JPH10187210A - 制御装置 - Google Patents

制御装置

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JPH10187210A
JPH10187210A JP8351209A JP35120996A JPH10187210A JP H10187210 A JPH10187210 A JP H10187210A JP 8351209 A JP8351209 A JP 8351209A JP 35120996 A JP35120996 A JP 35120996A JP H10187210 A JPH10187210 A JP H10187210A
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JP
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screen
data
sheet
driver module
cpu
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JP8351209A
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English (en)
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Youzou Touhou
容三 東方
Makoto Akahira
誠 赤平
Hitoshi Tsukasaki
仁史 塚崎
Fumio Ichikawa
文雄 市川
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 2つのCPUを有したシステムで、一方のC
PUのハード構成を意識することなく、他方のCPUか
ら一方のCPUを適切に初期化することのできる制御装
置システムを提案する。 【解決手段】 CPU#1と、ADやDA等を駆動する
複数のドライバモジュールを制御するCPU#2とを有
する制御装置は、そのドライバモジュールの組み合わせ
に関する情報を記憶しておき、読みとった前記情報に基
づいて前記複数のドライバモジュールを初期化する。ド
ライバモジュールの構成の変更は、前記情報を管理する
だけで把握することができ、初期化も構成の変更に対応
して行うことができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばパソコン等
の第1の制御ユニットと、例えばこのパソコン内のオン
ボードコンピュータ等の第2の制御ユニットとにより制
御を行う制御装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、例えば、自動化組立ライン、組立
工程でのNC装置等では、パソコンと各種インタフェー
ス基板(パルスモータ基板、ADコンバータ基板、DA
コンバータ基板等)を組み合わせ、パソコン上で、コン
ピュータ言語、例えばBASICやC言語などを用い
て、夫々の装置専用のソフトウエアを作成して、夫々の
装置を動作させている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】従来の上記の手法によ
ると、用いられるインタフェース基板の数や種類に応じ
て、専用のソフトウエアを用意せざるを得ず、そのソフ
トウエアの作成及び保守に多くの工数を必要とするとい
う問題があった。そこで、本発明は、ユーザはインタフ
ェース基板などのハード構成を意識する必要もなく、各
インタフェース(ドライバモジュール)を初期化する制
御装置を提案する。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記課題を達成するため
の、管理機能を有する第1の制御ユニットと、任意種類
の複数のデバイスを夫々駆動する複数のドライバモジュ
ールを制御する第2の制御ユニットとを有する制御装置
は、前記複数のドライバモジュールの組み合わせに関す
る情報を記憶する記憶手段と、前記記憶手段から受け取
った前記情報を読み取る読取手段と、読みとった前記情
報に基づいて前記複数のドライバモジュールを初期化す
る初期化手段とを具備することを特徴とする。
【0005】ドライバモジュールの構成の変更は、前記
情報を管理するだけで把握することができ、初期化も構
成の変更に対応して行うことができる。本発明の好適な
1態様によると、前記記憶手段と前記読取手段とは前記
第1の制御ユニットに接続され、前記初期化手段は前記
第2の制御ユニットによって制御され、前記第1の制御
ユニットは読み取った前記情報を前記第2の制御ユニッ
トに渡すことを特徴とする。
【0006】本発明の好適な一態様に拠れば、前記第1
の制御ユニットは前記第2の制御ユニットにコマンドを
送り、前記第2の制御ユニットはそのコマンドを解釈し
て実行し、実行結果を前記第1の制御ユニットに返すこ
とを特徴とする。本発明の好適な一態様に拠れば、前記
ドライバモジュールは各々のドライバソフトを有し、前
記初期化手段はドライバソフトを初期化する。
【0007】本発明の好適な一態様に拠れば、起動タイ
ミングを検知した時点で、前記読取手段及び初期化手段
を付勢する。本発明の好適な一態様に拠れば、各ドライ
バモジュールは、初期化終了後に、第1の制御ユニット
から送られてきたコマンドの内容が適切か否かを調べる
こと
【0008】を特徴とする。
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して、本発
明をレーザビームプリンタの射出光学デバイスを計測対
象とする計測調整システムに適用した実施形態を説明す
る。 〈計測システムの全体構成〉光学デバイス 第1図は本発明の計測装置の計測対象となる射出光学デ
バイスの一実施形態の側面図であり、第2図は、第1図
の光学デバイス23の上面図であって、その一部を断面
にして表している。第3図は当該光学デバイス23に用
いられる鏡筒の斜視図である。
【0009】第1図,第2図および第3図に示すよう
に、射出光学デバイス23は、下方に固定板8aを一体
的に備えた金属製の固定ホルダ8と、この固定ホルダ8
の円筒部に装着された透明材料で形成された鏡筒10
と、固定ホルダ8の側板に取付けられた電気回路基板9
等から構成されている。後述するように、固定ホルダ8
の内部にはレーザ光源が設けられ、鏡筒10にはレーザ
光源からの光を集光するためのコリメータレンズ2が設
けられることになるので、鏡筒10を固定ホルダ8に如
何に正確に取付けるかが重要である。
【0010】固定ホルダ8は、後述する位置決め用孔2
2、位置決め用長孔21および固定用ビス孔20が形成
された固定板8aを有する。また、固定ホルダ8の円筒
部の一端側には半導体レーザー光源1が圧入され、この
半導体レーザー光源1の3本の端子1a,1b,1cは
電気回路基板9にはんだ付けされている。端子1a,1
b,1cを介して電流が半導体レーザー光源1に供給さ
れると、半導体レーザー光源1からレーザービーム12
が矢印Z方向へ出射されることになる。
【0011】鏡筒10の一端部は、コリメータレンズ2
およびアパチャー16を収容保持する。固定ホルダ8の
円筒部の他端部には鏡筒10の他端部が外嵌される。こ
の鏡筒10は、紫外線が透過しやすいようにポリサルフ
ォン等の透明樹脂材料で形成され、その外周面には保持
部としての2つの鍔17a,17bが一体的に突設され
ている。また、鏡筒10の固定ホルダ8への外嵌部の部
位には、すなわち2つの鍔17a,17bに対してコリ
メータレンズ2とは反対側の部位には、光軸方向(矢印
Z方向)に伸びる6本のスリット15a,15b,15
c(3本のスリットは不図示)が等間隔に形成されてい
る。鏡筒10の前記外嵌部位の内周面と固定ホルダ8の
円筒部の外周面との間には隙間19が環状に形成され、
該隙間19には紫外線硬化接着剤18が一様に挿入され
ることになる。この紫外線硬化接着剤18が硬化してい
ない状態では、鏡筒10は、固定ホルダ8に対して、光
軸方向Zと、該光軸方向と直行する平面上の二次元方向
(矢印XおよびY方向)とで、移動可能である。
【0012】光学デバイス23が完成し、レーザービー
ムが半導体レーザー光源1より出射されると、コリメー
タレンズ2によって平行光とされ、さらに該平行光はア
パチャー16により円筒形にビーム整形される。整形後
のビームが所期の仕様を満足するためには、ピント調整
および照射位置の調整が必要となる。ピントおよび照射
位置の調整の際には、まず、鏡筒10を光軸方向Zに移
動させ、レーザービーム12の径が最小値になる位置に
鏡筒10を保持してピント調整する。そして、半導体レ
ーザー光源1の光軸と鏡筒10の光軸とが一致するよう
に、鏡筒10を、光軸方向Zと直行する面上で二次元方
向(矢印XおよびY方向)に移動させ、照射位置を調整
する。次に、後述する紫外線照射装置(不図示)により
紫外線を鏡筒10の外嵌部に照射して紫外線硬化接着剤
18を硬化させ、鏡筒10を固定ホルダ8に固着する。
【0013】紫外線硬化接着剤18の硬化時間を短縮す
るためと、紫外線照射による鏡筒10の熱膨張によるコ
リメータレンズ2の位置ずれを低減するために、鏡筒1
0の周上に6本のスリット15a,15b,15cが設
けてある。固定ホルダ8は、半導体レーザー光源1の自
己発熱による放熱効果を持たせるために金属部材で形成
している。
【0014】次に、射出光学デバイス23のピント調整
および照射位置の調整を自動的に行なう自動計測調整装
置について説明する。計測調整システム 第4図は、実施形態の自動計測システムの全体を示す図
である。この計測システムは、射出光学デバイス23の
ピント調整および照射位置の調整を自動的に行なう3次
元位置決め機構4と、デバイス23の大まかな位置を検
出する第1の位置検出機構14と、デバイス23の位置
を正確に検出するために、第2の位置検出機構として
の、光学デバイス23を拡大して観測するため第2の位
置検出機構44とを有する。また、第5図は、自動調整
装置に用いられている三次元位置決め機構4と第1の位
置検出機構14とを拡大して示す正面図、第6図は第2
の位置検出機構44の拡大正面図、第7図は自動調整装
置のコントローラのブロック図、第57図〜第60図は
自動計測調整装置の動作のを説明するためのフローチャ
ートである。
【0015】第4図に示すように、本実施形態にかかる
射出光学デバイス23におけるピントおよび照射位置の
自動調整システムは、射出光学デバイス23の鏡筒10
をクランプするクランプ手段と、鏡筒10を三次元方向
に移動および位置決めするための三次元位置決め機構4
と、第2の位置検出機構44等から構成されている。射
出光学デバイス23は、支持台39に設けられた位置決
め固定治具41に固定される。固定治具41は射出光学
デバイス23を支持するための支持台39の上面に固定
される。デバイス23の固定ホルダ8は、射出光学デバ
イス23の固定板8aに設けられた位置決め用孔22と
位置決め用の長孔21(第2図参照)に位置決め固定治
具41のピン(不図示)がそれぞれ挿入されることで位
置決め固定治具41に位置決めされ、固定用ビス孔20
(第1図参照)を貫通する固定ビス(不図示)によって
同治具41にビス締め固定される。さらに、固定ホルダ
8の円筒部は、押圧部材31aの一端によって上方から
位置決め固定治具41側へ押圧される。押圧部材31a
は、支持台39に搭載された押し付けエアシリンダー3
1の出力軸に、その他端が連結され、略L字形状であ
る。尚、この状態では、鏡筒10内の紫外線硬化接着剤
18(第1図参照)はまだ硬化していない。
【0016】支持台39には、3つの石英ファイバー3
0a,30b(1つの石英ファイバーは不図示)や紫外
線発生源などからなる紫外線照射装置3が搭載されてい
る。パワーメータ1021は、デバイス23からのレー
ザービーム12の光量を測定するもので、この測定値は
後述するパーソナルコンピュータに取り込まれる。公知
の三次元位置決め機構4は、Z軸パルスモータ5によっ
てZ軸方向に移動されて位置決めするZ軸調整用ステー
ジ24と、該Z軸調整用ステージ24に搭載されたY軸
パルスモータ6によってY軸方向に移動されて位置決め
するY軸調整用ステージ25と、該Y軸調整用ステージ
25に搭載されたX軸パルスモータ7によってX軸方向
に移動されて位置決めされるX軸調整用ステージ26等
から構成されている。この三次元位置決め機構4のX軸
調整用ステージ26には、2つのエアシリンダー28
a,28bが搭載され、各エアシリンダー28a,28
bの出力軸には、鏡筒10の2つの鍔17a,17b
(第1図参照)を夫々クランプして保持するためのクラ
ンプ爪29a(1つのクランプ爪は不図示)がそれぞれ
連結されている。
【0017】第1の位置検出機構14は、三次元位置決
め機構4の側方に設けられた支持台11と、該支持台1
1に搭載された、図示しないエアシリンダーによりY軸
方向に移動され得るスライダー42と、このスライダー
42に搭載されたビームスプリッター35および位置検
出センサー1022等で構成されている。この位置検出
センサー1022はPSD(商品名、浜松フォトニクス
(株)社製)である。第1の位置検出機構14は、レー
ザ光のビームの位置を粗く検出するものである。即ち、
ビーム位置を粗く検出するときは、スライダ42によっ
てビームスプリッター35が、前記エアシリンダー(不
図示)によってスライダー42とともにレーザービーム
12の光軸上に移動される。すると、半導体レーザー光
源1(第1図参照)より出射されたレーザービーム12
はビームスプリッター35にZ軸方向で入射することに
なり、このレーザービーム12のY方向への反射光(不
図示)の光軸位置が位置検出センサ1022によって検
出される。従って、ビーム12の反射光の光軸位置を位
置検出センサ1022によって検出することにより、入
射レーザービーム12の光軸の、矢印XおよびY方向に
おける位置、即ちレーザービーム12の照射位置を検出
するものである。なお、ビームスプリッター35に代え
て反射板を用いてもよい。
【0018】第4図および第6図に示す第2の位置検出
機構44はビームの位置を精度高く検出する。この第2
の位置検出機構44が動作するときは、第1の位置検出
機構14は退避位置にある。即ち、第2の位置検出機構
44は、パルスモータ51によって矢印Z方向に移動さ
れて位置決めされる光学系移動用ステージ27と、この
光学系移動用ステージ27に支持台40を介して搭載さ
れた、拡大用の対物レンズ36を保持する鏡筒37およ
びカメラ1028等から構成されている。この第2の位
置検出機構44では、デバイス23からのレーザービー
ム12が対物レンズ36に入射されて拡大され、これが
カメラ1028によって撮影され、さらに画像処理装置
1027(第7図参照)に取り込まれる。この画像処理
装置1027は、撮影したレーザービーム12を画像処
理して、レーザービーム12の外径および矢印Xおよび
Y方向の2次元方向における中心位置(照射位置)をそ
れぞれ検出する。各検出された値は、後述するコントロ
ーラ70に転送される。このコントローラ70は、送ら
れてきたレーザービーム12の外径値が最小値で、かつ
そのXおよびY方向における中心位置が最適位置すなわ
ち画像の中心位置にあるか否かを判断する。
【0019】〈コントローラ〉第4図において、本計測
システムは、第1図〜第6図に示した計測装置とコント
ローラ70と手動操作盤1017を含み、システム全体
がコントローラ70によって制御される。第7図は、コ
ントローラ70の構成を示す。コントローラ70は、同
図に示すように、デユアルプロセサ(CPU#1(10
00)とCPU#2(1008))システムである。即
ち、コントローラ70内では、バス1020とバス10
40とが、バスコントローラ1005,1066を介し
て接続され、バス1020側のシステムをCPU100
が、バス1040側をCPU1008が夫々制御する。
【0020】CPU1000は、本計測調整システム全
体の管理を行なうコンピュータであり、外部記憶装置と
してのハードディスク1003と、ROM,RAMから
なるメモリ1004と、ユーザとのインタフェースに用
いるCRT1001と、キーボード1002と、マウス
1019とを備えている。即ち、CPU1000は、ユ
ーザインタフェース機能を有するものであれば、通常の
パソコンまたはワークステーションで十分である。尚、
メモリ1004は、CPU#1とCPU#2とによりア
クセスできるように、デユアルポートRAMを用いても
良い。
【0021】バスシステム1040は、バス1020の
所定のスロット位置に挿入されたボード上に構成された
オンボードコンピュータシステムであ。即ち、このボー
ド上には、バス1040がバス1020とコンバータ
(1005,1006)と接続可能に設けられ、さら
に、CPU1008とローカルメモリ1007が設けら
れている。
【0022】CPU1008は、メモリ1007に格納
されたプログラム(ドライバモジュール)によって、7
つの機能を実現する。それらのモジュールは、A/Dコ
ンバータ・ドライバモジュール(第7図中、“AD”)
1009と、D/Aコンバータ・ドライバモジュール
(第7図の“DA”)1010と、センサ1025など
に接続されたデジタル入力ドライバモジュール(第7図
の“IN”)1011と、電磁弁1026に接続された
デジタル出力ドライバモジュール(第7図の“OU
T”)1012と、シリアル通信ドライバモジュール
(第7図の“RS”)1013と、モータ制御ドライバ
モジュール(第7図、MOTOR)1014と、GPI
B制御ドライバモジュール(第7図の“GPIB”)1
015である。
【0023】CPU#1(1000)は、バスコンバー
タ1005,1066を介し、CPU1008のための
コマンドを、メモリ1007に書き込むことが出来る。
A/Dコンバータ・ドライバモジュール1009には、
パワーメータ1021(第5図参照)、位置検出センサ
1022(第5図参照)に接続され、CPU1008
は、ADドライバモジュール1009を介して、パワー
メータ1021が検出したレーザビームのパワーを読み
取り、あるいは、位置検出センサ1022が検出したビ
ームスポットのXY方向における位置を読み取ることが
出来る。
【0024】また、CPU#2(1008)は、D/A
ドライバモジュール1010を介してレーザ電源102
3を制御することにより、所望の電圧でレーザ光源1を
駆動することが出来る。デジタル入力(IN)ドライバ
モジュール1011とデジタル出力(OUT)ドライバ
モジュール1012とは、さらに手動操作盤1017と
外部コントローラ1018に接続されている。外部コン
トローラ1018は、第7図の本計測システムに接続さ
れ、このシステムと連動して動作する、例えばベルトコ
ンベヤ(不図示)を制御するためのものである。
【0025】ドライバモジュール(1009〜101
5)は、それらに接続されたデバイス(センサ、ソレノ
イド、A/Dコンバータ、D/Aコンバータ、サーボモ
ータ)などを駆動する電子回路及びそれらを駆動するマ
イクロコントローラを有し、さらには、そのマイクロコ
ントローラが実行するマイクロプログラム(ドライバソ
フト)をROMの形で有する。
【0026】〈ソフト操作盤〉手動操作盤1017は、
後述するように第45図のような構成の手動操作による
スイッチ(SW)やLED表示素子を数多く設けられた
ハードウエアによる操作盤である。後述するように、本
システムのCRT1001には第107図のようなグラ
フィック表示による操作盤が主にユーザに対する表示用
の目的で設けられている。従って、本明細書では、手動
操作盤1017(第45図)を“ハード操作盤”、グラ
フィックによる操作盤(第107図)を“ソフト操作
盤”と呼ぶ場合がある。
【0027】第7図に示したシステムの特徴は、そのユ
ーザインタフェース、即ち、デバイス(A/Dコンバー
タやモータなど)を制御するための各種パラメータを設
定するとき、或いはそのパラメータを修正するとき、さ
らには、動作プログラム(後述するように、動作プログ
ラムは“シートプログラム”と称されるファイルに記述
される)を作成し或いは修正するときのマン・マシン・
インタフェースである。本システムでは、後述するよう
に、このユーザインタフェースをCRT1001上のグ
ラフィック画面(例えば、第16図の画面)として設定
している。このような画面によるマン・マシン・インタ
フェースも、一種の“ソフト操作盤”である。
【0028】第8図〜第13図に、CPU#1におけ
る、ソフトウエアプログラム(名称“操作盤MAI
N”)の構成を示す。第8図に示すように、“操作盤M
AIN”プログラムはメイン画面を有し、その下位に、
“連動”画面と、“単動画面”と、“プログラム画面”
とを有する。プログラム画面を用いて、第12図に示す
ように、主にエデイット機能を発揮してシートプログラ
ムを作成する。
【0029】“単動画面”は、第9図に示すように、1
1個の画面を有する。即ち、ADコンバータのための種
々のデータを設定する“AD操作画面”(詳細は、第1
5図)と、DAコンバータのための種々のデータを設定
する“DA操作画面”(詳細は、第18図)と、通信イ
ンタフェースのための種々のデータを設定する“RS操
作画面”(詳細は、第27図,第28図)と、ソレノイ
ドなどの出力デバイスのための種々のデータを設定する
“OUT操作画面”(詳細は、第24図)と、センサや
スイッチ類の入力デバイスのための種々のデータを設定
する“IN操作画面”(詳細は、第21図)と、GPI
Bインタフェースのための種々のデータを設定する“G
PIB操作画面”(詳細は、第41図,第42図)と、
各種モータのための種々のデータを設定する“モータ操
作画面”(詳細は、第31図〜第36図)と、スイッチ
類(操作盤1017上の各種スイッチ)に対して与える
種々の機能を設定するための“スイッチ操作画面”(第
52図等)と、入力信号に対してその信号が満足すべき
条件を定義する“規格操作画面”(第54図)と、収集
したデータをセーブすべき条件を定める“データ解析操
作画面”(第55図)と、所定の定数に付したラベル名
とその値を定義する“定数操作画面”(第56図)とを
有する。
【0030】単動画面モードが、個々のデバイスに対し
て、パラメータやラベル名や変数名や条件などを設定す
る画面であるのに対し、“連動画面”モードは、個々の
デバイスに設定されたパラメータ等を変更し、或いは複
数のデバイスにまたがって1つの定義を与えるのに便利
な操作画面である。“連動画面”モードにおける操作画
面には、前述の単動画面と同様に、“AD操作盤”(詳
細は、第16図)と、“DA操作盤”(詳細は、第19
図)と、“RS操作盤”(詳細は、第29図)と、“O
UT操作盤”(詳細は、第25図)と、“IN操作盤”
(詳細は、第22図)と、“GPIB操作盤”(詳細
は、第43図)と、“モータ操作盤”(詳細は、第37
図〜第40図)と、“スイッチ操作盤”、“規格操作
盤”、“データ解析操作盤”、“定数操作盤”が定義さ
れている。
【0031】マン−マシン・インタフェース 本計測システムは、サーボモータを駆動して光学レンズ
系を移動して、A/D変換器を制御して、光学的計測を
行う。サーボモータやA/D変換器等のデバイスは、設
定すべき種々のパラメータがある。操作画面やソフト操
作盤は、これら種々のデバイスのための設定手段を提供
する。
【0032】“単動画面”モードにおける種々の操作画
面は、デバイスのための種々のパラメータを一括して定
義し入力するためのものである。第14図は、本システ
ムにおけるプログラムの種類及び実行順序を概括的に示
すものである。即ち、CPU#1とCPU#2とは、共
に、初期化プログラムを実行する。この初期化プログラ
ムはパワーアップシーケンスにおいて実行されるもの
で、その詳細は第98図,第99図によって説明され
る。初期化プログラムが終了すると、CPU#1はプロ
グラム“操作盤MAIN”を実行する。この“操作盤M
AIN”プログラムは、第8図〜第12図に関連して簡
単に説明したような各種画面をCRT1001を介して
ユーザに示しながら、各種デバイスのためのパラメータ
などの設定を許す。更に、“操作盤MAIN”プログラ
ムは手動操作盤1017を介してシステムの運転モード
や起動等を管理する。所定の条件が満足されると、“操
作盤MAIN”プログラムは、シート“MAIN”を実
行する。換言すれば、CPU#1はシート“MAIN”
に記述された計測言語を解釈しコマンドを生成して、そ
のコマンドをCPU#2側に送る。CPU#2は、その
コマンドを解釈して、対応するドライバモジュール(1
009〜1018)に送る。ドライバモジュールは受け
取ったコマンドに従って制御下にあるデバイスを制御す
る。
【0033】以下、順に各デバイスのパラメータなどの
設定ためのソフト画面について説明する。ADデータの設定操作 第15図は、ADドライバモジュール1009のための
データ設定テーブル1100を示す。このテーブルを用
いて、計測システムの操作者は、本システム内の各AD
コンバータのためのパラメータを設定する。このテーブ
ルを用いて設定可能なパラメータは、第15図において
は、各信号に対して、当該信号のためのADコンバータ
に割り付けられているチャンネルを指定する「チャンネ
ル」、そのADコンバータの測定レンジを規定する「レ
ンジ」、当該信号をプログラム中で参照する場合のラベ
ル名を規定する「データ名」、AD変換したデータを処
理する単位となるサンプル数を規定する「データ数」、
「データ数」で規定されたサンプル数だけのデータを得
た時点で行うべき処理の形態を規定する「処理」、AD
変換を行う時間間隔を規定する「インターバル」、モニ
タに表示すべきか否かを指定する「モニタ表示」であ
る。これらの項目の中で、「レンジ」と「処理」「モニ
タ表示」に対してリストボックスやラジオボタンが設定
されている。ラジオボタンは、ボタンの形状を有するソ
フトスイッチで、押されることにより、当該ボタンにア
ペンドされている所定のプログラムが起動される。ここ
では、リストボックスを表示するプログラムが起動され
る。
【0034】「レンジ」と書かれたセル部分を押すと、
リストボックス205が現れる。このボックスには、
「AUTO」「+10V」「+5V」「+2.5V」「+1
V」の5つのアイテムが予め設けられ、操作者はこれら
の中から1つを選択する。「AUTO」を選択すると、AD
変換のレンジは自動的に当該ADコンバータ(本システ
ムでは8チャンネル12ビットコンバータを用いてい
る)に最適なレンジを操作者に代わって設定する。「+
10V」「+5V」「+2.5V」「+1V」のいずれ
かに設定すると、0Vから、「+10V」「+5V」
「+2.5V」「+1V」のレンジで当該ADコンバー
タを設定する。「レンジ終了」を押すとリストボックス
が消える。また、「処理」を押すとリストボックス20
6が現れる。このボックスには、「平均」「Σ」「最大
値」「最小値」「要素」の5つのアイテムが予め設けら
れ、操作者はこれらの中から1つを選択する。「平均」
が選択されると全サンプルデータの平均値を演算する処
理が実行され、「Σ」が選択されると全データの加算が
実行される。平均値が消える。「モニタ表示」と書かれ
たセル部分を押すとリストボックス207が現れ、「オ
ン」と「オフ」とが選択可能となる。
【0035】第15図の例では、信号名として、「パワ
ー測定」「光量測定」「ビーム位置X測定」「ビーム位
置Y測定」が例示されている。例えば、「パワー測定」
という信号名に対しては、チャンネル2が用いられ、レ
ンジは“自動”が選択され、ラベル名として「パワー」
が付され、データ数として100サンプル数が指定され
ている事がわかる。「パワー」なるデータは1ミリ毎に
サンプルされ、100個のサンプルデータが得られる
と、「平均化処理が行われる。モニタ表示はオフになっ
ているので、モニタ(CRT1001)には表示されな
い。
【0036】第15図において、各信号に対して設定さ
れている項目数は7つであるが、もっと多くの項目数を
設定することが可能である。多くの項目を設定した場合
に、1頁の画面には表示しきれない場合がある。多くの
頁に亙る項目を設定した場合、「前の表」ボタン200
を押せば前の頁を表示し、「次の表」ボタン201を押
せば次の頁を表示する。こうすることにより、任意に多
くの項目のパラメータを設定し表示することができる。
【0037】第16図は、ADドライバモジュールのた
めに設定されたソフト操作盤(連動画面)の例を示す。
ADドライバモジュールための操作盤は、第15図のテ
ーブルからデータを引っ張ってきて構成される。このソ
フト操作盤(連動画面)は、データ設定テーブル(第1
5図)の単動画面に比して、見やすい構成となっている
ので、各要素項目の特定が確実であるので、データやパ
ラメータの変更ミスを減少させるのに役立つ。
【0038】操作者がADドライバモジュールのための
ソフト操作盤を表示すべき事を指示すると、“操作盤M
AIN”は、データ設定テーブル(第15図)を介して
予め設定されたデータを用いて、第16図のような構成
のGUI(グラフィックユーザインタフェース)を表示
する。第16図において、リストボックス208には、
データ設定テーブル中の「信号名」フィールドに記述さ
れた項目が表示される。操作者は、ボックス208の中
から変更したい信号を選択する。選択は、リストボック
ス208中で選択して、ボタン224を押す。
【0039】第16図の例では、「パワー測定」という
名称の信号が選択された場合を示す。CPU#1は、
「パワー測定」が選択されると、フィールド211に
「パワー測定」と表示し、さらに、データ設定テーブル
(第15図)から、「パワー測定」という名称を有する
アレイから、各項目を読み出して、第16図の操作盤G
UI中に埋めていく。即ち、データ設定テーブルの「チ
ャンネル」フィールドの内容は第16図のチャンネルフ
ィールド212に、「レンジ」フィールドの内容は第1
6図のレンジフィールド213に、「データ名」フィー
ルドの内容は第16図のデータ名フィールド214に、
「データ数」フィールドの内容はデータ数フィールド2
15に、「処理」フィールドの内容は処理フィールド2
16に、「インターバル」フィールドの内容はフィール
ド217に、「モニタ」フィールドの内容はフィールド
218にへと移される。
【0040】第16図のソフト操作盤の「チャンネル」
フィールド,「レンジ」フィールド,「データ名」フィ
ールド,「データ数」フィールド,「処理」フィール
ド,「インターバル」フィールド,「モニタ」フィール
ドは、表示フィールドであると共に、ラジオボタンとな
っていて、夫々のボタンを押すと所定のリストボックス
を表示するプログラムが起動される。これら埋め込まれ
たラジオボタンやリストボックスにより、データの内容
を色々と変更が可能である。第16図の例では、第15
図の内容を、「レンジ」については「AUTO」から「±1
0V」に、「処理」が「平均」処理から「最小値」演算
処理に、「インターバル」が1msから50msに、「モニ
タ」についてオフからオンに変更している。変更内容
は、「登録」ボタン228を押すことによりデータテー
ブル(第16図)中に登録される。
【0041】信号名を新たに追加する場合には、その信
号名をフィールド211に書き込み、その信号について
各データを第16図の各フィールドに書き込んで、「追
加」ボタン209を押すと、その信号名がデータ設定テ
ーブル(第15図)中に追加される。信号名の削除は
「削除」ボタン210を押す事によりなされる。また、
「測定開始」ボタン219を押すと、現在の操作盤GU
I(第16図)で表示されているセッテイングで指定の
ADコンバータに対して測定を開始させる。そのとき、
「グラフ表示」ボタン220が押されていれば、グラフ
表示領域221に測定結果が表示される。
【0042】DAデータの設定操作 第17図は、DAドライバモジュール1010のための
データ設定テーブル1300を示す。このテーブルを用
いて、計測システムの操作者は、本システム内のDAコ
ンバータのためのパラメータを設定する。このテーブル
を用いて設定可能なパラメータは、第17図において
は、各ラベル名(フィールド302)について、当該信
号のための「出力」レベルを指定するフィールド30
3、当該信号がそのDAコンバータに割り付けられてい
るチャンネルを指定する「チャンネル」フィールド30
4、チャンネルの選択リストを表示させるラジオボタン
305、このラジオボタン305を押すと表示されるチ
ャンネル表示リスト311、出力レベル値の単位を規定
するフィールド306、DAコンバータの出力レンジを
規定する「レンジ」フィールド307、レンジの選択リ
ストを表示させるラジオボタン308、このラジオボタ
ン308を押すと表示されるレンジ表示リスト312、
モニタに表示すべきか否かを指定する「モニタ表示」フ
ィールド309である。
【0043】出力値フィールド303は変数で指定する
ことができる。第17図の例では、出力値に「g_出力
設定値」という変数が指定されている。この変数の指定
は、第17図のボタン314を押すことにより行う。第
18図は、ボタン314が押されたことにより表示され
るDAパターン出力設定画面1400を示す。図中、フ
ィールド320には出力値のラベル名を入力する。フィ
ールド327には出力値の値を入力する。フィールド3
23,324,325,326は第17図のフィールド
304,306,307,309と同じ値を格納する。
フィールド329にはサンプリング時間を格納する。複
数のセルからなるフィールド328は出力パターンを規
定する。ボタン330は第17図の設定画面に戻るボタ
ンである。
【0044】第19図は、DAドライバモジュール10
10のためのソフト操作盤の画面1500を示す。AD
操作画面(第16図)の時と同じく、どのラベルのDA
を表示するかは、リストボックス340内の項目を選択
する事によりなされる。図中のボタン341は、出力値
フィールドが変数で与えられているときに、第20図の
画面1600を表示するためのものである。画面160
0は設定画面1400(第18図)に対応する。
【0045】INデータの設定操作 INドライバモジュール1011は、第7図に示すよう
に、前進後退センサ1025の状態や手動操作盤101
7の状態などを検出するモジュールである。第21図
は、INドライバモジュール1011のためのデータ設
定画面(単動画面)1700を示す。フィールド701
は、センサを定義するラベル名を格納する。フィールド
702はデータ名を記憶する。第21図の例では、押し
付けエアシリンダ31(第5図参照)の状態を示す「押
し付けシリンダONセンサ」、クランプ用エアシリンダ2
8aの状態を示す「鏡筒鰐クランプONセンサ」と「鏡筒
鰐クランプOFFセンサ」、パワーメータ1021が前進
しているか後退しているかを示すセンサである「パワー
メータ前進端センサ」と「パワーメータ後退端セン
サ」、コンタクトピン移動用のエアシリンダ32の状態
を示す「コンタクトピン前進端センサ」と「コンタクト
ピン後退端センサ」、ビームスプリッタ35の状態を示
す「ビームスプリッタ前進端センサ」と「ビームスプリ
ッタ後退端センサ」、紫外線照射装置3が後退している
ことを示す「UV照射終了センサ」等が定義されてい
る。
【0046】センサのためのデータ設定画面(第21
図)において、フィールド703は、センサの状態が変
化するのを監視するタイムアウト時間を規定する。フィ
ールド704は、センサ入力を待つモードを規定する。
本システムでは、リストボックス707に示すように、
「単純入力」と「入力待ち」と「入力待ちタイムオーバ
付き」と「不一致待ちタイムオーバ付き」と4種類のモ
ードが設定されている。リストボックス707を表示す
るにはボタン708を押す。フィールド706はセンサ
信号を入力するポート番号を指定する。フィールド71
0はマスク条件を設定する。
【0047】第22図は第21図のデータ設定に対応し
て表示されるソフト操作盤(連動画面)の画面である。OUTデータの設定操作 OUTドライバモジュール1012は、シリンダやアク
チュエータなどの出力デバイスを制御する。第23図
は、各種出力デバイスの制御を定義するデータ設定テー
ブルを示す。
【0048】第23図において、フィールド901は各
種出力デバイスを定義するラベル名を格納する。フィー
ルド903は、対応する出力デバイスを駆動する信号を
出力するポート番号を指定する。フィールド905はマ
スクを指定する。第23図の例では、押し付けエアシリ
ンダ31をオンする信号「押し付けシリンダON」、クラ
ンプ用エアシリンダ28aをオンする信号「鏡筒鰐クラ
ンプON」、パワーメータ1021を前進する信号「パワ
ーメータ前進」、コンタクトピン移動用のエアシリンダ
32を前進する信号「コンタクトピン前進」、パワーメ
ータ1021を後退させる信号「パワーメータ後退」、
ビームスプリッタ35を前進させる信号「ビームスプリ
ッタ前進」、ビームスプリッタ35を後退させる信号
「ビームスプリッタ後退」、紫外線照射装置3を前進さ
せる信号「UV照射開始」、クランプ用エアシリンダ2
8aをオフする信号「鏡筒鰐クランプOFF」、パルス切
替鏡を駆動する信号「パルス切替鏡」等のラベル名が定
義されている。
【0049】ポート番号フィールド903が***であ
る出力デバイスについては、ボタン904を押すことに
より、第24図の設定画面によって詳細に定義すること
ができる。第24図は、1つの信号(1つのラベル名)
に対して複数のポートを定義できることを示している。
第24図の例は、UV照射開始信号に対して、ポート番
号“0”と“1”が割り当てられている。各々のポート
から出力されるUV照射開始信号に対して2通りのパタ
ーンが設定できる。パターンは、フィールド906又は
907によって定義される。即ち、1つのフィールドに
よって216通りのパターンが定義される。第24図の例
では、パターン0が指定されている。フィールド908
によって1つのサンプリング時間は5msに設定されてい
るから、パターン0による信号パターンは、10ms幅の
正のパルス信号となる。
【0050】第25図は、第24図のデータ設定画面に
よって設定されたパラメータを変更するために使われる
ソフト操作盤の画面(連動画面)の例を示す。また、第
26図は、第25図のボタン910を押すと表示される
画面である。この画面によって、第24図のデータ設定
を変更する事ができる。RSデータの設定操作 RSドライバモジュール1013はシリアル通信を制御
するドライバモジュールであって、本実施例において
は、画像処理装置1027とシリアル通信を行ってい
る。このモジュールのための設定画面はRS232cイ
ンタフェースを介したデータ転送のための転送条件を規
定する。
【0051】第27図はRS232c転送におけるハー
ド設定を規定する。本システムでは、RS232cのた
めのチャネル(フィールド2060)は複数用意されて
おり、その各々に対して、転送レート(フィールド20
61)、ビット長(フィールド2062)、パリテイビ
ット制御(フィールド2063)、ストップビット数
(フィールド2064)、フロー制御(フィールド20
65)、タイムアウト時間(フィールド2066)を設
定できる。転送レートは複数の種類の中から指定でき
る。ビット長は7ビット又は8ビットである。パリテイ
制御は、偶数ビット又は奇数ビット又はパリテイ無しの
いずれかで行う。ストプビット数は1ビットか2ビット
のいずれかを指定する。フロー制御はXONまたはXOFFの
いずれかを指定する。
【0052】RS232c転送のためのデータ設定は第
28図のテーブルに基づいて行う。データ設定は任意の
数のラベルに対して設定することができる。1つのラベ
ルに対して設定できる項目は、チャンネル(フィールド
2071)、データの入出力の種類(フィールド207
2)、データの入出力形式の型(フィールド207
4)、データの値(フィールド2075)、デリミタコ
ードの種類(フィールド2076)、モニタのオン/オ
フである。入出力形式は入力、出力、又は読出のいずれ
かである。デリミタコードは、CR又はLF又はLFCR又はCR
LFのいずれかである。
【0053】第29図は、第28図に従ったデータ設定
を変更するときのためのソフト操作盤(連動画面)を示
す。また、第30図は、第27図に従ったハード設定を
変更するときのためのGUIを示す。同図のボタンやリ
ストボックスの定義は前述の定義と同じであるので、そ
れらの説明を省略する。フィールド2081は、これを
押すことにより、第30図のハード設定を変更するGU
Iに移行するものである。
【0054】MOTORデータの設定操作 ドライバモジュール1014は、本計測システム内に用
いられている種々のモータ(ステップモータ,DCモー
タ,ミクロモータ等を含む)のための制御を提供する。
モータのための設定画面は、このモジュールのためのユ
ーザインタフェースを提供する。
【0055】通常、精密作業を行う装置はモータにより
駆動される多くの軸を有し、これらの軸が共動で動作し
て三次元動作を実現する。これらの精密装置では、特に
例えばデバッグ段階では任意の軸を任意に動作させる必
要がある。モータドライバモジュール1014のための
ソフト操作盤の最大の特徴は、この計測装置に含まれる
多くのモータ軸を任意の組み合わせで定義し、定義され
た各々の組み合わせに対して1つの或いは一連の動作を
定義できるところにある。
【0056】第31図は、本計測装置におけるモータ軸
の組み合わせ(以下、グループと呼ぶ)に対する定義を
与える入力テーブルの例を示す。この入力テーブルは、
一例として、グループ名称を8つまで、軸を6軸まで定
義できる(拡張は任意であるが)ものである。第31図
の示されたテーブル2100の例では、グループ名が
「ステージ1」〜「ステージ5」である5つのグループ
が定義されている。個々のグループに対して1つのモー
タ種類(ステップモータ,DCサーボモータ,ミクロモ
ータのうちのいずれか1つ)を定義できる。
【0057】例えば、「X軸」,「Y軸」,「Z軸」,
「θ軸」からなる「ステージ1」というグループは「ス
テップモータ」という名称のハードウエアモータを用い
ている。また、グループ2は、“ステージ2”という名
称でDCサーボモータを使用し、2軸構成である。ま
た、グループ3,4は、“ステージ3”又は“ステージ
4”という名称でミクロモータを使用し、1軸構成であ
る。
【0058】第31図のテーブルには、3つの設定ボタ
ン(2101,2102,2103)が用意されてい
る。グループ定義テーブル(第31図)中の任意のグル
ープを指定して、同テーブル中の「初期値設定」ボタン
2102を押すと、第33図の初期値設定テーブル21
10が表示される。この初期値設定テーブルは、各グル
ープに対する初期値を設定するものであり、第33図の
例では、「ステージ1」が選択されているので、そのグ
ループ名称が位置2111に、グループ名「ステージ
1」のモータ種類である「ステップモータ」が位置21
12に表示されている。
【0059】モータの種類(即ち、ハードウエアの種
類)が異なると設定すべき初期値が異なる。ドライバモ
ジュール1014は、グループ設定テーブル2100
(第31図)中で設定されたモータ種類の情報に従っ
て、当該モータ種類のための初期設定データを初期値設
定テーブル2110中に表示する。第33図のように、
モータ種類が「ステップモータ」であれば、設定すべき
初期データは「加速時間」の値、「減速時間」の値、
「最高速度」の値、「最低速度」の値、「一定速度」の
値、−方向の動作限界を示す「動作限界−」の値、+方
向の動作限界を示す「動作限界+」の値、限界に到達し
たときの停止の態様を示す「リミット停止」、表示をオ
ンすべきか否かを決める「モニタ」、ステップモータの
サーボ制御のためのゲインを決める「ゲイン」等が初期
値データである。
【0060】ユーザは、このように、グループ設定テー
ブル(第31図)によって定義した各グループについて
初期値を設定する。第31図において、ボタン「原点出
し順序設定」2101を押すと、第34図の順序設定テ
ーブル2120の画面が表示される。テーブル2120
によって、ユーザは、選択されたグループ(第34図の
例では「ステージ1」)の各モータ軸についての原点出
しの順序を並びに回転方向(CW又はCCW)を設定す
る。第34図の例では、原点出しは、先ず「X軸」をC
W方向に回転させ、次に、「Y軸」をCCW方向に回転
させ、次に、「θ軸」をCCW方向に回転させ、次に
「Z軸」をCW方向に回転させて行う。
【0061】第31図において、ボタン「インチング量
設定」2103を押すと、第32図のインチング量設定
テーブル2130の画面が表示される。テーブル213
0によって、ユーザは、選択されたグループ(第32図
の例では「ステージ1」)の各軸のモータに対するイン
チング量を設定する。設定できるインチング動作の種類
は「微速」、「低速」、「高速」の3種類である。
【0062】グループ化された1つまたは複数のモータ
は、与えられた動作を実行するためには移動位置を有す
る必要がある。移動位置は、位置名称(位置ラベル)と
目標位置データとからなる。第35図,第36図は移動
位置を各グループの各々の軸について定義するテーブル
2130である。第35図の例では、移動位置として、
「ステージ標準位置」、「ワーク取り出し位置」、「調
整位置」、「ピント合わせ」位置、「調整待避位置」、
「ワーク排出位置」等のラベル名を有する位置が定義さ
れている。例えば、ラベル名「調整位置」をプログラム
上に記載すれば、その位置は、X軸=1500、Y軸=
2500(Z軸,θ軸位置については任意)として参照
される。移動位置を設定し、或いは変更する場合は、こ
の設定画面2130を利用する。
【0063】各グループの各々のモータ軸についてのパ
ラメータ(最高速度など)は初期値設定テーブル211
0(第33図)によって設定したが、移動位置(目標位
置)に移動するに際して、個々の目標位置に応じた、即
ち、その目標位置にのみ対応したパラメータを設定する
必要がある場合がある。例えば、第35図の例で、「ス
テージ1」グループの「X軸」モータについてパラメー
タを変更したい(他のY軸、Z軸、θ軸についての変更
は特に必要がない)場合がある。この場合、初期値設定
テーブル2110(第33図)を変更すると、デフォル
ト値が変わってしまうので好ましくない。そこで、本モ
ータドライバモジュール1014は、次のようなユーザ
インタフェースを提供している。
【0064】即ち、第35図の例で、「ステージ1」グ
ループの「X軸」モータについてパラメータを変更した
い場合は、「X軸」フィールド2131をクリックす
る。すると、第36図に示すように、「X軸」フィール
ド2131と「Y軸」フィールド2132の間に、当該
モータのハードタイプに対して決められているパラメー
タ(「加速時間」「減速時間」「最高速度」「最低速
度」)が挿入されてテーブル2140が表示される。ユ
ーザは、変更対象の目的のモータ軸の特定のパラメータ
をテーブル2140中において変更する。データ変更用
のテーブル2140は、初期値設定用のテーブル211
0とは独立しているので、テーブル2140が変更され
ても、初期値自体が変更されることはない。計測装置の
プログラムにおいて、ステージ1のX軸モータが指定さ
れて、「ステージ標準位置」というラベルに移動すると
きは、「加速時間」「減速時間」「最低速度」について
は、変更テーブル2140によって定義されているの
で、初期値テーブル2110よりもこの変更テーブル中
に定義された値が優先する。一方、「最高速度」につい
てはテーブル2140中でへ無定義であるので、初期値
テーブル2110中の最高速度=1000が取り出され
る。
【0065】以上が、初期的に設定すべき項目の設定
(入力)についてのユーザインタフェースである。次
に、モータドライバモジュールのもう1つの機能である
設定データの変更について、そのユーザインタフェース
を説明する。第39図は、グループ設定変更のためのG
UI画面2140である。このGUI画面2140は第
31図のグループ設定画面2100に類似している。即
ち、新たに、グループを作成するときは、フィールド2
141にグループ名称を入力し、フィールド2143
に、1軸から6軸までについて、軸の名称を入力する。
新たにタイムアウト時間を設定するときは、フィールド
2144にタイムアウト時間を入力する。原点出し順序
の変更は、ボタン2145を押す。このボタンを押す
と、第37図の画面が表示され、原点出しの順序及び各
軸の回転方向の変更が可能になる。インチングの量を変
更するためにはボタン2146を押す。このボタンを押
すと、第38図の如き画面が現れて、インチング量を変
更可能とする。
【0066】第37図は、移動位置(目標位置)を変更
するためのGUI画面である。変更対象のグループの指
定はフィールド2150によって行う。変更対象の軸の
名称の指定はフィールド2151によって行う。第37
図の例では、グループ名は「X軸」であり、軸の名称は
「X軸調整」である。移動位置「X軸調整」について定
義されている各軸の現在値は、フィールド2154に定
義される。第37図の例では移動位置「X軸調整」につ
いてX軸のみが定義されている。変更対象の移動位置の
名称は、フィールド2152内で指定する。第37図の
例では、変更対象の目標位置のラベル名は「g_pri
nt」であり、このラベルに対応する「加速時間」は3
00、「減速時間」は300、「最高速度」は2000
0、「最低速度」は2000である。
【0067】第37図の画面において、ボタン2157
を押すと、インチング量変更の対象となる軸を変更す
る。第37図の例では、X軸が選択されているが、ボタ
ン2157を押すと、グループに複数軸が存在すると
き、変更対称の軸が1つ隣の軸に指定される。第40図
の画面は、各軸について指定されているパラメータ(第
33図のパラメータに相当)を変更するための画面であ
る。
【0068】第113図は、モータドライバモジュール
のための、モータ軸のグルーピングを実行するCPU#
1の制御手順を示す。先ず、ステップS2141で、グ
ルーピング設定(第31図)を行う。ステップS214
2で初期値(第33図)の設定を行う。ステップS21
43で原点出し条件の設定(第34図)を行う。ステッ
プS2144でインチング設定(第32図)を行う。ス
テップS2145で各モータに物理番号を割り当てる。
ステップS2146で、各物理番号に対して、初期条
件、原点出し条件、インチング条件等をデータベース化
して割り当てる。
【0069】第114図は、原点出しについての実行プ
ログラムの一例を示す。第115図は、第114図の例
に従った場合の、原点出しの実行フローを示す。GPIBデータの設定操作 GPIB通信インタフェースを制御するための各種パラ
メータは、第41図〜第52図によって設定もしくは変
更される。
【0070】第41図,第42図は、任意のラベルに対
して各種パラメータを設定するためのGUI(第14図
の1041)を示す。これらのパラメータは、「チャン
ネル」の(番号)、相手先の「アドレス」、「終端」を
表すコード、「タイムアウト」時間、「モニタ」の有
無、「コマンド」の種類等がある。特定のラベルを指定
して、ボタン「サブシートを開く」(2201)を押す
と、第42図の画面2210が表示される。第42図の
例では、「aaa」というラベルに対して、チャンネル
「2」、アドレス「1」、コマンド「送信」、終端コー
ド「LF]、タイムアウト時間「10」、モニタ「オ
ン」が指定されており、更に、「データ」、及び、その
「型」を指定することができる。
【0071】第43図,第44図は、GPIBのための
操作盤GUIを示す。図中、リストボックス2222は
定義済みのラベルの一覧が表示される。フィールド22
21は指定されたラベルの名称が表示される。フィール
ド2223〜2228によって、既に設定されている
「チャンネル」「アドレス」「コマンド」「終端」(デ
リミタ)「タイムアウト」「モニタ」の夫々の値が表示
される。これらの値を変更したいときは、対応するフィ
ールド上で書き換える。
【0072】コマンドフィールド2225はボタンにな
っており、これを押すと、リストボックス2230が表
示される。表示されるコマンドの種類は、「DCL」
「IFC」「CLR」「送信」「受信」「読出」「レジ
スタ書込」「レジスタ読出」である。また、コマンドフ
ィールド2225の値が「***」のときにボタン22
29を押すと、第44図の画面が現れ、コマンドの値、
種類を設定できる。
【0073】SW操作盤 INソフト操作盤(第22図等)は、センサスイッチ出
力とラベルとの対応を定義し、OUTソフト操作盤(第
25図等)は電磁弁などのデバイスとラベルとの対応を
定義するものであった。次に説明するSW操作盤(ソフ
ト操作盤)は、手動操作盤1017に設けられた各種ス
イッチ類のための定義のためのものである。
【0074】先ず、ソフト操作盤としてのSW操作盤を
説明する前に、ハード操作盤としての手動操作盤101
7を説明する。第45図は手動操作盤1017の外観を
示す。この手動操作盤1017は、スイッチとして、シ
ステムの起動を指示するスイッチ(SW00)と、原点復帰を
指示するスイッチ(SW01)と、異常状態を解除するスイッ
チ(SW02)と、連続/単発を指示するスイッチ(SW03)と、
校正モードを指示するスイッチ(SW04)と、印字を不良時
に行なうかあるいは毎回行なうかを指示するスイッチ(S
W05)と、運転モードをオフライン/オンライン/規格/
校正で切り換えるスイッチ(SW06)と、32個の汎用スイ
ッチ(SW1〜SW32)とを有する。これらのスイッチはIN
ドライバモジュール1011に接続されている。また、
操作盤1017は、LEDとして、「原点」、「起動
可」、「起動中」、「異常」、「サイクル」、「連続不
良」、「OK」、「NG」を示すLED(000〜007)と、
汎用LEDとして、LED117〜LED132,LED217〜LED232,
LED317〜LED332,LED1317〜LED332を有する。
【0075】I/Oマップ 第46図〜第49図に、INドライバモジュール101
1とOUTドライバモジュール1012に割り当てられ
たI/Oマップを示す。第46図は、OUT1012か
ら外部コントローラ1018への出力信号のマップを示
し、特に、アドレス00D4Hに「起動可」から「起動
中」までの信号がマップされている。
【0076】第47図は、外部コントローラ1018か
らINドライバモジュール1011への入力信号のマッ
プを示し、特に、アドレス00D4Hに「自動/手動」
から「起動中」までの信号がマップされている。第48
図は、手動操作盤1017からINドライバモジュール
1011への入力信号のマップを示し、特に、アドレス
00D0Hに「起動スイッチ」から「マトリクスデータ
15」までの信号がマップされている。
【0077】第49図は、OUTドライバモジュール1
012から手動操作盤1017への出力信号のマップを
示し、特に、アドレス00D0Hに「原点」から「マト
リクスストローブ」までの信号がマップされている。本
システムの操作盤1017においては、配線数を減らす
ためにマトリクスリード方式を採用している。これは、
8ビットの「ストローブ」信号(第49図の00D3)
を変化させて操作盤1017に対して出力することによ
り、操作盤1017からの16ビットのマトリクスデー
タ(第48図の00D2〜00D3)を、32ビットの
SW1〜SW32に対応させるものである。第50図,
第51図は、SW1〜SW32の状態を入力するときの
I/Oマップである。即ち、ストローブ出力を01hと
して出力し、マトリクスデータ0〜15を入力すると、
マトリクスデータの0〜15のデジタル値がSW1〜S
W8の状態に応じた値を示す。同様に、ストローブ出力
02hとして出力しマトリクスデータ0〜15を入力す
ると、マトリクスデータの0〜15のデジタル値がSW
9〜SW16の値に応じた値を示す。このように、8+
16本の信号線で、16×8ビットの情報が得られる。
【0078】SWデータの設定 手動操作盤1017は、前述したように、32個のスイ
ッチを有し、プログラム制御のためのユーザインタフェ
ースの観点から、これらのスイッチにラベルを設定する
ことが必要となる。第52図は、スイッチ設定のための
テーブル2250を示す。また、フィールド2260
は、手動操作盤1107をどのパネルとして用いるかを
指定する。この図の例では、「VR調整」という名称の
パネルとして設定される。パネルは最大8枚まで設定可
能である。同図において、フィールド2251には、3
2個のエントリが用意され、夫々が32個のスイッチの
各々に対応している。個々のスイッチに対して、それぞ
れ、8つのフィールド(2252〜2259)が用意さ
れている。これら8つのフィールドはスイッチの種類を
示す。スイッチの種類は、両方向トグルスイッチ、モメ
ンタリトグルスイッチ、両方向モメンタリ、トグル、モ
メンタリ、セレクタ、ディジタルの8種類が設定され得
る。個々のスイッチに対してスイッチ種類を指定する
と、第53図に示されるテーブル2270が表示され、
更に種々のデータを設定可能になっている。即ち、フィ
ールド2271は現在設定中のスイッチの名称が表示さ
れる。フィールド2272は、このスイッチのための変
数名を入力する。フィールド2273は、設定可能なス
イッチ状態を示す。フィールド2274は、各状態の名
前を入力する。フィールド2275は各状態に設定する
表示色を入力する。フィールド2276は当該状態が発
生したときに出力すべき信号のラベル名を入力する。こ
のラベル名はOUTドライバモジュール(第23図のフ
ィールド901)において設定したラベル名である。フ
ィールド2277は当該状態が発生したときに確認する
ために入力すべき信号のラベル名を入力する。このラベ
ル名はINドライバモジュール(第21図のフィールド
701)において設定したラベル名である。この入力ラ
ベル名の内容が実際の入力状態と一致しなければOUT
することはできないように出力が制御される。
【0079】この計測システムは、ハードウエアとのイ
ンタフェースを規定するドライバモジュールの他に、例
えば入力信号等の規格を定義する「規格設定」インタフ
ェース、「解析データ設定」インタフェース及び定数を
ラベルとして定義する「定数設定」インタフェースを有
する。規格設定 第54図は、入力された信号に対する規格を定義するテ
ーブル2280である。
【0080】同図において、フィールド2281はこの
規格テーブル全体のラベル名を記憶する。フィールド2
282は個々の規格に対するラベルを入力する。第54
図の例では「照射位置X」「照射位置Y」「ピント位
置」等の規格が設定されている。フィールド2283
は、当該規格に付された変数名を「単位」と共に記述す
る。単位は「V」「mV」「KV」「μA」の中から選
ばれる。例えば、「照射位置X」に対して「g_照射
X」なる変数名が単位「mV」で定義されている。第5
4図のテーブルは、2つの「条件」に合致したか否かに
よって規格に合致しているか否かを判定する。条件の論
理式は、「=」「<>」「≦」「≧」などを選択するこ
とができる。条件はフィールド2284と2285に定
義される。これら2つの条件の論理式はフィールド22
86に設定される。条件間の論理式は、例えば「AN
D」と「OR」である。フィールド2287は、最終的
にNGと判断するために、上記2つの条件に合致しない
信号の連続回数を定義する。
【0081】例えば、規格ラベル「ピント位置」につい
ては、−20mV以上(条件1)で且つ20mV以下で
あるような信号「g_PINT」が連続2回でも得られたな
らば、最終的なNGと判定する。解析データ設定 第55図は、データ解析を行うためにセーブすべきデー
タ(信号)を設定するインタフェースを提供するテーブ
ル2290を示す。個々の設定の名称は、ラベル名フィ
ールドに入力される。セーブすべき信号の名称は、変数
名として第55図の例では10個までの指定が可能であ
る。「オートセーブ」の欄はオートセーブを実行するか
否かを指定する。「回数」のフィールドは取り込み回数
を規定する。従って、第55図の例では、ラベル名Xで
信号A,B,C,Dが10回サンプルされたならば、そ
れらのデータはファイル名「X」として自動的にセーブ
される。
【0082】定数の設定 本計測システムでは、定数値はリテラルとして入力可能
であるが、誤操作による値の改変を防ぐために、定数に
もラベルを付している。第56図はこの定数設定テーブ
ルを示す。各定数に対して、ラベル名、値、コメントを
入力することができる。
【0083】〈シートプログラムの作成〉制御プログラ
ム(シートプログラム)は、チャートエディタプログラ
ムを用いて作成する。チャートエディタは、エディタ画
面とデバッガ画面を表示し、これらの画面においてプロ
グラムを作成表示しあるいはデバッグする。第111図
に示すように、“操作盤MAIN”はプログラム画面モ
ードを有し、このモードでは、エディタが動作する(第
12図)。このエディタは、“操作盤MAIN”が起動
するシートプログラム“MAIN”を作成するのに用い
られる。第65図は、エディタプログラムが実行されて
いるときのCRT1001上の画面の例である。
【0084】第57図〜第60図は、このエディタによ
って作成されたシートプログラム“MAIN”の例であ
る。エディタは、任意のシートプログラムを作成するこ
とにより、第7図の計測システムの任意の動作を定義す
ることができる。第57図〜第60図に示されたシート
プログラムの動作手順例を説明することにより、第1図
〜第7図の計測システムの計測動作、即ち、射出光学デ
バイスのピントおよび照射位置の自動調整に係わる制御
について説明する。
【0085】シートプログラムの例 位置検出センサ1022によって検出されたレーザービ
ーム12の2次元方向における照射位置は、ADドライ
バモジュール1009によって制御されたA/D変換器
(不図示)によってデジタル変換され、ドライバモジュ
ール1009に入力される。ドライバモジュールに対す
るパラメータの設定は第16図の画面によって設定され
たとおりである。Z軸,Y軸およびX軸パルスモータコ
ントローラ(第7図の1029〜1030)は、それぞ
れ三次元位置決め機構4の各Z軸,Y軸およびX軸パル
スモータ(第7図のパルスモータ5〜7)を駆動制御す
るものであり、パルスモータコントローラ(1029〜
1030)は、第2の位置検出機構44のパルスモータ
を駆動制御するものである。これらパルスモータの制御
パラメータは第37図などの画面によって設定されてい
る。モータドライバモジュール1014は、レーザービ
ーム12の前記照射位置、鏡筒10を三次元方向に移動
するための各マイクロコントローラを制御するものであ
る。さらに、コントローラ70は カメラ1028(第
4図)を介して画像処理装置で測定されたレーザービー
ムの外径および中心位置に基づいて、レーザービームの
外径が最小値で、かつ中心位置が最適位置になるよう
に、各コントローラを駆動制御することにより、後述す
るピントおよび照射位置調整が自動的に行われる。ま
た、デジタルI/O(INドライバモジュール101
1,OUTドライバモジュール1012)は各エアシリ
ンダーようの電磁弁等の開閉信号及び各エアシリンダー
の各前進及び後退検出センサでの検出値の入出力を行う
ものである。
【0086】シートプログラム“MAIN”のステップ
S2400(第57図)において、OUTドライバモジ
ュール1012に対してラベル“押しつけシリンダO
N”を実行する。このラベルは、第25図に示した如き
操作画面によって既に定義されている。この“押しつけ
シリンダON”が実行されると、射出光学位置23が、
位置決め固定治具41上で前記2本のピン(不図示)が
固定ホルダ8の固定板8aの位置決め用長孔21および
位置決め用孔22にそれぞれ挿入されて位置決めされ、
さらにビス(不図示)によって固定され、押し付けエア
シリンダー31が駆動される。射出光学デバイスは押圧
部材によって位置決め固定治具へ押し付け固定されてい
る。この状態では、予め鏡筒10に塗布された紫外線硬
化接着剤18はまだ硬化していない。また、スライダー
24ひいてはビームスプリッター35は待機位置にあ
り、Z軸,Y軸およびX軸調整用ステージ24,25,
26および光学系移動用ステージ27も各々所定の待機
位置に待機している。
【0087】第57図に従って更に詳細に説明する。
尚、同図において、[ ]や| |や[[ ]]で囲まれた
ものは、命令である。1つの命令は、“:”や“<”等
の演算子によって分割されている。[ ]中の前半部分
は、当該命令が、9つのドライバモジュール(IN,O
UT等)のうちのどのドライバモジュールに対する命令
言語であるかを示す識別子であり、後半部分は、指定さ
れたドライバモジュールに送られて実行されるべきラベ
ルである。
【0088】記号○はWHILE DO形式の条件判断
文であることを示す。○の右に続く条件が満足されない
限り、記号○から下方に続く全ての命令文が繰り返され
る。また、記号◇はIF THEN ELSE形式の条
件判断文であることを示す。記号◇の右の文は条件を定
義する。記号◇の下方に続く最初の命令は条件が満足さ
れたときの命令を意味し、2番目の命令は満足されなか
ったときに実行すべき命令を意味する。
【0089】ステップS2401では、INドライバモ
ジュール1011に対してラベル“押しつけシリンダO
Nセンサ”を発行する。このラベルもIN操作画面(第
21図)によって前もって定義されている。このラベル
が実行されると、エアシリンダ31の右端に設置された
不図示のセンサが点灯するのを、INドライバモジュー
ル1011を介して確認する。
【0090】次に、ステップS2402で、OUTドラ
イバモジュール1012に対してラベル“鏡筒鍔クラン
プON”(第23図参照)を発行する。すると、2つの
クランプ用エアシリンダー28a,28bが駆動され、
2つのクランプ爪が閉じて鏡筒10の2つの鍔17a,
17bをクランプして保持する。ステップS2403で
は、INドライバモジュールに対してラベル“鏡筒鍔ク
ランプONセンサ”(第22図参照)を発行して、シリ
ンダ動作をセンサが点灯したか否かによって確認する。
【0091】ステップS2404ではOUTドライバモ
ジュールに対してラベル“パワーメータ前進”(第23
図参照)を発行し、続いて、ステップS2405でIN
ドライバモジュールに対してラベル“パワーメータ前進
端センサ”(第22図参照)を発行する。これにより、
図示しないエアシリンダーによりパワーメータ1021
を前進させて半導体レーザー光源1の出射光源上に移動
させる。
【0092】ステップS2406ではOUTドライバモ
ジュールに対してラベル“コンタクトピン前進”(第2
3図参照)を発行し、ステップS2407ではINドラ
イバモジュールに対してラベル“コンタクトピン前進端
センサ”(第22図参照)を発行する。すると、ステッ
プS2406ではコンタクトピン移動用エアシリンダー
32が駆動されて、コンタクトピン43を射出光学デバ
イス23の電気回路基板9の所定の部位に接触させさせ
る。ステップS2407では、エアシリンダの移動前進
端のセンサがONするのを検出待ちする。
【0093】ステップS2408では、グローバル変数
“g_出力設定値”に定数値“c_光量初期値”(第5
6図参照)をロードする。ステップS2409ではDA
ドライバモジュール1010に対してらべる“光量設
定”(第17図参照)を発行する。即ち、DAドライバ
モジュールを介してレーザ電源49に対して“c_光量
初期値”で設定された電圧を与え、レーザ電源はその値
に応じた電流値を半導体光源1に供給する。続いて、ス
テップS2409でADドライバモジュール1009に
対してラベル“光量測定”(第15図参照)を発行す
る。即ち、パワーメータ1021の出力をADドライバ
モジュール1009を介して入力する。ラベル“光量測
定”に対してデータの格納番地“g_測定光量”が定義
されている(第15図参照)。
【0094】ステップS2411では、“g_測定光
量”と閾値“光量設定値”(第56図参照)とを比較す
る。“g_測定光量”≧“光量設定値”となるまで、ス
テップS2413〜ステップS2415を繰り返す。即
ち、出力を0.1Vずつ増加させながら、その都度パワ
ーメータ1028の出力を測定して、測定値と前記閾値
とを比較する。
【0095】予定の光量が得られると、ステップS24
16により、パワーメータ1021を後退させて、ステ
ップS2417により、後退したことを確認する。出射
されたレーザービーム12は、鏡筒10に内蔵されたコ
リメータレンズ2により略平行光にされ、さらにアパチ
ャー16により円筒形にビーム整形される。整形された
ビームは光学用レンズ33により集光され、第2の位置
検出機構44の対物レンズ36に入射する。
【0096】鏡筒10の照射位置に関して鏡筒10の矢
印XおよびY方向の位置は、調整前では、レーザービー
ム12が第2の位置検出機構44の対物レンズに入射し
ないほどずれている場合がある。この場合、第1の位置
検出機構14のスライダー42を図示しないエアシリン
ダーで駆動して(ステップS2418)、スライダー4
2上のビームスプリッター35を前進させてレーザービ
ーム12の光軸上に移動する。
【0097】ビームスプリッタ35によるレーザービー
ム12の反射光(不図示)の矢印XおよびY方向におけ
る照射位置は位置検出センサ1022により検出され
る。そこで、ステップS2420,ステップS2421
では、ADドライバモジュール1009にラベル“ビー
ム位置X測定”(第15図参照)、ラベル“ビーム位置
Y測定”(第15図参照)を実行させる。即ち、位置検
出センサ1022が、レーザービーム12の光量の矢印
XおよびY方向のそれぞれの重心位置をアナログ値とし
てA/D変換器に出力する。
【0098】次に、ステップS2422,ステップS2
423において、それぞれ、移動量Xと移動量Yを次式
に基づいて演算する。 移動量X=(c_X照射位置原点 − g_X照射位
置)*c_X照射倍率 移動量Y=(c_Y照射位置原点 − g_Y照射位
置)*c_Y照射倍率 を演算する。尚、“c_X照射位置原点”、“c_X照
射倍率”、“c_Y照射位置原点”、“c_Y照射倍
率”等は第56図の定数テーブルに前もって定義されて
いる。ステップS2422,ステップS2423で演算
された“移動量X”と“移動量Y”とに基づいてCPU
#1は、ステップS2424において、モータドライバ
モジュール1014に対して、ラベル“照射位置粗調
整”を発行することにより、Y軸およびX軸パルスモー
タコントローラを駆動制御し、調整用ステージ25,2
6を矢印Y,X方向にそれぞれ移動する。すると、レー
ザービーム12が第2の位置検出機構44に入射するよ
うに照射位置の粗調整が行われることになる。
【0099】次に、ステップS2425,ステップS2
426を実行して、スライダー42を図示しないエアシ
リンダーで後退させ、スライダー42上のビームスプリ
ッタを後退させて待機位置に戻らさせる。ステップS2
427では、RSドライバモジュールに対してラベル
“初期データ転送”(第28図参照)を発行する。第2
8図に示しているように、“初期データ転送”はチャン
ネル1に設定されており、チャンネル1には画像処理装
置1027(第7図)が接続されているので、画像処理
装置1027は、このコマンドを、ピント、ビーム位置
測定のためのパラメータとして理解する。ステップS2
428で、同じく、RSドライバモジュール(のチャン
ネル1)に対してラベル“OKREAD”を発行してい
るが、これは、ステップS2427で送ったパラメータ
が画像処理装置2027が適正に受信されたか否かを確
認するために、“OK”或いは“NG”を受信するもの
である。受信されたデータは第28図のテーブルに定義
されているように、変数“g_OK”に格納される。ス
テップS2429では、変数“g_OK”に格納された
値が“OK”であるかを確認する。
【0100】“OK”を受信したのであれば、ステップ
S2431,ステップS2432を順に実行する。即
ち、ステップS2432では、サブルーチン“ピント測
定(鏡筒移動)”を実行する。サブルーチン“ピント測
定(鏡筒移動)”の詳細は第59図に示されている。ス
テップS2428で“OK”を受信したのでなければ、
サブルーチン“エラー処理”を実行する。この処理は、
図示していないが、“エラーフラグ”を“1”にセット
する。
【0101】ここで、“ピント測定(鏡筒移動)”につ
いて第59図を参照して説明する。ステップS2500
で、OUTドライバモジュールに対してラベル“パルス
切換鏡筒”を発行する。ラベル“パルス切換鏡筒”は、
第23図に示されているように、OUTドライバモジュ
ールのポート2を介して、切換器(不図示)を動作させ
るものである。この切換器が切り替えられると、画像処
理装置1027に入力されるパルス信号が鏡筒の移動位
置を示す信号となる。続いて、ステップS2501,ス
テップS2502で、RSドライバモジュールを介して
画像処理装置1027に対して、ピント、ビーム位置測
定のためのパラメータを転送する。ステップS2503
では、画像処理装置1027がパラメータを正常に受け
取ったかをチェックする。正常に受け取ったのであれ
ば、ステップS2505で“g_エラーフラグ”をリセ
ットし、ステップS2506〜ステップS2510を実
行する。
【0102】即ち、ステップS2506では、モータド
ライバモジュール1014に対して、ラベル“鏡筒初期
位置”を発行する。このラベルは、鏡筒を予め校正され
たピント測定範囲の初期位置へ移動するものであり、こ
の初期位置はレーザユニットの外形により想定される最
良の位置から±0.6mmの範囲であり、第35図のテー
ブル2130に予め登録されている。ステップS220
7では、モータドライバモジュール1014に対して、
ラベル“終了待ちX軸”を発行することにより、上記初
期位置への移動終了を待つ。
【0103】ステップS2508では、RSドライバモ
ジュールに対してラベル“ピント測定開始”(第28
図)を発行する。このラベル発行は、画像処理装置に1
027に対してピント測定開始命令となることを意味す
る。ステップS22508では、モータドライバモジュ
ールに対してラベル“鏡筒終了位置”を発行して、鏡筒
を移動させる。この位置は、予め校正されたピント測定
範囲の最終位置である。
【0104】画像処理装置1027における照射位置の
測定は以下のようにして行われる。第61図および第6
2図に示すように、画像処理装置1027は、取り込ん
だレーザービームを画像処理してセンサ出力を矢印X方
向およびY方向にヒストグラムをとる。それらのヒスト
グラムのピーク値Vpをexp2で除したものをスライ
スレベルとして(第15図の、それを越えるデータにつ
いての、矢印XおよびY方向におけるそれぞれの重心位
置を画像処理装置1027は次式に基づいて計算する。
【0105】
【数1】
【0106】鏡筒10の移動量はZ軸調整用ステージ2
4の移動指令パルスを画像処理装がカウントして行う。
また、ビーム径の測定は以下のようにして行う。第63
図および第64図に示すように、カメラ2028で取り
込んだ画像から、照射位置と同様にヒストグラムを矢印
XおよびY方向に共に取り、それぞれのピーク値を検出
する。そのピーク値Vpより、スライラスレベルSLを
以下の(2)式により決定し、そのスライラスレベルS
Lとヒストグラムの交点座標c,dからレーザービーム
径の画素数を算出し、該算出値にカメラ1028の分解
能をかけてレーザービーム径が算出される。ここで、e
は自然対数の底である。
【0107】
【数2】SL=Vp/e2 レーザービーム12の像の外径が最小値になるときの鏡
筒10の移動位置がジャストピントの位置であり、その
ときの鏡筒10の移動位置が画像処理装置2027で算
出されるとともに、そのときのビームの照射位置も算出
される。
【0108】CPU#1は、ステップS2510で、R
Sドライバモジュールに対してラベル“ピント/位置デ
ータ読み込み”を発行して、ピントデータ、位置データ
を画像処理装置1027から受信して“g_鏡筒ピント
位置”に格納する。かくして、サブルーチン“ピント測
定(鏡筒移動)”を終了する。そこで、シート“MAI
N”の制御はステップS2434に進み(第58図)、
それまでにエラーがなかったかを調べる。エラーがなか
った場合は、ステップS2435〜ステップS2440
を実行する。
【0109】即ち、ステップS2435ではサブルーチ
ン“ピント&位置調整”を行う。このサブルーチン“ピ
ント&位置調整”の詳細は第60図に示されている。第
60図のステップS2600では、 g_ピント位置=g_鏡筒初期位置 − g_鏡筒ピン
ト位置 を演算する。ここで、“g_鏡筒ピント位置”はステッ
プS2510でRSドライバモジュールから受信したピ
ントのとれた位置データである。したがって、上記演算
によって、g_ピント位置は合焦の成立する位置までの
移動量を含むことになる。そこで、ステップS2601
で、モータドライバモジュールに対して“ピント調整”
を発行して、鏡筒位置を適正なピント位置に移動させ
る。
【0110】続いて、ステップS2602,ステップS
2603において、それぞれ、Y移動量とZ移動量を次
式に基づいて演算する。 Y移動量=(c_照射目標Y − g_照射Y)*c_
Y画素パルス係数 Z移動量=(c_照射目標Z − g_照射Z)*c_
Z画素パルス係数 を演算する。ここで、“c_照射目標Y”、“c_照射
目標Z”、“c_Y画素パルス係数”、“c_Z画素パ
ルス係数”は、予め設定された位置もしくは定数であ
る。こうして計算されたY移動量、Z移動量は、適正な
照射位置へのY,Z方向への移動量となる。ステップS
2604では、モータドライバモジュールに対してラベ
ル“照射位置微調”を発行することにより、演算された
鏡筒を上記移動量だけY,Z方向に移動させる。ステッ
プS2605は移動終了を待つステップである。
【0111】こうして、サブルーチン“ピント&位置調
整”を終了すると、制御はステップS2436(第58
図)に戻る。第58図のステップS2435では、OU
Tドライバモジュールに対してラベル“UV照射開始”
を発行して、紫外線照射装置3に対して照射開始を指示
する。紫外線照射装置3は、石英ファイバ30a,30
b(図示しないものも含めて3本ある)を介して紫外線
を鏡筒10に照射し、紫外線硬化接着剤18を硬化させ
ホルダ8に鏡筒10を固定する。
【0112】ステップS2437ではラベル“UV照射
終了”を発行して、照射装置3から紫外線照射終了信号
を受ける。ステップS2438,ステップS2439で
は、鏡筒の鍔のクランプをオフすることにより、2つの
クランプ爪29aを解放する。、ステップS2440で
サブルーチン“ピント測定(光学系移動)”を実行す
る。これにより、光学系移動用ステージ27によって第
2の位置検出機構44は矢印Z方向に移動される。
【0113】更に、上記手順で得られた各照射位置とピ
ント位置とを規格モジュールに対して発行して、規格内
(第54図)に合致しているか否かを調べる。これによ
り調整は終了する。最後に、押し付けエアシリンダーを
後退させたり、ビスを取り外したりして、レーザーユニ
ットとしての射出光学デバイス23を位置決め固定治具
41より取り外す。
【0114】〈シートプログラムエディタ〉第57図〜
第60図のシートプログラムはエディタによって作成さ
れる。エディタ画面 エディタ画面においては、第65図に示すように、7つ
のメニュー(4010〜4016)が表示され、これら
のメニューとは、ファイル(4010)、編集(401
1)、シート(4012)、変数(4013)、ウイン
ドウ(4014)、デバッグ(4015)、モード(4
016)、である。
【0115】エディタ画面におけるファイルメニュー
(4010)は、第67図に示すように、プロジェクト
新規作成(4060)、プロジェクトオープン(406
1)、閉じる(4062)、プロジェクトの保存(40
63)、名前を変えて保存(4064)、用紙設定(4
065)、プリント(4066)、終了(4067)等
のサブメニューからなる。
【0116】編集メニュー(4011)は、取消(42
10)、カット(4211)、コピー(4212)、ペ
ースト(4013)、クリア(4214)、全てを選択
(4215)、削除(4016)、変更(4017)の
サブメニューからなる。シートメニュー(4012)
は、シート新規作成(4260)、シートオープン(4
261)、閉じる(4262)、シートの登録(426
3)、シートの削除(4264)、のサブメニューによ
りなる。
【0117】変数メニュー(4013)は、変数リスト
(4410)、変数宣言(4411)、値表示(441
2)、値変更(4413)、変数削除(4414)、の
サブメニューからなる。ウインドウメニュー(401
4)は操作パネル(4560)、テンプレート(456
1)のサブメニューからなる。
【0118】チャートを記述する単位は、「プロジェク
ト」、あるいは「シート」(4001)、あるいは
「行」(4025〜4035)である。行(4025〜
4035)とは、「行番号」(4040)、「制御記
号」(4041)、「実行記号」(4042)、「実行
内容」(4043)からなる。シートは複数の行からな
り、階層化を行なうために、区切りのよい単位毎にプロ
グラム分割(サブルーチン化)された複数の行が1つの
シートを構成する。プロジェクトとは、複数もしくは一
枚のシート(4001)を単位として、プログラムをロ
ードすることなく、実行できる一つの集合的プログラム
として定義できる。
【0119】行を構成する「制御記号」(4041)の
種類には、 WHILE DO、 DO WHILE、 IF THEN ELSE、 CASE がある。また、実行記号(4042)には、実行すべき
言語を示す記号[ ](4045)、実行すべき演算を
示す二重の[[ ]](4044)、実行すべきシートを示
す段違いの二重の[[ ]]記号(4042)がある。
【0120】実行すべき言語を示す記号[ ]の中に
は、「言語名」(4046)とその「ラベル」(404
7)が含まれる。「言語名」には、AD、DA、PM、
RS、GPIB、OUT、INがあり、夫々は、A/D
ドライバモジュール(1009、第7図を参照))に対
する実行、D/Aドライバモジュール(1010)に対
する実行、INドライバモジュール(1011)に対す
る実行、OUTドライバモジュール(1012)に対す
る実行、…を示す。例えばADに対する実行を表記する
ときには、 [AD:ラベル] となる。ラベル(4047)フィールドはそのラベルに
よって特定されるデータテーブルを指定する。ラベルに
よって示されるデータテーブルは各言語ごとに前もって
定義されている。個々のデータテーブルにはユニークな
ラベルが付される。インタプリタは、「言語名」を実行
するときに、ラベル(4047)フィールドに指定され
た名前と同じデータテーブルを探し、そのデータテーブ
ル中の各種データをその言語名のドライバソフトに渡
し、ドライバはそのデータを基に実行する。
【0121】実行すべき演算を示す二重の[[ ]](40
44)が実行されようとするときは、その二重の[[ ]]
中の記号“=”で成立する演算もしくは論理式の内容を
実行する。第65図の [[測定結果=パワー*1.215]] という例では、「測定結果」フィールドに、フィールド
「パワー」と1.215の積が格納される。
【0122】別シートに飛ぶときには、実行すべきシー
トを示す段違いの二重の[[ ]]記号(4042)中にそ
の飛び先のシート名を記述する。その[[ ]]記号の実行
時には、跳び先のシート内容を実行する。その飛び先の
シートを実行した後は、もとの実行記号のシート(40
42)を表記しているシートに戻り、制御記号に従って
次の実行を行なう。第65図の11行目の [[PSD測定]] という例では、「PSD測定」いう名称のシートにジャ
ンプして、そのシートを実行した後に、12行目に戻っ
て次の実行を行なう。
【0123】シート上の制御構造について説明する。第
65図には、“MAIN”というシートと“PSD測
定”というシートとが示されている。1つのシートが実
行されるときは、行番号1番の制御から実行される。第
65図のシート“MAIN”の例では行番号1番から行
番号11まで順に実行される。前述したように、行番号
11において、別のシート“PSD測定”にジャンプす
る。シートに定義された最後の行の制御が実行される
と、先頭の行の制御に戻る。第65図の例では、第1行
目(言語OUTに対してデータテーブル“power”が渡
される)→第2行目(WHILE DOが実行される)→第11
行目(シートPSD測定が実行される)と順に実行され
る。
【0124】制御記号(4041)には、WHILE
DO(4048)、DO WHILE、IF THEN
ELSE(4049)、CASE等があり、これらの
制御記号により実行のジャンプやループ等を行なう。制
御記号(4041)は、その条件と実行の関係を表した
ライン(4003)に表記される。
【0125】制御記号WHILE DOは記号○で表記
される。制御記号と同じ行にその制御記号の「条件」を
記入する。この条件の行番号より大きな行番号の行であ
って、記号○から分岐している全ての行の制御を、「条
件」が満たされるまで実行する。第65図の行2の例で
は、 abs(測定結果)<規格 である間は、行番号3→行番号4→行番号7→行番号8
→行番号9→行番号10が順に実行される。なお、第6
5図の例で、行番号4を実行するときは、記号◇(40
49)で表記された、IF THEN ELSEが実行
される。IF THEN ELSEは、 IF(条件)THEN(実行1)ELSE(実行2) の形式の制御であり、制御記号◇と同じ行にその条件を
記入し、記号◇の下からは2つの行が定義され、最初の
方の行は(実行1)を定義し、次の行は(実行2)を定
義する。
【0126】CASEは記号◇で表記され、記号◇と同
じ行に、その(条件文)を表す変数もしくは演算式もし
くは論理式を記入する。記号◇の下から延びるラインで
示される複数の行によって、(条件文)の値に応じて実
行される制御を記述する。このとき、条件文の値が
“0”のときは最初の行を、“1”のときは次の行を、
“2”のときはさらに次の行を、…実行する。
【0127】CASE、WHILE DO、DO WH
ILEにおいて、実行文中に、制御記号やシート記号が
含まれるときこれに従う。WHILE DOは条件判断
を先ず行い、二重丸◎のWHILE DOは実行してか
ら条件判断を行う。実行内容を第66図に従ってさらに
具体的に説明する。
【0128】第66図のシート“MAIN”が実行され
ると、その行番号1番(4901)の実行記号[ ]の
中のデータ“OUT:power”から、「言語」OU
Tに定義されたデータテーブル“OUT”の中のラベル
名“power”を探し、そのラベル名“power
“に記述されている、(その中であらかじめ型変換が必
要なデータは既に変換されている)データを渡すと共に
ドライバソフト“OUT”を実行する。
【0129】次に、第66図の行番号2(4902)の
制御記号は○であってWHILEDOを示すので、記号
||によって示された条件(4916)が“abs(測
定結果)<規格”を満足する間、以下行番号3,4,
7,8,9,10まで実行する。“abs(測定結果)
<規格”に反するときは、一番左側のライン(491
7)にそってあるところの行番号11(4911)を実
行する。
【0130】行番号2から行番号10までの実行を以下
に記す。行番号2において、 abs(測定結果) とは、変数“測定結果”(4919)の絶対値を演算す
ることを示す。従って、“測定結果”の絶対値が、変数
“規格”(4920)より小さいとき以下のことを行な
う。行番号3番の実行記号(4922)の中のデータが
“DA:測定結果”(4923〜4924)を含むこと
から、データテーブル群“DA”中のラベル名“測定結
果”を探し、そのラベル名“測定結果”に記述されてい
るデータ(その中であらかじめ型変換が必要なデータは
既に変換されている)を、渡すと共にドライバソフト
“DA”を実行する。
【0131】次に、行番号4(4904)の制御記号
(4925)を実行する。この制御記号は◇であって、
これは“IF THEN ELSE”形式なので、条件
“測定結果<max”(4929)が満たされるとき、
行番号5(4905)の制御を実行し、その条件(49
29)を満たさないとき行番号6(4906)を実行す
る。これを以下に記す。行番号4(4904)の変数
“測定結果”(4926)のデータ値が変数“max”
(4926)より大きいとき、行番号5(4905)の
変数“エラーflag”(4903)の値を、記号
“=”(4931)により値1(4932)(演算の実
行記号の中の“1”が表す)に置き換える。行番号4
(4904)の変数“測定結果(4926)”のデータ
値が、変数名“max”(4928)より大きくないと
き、行番号6(4906)の変数名“エラーflag”
(4937)の値を、記号“=”(4936)により値
0(4935)に置き換える。行番号5(4905)ま
たは行番号6(4906)を実行後に、行番号7(49
07)を実行する。これを以下に記す。行番号7(49
07)の実行記号(4938)の中のデータ“OUT:
パワー測定”(4938)から、データテーブル群“O
UT”の中のラベル名“パワー測定”を探し、そのラベ
ル名“パワー測定”に記述されているデータ(その中で
あらかじめ型変換が必要なデータは既に変換されてい
る)を渡すと共にドライバソフト“OUT”を実行す
る。次に行番号8(4908)を実行する。行番号8番
(4908)の実行記号(4041)の中のデータ“A
D:パワー測定”(4941)から、データ“AD”の
中のラベル名“パワー測定”を探し、そのラベル名“パ
ワー測定”に記述されていて、その中であらかじめ型変
換が必要なデータは変換されているデータを、渡すと共
にドライバソフト“AD”を実行する。次に行番号9
(4909)を実行する。行番号9(4909)の変数
“測定結果”(4944)の値を、記号“=”(494
6)(演算の実行記号(4945)の中の“=”が表
す)により式(パワー×1.215)(4947)の結
果に置き換える。次に行番号10(4910)を実行す
る。これを以下に記す。行番号10(4948)の中の
データ“OUT:パワー測定終了”(4948)から、
データテーブル群“OUT”の中のラベル名“パワー測
定終了”を探し、そのラベル名“パワー測定終了”中に
記述されているデータ(その中であらかじめ型変換が必
要なデータは変換されている)をドライバソフト“OU
T”に渡すと共にこのドライバソフト“OUT”を実行
する。
【0132】行番号10(4910)を実行後、行番号
2(4902)を実行する。行番号2(4902)の制
御記号(4915)は○でWHILE DOなので、条
件(4916)“abs(測定結果)<規格”である
間、行番号3(4917)から行番号10(4910)
までを実行する。条件(4916)“abs(測定結
果)<規格”を満足しないときは行番号11(491
1)を実行する。行番号11(4911)は、シートの
実行記号(4949)なのでシート“PSD測定”(4
951)を実行する。
【0133】シート“PDS測定”(4951)の実行
の後、シート“MAIN”の行番号11(4911)の
次を実行することになるが、第66図の例では、シート
が“MAIN”でかつ行番号11の後には何もないので
ここで終了する。シートの階層がどれだけ増えても同様
に実行する。エディタ画面とデバッガ画面の切替えはモ
ードのサブメニューのエディタへ(4710)とデバッ
ガへ(4711)から行なう。
【0134】エディタ画面は、複数のメニュー(401
0〜4016)の中のサブメニュー選択か、または、編
集するシートの特定の場所(シート上の行(402
5)、シート上部に配置されたボタン(4017〜40
24))をクリックすることで、もしくは、テンプレー
ト(4551)の言語一覧表(4560)、シートの一
覧表(4561)、関数の一覧表(4562)の配置さ
れたものよりマウスもしくはキーボードで選択すること
により、編集を行い、実行する順番と、実行する内容を
記述するもの。デバッガは、上記エディタで記述された
内容をもとにコンパイラが実行するとき、複数のメニュ
ー(4010〜4016)の中のサブメニュー選択か、
または、編集するシートの特定の場所(シート状の行
(4025〜4035))をクリックすることにより、
その実行を制御するための画面を提供するもの。
【0135】ファイルメニュー 第67図に従ってファイルメニューの構成を説明する。
「プロジェクト新規作成」(4060)は、新たにプロ
ジェクトを作成するための宣言を行なうメニューであ
り、このメニューを選択すると、第68図のようなプロ
ジェクト名入力画面が表示され、この画面でプロジェク
ト名をフィールド4074に入力する。第68図の例で
は、「パワー調整」というプロジェクトが宣言されてい
る。プロジェクト名入力画面は、マウスクリックにより
動作するボタン(OK、キャンセル)とキーボードより
入力可能な入力欄(4074)からなる。OKは、クリ
ックされると、プロジェクト名入力欄(4074)に入
力された名前のプロジェクトを新規に作成し、このプロ
ジェクトに属するシートが、プログラマによって入力可
能となる。キャンセルボタンは、この画面が呼び出され
る前の画面に戻る。
【0136】ファイルメニューから「プロジェクトオー
プン」メニュー(4061)が選択されると、第70図
のようなプロジェクト名選択画面(4054)が表示さ
れ、この画面でオープン可能なプロジェクト名がダイア
ローグ4094中にリスト表示される。オープンしたい
プロジェクトをマウス等でクリックする。プロジェクト
名選択画面は、マウスクリックにより動作するボタン
(イジェクト、ドライブ、オープン、キャンセル)とマ
ウスクリックにより選択可能な登録されているプロジェ
クト名のスクロール可能な一覧表と、この一覧表の上に
配置されたドライブ欄(4095)からなる。イジェク
トボタンは、フロッピディスクドライブのように交換可
能なメディアの場合に、アクティブになり、クリックさ
れると、メディアがイジェクトされる。HDのように交
換不可能なメディアの場合には、動作不可能になる。ド
ライブボタンは、開く対象のプロジェクトの保存されて
いるドライブを指定するもので、クリックするたびに、
ドライブ欄(4095)の指定ドライブが変化する。オ
ープンボタンは、プロジェクト名一覧表に表示された中
から指定されたプロジェクトのデータをロードする。キ
ャンセルは、この画面が呼び出される前の画面に戻る。
【0137】ファイルメニューから「閉じる」(406
2)が選択されると、第71図のような保存の可否を問
う画面が表示される。保存可否設定画面は、マウスクリ
ックにより動作するボタン(はい、いいえ、キャンセ
ル)からなる。はいボタンは、クリックされるとデータ
を保存し、エディタを終了する。いいえボタンは、クリ
ックされるとデータを保存することなくエディタを終了
しエディタを呼び出した操作盤の画面に戻る。キャンセ
ルボタンは、この画面が呼び出される前の画面に戻る。
【0138】ファイルメニューから「プロジェクト保
存」(4063)が選択されると、第69図のようなプ
ロジェクト保存画面が表示される。プロジェクト保存画
面は、当該プロジェクトを保存するときに、そのプロジ
ェクトの名前を入力するための画面で、その名前はフィ
ールド4084にキーボードを介して入力する。プロジ
ェクト保存画面には、クリックにより動作する複数のボ
タン(イジェクト,ドライブ,保存,キャンセル)が定
義されている。イジェクトボタンは、フロッピディスク
ドライブのように交換可能なメディアの場合に、アクテ
ィブになり、クリックされると、FDメディアがイジェ
クトされる。HDのように交換不可能なメディアの場合
には、イジェクトボタンは動作不能になる。ドライブボ
タンは、保存するドライブを指定するもので、クリック
する度に、ドライブ欄(4085)の指定ドライブが変
化する。保存ボタンは、ドライブ欄(4085)に指定
されたドライブに、当該プロジェクトをフィールド40
84に入力された名前でもって保存する。キャンセルボ
タンは、第69図のプロジェクト保存画面をキャンセル
し前の画面に戻る。
【0139】ファイルメニューから「名前を変えて保
存」(4064)が選択されると、第69図のようなプ
ロジェクト保存画面が表示される。ファイルメニューか
ら「用紙設定」メニュー(4065)が選択されると、
第72図のような用紙設定画面が表示される。用紙設定
画面には、マウスクリックにより動作する4つのボタン
(OK、キャンセル、オプション、ヘルプ)と、マウス
クリックによる用紙選択ボタンと、機能選択ボタンと、
キーボードより入力して拡大縮小率を設定するフィール
ドからなる。
【0140】ファイルメニューから「プリント」メニュ
ー(4066)が選択されると、第73図のようなプリ
ント設定画面が表示される。プリント設定画面は、マウ
スクリックにより動作するボタン(OK、キャンセル、
ヘルプ)、マウスクリックによる選択ボタン(「紙送
り」、「プリント種類」)とキーボードより入力可能な
入力欄(「印刷ページ範囲」、「部数」)からなる。
【0141】ファイルメニューから「終了」(406
7)が選択されると、第71図の保存可否設定画面を表
示した後に、このプログラムを終了する。編集メニュー 以下、編集メニューの構成について第74図などを用い
て説明する。編集メニューには、サブメニューとして、
取消(4210)、カット(4211)、コピー(42
12)、ペースト(4213)、クリア(4214)、
全てを選択(4215)、削除(4216)が容易され
ている。これらのサブメニューは通常のパソコンのユー
ザインタフェースと同じであるので、説明は省略するサ
ブメニュー「変更」(4217)について説明する。こ
のサブメニューが選択されると、第75図の変更内容入
力ウインド(4202)を表示する。
【0142】変更内容入力ウインド(4202)は、マ
ウスクリックにより動作するボタン(OK、キャンセ
ル)とキーボードにより入力可能な変更内容入力フィー
ルド(4222)からなる。OKボタンがクリックされ
ると、カーソル(4230)が指示する位置の欄(42
31)の内容が、変更内容入力欄(4222)の内容に
よって置き換えられる。
【0143】第76図に変更後のサンプルプログラムを
示す。シートメニュー 以下、シートメニューの構成を第77図に従って説明す
る。シートメニューは、「シート新規作成」、「シート
オープン」、「閉じる」、「シートの登録」「シートの
削除」等のサブメニューが用意されている。
【0144】「シート新規作成」メニュー(4260)
が選択されると、シート名入力画面(第80図)を表示
する。シートオープン(4261)が選択されると、シ
ート名選択画面(第78図)を表示する。閉じるメニュ
ー(4262)が選択されると、シートの保存可否設定
画面(第79図)を表示する。「シートの登録」メニュ
ー(4263)が選択されると、現在開いているシート
のデータを、実行形式のデータに変換して登録して保存
する。なお、保存動作を行なうためにシート保存可否設
定画面(第79図)を表示する。
【0145】「シートの削除」メニュー(4264)が
選択されると、シート削除画面(第81図)を表示す
る。第80図のシート名入力画面は、新たにシートを作
成するときに、その名前を入力するための画面で、マウ
スクリックにより動作するボタン(オープン、キャンセ
ル)とキーボードより入力可能なシート名入力欄(43
32)からなる。オープンボタンがクリックされると、
シート名入力欄(4332)に入力された名前のシート
を新規に作成し、このシートを開く。キャンセルボタン
は、この画面が呼び出される前の画面に戻る。シート名
入力欄(4332)は、キーボードより入力可能で、そ
の名前を入力する。
【0146】シート名選択画面(第78図)は、マウス
クリックにより動作するボタン(オープン、キャンセ
ル)と登録されているシート名のスクロール可能(マウ
スクリックにより選択可能)な一覧表(4272)から
なる。オープンボタンは、シート名一覧表(4272)
に表示された中からマウスクリックにより指定されたシ
ートをオープンする。キャンセルボタンは、この画面が
呼び出される前の画面に戻る。
【0147】シート保存可否設定画面(第79図)は、
現在開いているシートの内容を、実行形式のデータに変
更し保存動作を行なうために、マウスクリックにより動
作する2つのボタン(登録、キャンセル)からなる。登
録ボタンは、実行形式のデータに変換させ、保存動作を
行いそのシートを閉じる。キャンセルボタンは、この画
面が呼び出される前の画面に戻る。シート名入力欄(4
312)は、キーボードより入力可能で、キー入力しな
い限り前回登録したときのシート名を自動的に表示して
いる。
【0148】シート削除画面(第81図)は、マウスク
リックにより動作する2つのボタン(削除、キャンセ
ル)とマウスクリックにより選択可能な登録されている
シート名のスクロール可能な一覧表(4362)からな
る。削除ボタンは、シート名一覧表(4362)に表示
された中から指定されたシートを削除するため削除可否
設定画面を表示する。キャンセルボタンは、この画面が
呼び出される前の画面に戻る。
【0149】削除可否設定画面(第82図)は、“削除
される”旨の警告と、マウスクリックにより動作するボ
タン(はい、いいえ)とからなる。はいボタンは、シー
ト名一覧表(第81図)に表示された中から指定された
シートを削除する。キャンセルボタンは、シート削除画
面(第81図)が呼び出される前の画面に戻る。変数メニュー 以下、「変数」メニューの構成を第83図に従って説明
する。「変数」メニューには、「変数リスト」、「変数
宣言」、「値表示」、「値変更」、「変数削除」の5つ
のサブメニューが用意されている。
【0150】「変数リスト」メニュー(4410)が選
択されると、変数種類選択画面(第84図)を表示す
る。変数種類選択画面(第84図)は、マウスクリック
により動作するボタン(OK、キャンセル)とマウスク
リックにより選択可能な4種類の変数の種類のボタン
(変数タイプ)からなる。OKは、変数タイプボタンに
よって選択された変数種類に応じた変数リスト表示画面
(第85図)を表示する。キャンセルボタンは、この画
面が呼び出される前の画面に戻る。変数タイプには、グ
ローバル変数、グローバル配列、ローカル変数、ローカ
ル配列の4種類があり、ボタン選択によりこの中の1つ
を選択可能となっている。
【0151】リスト表示画面(第85図)は、マウスク
リックにより動作するボタンOKとマウスクリックによ
り選択可能な登録されている変数名とコメントのスクロ
ール可能な一覧表(4431)とからなる。OKボタン
を押すと、この画面が呼び出される前の画面に戻る。変
数宣言メニュー(4411)が選択されると、変数宣言
入力画面(第86図)を表示する。変数宣言入力画面
は、マウスクリックにより動作するボタン(OK、キャ
ンセル)とマウスクリックにより選択可能な4種類の変
数の種類のボタン(変数タイプ)と、キーボードより入
力可能な欄(変数名入力欄(4446)とコメント入力
欄(4442))とからなる。OKボタンを押すと、変
数タイプ指定によって選択された変数種類に、変数名欄
の名前でもって、コメント欄の内容と共に登録がなされ
る。キャンセルは、この画面が呼び出される前の画面に
戻る。
【0152】値表示メニュー(4412)が選択される
と、変数名入力画面(第87図)を表示する。第87図
の変数名入力画面は、マウスクリックにより動作するボ
タン(OK、キャンセル)とマウスクリックにより選択
可能な4種類の変数タイプボタンと、キーボードより入
力可能な欄(変数名入力欄(4468))と、変数種類
がローカル配列もしくは、グローバル配列を選んだとき
のみキーボードより入力可能となる欄(配列行数欄(4
466)と配列数欄(4467))とからなる。OKを
クリックすると、変数値表示画面(第88図)を表示す
る。キャンセルは、この画面が呼び出される前の画面に
戻る。
【0153】変数値表示画面(第88図)は、マウスク
リックにより動作するボタン(OK)と変数名表示欄
(4471)、値表示欄(4472)とからなる。OK
ボタンが押されると、この画面が呼び出される前の画面
に戻る。値変更メニュー(4413)が選択されると、
変数名入力画面(第89図)を表示する。第89図の変
数名入力画面は、マウスクリックにより動作するボタン
(OK、キャンセル)とマウスクリックにより選択可能
な4種類の変数タイプを指定するボタンと、キーボード
より入力可能な変数名入力欄(4488)と、変数種類
がローカル配列もしくは、グローバル配列を選んだとき
のみキーボードより入力可能となる欄(配列行数欄(4
486)、配列列数欄(4487))とからなる。OK
をクリックすると、変数値入力画面(第90図)を表示
する。キャンセルは、この画面が呼び出される前の画面
に戻る。第90図の変数値入力画面は、マウスクリック
により動作するボタン(OK、キャンセル)と、変数名
表示欄(4493)とキーボードより入力可能となる値
入力欄(4492)とからなる。OKをクリックする
と、変数表示欄4493の値を値入力欄の値に変更す
る。キャンセルは、この画面が呼び出される前の画面に
戻る。
【0154】変数削除メニュー(4414)が選択され
ると変数名削除画面(第91図)を表示する。変数名削
除画面は、マウスクリックにより動作するボタン(O
K、キャンセル)とマウスクリックにより選択可能な4
種類の変数タイプを指定するボタンと、キーボードより
入力可能な変数名入力欄(4516)とからなる。OK
をクリックすると、変数削除確認画面(第92図)を表
示する。キャンセルは、この画面が呼び出される前の画
面に戻る。
【0155】変数削除確認画面(第92図)は、マウス
クリックにより動作するボタン(削除、キャンセル)か
らなる。削除ボタンは、指示した変数の変数名を削除す
る。キャンセルは、変数名の削除画面が呼び出される前
の画面に戻る。ウインドメニュー 以下、ウインドウメニューの構成を第93図に従って説
明する。
【0156】ウインドウメニューをクリックすると、
「操作パネル」と「テンプレート」というメニューが表
示される。「操作パネル」メニューを選択すると、操作
画面選択画面が表示され、連動画面の操作盤を完了し戻
ってくることができる。「テンプレート」メニューを選
択すると、第94図のようなテンプレート画面を表示す
る。テンプレート画面は、マウスクリックにより動作
し、現在表示されている画面の設定を承認するボタン
(4575)と、クローズボタン(4576)と、マウ
スクリックにより選択可能でかつスクロール可能な一覧
表と、キーボードより入力可能な欄(演算式入力欄(4
573))からなる。この一覧表は、「言語」リスト
(4570)と、「シート」リスト(4571)と、
「演算」リスト(4570)とを含む。第94図の例で
は、「演算」リスト(4570)が選択されているため
に、このリストのスクロールバーが灰色に表示されてい
る。「言語」リスト(4570)と「シート」リスト
(4571)とが選択されているとき、OKボタン(4
575)をクリックすると、「シート」リスト上のカー
ソルの有る欄に、「言語」リストの選択された内容を挿
入する。演算式入力欄(4573)が選択されていると
き、OKボタン(4575)をクリックすると、「シー
ト」リスト上のカーソルの有る欄にリストの選択された
内容を挿入する。演算リスト(4571)は、四則演
算、論理演算、関数演算の記号を表示する。演算式入力
欄(4573)が選択されているとき、「演算」リスト
(4570)を選択すると、その内容を演算式入力欄
(4573)のカーソルの有る位置に挿入する。即ち、
「演算」リスト(4570)中の演算記号を選択するこ
とにより、入力欄(4573)中に演算式を作成する。
【0157】言語リスト(4570)は、AD、DA、
PM、RS、GPIB、OUT、INなどよりなる。シ
ートリスト(4571)は、シート登録されたシート名
を全て表示する。「クローズ」(4576)は、この画
面(4551)が呼び出される前の画面に戻る。
【0158】デバッグメニュー 以下、デバッグメニューの構成を説明する。デバッグメ
ニューは以下のサブメニューを有する。第95図を参
照。即ち、「スタートメイン」サブメニュー(461
0)、「スタートシート」サブメニュー(4611)、
「GO」サブメニュー(4612)、「GOワンステッ
プ」サブメニュー(4613)、「GOワンステートメ
ント」サブメニュー(4614)、「ブレークポイント
設定」サブメニュー(4615)、「ブレークポイント
解除」サブメニュー(4616)、「全て解除」サブメ
ニュー(4617)、「ブレークポイント表示」サブメ
ニュー(4618)である。
【0159】「スタートメイン」サブメニュー(461
0)を選択すると、第96図に示されたシート名“MA
IN”の先頭のステートメントからブレークポイント
(4620)位置のステートメントまでを順に実行す
る。ブレークポイント位置のステートメントを実行する
ときは、カーソルの位置をブレークポイントの位置に表
示する。尚、第96図の例では、ブレークポイントは5
行目と8行目のステートメントに設定されている。
【0160】「GO」(4612)サブメニューを選択
すると、現在表示されているシートの中で最も前面にあ
るシート(アクティブなシート)にあるカーソル位置か
らブレークポイント迄を実行する。「GOワンステッ
プ」(4613)メニューを選択すると、現在表示され
ているシートの中で最も前面のシートのカーソル位置か
らの1命令のみ実行し、カーソルを一行進める。実行対
象の命令がシートの時は、そのシート名のシートを開き
カーソルをその先頭に移す。シートが終了したときは、
そのシートを閉じ、戻るシートを前面に出す。
【0161】「GOワンステートメント」(4614)
メニューを選択すると、現在表示されているシートの中
で最も前面のシートのカーソル位置からの1命令のみ実
行し、カーソルを一行進める。シートが終了したとき
は、そのシートを閉じ、戻るべきシートを前面に表示す
る。「ブレークポイント設定」(4615)メニューを
選択すると、最前面にあるシート上のカーソルの置かれ
ているる欄の行番号がブレークポイントに設定され、そ
のことを示すために、その行番号を中抜き文字(462
0)で表記する。そして、各行の実行内容のリストの中
のブレークポイントフラグをオンにし、かつ、ブレーク
ポイントのリストにこれを加える。
【0162】「ブレークポイントの解除」(4616)
メニューを選択すると、前面にあるシートのカーソルの
ある欄の行番号がブレークポイントから解除され、その
ことを示すために、当該行番号は中抜き文字でない通常
の文字で表記される。そして、各行の実行内容のリスト
の中のブレークポイントフラグをオフにし、かつ、ブレ
ークポイントのリストからこれを削除する。
【0163】「全て解除」(4617)メニューは、す
べての実行内容のリストの中のブレークポイントフラグ
をオフにし、かつ、ブレークポイントのリストから全て
を削除する操作を行う。そして、すべてのシートの行番
号は中抜き文字でない通常の文字で表示される。「ブレ
ークポイント表示」(4618)サブメニューは、ブレ
ークポイント一覧リスト(4603)を表示する。「ブ
レークポイント一覧リスト」(4603)は、マウスク
リックにより動作するOKボタン(4630)とブレー
クポイントのかかっているすべての、シート名、行NO
を表示するスクロール可能な一覧表(4632)からな
る。ボタン(4630)を押すと、この画面(460
3)が呼び出され以前の画面に戻る。
【0164】モードメニュー 以下、モードメニューの構成を説明する。第97図を参
照。「モード」メニューを押すと、「エデイットモー
ド」という表示4710と「デバッグモード」という表
示4711が表示される。表示4710と4711のう
ち、現在アクチブな方のモードが濃く表示され、インア
クテイブな方のモードが薄く表示される。モードを変更
するときは、モードメニュウにおいて、選択したいモー
ドの表示を選択するればよい。
【0165】エデイットモードにおいては、ファイルメ
ニュー(4010)の全て(第67図を参照)、編集メ
ニュー(4011)の全て(第74図を参照)、シート
メニュー(4012)の全て(第77図を参照)、変数
メニュー(4013)の全て(第83図を参照)、ウイ
ンドウメニュー(4014)の全てのメニュー(第93
図を参照)が実行可能である。また、エデイットモード
においては、モードメニューの「デバッグモード」(4
711)を選択することが可能である。
【0166】デバッグモードでは、以下のメニューの実
行を可能にする。シートメニュー(4012)の「シー
トオープン」(4261)と「閉じる」(4262)、
「変数メニュー」(4013)の「変数宣言」(441
1)以外の全て、デバッグメニュー(4015)の全
て、ウインドウメニュー(4014)の「操作盤」(4
560)、「モードメニュー」(4016)の「エディ
タモード」(4710)を選択すること。
【0167】デバッグのメニュー(4051)では、ス
タートメイン(4610)、スタートシート(461
1)、GOワンステップ(4612)、GOワンステー
トメント(4613)、ブレークポイント設定(461
4)、ブレークポイント解除(4615)、全てを解除
(4616)、ブレークポイント表示(4617)のサ
ブメニューからなる。
【0168】以上のようにして作成されたシートプログ
ラムは、シーケンスの理解が容易であり、データの変更
もしやすくなることで、プログラムの作成とデバッグの
時間を短縮することができる。第14図に関連して簡単
に説明したように、本計測システムは、CPU#1とC
PU#2のデユアルプロセッサシステムであり、パワー
アップにより、両CPUは初期化を行い、CPU#1側
は“操作盤MAIN”を起動する。この操作盤MAIN
は、上述のシートプログラムを作成し、実行させること
ができる。
【0169】そこで、次に、第7図のシステムがパワー
アップされたときの初期化動作について説明する。 〈パワーアップシーケンス〉第98図はCPU1008
(第7図のCPU#2)のパワーアップシーケンスを、
第99図はCPU100(第7図のCPU#1)のパワ
ーアップのための初期化シーケンスを示す。
【0170】CPU1008が立ち上がると、ステップ
S1051において、コマンド領域(メモリ1007
内)を00000hでクリヤする。ステップS1052で
は、所定番地の#3チェックアドレスに0FFFFhを書き
込む。次に、ステップS1053で、#1チェックアド
レスに0FFFFhを書き込む。一方、CPU1000が立
ち上がると、第99図のステップS1071でハードデ
ィスク1003から所定のプログラムをメモリ1004
にロードして、このプログラムを実行する。このプログ
ラムが実行されると、ステップS1072で、ユーザが
入力したドライバの数(後述)を#2チェックアドレス
に書き込む。次に、CPU1000はステップS107
3〜ステップS1074のループで、メモリ1007の
#1チェックアドレスがCPU1008によって0FFFF
hに書き換えられるのを待つ。第98図のステップS1
053で#1チェックアドレスはCPU1008によっ
て0FFFFhに書き換えられている。従って、第99図の
CPU1000の制御手順は、ステップS1075に進
み、そこで、#1チェックアドレスを“0”にクリヤす
る。そして、ステップS1076に進み、#3チェック
アドレスがCPU1008によって0FFFFh以外の値に
書き換えられるのを待つ。
【0171】第98図のステップS1055では、CP
U1008は、#1チェックアドレスがCPU1000
によって0FFFFh以外の値に書き換えられるのを待つ。
#1チェックアドレスはステップS1075においてC
PU1000によって“0”に書き換えられている。従
って、CPU1008の制御はステップS1056に進
み、A/Dドライバモジュール1009〜GPIBドラ
イバモジュール1015のためのドライバソフトを初期
化する。尚、ステップS1056でCPU1008がど
のドライバを初期化すべきかは、第99図のステップS
1072において、CPU1000が#2チェックアド
レスに初期化情報を書き込んでいるので、CPU100
8がその値を読み取ることにより分かる。ステップS1
057では、CPU1008はいずれかのドライバに初
期化エラーがあったかを調べる。エラーがなければ、#
3チェックアドレスを“0”にクリアしてメインルーチ
ンに進む。一方、初期化エラーがなければ、ステップS
1058で#3チェックアドレスを80000hにセットし
てステップS1059で停止する。
【0172】一方、CPU1000は、ステップS10
77で#3チェックアドレスが0000h以外の値に書き換
えられるのを待つ。前述したように、#3チェックアド
レスは、初期化エラーがなければ“0”であり、エラー
があれば8000hであるから、CPU1008による初期
化が終了すると、ステップS1078に進み、#3チェ
ックアドレスの値が0000hであるか8000hであるかを調
べる。#3チェックアドレスの値が8000hであれば、そ
れはCPU1008が初期化エラーを検出したことを示
しているので、ステップS1079でエラー表示を行な
う。
【0173】〈操作盤MAINプログラム〉次に、第1
00図〜第106図を参照して、CPU#1によって実
行される操作盤MAINプログラム(第99図のステップS
1081で起動される)の制御手順について説明する。
このMAINは、ステップS1101,ステップS110
2,ステップS1103を順に実行する。ここで、ステ
ップS1103の○印は、ステップS1103を実行す
るタイミングにおいて、この丸印から下方に連続するス
テップ(第100図の例では、ステップS1104,ス
テップS1105,ステップS1106,ステップS1
107,ステップS1109,ステップS1115,ス
テップS1120)を連続して実行すべきことを意味す
る制御演算子である。
【0174】先ず、ステップS1101において内部フ
ラグであるところの各種異常フラグを初期化する。ステ
ップS1102では、第107図の操作画面をCRT1
001上に表示する。この操作表示画面は、第45図に
おいて示した手動操作盤1017に一部対応したスイッ
チ類の表示を行う。即ち、操作盤1017がどのように
操作されたかは、CRT1001上に表示された第1G
J図の画面を見ることによって確認できる。
【0175】ステップS1103以下のループでは、ス
テップS1104,ステップS1105,ステップS1
106,ステップS1107,ステップS1109,ス
テップS1115,ステップS1120を順に実行す
る。ステップS1104は、手動操作盤1107の“原
点”スイッチ(第48図のアドレス“00D0”のビッ
ト4〜7)をチェックするステップである。ステップS
1105は、手動操作盤1107のスイッチ“06”
(第47図のアドレス“00D4”のビット1)の状態
を読み込んで、対応する表示をCRT1001に行うス
テップである。ステップS1106は、外部コントロー
ラ1018との通信を行うステップであり、ステップS
1107は、手動操作盤1107の“異常解除”スイッ
チ(第48図のアドレス“00D0”のビット3)をチ
ェックするステップであり、ステップS1109は、手
動操作盤1107の“原点復帰”スイッチ(第48図の
アドレス“00D0”のビット1)をチェックするステ
ップであり、ステップS1115は、手動操作盤110
7のスイッチ“06”(第48図のアドレス“00D
0”のビット4〜7)に応じた制御手順に振り分けるス
テップである。
【0176】詳細には、ステップS1104では以下の
動作を行う。即ち、先ず、ラベル“原点CK”の値をI
Nドライバモジュール1011を介して読みとる。ラベ
ル“原点CK”は、第53図に示したSW入力画面22
70によって、このラベルと操作盤1017上の実際の
スイッチとの対応がINラベルフィールド2277(第
53図)によって前もって指定されている。同テーブル
2270のフィールド2276はOUTラベルを指定し
ている。このOUTラベルは、INラベル2277によ
って示された信号が入力されたときに、出力するLED
のラベルを指定する。即ち、手動操作盤1017上にお
いて、“原点CK”というスイッチが操作されたなら
ば、操作表示画面2300(第107図)の“原点”2
305というボタンを黒く反転する。また、ステップS
1104では、続いて、手動操作盤1017(第45
図)上の“原点”LED(LED0000)をOUTドライ
バモジュール1012を介して点灯する。
【0177】続くステップS1105では、第48図の
アドレス“00D0”と“00D1”のデータをINド
ライバモジュール1011から入力し、運転モードビッ
ト(“00D0”の4〜7番目のビット)に応じて、表
示画面2300(第1GJ図)上のアイコン2250
を、例えば、第108図の如く表示する。また、I/O
マップのアドレス“00D1”の値に応じて、アイコン
2251を例えば第109図の如く表示する。
【0178】ステップS1106では、外部コントロー
ラ1018に対して、第7図のシステムがどのような状
態にあるかを伝えるものである。即ち、外部コントロー
ラ1018に対して、第46図に示す如く、“起動
可”、“機械原点”、“異常”、“インタロック”、
“GO/NG”、“起動中”を出力する。そこで、ステ
ップS1106で、第110図に示す如く、運転モード
信号(“オンライン”、“オフライン”、“規格”、
“構成”の4状態)と、本システムの内部異常を示すフ
ラグと、INドライバモジュール1011が外部コント
ローラ1018から入力した“自動/手動”ビット(第
47図の00D4:0)とによって、起動可条件を決定
する。この起動可条件はOUTドライバモジュール10
12を介して手動操作盤上の“起動可”LEDを表示
し、併せてCRT1001上のアイコン2305を黒く
点灯する。
【0179】次に、第100図のステップS1107で
は、手動操作盤1107上の異常復帰ボタン(第45図
のSW02)の状態をINドライバモジュールを介して、I
/Oマップの00D0:3ビットから読みとる。このビ
ットが1ならば、ステップS1108に進んで、OUT
ドライバモジュール1012を介してビット00D0:
3を0にして、操作盤1017上の異常LEDを消灯す
る。ラベル“異常復帰”にはOUTラベルとして操作表
示画面2300のアイコン2255に対応した定義がな
されているので、このアイコン2255も消灯される。
【0180】次のステップS1109では、手動操作盤
1107上の“原点復帰”スイッチ(SW01)がオンされ
ているかを、I/Oマップのアドレスビット00D0:
1の値を調べることにより調べる。オンしているなら
ば、ステップS1110に進んで、シート“原点復帰”
を実行する。シートについては後述する。ステップS1
111ではシート“原点復帰”の終了を待つ。ステップ
S1112では処理結果が異常が否かを調べる。異常で
あれば、ステップS1113で手動操作盤上の“異常”
LEDを点灯し、CRT1001上においてもアイコン
2255の“異常”を点灯する。異常がなければ、ステ
ップS1114で原点出し終了フラグ(内部フラグ)を
1にする。
【0181】第100図のステップS1115では、手
動操作盤1107から読みとった動作モードに応じて、
オンライン処理(ステップS1116)、オフライン処
理(ステップS1117)、規格処理(ステップS11
18)、校正処理(ステップS1119)を行う。オンライン処理 手動操作盤1017に対する操作によって、オンライン
モードが選択されている場合には、第101図の制御手
順が実行される。即ち、同図のステップS1131で
は、外部コントローラ1018からの信号(第GD図の
00D4:0)によって、コンベア(不図示)が自動モ
ードが手動モードにセットされているかを調べる。自動
モードであるならばステップS1133に進んで自動処
理(その詳細は第102図)を行い、手動モードである
ならば、ステップS1132で手動処理(その詳細は第
103図)を行う。
【0182】コンベアが自動モードになっている場合に
は、ステップS1140〜ステップS1157(第10
2図)の自動処理が実行される。同図のステップS11
41では内部の異常フラグをチェックする。異常フラグ
が1であるならば、ステップS1142でnop処理を
行って(何もせずに)、ステップS1157でこの自動
処理を終了する。一方、異常でなければ、ステップS1
143で“起動可”条件が成立しているかを調べる。こ
の条件は第110図に関連して説明した。
【0183】この条件が非成立ならば制御はステップS
1157に進んで終了する。この条件が成立ならばステ
ップS1144に進んで、外部コントローラ1108か
らの起動指令情報である“起動”(第47図の00D
4:5ビット)を調べる。この指令がアクティブなら
ば、ステップS1145で“起動中”を1にする、即
ち、OUTドライバモジュール1012を介して“起動
中”ビット(第46図の00D4:5ビット)を“1”
にする。更に、ステップS1146で、シートプログラ
ム“MAIN”を起動する。このシート“MAIN”は
前述したように、第7図のシステムの計測動作を具体的
に記述したプログラムであり、その具体例を第57図〜
第60図に示した。
【0184】ステップS1147では、シート“MAI
N”の実行が終了したことを確認するために、フラグ
“g_終了FLG”の値を調べる。このフラグ“g_終
了FLG”は、第57図〜第60図の例では、第58図
のステップS2044の“終了処理”においてセットさ
れる。“g_終了FLG”の値は、正常終了であれば
“0000”hが、NG終了であれば“8001”h
が、連続してNG終了であれば“8002”hが、異常
終了であれば“8003”hがセットされている。
【0185】ステップS1148で“g_終了FLG”
が“000”hであることが確認されたならばステップ
S1149で“GO処理”を行う。この処理は、外部コ
ントローラ1108に対してOUTドライバモジュール
1012を介して00D4:4ビット(第46図を参
照)を1にして出力するものである。この処理は、外部
コントローラ1108に対してOUTドライバモジュー
ル1012を介して00D4:4ビット(第46図を参
照)を1にし、併せて00D4:0ビット(“起動可”
ビット)を“1”にし、00D4:3ビット(インタロ
ックビット)を“1”にして出力することにより、外部
コントローラに対して、計測システム側では正常終了が
なされたことを知らせる。外部コントローラ1108が
例えばベルトコンベアを制御するものであれば、このコ
ントローラは次のワークを第7図のシステムに供給する
様に制御するであろう。この“GO処理”は、更に、0
0D0:6ビット(第49図)を“1”にして、操作盤
1107上の“OK”LEDを点灯させ、更に、CRT
1001上において“OK”アイコン(第107図を参
照)を点灯させる。その後に、ステップS1156を実
行して、“終了処理”を実行する。即ち、操作盤110
7上の“起動中”LEDを消灯し、さらに、CRT10
01上の画面中の“起動中”アイコンを白に反転する。
【0186】ステップS1150で“g_終了FLG”
が“8001”hであることが確認されたならばステッ
プS1151で“NG処理”を行う。この処理は、外部
コントローラ1108に対してOUTドライバモジュー
ル1012を介して00D4:4ビット(GO/NGビ
ット)を0にして出力することにより、コントローラ1
108に対して結果がNGであったことを知らせるもの
である。この“NG処理”は、更に、00D0:6ビッ
ト(第49図)を“0”にして、操作盤1107上の
“OK”LEDを消灯させ、更に、CRT1001上に
おいて“OK”アイコン(第107図を参照)を消灯さ
せる。更に、CRT1001上の画面中の”起動可”ア
イコンを白く反転させる。
【0187】ステップS1152で“g_終了FLG”
が“8002”hであることが確認されたならばステッ
プS1153で“連続NG処理”を行う。この処理は、
主導操作盤1107上の“連続不良”LEDを点灯し、
“異常”LEDを点灯し、更に、CRT1001画面
(第107図)上で“連続不良”アイコンと“異常”ア
イコンとを黒く反転させる。また、外部コントローラ1
108に対しては、“インタロック”ビットを“1”に
し、“GO/NG”ビットを“0”にして出力する。
【0188】ステップS1154で結果が“8003”
hであることが確認されたならば、手動操作盤1107
上の“異常”LEDを点灯し、CRT1001上の画面
(第107図)の“異常”アイコンを黒く表示する。更
に、外部コントローラ1108に対しては、“インタロ
ック”ビットを“1”にし、“GO/NG”ビットを
“0”にして出力する。
【0189】以上が、コンベアは自動モードになってい
るとの通知がコントローラ1108からあった場合に実
行される“自動処理”の詳細である。次に、ステップS
1131(第101図)において、コンベアは手動モー
ドになっているとの通知がコントローラ1108からあ
った場合について説明する。この時は、前述したよう
に、ステップS1132で“手動処理”を実行する。そ
の詳細は第103図に示されている。
【0190】第103図のステップS1161におい
て、操作盤1107のマトリックスデータを読みとる。
即ち、前述のように、操作盤1017(第45図)のS
W1〜SW32の操作状態を、INドライバモジュール
1011を介して読みとる。マトリックスデータ0〜1
5のI/Oマップを第48図に示す。更に、このマトリ
クスデータとストローブ出力(第49図)との関係を第
50図,第51図に示す。
【0191】ステップS1162では、いずれかのスイ
ッチが押されているかを調べる。ステップS1163と
ステップS1165では、スイッチの種類が出力のスイ
ッチ(ステップS1163)か、モータ用のスイッチ
(ステップS1165)かを、SW設定テーブル227
0のフィールド2271から調べる。即ち、フィールド
2271には、スイッチ名称もしくはモータの軸の名称
が前もって記憶されている。スイッチ名称が記憶されて
いれば、テーブル2270を参照して、INラベル(フ
ィールド2277)に示された条件が満足しているかを
調べる。満足していれば、OUTラベル(フィールド2
276)の出力を行う。条件を満足していなければ、O
UTラベルの出力を行わない。この場合のOUTラベル
は、例えば、インタロック条件をチェックして、異常フ
ラグをオンにし、“異常”LED(操作盤1107上)
を点灯させるものである。
【0192】一方、押されたスイッチがモータの軸名称
を示すものであれば、ステップS1166でそのラベル
を実行する。即ち、指定されたモータ軸をインチング駆
動する。オフライン処理 ステップS1115(第100図)で運転モードが“オ
フライン”モードにあると判定された場合には、第10
4図の制御手順が実行される。オンラインモードとは、
外部コントローラ1108と協調をとりながら(コント
ローラ1108が起動可であるかどうかを調べながら)
計測システムを動作させるモードであり、オフラインモ
ードは、手動操作盤1107上の“起動”スイッチ(第
45図のSW00)の設定に従って起動を行うモードで
ある。
【0193】第104図のステップS1171は第10
2図(オンライン処理における“自動処理”)のステッ
プS1141と同じである。即ち、内部の異常フラグを
調べ、異常がなければステップS1172以下を実行す
る。ステップS1172は、上の“起動”スイッチ(第
45図のSW00)の設定を調べる。このスイッチがオ
ンになっていれば、ステップS1173以下を行う。ス
テップS1173〜ステップS1184の処理は、外部
コントローラ1108への報知動作を行わないという点
をのぞけば、ステップS1145〜ステップS1156
(第102図)と同じである。
【0194】規格モード処理 運転モードが、ステップS1115(第100図)にお
いて“規格”モードにあると判定された場合には、第1
05図の制御手順を実行する。即ち、同図のステップS
1191において、規格設定操作画面(第54図)を表
示する。校正モード処理 運転モードが、ステップS1115(第100図)にお
いて“校正”モードにあると判定された場合には、第1
06図の制御手順を実行する。
【0195】即ち、同図のステップS1196におい
て、手動操作盤1107の“起動”スイッチ(SW0
0)が押されたかを、INドライバモジュール1011
を介して調べる。“起動”スイッチの状態は、I/Oマ
ップ(第48図の00D0:0ビット)によって知るこ
とができる。操作者が“校正”モードを起動したことを
確認できたならば、ステップS1197でラベル“校
正”を起動する。
【0196】即ち、外部コントローラ1108に対して
は、OUTドライバモジュール1012を介して“起動
中”(第46図の00D4:5ビット)を“1”にし、
“起動可”ビット(第46図の00D4:0ビット)と
“インタロック”ビット(第46図の00D4:3ビッ
ト)とを“0”にして出力する。更に、CRT1001
上の画面(第107図)において、“起動可”アイコ
ン、“OK”アイコン、“NG”アイコンを白く反転す
る。更に、OUTドライバモジュール(I/Oマップは
第49図)を介して、1012操作盤1017上の“起
動可”LED,“OK”LED,“NG”LEDを消灯
し、“起動中”LEDを点灯する。
【0197】更に、第52図のテーブル2250中のS
W名フィールド2260をサーチして、“校正”という
名称を有するスイッチを探す。サーチされたスイッチに
ついてのデータと、操作者が操作した操作盤1017上
の“印字校正”モードスイッチ(第45図のSW04)
の値(この値はI/Oマップ(第48図)の00D1:
4〜7によって知られる)で表される16進数に該当す
る変数名をシート名として実行する。
【0198】ステップS1198では、そのシートの実
行終了を待つ。ステップS1199〜ステップS120
3では、フラグ“g_終了FLG”の値に応じた処理を
実行する。 〈ドライバモジュールの動作〉以上が、“操作盤MAI
N”というラベル名を有するプログラムの実行手順の説
明である。
【0199】即ち、この“操作盤MAIN”というプロ
グラムは、手動操作盤1017などになされた入力にも
続いて動作モードを決定し、そして、ステップS106
1等で、シート“MAIN”(第57図〜第60図)を
実行する。CPU#1はステップS1061でシートプ
ログラム“MAIN”を実行した場合に、MAIN中の
各コマンドをCPU#2に転送する。第111図は、C
PU#2が転送されてきたコマンドに応じて、対応する
ドライバモジュールを起動する制御手順を示す。
【0200】即ち、ステップS1220〜ステップS1
234は、CPU#1から受け取ったコマンドをCPU
#2が実行する制御手順である。ステップS1221の
○印は、この丸印からしたに連続するステップ(第11
1図の例では、ステップS1222,ステップS122
3,ステップS1231)を連続して実行すべきことを
意味する制御演算子である。
【0201】第7図のシステムは、前述したように、A
D〜GPIBまでの7つのドライバモジュールを有す
る。これらの7つのドライバモジュールに対して、予め
所定のニーモニックを有するコマンドが用意されてお
り、ユーザはこのコマンドを使ってプログラムを記述す
る。これらのコマンドは、ADドライバモジュール10
09のためにはAD、DAドライバモジュール1010
のためにはDA、INドライバモジュール1011のた
めにはIN、OUTドライバモジュール1012のため
にはOUT、RSドライバモジュール1013のために
はRS、MOTORドライバモジュール1014のため
にはPM、SM、MM、GPIBドライバモジュール1
011のためにはGPIBである。
【0202】これらのコマンドを、CPU#2は、ステ
ップS1222でバスコンバータ1005,1006を
介して受け取る。すると、CPU#2は、ステップS1
223で、受け取ったコマンドの第1パラメータを調べ
る。第1パラメータの値が7000hであれば、このコマン
ドをADコマンドとみなしてステップS1224で実行
する。また、7001hであれば、このコマンドをDAコマ
ンドとみなしてステップS1225で実行する。7002h
であれば、このコマンドをINコマンドとみなしてステ
ップS1226で実行する。7003hであれば、このコマ
ンドをOUTコマンドとみなしてステップS1227で
実行する。7004hであれば、このコマンドをRSコマン
ドとみなしてステップS1228で実行する。7005hで
あれば、このコマンドをGPIBコマンドとみなしてス
テップS1229で実行する。7006hであれば、このコ
マンドをMOTORコマンドとみなしてステップS12
30で実行する。
【0203】ステップS1231では、実行されたコマ
ンドの結果にエラーがあったかを調べる。エラーがあれ
ば、所定のメモリ番地にエラー情報を書き込み、前記第
1パラメータを8000hに書き換える。一方、エラーがな
ければ、上記第1パラメータ領域を0000hに書き換え
る。CPU#1は、この第1パラメータ領域を監視する
ことにより、自身が送ったコマンドの終了、及び結果を
知ることができる。
【0204】〈ドライバの動作〉第112図はCPU#
1とCPU#2との間のデータ通信に使われるメモリ1
004のメモリマップをあらわす。XX...hは16
進表現のメモリ番地をあらわす。XXはハードウエアの
構成に応じて適宜定められる。即ち、0000h〜03
FFhまでがINドライバモジュール1011に、04
00h〜07FFhまでがOUTドライバモジュール10
12に、0800h〜0BFFhまでがOUTドライバモ
ジュールの出力パターン用に、0C00h〜0FFFhま
でがDAドライバモジュール1010に、1000h〜
13FFhまでがDAドライバモジュール1010の出
力パターン用に、1400h〜1BFFhまでがADドラ
イバモジュール1009用に、1C00h〜1FFFhま
でがGPIBドライバモジュール1015用に、200
0h〜23FFhまでがモータドライバモジュール101
4用に、2400h〜27FFhまでがRSドライバモジ
ュール1013用に、それぞれ割り当てられている。
【0205】シートプログラムに使われている例に沿っ
て、CPU#2が実際のドライバをどのように動かすか
を説明する。尚、第116図に、ハードコンフィギュレ
ーションファイルの構成を示し、第117図に5種類の
異なったドライバ構成の装置例を示す。また、第118
図は、CPU#2における初期化手順のより詳細な制御
手順を示すフローチャートである。
【0206】OUTドライバモジュール “OUT:押しつけシリンダON”がCPU#1により
実行され、生成された命令がCPU#2に渡され、CP
U#2がエアシリンダ31を駆動するまでを説明する。
“OUT:押しつけシリンダON”がCPU#1により
実行されると、CPU#1はメモリ1004のOUTド
ライバモジュール用の通信エリアの、 @XX0400h 命令コード=7FF1h(単純出力命
令) @XX0402h データ数=0001h @XX0404h モニタOFF=0000h @XX0420h ポートナンバー=0001h、 @XX0421h データ=0001h、 @XX0422h マスクのデータ=FFFEh @XX04A0h ラベル名=“押しつけシリンダO
N” を書き込む。
【0207】CPU#1上のオンボードコンピュータで
あるCPU#2は、メモリ1004のOUTドライバモ
ジュール用の通信エリアに命令が書き込まれたことを知
り、そこで、第111図のステップS1227の“OU
Tの実行”へ進む。“OUTの実行”では、CPU#2
は、メモリアドレスXX0402h おいてデータ数=
0001hであることを知ると、その数だけ、メモリ1
004のメモリアドレスXX0420hから順に、「ポ
ートナンバー」、「データ」、「マスク」を読み出す。
そして、ポートナンバーから、実際にデジタル出力すべ
き「物理アドレス」を計算し、さらに、「データ」と
「マスク」とに基づいて現在すでに出力されているデー
タから出力すべき16ビットデータを演算する。この演
算の際、現在の出力されているデータを読み込み、その
値と、「マスク」の論理積をとり、マスクのビット反転
したものとデータの論理積をとり、その2つのデータの
論理和をとる。
【0208】そして、デジタル出力する「物理アドレ
ス」と出力すべき「16ビットデータ」を、不図示の出
力ドライバルーチンへパラメータとして渡して、その出
力を実行する。その結果、出力ビットの先に接続され
た、押しつけエアーシリンダ31を動作させるソレノイ
ドバルブが駆動される。なお、「ポートナンバー」から
実際にデジタル出力する「物理アドレス」を計算する時
には、パワーアップ時に、CPU#1から渡された、
「ドライバの数」(第99図のステップS1072)と
「ポートナンバー」とを比較し、「ポートナンバー」が
「ドライバの数」より大きければエラーとする(第11
1図のステップS1232)。
【0209】また、第57図〜第60図の例のシートプ
ログラムには例示されていないが、パターン出力も可能
である。即ち、メモリアドレスXX0406h 記憶さ
れている「サンプリング時間」(mm秒)に示されてい
る間隔で、ポートナンバー1とポートナンバー2へ、メ
モリアドレスXX0600h 書かれたデータを、「命
令コード」の7FF2h 従って、ステップS1227
で実行する事ができる。
【0210】RSドライバモジュール 次に、“RS:初期データ転送”がCPU#1により実
行される場合を説明する。RSの通信エリアに、 @XX2402h チャンネル指定=0001h、 @XX2404h モニタオンオフ=0000h、 @XX2406h データ数=0001h、 @XX2420h データ=“0A:0384、13
(ASCIIコード) @XX24A0h ラベル=“初期データ転送” @XX2400h 命令コード=7FB1h(RS出力命
令を表す) が書き込まれる。そうすると、CPU#2は、第111
図のステップS1228の“RSの実行”へ進み、メモ
リアドレスXX2402hから「チャンネル指定」を読
んできて、メモリアドレスXX2420hから「出力デ
ータ値」を読んできて、この2つのデータをRSドライ
バルーチンへパラメータとして渡すことにより、「RS
出力」を実行する。ドライバルーチンは、実行した結果
エラーが起きたかどうかを調べ、起きた時はエラーコメ
ントを返す。エラーがなければCPU#2は、タイムオ
ーバかどうかをみてタイムオーバが起きた時はエラーと
して、エラーコメントを返す。
【0211】次に、“RS:OKREAD”がCPU#
1により実行されると、RSの通信エリアに、 @スXX2402h チャンネル指定=0001h、 @XX2404h モニタオンオフ=0000h、 @XX2406h データ数=0001h、 @XX2420h データの型=“%S”(ASCII
コード)、 @XX2422h 最終記号=キャリッジリターン(A
SCIIコード)、 @XX2400h 命令コード=7FB2h(RS出力命
令) が書き込まれる。
【0212】このコマンドを受けて、CPU#2は第1
11図のステップS1228の“RSの実行”へ進み、
メモリアドレスXX2402hから「チャンネル指定」
を読んできて、RSドライバルーチンへパラメータとし
て渡すことによりRS入力を実行する。ドライバルーチ
ンは、「RS入力」を実行した結果である入力データを
メモリに格納する。そして実行した結果エラーが起きた
かどうかと、起きた時はエラーコメントを返す。エラー
がなければCPU#2は、タイムオーバかどうかをみて
タイムオーバ起きた時はエラーとして、エラーコメント
を返す。
【0213】タイムオーバがなければCPU#2はメモ
リに格納されたデータが、メモリアドレスXX2420
h 書かれている「データの型」を表す値の通りの型を
持っているか(今回の例なら、“%S”のストリング型
であれば、エラーではない)を調べ、エラーがなけれ
ば、指定された型で、メモリアドレスXX2420hメ
モリに格納されたデータを書く。こうしてステップS1
228を終了する。
【0214】モータドライバモジュール “PM:照射位置粗調”がCPU1により実行される
と、PMの通信エリアに、 @XX2000h 軸指定=0003h、 @XX2002h 照射X軸の目標値(移動量Xの値)
=XXXXXXXX、 @XX2006h 照射X軸の加速時間=XXXX、 @XX2008h 照射X軸の減速時間=XXXX、 @XX200Ah 照射X軸の最高速=XXXX、 @XX200Ch 照射X軸の最低速=XXXX、 @XX200Eh 照射Y軸の目標値(移動量Xの値)
=XXXXXXXXh、 @XX2012h 照射Y軸の加速時間=XXXXh、 @XX2014h 照射Y軸の減速時間=XXXXh、 @XX2016h 照射Y軸の最高速=XXXXh、 @XX2018h 照射Y軸の最低速=XXXXh、 @XX2000h 命令コード=7E10h(PM命令) が書き込まれる。
【0215】そうすると、CPU#2は第111図のス
テップS1230の“MOTORの実行”へ進み、アド
レスXX2000hから「軸指定」を読んできて、アド
レスXX2002h〜XX200Chにあるパラメータ
を、軸指定1番目の軸(今回は物理番号“1”)のパラ
メータとしてPMドライバルーチンへ渡し、PM駆動を
実行する。そして、物理番号“1”のモータを上記駆動
条件でスタートさせる。次に、今回の例では物理番号2
の情報と上記メモリアドレスXX200Eh〜メモリア
ドレスXX2018hのパラメータをPMドライバルー
チンへパラメータとして渡し、PM駆動を実行し、物理
番号2のモータを上記駆動条件でスタートさせる。
【0216】ドライバルーチンは、実行した結果エラー
が起きたかどうかと、起きた時はエラーコメントを返
す。エラーがなければCPU#2は、タイムオーバかど
うかを見てタイムオーバ起きた時はエラーとして、エラ
ーコメントを返す。ADドライバモジュール “AD:光量測定”がCPU1により実行されると、A
Dの通信エリアの @XX1402h チャンネルナンバー=0001h、 @XX1404h データ数=000Ah、 @XX1406h レンジ=0000h、 @XX1408h インターバル時間=0001h、 @XX140Ah モニタオンオフ=0000h、 @XX140Ch 処理方法の平均=0001h、 @XX14A0h ラベル名=“光量測定”、 @XX1400h 命令コード=7FA1h(AD命令) が書き込まれる。
【0217】CPU#2は第111図のステップS12
24の“ADの実行”へ進み、アドレスXX1402h
から「チャンネルナンバー」を読んできて、チャンネル
ナンバーから実際にAD入力する物理アドレスを計算
し、メモリアドレスXX1408hから「インターバル
時間」を読み込み、メモリアドレスXX1404hから
「データ数」を読み込み、ADドライバルーチンへパラ
メータとして渡して、AD入力を実行する。その結果を
ドライバルーチンから得る。ドライバルーチンは、デー
タ数の回数インターバル時間毎にAD入力し値をメモリ
に蓄える実行した結果エラーが起きたかどうかと、起き
た時はエラーコメントを返す。
【0218】エラーがなければCPU#2は、ドライバ
ルーチンがメモリに蓄えたAD入力結果を、XX160
0hから書き込む。まず、XX1604hから、データ数
分のAD入力の値を書く。次に、メモリアドレスXX1
40Chに書かれた「処理方法」が「平均」なら、XX
1604hからデータ数分のAD入力の値の平均を計算
して、XX1600hに書く。
【0219】アドレスXX140Chに書かれた「処理
方法」が「max,min」ならば、XX1604hか
らデータ数分のAD入力の値の、max値をXX160
0hに書き、min値をXX1602hに書き、CPU#
2はステップS1224の“ADの実行”を終了する。
また「チャンネルナンバー」から実際にAD入力する物
理アドレス計算する時には、パワーアップ時にCPU1
から渡された「ドライバの数」と「チャンネルナンバ
ー」を比較し、「チャンネルナンバー」が「ドライバの
数」より大きければエラーとして、ステップSシーケン
ス1225を終了し、そうでなければエラー無しとす
る。
【0220】DAドライバモジュール 次に“DA:光量測定”がCPU1により実行される
と、DAの通信エリアの、 @XX0C20h 出力データ、 @XX0C02h チャンネルナンバー=0001h、 @XX0C04h レンジ=01FFh、 @XX0C06h モニタOFF=0000h、 @XX0C08h 単位=V(ストリング型のデー
タ)、 @XX04A0h ラベル名=“光量測定”、 @XX0C00h 命令コード=7FD1h(DA出力命
令) が書き込まれる。
【0221】そうするとCPU#2はステップS122
5の“DAの実行”へ進み、アドレスXX0C00hか
ら「チャンネルナンバー」を読んできて「チャンネルナ
ンバー」から実際にDA出力する物理アドレスを計算
し、メモリアドレスXX0C20hから出力データを読
み込み、DA出力ドライバルーチンへパラメータとして
渡し、DA出力を実行し、その結果をドライバルーチン
から得る。ドライバルーチンは、実行した結果エラーが
起きたかどうかと、起きた時はエラーコメントを返す。
【0222】またチャンネルナンバーから実際にDA出
力する物理アドレス計算する時には、パワーアップ時に
CPU1に渡された「ドライバの数」と「チャンネルナ
ンバー」を比較し、チャンネルナンバーがドライバの数
より大きければエラーとして、ステップS1225を終
了、そうでなければエラー無しとする。また、パターン
出力も可能であり、メモリアドレスXX0C06hの
「サンプリング時間」(ミリ秒)の間隔で「チャンネル
ナンバー」へ、メモリアドレスXX0E00hから書か
れたデータを、命令コードの7FD2hよりシーケンス
1225で実行する事ができる。
【0223】INドライバモジュール 次に“IN:押しつけシリンダONセンサ”がCPU1
により実行されると、デジタル入力通信エリアのメモリ
アドレスXX0420hから「ポートナンバー」,「ダ
ミー」,「マスク」のデータが0001h,0000h,
FFFEhと書かれ、 @XX0402h データ数=0001h、 @XX0404h モード=0003h、 @XX0406h タイムオーバ=5000(十進表
現)、 @XX0408h モニタ=0003h(OFF)、 @XX0420h ポートナンバー=0001h、 @XX0421h ダミー=0000h @XX0422h マスク=FFFEh @XX04A0h ラベル名=“押しつけシリンダON
センサ”、 @XX0000h 、入力命令を表す命令コードの7F
E1h が書き込まれる。
【0224】そうするとCPU#2はステップS122
6の“INの実行”へ進み、アドレスXX0402hの
「データ数」の値0001hを調べ、その数だけ、XX
0420hから(ポートナンバー,データ,マスク)を
読んでくる。「ポートナンバー」から実際にデジタル入
力する物理アドレスを計算し、入力ドライバルーチンへ
パラメータとして渡し、入力を実行し、その結果入力ビ
ットを読み込む。その値と、データ,マスク,モードか
ら、入力データがステップS1227の終了条件に一致
しているかを調べる。一致していなければ、メモリアド
レスXX0406hのタイムオーバ(5000m秒)が
経過しているかを調べ、いなければ、再度入力を実行
し、同じく終了条件に一致しているかを調べ、タイムオ
ーバになるまで繰り返す。タイムオーバになればエラ
ー、そうでなければエラー無しとする。
【0225】終了条件には、メモリアドレスXX040
4hに書かれた値に応じて、モード4種類がある。モー
ド“1”は「単純入力」で、入力ビットとマスクのビッ
ト判定したものの論理積を変えるだけで、タイムオーバ
は無視する。モード“2”は「入力待ち」で、入力ビッ
トとマスクのビット判定したものの論理積とデータが一
致するまで永久に待つ。タイムオーバは無視。
【0226】モード“3”は「入力待ちタイムオーバ
付」で、入力ビットとマスクとのビット判定したものの
論理積と、データが一致するのを待つ、タイムオーバし
ても一致しなければエラー。モード“4”は「入力待ち
(不一致)のタイムオーバ付」で、入力ビットとマスク
のビット反転したものの論理積とデータが不一致になる
のを待つ、タイムオーバしても不一致しなければエラ
ー。
【0227】またポートナンバーから実際にデジタル入
力する物理アドレスを計算する時には、パワーアップ時
にCPU1から渡された、ドライバの数とポートナンバ
ーを比較しポートナンバーがドライバの数より大きけれ
ばエラーとし、ステップS1227を終了、そうでなけ
ればエラー無しとする。また、ステップS1227を終
了する時はエラーの有無にかかわらず最終に入力処理し
たデータを、メモリアドレスXX0420hからの相当
するデータの位置に書き込む。
【0228】〈実施形態の効果〉 :第98図,第99図,第111図,第112図,第
116図〜第118図によって説明したように、システ
ムの初期化プログラムをどのようなドライバモジュール
が搭載されているかを(即ち、ハードウエアの構成)を
それほど意識せずに、作成することができる。
【0229】:第31図〜第40図,第113図〜第
115図に示したように、自由にモータの駆動軸をグル
ープ化することができ、グループ化されたモータ軸はラ
ベルによって参照することが可能であるから、システム
の柔軟性が増す。 :言語(サブルーチン)によってハードウエア(A
D,DA,モータ等)を明示することができ、そのハー
ドウエアの詳細をラベルを使って記述する(設定テーブ
ル)ことができるから、システムの柔軟性が増す。
【0230】:シートプログラムの1つのステートメ
ントは、制御記号と、言語と、日本語表記の使えるラベ
ル化されたパラメータによって1行にまとめられている
ので、プログラムの構造自体が大変に見易いものとなっ
ている。 〈変形〉本発明は上述の実施形態に制限されない。例え
ば、本発明の計測システムは、精密な計測を要求される
ものであるならば、どのようなワークにも適用可能であ
る。そのために、システムの構成も、デュアルプロセッ
サ構成に限定されず、シングルプロセッサのシステムに
も適用可能である。
【0231】
【発明の効果】以上説明した本発明の制御装置によれ
ば、各ドライバモジュールを適正に初期化することがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】計測対象の光学デバイスの一実施例の側面図で
ある。
【図2】第1図の一部を断面にした上面図である。
【図3】第1図および第2図に示した鏡筒の斜視図であ
る。
【図4】第1図および第2図に示した射出光学デバイス
と該射出光学デバイスにおけるピントおよび照射位置調
整装置の概略正面図である。
【図5】第4図に示した射出光学デバイスと三次元位置
決め機構の拡大正面図である。
【図6】第4図に示した拡大光学系の拡大正面図であ
る。
【図7】第4図に示した射出光学デバイスにおけるピン
トおよび照射位置の調整装置の制御ブロック図である。
【図8】メイン画面の階層を示す図。
【図9】単動画面の階層を示す図。
【図10】ファイルメニューの階層を示す図。
【図11】連動画面の階層を示す図。
【図12】プログラムメニューの構成を示す図。
【図13】確認メニューの構成を示す図。
【図14】実施例のシステムにおけるプログラムの連携
を示す図。
【図15】AD設定テーブルの構造を示す図。
【図16】AD設定テーブルの構造を示す図。
【図17】DA設定テーブルの構造を示す図。
【図18】DA設定テーブルの構造を示す図。
【図19】DA設定テーブルの構造を示す図。
【図20】DA設定テーブルの構造を示す図。
【図21】IN設定画面の構造を示す図。
【図22】IN設定画面の構造を示す図。
【図23】OUT設定画面の構造を示す図。
【図24】OUT設定画面の構造を示す図。
【図25】OUT設定画面の構造を示す図。
【図26】OUT設定画面の構造を示す図。
【図27】RS設定画面の構造を示す図。
【図28】RS設定画面の構造を示す図。
【図29】RS設定画面の構造を示す図。
【図30】RS設定画面の構造を示す図。
【図31】モータ設定画面の構造を示す図。
【図32】モータ設定画面の構造を示す図。
【図33】モータ設定画面の構造を示す図。
【図34】モータ設定画面の構造を示す図。
【図35】モータ設定画面の構造を示す図。
【図36】モータ設定画面の構造を示す図。
【図37】モータ設定画面の構造を示す図。
【図38】モータ設定画面の構造を示す図。
【図39】モータ設定画面の構造を示す図。
【図40】モータ設定画面の構造を示す図。
【図41】GPIB設定画面の構造を示す図。
【図42】GPIB設定画面の構造を示す図。
【図43】GPIB設定画面の構造を示す図。
【図44】GPIB設定画面の構造を示す図。
【図45】手動操作盤1017の構成を示す図。
【図46】OUTドライバモジュールと外部コントロー
ラとの間のインタフェース信号のI/Oマップ図。
【図47】INドライバモジュールと外部コントローラ
との間のインタフェース信号のI/Oマップ図。
【図48】INドライバモジュールと手動操作盤との間
のインタフェース信号のI/Oマップ図。
【図49】OUTドライバモジュールと手動操作盤との
間のインタフェース信号のI/Oマップ図。
【図50】マトリクスデータとストローブ信号の使用方
法を説明する図。
【図51】マトリクスデータとストローブ信号の使用方
法を説明する図。
【図52】SW設定テーブルの構成を説明する図。
【図53】SW設定テーブルの構成を説明する図。
【図54】規格設定テーブルの構成を説明する図。
【図55】規格設定テーブルの構成を説明する図。
【図56】定数設定テーブルの構成を示す図。
【図57】第4図の計測装置の動作を制御するシートプ
ログラムの一例を示す図。
【図58】第4図の計測装置の動作を制御するシートプ
ログラムの一例を示す図。
【図59】第4図の計測装置の動作を制御するシートプ
ログラムの一例を示す図。
【図60】第4図の計測装置の動作を制御するシートプ
ログラムの一例を示す図。
【図61】画像処理装置の動作手順を示すフローチャー
ト。
【図62】画像処理装置における処理原理を説明する
図。
【図63】画像処理装置の動作手順を示すフローチャー
ト。
【図64】画像処理装置における処理原理を説明する
図。
【図65】シートプログラムを作成する画面の一例を示
す図。
【図66】シートプログラムを作成する画面の一例を示
す図。
【図67】ファイルメニューの使用例を示す図。
【図68】ファイルメニューの使用例を示す図。
【図69】ファイルメニューの使用例を示す図。
【図70】ファイルメニューの使用例を示す図。
【図71】ファイルメニューの使用例を示す図。
【図72】ファイルメニューの使用例を示す図。
【図73】ファイルメニューの使用例を示す図。
【図74】編集メニューの使用例を示す図。
【図75】編集メニューの使用例を示す図。
【図76】編集メニューの使用例を示す図。
【図77】シートメニューの使用例を示す図。
【図78】シートメニューの使用例を示す図。
【図79】シートメニューの使用例を示す図。
【図80】シートメニューの使用例を示す図。
【図81】シートメニューの使用例を示す図。
【図82】シートメニューの使用例を示す図。
【図83】変数メニューの使用例を示す図。
【図84】変数メニューの使用例を示す図。
【図85】変数メニューの使用例を示す図。
【図86】変数メニューの使用例を示す図。
【図87】変数メニューの使用例を示す図。
【図88】変数メニューの使用例を示す図。
【図89】変数メニューの使用例を示す図。
【図90】変数メニューの使用例を示す図。
【図91】変数メニューの使用例を示す図。
【図92】変数メニューの使用例を示す図。
【図93】ウインドメニューの使用例を示す図。
【図94】ウインドメニューの使用例を示す図。
【図95】デバッグメニューの使用例を示す図。
【図96】デバッグメニューの使用例を示す図。
【図97】モードメニューの使用例を示す図。
【図98】CPU#2の初期化手順を示す制御フローチ
ャート。
【図99】CPU#1の初期化手順を示す制御フローチ
ャート。
【図100】“操作盤MAIN”の制御手順を示すフロ
ーチャート。
【図101】“操作盤MAIN”の制御手順を示すフロ
ーチャート。
【図102】“操作盤MAIN”の制御手順を示すフロ
ーチャート。
【図103】“操作盤MAIN”の制御手順を示すフロ
ーチャート。
【図104】“操作盤MAIN”の制御手順を示すフロ
ーチャート。
【図105】“操作盤MAIN”の制御手順を示すフロ
ーチャート。
【図106】“操作盤MAIN”の制御手順を示すフロ
ーチャート。
【図107】CRTに表示されるソフト操作盤の表示例
を示す図。
【図108】CRTに表示されるソフト操作盤の表示例
を示す図。
【図109】CRTに表示されるソフト操作盤の表示例
を示す図。
【図110】起動可条件のルールを示す図。
【図111】CPU#2の制御手順を示すフローチャー
ト。
【図112】CPU#1とCPU#2との間のデータ通
信に使われるメモリ1004のメモリマップをあらわす
図。
【図113】モータ軸のグルーピングを実行するCPU
#1の制御手順を示すフローチャート。
【図114】原点出しについての実行プログラムの一例
を示す図。
【図115】第114図の例に従った場合の、原点出し
の実行フローを示すフローチャート。
【図116】ハード構成を示すコンフィギュレーション
ファイルの構成を示す図。
【図117】すコンフィギュレーションファイルの一例
を示す図。
【図118】CPU#2における初期化手順のより詳細
な制御手順を示す図。
【符号の説明】
1 半導体レーザー光源 1a,1b,1c 端子 2 コリメータレンズ 3 紫外線照射装置 4 三次元位置決め機構 5 Z軸パルスモータ 6 Y軸パルスモータ 7 X軸パルスモータ 8 固定ホルダ 8a 固定板 9 電気回路基板 10 鏡筒 11 支持台 12 レーザービーム 14 第1の位置検出手段 15a,15b,15c スリット 16 アパチャー 17a,17b 鍔 18 紫外線硬化接着剤 19 隙間 20 固定用ビス孔 21 位置決め用長孔 22 位置決め用孔 23 射出光学デバイス 24 Z軸調整用ステージ 25 Y軸調整用ステージ 26 X軸調整用ステージ 27 光学系移動用ステージ 28a,28b クランプ 29a クランプ爪 30a,30b 石英ファイバー 31 押し付けエアシリンダー 31a 押圧部材 32 コンタクトピン移動用エアシリンダー 33 工具用レンズ 1022 位置検出センサ 35 ビームスプリッター 36 対物レンズ 37 鏡筒 39 支持台 40 支持台 41 位置決め固定治具 42 スライダー 43 コンタクトピン 44 拡大光学系(第2の位置検出手段) 45a Z軸パルスモータコントローラ 45b Y軸パルスモータコントローラ 45c X軸パルスモータコントローラ 46 デジタルI/O 47 A/D変換器 48 画像処理装置 49 レーザー電源 51a パルスモータコントローラ 52a 電磁弁 52b 前進及び後退検出センサ 1021 パワーメータ
フロントページの続き (72)発明者 市川 文雄 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 管理機能を有する第1の制御ユニット
    と、任意種類の複数のデバイスを夫々駆動する複数のド
    ライバモジュールを制御する第2の制御ユニットとを有
    する制御装置であって、 前記複数のドライバモジュールの組み合わせに関する情
    報を記憶する記憶手段と、 前記記憶手段から受け取った前記情報を読み取る読取手
    段と、 読みとった前記情報に基づいて前記複数のドライバモジ
    ュールを初期化する初期化手段とを具備することを特徴
    とする制御装置。
  2. 【請求項2】 前記記憶手段と前記読取手段とは前記第
    1の制御ユニットに接続され、前記初期化手段は前記第
    2の制御ユニットによって制御され、 前記第1の制御ユニットは読み取った前記情報を前記第
    2の制御ユニットに渡すことを特徴とする請求項1に記
    載の制御装置。
  3. 【請求項3】 前記第1の制御ユニットは前記第2の制
    御ユニットにコマンドを送り、前記第2の制御ユニット
    はそのコマンドを解釈して実行し、実行結果を前記第1
    の制御ユニットに返すことを特徴とする請求項1に記載
    の制御装置。
  4. 【請求項4】 前記ドライバモジュールは各々のドライ
    バソフトを有し、前記初期化手段はドライバソフトを初
    期化することを特徴とする請求項1に記載の制御装置。
  5. 【請求項5】 この制御装置の起動タイミングを検知す
    る手段を有し、起動タイミングを検知した時点で、前記
    読取手段及び初期化手段を付勢することを特徴とする請
    求項1に記載の制御装置。
  6. 【請求項6】 前記起動タイミングは電源投入時或いは
    所定のプログラムの起動時点であることを特徴とする請
    求項5に記載の制御装置。
  7. 【請求項7】 各ドライバモジュールは、初期化終了後
    に、第1の制御ユニットから送られてきたコマンドの内
    容が適切か否かを調べることを特徴とする請求項3に記
    載の制御装置。
JP8351209A 1996-12-27 1996-12-27 制御装置 Withdrawn JPH10187210A (ja)

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