JPH1021839A

JPH1021839A - プラズマ表示装置用基板及びその製造方法

Info

Publication number: JPH1021839A
Application number: JP17049596A
Authority: JP
Inventors: Toshikazu Kishino; 敏和岸野; Kiyohiro Sakasegawa; 清浩逆瀬川
Original assignee: Kyocera Corp
Current assignee: Kyocera Corp
Priority date: 1996-06-28
Filing date: 1996-06-28
Publication date: 1998-01-23
Anticipated expiration: 2016-06-28
Also published as: JP3472413B2

Abstract

(57)【要約】【課題】プラズマ表示装置用基板において、高精度で微
細な形状の隔壁１１を容易に形成する。【解決手段】セラミックス又はガラス粉体とバインダー
との混合物を成形型２０中に充填して得た成形体と、セ
ラミックス又はガラスからなる背面板１０とを接合一体
化してプラズマ表示装置用基板を構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、高精度かつ安価な
薄型の大画面用カラー表示装置等に用いられるプラズマ
表示装置用基板及びその製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】薄型の大画面用カラー表示装置等に用い
られるプラズマ表示装置は、微小な表示セルと呼ばれる
隔壁で囲まれた空間に、対向する電極を設け、前記空間
に希ガス等の放電可能なガスを封入した構造を成してお
り、対向する電極間に放電によりプラズマを発生させ、
該プラズマにより蛍光体を発光させて画面の発光素子と
して利用するものである。

【０００３】具体的な構造を図８に示すように、背面板
１０の一面に多数の隔壁１１を形成して各隔壁１１間を
セル１３とし、このセル１３の底面に電極１２を備えた
ものを基板１とする。この基板１に対して、セル１３の
内壁面となる隔壁１１の側面１１ａに蛍光体を塗布し、
一方線状の電極１５を備えた正面板１４を基板１の隔壁
１１上に接合して、セル１３にガスを封入することによ
り、プラズマ表示装置を構成することができる。

【０００４】ところで、前記プラズマ表示装置用の基板
１を製造する際には、予め背面板１０上に多数の電極１
２を形成した後で各電極１２間に隔壁１１を形成する
が、この隔壁１１の製造方法としては、印刷積層法やブ
ラスト法等が知られている。

【０００５】印刷積層法は、隔壁１１を成す材料のペー
ストを用いて厚膜印刷法により背面板１０上に所定パタ
ーンの隔壁１１を印刷形成するもので、１回の印刷で形
成できる厚さが約１０〜１５μｍ程度であることから、
印刷・乾燥を繰り返しながら約１００〜２００μｍ程度
の高さを必要とする隔壁１１を形成するものである（特
開平２−２１３０２０号公報参照）。

【０００６】また、ブラスト法は、背面板１０の全面に
所定厚さのガラス層を形成し、この表面に隔壁１１形状
のレジストマスクを形成しておいて、サンドブラストに
て隔壁１１以外の部分のガラス層を除去するようにした
ものである（特開平４−２５９７２８号公報参照）。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のプラズ
マ表示装置用の基板１では、図８に示すように隔壁１１
の側面１１ａは背面板１０に垂直な面となっていたた
め、塗布した蛍光体が隅部に溜まって無駄となったり、
また強度の点から隔壁１１自体にある程度の幅が必要で
あるため、セル１３の開口度を大きくすることができ
ず、発光度を高くすることが困難であるという問題があ
った。

【０００８】しかも、上記印刷積層法では、所定の高さ
の隔壁１１を形成するために何回も印刷・乾燥工程を繰
り返して積層しなければならず、極めて工程数が多くな
り、その上、積層毎に精度よく印刷する必要があるた
め、非常に歩留りが悪かった。さらに、印刷時の位置ズ
レにより隔壁１１が変形し易く、かつ印刷製版の伸び等
のために、隔壁１１によって形成される表示セルの寸法
精度としては、１０００セル分の寸法を４５列測定した
時の測定値の最大差が０．３５ｍｍ程度あり、高精細度
化の要求を満足するものではなかった。

【０００９】また、上記ブラスト法においても、マスク
形成にフォトレジストを用いた後サンドブラストを行う
ため、工程が複雑であり、しかも高精度に隔壁１１を形
成することは困難であった。さらに、ブラスト加工に用
いる研磨剤を回収し繰り返して使用する場合は、研磨剤
の摩耗劣化による研削力の低下や経時変化があり、安定
して量産することが困難であった。一方、研磨剤を回収
せずに使用する場合は、研磨剤のコストが高くなり、こ
の場合も大量生産は困難であった。

【００１０】

【課題を解決するための手段】そこで、本発明は、セラ
ミックス又はガラスからなる背面板の上に隔壁を形成
し、該隔壁上に表面板を接合するようにしたプラズマ表
示装置用基板において、上記隔壁の幅を背面板側から正
面板側に向けて狭くすることによって、隔壁の間に形成
されるセルの幅を背面板側から正面板側に向けて広くし
たことを特徴とするものである。

【００１１】また、本発明は、上記隔壁の側面と、背面
板の垂線との成す角度を１〜４５°としたことを特徴と
する。

【００１２】さらに、本発明は、上記隔壁の頂部端面に
面取りを形成したことを特徴とする。

【００１３】また、本発明のプラズマ表示装置用基板の
製造方法は、セラミックス又はガラスの粉体と溶媒及び
有機性添加物から成るバインダーとの混合物を、隔壁用
の先薄状の凹部を有する成形型中に充填した後、これら
の混合物をセラミックス又はガラスからなる背面板に接
合し一体化する工程からなることを特徴とする。

【００１４】ここで一体化するとは、上記凹部を有する
成形型中に混合物を充填し、背面板に密着し固化させた
後、離形し焼成する工程や、成形型に混合物を充填し固
化させた後に離形し、その後背面板と密着して焼成する
工程や、成形型に混合物を充填し、固化した後に離形し
て焼成し、背面板に接着または熱圧着する工程等を含む
ものである。その他、一般的なガラスやセラミックスの
接合方法を使用することも可能である。

【００１５】

【作用】本発明によれば、プラズマ表示装置用基板の隔
壁を背面板側から表面板側に向けて幅が狭くなるような
先薄状としたため、隔壁の側面が斜面状となり、発光面
積を大きくして発光度を高くできるとともに、蛍光体を
塗布するときの無駄を無くすことができる。

【００１６】また、本発明のプラズマ表示板用基板の製
造方法によれば、セラミックス又はガラスの粉体とバイ
ンダーの混合物を成形型に充填して隔壁の成形体を得る
ことから、隔壁の表面状態が良好で、かつ成形型の寸法
精度がそのまま成形体に反映され、簡単な成形工程で大
型の基板を容易に製造できる。また、成形型の凹部を先
薄状とすることによって、先薄状の隔壁を容易に形成で
き、また製造工程中に成形型からの型抜け性を良好にす
ることができる。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下本発明の実施形態を説明す
る。

【００１８】図１に示すように、プラズマ表示装置用の
基板１はセラミックス又はガラスから成る背面板１０の
一面にセラミックス又はガラスから成る複数の隔壁１１
を備え、各隔壁１１間にセル１３が形成されたものであ
る。

【００１９】そして、図２に示すようにこのセル１３の
底面に電極１２を備え、セル１３の内壁面を成す隔壁１
１の側面１１ａに蛍光体（不図示）を塗布した後、線状
の電極１５を備えた透明な正面板１４で隔壁１１の上端
を覆い、セル１３にガスを封入することでプラズマ表示
装置を構成することができる。この状態で、電極１２、
１５間で放電することにより、セル１３の側面１１ａに
塗布した蛍光体を発光させることができる。

【００２０】ここで、上記隔壁１１は、背面板１０側の
根元の幅ｔ₂に比べ、表正面１４側の頂部の幅ｔ₁を小
さくした先薄形状としており、側面１１ａは斜面状とし
てある。そのため、隔壁１１間に形成されるセル１３の
幅は、背面板１０から正面板１４側に向かって広くな
る。そのため、側面１１ａに蛍光体を塗布した時に、無
駄をなくせるともに、発光面積を大きくすることができ
る。

【００２１】例えば図３（ｂ）に示すように、従来の隔
壁１１では側面１１ａが背面板１０に垂直な面であった
ため、この部分に塗布した蛍光体１６は下方に流れ、隅
部に溜まって無駄となっていた。これに対し、図３
（ａ）に示すように、隔壁１１を先薄状とすることによ
って、側面１１ａが斜面となるため、塗布した蛍光体１
６が隅部に溜まることを防止できる。しかも、セル１３
の開口面積が大きくなるため、発光度を高くし、斜め方
向から見た場合でも充分な発光度を示すことができる。

【００２２】また、上記隔壁１１の側面１１ａと背面板
１０の垂線との成す角度θは、１〜４５°とすることが
好ましい。これは、角度θが１°未満では上記効果に乏
しく、一方４５°を超えると隔壁１１間のピッチが大き
くなって精細度が低下するためであり、より好ましくは
２〜４０°の範囲が良い。

【００２３】また、図４に示すように、上記隔壁１１の
頂部端面には丸みを帯びた面取り１１ｂを形成すること
が好ましい。このようにすれば、塗布した蛍光体１６が
この面取り部１１ｂ内にも入り込んで、より発光面積を
大きくすることができる。

【００２４】次に、上記隔壁１１の他の実施形態を説明
する。

【００２５】図５（ａ）に示す隔壁１１は側面１１ａを
凹曲面状としたものであり、図５（ｂ）に示す隔壁１１
は側面１１ａを凸曲面状としたものであり、図５（ｃ）
に示す隔壁１１は側面１１ａを斜面と垂直面の二段形状
としたものである。いずれの場合も、隔壁１１は、背面
板１０側の根元部の幅よりも表面板１４側の頂部の幅を
小さくした先薄状としてある。

【００２６】そして、いずれの場合も側面１１ａと背面
板１０の垂線との成す角度θは１〜４５°好ましくは２
〜４０°の範囲内としてある。なお、これらの例のよう
に側面１１ａが完全な斜面でない場合、側面１１ａの根
元部または頂部のいずれかにおいて、背面板１０の垂線
に対する角度θが上記範囲内となっていれば良い。

【００２７】また、隔壁１１の頂部端面に備える面取り
１１ｂの形状については、図６（ａ）に示すように曲面
状の面取り１１ｂ、図６（ｂ）に示すように段状の面取
り１１ｂ、図６（ｃ）に示すように凹曲面状の面取り１
１ｂ、図６（ｄ）に示すように深さの大きい段状の面取
り１１ｂ、図６（ｅ）に示すように斜面状の面取り１１
ｂなどとすることができる。なお、これらの面取り１１
ｂの幅ｄ₁は隔壁１１の頂部の幅ｄ₂に対して１／３以
下とすることが好ましい。これは、面取り１１ｂの幅が
頂部の幅の１／３より大きいと、頂部が狭すぎて表面板
１４との接着性が悪くなり、しかも頂部の強度が低下す
るためである。

【００２８】次に、上記基板１の製造方法を説明する。

【００２９】まず、図７（ａ）に示すように、隔壁１１
の形状に合致した先薄状の凹部２０ａを有する成形型２
０を用意し、この成形型２０の凹部２０ａに、隔壁１１
を成す材質としてセラミックス又はガラス粉末と溶媒及
び有機性添加物のバインダーとの混合物２１を充填す
る。

【００３０】一方、セラミックス又はガラスから成る背
面板１０を別に用意し、この背面板１０に上記混合物２
１の成形体を接合一体化し、隔壁１１を形成するが、具
体的には以下のように製造する。

【００３１】まず、上記成形型２０に充填した混合物２
１の表面に背面板１０を押し当てて加圧接着し、混合物
２１を反応硬化するか又は乾燥して固化させる。その
後、図７（ｂ）に上下を逆にして示すように成形型２０
を離型することによって、背面板１０上に混合物２１の
成形体からなる隔壁１１を転写する。最後に全体を脱バ
インダー処理した後、同時焼成して一体化することによ
り、図１に示すプラズマ表示装置用の基板１を製造する
ことができる。

【００３２】また他の方法としては、成形型２０に充填
した混合物２１を反応硬化又は乾燥固化した後、成形型
から離型し、混合物２１の成形体を背面板１０に接着す
る。最後に全体を脱バインダー処理した後、同時焼成し
て一体化することによってもプラズマ表示装置用の基板
１を得ることができる。

【００３３】さらに他の方法としては、成形型２０に充
填した混合物２１を反応硬化又は乾燥固化した後、成形
型から離型し、脱バインダー処理した後でこの成形体を
背面板１０に接着する。最後に全体を同時焼成して一体
化することによってもプラズマ表示装置用の基板１を得
ることができる。

【００３４】あるいは、成形型２０に充填した混合物２
１を反応硬化又は乾燥固化した後、成形型から離型し、
脱バインダー処理して焼成した後でこの焼結体を背面板
１０に接着、熱圧着又は同時焼成により接合することに
よってもプラズマ表示装置用基板１を得ることができ
る。

【００３５】即ち、背面板１０に混合物２１の成形体を
接合するのは、互いの部材が未焼成体、脱バインダー状
態、焼結体のいずれの段階であっても良い。

【００３６】このような本発明の製造方法によれば、簡
単に隔壁１１を形成できるため製造工程を極めて簡略化
できる。しかも、隔壁１１は成形型２０の凹部２０ａの
形状が転写されるため、凹部２０ａを上述した隔壁１１
に合致した先薄状としておけば、先薄状の隔壁１１を容
易に形成することができ、しかも成形型２０からの型抜
き性を良好にすることができる。

【００３７】なお、この点に関し、従来の厚膜印刷法や
ブラスト法では、先薄状の隔壁１１を形成することは極
めて困難であり、本発明のように成形型２０を用いた転
写法で製造することにより、先薄状の隔壁１１を容易に
形成することができるのである。

【００３８】また、上記本発明の製造方法では、微細形
状を高精度に成形できる結果、表示セル１０００セル分
の寸法を４５列測定した時の測定値の最大差が０．０５
ｍｍ以下となるように高精度とすることができる。

【００３９】なお、セル１３の底面に備える電極１２に
ついては、隔壁１１を接合する前に予め背面板１０の表
面に備えておけば良い。あるいは、成形型２０の凸部に
予め電極材料を塗布しておいて、隔壁１１形成と同時に
電極１２を形成することもできる。

【００４０】ここで、隔壁１１を成すセラミックス粉体
としては、アルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）、ジルコニア（Ｚｒ
Ｏ₂）等の酸化物系セラミックスや、窒化珪素（Ｓｉ₃
Ｎ₄）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、炭化珪素（Ｓｉ
Ｃ）等の非酸化物系セラミックス等、あるいはアパタイ
ト（Ｃａ₅（ＰＯ₄）₃（Ｆ，Ｃｌ，ＯＨ））等のいず
れをも用いることができ、これらのセラミックス粉体に
は各種焼結助剤を所望量添加することができる。

【００４１】上記焼結助剤としては、アルミナ粉末には
シリカ（ＳｉＯ₂）、カルシア（ＣａＯ）、イットリア
（Ｙ₂Ｏ₃）及びマグネシア（ＭｇＯ）等を、ジルコニ
ア粉末にはイットリア（Ｙ₂Ｏ₃）やセリウム（Ｃ
ｅ）、ジスプロシウム（Ｄｙ）、イッテルビウム（Ｙ
ｂ）等の希土類元素の酸化物を、また窒化珪素粉末には
イットリア（Ｙ₂Ｏ₃）とアルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）等
を、窒化アルミニウム粉末には周期律表第３ａ族元素酸
化物（ＲＥ₂Ｏ₃）等を、炭化珪素粉末にはホウ素
（Ｂ）とカーボン（Ｃ）等を所望量添加することができ
る。

【００４２】また、隔壁１１をなすガラス粉体として
は、ケイ酸塩を主成分とし、鉛（Ｐｂ）、硫黄（Ｓ）、
セレン（Ｓｅ）、明礬等の一種以上を含有した各種ガラ
スを用いることができる。

【００４３】尚、これらセラミックス又はガラス粉体の
粒径は、数十ミクロンからサブミクロンのものが好適に
用いることができ、具体的には０．２〜１０μｍ、好ま
しくは０．２〜５μｍの範囲のものが良い。

【００４４】さらに、これらのセラミックス又はガラス
の粉末に添加する有機性添加物としては、尿素樹脂、メ
ラミン樹脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポ
リエステル樹脂、アルキド樹脂、ウレタン樹脂、エボナ
イト、ポリシロキ酸シリケート等が挙げられる。そして
これらの有機性添加物を反応硬化させる手段としては、
加熱硬化、紫外線照射硬化、Ｘ線照射硬化等がある。な
お、作業上、装置上の点からは加熱硬化が最適であっ
て、とりわけポットライフの点からは不飽和ポリエステ
ル樹脂が好適である。前記有機性添加物の含有量は、セ
ラミックス又はガラスの粉体と焼結助剤等との混合物の
流動性及び成形性を維持するためには、粘性が高くなら
ないようにする必要があり、一方、硬化時には十分な保
形性を有していることが望ましい。このような点から、
有機性添加物の含有量は、セラミックス又はガラスの粉
体１００重量部に対して０．５重量部以上で、かつ硬化
による成形体の収縮という点からは３５重量部以下がよ
り望ましく、なかでも焼成時の収縮を考慮すると、１〜
１５重量部が最も好適である。

【００４５】また、混合物２１中に加えられる溶媒と
は、前記有機性添加物を相溶するものであれば特に限定
するものではなく、例えば、トルエン、キシレン、ベン
ゼン、フタル酸エステル等の芳香族溶剤や、ヘキサノー
ル、オクタノール、デカノール、オキシアルコール等の
高級アルコール類、あるいは酢酸エステル、グリセライ
ド等のエステル類を用いることができる。

【００４６】とりわけ、前記フタル酸エステル、オキシ
アルコール等は好適に使用でき、更に、溶媒を緩やかに
揮発させるために、前記溶媒を２種類以上併用すること
も可能であるまた、前記溶媒の含有量は、成形性の点からは成形体の
保形性を維持するために、セラミックス又はガラスの粉
体１００重量部に対して０．１重量部以上必要であり、
一方セラミックス又はガラスの粉体と有機性添加物の混
合物の粘性を低くすることが望ましいことからは３５重
量部以下がより望ましく、乾燥時と焼成時の収縮を考慮
すると１〜１５重量部であることが最も望ましい。

【００４７】なお本発明における成形型２０は、有機性
添加物を硬化させる時に何ら支障無きものであれば良
く、材質は特に限定されないが、例えば金属や樹脂、あ
るいはゴム等が使用でき、必要ならば離型性向上や磨耗
防止のために、表面被覆等の表面処理を行ってもよい。

【００４８】また、上記背面板１０は、未焼成のグリー
ンシートあるいは焼結体で、材質は特に限定しないが、
例えば各種セラミックグリーンシートや各種ガラス基
板、磁器基板等で隔壁１１の材質と熱膨張率が近似して
いることが望ましい。なお、ガラス基板としては、例え
ばソーダライムガラスやその歪み点を向上するために無
機フィラーを分散させた物など比較的安価なガラスを使
用できる。

【００４９】また、前記混合物２１と背面板１０とを圧
着する際の接着性向上のために、シランカップリング剤
やチタネートカップリング剤、アルミネートカップリン
グ剤等の各種カップリング剤を使用することができ、な
かでも反応性が高いことからシランカップリング剤が好
適である。

【００５０】さらに、混合物２１と背面板１０との圧着
は、均一に圧力を加えるという点からは静水圧の装置を
用いるのが望ましく、加圧条件としては、成形型２０を
変形させない圧力範囲となり、該圧力範囲は成形型２０
の強度に左右されるが、例えばシリコンゴム製の成形型
２０を用いた場合、約１００ｇ／ｃｍ²程度の加圧条件
で行うのが望ましい。

【００５１】また、混合物２１において、セラミックス
又はガラス粉体の分散性の向上のために、例えば、ポリ
エチレングリコールエーテル、アルギルスルホン酸塩、
ポリカルボン酸塩、アルキルアンモニウム塩等の界面活
性剤を添加してもよく、その含有量としては分散性の向
上及び熱分解性の点から、セラミックス又はガラス粉体
１００重量部に対して０．０５〜５重量部が望ましい。

【００５２】さらに、混合物２１中のバインダーには硬
化反応促進剤または重合開始剤等と称される硬化触媒を
添加することができる。前記硬化触媒としては、有機過
酸化物やアゾ化合物を使用することができ、例えば、ケ
トンパーオキサイド、ジアシルパーオキサイド、パーオ
キシケタール、パーオキシエステル、ハイドロパーオキ
サイド、パーオキシカーボネート、ｔ−ブチルパーオキ
シ−２−エチルヘキサノエート、ビス（４−ｔ−ブチル
シクロヘキシル）パーオキシジカーボネート、ジクミル
パーオキサイド等の有機過酸化物や、アゾビス、イソブ
チロニトリル等のアゾ化合物が挙げられる

【００５３】

【実施例】実施例１本発明のプラズマ表示装置用基板及びその製造方法を評
価するために、平均粒径が０．２〜５μｍのアルミナ
（Ａｌ₂Ｏ₃）、ジルコニア（ＺｒＯ₂）、窒化珪素
（Ｓｉ₃Ｎ₄）及び窒化アルミニウム（ＡｌＮ）をそれ
ぞれ主成分とし、前記公知の焼結助剤を必要に応じて添
加混合したものをセラミッスクス粉体とし、該セラミッ
クス粉体１００重量部に対して表１のＮｏ．１〜７に示
すようなバインダー組成物をそれぞれ添加混合し攪拌混
合機で混合して粘度を調整し、混合物２１を調製した。
尚、表１に示すバインダー組成物の種類は、表２に記載
した物質名の通りである。

【００５４】

【表１】

【００５５】

【表２】

【００５６】かくして得られた混合物２１を真空装置で
脱泡した後、シリコン樹脂で作成した成形型２０の凹部
２０ａにドクターブレードを用いてシート成形の要領で
注入充填した。この凹部２０ａは、図１、２の隔壁１１
の形状に合致した逆台形の先薄状であり、焼結後の隔壁
１１の寸法がセルピッチ寸法で２２０μｍ、隔壁１１の
根元部の幅ｔ₂が１１０μｍ、頂部の幅ｔ₁が５０μ
ｍ、セル上面開口寸法が１７０μｍ、セル底面寸法が５
０μｍ、セル高さが１００μｍとなるように設計したも
のである。尚、前記脱泡処理は、成形型２０に混合物２
１を充填した後に行っても良い。

【００５７】その後、前記成形型２０に充填した混合物
２１表面に、混合物２１と同系のセラミックス焼結体か
ら成る背面板１０を載置し、該平板を成形型２０と共に
１００ｇ／ｃｍ²の圧力で加圧しながら加熱炉等に収容
し、１００℃の温度で４５分間保持して加熱硬化させ
た。

【００５８】硬化完了後、前記成形型２０から背面板１
０と密着した混合物２１の成形体を離型し、該成形体を
１２０℃の温度で５時間乾燥し、次いで、窒素雰囲気中
で、まず２５０℃の温度で３時間保持した後、５００℃
に昇温してその温度で１２時間保持して脱バインダーし
た。その後、アルミナを主成分とするものは大気中、１
６００℃の温度に２時間保持、ジルコニアの場合には大
気中、１４５０℃の温度に２時間保持、窒化珪素の場合
は窒素雰囲気中、１６５０℃の温度で１０時間保持、窒
化アルミニウムの場合には窒素雰囲気中、１８００℃の
温度で３時間保持してそれぞれ焼成一体化し、本発明の
プラズマ表示装置用基板１を得た。

【００５９】一方比較例として、前記と同じアルミナを
主成分とするセラミックス粉体に、表１のＮｏ．８に示
すようにメチルセルロースとαテルピネオールを加えて
混練した印刷用ペーストを用い、厚膜印刷法で印刷を繰
り返して前記と同じ仕様の隔壁１１を有するプラズマ表
示装置用基板１を作製した。

【００６０】かくして得られた本発明実施例及び比較例
のプラズマ表示装置用基板１を用いて、隔壁１１の寸法
精度として１０００セル間の長さをマイクロメータで４
５列測定して、測定値間の最大差により評価した。その
結果を表３に示す。

【００６１】

【表３】

【００６２】この結果より、比較例である厚膜印刷法で
成形した隔壁１１を有するＮｏ．８は、隔壁１１の寸法
精度が測定値間の最大差で０．３５ｍｍと大きく、かつ
表示セルの形状に一部潰れが認められる。

【００６３】これに対して、本発明実施例であるＮｏ．
１〜７では、いずれのセラミックス粉体を用いたもので
も、隔壁１１の測定値間の最大差が０．０５ｍｍ以下と
寸法精度が優れ、表示セルの形状に潰れは認められなか
った。

【００６４】なお、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、セラミック粉体の主成分として、アパタイ
ト（Ｃａ₅（ＰＯ₄）₃（Ｆ、Ｃｌ、ＯＨ））やガラス
（Ｎａ₂Ｏ・ＣａＯ・５ＳｉＯ₂）等を用いても同様の
効果が得られることを確認した。

【００６５】また、本発明における表示セルを構成する
隔壁１１を成すための成形型２０の形状は、図１、２の
隔壁１１に合致する逆台形状の凹部２０ａで説明した
が、何らこの形状に限定されるものではない。

【００６６】実施例２次に、上記本発明実施例のうちＮｏ．１、６の混合物２
１を用いて、実施例１と同様に成形型を用いて隔壁１１
を成形し、背面板１０に接合した。

【００６７】このとき、隔壁１１をなす混合物２１を未
焼成の状態、または焼成後の状態でそれぞれ接合し、か
つ背面板１０として未焼成セラミックス板、焼成セラミ
ック板、ガラス板の３種類を用いた。それぞれ、焼成一
体化させた時の剥離やクラックの有無について調べたと
ころ表４の通りであった。

【００６８】この結果より、セラミックス粉体から成る
混合物２１を未焼成の状態でガラス製の背面板１０に接
合すると、焼成時の温度が異なるためにクラックが生じ
た。これに対し、セラミックス粉体から成る混合物２１
を予め焼成しておけば、ガラス製の背面板１０に接合し
一体化させることが可能であった。

【００６９】

【表４】

【００７０】実施例３隔壁１１を成す混合物２１として、表５に示すように平
均粒径０．２〜１０μｍ（好ましくは０．２〜５μｍ）
のガラス粉体と各種溶媒、有機性添加物と若干の分散剤
を加えたスラリーを作製し、この混合物２１を成形型２
０の凹部２０ａに充填し、脱泡した。

【００７１】この表面にガラス製の背面板１０を載せて
加圧、乾燥後、混合物２１が固化し背面板１０に接合し
たことを確認して成形型２０を離型した。その後、全体
を５００〜７００℃で焼成し、プラズマ表示装置用基板
１を作製した。

【００７２】

【表５】

【００７３】一方、比較例として、従来の印刷方式によ
り、ガラス製の背面板１０上に隔壁１１を形成すべくス
クリーン印刷、乾燥を１０回繰り返した後、５００〜７
００℃で焼成してプラズマ表示装置用基板１を作製した
（Ｎｏ．７）。

【００７４】以上のようにして得られたＮｏ．１〜７の
試料について、隔壁１１の形状、クラックの有無を双眼
顕微鏡で観察した結果を表６に示す。

【００７５】この結果より、比較例であるＮｏ．７は隔
壁１１の形状が不明確であった。これに対し、本発明実
施例（Ｎｏ．１〜６）では、Ｎｏ．６が溶媒量が多いた
めに若干隔壁１１に潰れが発生したものの、全般に隔壁
１１の形状が良好でありクラックも発生しなかった。し
たがって、背面板１０や隔壁１１にガラスを用いた場合
でも良好にプラズマ表示装置用基板１を製造できること
がわかった。

【００７６】

【表６】

【００７７】実施例４実施例３に示すＮｏ．１〜７に加えて、比較例としてサ
ンドブラスト法により隔壁１１を形成した基板１を作製
した。即ち、ガラス製の背面板１０上に隔壁となるガラ
ス剤を塗布、焼成した後、レジストマスクを取り付け、
サンドブラストを行って不要部分を除去し、隔壁１１を
作製した。（Ｎｏ．８）本発明実施例であるＮｏ．１〜６については、各々隔壁
１１の側面１１ａと背面板１０の垂線との成す角度θを
０°、２°、１５°、４０°、４５°としたものを作製
した。なお、角度θが４５°を超えるものは精細度の点
から不適であり除外した。また、隔壁１１の高さは２０
０μｍとし、頂部の幅ｔ₁は５０μｍとした。

【００７８】それぞれ、蛍光体１６を塗布した際の使用
量、及び隔壁１１の精細度について評価を行った。な
お、精細度は、隔壁ピッチと隔壁幅が小さいほど優れて
いることとした。

【００７９】結果は表７に示す通り、高精細度を得ると
ともに、蛍光体１６の使用量を減らしてコストを低下す
るためには、角度θを１〜４５°、好ましくは２〜４０
°の範囲とすれば良いことがわかる。

【００８０】

【表７】

【００８１】実施例５次に、実施例４のうちＮｏ．３の角度θを１５°とした
ものについて、隔壁１１の頂部端面に、図６に示す各種
面取り１１ｂを形成し、それぞれ電極１２及び蛍光体１
６を塗布して発光テストを行った。

【００８２】その結果、図８に示すような従来の垂直な
隔壁１１を有するものに比べ、良好な結果が得られるこ
とを確認した。

【００８３】

【発明の効果】叙上の如く、本発明によれば、セラミッ
クス又はガラスからなる背面板の上に隔壁を形成し、該
隔壁上に表面板を接合するようにしたプラズマ表示装置
用基板において、上記隔壁の間に形成されるセルの幅を
背面板側から正面板側に向けて広くしたことによって、
発光面積を大きくして発光度を高くできるとともに、塗
布する蛍光体の使用量を少なくすることができる。

【００８４】また、本発明のプラズマ表示装置用基板の
製造方法によれば、セラミックス又はガラス粉体とバイ
ンダーとの混合物を成形型中に充填して得た成形体と、
セラミックス又はガラスからなる背面板とを接合一体化
することから、簡単な成形工程で製造でき、かつ成形型
の寸法精度がそのまま成形体に転写されることから、表
面状態が良好な隔壁が得られ、大型化が容易に実現でき
る。

【００８５】その結果、製造工程の短縮及び簡略化と高
い製品歩留りを実現でき、高精細度化が実現できるプラ
ズマ表示装置用基板及びその製造方法を提供することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のプラズマ表示装置用基板を示す一部破
断斜視図である。

【図２】本発明のプラズマ表示装置用基板を用いたプラ
ズマ発生装置の構造を示す断面図である。

【図３】（ａ）（ｂ）は本発明及び従来例のプラズマ発
生用基板のセル形状を比較する図である。

【図４】図２における隔壁頂部近傍の拡大断面図であ
る。

【図５】（ａ）〜（ｃ）は本発明の隔壁形状の他の実施
形態を示す断面図である。

【図６】（ａ）〜（ｅ）は本発明の隔壁形状の他の実施
形態を示す断面図である。

【図７】（ａ）（ｂ）は本発明のプラズマ表示装置用基
板の製造方法を説明するための図である。

【図８】従来のプラズマ表示装置用基板を示す断面図で
ある。

【符号の説明】

１：基板１０：背面板１１：隔壁１１ａ：側面１１ｂ：面取り１２：電極１３：セル１４：正面板１５：電極２０：成形型２１：混合物

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】セラミックス又はガラスからなる背面板の
上に隔壁を形成し、該隔壁上に正面板を接合するように
したプラズマ表示装置用基板において、上記隔壁の間に
形成されるセルの幅を背面板側から正面板側に向けて広
くしたことを特徴とするプラズマ表示装置用基板。
【請求項２】上記隔壁の側面と、背面板の垂線との成す
角度θが１〜４５°であることを特徴とする請求項１記
載のプラズマ表示装置用基板。
【請求項３】上記隔壁の頂部端面に面取りを形成したこ
とを特徴とする請求項１記載のプラズマ表示装置用基
板。
【請求項４】セラミックス又はガラスの粉体と溶媒及び
有機性添加物から成るバインダーとの混合物を、隔壁用
の先薄状凹部を有する成形型中に充填した後、これらの
混合物をセラミックス又はガラスからなる背面板に接合
し一体化する工程からなるプラズマ表示装置用基板の製
造方法。