装置においてカセット置き台にカ
セットを載置した状態を示す断面図である。

【図４】 図１の収納装置においてカセットを載置した
置き台を傾けた状態を示す断面図である。

【図５】 図１の収納装置においてポッドにカセットが
収納された状態を示す断面図である。

【符号の説明】

１ 隔壁 ２ ウェーハ ３ カセット ４ ポッド ５ 底蓋 ６ カセット置き台 ７ ロック開閉機構 ８ ヒンジ機構 ９ アーム １０ 置き台傾斜用ピン １１ ウェーハ飛び出し検知センサ １２ ＩＤ認識装置

フロントページの続き (72)発明者 高岡 俊志 三重県伊勢市竹ヶ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢製作所内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 置き台に置かれたウェーハ・カセットを
   その上方に配置された気密性容器に出し入れするウェー
   ハ・カセット収納装置において、 前記ウェーハ・カセット表面に上方へ向けて取り付けら
   れた識別符号表示部と、 前記ウェーハ・カセットを前記出し入れの方向に対して
   傾斜させる傾斜手段と、 該傾斜手段により傾斜させられたウェーハ・カセットの
   表面の識別符号表示部へ向けて、かつ、前記気密性容器
   へ向かうウェーハ・カセットの移動経路から離れた位置
   に設けられた識別符号認識装置と、からなることを特徴
   とするウェーハ・カセット収納装置。
2. 【請求項２】 前記傾斜手段は、ウェーハ・カセットが
   乗せられた置き台に当接して該置き台を傾斜させること
   を特徴とする請求項１に記載のウェーハ・カセット収納
   装置。
3. 【請求項３】 前記置き台は、一端部近傍の位置で水平
   軸を中心として回動可能に支持され、 前記傾斜手段は、前記置き台の移動経路内に突出して移
   動中の前記置き台の前記水平軸から離れた位置に接する
   ことにより前記置き台を回動させることを特徴とする請
   求項２に記載のウェーハ・カセット収納装置。