JPH10222841A

JPH10222841A - 磁気記録媒体および基板

Info

Publication number: JPH10222841A
Application number: JP2144197A
Authority: JP
Inventors: Yoji Arita; 陽二有田; Junichi Kozu; 順一神津; Masatoshi Tomatsu; 正利戸松
Original assignee: Mitsubishi Chemical Corp
Current assignee: Mitsubishi Chemical Corp
Priority date: 1997-02-04
Filing date: 1997-02-04
Publication date: 1998-08-21

Abstract

(57)【要約】【課題】長時間回転後であっても初期と同様の対ヘッ
ド特性を有する磁気記録媒体を提供すること【解決手段】ヘッドとの特性改善を目的として略円盤
状の磁気記録媒体に設けられる微小突起を形成するに当
たり、任意の隣接する突起の、非磁性基板の略同心円周
方向における距離と、非磁性基板の略半径方向における
距離の少なくとも一方が、２種類以上の値を持つ様に微
小突起を配置する

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録媒体および基
板に関し、詳しくは磁気ディスク装置に使用されるハー
ドティスクなどの磁気記録媒体およびそのための基板に
関するものである。特に、良好なディスク起動時のトル
ク特性（スティクション）、良好なＣＳＳ（コンタクト
スタートアンドストップ）特性およびヘッドの媒体表面
へのスティッキング特性とヘッドの低浮上化を同時に可
能にする薄膜型の磁気記録媒体ならびにその基板に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】通常、ハードディスクはその使用に際し
高速で回転して磁気ヘッドを浮上させ、ハードディスク
への書き込み／読み出し等をこの磁気ヘッドを介して行
っている。ハードディスクは、その磁気特性の向上のた
め、ディスクの基板面あるいは基板面上に設けられたＮ
ｉＰメッキ等の非磁性体からなる下地層上に、磁気ディ
スクの円周方向にほぼ同心円状に機械的研磨を行って加
工痕を残す加工（以下、機械的テキスチャという）が行
われている。

【０００３】近年の情報量の増大と装置の小型軽量化の
要求により、線記録密度及びトラック密度が高くなり、
１ビット当りの面積が小さくなってくると、従来のよう
な機械的テキスチャによるスクラッチ傷は情報読み出し
の際にエラーとなる確率が高くなる。また、内周部にあ
るＣＳＳゾーンのみに機械的テキスチャを施しデータ記
録領域はそのままにする方法もあるが、データ記録領域
の面がＣＳＳゾーンの面の高さよりも高くなり、ヘッド
がシークする時にクラッシュするという問題があった。

【０００４】また、こうした機械的テキスチャに代え
て、レーザでテキスチャパターンを作る方法も提案され
ている。レーザによるテキスチャの方法の例は、米国特
許第５，０６２，０２１号、同５，１０８，７８１号に
開示されており、Ｎｄ−ＹＡＧの強パルスレーザ光によ
りＮｉＰ層を局所的に溶融し、溶融して形成された凹状
の穴部とその周囲に溶融したＮｉＰが表面張力で盛り上
がって固化した直径が２．５〜１００μｍのリム部から
なるクレータ状の凹凸を多数作り、円環状の凸状リムに
よってヘッドとのＣＳＳ特性を改善する試みが提案され
ている。しかし、この方法ではヘッド下面との接触面積
が飛躍的には下がらず、ヘッドとディスク間のスティッ
キングの問題は、機械的テキスチャに較べて改善されて
いるとは言い難い。

【０００５】また、突起をフォトリソグラフィを使って
形成する方法も提案されており、日本潤滑学会トライボ
ロジー予稿集（１９９１−５，Ａ−１１），（１９９２
−１０，Ｂ−６）には、ディスクの全表面に対する面積
比が０．１〜５％の同心円状の凸部又は突起を、フォト
リソグラフィによってＮｉＰ下地層を成膜したＡｌ合金
基板上に形成させ、その上にＣｒ層、Ｃｏ合金磁性層、
Ｃ保護膜を順次成膜した磁気ディスクのＣＳＳテストの
結果が示されている。しかし、この方法では、突起の頂
部が平滑なため、ヘッドの摺動回数と共に摩擦が増加す
るという欠点があり、また工業化も容易でないという問
題があった。

【０００６】本発明者はこれらの課題に対して検討し、
突起の頂点が平滑でなく、しかも突起高さや密度の制御
が容易なテキスチャ方法として、特開平８−１０６６３
０号公報に示されるような、比較的パワーの小さいパル
ス状のエネルギービームを均一間隔で走査して突起を形
成するテキスチャ方法を開発した。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明者が先に発明し
たこの方法は、他の従来例に比較してスティッキング特
性、ＣＳＳ特性とも大きな向上を実現した。しかし、更
なる検討を重ねた結果、長時間ディスクを回転させた後
に停止し、再びディスクを起動するときのスティクショ
ンの絶対値とばらつき、そしてＣＳＳ耐久性に不十分な
場合が見受けられた。

【０００８】したがって、本発明の目的は、特に長時間
ディスクを回転させた後に再びディスクを起動するとき
のスティクションのばらつき及び平均値のみならず、Ｃ
ＳＳ耐久性を改善した磁気記録媒体並びに基板を実現す
ることにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明者は上述した目的
を達成するため鋭意検討した結果、突起の形成パターン
が上述の特性に影響を及ぼしていることを見いだし、本
発明に到達した。すなわち、本発明の第１の要旨は、略
円盤状の非磁性基板上に、少なくとも磁性層を有する磁
気記録媒体であって、その表面に、高さが１〜６０ｎ
ｍ、各突起の頂点から１ｎｍ下の高さにおける等高線で
囲まれた図形の面積の平均値が２μｍ ²以下の突起が１
ｍｍ²あたり１０²〜１０⁸個存在し、且つ、任意の隣接
する突起の、非磁性基板の略同心円周方向における距離
と、非磁性基板の略半径方向における距離の少なくとも
一方が、２種類以上の値を持つことを特徴とする磁気記
録媒体に存する。

【００１０】更に、本発明の第２の要旨は、略円盤状の
非磁性基板であって、表面に、高さが１〜６０ｎｍ、各
突起の頂点から１ｎｍ下の高さにおける等高線で囲まれ
た図形の面積の平均値が２μｍ²以下の突起が１ｍｍ²あ
たり１０²〜１０⁸個存在し、且つ、周方向における任意
の該突起の隣り合う物の間の距離、または、周方向に並
んだ複数の突起からなる突起列の、基板の半径方向の間
隔が２つ以上の値を持つ、ある一定の規則的なパターン
を持った突起密度分布を有することを特徴とする磁気記
録媒体基板に存する。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下本発明につき詳細に説明す
る。本発明における突起の高さは、ＪＩＳ表面粗さ（Ｂ
０６０１）により規定される、粗さ曲線の中心線を基準
とした場合の突起の高さを表す。この突起の高さは、好
ましくは１〜６０ｎｍ、更に好ましくは１０〜４０ｎｍ
であり、６０ｎｍを超えるとＣＳＳ特性は良いがヘッド
の安定浮上高さは下げられず、１ｎｍ未満では基板が元
来有する細かな凹凸に埋もれてしまい所望の効果は得ら
れない。

【００１２】また、本発明においては、非磁性基板の磁
性層側表面に、高さが１〜６０ｎｍの突起を１ｍｍ²あ
たり１０²〜１０⁸個有する。１０²個未満では基板のう
ねり等によりヘッド下面を突起のみで支えるのは難し
く、また１０⁸個を超えた突起を作ろうとすると互いに
干渉しあって突起の高さをそろえるのが難しくなり、そ
の好ましい存在密度は１ｍｍ²あたり１０³〜１０⁶個で
ある。ここで突起の存在密度は媒体全体での平均密度で
はなく、突起存在部での単位面積当たりの密度をいう。

【００１３】また、本発明における各突起は、その頂点
から１ｎｍ下の高さにおける等高線で囲まれた図形の面
積の平均値（以下、等高線面積という）が２μｍ²以下
であり、好ましくは、０．００１〜１．０μｍ²、より
好ましくは０．００１〜０．５μｍ²、更に好ましくは
０．００１〜０．２μｍ²の範囲の値を有する。２μｍ ²
を超えるとヘッドとの間にスティッキングが発生しやす
くなり、ＣＳＳを作動することは不可能となる。なお、
この等高線面積は、レーザ干渉による表面形状測定装
置、例えば、米国ザイゴ社製〔ＺＹＧＯ〕で測定が可能
である。

【００１４】本発明の媒体の好ましい態様として、突起
は磁気ヘッドがＣＳＳ（コンタクトスタートアンドスト
ップ）を行なう領域のみに存在し、データ記録領域には
存在しない磁気記録媒体が挙げられる。このような構成
にするとにより、データ記録領域においては磁性層表面
を平滑にすることができるため、従来のようなスクラッ
チ傷によるエラーを減少させることができる。また、さ
らに好ましい態様として、磁気ヘッドがＣＳＳを行なう
領域（ＣＳＳ領域）のみに突起が存在し、データ記録領
域には存在せず、かつその突起の高さがデータ記録領域
に向かって減少している磁気記録媒体、または、その突
起の密度がデータ記録領域に向かって減少している磁気
記録媒体が挙げられる。

【００１５】突起高さをデータ記録領域に向かって減少
させることにより、データ記録領域からＣＳＳ領域ある
いは逆の方向にヘッドを安定にシークすることができ
る。また、突起の密度をデータ記録領域に向かって減少
させることにより、突起高さを順次変化させた場合と同
様な効果を得ることができる。また、突起の高さおよび
密度の両方をデータ記録領域に向かって減少させること
も好ましい方法である。

【００１６】本発明の磁気記録媒体を製造するための好
ましい方法としては、Ｓｉのミラーウェハーのように極
めて平滑な表面を有する磁気記録媒体用基板を回転させ
ながら、基板の略円周方向（同心円周方向のみならず、
連続して半径方向の距離が変化する場合（螺旋状の軌跡
となる場合）等、大まかな円周方向を意味する）に沿っ
て、出力を精度良く制御したエネルギービームを照射し
て表面に突起を形成する方法等が挙げられる。エネルギ
ービームとしては、パルスレーザ、電子線、Ｘ線などが
挙げられ、中でもパルスレーザを用いることが好まし
く、以下、パルスレーザを用いた場合を例として本発明
を説明する。

【００１７】本発明において、突起の生成機構は未だ十
分解明されていないが、次のように考えられる。図１は
突起の予想される生成機構を示す概念図である。図１
（ａ）で、パルスレーザ３が照射された非磁性基板４の
局所的に過熱されたスポット部５は一部溶融し、基板の
回転（方向を矢印で示す）、またはレーザビームの走査
によって溶融部分が移動する。図１（ｂ）に示すように
最初にビームが当った部分はその後、温度が下がり温度
勾配が生ずる。一般に、溶融液体においては、低温側の
方が表面張力が大きく、この表面張力の差により、最初
にビームで照射され溶融しその後低温になった部分が、
後から溶融した部分の液体を取り込み盛り上がる。

【００１８】したがって、図１（ｃ）に示すように、最
後に溶融した部分には凹部ができ、レーザビームの走査
方向に対して突起の後部に凹部を有することとなる。つ
まり、突起の中心を通り、レーザビームの走査方向を含
む垂直断面形状が、突起底部の片側部分に凹部を有する
こととなる。本発明において、レーザビームの走査方向
とは、ディスク上におけるレーザビームの軌跡、すなわ
ち静止したディスク上でレーザビームが走査する方向の
みならず、レーザビームは静止させておき、ディスクを
回転させた状態で照射する場合のディスクの回転方向を
も示すこととする。

【００１９】レーザビームの走査あるいは基板の回転が
遅いか、あるいはレーザビームのパワーが大きい等の条
件によっては、熱収縮により突起底部の周囲に凹部がで
きる場合もある。この現象の解明は十分ではないが、局
所的に加熱されたスポット部は膨張するが、その回りは
冷えていて変形しにくいため、膨張した部分は外気です
ぐに冷やされ突起として残る。そして突起の周囲は、熱
収縮による凹みができる。また、突起の頂部は平坦では
なく、適度な曲率を有する半球状である。

【００２０】一方、エネルギー分布がガウシアン分布で
ないエネルギービームや、ガウシアン分布を有するエネ
ルギービームを加工する等して、走査した場合と類似の
温度勾配を実現することによっても同様の突起を形成す
ることが出来る。

【００２１】米国特許第５，０６２，０２１号、同５，
１０８，７８１号記載の方法においては、基板上のＮｉ
Ｐ層の表面にレーザービームを照射しているが、その照
射範囲が広く、かつレーザの出力も１．５Ｗ等の大出力
であるため、ＮｉＰの溶融範囲が広く、溶融した液面の
中心部が盛り上がらずにクレータ状となってしまう。こ
れに対し、本発明においては、レーザビームを狭い範囲
に絞り、出力も低い条件下で精度良く突起を制御するた
め、Ｓｉ等の非磁性基板の溶融範囲が狭く、溶融した液
面の中心部が凸状に盛り上がり、固化した後に突起とな
る点で前記米国特許とは大きく異なる。したがって、先
端の面積も非常に小さな突起ができる。

【００２２】また、突起高さはレーザの強度とその平均
照射時間、及びディスクの線速度を調節することによっ
て自由に制御され、突起の密度は、１周当たりの突起の
個数、パルスレーザの半径方向の照射間隔、及び上記の
突起の高さを制御する条件を調節することにより自由に
制御させる。通常、レーザの強度は２０〜５００ｍＷ、
平均照射時間は０．０５〜１００μｓｅｃ、レーザのス
ポット径は０．２〜４μｍ、基板の線速度は０．８〜１
５ｍ／ｓｅｃが好ましい。ここで、レーザの平均照射時
間とは、１つの突起を形成させるのにレーザを下地層表
面に照射した時間を示す。レーザビームの照射面積を変
えるには、通常、対物レンズの開口率を変えればよく、
開口率が０．１〜０．９５の対物レンズを用いることに
より、ビームの照射径は０．７〜６μｍ程度まで制御で
きる。

【００２３】また、周方向の突起間距離については前述
の条件下で生成される突起の間隔が最低２つ以上の値を
持つようにする。それらの間隔は好ましくは１．５〜１
０００μｍ、さらに好ましくは２〜１００μｍ、特に好
ましくは２〜２５μｍがよい。また、周方向に並んだ該
突起からなるトラック間距離については前述の条件下で
生成される突起の間隔が最低２つ以上の値を持つように
する。それらの間隔は好ましくは１〜１０００μｍ、さ
らに好ましくは２〜１００μｍ、特に好ましくは３〜２
５μｍがよい。

【００２４】本発明において周方向の突起の間隔、およ
び、該突起からなるトラック間距離（半径方向距離。突
起を短い間隔で周方向に作成すると、突起が基板と略同
心円状の図形を形成し、記録トラックの様に見えるた
め、便宜上トラック間距離と言うことがある）をコント
ロールするためには、ビームを間欠的に照射し、かつ、
その時間間隔を２種類以上の一定パターンで行うか、エ
ネルギービームを連続で照射しておき、そのビームを途
中で時間間隔を２種類以上の一定のパターンで遮ること
によって可能である。１個１個のパルスの間隔を制御す
れば周方向の突起間隔が制御でき、半径方向にエネルギ
ービームを移動する際の間隔を制御すれば該突起からな
るトラック間距離が制御可能である。

【００２５】突起間隔について図２を用いて更に詳細に
説明する。図において、●は突起の位置を示す。周方向
における隣接突起の間隔Ｐ１、Ｐ２は異なる値を有す
る。同様に半径方向の突起間隔ｔ１、ｔ２も異なる値を
有する。図から明らかな通り、本発明での半径方向にお
ける突起間隔は、基板の中心を通り、基板の面に平行な
直線上の距離を用いる。図では周方向および半径方向の
突起間隔がＰ１、Ｐ２およびｔ１、ｔ２の２種ずつで構
成されているが、どちらか一方が２種以上であれば良
く、またそれぞれが３種類以上であってもよい。

【００２６】本発明において、非磁性基板としてはＳｉ
又はアルミニウム合金板等が好ましく用いられるが、
銅、チタン等の金属基板、セラミック基板又は樹脂基板
等を用いることもできる。非磁性基板の材質は、エネル
ギービーム照射による発熱と熱伝導による放熱の関係か
ら、基板表面の反射率が小さく、また、熱拡散率小さな
ものが望ましい。

【００２７】本発明においては、非磁性基板上に少なく
とも磁性層を有するが、非磁性基板と磁性層の間に下地
層を設けることもできる。下地層は、好ましくはＮｉＰ
合金層であり、通常無電解メッキ法またはスパッタ法に
より形成される。またその厚みは、好ましくは５０〜２
０，０００ｎｍ、特に好ましくは１００〜１５，０００
ｎｍである。

【００２８】下地層の上にはＣｒ層、あるいはＣｕ層等
の中間層を磁性層との間に設けるのが好ましく、その膜
厚は通常２０〜２００ｎｍ、好ましくは５０〜１００ｎ
ｍである。下地層上または中間層上に設ける磁性層は、
無電解メッキ、電気メッキ、スパッタ、蒸着等の方法に
よって形成され、Ｃｏ−Ｐ、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐ、Ｃｏ−Ｎ
ｉ−Ｃｒ、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｔａ、Ｃｏ
−Ｃｒ−Ｐｔ、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｔａ−Ｐｔ系合金等の強磁
性合金薄膜が形成され、その膜厚は通常３０から７０ｎ
ｍ程度である。

【００２９】この磁性層上には保護層を設けることがで
きるが、保護層としては蒸着、スパッタ、プラズマＣＶ
Ｄ、イオンプレーティング、湿式法等の方法により、炭
素膜、水素化カーボン膜、ＴｉＣ、ＳｉＣ等の炭化物
膜、ＳｉＮ、ＴｉＮ等の窒化膜等、ＳｉＯ、ＡｌＯ、Ｚ
ｒＯ等の酸化物膜等が成膜される。これらのうち特に好
ましくは、炭素膜、水素化カーボン膜である。又、保護
層上には通常、潤滑剤層が設けられる。

【００３０】

【実施例】次に、実施例により本発明を更に具体的に説
明するが、本発明はその要旨を超えない限り以下の実施
例によって限定されるものではない。（実施例１〜５、比較例１〜３）直径６４ｍｍの表面粗
さＲａが０．３ｎｍ以下のミラーウェハー状Ｓｉディス
ク基板上に、表−１に記載した条件に精度良く制御され
た波長λ＝５１４．５ｎｍのアルゴンパルスレーザを照
射してほぼ同じ高さの突起を形成させ、磁気ディスク用
基板を得た。

【００３１】次いで、スパッタ法により、突起を形成さ
せたＳｉ基板上に、順次、ＮｉＰ下地層（１００ｎ
ｍ）、Ｃｒ中間層（１００ｎｍ）、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｔａ合
金磁性膜（５０ｎｍ）及びカーボン保護膜を（２０ｎ
ｍ）を形成し、その後、浸漬法によりフッ素系液体潤滑
剤（モンテエジソン社製商品名ＤＯＬ−２０００）を２
ｎｍ塗布して、磁気記録媒体を作製した。

【００３２】表−１に実施例１〜５および比較例２〜５
の基板の線速度、レーザの強度、レーザの平均照射時
間、平均突起密度（レーザ照射のインターバルに相
当）、平均突起高さ、等高線面積および、レーザの集光
に用いた対物レンズの開口率ＮＡを示す。エネルギーの
８４％が集中するスポット径は、１．２２×λ／ＮＡで
表される。

【００３３】突起作成時のパラメータを以下に示す。基板線速度３４３（mm/sec）レーザ強度２０００（mW）平均照射時間１．２５（μsec）平均突起密度３００００（個/mm²）平均高さ２０（nm）等高線面積０．１８（μm²）対物レンズ０．９５（開口）

【００３４】以下に実施例ごとの周方向の突起間隔と周
方向に並んだ該突起からなるトラック間距離を示す。実施例１周方向の突起間隔２．5（μm）、７．５（μm）の繰り
返しトラック間距離１３（μm）実施例２周方向の突起間隔５（μm）、５（μm）、１５（μm）
の繰り返しトラック間距離７（μm）実施例３周方向の突起間隔１５（μm）トラック間距離３（μm）、９（μm）の繰り返し実施例４周方向の突起間隔１０（μm）トラック間距離５（μm）、５（μm）、１０（μm）の
繰り返し実施例５周方向の突起間隔２．５（μm）、１２．５（μm）の
繰り返しトラック間距離４．５（μm）、９（μm）の繰り返し比較例１周方向の突起間隔５（μm）トラック間距離１３（μm）比較例２周方向の突起間隔１０（μm）トラック間距離７（μm）

【００３５】表−１にこれらのディスクのＣＳＳテスト
前の静止摩擦係数（初期スティクション）及びＣＳＳ２
万回後の摩擦力を示した。ＣＳＳテストはヘッド浮上量
１．６μインチ、ロードグラム６ｇｆの薄膜ヘッド（ス
ライダ材質Ａｌ2Ｏ3ＴｉＣを用いた。ヘッドの安定浮上
高さは、データゾーンとＣＳＳゾーン間のシーク時のヘ
ッドの安定浮上性をグライドテスターを用いて評価し
た。ＣＳＳゾーンの安定浮上高さはすべて１．８μイン
チであった。

【００３６】表−２にこれらのディスクを使用したハー
ドディスクドライブでモーター起動後、磁気ヘッドをデ
ータゾーンに移動して７２時間連続回転させた後に、磁
気ヘッドをＣＳＳゾーンに移動して回転を停止した３時
間放置後に再びディスクを起動するときのスティクショ
ンのばらつき及び平均値を示す。

【００３７】

【表１】

【００３８】

【表２】

【００３９】

【発明の効果】以上説明したように本発明においては、
ヘッドとの特性改善を目的として略円盤状の磁気記録媒
体に設けられる微小突起を形成するに当たり、任意の隣
接する突起の、非磁性基板と略同心円周方向における距
離と、非磁性基板の略半径方向における距離の少なくと
も一方が、２種類以上の値を持つ様に微小突起を配置す
ることにより、長時間回転した後の最スタート時のステ
ィクション特性等の改良が実現できるという効果を有す
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の突起の予想される生成機構を示す概
念図である。

【図２】周方向における突起の隣り合う物の間の距
離、または、周方向に並んだ該突起からなるトラックの
隣り合う物の間の距離が異なった２つ以上の値を持つ、
ある一定の規則的なパターンを作ったときの代表図

【符号の説明】

１突起２凹部３パルスレーザ４非磁性基板５スポット部６凹状の穴部７リム部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】略円盤状の非磁性基板上に少なくとも磁
性層を有する磁気記録媒体であって、その表面に、高さ
が１〜６０ｎｍ、各突起の頂点から１ｎｍ下の高さにお
ける等高線で囲まれた図形の面積の平均値が２μｍ²以
下の突起が１ｍｍ²あたり１０²〜１０⁸個存在し、且
つ、任意の隣接する突起の、非磁性基板の略同心円周方
向における距離と、非磁性基板の略半径方向における距
離の少なくとも一方が、２種類以上の値を持つことを特
徴とする磁気記録媒体。
【請求項２】略円盤状の非磁性基板上に、少なくとも
磁性層を有する磁気記録媒体であって、その表面に、高
さが１〜６０ｎｍ、各突起の頂点から１ｎｍ下の高さに
おける等高線で囲まれた図形の面積の平均値が２μｍ²
以下の突起が１ｍｍ²あたり１０²〜１０⁸個存在し、且
つ、突起が非磁性基板の略同心円周方向及び略半径方向
に規則的に配置されるとともに、任意の隣接する突起
の、前記略同心円周方向における距離と、前記略半径方
向における距離の少なくとも一方が、２種類以上の値を
持つことを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項３】前記略同心円周方向における距離が１．５
〜１０００μｍ、前記略半径方向における距離が１〜１
０００μｍである請求項１または２記載の磁気記録媒
体。
【請求項４】略円盤状の非磁性基板であって、表面
に、高さが１〜６０ｎｍ、各突起の頂点から１ｎｍ下の
高さにおける等高線で囲まれた図形の面積の平均値が２
μｍ²以下の突起が１ｍｍ²あたり１０²〜１０⁸個存在
し、且つ、周方向における任意の該突起の隣り合う物の
間の距離、または、周方向に並んだ複数の突起からなる
突起列の、基板の半径方向の間隔が２つ以上の値を持
つ、ある一定の規則的なパターンを持った突起密度分布
を有することを特徴とする磁気記録媒体基板。