JPH10208044A - 画像処理装置 - Google Patents
画像処理装置Info
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- JPH10208044A JPH10208044A JP9007633A JP763397A JPH10208044A JP H10208044 A JPH10208044 A JP H10208044A JP 9007633 A JP9007633 A JP 9007633A JP 763397 A JP763397 A JP 763397A JP H10208044 A JPH10208044 A JP H10208044A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 検査対象が傾いても、小誤差の正確なパタ−
ンマッチングを行う。 【解決手段】 比較対象(傾き0°)の所定箇所の登録
画像パタ−ン1a,2aを登録する。また、比較対象の
画像パタ−ンをθ°だけ傾け、当該所定箇所における登
録画像パタ−ン1b,2bを登録する。また、比較対象
の画像パタ−ンを−θ°だけ傾け、当該所定箇所におけ
る登録画像パタ−ン1c,2cを登録する。これら登録
画像パタ−ン1a〜1c,2a〜2cと検査画像パタ−
ン1´,2´とのパタ−ンマッチングを行い、最も相関
値(マッチング率)の高い位置を検出し、比較対象の画
像パタ−ンと検査対象の画像パタ−ンの位置合せを行
う。この後、検査対象の検査が行われる。
ンマッチングを行う。 【解決手段】 比較対象(傾き0°)の所定箇所の登録
画像パタ−ン1a,2aを登録する。また、比較対象の
画像パタ−ンをθ°だけ傾け、当該所定箇所における登
録画像パタ−ン1b,2bを登録する。また、比較対象
の画像パタ−ンを−θ°だけ傾け、当該所定箇所におけ
る登録画像パタ−ン1c,2cを登録する。これら登録
画像パタ−ン1a〜1c,2a〜2cと検査画像パタ−
ン1´,2´とのパタ−ンマッチングを行い、最も相関
値(マッチング率)の高い位置を検出し、比較対象の画
像パタ−ンと検査対象の画像パタ−ンの位置合せを行
う。この後、検査対象の検査が行われる。
Description
【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、登録画像パタ−ン
と検査画像パタ−ンの位置合せ(パタ−ンマッチング)
を実行する画像処理装置に関する。
と検査画像パタ−ンの位置合せ(パタ−ンマッチング)
を実行する画像処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】画像処理による外観検査において、検査
対象(例えば、LSIパッケ−ジ)を検出することは前
提条件である。即ち、検査対象の実際の検査は、登録画
像パタ−ン(比較対象の画像パタ−ンの一部又は全体)
と検査画像パタ−ン(検査対象の画像パタ−ンの一部又
は全体)の位置合せにより検査対象を検出した後に行わ
れる。
対象(例えば、LSIパッケ−ジ)を検出することは前
提条件である。即ち、検査対象の実際の検査は、登録画
像パタ−ン(比較対象の画像パタ−ンの一部又は全体)
と検査画像パタ−ン(検査対象の画像パタ−ンの一部又
は全体)の位置合せにより検査対象を検出した後に行わ
れる。
【0003】図14は、従来の画像処理装置の構成の概
略を示している。カメラ10は、検査対象又は比較対象
の画像を採取し、この画像を画像処理装置11に与え
る。カメラ10は、ビデオカメラ、デジタルカメラなど
から構成され、また、スキャナのような画像取り込み装
置を含む。
略を示している。カメラ10は、検査対象又は比較対象
の画像を採取し、この画像を画像処理装置11に与え
る。カメラ10は、ビデオカメラ、デジタルカメラなど
から構成され、また、スキャナのような画像取り込み装
置を含む。
【0004】画像処理装置11は、画像メモリ部12、
処理部13、制御部14を有している。検査対象及び比
較対象の画像パタ−ン(登録画像パタ−ン、検査画像パ
タ−ンを含む)は、パタ−ンマッチングや検査対象の検
査に用いられ、画像メモリ部12に記憶される。
処理部13、制御部14を有している。検査対象及び比
較対象の画像パタ−ン(登録画像パタ−ン、検査画像パ
タ−ンを含む)は、パタ−ンマッチングや検査対象の検
査に用いられ、画像メモリ部12に記憶される。
【0005】処理部13では、パタ−ンマッチングのた
めの相関演算や、外観検査のための演算などが行われ
る。制御部14は、画像メモリ部12における画像デ−
タの入出力や、処理部13における演算の制御を行う。
めの相関演算や、外観検査のための演算などが行われ
る。制御部14は、画像メモリ部12における画像デ−
タの入出力や、処理部13における演算の制御を行う。
【0006】次に、図14の画像処理装置の動作につい
て説明する。まず、図14乃至図16に示すように、カ
メラ10により、比較対象(良品)15の画像パタ−ン
を採取し、その画像パタ−ンの全体又は一部を、登録画
像パタ−ン1及び登録画像パタ−ン2として登録する。
て説明する。まず、図14乃至図16に示すように、カ
メラ10により、比較対象(良品)15の画像パタ−ン
を採取し、その画像パタ−ンの全体又は一部を、登録画
像パタ−ン1及び登録画像パタ−ン2として登録する。
【0007】本実施例の場合、登録画像パタ−ンは、比
較対象15の2ヶ所について作成しているが、3ヶ所以
上について作成してもよい。登録画像パタ−ンを作成す
る部分を増やせば、パタ−ンマッチングの精度が向上す
る反面、パタ−ンマッチングに多大な時間を要するとい
う欠点も生じる。登録画像パタ−ンが2ヶ所で作成され
る場合、登録画像パタ−ンは、比較対象15の中心に対
して対角線上に存在する2つの角部とするのがよい。
較対象15の2ヶ所について作成しているが、3ヶ所以
上について作成してもよい。登録画像パタ−ンを作成す
る部分を増やせば、パタ−ンマッチングの精度が向上す
る反面、パタ−ンマッチングに多大な時間を要するとい
う欠点も生じる。登録画像パタ−ンが2ヶ所で作成され
る場合、登録画像パタ−ンは、比較対象15の中心に対
して対角線上に存在する2つの角部とするのがよい。
【0008】次に、図17乃至図19に示すように、カ
メラ10により、検査対象16の画像パタ−ンを採取
し、その画像パタ−ンの全体又は一部を検査画像パタ−
ン1´及び検査画像パタ−ン2´として登録する。
メラ10により、検査対象16の画像パタ−ンを採取
し、その画像パタ−ンの全体又は一部を検査画像パタ−
ン1´及び検査画像パタ−ン2´として登録する。
【0009】この後、登録画像パタ−ン1と検査画像パ
タ−ン1´について、所定範囲で、相関演算によるパタ
−ンマッチングを行い、かつ、登録画像パタ−ン2と検
査画像パタ−ン2´についても、所定範囲で、相関演算
によるパタ−ンマッチングを行う。
タ−ン1´について、所定範囲で、相関演算によるパタ
−ンマッチングを行い、かつ、登録画像パタ−ン2と検
査画像パタ−ン2´についても、所定範囲で、相関演算
によるパタ−ンマッチングを行う。
【0010】そして、最も高いマッチング率を有してい
る位置を検出し、比較対象の画像パタ−ンと検査対象の
画像パタ−ンの位置合せ(パタ−ンマッチング)を行
う。なお、検査対象の検査は、この位置合せ後に行われ
る。
る位置を検出し、比較対象の画像パタ−ンと検査対象の
画像パタ−ンの位置合せ(パタ−ンマッチング)を行
う。なお、検査対象の検査は、この位置合せ後に行われ
る。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】上述のように、パタ−
ンマッチングは、登録画像パタ−ンと検査画像パタ−ン
の相関演算により実行される。しかし、従来のパタ−ン
マッチングでは、登録画像パタ−ンは、比較対象の1部
分について1種類(比較対象の傾きが0°のもの)しか
存在しない。つまり、従来は、比較対象が傾いていない
状態で登録画像パタ−ンを作成し、かつ、検査対象が傾
いていないことを前提にパタ−ンマッチングが行われて
いる。
ンマッチングは、登録画像パタ−ンと検査画像パタ−ン
の相関演算により実行される。しかし、従来のパタ−ン
マッチングでは、登録画像パタ−ンは、比較対象の1部
分について1種類(比較対象の傾きが0°のもの)しか
存在しない。つまり、従来は、比較対象が傾いていない
状態で登録画像パタ−ンを作成し、かつ、検査対象が傾
いていないことを前提にパタ−ンマッチングが行われて
いる。
【0012】従って、検査対象が回転により傾いた場
合、図19に示すように、登録画像パタ−ン1,2と検
査画像パタ−ン1´,2´は、大きく相違することにな
るため、検査対象を検出できなかったり、又は検出でき
ても誤差が非常に大きくなるという欠点がある。
合、図19に示すように、登録画像パタ−ン1,2と検
査画像パタ−ン1´,2´は、大きく相違することにな
るため、検査対象を検出できなかったり、又は検出でき
ても誤差が非常に大きくなるという欠点がある。
【0013】本発明は、上記欠点を解決すべくなされた
もので、その目的は、検査対象が回転により傾いても、
パタ−ンマッチングにより、正確に検査対象を検出する
ことが可能な画像処理装置を提供することである。
もので、その目的は、検査対象が回転により傾いても、
パタ−ンマッチングにより、正確に検査対象を検出する
ことが可能な画像処理装置を提供することである。
【0014】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の画像処理装置は、比較対象の第1画像パタ
−ンの第1部分又は全体を第1登録画像パタ−ンとして
登録する手段と、前記第1画像パタ−ンを傾けた少なく
とも1つの第2画像パタ−ンを作成し、前記少なくとも
1つの第2画像パタ−ンの前記第1部分に相当する第2
部分又は全体を少なくとも1つの第2登録画像パタ−ン
として登録する手段と、検査対象の第3画像パタ−ンの
前記第1部分に相当する第3部分又は全体を検査画像パ
タ−ンとし、前記第1登録画像パタ−ンと前記検査画像
パタ−ンのパタ−ンマッチングを行うと共に前記少なく
とも1つの第2登録画像パタ−ンと前記検査画像パタ−
ンのパタ−ンマッチングを行い、最も高いマッチング率
を有する位置を検出する手段とを備えている。
め、本発明の画像処理装置は、比較対象の第1画像パタ
−ンの第1部分又は全体を第1登録画像パタ−ンとして
登録する手段と、前記第1画像パタ−ンを傾けた少なく
とも1つの第2画像パタ−ンを作成し、前記少なくとも
1つの第2画像パタ−ンの前記第1部分に相当する第2
部分又は全体を少なくとも1つの第2登録画像パタ−ン
として登録する手段と、検査対象の第3画像パタ−ンの
前記第1部分に相当する第3部分又は全体を検査画像パ
タ−ンとし、前記第1登録画像パタ−ンと前記検査画像
パタ−ンのパタ−ンマッチングを行うと共に前記少なく
とも1つの第2登録画像パタ−ンと前記検査画像パタ−
ンのパタ−ンマッチングを行い、最も高いマッチング率
を有する位置を検出する手段とを備えている。
【0015】前記少なくとも1つの第2画像パタ−ン
は、前記第1画像パタ−ンを、角度±θ°(θは、所定
値)だけ回転させることにより得られる。前記検査対象
は、エンボステ−プの窪み内に配置されたLSIであ
り、前記角度±θ°は、前記エンボステ−プの窪みの大
きさ及び前記LSIの大きさにより決定される。
は、前記第1画像パタ−ンを、角度±θ°(θは、所定
値)だけ回転させることにより得られる。前記検査対象
は、エンボステ−プの窪み内に配置されたLSIであ
り、前記角度±θ°は、前記エンボステ−プの窪みの大
きさ及び前記LSIの大きさにより決定される。
【0016】前記画像処理装置は、さらに、前記最も高
いマッチング率を有する位置を検出した後、前記検査画
像パタ−ンの検査を行う手段を備える。本発明の画像処
理装置は、比較対象の第1画像パタ−ンの第1部分又は
全体を第1登録画像パタ−ンとして登録し、前記比較対
象を傾けた少なくとも1つの第2画像パタ−ンの前記第
1部分に相当する第2部分又は全体を少なくとも1つの
第2登録画像パタ−ンとして登録する手段と、検査対象
の第3画像パタ−ンの前記第1部分に相当する第3部分
又は全体を検査画像パタ−ンとし、前記第1登録画像パ
タ−ンと前記検査画像パタ−ンのパタ−ンマッチングを
行うと共に前記少なくとも1つの第2登録画像パタ−ン
と前記検査画像パタ−ンのパタ−ンマッチングを行い、
最も高いマッチング率を有する位置を検出する手段とを
備える。
いマッチング率を有する位置を検出した後、前記検査画
像パタ−ンの検査を行う手段を備える。本発明の画像処
理装置は、比較対象の第1画像パタ−ンの第1部分又は
全体を第1登録画像パタ−ンとして登録し、前記比較対
象を傾けた少なくとも1つの第2画像パタ−ンの前記第
1部分に相当する第2部分又は全体を少なくとも1つの
第2登録画像パタ−ンとして登録する手段と、検査対象
の第3画像パタ−ンの前記第1部分に相当する第3部分
又は全体を検査画像パタ−ンとし、前記第1登録画像パ
タ−ンと前記検査画像パタ−ンのパタ−ンマッチングを
行うと共に前記少なくとも1つの第2登録画像パタ−ン
と前記検査画像パタ−ンのパタ−ンマッチングを行い、
最も高いマッチング率を有する位置を検出する手段とを
備える。
【0017】前記少なくとも1つの第2画像パタ−ン
は、前記比較対象を、±θ°(θは、所定値)だけ回転
させることにより得られる。前記検査対象は、エンボス
テ−プの窪み内に配置されたLSIであり、前記角度±
θ°は、前記エンボステ−プの窪みの大きさ及び前記L
SIの大きさにより決定される。前記画像処理装置は、
さらに、前記最も高いマッチング率を有する位置を検出
した後、前記検査画像パタ−ンの検査を行う手段を備え
る。
は、前記比較対象を、±θ°(θは、所定値)だけ回転
させることにより得られる。前記検査対象は、エンボス
テ−プの窪み内に配置されたLSIであり、前記角度±
θ°は、前記エンボステ−プの窪みの大きさ及び前記L
SIの大きさにより決定される。前記画像処理装置は、
さらに、前記最も高いマッチング率を有する位置を検出
した後、前記検査画像パタ−ンの検査を行う手段を備え
る。
【0018】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら、本発
明の画像処理装置について詳細に説明する。図1は、本
発明の実施の形態に関わる画像処理装置を示している。
カメラ10は、検査対象又は比較対象の画像を採取し、
この画像を画像処理装置11に与える。カメラ10は、
ビデオカメラ、デジタルカメラなどから構成され、ま
た、スキャナのような画像取り込み装置を含む。
明の画像処理装置について詳細に説明する。図1は、本
発明の実施の形態に関わる画像処理装置を示している。
カメラ10は、検査対象又は比較対象の画像を採取し、
この画像を画像処理装置11に与える。カメラ10は、
ビデオカメラ、デジタルカメラなどから構成され、ま
た、スキャナのような画像取り込み装置を含む。
【0019】画像処理装置11は、画像メモリ部12、
処理部13、制御部14を有している。検査対象及び比
較対象の画像パタ−ン(登録画像パタ−ン、検査画像パ
タ−ンを含む)は、パタ−ンマッチングや検査対象の検
査に用いられ、画像メモリ部12に記憶される。
処理部13、制御部14を有している。検査対象及び比
較対象の画像パタ−ン(登録画像パタ−ン、検査画像パ
タ−ンを含む)は、パタ−ンマッチングや検査対象の検
査に用いられ、画像メモリ部12に記憶される。
【0020】処理部13では、パタ−ンマッチングのた
めの相関演算や、外観検査のための演算などが行われ
る。制御部14は、画像メモリ部12における画像デ−
タの入出力や、処理部13における演算の制御を行う。
めの相関演算や、外観検査のための演算などが行われ
る。制御部14は、画像メモリ部12における画像デ−
タの入出力や、処理部13における演算の制御を行う。
【0021】図2は、図1の画像処理装置の動作の一例
を示している。まず、比較対象(良品)15の画像パタ
−ンを採取し、その画像パタ−ンの全体又は一部を登録
画像パタ−ン1a及び登録画像パタ−ン2aとして登録
する(ステップST1)。この時、図3に示すように、
比較対象15の傾きは、0°とする。
を示している。まず、比較対象(良品)15の画像パタ
−ンを採取し、その画像パタ−ンの全体又は一部を登録
画像パタ−ン1a及び登録画像パタ−ン2aとして登録
する(ステップST1)。この時、図3に示すように、
比較対象15の傾きは、0°とする。
【0022】比較対象15の画像パタ−ンの一部を登録
画像パタ−ン1a,2aとして登録する場合、その一部
は、例えば、比較対象15の互いに対向する2つの角部
のパタ−ンとするのがよい。
画像パタ−ン1a,2aとして登録する場合、その一部
は、例えば、比較対象15の互いに対向する2つの角部
のパタ−ンとするのがよい。
【0023】次に、比較対象15の画像パタ−ンに基づ
いて、登録画像パタ−ン1b,1c,2b,2cを作成
する(ステップST2)。登録画像パタ−ン1b,2b
は、図4に示すように、比較対象15の画像パタ−ンを
θ°だけ一方向に回転させた場合における比較対象の互
いに対向する角部のパタ−ンである。同様に、登録画像
パタ−ン1c,2cは、図4に示すように、比較対象1
5の画像パタ−ンを−θ°だけ他方向に回転させた場合
における比較対象の互いに対向する角部のパタ−ンであ
る。
いて、登録画像パタ−ン1b,1c,2b,2cを作成
する(ステップST2)。登録画像パタ−ン1b,2b
は、図4に示すように、比較対象15の画像パタ−ンを
θ°だけ一方向に回転させた場合における比較対象の互
いに対向する角部のパタ−ンである。同様に、登録画像
パタ−ン1c,2cは、図4に示すように、比較対象1
5の画像パタ−ンを−θ°だけ他方向に回転させた場合
における比較対象の互いに対向する角部のパタ−ンであ
る。
【0024】つまり、図5に示すように、登録画像パタ
−ンは、比較対象15の1部分について3種類存在する
ことになるため、比較対象15の2ヶ所で登録画像パタ
−ンを作成する本実施例では、登録画像パタ−ンは、合
計6つ存在する。
−ンは、比較対象15の1部分について3種類存在する
ことになるため、比較対象15の2ヶ所で登録画像パタ
−ンを作成する本実施例では、登録画像パタ−ンは、合
計6つ存在する。
【0025】なお、比較対象15の傾きのパタ−ンをさ
らに増やし、登録画像パタ−ンを、比較対象15の1部
分について3種類以上設けるようにしてもよい。登録画
像パタ−ンは、予め検査対象が傾き易い角度を確認して
おき、その角度において作成する。例えば、角度を(n
×θ)°,−(n×θ)°のように設定してもよい。但
し、nは、自然数で、0°<(n×θ)°<90°,−
90°<−(n×θ)°<0°とする(実際の傾きの範
囲は、数度程度である)。
らに増やし、登録画像パタ−ンを、比較対象15の1部
分について3種類以上設けるようにしてもよい。登録画
像パタ−ンは、予め検査対象が傾き易い角度を確認して
おき、その角度において作成する。例えば、角度を(n
×θ)°,−(n×θ)°のように設定してもよい。但
し、nは、自然数で、0°<(n×θ)°<90°,−
90°<−(n×θ)°<0°とする(実際の傾きの範
囲は、数度程度である)。
【0026】登録画像パタ−ン1b,1c,2b,2c
は、本実施の形態のように、比較対象15の画像パタ−
ンに基づいて、画像処理により自動的に求めることがで
きる。また、図6のフロ−チャ−トに示すように、実際
に比較対象を傾けて、カメラ10により比較対象15の
画像パタ−ンを採取し、登録画像パタ−ン1b,1c,
2b,2cを登録してもよい。
は、本実施の形態のように、比較対象15の画像パタ−
ンに基づいて、画像処理により自動的に求めることがで
きる。また、図6のフロ−チャ−トに示すように、実際
に比較対象を傾けて、カメラ10により比較対象15の
画像パタ−ンを採取し、登録画像パタ−ン1b,1c,
2b,2cを登録してもよい。
【0027】次に、図7及び図8に示すように、検査対
象16の画像パタ−ンを採取し、その画像パタ−ンの全
体又は一部を検査画像パタ−ン1´及び検査画像パタ−
ン2´として登録する(ステップST3)。この時、検
査対象16の傾きは、0°の場合もあれば、図8に示す
ように、数°傾いている場合もある。
象16の画像パタ−ンを採取し、その画像パタ−ンの全
体又は一部を検査画像パタ−ン1´及び検査画像パタ−
ン2´として登録する(ステップST3)。この時、検
査対象16の傾きは、0°の場合もあれば、図8に示す
ように、数°傾いている場合もある。
【0028】次に、登録画像パタ−ン1a〜1cの各々
と検査画像パタ−ン1´について、所定範囲で、相関演
算によるパタ−ンマッチングを行い、かつ、登録画像パ
タ−ン2a〜2cの各々と検査画像パタ−ン2´につい
て、所定範囲で、相関演算によるパタ−ンマッチングを
行う。
と検査画像パタ−ン1´について、所定範囲で、相関演
算によるパタ−ンマッチングを行い、かつ、登録画像パ
タ−ン2a〜2cの各々と検査画像パタ−ン2´につい
て、所定範囲で、相関演算によるパタ−ンマッチングを
行う。
【0029】そして、最も高いマッチング率を有する位
置を検出し、比較対象15の画像パタ−ンと検査対象1
6の画像パタ−ンの位置合せを行う(ステップST
4)。ここで、図8に示すように、検査対象16が数°
傾いている場合について考える。
置を検出し、比較対象15の画像パタ−ンと検査対象1
6の画像パタ−ンの位置合せを行う(ステップST
4)。ここで、図8に示すように、検査対象16が数°
傾いている場合について考える。
【0030】この場合、登録画像パタ−ン1a,1b,
2a,2bと検査画像パタ−ン1´,2´の所定範囲内
におけるパタ−ンマッチングのマッチング率は、全て低
い値を有していると考えられるが、登録画像パタ−ン1
c,2cと検査画像パタ−ン1´,2´の所定範囲内に
おけるパタ−ンマッチングのマッチング率は、所定の位
置において最も高くなっていると考えられる。
2a,2bと検査画像パタ−ン1´,2´の所定範囲内
におけるパタ−ンマッチングのマッチング率は、全て低
い値を有していると考えられるが、登録画像パタ−ン1
c,2cと検査画像パタ−ン1´,2´の所定範囲内に
おけるパタ−ンマッチングのマッチング率は、所定の位
置において最も高くなっていると考えられる。
【0031】即ち、図9に示すように、最も高いマッチ
ング率を有している位置を検出することにより、登録画
像パタ−ンと検査画像パタ−ンの位置合せが完了する。
また、当然、位置合せと同時に、検査対象16の傾きも
検出することができる。
ング率を有している位置を検出することにより、登録画
像パタ−ンと検査画像パタ−ンの位置合せが完了する。
また、当然、位置合せと同時に、検査対象16の傾きも
検出することができる。
【0032】この後、検査対象の外観検査が行われ(ス
テップST5)、OK(良品)と判断された場合には、
次の検査対象(例えば、LSIパッケ−ジ)に移行して
同様の処理が行われ、NG(不良品)と判断された場合
には、動作が終了する。
テップST5)、OK(良品)と判断された場合には、
次の検査対象(例えば、LSIパッケ−ジ)に移行して
同様の処理が行われ、NG(不良品)と判断された場合
には、動作が終了する。
【0033】上記構成の画像処理装置によれば、比較対
象15の傾きが0°の場合と比較対象15の傾きが数°
の場合の複数の登録画像パタ−ン(但し、同一箇所)を
登録しておき、この複数の登録画像パタ−ンの各々と検
査画像パタ−ンとのパタ−ンマッチングを行っている。
象15の傾きが0°の場合と比較対象15の傾きが数°
の場合の複数の登録画像パタ−ン(但し、同一箇所)を
登録しておき、この複数の登録画像パタ−ンの各々と検
査画像パタ−ンとのパタ−ンマッチングを行っている。
【0034】つまり、このパタ−ンマッチングで、最も
高いマッチング率を有する位置を検出することにより、
比較対象15の画像パタ−ンと検査対象16の画像パタ
−ンの位置合せが行われると共に、検査対象16の傾き
も検出することができる。従って、検査対象16が傾い
ても、誤差の少ない正確なパタ−ンマッチングが行える
ため、検査対象16の検査も正確に行えるようになる。
高いマッチング率を有する位置を検出することにより、
比較対象15の画像パタ−ンと検査対象16の画像パタ
−ンの位置合せが行われると共に、検査対象16の傾き
も検出することができる。従って、検査対象16が傾い
ても、誤差の少ない正確なパタ−ンマッチングが行える
ため、検査対象16の検査も正確に行えるようになる。
【0035】
【実施例】図10は、本発明の実施例に関わるエンボス
テ−プ内のLSIを示している。図11は、図10のX
I−XI線に沿う断面図である。本実施例では、本発明
の画像処理装置を用いて、エンボステ−プ内のLSIの
外観検査を行う場合について説明する。
テ−プ内のLSIを示している。図11は、図10のX
I−XI線に沿う断面図である。本実施例では、本発明
の画像処理装置を用いて、エンボステ−プ内のLSIの
外観検査を行う場合について説明する。
【0036】まず、検査対象について述べる。LSI2
1は、エンボステ−プ22の窪み23内に配置されてい
る。窪み23の大きさ(縦×横)は、LSI21のサイ
ズよりも少し大きめに設定され、その深さも、LSI2
1の高さよりも少し大きめに設定されている。エンボス
テ−プ22の縁に沿ってスプロケットホ−ル24が配置
されている。このスプロケットホ−ル24によりエンボ
ステ−プ22を搬送することにより、複数のLSIの外
観検査を連続して行うことができる。
1は、エンボステ−プ22の窪み23内に配置されてい
る。窪み23の大きさ(縦×横)は、LSI21のサイ
ズよりも少し大きめに設定され、その深さも、LSI2
1の高さよりも少し大きめに設定されている。エンボス
テ−プ22の縁に沿ってスプロケットホ−ル24が配置
されている。このスプロケットホ−ル24によりエンボ
ステ−プ22を搬送することにより、複数のLSIの外
観検査を連続して行うことができる。
【0037】エンボステ−プ22の窪み23内のLSI
21は、図10に示すように、通常、傾きが0°の状態
にある。しかし、窪み23は、LSI21よりも大きめ
に作られているため、図12及び図13に示すように、
LSI21は、最大で、θ°,−θ°だけ傾く場合があ
る。
21は、図10に示すように、通常、傾きが0°の状態
にある。しかし、窪み23は、LSI21よりも大きめ
に作られているため、図12及び図13に示すように、
LSI21は、最大で、θ°,−θ°だけ傾く場合があ
る。
【0038】この角度θ,−θは、LSI21の大きさ
及びエンボステ−プ22の窪み23の大きさがそれぞれ
判明していれば、予め認識することができる。また、本
実施例の場合、LSI21の傾きは、0°又はθ°,−
θ°の場合がほとんどであり、その間の角度は少ないと
考えられるため、登録画像パタ−ンとしては、同一箇所
について、LSI21の傾きが0°の場合とθ°,−θ
°の場合の合計3つを登録しておく。
及びエンボステ−プ22の窪み23の大きさがそれぞれ
判明していれば、予め認識することができる。また、本
実施例の場合、LSI21の傾きは、0°又はθ°,−
θ°の場合がほとんどであり、その間の角度は少ないと
考えられるため、登録画像パタ−ンとしては、同一箇所
について、LSI21の傾きが0°の場合とθ°,−θ
°の場合の合計3つを登録しておく。
【0039】なお、比較対象の2箇所でマッチングを行
う場合には、登録画像パタ−ンは、合計6つとなる。そ
して、これらの登録画像パタ−ンと検査画像パタ−ンの
パタ−ンマッチングを行うことにより、比較対象の画像
パタ−ンと検査対象の画像パタ−ンの位置合せが行える
と共に、検査対象の傾きの有無も判断できる。
う場合には、登録画像パタ−ンは、合計6つとなる。そ
して、これらの登録画像パタ−ンと検査画像パタ−ンの
パタ−ンマッチングを行うことにより、比較対象の画像
パタ−ンと検査対象の画像パタ−ンの位置合せが行える
と共に、検査対象の傾きの有無も判断できる。
【0040】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明の画像処
理装置によれば、次のような効果を奏する。検査の前提
としてのパタ−ンマッチングに際して、比較対象(良
品)の傾きが0°の場合と比較対象の傾きが数°の場合
の複数の登録画像パタ−ン(但し、同一箇所)を登録し
ておき、この複数の登録画像パタ−ンの各々と検査画像
パタ−ンとのパタ−ンマッチングを行っている。
理装置によれば、次のような効果を奏する。検査の前提
としてのパタ−ンマッチングに際して、比較対象(良
品)の傾きが0°の場合と比較対象の傾きが数°の場合
の複数の登録画像パタ−ン(但し、同一箇所)を登録し
ておき、この複数の登録画像パタ−ンの各々と検査画像
パタ−ンとのパタ−ンマッチングを行っている。
【0041】そして、このパタ−ンマッチングにおい
て、最も高いマッチング率を有する位置を検出すること
により、比較対象の画像パタ−ンと検査対象の画像パタ
−ンのマッチングが行われると共に、検査対象の傾きも
検出できるようになる。よって、検査対象が傾いても、
誤差の少ない正確なパタ−ンマッチングが行えるため、
検査対象の検査も正確に行えるようになる。
て、最も高いマッチング率を有する位置を検出すること
により、比較対象の画像パタ−ンと検査対象の画像パタ
−ンのマッチングが行われると共に、検査対象の傾きも
検出できるようになる。よって、検査対象が傾いても、
誤差の少ない正確なパタ−ンマッチングが行えるため、
検査対象の検査も正確に行えるようになる。
【図1】本発明の実施の形態に関わる画像処理装置を示
す図。
す図。
【図2】図1の画像処理装置の動作の一例を示すフロ−
チャ−ト。
チャ−ト。
【図3】図1の比較対象の傾きが0°の状態を示す図。
【図4】図1の比較対象がθ,−θだけ傾いた状態を示
す図。
す図。
【図5】同一箇所における登録画像パタ−ンの種類を示
す図。
す図。
【図6】図1の画像処理装置の動作の他の一例を示すフ
ロ−チャ−ト。
ロ−チャ−ト。
【図7】本発明の実施の形態に関わる画像処理装置を示
す図。
す図。
【図8】図7の検査対象がθだけ傾いた状態を示す図。
【図9】最も相関値(マッチング率)の高いパタ−ンの
組み合せを示す図。
組み合せを示す図。
【図10】エンボステ−プの窪み内のLSIを示す図。
【図11】図10のXI−XI線に沿う断面図。
【図12】エンボステ−プの窪み内のLSIがθだけ傾
いた状態を示す図。
いた状態を示す図。
【図13】エンボステ−プの窪み内のLSIが−θだけ
傾いた状態を示す図。
傾いた状態を示す図。
【図14】従来の画像処理装置を示す図。
【図15】図14の比較対象の傾きが0°の状態を示す
図。
図。
【図16】登録画像パタ−ンを示す図。
【図17】従来の画像処理装置を示す図。
【図18】図17の検査対象がθだけ傾いた状態を示す
図。
図。
【図19】登録画像パタ−ンと検査画像パタ−ンの相違
を示す図。
を示す図。
10 :カメラ、 11 :画像処理装置、 12 :画像メモリ部、 13 :処理部、 14 :制御部、 15 :比較対象(良品)、 16 :検査対象、 21 :LSI、 22 :エンボステ−プ、 23 :窪み、 24 :スプロケットホ−ル。
Claims (7)
- 【請求項1】 比較対象の第1画像パタ−ンの第1部分
又は全体を第1登録画像パタ−ンとして登録する手段
と、前記第1画像パタ−ンを傾けた少なくとも1つの第
2画像パタ−ンを作成し、前記少なくとも1つの第2画
像パタ−ンの前記第1部分に相当する第2部分又は全体
を少なくとも1つの第2登録画像パタ−ンとして登録す
る手段と、検査対象の第3画像パタ−ンの前記第1部分
に相当する第3部分又は全体を検査画像パタ−ンとし、
前記第1登録画像パタ−ンと前記検査画像パタ−ンのパ
タ−ンマッチングを行うと共に前記少なくとも1つの第
2登録画像パタ−ンと前記検査画像パタ−ンのパタ−ン
マッチングを行い、最も高いマッチング率を有する位置
を検出する手段とを具備することを特徴とする画像処理
装置。 - 【請求項2】 比較対象の第1画像パタ−ンの第1部分
又は全体を第1登録画像パタ−ンとして登録し、前記比
較対象を傾けた少なくとも1つの第2画像パタ−ンの前
記第1部分に相当する第2部分又は全体を少なくとも1
つの第2登録画像パタ−ンとして登録する手段と、検査
対象の第3画像パタ−ンの前記第1部分に相当する第3
部分又は全体を検査画像パタ−ンとし、前記第1登録画
像パタ−ンと前記検査画像パタ−ンのパタ−ンマッチン
グを行うと共に前記少なくとも1つの第2登録画像パタ
−ンと前記検査画像パタ−ンのパタ−ンマッチングを行
い、最も高いマッチング率を有する位置を検出する手段
とを具備することを特徴とする画像処理装置。 - 【請求項3】 前記少なくとも1つの第2画像パタ−ン
は、前記第1画像パタ−ンを、角度±θ°(θは、所定
値)だけ回転させることにより得られることを特徴とす
る請求項1記載の画像処理装置。 - 【請求項4】 前記検査対象は、エンボステ−プの窪み
内に配置されたLSIであり、前記角度±θ°は、前記
エンボステ−プの窪みの大きさ及び前記LSIの大きさ
により決定されることを特徴とする請求項3記載の画像
処理装置。 - 【請求項5】 前記少なくとも1つの第2画像パタ−ン
は、前記比較対象を、±θ°(θは、所定値)だけ回転
させることにより得られることを特徴とする請求項2記
載の画像処理装置。 - 【請求項6】 前記検査対象は、エンボステ−プの窪み
内に配置されたLSIであり、前記角度±θ°は、前記
エンボステ−プの窪みの大きさ及び前記LSIの大きさ
により決定されることを特徴とする請求項5記載の画像
処理装置。 - 【請求項7】 前記最も高いマッチング率を有する位置
を検出した後、前記検査画像パタ−ンの検査を行う手段
を具備することを特徴とする請求項1又は2記載の画像
処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9007633A JPH10208044A (ja) | 1997-01-20 | 1997-01-20 | 画像処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9007633A JPH10208044A (ja) | 1997-01-20 | 1997-01-20 | 画像処理装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10208044A true JPH10208044A (ja) | 1998-08-07 |
Family
ID=11671240
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9007633A Pending JPH10208044A (ja) | 1997-01-20 | 1997-01-20 | 画像処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10208044A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7483562B2 (en) | 2002-08-07 | 2009-01-27 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Method of detecting protrudent adhered matters and method of making spark plug using the same |
-
1997
- 1997-01-20 JP JP9007633A patent/JPH10208044A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7483562B2 (en) | 2002-08-07 | 2009-01-27 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Method of detecting protrudent adhered matters and method of making spark plug using the same |
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