JPH10206749A - マイクロマニピュレータ - Google Patents

マイクロマニピュレータ

Info

Publication number
JPH10206749A
JPH10206749A JP952197A JP952197A JPH10206749A JP H10206749 A JPH10206749 A JP H10206749A JP 952197 A JP952197 A JP 952197A JP 952197 A JP952197 A JP 952197A JP H10206749 A JPH10206749 A JP H10206749A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sensitivity
operating
axis
setting
magnification
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP952197A
Other languages
English (en)
Inventor
Mitsuhiko Saito
光彦 斉藤
Katsuyoshi Yamaguchi
克能 山口
Toru Kaneda
徹 金田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Olympus Corp
Original Assignee
Olympus Optical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Olympus Optical Co Ltd filed Critical Olympus Optical Co Ltd
Priority to JP952197A priority Critical patent/JPH10206749A/ja
Publication of JPH10206749A publication Critical patent/JPH10206749A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Manipulator (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】顕微鏡の対物レンズの観察倍率の値に関係な
く、観察視野内で同じ速度で操作針を移動させることが
できるマイクロマニピュレータを得ることにある。 【解決手段】顕微鏡の視野下で操作針を使用して被検物
を微細操作するマイクロマニピュレータにおいて、前記
操作針の移動方向や移動距離などの動作内容を入力可能
であって、該動作内容に応じて動作指令信号を出力する
操作手段と、前記操作手段で生成される動作指令信号を
駆動信号に変換する割合を設定する操作感度設定手段
と、前記操作手段からの駆動指令信号に対して前記操作
感度設定手段で設定された割合で駆動信号を発生する制
御手段と、前記制御手段からの駆動信号に応じて前記操
作針を駆動する駆動手段を具備するマイクロマニピュレ
ータ。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光学顕微鏡の周辺
機器に係り、さらに詳しくは光学顕微鏡下で行う細胞等
の被検物を微細操作するマイクロマニピュレータに関す
る。
【0002】
【従来の技術】従来、顕微鏡の視野下においた細胞を遠
隔地点から微細操作する装置としてマイクロマニピュレ
ータが知られている。一般に、マイクロマニピュレータ
における細胞操作は操作部を介して行われるが、操作部
の操作性を改善したマイクロマニピュレータが種々提案
されている。
【0003】図10は、従来のマイクロマニピュレータ
の概略構成を示すもの(特開平2ー110415号公
報)で、これは操作針1を広範囲に移動させる粗動機構
2と、操作針1を精密に動作させるための微動機構3を
備えている。粗動機構2は、X軸、Y軸およびZ軸の方
向にコンピュータ制御部4のキー群5によって制御さ
れ、また微動機構3はコンピュータ制御部4のジョイス
ティック6によってX軸、Y軸およびZ軸の方向に移動
する。このように従来のマイクロマニピュレータでは粗
動機構2と微動機構3を備え、また操作手段を2種類備
えている。
【0004】図11は、本出願人が先に出願したマイク
ロマニピュレータの全体構成を示したもの(特開平6ー
342121号公報)である。マイクロマニピュレータ
が装備される倒立顕微鏡7には、支柱8により支持され
たサブステージ9がステージ近傍に水平に付設されてい
る。サブステージ9には、X軸,Y軸,Z軸の直交座標
系を備えた可動機構10が設けられている。
【0005】マイクロマニピュレータの本体の構成とし
て、可動機構10、入力手段12(動作指令発生手段を
含む)、制御手段13、駆動制御手段14、アクチュエ
ータ(不図示)、操作針1から構成されている。入力手
段12は、ジョイスティック16、トラックボール1
7、キーボード18、プログラムを格納したメモリ1
9、モニタ手段20、ライトペン21からなり、操作者
から入力される操作針1の動作内容に関する指示を電気
的な入力信号に変換するものである。
【0006】入力手段12を構成するジョイスティック
16やトラックボール17はパーソナルコンピュータ
(パソコン)22に接続されている。パソコン22は、
入力手段12からの動作内容を示す入力情報を電気的な
動作指令信号に変換して制御手段13へ出力する。
【0007】操作針1の動作内容が入力手段12から指
示されると、その指示された動作内容に応じた動作指令
信号が制御手段13を介して駆動制御手段14へ送出さ
れる。駆動制御手段14で駆動指令信号に応じた生成さ
れた駆動信号が超音波アクチュエータ等の可動体へ印加
されることにより、入力手段12から指示された動作内
容に対応して操作針1が移動する。
【0008】可動機構10は、図12に示すように、サ
ブステージ9に固定された機構固定部23にX軸方向の
X軸ガイドが形成され、Xステージ24が機構固定部2
3に対してX軸ガイドを介してX軸方向へ摺動自在に保
持されている。機構固定部23の内部には、超音波アク
チュエータ(不図示)が保持されており、超音波アクチ
ュエータに備えられた摺動部材をXステージ24の対向
面に所定の押圧力で直接接触させている。
【0009】Xステージ24の反対面にはY軸アクチュ
エータ保持部材25が固定されている。Y軸アクチュエ
ータ保持部材25にはYステージ26との対向面にY軸
ガイドが形成されており、Yステージ26がY軸アクチ
ュエータ保持部材25にY軸ガイドを介してY軸方向へ
摺動自在に保持されている。アクチュエータ保持部材2
5には、機構固定部23と同様にして超音波アクチュエ
ータが保持されており、超音波アクチュエータの摺動部
材をYステージ26の対向面に所定の力で接触させてい
る。Yステージ26の反対面にはL字形をなすL金具2
7が固定されており、そのL金具27にZ軸アクチュエ
ータ保持部材31が固定されている。Z軸アクチュエー
タ保持部材31はZ軸方向にZ軸ガイドが形成されてい
る。
【0010】Zステージ28はZ軸アクチュエータ保持
部材31のZ軸ガイドを介してZ軸方向へ摺動自在に保
持されている。Z軸アクチュエータ保持部材31には超
音波アクチュエータが保持されていて、前記各アクチュ
エータと同様にZステージ28をZ軸方向へ変位させる
変位力を発生する。Zステージ28の反対面には可動体
基板29が固定されており、その可動体基板29に形成
されたD軸ガイドに操作針用可動体30がD軸方向へ摺
動自在に保持されている。
【0011】可動体基板29には、操作針用可動体30
をD軸方向へ移動させるための超音波アクチュエータが
保持されている。操作針用可動体30に操作針1がその
長手方向をD軸方向へ向けた状態で固定されている。X
ステージ24,Yステージ26,Zステージ28及び操
作針用可動体30の各移動量はそれぞれ対応して設けら
れた変位検出手段により常に検出され、その移動量は制
御手段13へフィードバックされる。
【0012】以上のような構成によって、互いに直交す
るX軸方向、Y軸方向およびZ軸方向へ移動可能なXス
テージ(X軸可動台)24、Yステージ(Y軸可動台)
26およびZステージ(Z軸可動台)28とから構成さ
れているため、可動機構がX軸、Y軸およびZ軸直交座
標系を構成するものとなり、操作針1の長手方向への移
動のみならず、操作針1をX軸、Y軸およびZ軸の3方
向へ自在に移動できるものとなる。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】以上述べた従来のマイ
クロマニピュレータにあっては、顕微鏡の対物レンズの
各倍率で操作針1の動きに差が生じるため、顕微鏡視野
内で操作針1の動きを視野下または視野外への素早い粗
動動作と、被検物の微操作に必要な精密な微動動作が求
められる。前述した従来の技術では、大まかな位置合わ
せを行う粗動機構と微動操作を行う微動機構とがそれぞ
れ別個の機構により構成されているため、これらの機構
が複雑になり、マイクロマニピュレータが大型化する。
また、操作においてもそれぞれの操作手段に手を差し替
える動作を伴うので、面倒になる欠点がある。
【0014】本発明は、以上のような事情に基いてなさ
れたもので、その目的は操作手段の操作感度を設定する
ことでき、操作性が向上するマイクロマニピュレータを
提供することを目的とする。
【0015】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、請求項1に対応する発明は、顕微鏡の視野下で操作
針を使用して被検物を微細操作するマイクロマニピュレ
ータにおいて、前記操作針の移動方向や移動距離などの
動作内容を入力可能であって、該動作内容に応じて動作
指令信号を出力する操作手段と、前記操作手段で生成さ
れる動作指令信号を駆動信号に変換する割合を設定する
操作感度設定手段と、前記操作手段からの駆動指令信号
に対して前記操作感度設定手段で設定された割合で駆動
信号を発生する制御手段と、前記制御手段からの駆動信
号に応じて前記操作針を駆動する駆動手段と、を具備す
ることを特徴とするマイクロマニピュレータである。
【0016】請求項1に対応する発明によれば、操作手
段の操作感度を設定することでき、操作性が向上する。
前記目的を達成するため、請求項2に対応する発明は、
前記操作感度設定手段は、顕微鏡の使用対物レンズの倍
率に応じて設定可能にしたことを特徴とする請求項1記
載のマイクロマニピュレータである。
【0017】前記目的を達成するため、請求項3に対応
する発明は、顕微鏡の使用対物レンズ倍率を検出する検
出手段をさらに具備し、前記操作感度設定手段は、前記
顕微鏡の使用対物レンズの倍率に応じて自動的に操作感
度を設定するようにしたことを特徴とする請求項1記載
のマイクロマニピュレータである。請求項2または請求
項3に対応する発明によれば、使用対物レンズの倍率に
応じて操作感度を設定することができ、細胞等の微細操
作が容易に行える。
【0018】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例について図
面を参照して説明する。 <第1の実施形態>図1に示すように、操作手段61、
設定手段62、制御手段63、駆動手段64、アクチュ
エータ65A,65B,65C、操作針66から構成さ
れている。操作手段61は、例えば操作ダイヤルからな
り、操作針66の移動方向や移動距離等の動作内容が入
力でき、動作指令信号を出力するものである。操作感度
設定手段62は、後述する操作感度を設定可能であっ
て、操作手段61で生成される動作指令信号を駆動信号
に変換する割合を設定するものである。制御手段63
は、操作手段61からの駆動指令信号に対して操作感度
設定手段62で設定された割合で駆動信号を発生するも
のである。駆動手段64は制御手段63からの駆動信号
を所望の値に増幅し、操作針66を駆動するアクチュエ
ータ65A,65B,65Cに電流を供給するものであ
る。
【0019】ここで、操作感度とは、操作手段61例え
ば操作ダイヤルを一定量操作したときの操作針66の移
動量を指し、操作ダイヤルを同じ量だけ操作したとき
に、操作感度が高い方が操作針61の移動量が大きくな
る。操作感度の設定と、移動速度、移動量の設定とは、
実質的に同一であり、操作手段61から入力される一定
の操作量に対する移動量の大きさを変更することを意味
している。
【0020】このように構成することにより、次のよう
な作用効果が得られる。すなわち、設定手段62の設定
によって操作手段61から入力される動作指令信号を駆
動手段64に入力する駆動信号に変換する割合が調整さ
れる。この結果、設定手段62の設定によってはアクチ
ュエータ65A,65B,65Cにより駆動される操作
針61の移動量、すなわち操作感度が変わることから、
操作者が変ったり、あるいは被検物である細胞への操作
方法が変ったりする場合でも対処できるので、操作性が
向上する。
【0021】<第2の実施形態>図2に示すように、操
作部71には、X軸、Y軸、Z軸に対応しジョグ(ロー
タリエンコーダ)72A,72B,72Cがそれぞれ設
けられており、A,B相の90度位相のずれた信号がC
PU73に出力されるようになっている。
【0022】操作感度設定部74には、ジョグ感度を表
示する7素子表示器75と、7素子表示器75の数字の
インクリメントを行うインクリメントスイッチ76と、
ジョグ感度の設定時に使用するセットスイッチ77と、
いずれの軸の感度設定を行っているかを示す3個(X軸
用、Y軸用、Z軸用)の発光ダイオード78が設けられ
ており、ジョグ感度情報をCPU73に出力するように
構成されている。
【0023】CPU73には、プログラム用ROM79
と、各種データ用RAM80と、ジョグ感度データをバ
ックアップするためのNVRAM81が接続されてお
り、ジョグ信号及び感度情報から各軸の指令パルス数及
び方向を決定し、駆動回路82に出力するようになって
いる。駆動回路82では、CPU73からの指令信号
(パルス、方向)の電圧を増幅し、操作針84を駆動す
る超音波アクチュエータ(超音波モータ)83A,83
B,83Cに電流を供給するように構成されている。超
音波アクチュエータ83A,83B,83Cは、駆動回
路82により、特定周波数のパルスが供給され、1パル
ス当たり約 0,1μm移動するようになっている。
【0024】次に、以上述べた第2の実施形態の作用効
果について、図3のフローチヤートを参照して説明す
る。操作感度設定部74のセットスイッチ77を押すと
(S1)、ジョグ感度設定モードとなり、X軸表示用の
発光ダイオード78が点灯表示され(S2)、以前設定
されていたジョグ感度設定値が、表示器75に表示され
る(S3)。それまで1度も設定したことがない場合
は、初期設定値“3”が表示される。ここで、表示器7
5は0〜9まで表示し、0が最低感度で、9が最高感度
となっている。
【0025】操作者は、X軸用ジョグ72Aを回転さ
せ、操作針84の動きを確認し(S4)、かつジョグ感
度がOKかどうかを判断し(S5)、ジョグ感度を変え
たい場合はインクリメントイッチ76を押す(S6)。
1回押すごとに表示器75は、+1づつ増加していき
(S7)、9の次は0に戻るようになっている。最適な
感度になったとき、セットスイッチ77を押す。これ
で、X軸の感度設定が終了し、次にY軸表示の発光ダイ
オード78が点灯し、X軸表示の発光ダイオード78が
消灯する。X軸と同様に今度は、Y軸用のジョグ72B
を回して感度を設定し、続くZ軸も同様の操作を行う。
最後に、Z軸の設定終了時にセットスイッチ77を押す
ことにより、X,Y,Z軸の表示用の発光ダイオード7
8は全て消灯し、初期状態に戻る。
【0026】この設定操作の際の各スイッチ情報は、全
てCPU73に送られる。以上述べたことが、ジョグ感
度設定方法である。なお、この設定方法は、当然操作針
84を視野内で観察できるような状態で行う必要があ
る。
【0027】CPU73は、各軸に対応する感度データ
(0〜9まで)をNVRAM81に書き込み、電源をオ
フしても、感度データは次の電源がオン時に読み出せる
ようにする。
【0028】また、実際に該感度データとジョグのパル
ス数の関係は次の通りである。X軸に関して説明する
と、ジョグ72Aが回され、発生するA,B相の信号は
CPU73の16ビット内部カウンタに入力され、カウ
ントされる。CPU73は一定間隔例えば 20 msec間隔
で16ビット内部カウンタを読み出し、ジョグ72A,
72B,72Cの回転量をパルス数として認識する。
【0029】この場合のパルス数をP1 とすると、指令
パルスとしてはこのP1 にジョグ感度データ(0〜9)
を掛けた値となる。つまり、X軸のジョグ感度が5に設
定されていたとすると、5×P1 を指令パルスとして駆
動回路82に出力する。このとき方向は、16ビット内
部カウンタの最上位ビットの状態(1または0)によっ
て判別する。Y軸、Z軸に関しても同様な手順で指令パ
ルスの算出を行う。
【0030】次に、指令パルスを入力した駆動回路82
では、このパルス数を、それぞれ超音波アクチュエータ
83A,83B,83Cと固有の周波数で各アクチュエ
ータ83A,83B,83Cに電流を供給する。
【0031】超音波アクチュエータ83A,83B,8
3Cの数量分、駆動回路82を有しているため、この場
合であれば3軸(X,Y,Z軸)同時に駆動することも
可能となっている。
【0032】超音波アクチュエータ83A,83B,8
3Cが駆動され、移動するのに伴い、それぞれの可動体
(図示せず)が移動し、結局操作針84がジョグ72
A,72B,72Cの操作に応じて動くようになってい
る。
【0033】以上述べた実施形態によれば、操作者は各
軸ごとにジョグ感度が設定できるため、常に自分の好み
のジョグ感度で操作が可能となり、容易に変更すること
もできる。
【0034】<第3の実施形態>図4に示す実施形態
は、図2に示す実施形態と異なる操作感度設定部74の
みを示す概略斜視図であり、具体的には操作感度設定部
74に感度設定スイッチ85が新たに追加されている点
であり、これ以外の構成は図2に示す実施形態と同じで
ある。
【0035】この場合の感度設定方法は、図3に示す実
施形態と同じであるが、この設定を感度設定スイッチ8
5により10個行うことができる。つまり、操作者Aが
感度設定スイッチ85を“0”の状態で感度設定を行
い、また操作者Bが同じく感度設定スイッチ85を
“1”に合わせれば、以前設定した各自好みの操作感度
でジョグ操作を行うことができる。
【0036】この場合、CPU73では感度設定スイッ
チ85のそれぞれの状態にて感度データを合わせてNV
RAM81に書き込むため、電源をオフにしても設定し
た感度データが消えることはない。
【0037】さらに、異なる被検物である細胞毎、ある
いは細胞へのアクセス方法の違いなどにより、ジョグ感
度を設定することも可能である。以上述べた実施形態に
よれば、操作者が各軸毎にジョグ感度を自由に設定でき
るため、常に自分の好みのジョグ感度での操作が可能と
なり、ジョグ感度も容易に変更できる。また、複数の操
作者が使用するとき、あるいは様々な細胞操作を行う場
合、その都度ジョグ感度を設定し直さなくても、以前設
定したジョグ感度を簡単に、つまり感度設定スイッチ8
5を1つで再現することができる。
【0038】<第4の実施形態>図5は、本発明のマイ
クロマニピュレータの第4の実施形態を説明するための
図であり、倒立型顕微鏡7に適用した場合を示してい
る。超音波アクチュエータ35に取り付けられた操作針
1の先端部を一列、標本を対物レンズ41で観察しなが
ら微細操作するものである。
【0039】超音波アクチュエータ35は以下に述べる
コントロールボックス34を介して超音波アクチュエー
タ操作ボックス31に電気的に接続されている。操作ボ
ックス31は、図6に示すように信号を送るエンコーダ
42と直結したハンドル32と、アクチュエータ35の
移動倍率を例えば5段階に切換える移動倍率切換スイッ
チ33を備えている。移動倍率切換スイッチ33は操作
者が顕微鏡の対物レンズ41の使用倍率に応じて手動で
設定するもので、例えば対物レンズ41の使用倍率が4
0倍(40×)のときは表示位置“1”に設定し、また
例えば使用倍率が20倍(20×)のときは表示位置
“2”、例えば使用倍率が10倍(10×)のときは表
示位置“3”、例えば使用倍率が5倍(5×)のときは
表示位置“4”、例えば使用倍率が1倍(1×)のとき
は表示位置“5”に設定するものである。
【0040】コントロールボックス34は、内部に変換
回路43を備え、操作ボックス31内のエンコーダ42
からのパルス信号および移動倍率切換スイッチ33から
の信号を入力し、超音波アクチュエータ35に与える制
御信号を出力するものである。
【0041】このような構成のものにおいて、ハンドル
32を回転させると、エンコーダ42から信号39aを
発生し、この発生した信号39aはケーブル37を通し
てコントロールボックス34へ伝えられる。
【0042】信号39aは、コントロールボックス34
内の変換回路43で制御され、この制御された信号40
がケーブル38を通してアクチュエータ35に伝えら
れ、これによりアクチュエータ35に取り付けられた操
作針1を動かすことができる。
【0043】一方、使用対物レンズ41の倍率に応じて
移動倍率切換スイッチ33を切換えると、移動倍率切換
スイッチ33からの信号39bがケーブル37を通って
コントロールボックス34へ伝えられ、エンコーダ42
からの信号39aを、図6に示す逓倍数切換方式の回
路、または図7に示すボリューム方式の回路により変更
する。
【0044】図6の回路は、以下のように構成され、操
作ボックス31のハンドル32を角度α度回転させる
と、エンコーダ42からパルスがA個発生し、コントロ
ールボックス34へ信号39aとしてケーブル37を通
って伝わる。この場合、アクチュエータ5に取り付けら
れた操作針1の移動量は、コントロールボックス34か
らの信号40のパルス数に比例するように設定してお
く。
【0045】このような構成のものにおいて、移動倍率
切換スイッチ33を切換えることによって、信号39b
がケーブル37を通ってコントロールボックス34へ伝
わり、コントロールボックス34の中で、操作ボックス
31のハンドル32を回転させたことにより、エンコー
ダ42からの信号(A個のパルス)39aを以下に述べ
るように逓倍数したパルスを出力する。
【0046】具体的には、図6に示すように移動倍率切
換スイッチ33を表示位置“1”に設定したときは、A
/4倍のパルス数、移動倍率切換スイッチ33を表示位
置“2”に設定したときはA/2倍のパルス数、移動倍
率切換スイッチ33を表示位置“3”に設定したときは
A倍のパルス数、移動倍率切換スイッチ33を表示位置
“4”に設定したときは2A倍のパルス数、移動倍率切
換スイッチ33を表示位置“5”に設定したときは4A
倍のパルス数にそれぞれ変換される。
【0047】これにより、操作ボックス31のハンドル
32を角度α度回転させてエンコーダ42から発生する
パルスA個は、変換回路43によりA/4,A/2,
A,2A,4Aのいずれかに変換され、この変換された
パルスはアクチュエータ35に駆動パルスとして伝えら
れる。この場合、アクチュエータ35に取り付けられた
操作針1の移動量は、コントロールボックス34からの
パルス数に比例するように設定してあるので、ここでパ
ルスA個に対し、操作針1は、xμm移動するとする
と、x/4μm,x/2μm,xμm,2xμm,4x
μmの移動量に、ハンドル32の回転角度α度に対し変
換できる。
【0048】顕微鏡7の視野内で操作針1で細胞等を操
作する場合、対物レンズ41を低倍率で観察するため、
操作針1の先端を顕微鏡7の視野内にくるように操作し
た後、対物レンズ41を高倍率で観察することが多い。
このとき、低倍率の視野内で操作針1の動きのまま、対
物レンズ41を高倍率に切換えると、従来の技術で述べ
たマイクロマニピュレータにあっては、操作針1が動き
過ぎてしまう。
【0049】ところが、本発明の実施形態では、前述の
ような構成となっているから、操作針1の操作感度は、
対物レンズ41の倍率が高倍率になるに従って遅く、す
なわちパルス数が少なくなるので、細胞等の操作がスム
ーズに行える。例えば、対物レンズ41が10倍(10
X)のときに1倍のパルスが出る位置に、移動倍率切換
スイッチ33を切換えておく。また、対物レンズ41が
20倍(20X)のときに1/2倍のパルスが出る位置
に、さらに対物レンズ41が40倍(40X)のときに
1/4倍のパルスが出る位置に、それぞれ移動倍率切換
スイッチ33を切換えておく。
【0050】このようにすることにより、対物レンズ4
1の倍率が10倍のときと同じような、操作針1の動き
を視野内で観察でき、細胞等の操作が容易に行える。 <第5の実施形態>第4の実施形態では、操作ボックス
31のハンドル32の回転によりエンコーダが発生する
パルス信号39aを、コントロールボックス34が制御
する回路を逓倍数切換方式としたが、ここでは制御する
回路にソフトウェア回路を使用する実施形態である。
【0051】このように構成することにより、逓倍数切
換方式のように、1/4,1/2,1,2,4と予め決
まった倍率ではなく、対物レンズ41の倍率例えば4
倍,10倍,20倍,40倍,100倍に合せた倍率、
例えば1/25倍,1/10倍,1/5倍,1倍,2.
5倍のような設定が可能になる。これにより、逓倍数切
換方式では、倍率4倍の設定ができなかったのが可能に
なり、顕微鏡視野内で全ての倍率でハンドル32と同じ
回転角で同じ動きを操作針1にさせることが可能にな
る。
【0052】<第6の実施形態>第4の実施形態の移動
倍率切換スイッチ33を、図6のようなチャンネル式で
はなく、ディップスイッチ式にしたものである。例え
ば、ディップスイッチの数を5個にすると、25 =32
段階の倍率設定ができる。これにより、対物レンズ41
のある倍率で、好みの移動倍率を選び対物レンズ41を
切換えても視野内で同じ動きをする倍率にすることも可
能である。
【0053】<第7の実施形態>図7に示すように、前
述の移動倍率切換スイッチ33を、ボリューム式の移動
倍率切換スイッチ44とし、移動倍率切換スイッチ44
の出力をオペアンプ45の一方の入力端子に入力され、
オペアンプ45の出力はA/D変換器46を介してコン
トロールボックス34内に収納されているCPU47に
入力されるようになっている。
【0054】このように構成することにより、操作針の
操作感度(移動倍率)の切換えがスムーズに行え、微妙
な調整も可能である。 <第8の実施形態>図8に示す実施形態は、使用対物レ
ンズ倍率に応じて操作感度を自動的に変更するものであ
る。これは、図8(a)に示すように穴位置センサ5
2、種別センサ53、メモリ54およびCPU55から
なる制御装置56、設定部57を備えている。
【0055】図8(c)に示すように、レボルバ50の
回転部50aに形成されている対物レンズのレンズ取付
穴(1〜5)51にそれぞれ近接した位置に1〜3個の
磁気センサからなる種別センサ53が配設され、レボル
バ50の回転部50aの外周面の所定位置に該種別セン
サ53の磁気センサを読み取る穴位置センサ52が配設
されている。図8(c)では、種別センサ53の磁気セ
ンサで、塗りつぶしてある丸部分は種別センサ53の磁
気センサがある状態を示し、また白丸部分は種別センサ
53の磁気センサが無い状態を示している。
【0056】図9(a)に示すようにレボルバ50の5
個の停止位置、つまり対物レンズ取付穴51において
は、穴位置センサ52が“0”になる。このとき、種別
センサ53の磁気センサの配列状態により、穴番号を検
出するものである。なお、レボルバ50の5個の停止位
置以外の位置では、穴位置センサ52が“1”となって
いる。
【0057】レボルバ50の対物レンズ取付穴51が図
8(b)の1〜5のいずれかの場合、つまり穴位置セン
サ52が“0”となっている場合には、穴位置により操
作針の操作感度を切換える。この操作針の操作感度を切
換えることは、前述の実施形態で述べたように、エンコ
ーダのパルス数にそれぞれ係数を掛け、指令パルス数を
決定する。
【0058】メモリ54には、該係数に相当するメモリ
テーブルが記憶されている。CPU55は、種別センサ
〜53、穴位置センサ52の組合わせにより、穴位
置、すなわち穴番号を検出する。そして、該穴番号によ
り、メモリ54のメモリテーブルから対応する係数を算
出する。さらに、操作部エンコーダからのパルス数に上
記係数を掛け、決定した指令パルス数でアクチュエータ
を駆動する。
【0059】設定部57は、メモリ54のメモリテーブ
ルの係数を書き換えるもので、その一例としては、図9
(b)に示すように3段階の設定部57に対応するメモ
リテーブルデータを挙げることができる。
【0060】この場合、対物レンズの高倍率側の係数が
小さく、かつ対物レンズの低倍率側の係数が大きくなる
ように設定されている。具体的には、穴番号1が最低倍
率で穴番号2以降の穴番号2から穴番号5まで順次高倍
率になるように取り付けられる。
【0061】このような構成にすることにより、図8
(b)に示すように対物レンズを切換えた際には、それ
に合わせて自動的に操作針の操作感度が切換るので、前
述した実施形態のように手動設定が不要になる。
【0062】<変形例>本発明は、以上述べた実施形態
に限定されず、例えば以下のように変形して実施しても
よい。
【0063】(1)第1〜第5の実施形態では、いずれ
もパルス数に比例した超音波アクチュエータの動きの設
定であったが、パルス電圧による設定でもよい。 (2)前述の実施形態では、3軸電動マニピュレータに
ついて説明したが、これを1軸電動マニピュレータでも
よく、またX軸、Y軸、Z軸にさらに操作針と同じ方向
に移動するD軸を加えた4軸電動マニピュレータでもよ
い。
【0064】(3)前述の実施形態では、アクチュエー
タとして超音波モータを例に上げて説明したが、これは
ステッピングモータ、直流モータなどのいずれかであっ
てもよい。
【0065】(4)前述の実施形態では、制御形態とし
てオープンループについて説明したが、これを位置検出
器を組み合わせたフィードバックループであってもよ
い。 (5)前述の実施形態の設定部に関しては、7セグメン
ト表示器を軸毎に有し、常に各軸の例えばJOG感度状
態がわかるようにしてもよい。
【0066】(6)前述の実施形態のインクリメントス
イッチの他に、新たに例えば7セグメント表示器の出力
を反転させたデクリメントスイッチを設けてもよく、ま
たスペース的に可能であれば、設定部と操作部を1つに
まとめることも可能である。
【0067】(7)前述の実施形態の感度設定数は、1
0段階のものをあげたが、これに比べて感度設定数をさ
ら多くしてもよく、この場合には、7セグメント表示器
の代りにドットマトリックスLEDを使用するようにし
てもよい。
【0068】(8)前述の実施形態の感度設定数とし
て、それほど必要でない場合には、各軸毎にロータリス
イッチ等を用いて設定できるようにしてもよい。この場
合には、常にスイッチの状態がCPUで認識できるた
め、バックアップ用のNVRAMは必要でなくなる。
【0069】(9)前述の実施形態では、操作部にはロ
ータリエンコーダを備えたものを説明したが、ロータリ
エンコーダの代りに、ジョイスティックやトラックボー
ルなどを使用してもよい。
【0070】以上、本発明について実施形態に基づいて
説明してきたが、本発明は次の発明を含む。 (x)顕微鏡の視野下で操作手段からの指示値により操
作針の移動量及び移動速度を調整しながら被検物を微細
操作するマイクロマニピュレータに設ける前記操作手段
の操作感度を設定可能な操作感度設定手段は、各軸毎に
操作感度を設定可能に構成したことを特徴とするマイク
ロマニピュレータ。
【0071】(y)顕微鏡の視野下で操作手段からの指
示値により操作針の移動量及び移動速度を調整しながら
被検物を微細操作するマイクロマニピュレータに設ける
前記操作手段の操作感度を設定可能な操作感度設定手段
は、複数の操作感度を設定できるように構成したことを
特徴とするマイクロマニピュレータ。
【0072】
【発明の効果】本発明によれば、操作手段の操作感度を
設定することでき、操作性が向上するマイクロマニピュ
レータを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のマイクロマニピュレータの第1の実施
形態を説明するための概略構成図。
【図2】本発明のマイクロマニピュレータの第2の実施
形態を説明するための概略構成図。
【図3】図2の実施形態の操作感度の設定方法を説明す
るための図。
【図4】本発明のマイクロマニピュレータの第3の実施
形態を説明するための概略構成図。
【図5】本発明のマイクロマニピュレータの第4の実施
形態を説明するための概略構成図。
【図6】本発明のマイクロマニピュレータの第6の実施
形態を説明するための概略構成図。
【図7】本発明のマイクロマニピュレータの第7の実施
形態を説明するための操作手段の概略構成図。
【図8】本発明のマイクロマニピュレータの第8の実施
形態を説明するための図。
【図9】図8の種別センサと穴位置センサならびに設定
部と対物レンズ取付穴位置の関係を説明するための図。
【図10】従来のマイクロマニピュレータの第1の例を
説明するための図。
【図11】従来のマイクロマニピュレータの第2の例を
説明するための図。
【図12】図11の可動機構の詳細な説明を説明するた
めの斜視図。
【符号の説明】
1…操作針、 7…倒立型顕微鏡、 31…超音波アクチュエータ操作ボックス、 32…ハンドル、 33…倍率切換スイッチ、 33…ジョグユニット、 34…コントロールボックス、 35…超音波アクチュエータ、 37,38…ケーブル、 41…対物レンズ、 50…レボルバ、 61…操作手段、 62…設定手段、 63…制御手段、 64…駆動手段、 71…操作手段、 72A,72B,72C…ジョグ(ロータリエンコー
ダ) 73…CPU、 74…操作手段、 75…表示器、 76…インクリメントスイッチ、 77…設定スイッチ。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 顕微鏡の視野下で操作針を使用して被検
    物を微細操作するマイクロマニピュレータにおいて、 前記操作針の移動方向や移動距離などの動作内容を入力
    可能であって、該動作内容に応じて動作指令信号を出力
    する操作手段と、 前記操作手段で生成される動作指令信号を駆動信号に変
    換する割合を設定する操作感度設定手段と、 前記操作手段からの駆動指令信号に対して前記操作感度
    設定手段で設定された割合で駆動信号を発生する制御手
    段と、 前記制御手段からの駆動信号に応じて前記操作針を駆動
    する駆動手段と、 を具備することを特徴とするマイクロマニピュレータ。
  2. 【請求項2】 前記操作感度設定手段は、顕微鏡の使用
    対物レンズの倍率に応じて設定可能にしたことを特徴と
    する請求項1記載のマイクロマニピュレータ。
  3. 【請求項3】 顕微鏡の使用対物レンズ倍率を検出する
    検出手段をさらに具備し、 前記操作感度設定手段は、前記顕微鏡の使用対物レンズ
    の倍率に応じて自動的に操作感度を設定するようにした
    ことを特徴とする請求項1記載のマイクロマニピュレー
    タ。
JP952197A 1997-01-22 1997-01-22 マイクロマニピュレータ Pending JPH10206749A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP952197A JPH10206749A (ja) 1997-01-22 1997-01-22 マイクロマニピュレータ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP952197A JPH10206749A (ja) 1997-01-22 1997-01-22 マイクロマニピュレータ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH10206749A true JPH10206749A (ja) 1998-08-07

Family

ID=11722581

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP952197A Pending JPH10206749A (ja) 1997-01-22 1997-01-22 マイクロマニピュレータ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH10206749A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003057558A (ja) * 2001-08-10 2003-02-26 Olympus Optical Co Ltd 顕微鏡
JP2003145459A (ja) * 2001-11-08 2003-05-20 Suruga Seiki Kk マイクロマニピュレータおよびマイクロマニピュレータの衝撃力伝達方法
US7098620B2 (en) 2003-03-31 2006-08-29 Canon Kabushiki Kaisha Minute object manipulating apparatus

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003057558A (ja) * 2001-08-10 2003-02-26 Olympus Optical Co Ltd 顕微鏡
JP2003145459A (ja) * 2001-11-08 2003-05-20 Suruga Seiki Kk マイクロマニピュレータおよびマイクロマニピュレータの衝撃力伝達方法
US7098620B2 (en) 2003-03-31 2006-08-29 Canon Kabushiki Kaisha Minute object manipulating apparatus

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2675248B2 (ja) プラットフォームの座標変位を制御する方法および装置
US5886684A (en) Micromanipulator system with multi-direction control joy stick and precision control means
JP2532048B2 (ja) 産業用ロボツトの制御システム
US5325289A (en) Operating system for uniplanar translation of micromanipulator instruments
JP6296236B2 (ja) マスタースレーブ装置用マスター装置及びその制御方法、及び、マスタースレーブ装置
EP2224274A1 (en) Observation device, observation system, control device, and control program
JP4286871B2 (ja) 歯科診療施術システム
KR890003470B1 (ko) 디지탈 제어기
JP2007142093A (ja) ステージ装置、電子線照射装置及び露光装置
JPH10206749A (ja) マイクロマニピュレータ
JP4551071B2 (ja) 顕微鏡用電動ステージ制御システム、該制御装置、及び該制御方法
JPH08248325A (ja) マイクロマニピュレータ
JPH08124510A (ja) 分析装置の試料ステージ駆動装置
US20040000189A1 (en) Tactile force and/or position feedback for cantilever-based force measurement instruments
US20080284457A1 (en) Method and apparatus for control of a positioning device
JP2003019679A (ja) マイクロマニピュレータ駆動制御装置、マイクロマニピュレータ駆動制御方法およびマイクロマニピュレータ駆動制御プログラムを記録した媒体
JP4119655B2 (ja) 電子顕微鏡の試料移動装置
JPH10180659A (ja) マイクロマニピュレータ
JPH10180660A (ja) マイクロマニピュレータ装置
JPH08180825A (ja) 走査型電子顕微鏡
JP2000075933A (ja) ステージ駆動装置
JPH10187210A (ja) 制御装置
JPH08335448A (ja) 電子顕微鏡の試料移動装置
JPH08142585A (ja) プロッタ
JPH0231160A (ja) マイクロマニピュレータ

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20040116

A977 Report on retrieval

Effective date: 20060223

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

A131 Notification of reasons for refusal

Effective date: 20060228

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20060627