JPH10220835A - クリーンルームの天井構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】ファンフィルタユニットから噴き出された清浄
エアによる渦の発生を防止する。 【解決手段】ファンフィルタユニット１２の周縁を保持
する支持部材に、吸気用孔７２、７３、７４、７６を形
成して、クリーンルーム１０と天井空間７８とを連通す
る。そして、ファンフィルタユニット１２の周辺のエア
を、即ち、従来渦が発生していた領域のエアを、ファン
フィルタユニット１２のファンにより、前記吸気用孔７
２、７３、７４、７６を介して天井空間７８に吸引す
る。これにより、前記エアは、その領域に滞留しなくな
るので、渦の発生を防止することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はクリーンルームの天
井構造に係り、特にクリーンルームに清浄エアを供給す
るファンフィルタユニットが設置されたクリーンルーム
の天井構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造工場のクリーンルームの天井
面には、複数台のファンフィルタユニットが設置され、
これらのファンフィルタユニットから清浄エアがクリー
ンルーム内にダウンフローされて供給される。そして、
供給された前記エアは、クリーンルームの床下チャンバ
から床下空間に吸い込まれ、そして、その一部が循環路
を介して天井裏空間に導かれたのち、前記ファンフィル
タユニットのファンに吸引されて、クリーンルームに再
び供給される。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
クリーンルームの天井構造では、ファンフィルタユニッ
トから噴き出された清浄エアの一部が、天井面側に巻き
込まれて滞留してしまい、ファンフィルタユニットの周
辺に渦が発生するという欠点がある。この渦は、ファン
フィルタユニットのダウンフローに悪影響を与え、噴き
出された清浄エアによどみを発生させるという欠点があ
る。よどみが発生すると、ファンフィルタユニットの下
方は汚染域なので、清浄度が悪化し半導体製品の歩留り
が悪くなる。

【０００４】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、ファンフィルタユニットから噴き出された清浄
エアによる渦の発生を防止することができるクリーンル
ームの天井構造を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
する為に、クリーンルームに清浄エアを供給するファン
フィルタユニットが、クリーンルームの天井面に設置さ
れたクリーンルームの天井構造において、前記ファンフ
ィルタユニットの周縁を保持する支持部材に吸気用孔を
形成すると共に、クリーンルーム側のファンフィルタユ
ニットとファンフィルタユニットのエアを前記吸気用孔
を介して天井裏空間側に吸引することを特徴としてい
る。

【０００６】本発明によれば、従来渦が発生していた領
域のファンフィルタユニットの周辺のエアを、支持部材
に形成した吸気用孔を介して天井裏空間に吸引すること
により、滞留させないようにしたので、渦の発生を防止
することができる。したがって、本発明は、渦発生によ
るエア流のよどみを防止することができるので、清浄度
が改善し製品の歩留りが向上する。

【０００７】

【実施例】以下添付図面に従って本発明に係るクリーン
ルームの天井構造の好ましい実施例について詳説する。
図１は、本発明に係るクリーンルームの天井構造が適用
されたシステム天井型のクリーンルームの室内を示す説
明図である。同図に示すクリーンルーム１０は、天井部
に多数のファンフィルタユニット１２、１２…が密に設
置されていて、このファンフィルタユニット１２、１２
…から清浄エアーがクリーンルーム１０内に供給され
る。ファンフィルタユニット１２は図６に示すように、
直方体状に形成されたケーシング１を有し、このケーシ
ング１のその上面開口部２にファン３が設けられてい
る。ファン３が駆動されると天井裏空間に供給されたエ
アーはケーシング１に吸引され、そして、ケーシングの
下面に取り付けられたＨＥＰＡフイルタ４で除塵されて
クリーンルーム１０に供給される。

【０００８】前記ファンフィルタユニット１２は、図２
に示すシステム天井の支持フレームによって天井部に据
え付けられる。前記支持フレームは、天井フレーム１４
と載置フレーム１６とによって構成される。前記天井フ
レーム１４は、多数本の縦フレーム１８と該縦フレーム
１８よりも短めの横フレーム２０とを格子状に連結する
ことにより構築されると共に、吊りボルト２２によって
図３に示すクリーンルーム建屋の天井梁２４に垂設され
る。

【０００９】前記縦フレーム１８及び横フレーム２０
は、両側面の長手方向中央部に図３に示すくびれ部２６
が形成された断面略Ｉ形の金属フレームであり、その上
部及び下部には断面凹状の取付部２８、３０が形成され
ている。取付部２８の上端部には内側に折り曲げられた
フック部３２、３２が形成される。このフック部３２、
３２の内側には、フック部３２、３２から抜け出ない大
きさの平板状のワッシャ３４が挿入され、また、フック
部３２、３２の外側には、ワッシャ３８が配置される。
ワッシャ３４、３８はフック部３２、３２を上下から挟
むように配置されると共に、各々の通し孔にナット４０
を介して吊りボルト２２が挿入される。そして、ワッシ
ャ３４の下方からナット４２を吊りボルト２２に締結す
ることによって、縦フレーム１８及び横フレーム２０が
天井梁２４に垂設される。一方、前記取付部３０の下部
には図２に示すように、ねじ４６、４６…が予め装着さ
れている。これらのねじ４６、４６…は、載置フレーム
１６の取付時に、載置フレーム１６に形成された通し孔
５４Ａに挿通される。そして、図４に示すナット５６、
５６…をねじ４６、４６…に締結することにより、載置
フレーム１６が天井フレーム１４に固定される。

【００１０】前記載置フレーム１６は、多数本の縦フレ
ーム５０と該縦フレーム５０よりも短めの横フレーム５
２とを前記天井フレーム１４の下面に連結することによ
り構築される。前記縦フレーム５０及び横フレーム５２
は図３に示すように、断面が逆凹字形の金属フレームで
あり、その幅は天井フレーム１４の各フレーム１８、２
０の幅よりも充分に広く形成されている。縦フレーム５
０及び横フレーム５２には、水平平坦部５８、５８が形
成される。この水平平坦部５８、５８に図５に示すファ
ンフィルタユニット１２の下部周縁部１２Ａが載置され
ることにより、ファンフィルタユニット１２が支持フレ
ームに据え付けられる。

【００１１】図３において、縦フレーム５０及び横フレ
ーム５２の下部開放部には、室内照明用蛍光灯６０を支
持したアンダーカバー６２が前記下部開放部と面一に装
着される。アンダーカバー６２の内側には、板ばね部材
６４がねじ６６によって固定され、板ばね部材６４の上
端には、くの字状の板ばね片６８、６８が形成されてい
る。この板ばね片６８、６８は、アンダーカバー６２の
装着時に縦フレーム５０及び横フレーム５２の内側に突
出形成されたストッパー片７０、７０に係合される。こ
れにより、アンダーカバー６２が縦フレーム５０及び横
フレーム５２に支持される。なお、前記アンダーカバー
６２は、蛍光灯６０を支持したものと、蛍光灯６０を支
持しない単品のものとが揃えられていて、適宜選択され
て縦フレーム５０及び横フレーム５２に装着される。例
えば、本実施の形態では図１に示すように、蛍光灯６０
を支持したアンダーカバー６２は、所定の列の縦フレー
ム５０に沿って装着され、それ以外の縦フレーム５０及
び横フレーム５２には単品のアンダーカバー６２が装着
されている。

【００１２】ところで、図５に示すようにアンダーカバ
ー６２には、吸気用孔７２、７２…が形成される。これ
らの吸気用孔７２は、蛍光灯６０を挟んで両側に、アン
ダーカバー６２の長手方向に沿って所定の間隔をもって
形成されている。なお、単品のアンダーカバー６２も同
様な位置に吸気用孔７２、７２…が形成されている。こ
れにより、ファンフィルタユニット１２の周辺に前記吸
気用孔７２、７２…が形成される。

【００１３】また、吸気用孔７３、７３が縦フレーム５
０及び横フレーム５２の側面に、そして、吸気用孔７
４、７４…が縦フレーム５０及び横フレーム５２のスト
ッパー片７０、７０に形成され、更に、吸気用孔７６、
７６…が縦フレーム１８及び横フレーム２０の取付部３
０に形成されている。したがって、クリーンルーム１０
と天井裏空間７８とは、前記吸気用孔７２、７３、７
４、通し孔５４Ａ、取付部３０の下部開放部３１、及び
吸気用孔７６を介して連通されている。なお、前記吸気
用孔７２、７３、７４は、ファンフィルタユニット１２
の周辺部全域に密に形成するのが好ましく、よって、丸
孔よりも長孔（本図紙面奥方向へ形成された長孔）のほ
うが製作上容易である。一方、前記吸気用孔７６は、長
孔に形成すると、フレームの強度的低下をまねくおそれ
があるので、小径の丸孔を粗に形成するのが好ましい。

【００１４】次に、前記の如く構成されたクリーンルー
ムの天井構造の作用について説明する。ファンフィルタ
ユニット１２を駆動して、清浄エアをクリーンルーム１
０に供給すると、その清浄エアのうちファンフィルタユ
ニット１２の周部から噴き出されたエアは、ファンフィ
ルタユニット１２のファンによって図５中矢印Ａで示す
ように、吸気用孔７２、７３、７４、通し孔５４Ａ、取
付部３０の下部開口部３１、及び吸気用孔７６を介して
天井裏空間７８に吸引される。そして、ファンフィルタ
ユニット１２のファンによってファンフィルタユニット
に吸引されてクリーンルーム１０に再び供給される。

【００１５】これにより、従来渦が発生していた領域の
ファンフィルタユニットの周辺のエアは、前記吸気用孔
７２、７４、７６等を介して天井裏空間７８に吸引され
るので、その領域に滞留しない。したがって、前記領域
には、渦が発生しなくなるので、渦発生によるエア流の
よどみを防止することができる。よって、ファンフィル
タユニット１２の下方の汚染域は、常に清浄に保たれる
ので、製品の歩留りが良くなる。

【００１６】本実施の形態では、天井裏空間７８にエア
を吸引するための吸引装置を、ファンフィルタユニット
１２に内蔵されたファンで兼用したので、専用の吸引装
置を設けることなく、エアを吸引することができる。図
６は、本発明のクリーンルームの天井構造の第２の実施
の形態を示す要部断面図である。本実施の形態は、パネ
ル天井８０にファンフィルタユニット１２が所定の間隔
をもって設置されたものであり、このタイプの天井構造
では、クリーンルーム１０と天井裏空間８２とを連通す
る吸気用孔８４、８４…を、ファンフィルタユニット１
２の周辺のパネル天井８０に形成すれば良い。

【００１７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るクリ
ーンルームの天井構造によれば、ファンフィルタユニッ
トの周縁を支持する支持部材に吸気用孔を形成し、クリ
ーンルーム側の一部のエアを吸気用孔を介して天井裏空
間側に吸引することにより、従来渦が発生していた領域
のエアを滞留させないようにしたので、渦の発生を防止
することができる。したがって、本発明は、渦発生によ
るエア流のよどみを防止することができ、クリーンルー
ムの清浄度が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るクリーンルームの天井構造が適用
されたクリーンルームの説明図

【図２】クリーンルームの天井構造の分解斜視図

【図３】ファンフィルタユニットの支持フレームの要部
断面図

【図４】ファンフィルタユニットの組み付け斜視図

【図５】支持フレームに形成された吸気用孔を示す要部
拡大断面図

【図６】パネル天井型のクリーンルームの天井構造を示
す要部断面図

【符号の説明】

１０…クリーンルーム １２…ファンフィルタユニット １４…天井フレーム １６…載置フレーム ６２…アンダーカバー ７２、７４、７６、８４…吸気用孔

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】クリーンルームに清浄エアを供給するファ
   ンフィルタユニットが、クリーンルームの天井面に設置
   されたクリーンルームの天井構造において、 前記ファンフィルタユニットの周縁を保持する支持部材
   に吸気用孔を形成すると共に、クリーンルーム側のファ
   ンフィルタユニットとファンフィルタユニットの間のエ
   アを前記吸気用孔を介して天井裏空間側に吸引すること
   を特徴とするクリーンルームの天井構造。