JPH10217219A - 微小貫通孔付セラミック焼成体及びその製造方法 - Google Patents

微小貫通孔付セラミック焼成体及びその製造方法

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JPH10217219A
JPH10217219A JP9022645A JP2264597A JPH10217219A JP H10217219 A JPH10217219 A JP H10217219A JP 9022645 A JP9022645 A JP 9022645A JP 2264597 A JP2264597 A JP 2264597A JP H10217219 A JPH10217219 A JP H10217219A
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JP
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minute
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holes
ceramic
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JP9022645A
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Keiji Kawasaki
啓治 川崎
Hideyuki Suzuki
秀之 鈴木
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NGK Insulators Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 直径200μm以下の微小貫通孔を有するセ
ラミック焼成体及びそのような焼成体を、効率良く、低
コストで製造する方法を提供する。 【解決手段】 微小貫通孔を有するセラミック焼成体
を、セラミック予備成形体に上記微小貫通孔の直径より
大きな直径を有する下穴を形成する第一工程、上記下穴
に、所定の直径を有する線状有機物を挿入する第二工
程、上記予備成形体を弾性材料にて被覆して、静水圧プ
レスを行う第三工程、予備成形体を大気雰囲気中で仮焼
し、線状有機物を燃焼消失させる第四工程及び上記第四
工程にて得られた仮焼体に本焼成を施す第五工程により
製造する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】 本発明は、溶融金属押出口
金、高圧燃料噴射ノズル、線引ダイス、熱電対の測温用
穴等として用いられる微小貫通孔付セラミック焼成体に
関する。
【0002】
【従来の技術】 微小貫通孔を有するセラミック焼成体
は、溶融金属押出口金を初めとして、高圧燃料噴射ノズ
ル、線引ダイス、熱電対の測温用穴等の広範な用途に用
いられている。特に、溶融金属押出口金はアルミニウ
ム、亜鉛、金、銀等の金属を直径100μm以下の繊維
状の形状に加工する際に用いられるものであり、図2に
示すように、高温にて溶融した金属2を、数百μmの貫
通孔3を有する口金1より高圧にて押し出すことによ
り、溶融金属を繊維状の形状に加工する。このような口
金1の材質としては、長い間、ステンレス等の耐食性の
大きい金属材料が用いられてきたが、アルミニウム等の
溶融金属は腐食性が非常に高く、短時間で腐食が進み、
押出用の貫通孔3の直径が大きくなるため、頻繁に口金
を交換する必要があった。
【0003】 そのため、近年においては、口金の材質
として、ステンレス等よりも耐食性に優れるセラミック
スが用いられているが、セラミックスは金属材料と比べ
て硬く、又、塑性加工ができないため、ドリル等を用い
た機械加工により直径500μm以下の貫通孔を形成す
ることは困難であった。又、超音波を用いて工具を振動
させることにより、砥粒により貫通孔を形成する方法も
知られているが、この方法によっても、直径300μm
以下の貫通孔を形成することは困難であった。
【0004】 このため、セラミックスに貫通孔を形成
する方法としては、金属又は有機物から成る繊維状の芯
線を設置した金型を用いて、芯線を埋め込んだセラミッ
ク成形体を作成し、成形後に芯線を抜き取ったり、又は
芯線を大気中で焼失させることにより、貫通孔を形成す
る方法が行われている。
【0005】 例えば、特開昭60−4004号公報及
び特開昭60−6406号公報には、このような金型を
用いてセラミック成形体を製造する方法が開示されてい
る。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】 しかしながら、上記
の公報に開示されている方法では、直径200μm以下
の貫通孔を形成することはできるものの、成形を行う度
に、微小な芯線を金型に設置する必要があるため、作業
が煩雑となり、生産効率の向上を図ることができないと
いう問題があった。又、用いる芯線の直径、貫通孔の形
成位置及び設ける貫通孔の数により、別々の金型を用意
する必要があり、製造コストの低減を図ることも困難で
あった。さらに、狭い範囲内に多くの貫通孔を形成する
ような場合においては、金型の構造が極めて複雑とな
り、成形原料を充填する際に、芯線間に原料をうまく充
填できず、成形体の密度が大きくばらつくという不都合
がある他、成型時の圧力が不均一となり、焼成後の微小
貫通孔のサイズが不均一になるという不都合もあった。
さらに、芯線を設置した金型により成形を行う場合、プ
レス時の圧力により、固定された芯線の回りを原料が移
動するため、芯線の切断や変形が発生したり、成形され
た貫通孔の周りにプレス時の力によるクラックが生じる
という問題もあった。
【0007】 本発明はかかる状況に鑑みてなされたも
のであり、その目的とするところは、直径200μm以
下の微小貫通孔を有するセラミック焼成体及びそのよう
な焼成体を、効率良く、低コストで製造する方法を提供
することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】 即ち、本発明によれ
ば、微小貫通孔を有するセラミック焼成体の製造方法で
あって、セラミック予備成形体に上記微小貫通孔の直径
より大きな直径を有する下穴を形成する第一工程、上記
下穴に、所定の直径を有する線状有機物を挿入する第二
工程、上記予備成形体を弾性材料にて被覆して、静水圧
プレスを行う第三工程、予備成形体を大気雰囲気中で仮
焼し、線状有機物を燃焼消失させる第四工程及び上記第
四工程にて得られた仮焼体に本焼成を施す第五工程とか
ら成る微小貫通孔付セラミック焼成体の製造方法の製造
方法が提供される。
【0009】 上記の微小貫通孔付セラミック焼成体の
製造方法において、上記溶融金属押出用貫通孔の直径は
50〜200μmであることが好ましい。
【0010】 又、上記の微小貫通孔付セラミック焼成
体の製造方法において、上記下穴の直径d1と上記線状
有機物の直径d2とが下式、 1.5≦d1/d2≦10 で示される関係を有することが好ましい。
【0011】 又、上記の微小貫通孔付セラミック焼成
体の製造方法において、予備成形の圧力P1が100k
g/cm2以上、1000kg/cm2以下であり、か
つ、P1と該静水圧プレスの圧力P2とが下式、 5<P2/P1<50 で示される関係を有することが好ましい。
【0012】 又、本発明によれば、セラミック予備成
形体に設けた下穴に線状有機物を挿入した状態で、上記
予備成形体に静水圧プレスを行い、次いで、線状有機物
を燃焼消失させて成る微小貫通孔付セラミック焼成体が
提供される。
【0013】 上記の微小貫通孔付セラミック焼成体に
おいて、上記微小貫通孔の直径は50〜200μmであ
ることが好ましい。
【0014】 又、上記の微小貫通孔付セラミック焼成
体において、上記微小貫通孔の内壁が焼成面であること
が好ましい。
【0015】 又、上記の微小貫通孔付セラミック焼成
体は、窒化ケイ素の含有量が60重量%以上であるセラ
ミックスから成ることが好ましい。さらに、上記の微小
貫通孔付セラミック焼成体は、溶融金属押出口金として
用いるものであってもよい。
【0016】
【発明の実施の形態】 本発明においては、図1に示す
ように、セラミック予備成形体4に、微小貫通孔の直径
より大きな直径を有する下穴5を形成した後、その下穴
5に、所定の直径を有する線状有機物6を挿入し、予備
成形体4を弾性材料にてコーティングした状態で静水圧
プレスを行い、次いで、予備成形体4を大気雰囲気中で
仮焼して線状有機物6を燃焼消失させ、最後に仮焼体7
に本焼成を施すことにより微小貫通孔付セラミック焼成
体が製造される。静水圧プレスを行うのは、下穴と線状
有機物との間の隙間を無くするためである。
【0017】 本発明においては、貫通孔を設けるため
の芯線を、セラミック予備成形体にドリル等により設け
た下穴の内部に設置するため、直径が異なる貫通孔を形
成したい場合、貫通孔の数や位置を変えたい場合におい
ても、セラミック予備成形体に設ける下穴の数や位置、
あるいは芯線の太さを変えればよく、芯線を金型に設置
する従来の方法のように、貫通孔の数や位置等が変わる
度に新たな金型を準備する必要がない。従って、製造コ
ストの低減を図ることができる。
【0018】 又、芯線は、セラミック予備成形体に設
けた下穴の中に設置されるため、芯線を金型に設置する
従来の方法に比べ、作業がし易く、生産効率の向上を図
ることができる。
【0019】 さらに、狭い範囲内に多くの貫通孔を形
成するような場合においても、芯線を金型に設置する従
来の方法のように、金型の構造が複雑になることがな
く、成形原料を充填する際の充填密度のばらつきや充填
不良という不都合及び成型時の圧力が不均一となること
により貫通孔のサイズが不均一になるのを回避すること
ができる。又、プレス時の圧力による芯線の切断や変形
あるいは貫通孔周囲におけるクラックの発生を防止する
ことができる。
【0020】 本発明の製造方法において、下穴の直径
1と線状有機物の直径d2とが下式、 1.5≦d1/d2≦10 で示される関係を有することが好ましい。即ち、下穴の
直径d1は、線状有機物の直径d2の、1.5倍以上、1
0倍以下であることが好ましい。10倍を超える場合に
は、下穴と線状有機物との間の隙間を無くすることが困
難になる場合があり、1.5倍未満では、下穴への線状
有機物の挿入が困難となるからである。
【0021】 なお、下穴の直径d1は、線状有機物の
直径d2の0.5倍以上、5倍以下であることがより好
ましく、1.5倍以上、3倍以下であることがさらに好
ましい。
【0022】 本発明の製造方法において、予備成形の
圧力P1は100kg/cm2以上、1000kg/cm
2以下であることが好ましい。100kg/cm2 未満
では、成形体の強度が不十分となり、下穴を形成するこ
とが困難となるからであり、1000kg/cm2を超
える場合は、静水圧プレスを行っても、下穴を効果的に
潰すことができず、下穴と線状有機物との間の隙間を無
くすることが困難になるからである。なお、予備成形の
圧力P1は、100kg/cm2以上、800kg/cm
2以下であることがより好ましく、200kg/cm2
上、500kg/cm2以下であることがさらに好まし
い。
【0023】 又、予備成形の圧力P1と静水圧プレス
の圧力P2とが下式、 5<P2/P1<50 で示される関係を有することが好ましい。即ち、静水圧
プレスの圧力P2は、予備成形の圧力P1 の5倍以上、
50倍以下であることが好ましい。
【0024】 5倍未満では、下穴と線状有機物との間
の隙間を無くすることが困難であり、50倍を超える場
合は、線状有機物が変形し、良好な穴形状を得ることが
できないからである。なお、静水圧プレスの圧力P
2は、予備成形の圧力P1 の10倍以上、40倍以下で
あることがより好ましく、20倍以上、30倍以下であ
ることがさらに好ましい。
【0025】 下穴に挿入する線状有機物としては、寸
法・形状が正確であり、容易に焼失するものが好まし
く、具体的には、釣り糸等に用いられるナイロン糸等が
用いられる。
【0026】 静水圧プレスによる成形は、予備成形体
を弾性材料にてコーティングした状態で行われるが、弾
性材料としては、ゴム、ラテックス等が好適に用いられ
る。
【0027】 本発明の製造方法により製造される微小
貫通孔付セラミック焼成体は、窒化ケイ素の含有量が6
0重量%以上であるセラミックスから成ることが好まし
い。窒化ケイ素の含有量を60重量%以上とすることに
より、高温強度、耐食性、耐磨耗性が大きくなるため、
例えば、溶融金属押出用口金として用いた場合には、従
来の金属製口金やアルミナ、ジルコニア等、他のセラミ
ックスを主成分とする口金に比べ、長時間使用しても貫
通孔の孔経が変化しない、耐久性に優れたものとなる。
【0028】 又、窒化ケイ素の含有量が60重量%以
上であるセラミックスを用いることにより、焼成後に貫
通孔の内壁を研磨等する工程を省くことができるという
利点もある。即ち、セラミックスを焼成する場合には、
通常、焼成を容易にするために、Al23、Y23、M
gO、ZrO2等の酸化物を焼成助剤として添加する
が、通常は、これらの成分が貫通孔の内壁を含む焼成面
表面に析出するため、溶融金属と貫通孔内で反応し、貫
通孔壁の腐食や穴詰まりの原因となる。従って、腐食や
穴詰まりを防ぐには、焼成後に貫通孔の内壁を研磨等す
ることが必要となる。しかし、窒化ケイ素を主成分とす
るセラミックスの場合は、焼成面表面に酸化物の析出が
少ないことが知られており、貫通孔の内壁を研磨等しな
くても、穴詰まりが生じず、又、腐食も起こりにくい。
【0029】 本発明の微小貫通孔付セラミック焼成体
の製造方法及び微小貫通孔付セラミック焼成体は、溶融
金属押出用口金の他、高圧燃料噴射ノズル、線引ダイ
ス、熱電対の測温用穴等、通常の機械加工では製作し難
い、200μm以下の大きさの穴を形成することが必要
な種々のセラミック焼成体に適用できる。
【0030】
【実施例】 以下、本発明を実施例を用いてさらに詳し
く説明するが、本発明はこれらの実施例に限られるもの
ではない。
【0031】(実施例1) 窒化ケイ素原料にSrO2
8重量%、MgO 5重量%、CeO 3重量%、Z
rO2 4重量%を添加し、混合機にて純水を媒体とし
て3時間混合撹拌後、バインダーを3重量%添加して、
スプレードライヤーにて造粒・乾燥した。得られた原料
を直径80mmの金型に充填し、1軸プレス成型機を用
いて300kg/cm2 の圧力にて成形し、直径80m
m、厚さ15mmの予備成形体を得た。予備成形体をN
Cフライス盤に取り付け、直径500μmの超硬合金製
ドリルで、50個の下穴を、3mmのピッチで形成し
た。
【0032】 次に、長さ15mm、直径200μmの
ナイロン糸を50本準備し、予備成形体に形成した下穴
に1本づつ挿入した。予備成形体をゴム袋に入れ、ゴム
袋内を真空ポンプにて脱気した後、ゴム袋の口を密封し
た。これを静水圧プレス機にセットし、5トン/cm2
の圧力にて、1分間加圧した。
【0033】 加圧した成形体を電気炉に入れ、大気雰
囲気中にて500℃、1時間仮焼することにより、バイ
ンダーを脱脂処理するとともに、ナイロン糸を燃焼消失
させた。
【0034】 さらに、仮焼体を焼成炉に入れ、窒素雰
囲気中で、1700℃、2時間本焼成を行い、焼結させ
た。得られた焼成体を平面研削盤に取り付け、#400
のダイヤモンド砥石にて研削加工し、直径60mm、厚
さ10mmのセラミック製溶融金属押出口金を製造し
た。
【0035】 焼成後、貫通孔の直径を金属顕微鏡にて
測定したところ、直径150μmであった。又、50個
の貫通孔の直径のばらつき(標準偏差)は±10μmで
あった。
【0036】 製造したセラミック製溶融金属押出口金
を溶融アルミ押出機に取り付け、80kgf/cm2
圧力にて、計100kgのアルミ繊維を押し出した。押
出量10kg毎に、押し出したアルミ繊維の径及び口金
の状態を調べた。
【0037】(比較例1) ダイス鋼で製造した従来の
溶融金属押出口金を溶融アルミ押出機に取り付け、実施
例1と同様の条件で、計100kgのアルミ繊維を押し
出した。押出量10kg毎に、押し出したアルミ繊維の
径及び口金の状態を調べた。
【0038】 実施例では、100kgのアルミ繊維を
押し出した時点において、口金の腐食による貫通孔の拡
大及びアルミ繊維径の増大は観察されなかった。一方、
比較例では、10kgのアルミ繊維を押し出した時点
で、アルミ繊維の径が約10%増大しており、口金の腐
食による貫通孔の拡大が確認された。
【0039】
【発明の効果】 本発明においては、貫通孔を設けるた
めの芯線を、セラミック予備成形体に設けた下穴の内部
に設置するため、直径が異なる貫通孔を形成したい場
合、貫通孔の数や位置を変えたい場合においても、セラ
ミック予備成形体に設ける下穴の数や位置、あるいは芯
線の太さを変えればよく、従来の方法のように、貫通孔
の数や位置等が変わる度に新たな金型を準備する必要が
ない。従って、製造コストの低減を図ることができる。
【0040】 又、芯線は、セラミック予備成形体に設
けた下穴の中に設置されるため、従来の方法に比べ、作
業がし易く、生産効率の向上を図ることができる。
【0041】 さらに、狭い範囲内に多くの貫通孔を形
成するような場合においても、従来の方法のように、金
型の構造が複雑になることがなく、成形原料を充填する
際の充填密度のばらつきや充填不良という不都合及び成
型時の圧力が不均一となることにより貫通孔のサイズが
不均一になるのを回避することができる。又、プレス時
の圧力による芯線の切断や変形あるいは貫通孔周囲にお
けるクラックの発生を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の溶融金属押出口金の製造方法の概要
を示す説明図である。
【図2】 溶融金属押出口金の機能を示す模式図であ
る。
【符号の説明】
1…溶融金属押出口金、2…溶融金属、3…貫通孔、4
…セラミック予備成形体、5…下穴、6…線状有機物、
7…仮焼体。

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 微小貫通孔を有するセラミック焼成体の
    製造方法であって、 セラミック予備成形体に該微小貫通孔の直径より大きな
    直径を有する下穴を形成する第一工程、 該下穴に、所定の直径を有する線状有機物を挿入する第
    二工程、 該予備成形体を弾性材料にて被覆して、静水圧プレスを
    行う第三工程、 該予備成形体を大気雰囲気中で仮焼し、該線状有機物を
    燃焼消失させる第四工程及び該第四工程にて得られた仮
    焼体に本焼成を施す第五工程とから成ることを特徴とす
    る微小貫通孔付セラミック焼成体の製造方法。
  2. 【請求項2】 該微小貫通孔の直径が50〜200μm
    である請求項1に記載の微小貫通孔付セラミック焼成体
    の製造方法。
  3. 【請求項3】 該下穴の直径d1と該線状有機物の直径
    2とが下式、 1.5≦d1/d2≦10 で示される関係を有する請求項1又は2に記載の微小貫
    通孔付セラミック焼成体の製造方法。
  4. 【請求項4】 予備成形の圧力P1が100kg/cm2
    以上、1000kg/cm2以下であり、かつ、 P1と該静水圧プレスの圧力P2とが下式、 5<P2/P1<50 で示される関係を有する請求項1、2又は3に記載の微
    小貫通孔付セラミック焼成体の製造方法。
  5. 【請求項5】 セラミック予備成形体に設けた下穴に線
    状有機物を挿入した状態で、該予備成形体に静水圧プレ
    スを行い、次いで、該線状有機物を燃焼消失させて成る
    ことを特徴とする微小貫通孔付セラミック焼成体。
  6. 【請求項6】 該微小貫通孔の直径が50〜200μm
    である請求項5に記載の微小貫通孔付セラミック焼成
    体。
  7. 【請求項7】 該微小貫通孔の内壁が焼成面である請求
    項5又は6に記載の微小貫通孔付セラミック焼成体。
  8. 【請求項8】 窒化ケイ素の含有量が60重量%以上で
    あるセラミックスから成る請求項5、6又は7に記載の
    微小貫通孔付セラミック焼成体。
  9. 【請求項9】 溶融金属押出口金である請求項5、6、
    7又は8に記載の微小貫通孔付セラミック焼成体。
JP9022645A 1997-02-05 1997-02-05 微小貫通孔付セラミック焼成体及びその製造方法 Withdrawn JPH10217219A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005144668A (ja) * 2003-11-11 2005-06-09 Yoshinobu Shimoitani 成形品の中空部形成方法、及びその方法に用いる中子

Cited By (2)

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JP2005144668A (ja) * 2003-11-11 2005-06-09 Yoshinobu Shimoitani 成形品の中空部形成方法、及びその方法に用いる中子
JP4510427B2 (ja) * 2003-11-11 2010-07-21 良信 下井谷 ディーゼルエンジン用燃料噴射ノズルの製造方法、及びこれに用いる中子

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